FI20095976A0 - Mikromekanisk reglerbar Fabry-Perot interferometer och en metod för att producera den - Google Patents

Mikromekanisk reglerbar Fabry-Perot interferometer och en metod för att producera den

Info

Publication number
FI20095976A0
FI20095976A0 FI20095976A FI20095976A FI20095976A0 FI 20095976 A0 FI20095976 A0 FI 20095976A0 FI 20095976 A FI20095976 A FI 20095976A FI 20095976 A FI20095976 A FI 20095976A FI 20095976 A0 FI20095976 A0 FI 20095976A0
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
production
perot interferometer
adjustable fabry
micromechanically
micromechanically adjustable
Prior art date
Application number
FI20095976A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Inventor
Martti Blomberg
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to FI20095976A priority Critical patent/FI20095976A0/sv
Publication of FI20095976A0 publication Critical patent/FI20095976A0/sv
Priority to PCT/FI2010/050739 priority patent/WO2011036346A1/en
Priority to US13/498,143 priority patent/US8995044B2/en
Priority to EP10818467.2A priority patent/EP2480867B1/en
Priority to JP2012530300A priority patent/JP5685257B2/ja

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0243—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows having a through-hole enabling the optical element to fulfil an additional optical function, e.g. a mirror or grating having a throughhole for a light collecting or light injecting optical fiber
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Micromachines (AREA)
FI20095976A 2009-09-24 2009-09-24 Mikromekanisk reglerbar Fabry-Perot interferometer och en metod för att producera den FI20095976A0 (sv)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20095976A FI20095976A0 (sv) 2009-09-24 2009-09-24 Mikromekanisk reglerbar Fabry-Perot interferometer och en metod för att producera den
PCT/FI2010/050739 WO2011036346A1 (en) 2009-09-24 2010-09-24 Micromechanical tunable fabry-perot interferometer and a method for producing the same
US13/498,143 US8995044B2 (en) 2009-09-24 2010-09-24 Micromechanical tunable Fabry-Perot interferometer and a method for producing the same
EP10818467.2A EP2480867B1 (en) 2009-09-24 2010-09-24 Micromechanical tunable fabry-perot interferometer and a method for producing the same
JP2012530300A JP5685257B2 (ja) 2009-09-24 2010-09-24 マイクロメカニカル可変同調型ファブリー・ペロー干渉計及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20095976A FI20095976A0 (sv) 2009-09-24 2009-09-24 Mikromekanisk reglerbar Fabry-Perot interferometer och en metod för att producera den

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FI20095976A0 true FI20095976A0 (sv) 2009-09-24

Family

ID=41136437

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20095976A FI20095976A0 (sv) 2009-09-24 2009-09-24 Mikromekanisk reglerbar Fabry-Perot interferometer och en metod för att producera den

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8995044B2 (sv)
EP (1) EP2480867B1 (sv)
JP (1) JP5685257B2 (sv)
FI (1) FI20095976A0 (sv)
WO (1) WO2011036346A1 (sv)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI125897B (sv) 2011-06-06 2016-03-31 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Mikromekaniskt inställbar Fabry-Perot-interferometer och förfarande för tillverkning av densamma
FI125368B (sv) * 2012-06-08 2015-09-15 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Mikromekaniskt avstämbart Fabry-Perot-interferometersystem och förfarande för att producera detta
JP6211833B2 (ja) * 2013-07-02 2017-10-11 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ
JP6356427B2 (ja) 2014-02-13 2018-07-11 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ
JP6292055B2 (ja) * 2014-06-26 2018-03-14 株式会社デンソー ファブリペロー干渉計の製造方法
TWI581004B (zh) 2015-11-18 2017-05-01 財團法人工業技術研究院 可調式光學裝置
JP7018873B2 (ja) 2016-05-27 2022-02-14 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタの製造方法
KR102361550B1 (ko) 2016-05-27 2022-02-10 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 패브리 페로 간섭 필터의 제조 방법
JP6341959B2 (ja) 2016-05-27 2018-06-13 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタの製造方法
CN109477958A (zh) 2016-08-24 2019-03-15 浜松光子学株式会社 法布里-珀罗干涉滤光器
JP6861214B2 (ja) * 2016-08-24 2021-04-21 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ
EP3712929B1 (en) 2017-11-17 2023-09-13 Hamamatsu Photonics K.K. Suction method
JP6899314B2 (ja) 2017-11-17 2021-07-07 浜松ホトニクス株式会社 吸着方法
JP6983633B2 (ja) 2017-11-24 2021-12-17 浜松ホトニクス株式会社 ウェハの検査方法、及びウェハ
JP6517309B1 (ja) 2017-11-24 2019-05-22 浜松ホトニクス株式会社 異物除去方法、及び光検出装置の製造方法
JP7131901B2 (ja) 2017-11-24 2022-09-06 浜松ホトニクス株式会社 運搬方法
JP7025903B2 (ja) 2017-11-24 2022-02-25 浜松ホトニクス株式会社 電気的検査方法
JP7313115B2 (ja) 2017-11-24 2023-07-24 浜松ホトニクス株式会社 光検査装置及び光検査方法
JP6526771B1 (ja) 2017-11-24 2019-06-05 浜松ホトニクス株式会社 ウェハ
JP6710721B2 (ja) * 2018-06-14 2020-06-17 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ
DE102018211325A1 (de) * 2018-07-10 2020-01-16 Robert Bosch Gmbh Fabry-Perot-Interferometer-Einheit und Verfahren zur Herstellung einer Fabry-Perot-Interferometer-Einheit
JP7120543B2 (ja) * 2018-08-22 2022-08-17 日清紡マイクロデバイス株式会社 Ｍｅｍｓ素子の製造方法
DE102019203932A1 (de) * 2019-03-22 2020-09-24 Robert Bosch Gmbh Interferometereinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Interferometereinrichtung
DE102019206758A1 (de) * 2019-05-10 2020-11-12 Robert Bosch Gmbh Spiegeleinrichtung für eine Interferometereinrichtung, Interferometereinrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Spiegeleinrichtung
DE102019217184A1 (de) * 2019-11-07 2021-05-12 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Zwischenkomponente in einer mikromechanischen Fabry-Perot-Interferometervorrichtung, Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Fabry-Perot-Interferometervorrichtung und mikromechanische Fabry-Perot-Interferometervorrichtung
CN111924797B (zh) * 2020-09-29 2021-01-08 深圳市海谱纳米光学科技有限公司 一种具有可动镜面的法珀腔器件及其制作工艺

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI94804C (sv) 1994-02-17 1995-10-25 Vaisala Oy Elektriskt reglerbar ytmikromekanisk Fabry-Perot-interferometer för optisk materialanalys
FI98325C (sv) * 1994-07-07 1997-05-26 Vaisala Oy Selektiv infraröddetektor
US6324192B1 (en) * 1995-09-29 2001-11-27 Coretek, Inc. Electrically tunable fabry-perot structure utilizing a deformable multi-layer mirror and method of making the same
FR2768812B1 (fr) * 1997-09-19 1999-10-22 Commissariat Energie Atomique Interferometre fabry-perot accordable integre
FR2832512B1 (fr) * 2001-11-16 2004-01-02 Atmel Grenoble Sa Composant de filtrage optique accordable
JP2005025020A (ja) * 2003-07-04 2005-01-27 Seiko Epson Corp 波長可変干渉フィルタ及びその製造方法
US7968846B2 (en) * 2006-05-23 2011-06-28 Regents Of The University Of Minnesota Tunable finesse infrared cavity thermal detectors
JP4784495B2 (ja) * 2006-11-28 2011-10-05 株式会社デンソー 光学多層膜ミラーおよびそれを備えたファブリペロー干渉計
JP5050922B2 (ja) * 2008-02-27 2012-10-17 株式会社デンソー ファブリペロー干渉計
JP5067209B2 (ja) * 2008-03-06 2012-11-07 株式会社デンソー ファブリペロー干渉計

Also Published As

Publication number Publication date
JP5685257B2 (ja) 2015-03-18
EP2480867A1 (en) 2012-08-01
EP2480867B1 (en) 2023-09-20
US8995044B2 (en) 2015-03-31
EP2480867A4 (en) 2018-01-03
WO2011036346A1 (en) 2011-03-31
US20120181647A1 (en) 2012-07-19
JP2013506154A (ja) 2013-02-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI20095976A0 (sv) Mikromekanisk reglerbar Fabry-Perot interferometer och en metod för att producera den
FI20095602A (sv) Mikromekanisk reglerbar Fabry-Perot -interferometer, mellanprodukt samt förfarande för tillverkning av desamma
DE112009001192A5 (de) Optischer interferometrischer Drucksensor
DK3260457T3 (da) Fremgangsmåde til at fremstille carbamoylpyridonderivater og -mellemprodukter
FI20095068A0 (sv) Förbättrad elektronisk reglerad Fabry-Perot interferometer, en mellanprodukt, ett elektrodsystem och en metod för att producera en elektronisk reglerad Fabry-Perot interferometer
BRPI1010668A2 (pt) sensor ótico de método de uso
FI20125014A (sv) Arrangemang och motsvarande förfarande för optiska mätningar
FI20135666A (sv) Spegel för en Fabry-Perot-interferometer samt förfarande för tillverkning av densamma
FI20070569A0 (sv) Ny stabil produkt och förfarande för dess framställning
BRPI0920540A2 (pt) método de produção de álcool
BRPI1006633A2 (pt) bolo liofilizado, metodo para a fabricação de um bolo liofilizado e uso de bolo liofilizado
IT1392524B1 (it) Metodo per misure radar interferometriche
BR112015002755A2 (pt) derivado de ácido hialurônico, método de preparação de derivado de ácido hialurônico, método de modificação de derivado de ácido hialurônico e uso de derivados
BR112012032494A2 (pt) produto, utilizaçõa e método de produção de um produto
BR112012028076A2 (pt) sensores interferométricos de múltiplos intervalos
FI20095500A0 (sv) Produkt och förfarande för framställning därav
BRPI0908183A2 (pt) membro embalado e método de produção do mesmo
FI20086180A0 (sv) Förfarande för interferometrisk detektering av ytor
FI20090142A0 (sv) Nya metoder och produkter
BR112014009888A2 (pt) estrutura micromecânica e sensor de pressão diferencial
NL1037087A1 (nl) Interferometer calibration system and method.
BRPI0923001A2 (pt) método de produção de lipossomas pequenos
BRPI0908920A2 (pt) Sensor para detecção de uma grandeza física e processo para produção do sensor
FI20115851A0 (sv) Produkt och förfarande för framställning därav
FI20096106A0 (sv) Förfarande för tillverkning av en kompositprodukt, kompositprodukt och användning därav

Legal Events

Date Code Title Description
FD Application lapsed