SK285219B6 - Optický leštiaci prostriedok - Google Patents
Optický leštiaci prostriedok Download PDFInfo
- Publication number
- SK285219B6 SK285219B6 SK1145-2000A SK11452000A SK285219B6 SK 285219 B6 SK285219 B6 SK 285219B6 SK 11452000 A SK11452000 A SK 11452000A SK 285219 B6 SK285219 B6 SK 285219B6
- Authority
- SK
- Slovakia
- Prior art keywords
- cerium
- polishing
- particle size
- microns
- suspension
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/773—Nanoparticle, i.e. structure having three dimensions of 100 nm or less
- Y10S977/775—Nanosized powder or flake, e.g. nanosized catalyst
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/773—Nanoparticle, i.e. structure having three dimensions of 100 nm or less
- Y10S977/775—Nanosized powder or flake, e.g. nanosized catalyst
- Y10S977/776—Ceramic powder or flake
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
Optický leštiaci prostriedok obsahuje vodnú suspenziu, ktorá pozostáva z 5 až 20 % hmotn. pevných látok, kde 85 až 95 % z obsahu pevných látok predstavuje zložka alfa aluminy s D50 veľkosťou častíc menšou ako 0,5 mikrometrov a zodpovedajúcich 15 až 5 % hmotn. z obsahu pevných látok predstavuje céria vo forme prášku s D50 veľkosťou častíc od 0,2 do4 mikrometrov.
Description
Oblasť techniky
Predložený vynález sa týka prostriedkov na leštenie optických povrchov. Leštené povrchy môžu byť sklenené alebo z umelej hmoty.
Doterajší stav techniky
Je veľmi dobre známe, že na výrobu uspokojivého optického povrchu je potrebné, aby tento povrch neobsahoval škrabance a aby mal čo možno najnižší Ra. Toto meranie R„ znamená priemernú vzdialenosť medzi najvyšším bodom povrchu kolmo na rovinu sklenenej dosky, ktorá sa leští. Ak teda pripustime, že povrch nebude úplne rovný v submikrónovom meradle, táto hodnota je mierou zmeny medzi najvyšším a najnižším bodom povrchu. Je jasné, že čím je táto číslica menšia, tým je lepšia optická jasnosť a tým je menšia distorzia.
Do úvahy treba vziať i ďalšiu skutočnosť a tou je rýchlosť, ktorou sa dosiahne požadovaná úroveň optickej dokonalosti. Leštenie skla je chemicko-mechanický proces, ktorý sa uskutočňuje iba vo vodnom prostredí. Pre leštenú zlúčeninu je potrebné, aby reagovala s povrchom skla a vodou a tiež s povrchom predmetu, ktorý' je vystavený obrusovaniu. Niektoré materiály, ako je céria (oxid ceričitý), sú dostatočne reaktívne, ale nie sú veľmi brúsnymi činidlami. Iné materiály, ako je alumina (oxid hlinitý), sú dostatočnými brúsnymi činidlami, ale nemajú veľkú reaktivitu s povrchom. Tento predmet je dobre spracovaný v článku Lee Čiarka nazvanom “Chemical Proccsscs in Glass Polishing“ („Chemické procesy pri leštení skla“), publikovanom v Journal of Non-Crystalline Solids, 1990. 120, 152 až 171. Pri priemyselnej výrobe sú významnou výhodou pri konečnej úprave skôr kratšej než dlhšej doby, zvlášť ak sa nevyžaduje vzdať sa kvality, alebo ak sa môže kvalita zlepšiť.
Pri spôsoboch leštenia existujú dva prístupy. Podľa prvého spôsobu sa suspenzia brúsnych častíc vo vodnom prostredí (zvyčajne na báze deionizovanej vody) umiestni do kontaktu s povrchom, ktorý sa má leštiť, a vankúšikom sa pohybuje cez povrch vopred stanoveným spôsobom tak, aby brúsne činidlo v suspenzii leštilo povrch. Podľa druhého spôsobu sa brúsne častice nachádzajú v živičnej matrici vo forme prostriedku a tento prostriedok sa potom využíva na leštenie optického povrchu. Predložený vynález sa týka prvého prístupu, podľa ktorého sa používa suspenzia.
V oblasti techniky sa navrhli rozmanité prostriedky vo forme suspenzie. USA patent č. 4 576 612 vyrába suspenziu v regulovaných množstvách tak, že sa získava vankúšik s povrchovou vrstvou obsahujúcou brúsne častice v živici, ktorá sa postupne v priebehu použitia rozpúšťa a uvoľňujú sa tak leštiace častice. Medzi častice, o ktorých sa uvádza, že sú užitočné, patrí oxid ceričitý („céria“, oxid zirkoničitý („zirkonia“) a oxid železitý.
Európska patentová prihláška 608 730 Al opisuje brúsnu suspenziu na leštenie povrchu v optickom prvku, ktorá obsahuje brúsne činidlo vybrané z alumíny, skla, diamantového prášku, karborunda, karbidu volfrámu, karbidu kremíka alebo nitridu boru s veľkosťou častíc až jeden mikrometer.
USA patent č. 5 693 239 opisuje vodnú suspenziu na leštenie a planarizovanie obrábaných predmetov z kovov, ktorá obsahuje submikrónové častice alfa alumíny spoločne s ďalšími mäkšími formami alumíny alebo amorfným oxidom kremičitým.
Značné množstvo odkazov z oblasti techniky existuje tiež v súvisiacej oblasti suspenzných prostriedkov na che mické mechanické leštenie polovodičových substrátov. Tieto prostriedky opäť zvyčajne používajú rovnaké brúsne činidlá s rôznymi zložkami disperzného média.
Úspech pri leštení skiel však do istej miery závisí od tvrdosti skla. Pri veľmi tvrdých sklách môže leštenie zaberať veľmi dlhý čas a zvýšiť problémy s dokončievacími prácami, ak existuje snaha o zrejme účelnejšie použitie tvrdších brúsnych činidiel.
Prostriedky vo forme suspenzie z oblasti techniky sú často veľmi účinné na dosiahnutie požadovaného výsledku. Zaberajú však tiež dosť dlhý čas. Vyvinul sa nový prostriedok, kde spolu synergickým spôsobom pracujú dva oxidy, „alumina a céria“, takže ich vzájomná interakcia poskytuje lepšie výsledky, ako je súčet účinkov jednotlivých zložiek samotných. Tento prostriedok umožňuje dosiahnutie veľmi vysokej úrovne optickej dokonalosti za omnoho kratší čas, ako je dosiahnuteľné so suspenziami z oblasti techniky bez toho, aby boli potrebné zvýšené teploty, ktoré sa niekedy používajú preto, aby sa zvýšila reaktivita. Navyše tieto prostriedky leštia veľmi účinne dokonca tvrdé sklá s malým poškodením alebo bez žiadneho doprevádzajúceho poškodenia povrchu. Tieto prostriedky sa môžu používať v čistiacich prístrojoch typu s „vankúšikom“ alebo „živicou“.
Podstata vynálezu
Predložený vynález poskytuje optický leštiaci prostriedok, ktorý obsahuje disperzné médium, v ktorom sú dispergované brúsne častice, pričom brúsne činidlo obsahuje častice alfa alumíny a častice céria s pomerom alumíny k cériu 95 : 5 až 85 : 15, výhodnejšie od 96 : 4 do 88 : 12.
Vo výhodných prostriedkoch existuje alumina vo forme častíc, ktoré majú v podstate všetky podmikrónovú veľkosť, pričom stredná veľkosť častíc je menšia ako 0,5 mikrometrov a najvýhodnejšia je od 0,15 do 0,25 mikrometrov. V súvislosti s touto prihláškou je tomu treba rozumieť tak, že „stredné veľkosti častíc“, ktoré sa tu diskutujú ako hodnoty „D5o“, sa merajú analyzátorom veľkosti častíc Horiba L-910. Tieto alumíny sa získajú napríklad tak, žc sa použije spôsob opísaný v USA patente č. 4 657 754.
Komerčne dostupná céria je zvyčajne zmesou oxidov kovov vzácnych zemín s oxidom céria ako najväčšou zložkou. Medzi ďalšie zložky môže patriť neodým, samárium, prazeodým a lantán. Taktiež môžu byť prítomné ďalšie minoritnejšie zložky iných vzácnych zemín. V praxi sa zisťuje, že čistota „céria“ príliš neovplyvňuje uskutočnenie brúsnych častíc v leštiacom prostriedku, takže vlastnosť, o ktorej sa v tomto vynáleze zistilo, že jc užitočná, sa zdá byť prítomná vo väčšom alebo menšom rozsahu všetkými oxidmi kovov ďalších vzácnych zemín, ktoré sa vyskytujú spolu s cériou v komerčných materiáloch, ktoré sa pod týmto názvom predávajú. Na účely tohto opisu sa budú zmesi oxidov vzácnych zemín, v ktorých je céria prevládajúcou zložkou, pokiaľ ide o hmotnostné percentá tohto produktu, označovať ako „céria“. Medzi príklady komerčne dostupných zdrojov „céria“ patri „50D1“ a „Superox 50“ (obidve dostupné od Ccrcoa PenYan, N. Y.), ktoré obsahujú asi 75 %, respektíve 34 % céria, a „Rhodox 76“ (od Rhône Poulenc), ktorý obsahuje asi 50 % céria.
Tak, ako je komerčne dostupná, existuje céria zvyčajne vo forme častíc s dvojzložkovou distribúciou veľkosti častíc s maximami veľkosti častíc okolo 0,4 a 4 mikrometrov. Väčšia veľkosť poskytuje objemnejšie častice. To potom dáva celkovú hodnotu D5I) tohto prášku menšiu ako 4 a zvyčajne od 3 do 3,5 mikrometrov. Zistilo sa, že v prípade, keď sa táto distribúcia mletím céria zníži na relatívne jed
SK 285219 Β6 notnú veľkosť častíc okolo 0,2 mikrometrov, a výhodnejšie okolo 0,4 mikrometrov, použitie prostriedku nie je veľmi ovplyvnené, pokiaľ sklo nie je zvlášť tvrdé a pokiaľ sa nepožaduje tiež vysoká úroveň vizuálnej dokonalosti. Za týchto podmienok sa často zisťuje, že účinnejšia je distribúcia veľkosti nerozomletých častíc.
Prostredie, v ktorom sa brúsne častice dispergujú, je vodné, i keď môže byť prítomné menšie množstvo kvapalín miešateľných s vodou, ako sú alkoholy. Najobvyklejšie sa používa deionizovaná voda spolu s povrchovo aktívnym činidlom, ktoré napomáha tomu, aby sa brúsne častice udržovali dobre dispergované. Obsah pevných častíc v suspenzii je typicky od 5 do 15 alebo dokonca do 20 % hmotn., menej alebo viacej zriedenej (v percentách) živici. Všeobecne platí, že suspenzia s nižším obsahom pevných častíc bude leštiť pomalšie a pri suspenzii s vyšším obsahom pevných častíc môžu nastať problémy s usadzovaním brúsnych častíc zo suspenzie. Praktické úvahy preto diktujú, aby obsah pevných častíc bol od 5 do 15, výhodnejšie od 8 do 12 % hmotn. pevných častíc v suspenzii.
Príklady uskutočnenia vynálezu
Tento vynález sa ďalej opisuje pomocou nasledujúcich príkladov, ktoré sú myslené ako demonštrácia užitočnosti vynálezu a účinkov rôznej čistoty a rôznych veľkostí častíc cériovej zložky. Tieto príklady však nie sú myslené tak, aby zahrňovali nejaké nutné obmedzenia rozsahu vynálezu.
Príklad 1
V tomto príklade sa porovnáva použitie brúsnej zmesi podľa vynálezu so suspenznými prostriedkami, ktoré obsahujú samotné zložky.
Leštiace testy sa uskutočňovali na dvojstrannom zariadení AC 500 Peter Wolters s leštiacimi vankúšikmi „Šuba 500“, dostupnými od Rodeí, Inc. Vzorky lešteného skla sa vyrobili z taveného kremičitého kremenca (Coming) s tým, že išlo o dosť tvrdé sklo (560 až 640 Knoop).
Vzorky sa leštili použitím suspenzie každého z troch brúsnych činidiel s množstvom 10 % pevných látok v suspenzii. Prvá bola 100 % alumína, druhá 100 % céria a tretia zmes 90 : 10 rovnakých zložiek alumíny a céria. Alumína sa získala od Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc., a obsahovala častice alfa alumíny s veľkosťou medzi asi 20 až 50 nanometrov vo forme aglomerátov s priemerom asi 0,15 až 0,25 mikrometrov. V podstate žiadne aglomeráty neboli väčšie ako jeden mikrometer. Cériovou zložkou bol Rhodox 76, produkt oxidov kovov vzácnych zemín obsahujúci asi 50 % céria, ktorý sa rozomlel na častice s D50 asi 0,4 mikrometrami. Suspenzie sa vyrobili v deionizovanej vode, do ktorej sa pridalo 0,07 % hmotn. povrchovo aktívneho činidla (polyakrylát sodný dostupný od R. T. Vanderblit pod obchodným označením Darvan 811).
Uskutočnenie v pojmoch konečnej úpravy povrchu sa sledovalo v závislosti od času. Nakreslil sa graf získaných údajov. Tento graf sa objavuje ako obrázok 1 výkresov. Obrázok 2 ukazuje rovnaké údaje s expandovanou osou „konečné uskutočnenie, ktoré jasnejšie ukazujú získané zlepšenie.
Z obrázkov 1 a 2 je možné vidieť, že hoci vzorka leštená 100 % cériou má lepšiu začiatočnú konečnú úpravu (to znamená, že je pred leštením hladšia) ako ďalšie dve, nevyleštila sa takmer tak dobre. Ako je možné vidieť z obrázku 2, alumína samotná nikdy nedosiahla konečnej úpravy povrchu (Ra) 20 nm. Na druhej strane táto úroveň konečnej úpravy povrchu sa dosiahla ccriou po asi 19 minútach a zmesou podľa vynálezu sa táto úroveň dosiahla za menej ako 10 minút. Z iného hľadiska mal materiál po asi 10 minútach leštenia suspenziou céria konečnú úpravu povrchu asi 90, materiál leštený suspenziou alumíny mal konečnú úpravu povrchu trochu menšiu ako 60 a suspenzia podľa vynálezu poskytla konečnú úpravu menšiu ako 20.
Príklad 2
Tento príklad vysvetľuje účinok rôznych veľkostí častíc céria pri leštení taveného oxidu kremičitého.
Prostriedok podľa vynálezu bol v podstate ten, ktorý sa použil v príklade 1 s cériou Rhodox 76 získanou od Rhône Poulenc. Rhodox 76 sa však používal so štyrmi rôznymi veľkosťami častíc (ako bolo zmerané hodnotou D50, ktorá sa stanovila analyzátorom veľkosti častíc Horiba LA910) v štyroch rôznych vyhodnoteniach leštenia. Použité veľkosti častíc boli 3,17 mikrometrov, 2,14 mikrometrov, 0,992 mikrometrov a 0,435 mikrometrov. Graf, ktorý sa uvádza ako obrázok 3 tieto výsledky zhmuje. Z grafu na obrázku 3 je možné vyhodnotiť, že pri tomto skle existujú malé rozdiely v uskutočnení leštenia, ktoré je možné uviesť do vzťahu s veľkosťou častíc céric. Podobné výsledky sa získali, ak sa ako zdroje céria použili „Superox 50“ a „50D-1“.
Príklad 3
V tomto príklade sa skúmal zdroj cérie a špecificky to, či čistota produktu má nejaký vplyv na účinnosť čistenia. Vyrobili sa prostriedky podľa vynálezu, ktoré obsahovali asi 10 % zložky céria a tomu zodpovedajúcich asi 90 % alumíny, ktoré sa použili v príklade L Tieto prostriedky sa testovali leštením taveného kremičitého skla pomocou zariadení a postupov, ktoré sú rovnaké ako zariadenia a postupy v príklade I. Získali sa výsledky, ktoré sú uvedené na obrázku 4. Prvá vzorka „S“ znamená „Superox 50“, ktorá obsahuje asi 34 % cérie. Druhá vzorka „R“ bola „Rhodox 76“, ktorá obsahuje asi 50 % cérie. Tretia vzorka „D“ bola „50D1“, ktorá obsahuje asi 75 % cérie. Pozorovalo sa, že medzi týmito tromi vzorkami existujú malé rozdiely v uskutočnení leštenia. Zdá sa, že oxidy iných kovov vzácnych zemín sa pravdepodobne v prostriedkoch podľa vynálezu správajú podobným spôsobom ako céria.
Príklad 4
Tento príklad skúma účinnosť leštenia a vplyv veľkosti častíc cérie na sklo B270 (tvrdé sklo 530 Knoop). Zatiaľ čo skôr uvedené príklady sa vyhodnocovali za laboratórnych podmienok a testovali iba na „konečnú úpravu povrchu“ meranou pojmami hodnôt „Ra“, nasledujúce hodnotenie sa robilo v priemyselnom prostredí pomocou zručného operátora, ktorý vyhodnotil konečný bod v pojmoch vizuálnej dokonalosti. To znamená viacej ako práve hodnota Ra, ktorá nutne neidentifikuje „sivosť“ pochádzajúcu z nedokonalostí povrchu, ktoré zostali po leštiacej operácii.
Použilo sa dvojstranné leštiace zariadenie 4800 P. R. Hoffman s leštiacimi vankúšikmi „Šuba 10“ od Rodeí Corporation. V priebehu leštenia sa na kúsky aplikoval tlak približne 1,034.104 Pa (1,5 psi). Konečným bodom leštenia bolo to, keď sa dosiahla vopred stanovená úroveň dokonalosti (jasnosti) povrchu.
Vyrobili sa tri prostriedky podľa vynálezu. Všetky tri obsahovali alumínu a povrchovo aktívne zložky opísané v príklade 1 v rovnakých množstvách a dispergovaných spolu s cériovou zložkou v rovnakých relatívnych pomeroch v deionizovanej vode. Rozdiely medzi zložkami spočívali vo veľkosti častíc céria. V prvom prostriedku („prostriedok A“) sa cériová zložka rozomlela na hodnotu D;o 0,4 mikrometrami V druhom a treťom prípade („prostriedky B a B' “) sa ceria (Superox 50) použila tak, ako sa dodala priamo výrobcom. Jediným rozdielom medzi týmito dvoma prostriedkami boli vzorky skla, ktoré sa leštili. V druhom prípade „B“ bola veľkosť leštenej vzorky menšia a teda tlak, ktorý sa rovnakým zariadením v priebehu leštenia používal na vzorky, bol väčší. To rýchlejšie viedlo k dosiahnutiu konečného bodu. Vo štvrtom prostriedku, „prostriedku C“, sa taktiež použila céria, a to tak, ako sa dodala výrobcom (Rhodox 76). Ako sa už predtým uviedlo, získané materiály mali bimodálnu distribúciu s väčším objemom častíc s maximom častíc podľa analyzátora veľkosti častíc Horiba 910 okolo 4. Výsledky sú uvedené v tabuľke 1.
Tabuľka 1
Prostriedok | Počet vzoriek | Hrúbka na začiatku | Hrúbka na konci | Čas (min.) |
A | 24 | 4,180 mm | 4,168 mm | 120 |
B | 10 | 4,186 mm | 4,155 mm | 60 |
B' | 20 | 4,183 mm | 4,163 mm | 40 |
C | 10 | 4,180 mm | 4,150 mm | 50 |
Prostriedok A (ktorý používal rozomletú cériovú zložku) poskytol jednotnú svetlosivú farbu po 90 minútach a vyžadoval ďalších 30 minút na odstránenie tejto sivosti a získanie plochosti pod jednu desatinu vlnovej dĺžky. Prostriedky B a B' leštili veľmi agresívne a rovnomerne jednotne obrábaný kus. Prostriedok C taktiež leštil mimoriadne dobre a rýchle. Produkt zo skla B270 mal vynikajúcu plochosť povrchu. Iné leštiace materiály mohli leštiť skôr „miestne nepravidelne“ ako rovnomerne a jednotne po celom povrchu obrábaného kusu, ako tomu bolo pri týchto prostriedkoch.
Zdá sa teda, že ak je rozhodujúca jasnosť, leštenie prostriedkami, ktoré obsahujú nemletú cériovú zložku, poskytuje významné výhody. Naproti tomu prostriedky, ktoré majú mleté cériové zložky, leštia rýchle a rýchle dosahujú plochosť, ale trvá to dlhší čas, kým sa dosiahne vizuálna dokonalosť.
PATENTOVÉ NÁROKY
Claims (4)
1. Optický leštiaci prostriedok, vyznačujúci sa tým, že obsahuje vodnú suspenziu, ktorá pozostáva z 5 až 20 % hmotn. pevných látok, kde 85 až 95 % z obsahu pevných látok predstavuje zložka alfa alumíny s Dso veľkosťou častíc menšou ako 0,5 mikrometrov a zodpovedajúcich 15 až 5 % hmotn. z obsahu pevných látok predstavuje céria vo forme prášku s D5o veľkosťou častíc od 0,2 do 4 mikrometrov.
2. Optický leštiaci prostriedok podľa nároku 1, vyznačujúci sa tým, že obsah pevných látok v suspenzii je od 8 do 12 % hmotn.
3. Optický leštiaci prostriedok podľa nároku 1, vyznačujúci sa tým, že zložka alumíny má D50 veľkosť častíc od 0,15 do 0,25 mikrometrov.
4. Optický leštiaci prostriedok podľa nároku 1, vyznačujúci sa tým, že zložka cérie má distribúciu veľkosti častíc vykazujúcu dve zložky a D50 veľkosť častíc od 3 do 4 mikrometrov.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/025,730 US5989301A (en) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | Optical polishing formulation |
PCT/US1999/003143 WO1999042537A1 (en) | 1998-02-18 | 1999-02-16 | Optical polishing formulation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SK11452000A3 SK11452000A3 (sk) | 2001-02-12 |
SK285219B6 true SK285219B6 (sk) | 2006-09-07 |
Family
ID=21827759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SK1145-2000A SK285219B6 (sk) | 1998-02-18 | 1999-02-16 | Optický leštiaci prostriedok |
Country Status (28)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5989301A (sk) |
EP (1) | EP1060221B1 (sk) |
JP (1) | JP3605036B2 (sk) |
KR (1) | KR100354202B1 (sk) |
CN (1) | CN1187426C (sk) |
AR (1) | AR014959A1 (sk) |
AT (1) | ATE245180T1 (sk) |
AU (1) | AU729245B2 (sk) |
BR (1) | BR9908020B1 (sk) |
CA (1) | CA2319107C (sk) |
CO (1) | CO5060536A1 (sk) |
CZ (1) | CZ294042B6 (sk) |
DE (1) | DE69909597T2 (sk) |
DK (1) | DK1060221T3 (sk) |
ES (1) | ES2204107T3 (sk) |
FI (1) | FI118180B (sk) |
HU (1) | HUP0101154A3 (sk) |
IL (1) | IL137804A0 (sk) |
MY (1) | MY123257A (sk) |
NO (1) | NO319039B1 (sk) |
NZ (1) | NZ505901A (sk) |
PL (1) | PL186840B1 (sk) |
PT (1) | PT1060221E (sk) |
RU (1) | RU2181132C1 (sk) |
SK (1) | SK285219B6 (sk) |
TW (1) | TWI239995B (sk) |
WO (1) | WO1999042537A1 (sk) |
ZA (1) | ZA991150B (sk) |
Families Citing this family (61)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6839362B2 (en) * | 2001-05-22 | 2005-01-04 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Cobalt-doped saturable absorber Q-switches and laser systems |
US20030092271A1 (en) * | 2001-09-13 | 2003-05-15 | Nyacol Nano Technologies, Inc. | Shallow trench isolation polishing using mixed abrasive slurries |
US6896591B2 (en) * | 2003-02-11 | 2005-05-24 | Cabot Microelectronics Corporation | Mixed-abrasive polishing composition and method for using the same |
US7326477B2 (en) * | 2003-09-23 | 2008-02-05 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Spinel boules, wafers, and methods for fabricating same |
US20050061230A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Spinel articles and methods for forming same |
US7045223B2 (en) * | 2003-09-23 | 2006-05-16 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Spinel articles and methods for forming same |
US7919815B1 (en) | 2005-02-24 | 2011-04-05 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Spinel wafers and methods of preparation |
US7294044B2 (en) * | 2005-04-08 | 2007-11-13 | Ferro Corporation | Slurry composition and method for polishing organic polymer-based ophthalmic substrates |
CA2672139C (en) * | 2006-12-19 | 2012-02-21 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Submicron alpha alumina high temperature bonded abrasives |
KR20110019427A (ko) | 2008-06-23 | 2011-02-25 | 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 | 고공극율 유리질 초연마 제품들 및 그 제조 방법 |
JP5571695B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2014-08-13 | レンズセーバーズ リミテッド ライアビリティ カンパニー | プラスチックカバーおよびレンズの修復組成物および方法 |
WO2011056671A2 (en) | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Resin bonded abrasive |
MX2012004912A (es) | 2009-10-27 | 2012-08-15 | Saint Gobain Abrasifs Sa | Abrasivo aglomerado vitreo. |
EP2614122A4 (en) * | 2010-09-08 | 2014-01-15 | Basf Se | AQUEOUS CLEANSING COMPOSITIONS WITH N-SUBSTITUTED DIAZENIUM DIOXIDE AND / OR N'-HYDROXY DIAZENIUM OXIDE SALTS |
CN103370174B (zh) | 2010-12-31 | 2017-03-29 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 具有特定形状的研磨颗粒和此类颗粒的形成方法 |
TWI605112B (zh) * | 2011-02-21 | 2017-11-11 | Fujimi Inc | 研磨用組成物 |
CN103764349B (zh) | 2011-06-30 | 2017-06-09 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 液相烧结碳化硅研磨颗粒 |
WO2013003830A2 (en) | 2011-06-30 | 2013-01-03 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles including abrasive particles of silicon nitride |
BR112014007089A2 (pt) | 2011-09-26 | 2017-03-28 | Saint-Gobain Ceram & Plastics Inc | artigos abrasivos incluindo materiais de partículas abrasivas, abrasivos revestidos usando os materiais de partículas abrasivas e os métodos de formação |
US9168638B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-10-27 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing hard surfaces |
CN104114664B (zh) | 2011-12-30 | 2016-06-15 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 形成成型研磨颗粒 |
KR102187425B1 (ko) | 2011-12-30 | 2020-12-09 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마입자 및 이의 형성방법 |
PL2797716T3 (pl) | 2011-12-30 | 2021-07-05 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Kompozytowe ukształtowane cząstki ścierne i sposób ich formowania |
US9266220B2 (en) | 2011-12-30 | 2016-02-23 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles and method of forming same |
US8840696B2 (en) | 2012-01-10 | 2014-09-23 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles |
EP3705177A1 (en) | 2012-01-10 | 2020-09-09 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics Inc. | Abrasive particles having complex shapes and methods of forming same |
WO2013106575A1 (en) | 2012-01-10 | 2013-07-18 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing coated surfaces |
CA2867350C (en) | 2012-03-16 | 2017-05-23 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing surfaces |
US8968435B2 (en) | 2012-03-30 | 2015-03-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for fine polishing of ophthalmic lenses |
US9242346B2 (en) | 2012-03-30 | 2016-01-26 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products having fibrillated fibers |
KR102534897B1 (ko) | 2012-05-23 | 2023-05-30 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마입자들 및 이의 형성방법 |
US10106714B2 (en) | 2012-06-29 | 2018-10-23 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles |
US9440332B2 (en) | 2012-10-15 | 2016-09-13 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles |
KR101818946B1 (ko) | 2012-12-31 | 2018-01-17 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 미립자 소재 및 이의 형성방법 |
CN107685296B (zh) | 2013-03-29 | 2020-03-06 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 具有特定形状的磨粒、形成这种粒子的方法及其用途 |
TW201502263A (zh) | 2013-06-28 | 2015-01-16 | Saint Gobain Ceramics | 包含成形研磨粒子之研磨物品 |
CA3114978A1 (en) | 2013-09-30 | 2015-04-02 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and methods of forming same |
KR101870617B1 (ko) | 2013-12-31 | 2018-06-26 | 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 | 형상화 연마 입자들을 포함하는 연마 물품 |
US9771507B2 (en) | 2014-01-31 | 2017-09-26 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same |
ES2972193T3 (es) | 2014-04-14 | 2024-06-11 | Saint Gobain Ceramics | Artículo abrasivo que incluye partículas abrasivas conformadas |
MX2016013464A (es) | 2014-04-14 | 2017-04-13 | Saint-Gobain Ceram & Plastics Inc | Articulo abrasivo que incluye particulas abrasivas conformadas. |
WO2015184355A1 (en) | 2014-05-30 | 2015-12-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles |
US9914864B2 (en) | 2014-12-23 | 2018-03-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and method of forming same |
US9707529B2 (en) | 2014-12-23 | 2017-07-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Composite shaped abrasive particles and method of forming same |
US9676981B2 (en) | 2014-12-24 | 2017-06-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle fractions and method of forming same |
WO2016161157A1 (en) | 2015-03-31 | 2016-10-06 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Fixed abrasive articles and methods of forming same |
TWI634200B (zh) | 2015-03-31 | 2018-09-01 | 聖高拜磨料有限公司 | 固定磨料物品及其形成方法 |
EP3307483B1 (en) | 2015-06-11 | 2020-06-17 | Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
PL3455321T3 (pl) | 2016-05-10 | 2022-12-12 | Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. | Sposób formowania cząstek ściernych |
CN109462993A (zh) | 2016-05-10 | 2019-03-12 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 磨料颗粒及其形成方法 |
EP4349896A3 (en) | 2016-09-29 | 2024-06-12 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Fixed abrasive articles and methods of forming same |
US10563105B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-02-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
US10759024B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-09-01 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
WO2018236989A1 (en) | 2017-06-21 | 2018-12-27 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | PARTICULATE MATERIALS AND METHODS OF FORMATION THEREOF |
US11865663B2 (en) * | 2018-05-10 | 2024-01-09 | George Shuai | Optical surface polishing |
CN109439282A (zh) * | 2018-10-23 | 2019-03-08 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 复合纳米磨料、抛光液及其制备方法、玻璃晶片和电子设备 |
CN109135580B (zh) * | 2018-10-25 | 2021-04-02 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 一种玻璃用抛光液及其制备方法 |
CN110724460A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-01-24 | 刘通 | 一种铈铝复合氧化物抛光粉的制备方法 |
KR20220116556A (ko) | 2019-12-27 | 2022-08-23 | 세인트-고바인 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인크. | 연마 물품 및 이의 형성 방법 |
CN113881348A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-01-04 | 青岛福禄泰科表面材料科技有限公司 | 一种复合氧化铝抛光液及其制备方法和应用 |
CN114213977A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-22 | 中天科技精密材料有限公司 | 抛光剂及其制备方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3429080A (en) * | 1966-05-02 | 1969-02-25 | Tizon Chem Corp | Composition for polishing crystalline silicon and germanium and process |
GB1501570A (en) * | 1975-11-11 | 1978-02-15 | Showa Denko Kk | Abrader for mirror polishing of glass and method for mirror polishing |
US4161394A (en) * | 1978-06-19 | 1979-07-17 | Regan Glen B | Polishing slurry of xanthan gum and a dispersing agent |
FR2549846B1 (fr) * | 1983-07-29 | 1986-12-26 | Rhone Poulenc Spec Chim | Nouvelle composition de polissage a base de cerium et son procede de fabrication |
US4576612A (en) * | 1984-06-01 | 1986-03-18 | Ferro Corporation | Fixed ophthalmic lens polishing pad |
US5312789A (en) * | 1987-05-27 | 1994-05-17 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive grits formed of ceramic, impregnation method of making the same and products made therewith |
ATE137792T1 (de) * | 1992-09-25 | 1996-05-15 | Minnesota Mining & Mfg | Verfahren zur herstellung von aluminiumoxid und ceroxid enthaltendem schleifkorn |
CA2111010A1 (en) * | 1993-01-29 | 1994-07-30 | Robert James Hagerty | Method of finely polishing planar optical elements |
US5549962A (en) * | 1993-06-30 | 1996-08-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Precisely shaped particles and method of making the same |
US5465314A (en) * | 1993-09-09 | 1995-11-07 | The Furukawa Electronic Co., Ltd. | Method of manufacturing optical connector |
US5632668A (en) * | 1993-10-29 | 1997-05-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for the polishing and finishing of optical lenses |
KR960041316A (ko) * | 1995-05-22 | 1996-12-19 | 고사이 아키오 | 연마용 입상체, 이의 제조방법 및 이의 용도 |
US5693239A (en) * | 1995-10-10 | 1997-12-02 | Rodel, Inc. | Polishing slurries comprising two abrasive components and methods for their use |
US5702811A (en) * | 1995-10-20 | 1997-12-30 | Ho; Kwok-Lun | High performance abrasive articles containing abrasive grains and nonabrasive composite grains |
WO1997042007A1 (en) * | 1996-05-08 | 1997-11-13 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article comprising an antiloading component |
US5858813A (en) * | 1996-05-10 | 1999-01-12 | Cabot Corporation | Chemical mechanical polishing slurry for metal layers and films |
KR19980019046A (ko) * | 1996-08-29 | 1998-06-05 | 고사이 아키오 | 연마용 조성물 및 이의 용도(Abrasive composition and use of the same) |
JP3856513B2 (ja) * | 1996-12-26 | 2006-12-13 | 昭和電工株式会社 | ガラス研磨用研磨材組成物 |
US5876268A (en) | 1997-01-03 | 1999-03-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method and article for the production of optical quality surfaces on glass |
US5833724A (en) * | 1997-01-07 | 1998-11-10 | Norton Company | Structured abrasives with adhered functional powders |
US5851247A (en) * | 1997-02-24 | 1998-12-22 | Minnesota Mining & Manufacturing Company | Structured abrasive article adapted to abrade a mild steel workpiece |
US5910471A (en) | 1997-03-07 | 1999-06-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article for providing a clear surface finish on glass |
US5876470A (en) * | 1997-08-01 | 1999-03-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive articles comprising a blend of abrasive particles |
-
1998
- 1998-02-18 US US09/025,730 patent/US5989301A/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-02-12 MY MYPI99000512A patent/MY123257A/en unknown
- 1999-02-12 ZA ZA9901150A patent/ZA991150B/xx unknown
- 1999-02-15 CO CO99008983A patent/CO5060536A1/es unknown
- 1999-02-16 SK SK1145-2000A patent/SK285219B6/sk not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 AR ARP990100633A patent/AR014959A1/es unknown
- 1999-02-16 DK DK99907002T patent/DK1060221T3/da active
- 1999-02-16 ES ES99907002T patent/ES2204107T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 PT PT99907002T patent/PT1060221E/pt unknown
- 1999-02-16 AT AT99907002T patent/ATE245180T1/de active
- 1999-02-16 EP EP19990907002 patent/EP1060221B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 AU AU26777/99A patent/AU729245B2/en not_active Ceased
- 1999-02-16 DE DE69909597T patent/DE69909597T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 NZ NZ505901A patent/NZ505901A/en unknown
- 1999-02-16 IL IL13780499A patent/IL137804A0/xx not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 WO PCT/US1999/003143 patent/WO1999042537A1/en active IP Right Grant
- 1999-02-16 KR KR1020007009035A patent/KR100354202B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 JP JP2000532484A patent/JP3605036B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 CN CNB998028681A patent/CN1187426C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1999-02-16 HU HU0101154A patent/HUP0101154A3/hu unknown
- 1999-02-16 BR BRPI9908020-6A patent/BR9908020B1/pt not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 CA CA002319107A patent/CA2319107C/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-02-16 RU RU2000122964/04A patent/RU2181132C1/ru not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 CZ CZ20002969A patent/CZ294042B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 PL PL99342392A patent/PL186840B1/pl not_active IP Right Cessation
- 1999-03-02 TW TW088102220A patent/TWI239995B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-07-26 US US09/361,438 patent/US6258136B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-08-15 FI FI20001800A patent/FI118180B/fi not_active IP Right Cessation
- 2000-08-17 NO NO20004122A patent/NO319039B1/no not_active IP Right Cessation
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SK285219B6 (sk) | Optický leštiaci prostriedok | |
JP2592401B2 (ja) | 表面を研磨及び平坦化する組成物と方法 | |
KR100429940B1 (ko) | 개선된 세리아 분말 | |
JP5281758B2 (ja) | 研磨用組成物 | |
JPH11315273A (ja) | 研磨組成物及びそれを用いたエッジポリッシング方法 | |
Jacobs et al. | Magnetorheological finishing of IR materials | |
US6616718B2 (en) | Aqueous solution for colloidal polishing of silicate substrates | |
US6159077A (en) | Colloidal silica polishing abrasive | |
JP2001118815A (ja) | 半導体ウェーハエッジ研磨用研磨組成物及び研磨加工方法 | |
JP4396963B2 (ja) | 研磨用組成物、その調製方法及びそれを用いたウェーハの研磨方法 | |
MXPA00008063A (en) | Optical polishing formulation | |
JP4159304B2 (ja) | 研磨方法 | |
Pan et al. | Innovative CMP Solution for Advanced STI Process | |
Babel et al. | Surfactant based alumina slurries for copper CMP | |
JP2023141786A (ja) | 研磨スラリー及び研磨方法 | |
JP3599816B2 (ja) | 研磨材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Patent lapsed due to non-payment of maintenance fees |
Effective date: 20120216 |