JPS62275113A - ケイ素含有共重合体 - Google Patents

ケイ素含有共重合体

Info

Publication number
JPS62275113A
JPS62275113A JP11825586A JP11825586A JPS62275113A JP S62275113 A JPS62275113 A JP S62275113A JP 11825586 A JP11825586 A JP 11825586A JP 11825586 A JP11825586 A JP 11825586A JP S62275113 A JPS62275113 A JP S62275113A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
meth
acrylate
copolymer
methacrylate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11825586A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2649512B2 (ja
Inventor
Shigeru Masaoka
政岡 滋
Makoto Tsuboi
誠 坪井
Nobuhiro Saito
斉藤 信宏
Akitsugu Kurita
栗田 明嗣
Masayuki Hatanaka
畑中 正行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CHUGOKU TORYO KK
Chugoku Marine Paints Ltd
Momentive Performance Materials Japan LLC
Original Assignee
CHUGOKU TORYO KK
Chugoku Marine Paints Ltd
Toshiba Silicone Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CHUGOKU TORYO KK, Chugoku Marine Paints Ltd, Toshiba Silicone Co Ltd filed Critical CHUGOKU TORYO KK
Priority to JP61118255A priority Critical patent/JP2649512B2/ja
Publication of JPS62275113A publication Critical patent/JPS62275113A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2649512B2 publication Critical patent/JP2649512B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 [発明の技術分野] 本発明は新規なケイ素含有共重合体に関し、ざらに詳し
くは、適度の加水分解性をもつオルガノジメチルシリル
(メタ)アクリレートとケイ素原子を含まないエチレン
性不飽和化合物との共重合体に関する。
[発明の技術的背景とその問題点] トリメチルシリル(メタ)アクリレートと各種のビニル
化合物、すなわちメチルメタクリレート、ブチルメタク
リレート、スチレン、9−ビニルフェナンスロン、ビニ
ルピリジン、p−ジメチルアミノスチレンなどとの共重
合体が知られている。
(D、 N、 Andreevほか; ■zvesty
a AkademiyaNauk  5SSR,Ser
、 Khim 、 1972年6号1411〜1413
ベージ:M、 Kuriharaほか;JOurrla
lof  polymer  3cience、 Po
lymer  Chemistry111巻3号587
〜610ページ(1973年)など)。
しかし、これらの共重合体には、トリメチルシリル(メ
タ)アクリレートの重合速度がきわめて速く、制御よく
共重合体を1qることが困難であることと、重合体のト
リメチルシリル基が加水分解によって主鎖から脱離しや
すく、耐水性に劣るために取扱いに必要な安定性が得ら
れないという問題点がある。
また、海水中で徐々に溶解して新鮮な面を呈するととも
に生物活性をもつスズ化合物を放出して付着生物の増殖
を防止する防汚塗料に、(メタ)アクリル酸エステルと
トリブチルスズ(メタ)アクリレートとの共重合体があ
り、そのモノマーの一部としてトリブチルシリルアクリ
レートやトリフェニルシリルアクリレートを併用するこ
とが開示されている(特開昭60−231771号)。
しかし、このようなトリブチルシリル基やトリフェニル
シリル基は海水のようなpH8,2〜8.3の条件では
加水分解性を示さず、それゆえトリブチルスズ基が存在
しないと本発明の共重合体と同じ目的は達せられず、一
方、トリブチルスズ基が存在すると、これが加水分解に
よって海水中に放出されるために、その毒性によって海
洋を汚染することになる。
また、トリブチルシリル基やトリフェニルシリル基をも
つ(メタ)アクリレートは、グリニヤール反応によって
多数のブチル基またはフェニル基をケイ素原子に結合さ
せることが必要で、副生ずる多♀のハロゲン化マグネシ
ウムを除去する煩雑さがあり、収率も高くない。
[発明の目的] 本発明は、適度の加水分解性をもつトリオルガノシリル
(メタ)アクリレートとエチレン性飽和化合物との共重
合体を提供することを目的とする。
[発明の構成] 本発明者らは、上記の目的のためには、トリオルガノシ
リル(メタ)アクリレートとして、ケイ素原子に結合し
た2個のメチル基と、炭素数4以上のアルキル基または
フェニル基をもつものを用いることにより、上記の目的
提供しうる新規の共重合体を得ることを見出して、本発
明をなすに至った。すなわち本発明は、一般式 %式% (式中、R1は脂肪族不飽和結合を含まぬ炭素数4個以
上の1価の炭化水素基、R2、R3はそれぞれ独立して
水素原子またはメチル基、R4は〕工二ル基または−C
O2R5基、R5は水素原子、アルキル基、ヒドロキシ
エチル基、グリシジル基、または−(CH2) 2NR
;基、R6は置換または非置換のアルキル基、n1mは
n十mが100〜10、000でうちnが10〜95%
になる数を示す)で表されるケイ素含有共重合体に関す
るものである。
本発明において、R1は炭素数4個以上のアルキル基ま
たはフェニル基で、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基
、オクチル基、デシル基、ドデシル基などのアルキル基
;シクロペンチル基、シクロヘキシル基などのシクロア
ルキル基;β−フェニルエチル基、β−フェニルプロピ
ル基などのアラルキル基およびフェニル基、トリル基、
メシチル基などのアリール基が例示されるが、船底塗料
などに適した加水分解性をもち、適切な造膜性をもつこ
とから、炭素数6〜12のアルキル基が適している。炭
素数が4個未満のものは、加水分解性が大きく、とくに
R1がメチル基の場合は、モノマーであるトリメチルシ
リル(メタ)アクリレートの重合速度が著しく大きくて
、共重合の制御が困難である。トリオルガノシリル(メ
タ)アクリレートのケイ素原子に結合したR1以外の炭
化水素基としては、トリオルガノシリル(メタ)アクリ
レートの合成の容易なことから、メチル基が選択される
。このようなジメチルオルガノシリル(メタ)アクリレ
ートは、たとえば塩化メチルと金属ケイ素より工業的に
合成されているジメチルジクロロシランの1個の塩素原
子をグリニヤール反応によって炭化水素基に置き変える
か、ジメチルクロロシランのS+−t−+結合と不飽和
炭化水素基のヒドロシリル化反応によって得られたオル
ガノジメチルクロロシランをアクリル酸またはメタクリ
ル酸などと反応させて容易に得ることができる。
これに対して、R1以外の炭化水素基がメチル基以外の
場合には、グリニヤール反応で多数の有機基を導入する
必要があり、副生ずる多量のハロゲン化マグネシウムを
除去する必要があるなど工程的に煩雑であり、また炭化
水素基によっては、立体障害を生じて収率が極めて低く
なるなど、工業化の際の不利は免かれない。
R2およびR3はそれぞれ独立して水素原子またはメチ
ル基、R4はフェニル基または一〇02R5基である。
R5としては水素原子、メチル基、エチル基、プロピル
基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、ヒドロキシエ
チル基、グリシジル基および(CH2)2 NR2基が
挙げられる。R6としてはメチル基、エチル基、プロピ
ル基、ブチル基、ヘキシル基のようなアルキル基のほか
、2−メトキシエチル基、3−ヒドロキシプロピル基の
ような置換アルキル基が例示される。
m+nは共重合体の重合度であり、100〜10.00
0の範囲である。この範囲を外れたものは合成が困難で
ある。またn/n+mはそのうちジメチルオルガノシリ
ル基を側鎖として含む単位の割合であるが、10〜95
%、好ましくは20〜70%である。10%未満では制
御された加水分解速度と徐溶性が得られず、95%を越
えると加水分解前の塗膜と基材への密着性が低下する。
このような共重合体は、以下に示されるジメチルオルガ
ノシリル(メタ)アクリレートと分子中にケイ素原子を
含まぬエチレン性不飽和化合物との共重合によって(q
ることかできる。すなわち、ジメチルオルガノシリル(
メタ)アクリレートとしては、ジメチルブチルシリルメ
タクリレート、ジメチルへキシルシリルメタクリレート
、ジメチルへブチルシリルメタクリレート、ジメチルオ
クチルシリルメタクリレート、ジメチルデシルシリルメ
タクリレート、ジメチルドデシルシリルメタクリレート
、ジメチルシクロへキシルメタクリレート、ジメチルフ
ェニルシリルメタクリレートなど;およびこれらに対応
するアクリレートが挙げられる。分子中にケイ素原子を
含まぬエチレン性不飽和化合物としては、スチレン、α
−メチルスチレン、(メタ)アクリル酸、メチル(メタ
)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピ
ル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート
、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)ア
クリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレー
ト、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ヒド
ロキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ
)アクリレートなどが挙げられる。これらのジメチルオ
ルガノシリル(メタ)アクリレートおよび分子中にケイ
素原子を含まぬエチレン性不飽和化合物は、それぞれ1
種を用いても2種以上を併用してもさしつかえない。
共重合は、例えば適当な有機溶媒中で、重合開始剤の存
在下に、前述のジメチルオルガノシリル(メタ)アクリ
レートと分子中にケイ素原子を含まぬエチレン性不飽和
化合物とを加熱撹拌して行われる。有機溶媒は、重合反
応の制御、反応中のゲル形成の防止のために用いられ、
ベンゼン、トルエン、キシレンのような炭化水素系溶媒
、酢酸エチル、酢酸ブチルのようなエステル系溶媒、イ
ソプロパツール、ブタノールのようなアルコール系溶媒
およびジメチルメホルムアミド、ジメチルスルホキシド
のような非プロトン極性溶媒か例示される。これらは、
七ツマー100重量部に対して20〜1.000重量部
、好ましくは50〜500重量部用いられる。
重合開始剤としてはベンゾイルパーオキサイド、2.4
−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパー
オクトエート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ク
メンハイドロパーオキサイドなどの有機過酸化物やアゾ
ビスイソブチロニトリルなどが例示される。これらの重
合開始剤は七ツマー100重量部に対して0.01〜1
0重量部、好ましくは0.1〜5重量部用いられる。
[発明の効果] 本発明で得られた共重合体は、既知の重合体であるトリ
メチルシリル(メタ)アクリレートの重合体ならびに該
モノマーとビニル化合物との共重合体に比へて、制御さ
れた加水分解速度をもち、徐溶性コーティング剤のベー
スポリマーとして有効である。
[実施例1 以下、本発明を実施例によって説明する。
参考例および実施例中、部は重量部を示す。
参考例1 (ジメチルへキシルシリルメタクリレートの合成)l!
伴機、コンデンサー、温度計および加熱、冷却用ジャケ
ットを備えた反応容器に400部のベンゼン、86.1
部のメタクリル酸および0.7部のヒドロキノンを仕込
み、均一になるまで攪拌した。さらに101部のトリエ
チルアミンを加え、攪拌しつつ50℃に昇温し、温度を
一定に保ちながら179部のジメチルへキシルクロロシ
ランを60分間かけて滴下した。滴下後ざらに80分間
攪拌を続けて反応を完結させた。反応終了後、副生じた
トリメチルアミン塩酸塩を濾別し、次いで溶剤と未反応
物を常圧で留去したのち、減圧で精留して、沸点67℃
/ 4TOrrの留分171部を得た。ガスマススペク
トル、元素分析、IRスペクトルおよびNMRスペクト
ルから、この留分はジメチルへキシルシリルメタクリレ
ートであることが確認された。またその収率は理論量に
対して75%であった。
このものの物性および分析値は第1表に示すとおりであ
った。
(以下余白) 第1表 参考例2(ジメチルデシルシリルメタクリレートの合成
) ジメチルへキシルクロロシランの代わりに235部のジ
メチルデシルクロロシランを用いるほかは参考例1と同
様にしてシリルメタクリレートの合成を行い、沸点11
8℃/ 4Torrの留分142部を1qた。参考例1
と同様の分析によって、この留分はジメチルデシルシリ
ルメタクリレートであることが確認された。またその収
率は理論量に対して50%であった。
このものの物性および分析量は第2表に示すとおりであ
った。
(以下余白) 第2表 参考例3 (ジメチルへキシルシリルアクリレートの合成)メタク
リル酸の代わりに72.1部のアクリル酸を用いるほか
は参考例1と同様にしてシリルアクリレートの合成を行
い、沸点83°C/ 4Torrの留分18部を得た。
実施例1と同様の分析によって、この留分はジメチルへ
キシルシリルアクリレートであることが確認された。ま
たその収率は理論量に対して42%であった。
このものの物性および分析量は第3表に示すとおりであ
った。
(以下余白) 第3表 実施例1 攪拌機、コンデンサー、温度計および加熱、冷却ジャケ
ットを備えた反応容器に、参考例1で合成したジメチル
へキシルシリルメタクリレートを32部、メチルメタク
リレートを16部とトルエンを50部仕込み、攪拌しつ
つ0.5部のアゾビスジイソプロピルニトリルを加え、
窒素気流中で60″Cに加熱し、8部間、同一温度で加
熱攪拌を続けて、無色透明で粘稠な重合体溶液を1qだ
この溶液をGPCにかけて、得られた曲線より重合率と
平均分子量を測定したところ、重合率は47%、重量平
均分子量は28.100であった。この溶液よりトルエ
ンおよび未反応のモノマーを留去して、無色透明ガラス
状の重合体を得た。
1qられた重合体の屈折率、元素分析結果およびIR特
性吸収を第4表、GPCチャートを第1図、IRスペク
トルを第2図に示す。
実施例2 ジメチルへキシルシリルメタクリレートの代わりに参考
例2で合成したジメチルデシルシリルメタフリレート4
6部を用いたほかは実施例1と同様にして重合を行い、
重合率35%で、重量平均分子量45,600の共重合
体の無色透明の粘稠なトルエン溶液を得た。この溶液よ
り、実施例1と同様にして無色透明ガラス状の重合体を
得た。
(qられた重合体の屈折率、元素分析結果およびIR特
性吸収を第4表に、IRスペクトルを第3図に示す。
実施例3 ジメチルへキシルシリルメタクリレートの代わりに参考
例3で合成したジメチルへキシルシリルアクリレート3
4部を用いたほかは実施例1と同様にして重合を行い、
重合率43%で、重量平均分子!22,300の共重合
体の無色透明の粘稠なトルエン溶液を得た。この溶液よ
り、実施例1と同様にして無色透明ガラス状の重合体を
得た。
得られた重合体の屈折率、元素分析結果およびIR特性
吸収を第4表、IRスペクトルを第4図に示す。
実施例4 メチルメタクリレートの代わりに、第5表に示す量のブ
チルアクリレート、ブチルメタクリレート、またはスチ
レンをそれぞれ用いる以外は実施例1と同様にして実験
41〜43の共重合を行い、共重合体を得た。得られた
共重合体溶液のGPC曲線から得られた重合率と共重合
体の重量平均分子量は、第5表に示すとおりである。ま
た、屈折率、元素分析結果、およびIR特性吸収も第5
表に示す。
実験No、 41のGPCチャートを第5図に、また実
験No、 41〜43で得られた共重合体のIRスペク
トルを第6図〜第8図に示す。
(以下余白) 実施例5 メチルメチクリレートの代りに18部の2−ヒドロキシ
エチルメタクリレート、トルエンの代りに50部のジメ
チルホルムアミドを用いるほかは実施例1と同様にして
共重合を行い、共重合体を得た。
得られた共重合体のGPC曲線から重合率と平均分子量
を測定したところ、重合率は89%、重量平均分子量は
38.900であった。共重合体の屈折率、元素分析結
果およびIR特性吸収を第6表に示す。
またGPCチャートを第9図、IRスペクトルを第10
図に示す。
(以下余白) 第6表
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例1より得られた重合体のGPC
チャート、第2図は実施例1の重合体のIRスペクトル
、第3図は実施例2の重合体の■Rスペクトル、第4図
は実施例3の重合体のIRスペクトル、第5図は実施例
4の実験41の重合体のGPCチャート、第6図、第7
図、第8図はそれぞれ実験No、41.42.43の重
合体のIRスペクトル、第9図は実施例5の重合体のG
PCチャート、第10図は実施例5の重合体のIRスペ
クトルを示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、R^1は脂肪族不飽和結合を含まぬ炭素数4個
    以上の1価の炭化水素基、R^2、R^3はそれぞれ独
    立して水素原子またはメチル基、R^4はフェニル基ま
    たは−CO_2R^5基、R^5は水素原子、アルキル
    基、ヒドロキシエチル基、グリシジル基、または−(C
    H_2)_2NR^6_2基、R^6は置換または非置
    換のアルキル基、n、mはn+mが100〜10,00
    0で、うちnが10〜95%になる数を示す)で表され
    るケイ素含有共重合体。
  2. (2)R^1が炭素数6〜12のアルキル基である特許
    請求の範囲第1項記載のケイ素含有共重合体。
JP61118255A 1986-05-22 1986-05-22 ケイ素含有共重合体からなる防汚塗料用樹脂 Expired - Fee Related JP2649512B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61118255A JP2649512B2 (ja) 1986-05-22 1986-05-22 ケイ素含有共重合体からなる防汚塗料用樹脂

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61118255A JP2649512B2 (ja) 1986-05-22 1986-05-22 ケイ素含有共重合体からなる防汚塗料用樹脂

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62275113A true JPS62275113A (ja) 1987-11-30
JP2649512B2 JP2649512B2 (ja) 1997-09-03

Family

ID=14732087

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61118255A Expired - Fee Related JP2649512B2 (ja) 1986-05-22 1986-05-22 ケイ素含有共重合体からなる防汚塗料用樹脂

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2649512B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01146969A (ja) * 1987-12-04 1989-06-08 Toshiba Silicone Co Ltd 防汚塗料
JPH01146808A (ja) * 1987-12-04 1989-06-08 Toshiba Silicone Co Ltd 防汚コーティング材
JPH08269389A (ja) * 1995-03-30 1996-10-15 Nippon Oil & Fats Co Ltd 塗料組成物
JP2000248029A (ja) * 1998-12-28 2000-09-12 Chugoku Marine Paints Ltd シリル(メタ)アクリレート共重合体およびその製造方法
JP2000265107A (ja) * 1999-01-11 2000-09-26 Chugoku Marine Paints Ltd 防汚塗料組成物、この防汚塗料組成物から形成されている防汚塗膜および該防汚塗料組成物を用いた防汚方法並びに該塗膜で被覆された船体または水中構造物
JP2003502473A (ja) * 1999-06-11 2003-01-21 ヨズ.セー.ヘンペルズ スキブスファーバ−ファブリク アクティーゼルスカブ シリコン−含有コポリマー及び繊維からなる自己研磨性海洋防汚塗料組成物
WO2021075457A1 (ja) * 2019-10-18 2021-04-22 信越化学工業株式会社 樹脂被覆金属粉末およびその製造方法ならびにこれを用いた水性塗料組成物

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6238451A (ja) * 1985-08-14 1987-02-19 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物
JPS6240450A (ja) * 1985-08-19 1987-02-21 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6238451A (ja) * 1985-08-14 1987-02-19 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物
JPS6240450A (ja) * 1985-08-19 1987-02-21 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01146969A (ja) * 1987-12-04 1989-06-08 Toshiba Silicone Co Ltd 防汚塗料
JPH01146808A (ja) * 1987-12-04 1989-06-08 Toshiba Silicone Co Ltd 防汚コーティング材
JP2514217B2 (ja) * 1987-12-04 1996-07-10 東芝シリコーン株式会社 防汚コ―ティング材
JPH08269389A (ja) * 1995-03-30 1996-10-15 Nippon Oil & Fats Co Ltd 塗料組成物
JP2000248029A (ja) * 1998-12-28 2000-09-12 Chugoku Marine Paints Ltd シリル(メタ)アクリレート共重合体およびその製造方法
JP2000265107A (ja) * 1999-01-11 2000-09-26 Chugoku Marine Paints Ltd 防汚塗料組成物、この防汚塗料組成物から形成されている防汚塗膜および該防汚塗料組成物を用いた防汚方法並びに該塗膜で被覆された船体または水中構造物
JP2003502473A (ja) * 1999-06-11 2003-01-21 ヨズ.セー.ヘンペルズ スキブスファーバ−ファブリク アクティーゼルスカブ シリコン−含有コポリマー及び繊維からなる自己研磨性海洋防汚塗料組成物
WO2021075457A1 (ja) * 2019-10-18 2021-04-22 信越化学工業株式会社 樹脂被覆金属粉末およびその製造方法ならびにこれを用いた水性塗料組成物
JP2022007869A (ja) * 2019-10-18 2022-01-13 信越化学工業株式会社 樹脂被覆金属粉末およびその製造方法ならびにこれを用いた水性塗料組成物

Also Published As

Publication number Publication date
JP2649512B2 (ja) 1997-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4414372A (en) Process for preparing living polymers
US6306992B1 (en) Carbosiloxane dendrimer and dendrimer-containing organic polymers
KR100581772B1 (ko) 분지상 실록산/실알킬렌 공중합체, 실리콘-함유 유기중합체, 및 그의 제조방법
JPH09510181A (ja) アリル型連鎖移動剤
JPH0139445B2 (ja)
JPS62275113A (ja) ケイ素含有共重合体
JP2664974B2 (ja) 徐溶性コーティング材用ビヒクル
JPH0160162B2 (ja)
US5777052A (en) Silicone modified vinyl polymers and method for the preparation thereof
JP2766300B2 (ja) (メタ)アクリレート共重合体
US4822859A (en) Group transfer polymerization and initiators therefor
JPS60123518A (ja) シリコ−ン系グラフト共重合体の製造方法
JPS63202607A (ja) 重合方法
JPS6057471B2 (ja) 防食被覆用樹脂組成物
JP4619001B2 (ja) オルガノシリル化カルボキシレートモノマーの製法および防汚塗膜中へのそれらの使用
JPH0757778B2 (ja) ビシクロヘプタン環含有シリル(メタ)アクリレ−ト共重合体
JPH0556765B2 (ja)
JPH02187411A (ja) フッ素含有重合体の製造方法
JP2939016B2 (ja) 3−(ビニルフェニルオキシ)プロピルシラン化合物の製造方法
JP2551306B2 (ja) 貯蔵安定性に優れるシリコーン系グラフトポリマーの製造方法
JPH01254719A (ja) ポリシロキサン基含有重合体
JPH02238009A (ja) エチレン系共重合体の製造方法
JP2661878B2 (ja) ケイ素官能性共重合体の製造方法
JPS6030715B2 (ja) 被覆組成物
JP4236242B2 (ja) 珪素含有アクリル化合物から得られるレジスト材料

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees