FI20095976A0 - Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot -interferometri ja menetelmä sen tuottamiseksi - Google Patents

Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot -interferometri ja menetelmä sen tuottamiseksi

Info

Publication number
FI20095976A0
FI20095976A0 FI20095976A FI20095976A FI20095976A0 FI 20095976 A0 FI20095976 A0 FI 20095976A0 FI 20095976 A FI20095976 A FI 20095976A FI 20095976 A FI20095976 A FI 20095976A FI 20095976 A0 FI20095976 A0 FI 20095976A0
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
production
perot interferometer
adjustable fabry
micromechanically
micromechanically adjustable
Prior art date
Application number
FI20095976A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Swedish (sv)
Inventor
Martti Blomberg
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to FI20095976A priority Critical patent/FI20095976A0/fi
Publication of FI20095976A0 publication Critical patent/FI20095976A0/fi
Priority to EP10818467.2A priority patent/EP2480867B1/en
Priority to PCT/FI2010/050739 priority patent/WO2011036346A1/en
Priority to US13/498,143 priority patent/US8995044B2/en
Priority to JP2012530300A priority patent/JP5685257B2/ja

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0243—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows having a through-hole enabling the optical element to fulfil an additional optical function, e.g. a mirror or grating having a throughhole for a light collecting or light injecting optical fiber
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Micromachines (AREA)
FI20095976A 2009-09-24 2009-09-24 Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot -interferometri ja menetelmä sen tuottamiseksi FI20095976A0 (fi)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20095976A FI20095976A0 (fi) 2009-09-24 2009-09-24 Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot -interferometri ja menetelmä sen tuottamiseksi
EP10818467.2A EP2480867B1 (en) 2009-09-24 2010-09-24 Micromechanical tunable fabry-perot interferometer and a method for producing the same
PCT/FI2010/050739 WO2011036346A1 (en) 2009-09-24 2010-09-24 Micromechanical tunable fabry-perot interferometer and a method for producing the same
US13/498,143 US8995044B2 (en) 2009-09-24 2010-09-24 Micromechanical tunable Fabry-Perot interferometer and a method for producing the same
JP2012530300A JP5685257B2 (ja) 2009-09-24 2010-09-24 マイクロメカニカル可変同調型ファブリー・ペロー干渉計及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20095976A FI20095976A0 (fi) 2009-09-24 2009-09-24 Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot -interferometri ja menetelmä sen tuottamiseksi

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FI20095976A0 true FI20095976A0 (fi) 2009-09-24

Family

ID=41136437

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20095976A FI20095976A0 (fi) 2009-09-24 2009-09-24 Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot -interferometri ja menetelmä sen tuottamiseksi

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8995044B2 (enExample)
EP (1) EP2480867B1 (enExample)
JP (1) JP5685257B2 (enExample)
FI (1) FI20095976A0 (enExample)
WO (1) WO2011036346A1 (enExample)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI125897B (fi) 2011-06-06 2016-03-31 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot-interferometri ja menetelmä sen valmistamiseksi
FI125368B (en) * 2012-06-08 2015-09-15 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Micromechanically adjustable Fabry-Perot interferometer system and method for achieving this
JP6211833B2 (ja) * 2013-07-02 2017-10-11 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ
JP6356427B2 (ja) 2014-02-13 2018-07-11 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ
JP6292055B2 (ja) * 2014-06-26 2018-03-14 株式会社デンソー ファブリペロー干渉計の製造方法
TWI581004B (zh) 2015-11-18 2017-05-01 財團法人工業技術研究院 可調式光學裝置
JP6341959B2 (ja) 2016-05-27 2018-06-13 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタの製造方法
FI3467565T3 (fi) 2016-05-27 2024-03-19 Hamamatsu Photonics Kk Tuotantomenetelmä Fabryn-Perot’n interferenssisuodatinta varten
CN109196405B (zh) 2016-05-27 2021-09-10 浜松光子学株式会社 法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法
JP6861214B2 (ja) * 2016-08-24 2021-04-21 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ
KR102508597B1 (ko) 2016-08-24 2023-03-13 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 패브리 페로 간섭 필터
KR20240052898A (ko) 2017-11-17 2024-04-23 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 흡착 방법
JP6899314B2 (ja) 2017-11-17 2021-07-07 浜松ホトニクス株式会社 吸着方法
JP7313115B2 (ja) 2017-11-24 2023-07-24 浜松ホトニクス株式会社 光検査装置及び光検査方法
JP6983633B2 (ja) 2017-11-24 2021-12-17 浜松ホトニクス株式会社 ウェハの検査方法、及びウェハ
JP7131901B2 (ja) 2017-11-24 2022-09-06 浜松ホトニクス株式会社 運搬方法
JP6526771B1 (ja) 2017-11-24 2019-06-05 浜松ホトニクス株式会社 ウェハ
JP6517309B1 (ja) 2017-11-24 2019-05-22 浜松ホトニクス株式会社 異物除去方法、及び光検出装置の製造方法
JP7025903B2 (ja) 2017-11-24 2022-02-25 浜松ホトニクス株式会社 電気的検査方法
JP6710721B2 (ja) * 2018-06-14 2020-06-17 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ
DE102018211325A1 (de) * 2018-07-10 2020-01-16 Robert Bosch Gmbh Fabry-Perot-Interferometer-Einheit und Verfahren zur Herstellung einer Fabry-Perot-Interferometer-Einheit
JP7120543B2 (ja) * 2018-08-22 2022-08-17 日清紡マイクロデバイス株式会社 Ｍｅｍｓ素子の製造方法
DE102019203932A1 (de) * 2019-03-22 2020-09-24 Robert Bosch Gmbh Interferometereinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Interferometereinrichtung
DE102019206758A1 (de) * 2019-05-10 2020-11-12 Robert Bosch Gmbh Spiegeleinrichtung für eine Interferometereinrichtung, Interferometereinrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Spiegeleinrichtung
DE102019217184A1 (de) 2019-11-07 2021-05-12 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Zwischenkomponente in einer mikromechanischen Fabry-Perot-Interferometervorrichtung, Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Fabry-Perot-Interferometervorrichtung und mikromechanische Fabry-Perot-Interferometervorrichtung
CN111924797B (zh) * 2020-09-29 2021-01-08 深圳市海谱纳米光学科技有限公司 一种具有可动镜面的法珀腔器件及其制作工艺

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI94804C (fi) * 1994-02-17 1995-10-25 Vaisala Oy Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot-interferometri käytettäväksi optisessa materiaalianalyysissä
FI98325C (fi) * 1994-07-07 1997-05-26 Vaisala Oy Selektiivinen infrapunadetektori
US6324192B1 (en) * 1995-09-29 2001-11-27 Coretek, Inc. Electrically tunable fabry-perot structure utilizing a deformable multi-layer mirror and method of making the same
FR2768812B1 (fr) * 1997-09-19 1999-10-22 Commissariat Energie Atomique Interferometre fabry-perot accordable integre
FR2832512B1 (fr) * 2001-11-16 2004-01-02 Atmel Grenoble Sa Composant de filtrage optique accordable
JP2005025020A (ja) * 2003-07-04 2005-01-27 Seiko Epson Corp 波長可変干渉フィルタ及びその製造方法
EP2032956A2 (en) * 2006-05-23 2009-03-11 Regents Of The University Of Minnesota Tunable finesse infrared cavity thermal detectors
JP4784495B2 (ja) * 2006-11-28 2011-10-05 株式会社デンソー 光学多層膜ミラーおよびそれを備えたファブリペロー干渉計
JP5050922B2 (ja) 2008-02-27 2012-10-17 株式会社デンソー ファブリペロー干渉計
JP5067209B2 (ja) * 2008-03-06 2012-11-07 株式会社デンソー ファブリペロー干渉計

Also Published As

Publication number Publication date
US20120181647A1 (en) 2012-07-19
EP2480867A1 (en) 2012-08-01
WO2011036346A1 (en) 2011-03-31
EP2480867B1 (en) 2023-09-20
JP2013506154A (ja) 2013-02-21
EP2480867A4 (en) 2018-01-03
JP5685257B2 (ja) 2015-03-18
US8995044B2 (en) 2015-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI20095976A0 (fi) Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot -interferometri ja menetelmä sen tuottamiseksi
FI20115545L (fi) Mikromekaaninen säädettävä Fabry-Perot-interferometri ja menetelmä sen valmistamiseksi
FI20095602A0 (fi) Mikromekaaninen säädettävä Fabry-Perot -interferometri, välituote sekä menetelmä niiden valmistamiseksi
FI20125495L (fi) Fabry-Perot -interferometri ja menetelmä sen valmistamiseksi
DE112009001192A5 (de) Optischer interferometrischer Drucksensor
FI20105849A0 (fi) Mikromekaaninen resonaattorijärjestelmä ja menetelmä sen valmistamiseksi
FI20105851L (fi) Mikromekaaninen resonaattori ja menetelmä sen valmistamiseksi
FI20095068A0 (fi) Parannettu sähköisesti säädettävä Fabry-Perot-interferometri, välituote, elektrodijärjestely ja menetelmä sähköisesti säädettävän Fabry-Perot-interferometrin tuottamiseksi
FI20126227L (fi) Muotoiltava kuitutuote ja menetelmä sen valmistamiseksi
HUE060371T2 (hu) Az L-ornitin-fenil-acetát és az elõállítására szolgáló eljárások
DK3260457T3 (da) Fremgangsmåde til at fremstille carbamoylpyridonderivater og -mellemprodukter
BRPI1010668A2 (pt) sensor ótico de método de uso
EP2323554A4 (en) SPECTROSCOPIC SENSORS
FI20135666L (fi) Peili Fabry-Perot-interferometriä varten ja menetelmä sen valmistamiseksi
FI20070569A0 (fi) Uusi stabiili tuote ja menetelmä sen valmistamiseksi
BRPI0920540A2 (pt) método de produção de álcool
FI20105626A0 (fi) Erittäin ohut berylliumikkuna ja menetelmä sen valmistamiseksi
BR112012032494A2 (pt) produto, utilizaçõa e método de produção de um produto
BRPI0908183A2 (pt) membro embalado e método de produção do mesmo
EP2778120A4 (en) MEMS SENSOR PACKAGING AND METHOD THEREFOR
BR112012028076A2 (pt) sensores interferométricos de múltiplos intervalos
FI20095500L (fi) Tuote ja menetelmä sen valmistamiseksi
FI20086180A0 (fi) Menetelmä pintojen interferometriseksi havaitsemiseksi
FI20090142A0 (fi) Uudet menetelmät ja tuotteet
EP2346083A4 (en) MEMS SENSOR

Legal Events

Date Code Title Description
FD Application lapsed