FI118180B - Optisille pinnoille soveltuva kiillotusformulaatio - Google Patents

Description

118180

Optisille pinnoille soveltuva kiillotusformulaatio

Keksinnön tausta f

Esillä oleva keksintö koskee formulaatioita, jotka soveltuvat optisten pintojen kiillotukseen. Kiillotettava pinta voi olla lasi tai muovi.

5 On tunnettua, että tyydyttävän optisen pinnan aikaansaamiseksi on välttämätöntä, että pinta on naarmuton ja sillä on mahdollisimman pieni Ra.

Tämä Rg-mitta on pinnan korkeimman ja matalimman pisteen keskimääräinen väli kohtisuorassa suunnassa kiillotettavan lasilevyn tasoon nähden. Näin ollen hyväksyttäessä, että pinta ei ole täysin sileä alle mikrometrin tasolla, se on 10 korkeimman ja matalimman pisteen välisen erotuksen mitta. Selvästikin, että ' J

mitä pienempi luku on, sitä parempi optisen kirkkauden ja vääntymättömyyden | kannalta.

On kuitenkin toinenkin näkökohta ja se on se nopeus, jolla toivottu optisen täydellisyyden taso saavutetaan. Lasin kiillotus on kemiallis-mekaa- f 15 ninen prosessi, joka tapahtuu pelkästään vesipitoisessa ympäristössä. On välttämätöntä, että kiillotusyhdiste reagoi lasipinnan ja veden kanssa ja pinta joutuu hionnan kohteeksi. Jotkut aineet, kuten ceriumoksidi, ovat varsin reaktiivi-siä mutta eivät kovin hiovia. Toiset, kuten alumiinioksidi, ovat varsin hiovia mutta niillä ei ole paljonkaan reaktiivisuutta pinnan suhteen. Tätä aihetta käsi-20 tellään hyvin Lee Clarkin artikkelissa, jonka otsikko on Chemical Processes in f .···. Glass Polishing ja joka ilmestyi lehdessä Journal of Non-Crystalline Solids 120 # · (1990) 152 - 171. Teollisuusympäristössä prosessin saattaminen päätökseen I" mieluummin lyhyemmässä kuin pitemmässä ajassa on merkittävä etu, erityisesti f *·'*! silloin, kun ei vaadita laadusta tinkimistä ja/tai kun laatua voidaan parantaa. * * φ · » · ,$ 25 Kiillotusprosesseissa on kaksi lähestymistapaa. Ensimmäisessä liä- -

te, joka sisältää hiovia hiukkasia vettä sisältävässä väliaineessa (tavallisesti I

* · · . ";T

deionisoituun veteen pohjautuvassa), saatetaan kosketukseen kiillotettavan |

pinnan kanssa ja tyyny pannaan liikkumaan pinnan poikki ennalta määrättyjen kuvioiden mukaisesti, niin että lietteessä oleva hionta-aine saadaan kiillotta- J

30 maan pinta. Toisessa hiovat hiukkaset suljetaan hartsimatriisin sisään työväli- * · * . neen muodostamiseksi ja kyseistä välinettä käytetään sitten optisen pinnan kiillottamiseen. Esillä oleva keksintö koskee ensimmäistä lähestymistapaa, • · ’*;·* jossa käytetään lietteitä.

·:· Alan kirjallisuudessa on ehdotettu monenlaisia lieteformulaatioita.

• •tl * :*·.· 35 US-patenttijulkaisussa nro 4 576 612 lietettä tuotetaan in situ kontrolloituja määriä tarjoamalla käytettäväksi tyyny, jossa on pintakerros, kerros käsittää t 118180 : : 2 hiovia hiukkasia hartsissa, joka liukenee vähitellen käytön aikana ja vapauttaa kiillottavat hiukkaset. Hiukkasiin, joiden vakuutetaan olevan käyttökelpoisia, kuuluvat ceriumoksidi ("ceria”), zirkoniumoksidi ("zirkonia”) ja rautaoksidi.

Julkaisu EP 608 730 A1 kuvaa optisessa elementissä olevan pin- * 5 nan kiillotukseen soveltuvaa hionta-ainelietettä, joka käsittää hionta-ainetta, joka valitaan hiukkaskooltaan korkeintaan 1 μηη olevan alumiinioksidin, lasin, timanttipölyn, karborundumin, volframikarbidin, piikarbidin ja boorinitridin joukosta.

US-patenttijulkaisu nro 5 693 239 kuvaa metallisen työkappaleen kiil- ? 10 lotukseen ja tasoitukseen soveltuvaa vesipitoista lietettä, joka käsittää kooltaan alle mikrometrin olevia alfa-alumiinioksidihiukkasia yhdistettyinä alumiini-oksidin toisen, pehmeämmän muodon tai amorfisen piidioksidin kanssa.

Huomattava määrä alan kirjallisuutta on myös olemassa läheiseltä puolijohteiden substraattien kemiallis-mekaaniseen kiillotukseen soveltuvien lie- ' > 15 teformulaatioiden alueelta, ja näissä käytetään tavallisesti samoja hionta-aineita erojen ollessa dispersion väliaineen ainesosissa. i EP-julkaisu 745656 kuvaa hiomahiukkasia, jotka käsittävät (a) vähintään yhtä oksidia valittuna alumiinioksidista ja piioksidista ja (b) ceriumia.

Hiukkaset muodostetaan suspendoimalla alumiinioksidi tai piioksidi liuotti- ‘ 20 meen, sekoittamalla ceriumyhdiste suspensioon seoksen muodostamiseksi, kuivaamalla seos ja kapinoimalla kuivattu seos. i :***: US-julkaisu 5465314 kuvaa menetelmän kuidun kiillottamiseksi * · · hiomakivellä. Hiomakivessä on ceriumoksidihiomarakeita, jotka on sekoitettu • · · . v: kromioksidihiomarakeiden, zirkoniumoksidihiomarakeiden tai alumiinioksidi- * * * 25 hiomarakeiden kanssa, joiden sitomiseen hiomakiveen käytetään sideainetta.

• # #...t Lasien kiillotuksen onnistuminen on tietysti jossakin määrin riippu- "I vainen lasin kovuudesta. Erittäin kovien lasien ollessa kyseessä kiillotus saat- k *···* taa viedä todella hyvin pitkän ajan ja synnyttää viimeistelyongelmia, jos yrite tään käyttää ilmeistä keinoa, kovempaa hionta-ainetta.

: **· 30 Tekniikan tason mukaiset lieteformulaatiot ovat usein erittäin tehok- • · . ^ kaita toivotun tuloksen saavuttamisessa. Ne vaativat kuitenkin myös varsin : .·. pitkän ajan. On kehitetty uudenlainen formulaatio, jossa kaksi oksidia, alumii- ; *.”··[ nioksidi ja ceriumoksidi, toimivat yhdessä synergisesti, niin että niiden keski- • · *·* näinen vuorovaikutus antaa parempia tuloksia kuin kummankaan yksittäisen 35 ainesosan vaikutusten summa. Tämä formulaatio mahdollistaa optisen täydel- -·ζ * · ·'· '·'·;{ :.*·· lisyyden erittäin korkean tason saavuttamisen paljon lyhyemmässä ajassa, f ;jf 118180 -¾ 3 · ' f .'5> ·.·* kuin mihin voidaan päästä sellaisilla tekniikan tason mukaisilla lietteillä, tarvit- n sematta korotettuja lämpötiloja, joita toisinaan käytetään reaktiivisuuden lisää- f :.h miseksi. Lisäksi ne kiillottavat jopa kovia laseja erittäin tehokkaasti aiheuttaen vain vähän tai aiheuttamatta lainkaan välillistä vahinkoa pinnalle. Niitä voidaan ! 5 käyttää ’’tyynytyyppiä" tai "pikityyppiä” olevan kiillotuslaitteen kanssa.

Keksinnön yleinen kuvaus

Esillä oleva keksintö tarjoaa käytettäväksi optisille pinnoille soveltuvan kiillotusformulaation, joka käsittää dispergointiväliaineen, johon on disper-goitu hiovia hiukkasia, ja jossa hionta-aine käsittää alfa-alumiinioksidi- ja ce- f 10 riumoksidihiukkasia alumiinoksidin suhteen ceriumoksidiin ollessa 95:5 - 85:15 > ja edullisemmin 96:4 - 88:12.

Edullisissa formulaatioissa alumiinioksidi on hiukkasten muodossa, ; jotka ovat kooltaan olennaisesti kokonaan alle mikrometrin, ja niissä hiukkas- -¾ ten keskikoko on alle 0,5 pm ja edullisimmin 0,15 - 0,25 pm. Tämän patentti- f 15 hakemuksen yhteydessä käsitetään, että mainitut "hiukkasten keskikoot” ovat D50-arvoja, jotka mitataan käyttämällä Horiba L-910-hiukkaskokoanalysaat-toria. Sellaisia alumiinioksideja on saatavissa esimerkiksi käyttämällä US-patenttijulkaisussa nro 4 657 754 kuvattua menetelmää.

%

Kaupan oleva ceriumoksidi on yleensä harvinaisten maametallien f 20 oksidien seos, jossa suurimpana ainesosana on ceriumoksidi. Muita ainesosia .·**. voivat olla neodyymioksidi, samariumoksidi, praseodyymioksidi ja lantaaniok- '? .·*. sidi. Läsnä voi olla myös vielä pienempiä määriä muita harvinaisia maametal- | leja. Käytännössä havaitaan, että ’’ceriumoksidin” puhtaus ei vaikuta suuresti | **’\ hiovien hiukkasten toimintakykyyn kiillotuskäytössä, niin että tässä keksinnös- .1

• · · · · - -V

25 sä hyödylliseksi todettu ominaisuus tuntuisi olevan enemmän tai vähemmän • · *···* yhteinen kaikille muille harvinaisten maametallien oksideille, joita esiintyy ce- riumoksidin kanssa kyseisellä nimellä myytävissä kaupallisissa aineissa. Tä- | män selityksen tarkoituksia ajatellen harvinaisten maametallien oksidien seok- • · : ’*· siä, joissa ceriumoksidi on hallitseva ainesosa painoprosenttiosuudella tuot- :**[: 30 teestä mitattuna, kutsutaan ceriumoksidiksi. Esimerkkejä ceriumoksidin kau- ; *.t pallisista lähteistä ovat 50D1 ja Superox 50 (joita molempia on saatavissa yh- tiöltä Cercoa PenYan, N.Y.), jotka sisältävät vastaavasti noin 75 % ja 34 % • · **;·* ceriumoksidia, sekä Rhodox 76 (Rhone Poulencilta), joka sisältää noin 50 % "* ceriumoksidia. i • » · · 35 Kaupan olevana ceriumoksidi on tavallisesti hiukkasten muodossa, joilla on kaksikomponenttinen hiukkaskokojakauma, jossa huiput ovat hiuk- 118180 4 .;> :-ir kaskokojen 0,4 ja 4 μιτι tienoilla suurempikokoisten muodostaessa pääosan -4 hiukkasista. Tämä antaa jauheelle kokonais-Dso-arvoksi alle 4 μm ja tavallises-ti 3 - 3,5 μιτι. Havaitaan, että jos tätä jakaumaa pienennetään jauhamalla ce- f riumoksidi suhteellisen tasaiseen hiukkaskokoon, joka on 0,2 μητη tienoilla ja ^ 5 edullisemmin 0,4 μητη tienoilla, sillä ei ole suurta vaikutusta formulaation toimintakykyyn, ellei lasi ole erityisen kova ja vaadita myös visuaalisen täydellisyyden korkeaa tasoa. Näissä olosuhteissa hiukkaskokojakauma jauhamatto-mana havaitaan usein tehokkaammaksi.

Väliaine, johon hiovat hiukkaset dispergoidaan, oh vettä sisältävä, 10 joskin läsnä voi olla pieniä määriä veteen sekoittuvia nesteitä, kuten alkoholeja. Tavallisimmin käytetään deionisoitua vettä yhdessä pinta-aktiivisen aineen § kanssa hiovien hiukkasten pitämisen hyvin dispergoituneina auttamiseksi. Lietteen kiintoainepitoisuus on tyypillisesti 5 painoprosentista 15 tai jopa 20 pai- f noprosenttiin, pien tapauksessa painoprosentteina pienempi ja laimeampi.

15 Yleensä liete, jonka kiintoainepitoisuus on pienempi, kiillottaa hitaammin ja lietteen, jonka kiintoainepitoisuus on suuri, ongelmana saattaa olla se, että hionta-aine laskeutuu lietteestä. Käytännön seikat määräävät sen vuoksi kiin-toainepitoisuuden 5 -15 ja edullisemmin 8 -12 painoprosentiksi lietteestä. -.f

Edullisten suoritusmuotojen kuvaus .'-l 20 Keksintöä kuvataan nyt tarkemmin seuraavien esimerkkien avulla, f .**·. jotka on tarkoitettu havainnollistamaan keksinnön käyttökelpoisuutta ja cerium- if • · . '’λ, oksidiainesosan puhtauden ja hiukkaskoon vaihtelun vaikutuksia. Esimerkkien • · yi' ei ole kuitenkaan tarkoitus merkitä mitään välttämättömiä rajoituksia keksinnön ΐ *·*\ piiriin.

····· ...

• · 25 Esimerkki 1 ·♦* Tässä esimerkissä keksinnön mukaisen hionta-aineseoksen toimin- • · · takykya verrataan sellaisten lieteformulaatioiden toimintakykyyn, jotka sisältä- ***., vät kyseisiä ainesosia yksinään. f .**·. Kiillotustestit tehtiin kaksipuolisella AC 500 Peter Volters-koneella, . *. 30 joka oli varustettu Suba 500 -kiillotustyynyillä, joita on saatavissa yhtiöltä Ro- | • * · i del, Inc. Kiillotetut lasinäytteet valmistettiin kvartsilasista (Corning), jota pide- tään melko kovana lasina (560 - 640 Knoop). ? ··· Näytteet kiillotettiin käyttämällä kiintoainepitoisuudeltaan 10-prosent- ·*·* : tista lietettä, jollainen muodostettiin kustakin kolmesta hionta-aineesta. En- 35 simmäinen niistä oli 100-prosenttinen alumiinioksidi, toinen 100-prosenttinen 5" 118180 ceriumoksidi ja kolmas saman alumiinioksidi- ja ceriumoksidiainesosan seos suhteessa 90:10. Alumiinioksidi hankittiin yhtiöltä Saint-Gobain Industrial |

Ceramics, Inc. ja käsitti alfa-alumiinioksidihiukkasia, joiden koko oli noin 20 ja f 50 nanometrin välillä, agglomeraattien muodossa, joiden läpimitta oli noin f 5 0,15- 0,25 μιτι. Juuri yksikään agglomeraatti ei ollut mikrometriä suurempi.

Ceriumoksidiainesosa oli Rhodox 76, harvinaisten maametallien oksideista muodostunut tuote, joka sisältää noin 50 % ceriumoksidia ja joka oli jauhettu hiukkaskooltaan sellaiseksi, että D50 oli noin 0,4 μιτι. Lietteet valmistettiin deio-nisoituun veteen, johon oli lisätty 0,07 painoprosenttia pinta-aktiivista ainetta 10 (natriumpolyakrylaattia, jota on saatavissa R. T. Vanderbiltiltä kauppanimellä

Darvan 811). '

Toimintakykyä saavutettuna pinnan viimeistelyasteena ilmaistuna seurattiin ajan funktiona, ja kerätyistä tiedoista piirrettiin käyrä. Tämä on nähtävissä piirrosten kuviona 1. Kuvio 2 esittää samat tiedot levitetyn ’’viimeistely- f 15 aste”-akselin avulla saavutetun parannuksen osoittamiseksi selvemmin. ?

Kuvioista 1 ja 2 voidaan havaita, että vaikka 100-prosenttisella ce-riumoksidilla kiillotetun näytteen lähtöviimeistelyaste oli parempi (ts. se oli si-leämpi ennen kiillotusta) kuin muiden kahden, se ei kiillottunut läheskään yhtä hyvin. Kuten kuviosta 2 voidaan havaita, alumiinioksidi yksinään ei koskaan 20 saavuttanut pinnan viimeistelyastetta (Ra) 200 ängströmiä. Toisaalta tämä pinnan viimeistelytaso saavutettiin ceriumoksidilla noin 19 minuutin kuluttua ja ·’**: keksinnön mukaisella seoksella tämä taso saavutettiin alle 10 minuutissa. Toi- f ··« .**·. sesta näkökulmasta katsottuna noin 10 minuutin kuluttua ceriumoksidilietteellä * ♦ kiillotetun materiaalin pinnan viimeistelyaste oli noin 900, alumiinioksidilietteel- • · · 25 lä kiillotetun materiaalin viimeistelyaste oli hiukan alle 600 ja keksinnön mukai- 4 · nen liete tuotti viimeistelyasteeksi alle 200.

Esimerkki 2 Tässä esimerkissä selvitettiin ceriumoksidin hiukkaskoon vaihtelun [**.. vaikutusta kvartsilasin kiillotuksessa. |

:***: 30 Keksinnön mukainen formulaatio oli olennaisilta osiltaan sama, jota I

• · · * . käytettiin esimerkissä 1, ceriumoksidin ollessa Rhone Poulencilta hankittua , • · · *“,* Rhodox 76:ta. Rhodox 76:ta käytettiin kuitenkin hiukkaskooltaan neljänlaisena • · **:·* (mitattuna D5o-arvolla, joka määritettiin käyttämällä Horiba LA910 -hiukkasko- koanalysaattoria) neljässä eri kiillotustutkimuksessa. Käytetyt hiukkaskoot oli-35 vat 3,17 μιη, 2,14 μm, 0,992 μm ja 0,435 μιη. Kuviona 3 esitetty käyrä on yhteenveto tuloksista. Kyseisen käyrän perusteella ymmärretään, että tämän la- 6' -¾ 118180 sin tapauksessa oli kiillotuskyvyssä vain vähän eroa, joka voitaisiin jäljittää ce- ;·; riumoksidin hiukkaskokoon. Samankaltaisia tuloksia saatiin käyttämällä ce-riumoksidin lähteinä Superox 50:tä ja 50D1:tä.

Esimerkki 3 * 5 Tässä esimerkissä tutkittiin ceriumoksidin lähdettä ja erityisesti sitä, olisiko tuotteen puhtaudella mitään vaikutusta kiillotustehoon. Keksinnön mukaiset formulaatiot valmistettiin sellaisiksi, että ne sisälsivät noin 10 % cerium-oksidiainesosaa ja vastaavasti noin 90 % alumiinioksidiainesosaa, jota käytettiin esimerkin 1 mukaisissa formulaatioissa. Nämä formulaatiot testattiin kiillot-10 tamalla kvartsilasia käyttäen laitteistoa ja menettelytapoja, jotka olivat identti- f set esimerkissä 1 kuvattujen kanssa. Saatiin kuviossa 4 esitetyt tulokset. Ensimmäisessä näytteessä S oli Superox 50, joka sisältää noin 34 % ceriumok- f sidia. Toisessa R oli Rhodox 76, joka sisältää noin 50 % ceriumoksidia. Koi- ; mannessa D oli 50D1, joka sisältää noin 75 % ceriumoksidia. Kuten havaitaan, 15 kyseisten kolmen välillä havaittiin vain vähän eroa kiillotuskyvyssä. Vaikuttaisi siltä, että muut harvinaisten maametallien oksidit käyttäytyvät luultavasti samalla tavalla kuin ceriumoksidi keksinnön mukaisissa formulaatioissa.

Esimerkki 4 Tässä esimerkissä tutkittiin kiillotustehoa ja ceriumoksidin hiukkas- t»..# 20 koon vaikutuksia B270-lasiin (kova lasi, 530 Knoop). Kun edellä olevat esimer- * · !** kit tutkittiin laboratorio-olosuhteissa ja niistä testattiin ainoastaan ’’pinnan vii- • · ***** meistelyaste" mitattuna Ra-arvona, seuraavat tutkimukset tehtiin tuotantolai- | • · ·

*·**! toksessa käyttämällä ammattitaitoista koneenkäyttäjää, joka arvioi päätepis- . .T

teen visuaalisen täydellisyyden perusteella. Tämä merkitsee enemmän kuin • * t ·; ·...· 25 pelkkä Ra-arvo, joka ei välttämättä tunnista kiillotusvaiheesta jäävistä pinnan epätäydellisyyksistä seurauksena olevaa’’harmautta”.

Käytettiin kaksipuolista 4800 P. R. Hoffman -kiillotuskonetta, joka oli ·*·.. varustettu Rodel-yhtiöltä hankituilla Suba 10-kiillotustyynyillä. Kappaleisiin koh- distettiin kiillotuksen aikana noin 1,5 psi:n (1,034 x 104 pascalin) paine. Kiillo- / , \ 30 tuksen päätepiste oli se, kun saavutettiin pinnan täydellisyyden (kirkkauden) • · · :·| ί toivottu, ennalta määrätty taso.

Valmistettiin kolme keksinnön mukaista formulaatiota. Kaikki kolme ··· sisälsivät esimerkissä 1 kuvattua alumiinioksidiainesosaa ja pinta-aktiivista ai- ·«·· .*. { nesosaa samoina määrinä ja dispergoituina, yhdessä ceriumoksidiainesosan | 35 kanssa, samoissa suhteissa deionisoituun veteen. Ero ainesosien välillä oli ?:v£· 118180 7 . 1 '•f ceriumoksidin hiukkaskoossa. Ensimmäisessä (’’formulaatio A”) ceriumoksi- | diainesosa oli jauhettu Dso-arvoon 0,4 pm. Toisessa ja kolmannessa (’’formu- | laatiot B ja B’) ceriumoksidia (Superox 50) käytettiin suoraan valmistajan toi- § mittamassa muodossa. Ainoa ero kyseisten kahden välillä oli kiillotettavat lasi-5 näytteet. Toisessa, B’:ssa, kiillotettavien näytteiden koko oli pienempi ja sen vuoksi niihin samassa koneessa kiillotuksen aikana kohdistunut paine oli suurempi. Tämä johti päätepisteen saavuttamiseen nopeammin. Neljännessä (’’formulaatio C) ceriumoksidia (Rhodox 76) käytettiin myös sellaisena kuin i valmistaja sen toimitti. Kuten aikaisemmin mainittiin, vastaanotetuilla materiaali) leiliä on bimodaalinen jakauma ja suuremmalla määrällä hiukkasista oli hiuk-kashuippu Horiba 910 -hiukkaskokoanalysaattorilla 4:n tienoilla. Tulokset on esitetty alla taulukossa 1.

Taulukko 1

Formulaatio Kappaleiden Lähtöpaksuus Loppupaksuus Aika f __lukumäärä____(minuuttia) A__24__4,180 mm__4,168 mm__120 _B__10__4,186 mm__4,155 mm__60 B’__20__4,183 mm__4,163 mm__40 f _C__10__4,180 mm__4,150 mm__50 15 Formulaatio A, jossa käytettiin jauhettua ceriumoksidiainesosaa, tuotti tasai- sen vaaleanharmaan värin 90 minuutin kuluttua ja vaati 30 minuuttia lisää, ? ··· jotta tämä harmaus poistui ja jäi jäljelle sileys, joka oli alle yksi kymmenesosa • · · aallonpituudesta. Formulaatiot B ja B’ kiillottivat erittäin aggressiivisesti ja joh- ä .···, donmukaisen tasaisesti yli koko työkappaleen. Formulaatio C kiillotti myös ää- f • ♦ ·?$ 20 rimmäisen hyvin ja nopeasti. B270-lasituotteen pinnan sileys oli erinomainen. f *·*·* Muut kiillotusmateriaalit kykenevät kiillottamaan pikemminkin ’’paikoittain” kuin

johdonmukaisesti ja tasaisesti yli työkappaleen pinnan, kuten on asia näitä for- -I

: *** mulaatioita käytettäessä.

··♦

Vaikuttaisi sen vuoksi siltä, että milloin kirkkaus on ratkaiseva, kiillo-: :*. 25 tus formulaatioilla, jotka sisältävät jauhamatonta ceriumoksidiainesosaa, tarjoaa Φ · * # · . :* .*·*, merkittäviä etuja. Sitä vastoin formulaatiot, jotka sisältävät jauhettuja cerium- oksidiainesosia, hiovat nopeasti ja sileäksi saakka nopeasti mutta vaativat pi- ..i’ temmän ajan visuaalisen täydellisyyden saavuttamiseksi.

« · • · · • ·· * ·

Claims (4)

118180 e ,ΐ ,.-rj S Patenttivaatimukset ~f It

1. Optisille pinnoille soveltuva kiillotusformulaatio, joka käsittää vesipitoisen lietteen, joka koostuu olennaisilta osiltaan 5-20 painoprosentista kiintoainetta ja jossa 85 - 95 painoprosenttia kiintoainesisällöstä muodostaa al- 5 fa-alumiinioksidiainesosa, jonka D50-hiukkaskoko on alle 0,5 μιη, ja vastaavasti 15 - 5 painoprosenttia kiintoainesisällöstä muodostaa jauheen muodossa oleva ceriumoksidi, jonka D5o-hiukkaskoko on 0,2 - 4 μηη. f

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen optisille pinnoille soveltuva kiillotusformulaatio, jossa lietteen kiintoainepitoisuus on 8 -12 painoprosenttia.

3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen optisille pinnoille soveltuva kiillo- , tusformulaatio, jossa alumiinioksidiainesosan D5o-hiukkaskoko on 0,15- f 0,25 μιτι.

4. Patenttivaatimuksen 1 mukainen optisille pinnoille soveltuva kiillo- ^ tusformulaatio, jossa ceriumoksidiainesosalla on hiukkaskokojakauma, jossa 15 esiintyy kaksi komponenttia, ja ceriumoksidiainesosan Dso-hiukkaskoko on 3 -4 pm. • · ·· • · · • « 1 • · · ·=» • · .-vÄ * · · '1? • · · * 1 • · . ···1· ·'?·. • · -¾ . -¾ *·· • « ,Vi' • · ·.;< *·· ···.·’'·.· Λ • » :-· ··.:·. ψ • · · ’ ·1 • f - & • . ·. g • ta :- -7¾ : ; » • f1 • · · ta· • ·· · r.zk • · • t ··· • ' • - ··» ... ···· • · * · · - · .... 9 118180 s