SK11452000A3 - Optický leštiaci prostriedok - Google Patents

Optický leštiaci prostriedok Download PDF

Info

Publication number
SK11452000A3
SK11452000A3 SK1145-2000A SK11452000A SK11452000A3 SK 11452000 A3 SK11452000 A3 SK 11452000A3 SK 11452000 A SK11452000 A SK 11452000A SK 11452000 A3 SK11452000 A3 SK 11452000A3
Authority
SK
Slovakia
Prior art keywords
cerium
polishing
particle size
suspension
microns
Prior art date
Application number
SK1145-2000A
Other languages
English (en)
Other versions
SK285219B6 (sk
Inventor
Roland W. Laconto Sr.
Rami Schlair
Original Assignee
Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. filed Critical Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc.
Publication of SK11452000A3 publication Critical patent/SK11452000A3/sk
Publication of SK285219B6 publication Critical patent/SK285219B6/sk

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09GPOLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
    • C09G1/00Polishing compositions
    • C09G1/02Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1454Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
    • C09K3/1463Aqueous liquid suspensions
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S977/00Nanotechnology
    • Y10S977/70Nanostructure
    • Y10S977/773Nanoparticle, i.e. structure having three dimensions of 100 nm or less
    • Y10S977/775Nanosized powder or flake, e.g. nanosized catalyst
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S977/00Nanotechnology
    • Y10S977/70Nanostructure
    • Y10S977/773Nanoparticle, i.e. structure having three dimensions of 100 nm or less
    • Y10S977/775Nanosized powder or flake, e.g. nanosized catalyst
    • Y10S977/776Ceramic powder or flake

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Description

Optický leštiaci prostriedok
Oblasť techniky
Predložený vynález sa týka prostriedkov na leštenie optických povrchov. Leštené povrchy môžu byť sklenené alebo z umelej hmoty.
Doterajší stav techniky
Je veľmi dobre známe, že pre výrobu uspokojivého optického povrchu je potrebné, aby tento povrch neobsahoval škrabance a aby mal čo možno najnižší Ra. Toto meranie Ra znamená priemernú vzdialenosť medzi najvyšším bodom povrchu kolmo na rovinu sklenenej dosky, ktorá sa leští. Ak teda pripustíme, že povrch nebude úplne rovný v submikrónovom merítku, táto hodnota je mierou zmeny medzi najvyšším a najnižším bodom povrchu. Je jasné, že čím je táto číslica menšia, tým je lepšia optická jasnosť a tým je menšia distorzia.
Do úvahy treba vziať i ďalšiu skutočnosť a tou je rýchlosť, ktorou sa dosiahne požadovaná úroveň optickej dokonalosti. Leštenie skla je chemickomechanický proces, ktorý sa uskutočňuje iba vo vodnom prostredí. Pre leštenú zlúčeninu je potrebné, aby reagovala s povrchom skla a vodou a tiež s povrchom predmetu, ktorý je vystavený obrusovaniu. Niektoré materiály, ako je ceria (oxid ceričitý), sú dostatočne reaktívne, ale nie sú veľmi brúsnymi činidlami. Iné materiály, ako je alumina (oxid hlinitý), sú dostatočnými brúsnymi činidlami, ale nemajú veľkú reaktivitu s povrchom. Tento predmet je dobre spracovaný v článku Lee Čiarka nažvancm “Chemical Processes in Glass Polishing“ („Chemické procesy pri leštení skla), publikovanom v Journal of Non-Crystalline Solids, 1990, 120, 152 až 171. Pri priemyselnej výrobe sú významnou výhodou pri konečnej úprave skôr kratšej než dlhšej doby, zvlášť ak sa nevyžaduje vzdať sa kvality, alebo ak sa môže kvalita zlepšiť.
Pri spôsoboch leštenia existujú dva prístupy. Podľa prvého spôsobu sa suspenzia brúsnych častíc vo vodnom prostredí (zvyčajne na báze deionizovanej vody) umiestni do kontaktu s povrchom, ktorý sa má leštiť, a vankúšikom sa pohybuje cez povrch vopred stanoveným spôsobom tak, aby brúsne činidlo v suspenzii leštilo povrch. Poaľa druhého spôsobu sa brúsne častice nachádzajú v živičnej matrici vo forme prostriedku a tento prostriedok sa potom využíva na leštenie optického povrchu. Predložený vynález sa týka prvého prístupu, podľa ktorého sa používa suspenzia.
V oblasti techniky sa navrhli rozmanité prostriedky vo forme suspenzie. USA patent č.4576 612 vyrába suspenziu v regulovaných množstvách tak, že sa získava vankúšik s povrchovou vrstvou obsahujúcou brúsne častice v živici, ktorá sa postupne v priebehu použitia rozpúšťa a uvoľňujú sa tak leštiace častice. Medzi častice, o ktorých sa uvádza, že sú užitočné, patrí oxid ceričitý („céria“, oxid zirkoničitý („zirkonia) a oxid železitý.
Európska patentová prihláška 608 730 A1 opisuje brúsnu suspenziu na leštenie povrchu v optickom prvku, ktorá obsahuje brúsne činidlo vybrané z alumíny, skla, diamantového prášku, karborunda, karbidu wolfrámu, karbidu kremíka alebo nitridu boru s veľkosťou častíc až jeden mikrometer.
USA patent č. 5 693 239 opisuje vodnú suspenziu na leštenie a planarizovanie obrábaných predmetov z kovov, ktorá obsahuje submikrónové častice alfa alumíny spoločne s ďalšími mäkšími formami alumíny alebo amorfným oxidom kremičitým.
Značné možstvo odkazov z oblasti techniky existuje tiež v súvisiacej oblasti suspenzných prostriedkov na chemické mechanické leštenie polovodičových substrátov. Tieto prostriedky opäť zvyčajne používajú rovnaké brúsne činidlá s rôznymi zložkami disperzného média.
Úspech pri leštení skiel ovšem do istej miery závisí na tvrdosti skla. Pri veľmi tvrdých sklách môže leštenie zaberať veľmi dlhý čas a zvýšiť problémy s dokončievacími prácami, ak existuje snaha o zrejme účelnejšie použitie tvrdších brúsnych činidiel.
Prostriedky vo forme suspenzie z oblasti techniky sú často veľmi účinné na dosiahnutie požadovaného výsledku. Zaberajú však tiež dosť dlhý čas. Vyvinul sa nový prostriedok, kde spolu synergickým spôsobom pracujú dva oxidy, „alumína a céria, takže ich vzájomná interakcia poskytuje lepšie výsledky ako je súčet účinkov jednotlivých zložiek samotných. Tento prostriedok umožňuje dosiahnutie veľmi vysokej úrovne optickej dokonalosti za omnoho kratší čas, ako je dosažiteľné so suspenziami z oblasti techniky bez toho, aby boli potrebné zvýšené teploty, ktoré sa niekedy používajú preto, aby sa zvýšila reaktivita. Navyše tieto prostriedky leštia veľmi účinne dokonca tvrdé sklá s malým poškodením alebo bez žiadneho doprevádzajúceho poškodenia povrchu. Tieto prostriedky sa môžu používať v čistiacich prístrojoch typu s „vankúšikom“ alebo „živicou“.
Podstata vynálezu
Predložený vynález poskytuje optický leštiaci prostriedok, ktorý obsahuje disperzné médium, v ktorom sú dispergované brúsne častice, pričom brúsne činidlo obsahuje častice alfa alumíny a častice céria s pomerom alumíny k cériu 95:5 až 85:15, výhodnejšie od 96:4 do 88:12.
Vo výhodných prostriedkoch existuje alumína vo forme častíc, ktoré majú v podstate všetky podmikrónovú veľkosť, pričom stredná veľkosť častíc je menšia ako 0,5 mikrometrov a najvýhdnejšia je od 0,15 do 0,25 mikrometrov. V súvislosti s touto prihláškou je tomu treba rozumieť tak, že „stredné veľkosti častíc“, ktoré sa tu diskutujú ako hodnoty „Dso, sa merajú analyzátorom veľkosti častíc Horiba L-910. Tieto alumíny sa získajú napríklad tak, že sa použije spôsob opísaný v USA patente č. 4 657 754.
Komerčne dostupná céria je zvyčajne zmesou oxidov kovov vzácnych zemín s oxidom céria ako najväčšou zložkou. Medzi ďalšie zložky môže patriť neodým, samárium, prazeodým a lantán. Taktiež môžu byť prítomné ďalšie minoritnejšie zložky iných vzácnych zemín. V praxi sa zisťuje, že čistota „céria príliš neovplyvňuje uskutočnenie brúsnych častíc v leštiacom prostriedku, takže vlastnosť, o ktorej sa v tomto vynáleze zistilo, že je užitočná, sa zdá byť prítomná vo väčšom alebo menšom rozsahu všetkými oxidmi kovov ďalších vzácnych zemín, ktoré sa vyskytujú spolu s cériou v komerčných materiáloch, ktoré sa pod týmto názvom predávajú. Pre účely tohto opisu sa budú zmesi oxidov vzácnych zemín, v ktorých je céria prevládajúcou zložkou, pokiaľ ide o hmotnostné percentá tohto produktu, označovať ako „céria“. Medzi príklady komerčne dostupných zdrojov „céria patrí „50D1“ a „Superox 50 (obidve dostupné od Cercoa PenYan, N. Y.), ktoré obsahujú asi 75 %, respektíve 34 % céria, a „Rhodox 76“ (od Rhône Poulenc), ktorý obsahuje asi 50 % céria.
Tak, ako je komerčne dostupná, existuje céria zvyčajne vo forme častíc s dvojzložkovou distribúciou veľkosti častíc s maximami veľkosti častíc okolo 0,4 a 4 mikrometrov. Väčšia veľkosť poskytuje objemnejšie častice. To potom dáva celkovú hodnotu D5o tohto prášku menšiu ako 4 a zvyčajne od 3 do 3,5 mikrometrov. Zistilo sa, že v prípade, keď sa táto distribúcia mletím céria zníži na relatívne jednotnú ceľkosť častíc okolo 0,2 mikrometrov, a výhodnejšie okolo 0,4 mikrometrov, použitie prostriedka nie je veľmi ovplyvnené, pokiaľ sklo nie je zvlášť tvrdé a pokiaľ sa nepožaduje tiež vysoká úroveň vizuálnej dokonalosti. Za týchto podmienok sa často zisťuje, že účinnejšia je distribúcia veľkosti nerozomletých častíc.
Prostredie, v ktorom sa brúsne častice dispergujú, je vodné, i keď môže byť prítomné menšie množstvo kvapalín miešateľných s vodou, ako sú alkoholy. Najobvyklejšie sa používa deionizovaná voda spolu s povrchovo aktívnym činidlom, ktoré napomáha tomu, aby sa brúsne častice udržovali dobre dispergované. Obsah pevných častíc v suspenzii je typicky od 5 do 15 alebo dokonca do 20 % hmotn., menej alebo viacej zriedenej (v percentách) živici. Všeobecne platí, že suspenzia s nižším obsahom pevných častíc bude leštiť pomalšie a pri suspenzii s vyšším obsahom pevných častíc môžu nastať problémy s usadzovaním brúsnych častíc zo suspenzie. Praktické úvahy preto diktujú, aby obsah pevných častíc bol od 5 do 15, výhodnejšie od 8 do 12 % hmotn. pevných častíc v suspenzii.
Príklady uskutočnenia vynálezu
Tento vynález sa ďalej opisuje pomocou nasledujúcich príkladov, ktoré sú myslené ako demonštrácia užitočnosti vynálezu a účinkov rôznej čistoty a rôznych veľkostí častíc cériovej zložky. Tieto príklady však nie sú myslené tak, aby zahrňovali nejaké nutné obmedzenia rozahu vynálezu.
Príklad 1
V tomto príklade sa porovnáva použitie brúsnej zmesi podľa vynálezu so suspenznými prostriedkami, ktoré obsahujú samotné zložky.
Leštiace testy sa uskutočňovali na dvojstrannom zariadení AC 500 Peter Wolters s leštiacimi vankúšikmi „Šuba 500, dostupnými od Rodeí, Inc. Vzorky lešteného skla sa vyrobili z taveného kremičitého kremenca (Corning) s tým, že išlo o dosť tvrdé sklo (560 až 640 Knoop).
Vzorky sa leštili použitím suspenzie každého z troch brúsnych činidiel s množstvom 10 % pevných látok v suspenzii. Prvá bola 100% alumína, druhá 100% céria a tretia zmes 90:10 rovnakých zložiek alumíny a céria. Alumína sa získala od Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc., a obsahovala častice alfa alumíny o veľkosti medzi asi 20 až 50 nanometrov vo forme aglomerátov s priemerom asi 0,15 až 0,25 mikrometrov. V podstate žiadne aglomeráty neboli väčšie ako jeden mikrometer. Cériovou zložkou bol Rhodox 76, produkt oxidov kovov vzácnych zemín obsahujúci asi 50 % céria, ktorý sa rozomlel na častice s D50 asi 0,4 mikrometrami. Suspenzie sa vyrobili v deionizovanej vode, do ktorej sa pridalo 0,07 % hmotn. povrchovo aktívneho činidla (polyakrylát sodný dostupný od R. T. Vanderblit pod obchodným označením Darvan 811).
Uskutočnenie v pojmoch konečnej úpravy povrchu sa sledovalo v závislosti na čase. Nakreslil sa graf získaných údajov. Tento graf sa objavuje ako ako obrázok 1 výkresov. Obrázok 2 ukazuje rovnaké údaje s expandovanou osou „konečné uskutočnenie, ktoré jasnejšie ukazujú získané zlepšenie.
Z obrázkov 1 a 2 je možné vidieť, že hoci vzorka leštená 100% cériou má lepšiu začiatočnú konečnú úpravu (to znamená, že je pred leštením hladšia) ako ďalšie dve, nevyleštila sa takmer tak dobre. Ako je možné vidieť z obrázku 2, alumína samotná nikdy nedosiahla konečnej úpravy povrchu (Ra) 200 angstrómov. Na druhej strane táto úroveň konečnej úpravy povrchu sa dosiahla cériou po asi 19 minútach a zmesou podľa vynálezu sa táto úroveň dosiahla za menej ako 10 minút. Z iného hľadiska mal materiál po asi 10 minútach leštenia suspenziou céria konečnú úpravu povrchu asi 900, materiál leštený suspenziou alumíny mal konečnú úpravu povrchu truchu menšiu ako 600 a suspenzia podľa vynálezu poskytla konečnú úpravu menšiu ako 200.
Príklad 2
Tento príklad vysvetľuje účinok rôznych veľkostí častíc céria pri leštení taveného oxidu kremičitého.
Prostriedok podľa vynálezu bol v podstate ten, ktorý sa použil v príklade 1 s cériou Rhodox 76 získanou od Rhône Poulenc. Rhodox 76 sa však používal so štyrmi rôznymi veľkosťami častíc (ako bolo zmerané hodnotou D50, ktorá sa stanovila analyzátorom veľkosti častíc Horiba LA910) v štyroch rôznych vyhodnoteniach leštenia. Použité veľkosti častíc boli 3,17 mikrometrov, 2,14 mikrometrov, 0,992 mikrometrov a 0,435 mikrometrov. Graf, ktorý sa uvádza ako obrázok 3 tieto výsledky zhrňuje. Z grafu na obrázku 3 je možné vyhodnotiť, že pri tomto skle existujú malé rozdiely v uskutočnení leštenia, ktoré je možné uviesť do vzťahu s veľkosťou častíc cérie. Podobné výsledky sa získali, ak sa ako zdroje céria použili „Superox 50“ a „50D-1“.
Príklad 3
V tomto príklade sa skúmal zdroj cérie a špecificky to, či čistota produktu má nejaký vplyv na účinnosť čistenia. Vyrobili sa prostriedky podľa vynálezu, ktoré obsahovali asi 10 % zložky céria a tomu zodpovedajúcich asi 90 % alumíny, ktoré sa použili v príklade 1. Tieto prostriedky sa testovali leštením taveného kremičitého skla pomocou zariadení a postupov, ktoré sú rovnaké ako zariadenia a postupy v príklade 1. Získali sa výsledky, ktoré sú uvedené na obrázku 4. Prvá vzorka „S“ znamená „Superox 50, ktorá obsahuje asi 34 % cérie. Druhá vzorka „R“ bola „Rhodox 76“, ktorá obsahuje asi 50 % cérie. Tretia vzorka „D“ bola „50D1“, ktorá obsahuje asi 75 % cérie. Pozorovalo sa, že medzi týmito tromi vzorkami existujú malé rozdiely v uskutočnení leštenia. Zdá sa, že oxidy iných kovov vzácnych zemín sa pravdepodobne v prostriedkoch podľa vynálezu chovajú podobným spôsobom ako céria.
Príklad 4
Tento príklad skúma účinnosť leštenia a vplyv veľkosti častíc cérie na sklo B270 (tvrdé sklo 530 Knoop). Zatiaľ čo hore uvedené príklady sa vyhodnocovali za laboratórnych podmienok a testovali iba na „konečnú úpravu povrchu“ meranou pojmami hodnôt ,,Ra“, nasledujúce hodnotenie sa robilo v priemyselnom prostredí pomocou zručného operátora, ktorý vyhodnotil konečný bod v pojmoch vizuálnej dokonalosti. To znamená viacej ako práve hodnota Ra, ktorá nutne neidentifikuje „šedosť“ pochádzajúcu z nedokonalosti povrchu, ktoré zostali po leštiacej operácii.
Použilo sa dvojstranné leštiace zariadenie 4800 P. R. Hoffman s leštiacimi vankúšikmi „Šuba 10“ od Rodeí Corporation. V priebehu leštenia sa na kúsky aplikoval tlak približne 1,034.104 Pa (1,5 psi). Konečným bodom leštenia bolo to, keď sa dosiahla vopred stanovená úroveň dokonalosti Časnosti) povrchu.
Vyrobili sa tri prostriedky podľa vynálezu. Všetky tri obsahovali alumínu a povrchovo aktívne zložky opísané v príklade 1 v rovnakých množstvách a dispergovaných spolu s cériovou zložkou v rovnakých relatívnych pomeroch v deionizovanej vode. Rozdiely medzi zložkami spočívali vo veľkosti častíc céria. V prvom prostriedku („prostriedok A) sa cériová zložka rozomlela na hodnotu D5o 0,4 mikrometrami. V druhom a treťom prípade („prostriedky B a B' “) sa céria (Superox 50) použila tak, ako sa dodala priamo výrobcom. Jediným rozdielom medzi týmito dvomi prostriedkami boli vzorky skla, ktoré sa leštili. V druhom prípade „B“ bola veľkosť leštenej vzorky menšia a teda tlak, ktorý sa rovnakým zariadením v priebehu leštenia používal na vzorky, bol väčší. To rýchlejšie viedlo k dosiahnutiu konečného bodu. Vo štvrtom prostriedku, „prostriedku C“, sa taktiež použila céria a to tak, ako sa dodala výrobcom (Rhodox 76). Ako sa už predtým uviedlo, získané materiály mali bimodálnu distribúciu s väčším objemom častíc s maximom častíc podľa analyzátora veľkosti častíc Horiba 910 okolo 4. Výsledky sú uvedené nižšie v tabuľke 1.
Tabuľka 1
Prostriedok Počet vzoriek Hrúbka na začiatku Hrúbka na konci Čas (min)
A 24 4,180 mm 4,168 mm 120
B 10 4,186 mm 4,155 mm 60
B' 20 4,183 ΠιΠΊ 4,163 mm 40
C 10 4,180 mm· 4,150 mm 50
Prostriedok A (ktorý používal rozomletú cériovú zložku) poskytol jednotnú svetlošedú farbu po 90 minútach a vyžadoval ďalších 30 minút na odstránenie tejto šedosti a získanie plochosti pod jednu desatinu vlnovej dĺžky. Prostriedky B a B' leštili veľmi agresívne a rovnomerne jednotne obrábaný kus. Prostriedok C taktiež leštil mimoriadne dobre a rýchle. Produkt zo skla B270 mal vynikajúcu plochosť povrchu. Iné leštiace materiály mohli leštiť skôr „miestne nepravidelne“ ako rovnomerne a jednotne po celom povrchu obrábaného kusu ako tomu bolo pri týchto prostriedkoch.
Zdá sa teda, že ak je rozhodujúca jasnosť, leštenie prostriedkami, ktoré obsahujú nemletú cériovú zložku, poskytuje významné výhody. Naproti tomu prostriedky, ktoré majú mleté cériové zložky, leštia rýchle a rýchle dosahujú plochosť, ale trvá to dlhší' čas Kým sa dosiahne vizuálna dokonalosť.

Claims (4)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY • 1. Optický leštiaci prostriedok, vyznačujúci sa tým, že obsahuje vodnú suspenziu, ktorá pozostáva v podstate z 5 až 20 % hmotn. pevných látok, kde 85 až 95 % z obsahu pevných látok predstavuje zložka alfa alumíny s D50 veľkosťou častíc menšou ako 0,5 mikrometrov a zodpovedajúcich 15 až 5 % hmotn. z obsahu pevných látok predstavuje céria vo forme prášku s D50 veľkostou častíc od 0,2 do 4 mikrometrov.
  2. 2. Optický leštiaci prostriedok podľa nároku 1, vyznačujúci sa tým, že obsah pevných látok v suspenzii je od 8 do 12 % hmotn.
  3. 3. Optický leštiaci prostriedok podľa nároku 1, vyznačujúci sa tým, že zložka alumíny má D50 veľkosť častíc od 0,15 do 0,25 mikrometrov.
  4. 4. Optický leštiaci prostriedok podľa nároku 1, vyznačujúci sa tým, že zložka cérie má distribúciu veľkosti častíc vykazujúcu dve zložky a D50 veľkosť častíc od 3 do 4 mikrometrov.
    1/4
SK1145-2000A 1998-02-18 1999-02-16 Optický leštiaci prostriedok SK285219B6 (sk)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/025,730 US5989301A (en) 1998-02-18 1998-02-18 Optical polishing formulation
PCT/US1999/003143 WO1999042537A1 (en) 1998-02-18 1999-02-16 Optical polishing formulation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SK11452000A3 true SK11452000A3 (sk) 2001-02-12
SK285219B6 SK285219B6 (sk) 2006-09-07

Family

ID=21827759

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SK1145-2000A SK285219B6 (sk) 1998-02-18 1999-02-16 Optický leštiaci prostriedok

Country Status (28)

Country Link
US (2) US5989301A (sk)
EP (1) EP1060221B1 (sk)
JP (1) JP3605036B2 (sk)
KR (1) KR100354202B1 (sk)
CN (1) CN1187426C (sk)
AR (1) AR014959A1 (sk)
AT (1) ATE245180T1 (sk)
AU (1) AU729245B2 (sk)
BR (1) BR9908020B1 (sk)
CA (1) CA2319107C (sk)
CO (1) CO5060536A1 (sk)
CZ (1) CZ294042B6 (sk)
DE (1) DE69909597T2 (sk)
DK (1) DK1060221T3 (sk)
ES (1) ES2204107T3 (sk)
FI (1) FI118180B (sk)
HU (1) HUP0101154A3 (sk)
IL (1) IL137804A0 (sk)
MY (1) MY123257A (sk)
NO (1) NO319039B1 (sk)
NZ (1) NZ505901A (sk)
PL (1) PL186840B1 (sk)
PT (1) PT1060221E (sk)
RU (1) RU2181132C1 (sk)
SK (1) SK285219B6 (sk)
TW (1) TWI239995B (sk)
WO (1) WO1999042537A1 (sk)
ZA (1) ZA991150B (sk)

Families Citing this family (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6839362B2 (en) * 2001-05-22 2005-01-04 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Cobalt-doped saturable absorber Q-switches and laser systems
US20030092271A1 (en) * 2001-09-13 2003-05-15 Nyacol Nano Technologies, Inc. Shallow trench isolation polishing using mixed abrasive slurries
US6896591B2 (en) * 2003-02-11 2005-05-24 Cabot Microelectronics Corporation Mixed-abrasive polishing composition and method for using the same
US20050061230A1 (en) * 2003-09-23 2005-03-24 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Spinel articles and methods for forming same
US7045223B2 (en) * 2003-09-23 2006-05-16 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Spinel articles and methods for forming same
US7326477B2 (en) * 2003-09-23 2008-02-05 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Spinel boules, wafers, and methods for fabricating same
US7919815B1 (en) 2005-02-24 2011-04-05 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Spinel wafers and methods of preparation
US7294044B2 (en) * 2005-04-08 2007-11-13 Ferro Corporation Slurry composition and method for polishing organic polymer-based ophthalmic substrates
RU2415006C1 (ru) * 2006-12-19 2011-03-27 Сэнт-Гобэн Керамикс Энд Пластикс, Инк. Абразив высокотемпературного связывания (варианты) и способ его получения
MY152826A (en) 2008-06-23 2014-11-28 Saint Gobain Abrasives Inc High porosity vitrified superabrasive products and method of preparation
CA2751158C (en) * 2009-01-30 2016-06-21 Lenzsavers, Llc Compositions and methods for restoring plastic covers and lenses
EP2493660A4 (en) 2009-10-27 2015-08-26 Saint Gobain Abrasives Inc RESIN-BONDED GRINDING
CN102639297B (zh) 2009-10-27 2015-11-25 圣戈班磨料磨具有限公司 玻璃质的粘结的磨料
KR101967134B1 (ko) * 2010-09-08 2019-04-09 바스프 에스이 N-치환 디아제늄 디옥시드 및/또는 n´-히드록시-디아제늄 옥시드 염을 함유하는 수성 폴리싱 조성물
WO2012092590A2 (en) 2010-12-31 2012-07-05 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
TWI605112B (zh) * 2011-02-21 2017-11-11 Fujimi Inc 研磨用組成物
WO2013003831A2 (en) 2011-06-30 2013-01-03 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Liquid phase sintered silicon carbide abrasive particles
CN108262695A (zh) 2011-06-30 2018-07-10 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 包括氮化硅磨粒的磨料制品
BR112014007089A2 (pt) 2011-09-26 2017-03-28 Saint-Gobain Ceram & Plastics Inc artigos abrasivos incluindo materiais de partículas abrasivas, abrasivos revestidos usando os materiais de partículas abrasivas e os métodos de formação
CA2849805A1 (en) 2011-09-29 2013-04-04 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive products and methods for finishing hard surfaces
US9266220B2 (en) 2011-12-30 2016-02-23 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles and method of forming same
AU2012362173B2 (en) 2011-12-30 2016-02-25 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Forming shaped abrasive particles
WO2013102177A1 (en) 2011-12-30 2013-07-04 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle and method of forming same
KR101681526B1 (ko) 2011-12-30 2016-12-01 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 복합 형상화 연마입자들 및 이의 형성방법
CA2860755C (en) 2012-01-10 2018-01-30 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having complex shapes and methods of forming same
WO2013106602A1 (en) 2012-01-10 2013-07-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
WO2013106575A1 (en) 2012-01-10 2013-07-18 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive products and methods for finishing coated surfaces
CN104144769A (zh) 2012-03-16 2014-11-12 圣戈班磨料磨具有限公司 研磨制品和用于精修表面的方法
US9242346B2 (en) 2012-03-30 2016-01-26 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive products having fibrillated fibers
WO2013149197A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive products and methods for fine polishing of ophthalmic lenses
CN110013795A (zh) 2012-05-23 2019-07-16 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 成形磨粒及其形成方法
WO2014005120A1 (en) 2012-06-29 2014-01-03 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
CN108015685B (zh) 2012-10-15 2020-07-14 圣戈班磨料磨具有限公司 具有特定形状的磨粒
EP2938459B1 (en) 2012-12-31 2021-06-16 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Particulate materials and methods of forming same
CN105073343B (zh) 2013-03-29 2017-11-03 圣戈班磨料磨具有限公司 具有特定形状的磨粒、形成这种粒子的方法及其用途
TW201502263A (zh) 2013-06-28 2015-01-16 Saint Gobain Ceramics 包含成形研磨粒子之研磨物品
KR101889698B1 (ko) 2013-09-30 2018-08-21 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 형상화 연마입자 및 이의 형성 방법
JP6290428B2 (ja) 2013-12-31 2018-03-07 サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド 成形研磨粒子を含む研磨物品
US9771507B2 (en) 2014-01-31 2017-09-26 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same
AU2015247739B2 (en) 2014-04-14 2017-10-26 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
EP3131706B8 (en) 2014-04-14 2024-01-10 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
WO2015184355A1 (en) 2014-05-30 2015-12-03 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles
US9707529B2 (en) 2014-12-23 2017-07-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Composite shaped abrasive particles and method of forming same
US9914864B2 (en) 2014-12-23 2018-03-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particles and method of forming same
US9676981B2 (en) 2014-12-24 2017-06-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle fractions and method of forming same
EP3277459B1 (en) 2015-03-31 2023-08-16 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Fixed abrasive articles and methods of forming same
TWI634200B (zh) 2015-03-31 2018-09-01 聖高拜磨料有限公司 固定磨料物品及其形成方法
CN107864637B (zh) 2015-06-11 2022-11-22 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 包括经成形研磨颗粒的研磨制品
EP4071224A3 (en) 2016-05-10 2023-01-04 Saint-Gobain Ceramics and Plastics, Inc. Methods of forming abrasive articles
KR102422875B1 (ko) 2016-05-10 2022-07-21 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 연마 입자들 및 그 형성 방법
US11230653B2 (en) 2016-09-29 2022-01-25 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Fixed abrasive articles and methods of forming same
US10759024B2 (en) 2017-01-31 2020-09-01 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US10563105B2 (en) 2017-01-31 2020-02-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
EP3642293A4 (en) 2017-06-21 2021-03-17 Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. PARTICULATE MATERIALS AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF
US11865663B2 (en) * 2018-05-10 2024-01-09 George Shuai Optical surface polishing
CN109439282A (zh) * 2018-10-23 2019-03-08 蓝思科技(长沙)有限公司 复合纳米磨料、抛光液及其制备方法、玻璃晶片和电子设备
CN109135580B (zh) * 2018-10-25 2021-04-02 蓝思科技(长沙)有限公司 一种玻璃用抛光液及其制备方法
CN110724460A (zh) * 2019-11-13 2020-01-24 刘通 一种铈铝复合氧化物抛光粉的制备方法
CN114867582A (zh) 2019-12-27 2022-08-05 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 磨料制品及其形成方法
CN113881348A (zh) * 2021-11-04 2022-01-04 青岛福禄泰科表面材料科技有限公司 一种复合氧化铝抛光液及其制备方法和应用
CN114213977A (zh) * 2021-12-23 2022-03-22 中天科技精密材料有限公司 抛光剂及其制备方法

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3429080A (en) * 1966-05-02 1969-02-25 Tizon Chem Corp Composition for polishing crystalline silicon and germanium and process
GB1501570A (en) * 1975-11-11 1978-02-15 Showa Denko Kk Abrader for mirror polishing of glass and method for mirror polishing
US4161394A (en) * 1978-06-19 1979-07-17 Regan Glen B Polishing slurry of xanthan gum and a dispersing agent
FR2549846B1 (fr) * 1983-07-29 1986-12-26 Rhone Poulenc Spec Chim Nouvelle composition de polissage a base de cerium et son procede de fabrication
US4576612A (en) * 1984-06-01 1986-03-18 Ferro Corporation Fixed ophthalmic lens polishing pad
US5312789A (en) * 1987-05-27 1994-05-17 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive grits formed of ceramic, impregnation method of making the same and products made therewith
BR9307095A (pt) * 1992-09-25 1999-03-30 Minnesota Mining & Mfg Processo para preparar grãos de abrasivo
CA2111010A1 (en) * 1993-01-29 1994-07-30 Robert James Hagerty Method of finely polishing planar optical elements
US5549962A (en) * 1993-06-30 1996-08-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Precisely shaped particles and method of making the same
US5465314A (en) * 1993-09-09 1995-11-07 The Furukawa Electronic Co., Ltd. Method of manufacturing optical connector
US5632668A (en) * 1993-10-29 1997-05-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method for the polishing and finishing of optical lenses
KR960041316A (ko) * 1995-05-22 1996-12-19 고사이 아키오 연마용 입상체, 이의 제조방법 및 이의 용도
US5693239A (en) * 1995-10-10 1997-12-02 Rodel, Inc. Polishing slurries comprising two abrasive components and methods for their use
US5702811A (en) * 1995-10-20 1997-12-30 Ho; Kwok-Lun High performance abrasive articles containing abrasive grains and nonabrasive composite grains
WO1997042007A1 (en) * 1996-05-08 1997-11-13 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive article comprising an antiloading component
US5858813A (en) * 1996-05-10 1999-01-12 Cabot Corporation Chemical mechanical polishing slurry for metal layers and films
KR19980019046A (ko) * 1996-08-29 1998-06-05 고사이 아키오 연마용 조성물 및 이의 용도(Abrasive composition and use of the same)
JP3856513B2 (ja) * 1996-12-26 2006-12-13 昭和電工株式会社 ガラス研磨用研磨材組成物
US5876268A (en) 1997-01-03 1999-03-02 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method and article for the production of optical quality surfaces on glass
US5833724A (en) * 1997-01-07 1998-11-10 Norton Company Structured abrasives with adhered functional powders
US5851247A (en) * 1997-02-24 1998-12-22 Minnesota Mining & Manufacturing Company Structured abrasive article adapted to abrade a mild steel workpiece
US5910471A (en) 1997-03-07 1999-06-08 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive article for providing a clear surface finish on glass
US5876470A (en) * 1997-08-01 1999-03-02 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive articles comprising a blend of abrasive particles

Also Published As

Publication number Publication date
IL137804A0 (en) 2001-10-31
DE69909597D1 (de) 2003-08-21
MY123257A (en) 2006-05-31
RU2181132C1 (ru) 2002-04-10
PT1060221E (pt) 2003-12-31
EP1060221B1 (en) 2003-07-16
WO1999042537A1 (en) 1999-08-26
PL186840B1 (pl) 2004-03-31
CO5060536A1 (es) 2001-07-30
FI20001800A (fi) 2000-08-15
BR9908020B1 (pt) 2009-01-13
CZ20002969A3 (cs) 2001-03-14
EP1060221A1 (en) 2000-12-20
JP2002504588A (ja) 2002-02-12
DK1060221T3 (da) 2003-10-20
NO20004122D0 (no) 2000-08-17
CA2319107A1 (en) 1999-08-26
NZ505901A (en) 2002-03-01
HUP0101154A2 (hu) 2001-07-30
AU729245B2 (en) 2001-01-25
TWI239995B (en) 2005-09-21
FI118180B (fi) 2007-08-15
US5989301A (en) 1999-11-23
CN1187426C (zh) 2005-02-02
CZ294042B6 (cs) 2004-09-15
ATE245180T1 (de) 2003-08-15
AU2677799A (en) 1999-09-06
ZA991150B (en) 1999-08-12
CN1290289A (zh) 2001-04-04
DE69909597T2 (de) 2004-05-27
KR20010034504A (ko) 2001-04-25
NO20004122L (no) 2000-08-17
BR9908020A (pt) 2000-10-24
PL342392A1 (en) 2001-06-04
AR014959A1 (es) 2001-04-11
JP3605036B2 (ja) 2004-12-22
US6258136B1 (en) 2001-07-10
ES2204107T3 (es) 2004-04-16
CA2319107C (en) 2005-09-20
KR100354202B1 (ko) 2002-09-26
SK285219B6 (sk) 2006-09-07
HUP0101154A3 (en) 2002-06-28
NO319039B1 (no) 2005-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SK11452000A3 (sk) Optický leštiaci prostriedok
JP2592401B2 (ja) 表面を研磨及び平坦化する組成物と方法
JP5281758B2 (ja) 研磨用組成物
JP3887230B2 (ja) 改良セリア粉末
CN113930165B (zh) 一种研磨助剂、制备方法、用途及研磨液和研磨方法
KR101022982B1 (ko) 폴리싱 슬러리 및 그 사용 방법
JPH11315273A (ja) 研磨組成物及びそれを用いたエッジポリッシング方法
Jacobs et al. Magnetorheological finishing of IR materials
EP1072666A2 (en) Colloidal polishing of fused silica
US6159077A (en) Colloidal silica polishing abrasive
JP4396963B2 (ja) 研磨用組成物、その調製方法及びそれを用いたウェーハの研磨方法
MXPA00008063A (en) Optical polishing formulation
Singh et al. Novel reactive chemical mechanical polishing technology for fabrication of SiC mirrors
JP2023141786A (ja) 研磨スラリー及び研磨方法
Babel et al. Surfactant based alumina slurries for copper CMP
Joye et al. Advancements in cerium oxide slurry development for precision optics

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of maintenance fees

Effective date: 20120216