FI94521C - Menetelmä ja laite laakalasin pinnoittamiseksi - Google Patents

Description

1 94521

Menetelmä ja laite laakalasin pinnoittamiseksi

Keksintö liittyy laakalasin pinnoittamiseen ja tarkemmin sanottuna menetelmään laakalasin pinnoittamiseksi 5 kemiallisella höyrykerrostumalla sekä laitteeseen, joka on sopiva menetelmän käyttämiseksi.

On tunnettua pinnoittaa lasia kemiallisella höyry-kerrostumalla ja GB-patenttijulkaisu 1 507 996 selittää menetelmän ja laitteen, joissa kaasu johdetaan pinnoitet-10 tavan kuuman lasinauhan pinnalle jakelijasta, joka ulottuu tuon pinnan poikki kohtisuoraan nauhan kulkusuuntaan nähden, niin että kaasu virtaa olennaisesti yhdensuuntaisesti lasiin laminaaristen virtausolosuhteiden alaisena ja yhdenmukaisena pinnan leveyden poikki. Pinnoite kerrostetaan 15 kuumalle lasipinnalle ja käytetty pinnoituskaasu johdetaan ylöspäin, pois lasin pinnasta pitkin poistokanavaa, joka on muodostettu ylävirran ja alavirran ohjausseinien väliin. Poistokanavan yläpään alueella on kanavasta virtaa-van käytetyn kaasun kokoamiseksi poistoputki, joka ei kui-20 tenkaan liity poistokanavaan.

Kun GB-patenttijulkaisussa 1 507 996 selitettyä menetelmää ja laitetta käytetään kuuman lasinauhan kerrostamiseksi heijastavalla piipinnoitteella, todetaan, että operaatiojakson jälkeen kerääntyy piitä sisältävä kerros 25 alavirran kärjen alapinnalle, toisin sanoen lasin vastak-' kaiselle ja läheiselle pinnalle, ohjauselimestä, joka on pinnoituskaasun virrassa lasin yläpuolella, rajoittaen pinnoitusalueen sen alavirran päässä ja kääntäen käytetyn kaasun pois lasista. Tämä kerrostuma koskettaa lopulta 30 lasia ja vahingoittaa lasille muodostunutta pinnoitetta, ja pinnoitusprosessi on keskeytettävä siksi aikaa kun lai-- · te poistetaan lasin päältä ja puhdistetaan kerrostuman poistamiseksi.

On todettu, että kerrostuman muodostumista voidaan 35 hidastaa tai estää ja säilyttää tyydyttävä pinnoite mer- 2 94521 kittävästi pitempään johtamalla inertiakaasuvirta mainitun, lasia lähellä olevan pinnan yli.

Tämän keksinnön mukaan on käytettävissä menetelmä laakalasin pinnoittamiseksi kemiallisella höyrykerrostu-5 maila, jossa menetelmässä pinnoituskaasu saatetaan virtaamaan kuuman lasipinnan yli pinnoitusvyöhykkeellä ja käytetty kaasu ohjataan pois lasista poistokanavaa pitkin pinnoitusvyöhykkeen alavirtapäässä ohjausvälineellä, joka käsittää lasin pinnan lähellä olevan pinnan ja poistokana-10 van alavirtaseinämän rajaavan pinnan, joka on jatkuva lasin pinnan lähellä olevan pinnan kanssa, jolle menetelmälle on tunnusomaista, että ohjataan inertti kaasuvirta poistokanavaan kohdistetulla imulla ohjausvälineen mainitun pinnan yli estämään käytetyn kaasun kerrostuman muo-15 dostumista mainitulle pinnalle, ja että ohjausväline on muodostettu saamaan aikaan inertin kaasun tasainen virtaus ohjausvälineen pintojen yli sekoittamatta käytettyä kaasua ja inerttiä kaasua pinnoitusvyöhykkeessä.

Inertiakaasuvirta hidastaa tai estää käytettyä kaa-20 sua muodostamasta kerrostumaa, mikä muutoin tapahtuisi mainitulle lasipintaa lähellä olevalle pinnalle. Inertia-kaasun tilavuusvirran nopeus mainitun pinnan yli on mieluummin ainakin 50 % pinnoitusvyöhykkeen alavirran päässä lasista pois johdetun käytetyn kaasun tilavuusvirran no-. 25 peudesta.

Käsitettä "inertiakaasu" käytetään tässä viittaamaan kaasuun, joka itse ei kerrosta pinnoitetta lasille eikä joudu minkään sellaisen prosessin alaiseksi, joka vahingoittaisi käytetyn pinnoituskaasun pinnoitusproses-30 siä. Inertiakaasun virta voi muodostua ilmakehästä, joka ympäröi pinnoitusasemaa, jossa pinnoite muodostetaan. Kun : pinnoite muodostetaan float-lasinauhalle sen kulkiessa float-kylvyn yli, voidaan inertiakaasuvirta tarkoituksenmukaisesti muodostaa float-kylvyn suojäävästä ilmakehästä.

il ittiiiMiin i 35 94521 3

Inertiakaasuvirta hidastaa tai estää käytettyä kaasua muodostamasta kerrostumaa, mikä muutoin tapahtuisi mainitulle lasipintaa lähellä olevalle pinnalle.

Keksinnön mukainen menetelmä on käyttökelpoinen 5 pinnoitettaessa laakalasia kemiallisella höyrykerrostumalla. Käsitettä "kemiallinen höyrykerrostuma" käytetään tässä viittaamaan prosesseihin, joissa pinnoite muodostetaan yhden tai useamman kaasufaasin reaktiolla. Pinnoituskaasu voi olla esimerkiksi kaasua, kuten metallikarbonyyliä, 10 joka pyrolysoituu kerrostaakseen pinnoitteen lasille, tai keskenään reagoivien kaasujen, esimerkiksi stannikloridi-höyryn ja vesihöyryn, seos pinnoitteen kerrostamiseksi lasille. Pinnoituskaasu voi sisältää kantajana ei-reaktii-visen komponentin, esimerkiksi typen.

15 Menetelmän on todettu olevan erityisen käyttökel poisen kun käytetään silaanipitoista kaasua kuuman lasin pinnoittamiseen. Silaanipitoisia kaasuja voidaan käyttää kerrostettaessa heijastava piipinnoite, kuten GB-paten-teissa 1 507 465 ja GB 1 507 996 selitetään, tai piitä ja 20 happea sisältävässä pinnoitteessa, jonka valonläpäisykyky on hyvä ja joka on käyttökelpoinen sulkuna estämään alka-limetalli-ionien kulkeutumista lasista. Määrättyjen sellaisten estepinnoitteiden muodostumista selitetään GB-patenttijulkaisussa 2 163 146A.

25 Keksintö koskee lisäksi laitetta laakalasin pin noittamiseksi pinnoituskaasusta muodostuvalla kerrostumalla, joka laite käsittää kannattimen lasia varten, välineen lasin siirtämiseksi eteenpäin kannattimellä, kaasunsyöttö-kanavan, joka kulkee kohtisuorassa lasin kulkurataan näh-30 den ja joka on järjestetty suuntaamaan pinnoituskaasu pin-noitusvyöhykkeessä olevalle kuumalle pinnalle, ohjausvälineen, joka käsittää lähellä lasin pintaa olevan pinnan käytetyn kaasun ohjaamiseksi pois lasista pinnoitusvyöhyk-keen alavirrassa, poistokanavan käytetyn pinnoituskaasun 35 virtauttamiseksi pois lasin pinnasta sekä imuvälineen käy- 4 94521 tetyn kaasun keräämiseksi poistokanavasta, jolle laitteelle on tunnusomaista, että imuväline on liitetty poistokanavaan ja ohjausvälineen mainittu pinta on erillään kaasun kulkuradasta inertin kaasuvirran johtamiseksi pinnan yli 5 käyttämällä imuvälinettä, ja että ohjausväline käsittää pinnan, joka muodostaa poistokanavan alavirran seinän, joka on mainitun, lasia lähellä olevan pinnan jatke ja jonka muoto tasoittaa sen yli virtaavan inertin kaasun virtaa, ilman että inertti kaasu ja käytetty pinnoituskaa-10 su sekoittuisivat pinnoitusvyöhykkeessä.

Lasia lähellä oleva pinta on mieluummin olennaisesti lasin pinnan suuntainen, ja on mieluummin ainakin 5 mm etäisyydellä lasin pinnan kulkuradasta. Tämä helpottaa ulkopuolisen ilmakehän virtaamista lasipinnan ja mainitun 15 pinnan väliin, jolloin ilmakehä toimii mainitun pinnan yli virtaavana inertiakaasuna, joka estää käytettyä kaasua muodostamasta kerrostumaa mainitulle pinnalle.

Keksinnön edullisessa suoritusmuodossa laite käsittää keskiosan ja keskiosan sivuille sijoitetut sivuosat, 20 jotka muodostavat olennaisesti U:n muotoisen ohjauskanavan kaasua varten kaasun syöttökanavassa ensimmäisen sivuosan ja keskiosan ylävirran sivuseinän välillä, keskiosan ala-seinän ja lasin radan välillä, sekä keskiosan alavirran sivuseinän ja toisen sivuosan välillä, niin että keskiosan 25 alavirran sivuseinä ja toinen sivuosa muodostavat poisto- » · kanavan.

Keksintöä kuvataan, mutta ei rajoiteta seuraavassa selityksessä viitaten oheisiin piirustuksiin.

Kuvio 1 on float-lasin valmistuslaitteen pystyleik-30 kaus, joka esittää pääpiirteittäin (ei mittakaavassa) keksinnön käyttämistä varten tarkoitetun pinnoituslaitteen * sijainnin poikittain lasinauhan kulkurataan nähden.

\ Kuvio 2 on kuviossa 1 esitetyn pinnoittamislaitteen suurennettu pystyleikkaus.

35 5 94521

Kuvio 3 on pystykuva osasta kuvioiden 1 ja 2 pinnoituslaitetta kuvion 2 nuolen III suunnassa grafiittipa-lan 37 ja irrottimen 60 ollessa poistettuina.

Kuvio 4 on etupystykuva irrottimesta 60 kuvion 2 5 nuolen IV suunnassa irrottimen 60 vaakasuorien ohjainosien 56, 57 ollessa poistettuina.

Kuvio 5 on tasokuva irrottimeen 60 kuuluvasta es-teenpoistolaitteesta.

Kuvio 6 on leikkaus pitkin kuvion 5 viivaa VI-VI.

10 Kuvio 1 esittää sulaa lasia, jota syötetään sulaan tina- tai tinaseoskylpyyn 2, joka on säiliörakenteessa 3.

Sulaa metallikylpyä kapeampi lasinauha 4 muodostuu kylvyn pinnalle sulan tinan kannattamana. Nauhaa kuljetetaan eteenpäin pitkin kylpyä kylvyn ulostulon ulkopuolella ole-15 vien vetorullien 5 yli. Suojaava ilmakehä, jossa on esimerkiksi 95 % typpeä ja 5 % vetyä ja joka syötetään katon 9 läpi kokoojasta 11 alaspäin ulottuvien kanavien 8 kautta, vallitsee sulan metallikylvyn yläpuolella olevassa tilassa. Pitkin kylpyä ylläpidetään lämpötilagradienttia, 20 joka muuttuu kylvyn sisäänmenon 12 lämpötilasta noin 1000 °C ulostulon lämpötilaan noin 570 - 650 °C, jossa nauha poistuu kylvystä.

Viitenumerolla 14 yleisesti merkitty kaasun jakelija kaasun syöttämiseksi lasinauhan pinnalle on sijoitettu 25 poikittain nauhan kulkurataan nähden kylvyn poistopäähän päin. Sen vuoksi jakelija ulottuu lasinauhan yläpinnan poikki ja poikittaissuuntaan lasin kulkurataan nähden.

Kuten kuviossa 2 esitetään, käsittää kaasun jakelija 14 ylösalaisen, poikkileikkaukseltaan U:n muotoisen kanava-30 osan 21, jossa on sivuseinät 22, 23 ja yläseinä 24. Osan 21 sisällä olevan kanavan jakaa pystysuora väliseinä 25, * joka on hitsattu osan 21 yläseinään 24. Vaakasuora osa 26 on hitsattu sivuseinän 23 juureen ja ulottuu siitä sisäänpäin ja ulospäin, niin että osan sisäänpäin ulottuva osa 35 muodostaa väliseinän 25, sivuseinän 23 ja yläseinän 24 6 94521 kanssa suorakulmaisen kanavan 27. Vaakasuorat osat 28, 29 ulottuvat sisäänpäin sivuseinästä 22 ja pystysuorasta väliseinästä 25, ja muodostavat väliinsä pitkulaisen aukon 30. Toinen, pienempi ylösalaisin käännetty poikkileikkauk-5 seitaan U:n muotoinen kanavaosa 31 on sijoitettu keskelle sivuseinän 22 ja väliseinän 25 väliä ja sen alareunat on hitsattu vaakasuoriin osiin 28, 29.

Kaksi ylösalaisin käännettyä, poikkileikkaukseltaan U:n muotoista kanavaa 31, 31 muodostavat väliinsä yhdessä 10 vaakasuorien osien 28 ja 29 kanssa poikkileikkaukseltaan U:n muotoisen kanavan 32 jäähdytysnesteen kulkua varten ja suorakulmainen kanava 27 toimii jäähdytysnesteen paluukanavana. U:n muotoisen kanavaosan 31 sisäpinta muodostaa yhdessä vaakasuorien osien 28, 29 viistottujen päiden 15 kanssa pinnoituskaasun syöttökanavan 33, joka avautuu pitkänomaisen aukon 30 kautta kaasuvirran rajoittimeen 34.

Kaasuvirran rajoitin 34 on GB-patenttijulkaisussa 1 507 996 selitetyn kaltainen ja lisäyksityiskohtien ja kuvien suhteen viitataan tuohon selityksen. Se käsittää 20 suuren määrä metallikaistaleita, jotka on pituussuunnassa poimutettu siniaallon muotoon ja kiinnitetty pystysuorassa nojaamaan toisiinsa ulottuen pitkin jakajan pituutta (toisin sanoen poikki pinnoitettavan lasin leveyden). Vierekkäiset poimutetut metallikaistaleet on järjestetty tois-.25 tensa suhteen "epätahtiin", jotta ne muodostaisivat vä- • « liinsä suuren määrän pystysuoria kanavia. Näiden pystyka-navien poikkipinta on pieni verrattuna kaasunsyöttökanavan 33 poikkipintaan, niin että kun pinnoituskaasua syötetään paineen alaisena kanavaan 33, on painehäviö kanavassa 33 30 pieni verrattuna painehäviöön pystykanavissa, ja kaasu-virran rajoitin 34 päästää pinnoituskaasun kaasunsyöttö-’ kanavasta 33 olennaisesti yhdenmukaisessa paineessa pitkin kanavan pituutta. Ylävirrassa, keskellä ja alavirrassa ulottuvat muodostetut grafiittipalat 35, 36 ja 37 pinnoi-35 tettavan lasin leveyden poikki. Ylävirran grafiittipala 35 7 94521 on kiinnitetty pulteilla (ei esitetä) vaakasuoriin osiin 26 ja 29. Alavirran grafiittipala on samalla tavoin kiinnitetty pulteilla 48, jotka kulkevat välikkeiden 40 (kuviot 2, 3) läpi, jotka on jaettu jakelijan leveyden poik-5 ki, toisistaan erillään oleviin teräspaloihin 38, jotka on hitsattu U:n muotoisen kanavaosan 21 sivuosan 23 ulkopintaan. Yläsarja toisistaan erillään olevia teräspaloja 39 on hitsattu ulkopintaan 23 U:n muotoisessa kanavaosassa 21, joka on alateräspalojen 38 yläpuolella. Neljäs muodos-10 tettu grafiittipala 41 on keskipalan 36 ulkoreunalla ja on kiinnitetty pulteilla 49 alateräspalaan 38. Viides muodostettu grafiittipala 42 on palan 41 päällä ja on kiinnitetty pulteilla 50 yläteräspaloihin 39. Grafiittipalat 41 ja 42 ulottuvat pinnoitettavan lasin leveyden poikki.

15 Grafiittipalat 35 ja 37 muodostavat ensimmäiset sivuosat, jotka yhdessä keskipalan kanssa muodostavat olennaisesti U:n muotoisen ohjauskanavan 47a, 47b, 47c pinnoituskaasulle, joka virtaa kaasun syöttökanavasta 33 kaasunvirran rajoittimen 34 kautta grafiittipalan 35 ja 20 keskipalan ylävirran seinän välistä, keskipalan alaseinän ja lasin radan välistä sekä keskipalan alavirran sivuseinän ja grafiittipalan 37 välistä. U:n muotoisen ohjauskanavan osa 47b, joka muodostuu keskipalan alaseinän lasin radan väliin, muodostaa pinnoitusvyöhykkeen. Grafiittipa-25 lassa 37 on pinta 43, joka on vastapäätä ja lähellä lasipintaa, jolle mainitusta käytetystä pinnoituskaasusta pyrkii muodostumaan pinnoite tämän keksinnön inertiakaasuvir-ran poissaollessa. Palassa 38 on kupera, kaareva pinta 45, joka on pinnan 43 jatke ja muodostaa poistokanavan alavir-30 ran seinän alaosan.

Muodostetut grafiittipalat 41 ja 42 muodostavat yh- * dessä alavirran palan 37 kanssa poistokanavan jatkeen 44.

Viitenumerolla 60 yleisesti merkitty poistin on asennettu kaasun jakelijan alavirtaan kaasun poistamiseksi poisto-35 kanavasta.

8 94521

Jakelijassa on myös grafiitista tehdyt päätykappaleet, jotka ovat kosketuksessa muodostettujen grafiitti-kappaleiden poikittaispintoihin 35, 36, 37, 41 ja 42, jotka muodostavat kanavien 47a, 47b, 47c ja 44 poikittaisreu-5 nat, jotka estävät pinnoituskaasua pääsemästä ulos jakelijan päissä.

Poistin 60 (ks. kuvioita 2 ja 4) käsittää neliön muotoisen, poikkileikkaukseltaan onton, päistään 62, 63 suljetun teräsosan 61, jonka etupintaan on leikattu rako 10 64, joka loppuu lähellä päitä. Vaakasuorat ohjainosat 56, 57, joiden pystylaipat 58, 59 nojaavat grafiittipalojen 42, 37 pystysuoriin pintoihin, on hitsattu etupintaan osassa 61, joka on yläpuolella ja alapuolella rakoa, joka muodostaa kaasuvirtaradan 55, joka muodostaa edelleen jat-15 kon poistokanavaan osassa 61 olevaan rakoon 64. Ohjainosi-en 56 ja 57 pystyreunojen kanssa kosketuksessa olevat päätylevyt muodostavat virtausradan 55 poikittaisreunat, jotka estävät käytettyä kaasua pääsemästä ulos jakelijan reunoista.

20 Suorakulmainen, poikkileikkaukseltaan ontto osa 65 (kuvio 2), jonka etupintaan on leikattu rako 54, joka päättyy raon 64 päiden tasalle, on kiinnitetty keskelle osaa 61 terästankojen 66 avulla. Rakojen 64, 54 yläpuolella olevat vaakasuorat levyt 67 ja 68 on hitsattu sisäosan 25 61 etupintaan ja osan 61 sisätakapintaan. Vaakasuora levy 69 on hitsattu osan 65 ulkotakapintaan ja osan 61 sisätakapintaan. Poikkileikkaukseltaan onton suorakulmion muotoinen osa 65 muodostaa yläsivun alakanavassa 70, jossa osan 61 jäähdytysvesi virtaa. Tulo- ja poistokanavat 72, 30 73 avautuvat kanaviin 70, 71. Poikkileikkaukseltaan suora kulmainen ontto osa 65 muodostaa vedellä jäähdytetyn kaa-' sunpoistokanavan 74 poikki pinnoituslaitteen leveyden ja on liitetty poistokanavilla 75, 76 (kuvio 4) pienpainetyh-j öpumppuun.

35 9 94521

Kuten kuviossa 4 esitetään, on osassa 6 oleva rako 64 suljettu toisistaan erillään olevilla levyillä 77 pitkin kanavan etuosaa. Peitelevyjen 77 pituus pienenee kohti raon keskusta, jotta varmistettaisiin mahdollisuuksien mu-5 kaan tasainen imuvaikutus pitkin poistimen leveyttä, kun tyhjö saatetaan vaikuttamaan poistokanavien 75, 76 kautta.

Osan 61 etupintaan on hitsattu vaakasuorat teräskaistaleet 78, 79 peitelevyjen 77 ylä- ja alapuolelle, joissa peite-levyissä on levyt 80, joissa on raot 81 (joista kaikkia ei 10 ole numeroitu) peitelevyjen 77 aukkojen päällä raossa 64.

Raot 81 muodostavat kaasuvirtaradan poistokanavasta hiili-palojen ja vaakasuorien ohjainosien 56, 57 välille raon 64 kautta kanavaan 82, joka muodostuu osassa 61 olevien vaakasuorien levyjen 67, 68 väliin ja siten poistokanavaan 15 74, joka on poikkileikkaukseltaan suorakulmaisessa ontossa osassa 65.

Käytössä pyrkivät rakolevyissä 80 olevat raot 81 tulemaan käytetystä pinnoituskaasusta kerrostuvien kiinteiden aineiden osittain tukkimiksi. Sellaisten kerrostu-20 mien poistamiseksi on raot varustettu tapeilla 83, jotka on asennettu liikkumaan edestakaisin raoissa. Kukin tappi 83 on kiinnitetty palaan 84 (ks. kuviot 2, 5 ja 6) ja ulottuu läpi raon 81. Paloja 84 yhdistävät vaakasuorat ylä- ja alateräsliuskat 85, 86, jotka on upotettu paloissa ,25 84 oleviin rakoihin. Kaistaleet 85, 86 on sijoitettu poik- kileikkaukseltaan suorakulmaisen sisäetupinnan 65 (ks. kuvio 2) ja poikkileikkaukseltaan suorakulmaisen osan 65 sisällä olevien, pystysuorien sauvojen erottamien vaakasuorien ylä- ja alalevyjen väliin. Vaakasuorat osat 85 ja 30 86 on liitetty kahvoihin 91, 92, jotka ulottuvat osan 65 päiden ohi (kuvio 4). Kaistaleiden 85 ja 86 edestakainen liike osien 65 sisällä kahvojen 91, 92 vaikutuksesta liikuttaa tappeja 83 edestakaisin levyissä 83 olevissa raoissa 81 poistaen kaikki kerrostumat rakojen sivuista ja es-35 täen tukkeutumisen, joka muutoin voisi tapahtua. Pienpai- • r ίο 94521 netyhjöpumppuun (ei esitetä) yhdistetty poistin muodostaa imun, joka vetää kaasun pitkin poistokanavaa ja käytettäessä vaihtelevan pituisia peitelevyjä 77, sopii muodostamaan yhdenmukaisen imunvaikutuksen poikki poistokanavan 5 leveyden.

Kumpikin grafiittipala 35 ja 37, kuten keskipala 36 on erossa lasinauhan float-kylvyn yli kulkevasta kulkuradasta. Palan 37 alapinnan 43 ja lasipinnankulkuradan välinen optimirako vaihtelee käytetyn pinnoituskaasun ja pin-10 noitusolosuhteiden mukaan, mutta on yleensä vähintään 5 mm, jotta kylvyn ilmakehä pääsisi pinnan 43 ja lasipinnan väliin. Kuviossa 2 esitetyssä laitteessa päättyy toinen, grafiittipalan 37 muodostama sivuosa lähellä lasin pintaa, etäisyydellä, joka on noin sama kuin U:n muotoisen 15 ohjauskanavan 47b korkeus pinnoitusvyöhykkeessä keskipalan alaseinän ja lasin pinnan kulkuradan välissä. Sen vuoksi on kylvyn ilmakehän pinnan 43 yläpuolella pinnan 43 ja lasipinnan välillä sekä poistokanavan sisään muodostuvan kylpyilmakehän tilavuusvirran nopeus sama kuin käytetyn 20 pinnoituskaasun tilavuusvirran nopeus poistokanavaan.

Käytössä säädetään pinnoituskaasun syöttönopeus muodostamaan pinnoituskaasun laminaarinen virtaus lasin pinnan suuntaiseksi keskipalan 36 alla. Samanaikaisesti valitaan palan 37 korkeus yhdessä poistimen 60 kohdistaman . 25 imun kanssa vetämään kylpyilmakehävirta palan 37 alapinnan • · 43 ja lasinauhan 4 väliin. Kaarevuus pinnassa 45, joka on palan 37 pinnan 43 jatke, on samanlainen ja suunnilleen keskipalan 36 alavirran peilikuva ja muodostaa tasaisen kylpyilmakehän virtauksen sen yli sekoittamatta käytettyä 30 pinnoituskaasua ja kylpyilmakehää pinnoitusvyöhykkeessä tai poistokanavan alaosassa, mikä saattaisi rikkoa pinnoi-tuskaasun yhdenmukaisen, keskipalan 36 alla olevan lasipinnan suuntaisen laminaarivirtauksen ja siten vaikuttaa pinnoituksen yhdenmukaisuuteen.

4 35 il 94521

Poistimessa 60 olevat raot 81 käytetyn pinnoitus-kaasun poistamiseksi on sijoitettu toisistaan erilleen * siten, että ne varmistavat, että olennaisesti yhdenmukai nen imu kohdistuu poistokanavaan pinnoitettavan lasinauhan 5 leveyden poikki, niin että pinnoitus on yhdenmukainen lasin leveyden poikki. Tarpeen vaatiessa liikutetaan kahvoja 91 ja 92 edestakaisin tappien 83 siirtämiseksi edestakaisin raoissa 81, jotta estettäisiin pinnoituskaasua muodostamasta kerrostumia ja tukkimasta rakoja. Keksintö tekee 10 mahdolliseksi käyttää pinnoitusprosessia pitkään, ilman että tarvitaan jatkuvasti keskeytyksiä kerrostumien puhdistamiseksi käytettyä pinnoituskaasua pois lasin pinnasta ohjaavista välineistä. Esimerkiksi käytettiin selitettyä laitetta 6 mm laakalasin pinnoittamiseen heijastavalla 15 piipinnoitteella jatkuvasti 17 tunnin ajan, ilman että oli tarvetta pysäyttää prosessia piikerrostumien poistamiseksi laitteesta.

Käsitettä "käytetty pinnoituskaasu" käytetään tässä viittaamaan kaasuun, jota on käytetty lasin pinnoituksen.

20 Se ei merkitse, että kaikki kaasussa olevat aineosat on välttämättä käytetty, ja itse asiassa voi poistokanavan kautta poistettu pinnoituskaasu sisältää merkittäviä määriä reagoimattomia komponentteja.

Claims (11)

12 94521

1. Menetelmä laakalasin pinnoittamiseksi kemiallisella höyrykerrostumalla, jossa menetelmässä pinnoituskaa- 5 su saatetaan virtaamaan kuuman lasipinnan yli pinnoitus-vyöhykkeellä (47b) ja käytetty kaasu ohjataan pois lasista poistokanavaa (47c) pitkin pinnoitusvyöhykkeen alavirta-päässä ohjausvälineellä (37), joka käsittää lasin pinnan lähellä olevan pinnan (43) ja poistokanavan alavirtaseinä-10 män rajaavan pinnan (45), joka on jatkuva lasin pinnan lähellä olevan pinnan (43) kanssa, tunnettu siitä, että ohjataan inertti kaasuvirta poistokanavaan (47c) kohdistetulla imulla ohjausvälineen (37) mainitun pinnan (43) yli estämään käytetyn kaasun kerrostuman muodostumista 15 mainitulle pinnalle, ja että ohjausväline (37) on muodostettu saamaan aikaan inertin kaasun tasainen virtaus ohjausvälineen pintojen yli sekoittamatta käytettyä kaasua ja inerttiä kaasua pinnoitusvyöhykkeessä (47b).

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, t u n-20 n e t t u siitä, että inertti kaasuvirta muodostuu ilmakehästä, joka ympäröi pinnoitusasemaa, jossa pinnoitus suoritetaan.

3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että pinnoite päällystetään laakalasi- 25 nauhaan tämän liikkuessa eteenpäin float-kylvyn yli ja • · inertti kaasuvirta muodostuu float-kylvyn suojäävästä ilmakehästä .

4. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että reagoiva kaasu kä- 30 sittää silaania. . . 5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen menetelmä, tun nettu siitä, että lasille pinnoitetaan heijastava piipinnoite.

6. Patenttivaatimuksen 4 mukainen menetelmä, t u n-35 n e t t u siitä, että lasille pinnoitetaan pinnoite, joka i3 94521 käsittää piitä ja happea ja jolla on suuri valonläpäise-vyys, estepinnoitteeksi estämään alkalimetalli-ionien poiskulkeutumista lasipinnasta.

7. Laite laakalasin pinnoittamiseksi pinnoituskaa-5 susta muodostuvalla kerrostumalla, joka laite käsittää kannattimen (2) lasia varten, välineen (15) lasin siirtämiseksi eteenpäin kannattimella (2), kaasunsyöttökanavan (33), joka kulkee kohtisuorassa lasin (4) kulkurataan nähden ja joka on järjestetty suuntaamaan pinnoituskaasu pin-10 noitusvyöhykkeessä (47b) olevalle kuumalle pinnalle, ohjausvälineen (37), joka käsittää lähellä lasin pintaa olevan pinnan (43) käytetyn kaasun ohjaamiseksi pois lasista pinnoitusvyöhykkeen alavirrassa, poistokanavan (47c) käytetyn pinnoituskaasun virtauttamiseksi pois lasin pinnasta 15 sekä imuvälineen (60) käytetyn kaasun keräämiseksi poisto-kanavasta, tunnettu siitä, että imuväline (60) on liitetty poistokanavaan (47c) ja ohjausvälineen mainittu pinta (43) on erillään kaasun kulkuradasta inertin kaasu-virran johtamiseksi pinnan (43) yli käyttämällä imuväli-20 nettä, ja että ohjausväline (37) käsittää pinnan (45), joka muodostaa poistokanavan alavirran seinän, joka on mainitun, lasia (4) lähellä olevan pinnan (43) jatke ja jonka muoto tasoittaa sen yli virtaavan inertin kaasun virtaa, ilman että inertti kaasu ja käytetty pinnoituskaa-25 su sekoittuisivat pinnoitusvyöhykkeessä (47b).

8. Patenttivaatimuksen 7 mukainen laite, tunnettu siitä, että lasia lähellä oleva pinta (43) on ainakin 5 mm etäisyydellä lasin pinnan kulkuradasta.

9. Jonkin patenttivaatimuksen 7 tai 8 mukainen lai-30 te, tunnettu siitä, että se käsittää keskiosan (36) ja keskiosan sivuille sijoitetut sivuosat (35, 37), i jotka muodostavat olennaisesti U:n muotoisen ohjauskanavan (47a, 47b, 47c) kaasua varten kaasun syöttökanavassa ensimmäisen sivuosan (35) ja keskiosan (36) ylävirran sivu-35 seinän välillä, keskiosan (36) alaseinän ja lasin (4) ra- i4 94521 dan välillä, sekä keskiosan (36) alavirran sivuseinän ja toisen sivuosan (37) välillä, niin että keskiosan (36) alavirran sivuseinä ja toinen sivuosa (37) muodostavat poistokanavan.

10. Patenttivaatimuksen 9 mukainen laite, tun nettu siitä, että lasin lähellä oleva sivuosan pinta on lasin pinnan kulkuradasta etäisyydellä, joka on suunnilleen sama kuin keskiosan (36) alaseinän ja lasin (4) pinnan kulkuradan välissä olevan U:n muotoisen ohjauskana-10 van (47b) korkeus.

11. Patenttivaatimuksen 10 mukainen laite, tunnettu siitä, että mainittu etäisyys on vähintään 5 mm. 15 94521