CZ20002969A3 - Prostředek pro leštění povrchů optických zařízení - Google Patents
Prostředek pro leštění povrchů optických zařízení Download PDFInfo
- Publication number
- CZ20002969A3 CZ20002969A3 CZ20002969A CZ20002969A CZ20002969A3 CZ 20002969 A3 CZ20002969 A3 CZ 20002969A3 CZ 20002969 A CZ20002969 A CZ 20002969A CZ 20002969 A CZ20002969 A CZ 20002969A CZ 20002969 A3 CZ20002969 A3 CZ 20002969A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- cerium
- polishing
- particle size
- microns
- alumina
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/773—Nanoparticle, i.e. structure having three dimensions of 100 nm or less
- Y10S977/775—Nanosized powder or flake, e.g. nanosized catalyst
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/773—Nanoparticle, i.e. structure having three dimensions of 100 nm or less
- Y10S977/775—Nanosized powder or flake, e.g. nanosized catalyst
- Y10S977/776—Ceramic powder or flake
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
Optický leštící prostředek '
Oblast techniky
Předložený vynález se týká prostředků pro leštění optických povrchů. Leštěné povrchy mohou být skleněné nebo z umělé hmoty.
Dosavadní stav techniky
Je velmi dobře známo, že pro výrobu uspokojivého optického povrchu je nutné, aby tento povrch neobsahoval škrábance a aby měl co možná nejnižší R^. Toto měření Ra znamená průměrnou vzdálenost mezi nejvyšším a nejnižším bodem povrchu kolmo k rovině skleněné desky, která je leštěna. Jestliže tedy přijmeme, že povrch nebude úplně rovný v submikronovém měřítku, tato hodnota je mírou změny mezi nejvyšším a nejnižším bodem povrchu. Je jasné, že čím je tato číslice menší, tím lepší je optická jasnost a tím menší je distorze.
V úvahu je třeba vzít i další skutenčost a tou je rychlost, kterou se dosáhne žádaná úroveň optické dokonalosti. Leštění skla je chemicko-mechanický proces, který probíhá pouze ve vodném prostředí. Pro leštící sloučeninu je nutné, aby reagovala s povrchem skla a vodou a také s povrchem předmětu, který je vystaven obrušování. Některé materiály, jako je ceria (oxid ceričitý), jsou dostatečně reaktivní, ale nejsou velmi brousivými činidly. Jiné materiály, jako je alumina (oxid hlinitý), jsou dostatečnými brusnými činidly, ale nemají velkou reaktivitu s povrchem. Tento předmět je dobře zpracován v článku Lee Clarka nazvaném Chemical Processes in Glass Polishing (Chemické procesy při leštění skla), publikovaném v Journal of Non-Crystalline Solids, 1990, 120, 152 až 171. Při průmyslové výrobě jsou významnou výhodou při konečné úpravě spíše kratší než delší doby, zvláště jestliže není vyžadováno vzdát se kvality a nebo jestliže může být kvalita zlepšena.
• * • · ♦ ♦
Při způsobech leštění existují dva přístupy. Podle prvého způsobu se suspenze brousících částic ve vodném prostředí (obvykle na bázi deionizované vody) umístí do kontaktu s povrchem, který má být leštěn, a polštářkem se pohybuje přes povrch předem stanoveným způsobem tak, aby brusné činidlo v suspenzi leštilo povrch. Podle druhého způsobu jsou brusné částice obsaženy v pryskyřičné matrici ve formě prostředku a tento prostředek se pak používá pro leštění optického povrchu. Předložený vynález se týká prvního přístupu, podle kterého se používá suspenze.
V oblasti techniky byly navrženy rozmanité prostředky ve formě suspenze. USA patent č. 4 576 612 vyrábí suspenzi v regulovaných množstvích tak, že se získává polštářek s povrchovou vrstvou obsahující brusné částice v pryskyřici, která se postupně během použití rozpuští a uvolňuje tak leštící částice. Mezi částice, o nichž se uvádí, že jsou užitečné, patří oxid ceričitý (ceria), oxid zirkoničitý (zirkonia) a oxid železitý.
Evropská patentová přihláška 608 730 Al popisuje brusnou suspenzi pro leštění povrchu v optickém prvku, která obsahuje brusné činidlo vybrané z aluminy, skla, diamantového prášku, karborunda, karbidu wolframu, karbidu křemíku nebo nitridu boru s velikostí částic až jeden mikrometr.
USA patent č. 5 693 239 popisuje vodnou suspenzi pro leštění a planarizování kovových obráběných předmětů, která obsahuje submikronové částice alfa aluminy společně s dalšími měkčími formami aluminy nebo amorfním oxidem křemičitým.
Značné množství odkazů z oblasti techniky existuje také v související oblasti suspenzních prostředků pro chemické mechanické leštění polovodičových substrátů. Tyto prostředky opět obvykle používají stejná brusná činidla s různými složkami disperzního media.
• * * * · β.
Úspěch při leštění skel ovšem do jisté míry závisí na tvrdosti skla. U velmi tvrdých skel může leštění zabírat velmi dlouhou dobu a zvýšit problémy s dokončovacími pracemi, jestliže existuje snaha o zřejmě účelnější použití tvrdších brusných činidel.
Prostředky ve formě suspenze z oblasti techniky jsou často velmi účinné pro dosažení žádaného výsledku. Zabírají však také dost dlouhou dobu. Byl vyvinut nový prostředek, kde spolu synergickým způsobem pracují dva oxidy, alumina a ceria, takže jejich vzájemná interakce poskytuje lepší výsledky než je součet účinků jednotlivých složek samotných. Tento prostředek umožňuje dosaženi velmi vysoké úrovně optické dokonalosti za mnohem kratší dobu, než je dosažitelné se suspenzemi z oblasti techniky bez toho, aby bylo potřeba zvýšených teplot, které se někdy používají pro to, aby se reaktivita zvýšila. Navíc tyto prostředky lešti velmi účinně dokonce tvrdá skla s malým poškozením nebo bez žádného doprovodného poškození povrchu. Tyto prostředky se mohou používat v čistících přístrojích typu s polštářkem nebo pryskyřicí.
Podstata vynálezu
Předložený vynález poskytuje optický leštící prostředek, který obsahuje disperzní medium, v němž jsou dispergovány brousící částice, při čemž brousíc! činidlo obsahuje částice alfa aluminy a částice cerie s poměrem aluminy k cerii 95:5 až 85:15, výhodněji od 96:4 do 88:12.
Ve výhodných prostředcích existuje alumina ve formě částic, které v podstatě všechny mají podmikronovou velikost, při čemž střední velikost částic je menší než 0,5 mikrometrů a nejvýhodněji je od 0,15 do 0,25 mikrometrů. V souvislosti s touto přihláškou je tomu třeba rozumět tak, že střední velikosti částic, které jsou zde diskutovány jako hodnoty Dso, jsou měřeny analyzátorem velikosti částic Horiba L-910. Tyto aluminy jsou zlskatelné například tak, že se použije způsob popsaný v » · • * · • ·
USA patentu č. 4 657 754.
Komerčně dostupná ceria je obvykle směsi oxidů kovů vzácných zemin s oxidem cerie jako největší složkou. Mezi další složky může patřit neodym, samarium, praseodym a lanthan. Mohou být přítomny také další minoritnější složky jiných vzácných zemin. V praxi se zjišťuje, že čistota cerie příliš neovlivňuje provedení brousících částic v leštícím prostředku, takže vlastnost, o níž bylo v tomto vynálezu zjištěno, že je užitečná, se zdá být sdílena ve větším nebo menším rozsahu všemi oxidy kovů dalších vzácných zemin, které se vyskytují spolu s cerií v komerčních materiálech, které jsou pod tímto názvem prodávány.
Pro účely tohoto popisu budou směsi oxidů vzácných zemin, v nichž je ceria převládající složkou, pokud jde o hmotnostní procenta tohoto produktu, označovány jako ceria. Mezi příklady komerčně dostupných zdrojů cerie patří 50D1 a Superox 50 (obě dostupné od Cercoa PenYan, N.Y.), které obsahují asi 75 %, respektive 34 % cerie, a Rhodox 76 (od Rhone Poulenc), který obsahuje asi 50 % cerie.
Tak, jak je komerčně dostupná, existuje cerie obvykle ve formě částic s dvojsložkovou distribucí velikosti částic s maximy velikostí částic kolem 0,4 a 4 mikrometrů. Větší velikost poskytuje objemnější částice. To pak dává celkovou hodnotu Dso tohoto prášku menší než 4 a obvykle od 3 do 3,5 mikrometrů. Bylo zjištěno, že v případě, kdy se tato distribuce mletím cerie sníží na relativně jednotnou velikost částic kolem 0,2 mikrometrů, a výhodněji kolem 0,4 mikrometrů, provedení prostředku není velmi ovlivněno, pokud sklo není zvláště tvrdé a pokud není vyžadována také vysoká úroveň vizuální dokonalosti. Za těchto podmínek se často zjišťuje, že účinnější je distribuce velikosti nerozemletých částic.
Prostředí, ve kterém jsou brousící částice dispergovány, je vodné, i když může být přítomno menší množství kapalin mísitelných s vodou, jako jsou alkoholy. Nejobvykleji se používá deionizovaná voda spolu s povrchově aktivním činidlem, které
4 napomáhá tomu, aby se brousící částice udržovaly dobře dispergované. Obsah pevných částic v suspenzi je typicky od 5 do 15 nebo dokonce do 20 % hmotn., méně nebo více zředěné (v procentech) v pryskyřici. Obecně platí, že suspenze s nižším obsahem pevných částic bude leštit pomaleji a u suspenze s vyšším obsahem pevných částic mohou nastat problémy s usazováním brousících částic ze suspenze. Praktické úvahy proto diktují, aby obsah pevných částic byl od 5 do 15, výhodněji od 8 do 12 % hmotn. pevných částic v suspenzi.
Příklady provedeni vynálezu
Tento vynález je dále popsán pomocí následujících příkladů, které jsou myšleny jako demonstrace užitečnosti vynálezu a účinků různé čistoty a různých velikostí částic ceriové složky. Tyto příklady však nejsou zamýšleny tak, že by zahrnovaly nějaká nutná omezení rozsahu vynálezu.
Příklad 1
V tomto příkladu je srovnáváno provedení brousí směsi podle vynálezu se suspenzními prostředky, které obsahují samotné složky.
Leštící testy byly prováděny na dvojstranném zařízení AC 500 Peter Wolters s leštícími polštářky Suba 500, dostupnými od Rodei, lne. Vzorky leštěného skla byly vyrobeny z taveného křemičitého křemence (Corning) s tím, že šlo o dost tvrdé sklo (560 až 640 Knoop).
Vzorky byly leštěny použitím suspenze každého ze tří brousících činidel s množstvím 10 % pevných látek v suspenzi. Prvním byla 100% alumina, druhým 100% ceria a třetím směs 90:10 stejných složek aluminy a cerie. Alumina byla získána od Saint-Gobain Industrial Ceramics, lne., a obsahovala částice alfa aluminy s velikostí mezi asi 20 až 50 nanometry ve formě aglomerátů s průměrem asi 0,15 až 0,25 mikrometrů. V podstatě žádné aglomeráty nebyly větší než jeden mikrometr. Ceriovou složkou byl Rhodox 76, produkt oxidu kovů vzácných zemin obsahující asi 50 % cerie, který byl rozemlet na částice s Dso asi 0,4 mikrometry. Suspenze byly vyrobeny v deionizované vodě, ke které bylo přidáno 0,07 % hmotn. povrchově aktivního činidla (polyakrylát sodný dostupný od R. T. Vanderbilt pod obchodním označením Darvan 811).
Provedení v pojmech konečné úpravy povrchu bylo sledováno v závislosti na čase. Byl nakreslen graf získaných dat. Tento graf se objevuje jako obrázek 1 výkresů. Obrázek 2 ukazuje stejná data s expandovanou osou konečné provedeni, která jasněji ukazují získané zlepšení.
Z obrázků 1 a 2 lze vidět, že i když vzorek leštěný 100% cerií má lepší počáteční konečnou úpravu (to znamená, že je před leštěním hladší) než další dva, nevyleštil se téměř tak dobře. Jak lze vidět z obrázku 2, alumina samotná nikdy nedosáhla konečného provedení povrchu (Ra) 200 angstromů. Na druhé straně tato úroveň konečného provedení povrchu byla dosažena cerií po asi 19 minutách a směsí podle vynálezu byla tato úroveň dosažena za méně než 10 minut. Z jiného hlediska měl materiál po asi 10 minutách leštění suspenzí cerie konečné provedení povrchu asi 900, materiál leštěný suspenzí aluminy měl konečné provedeni povrchu trochu menší než 600 a suspenze podle vynálezu poskytla konečnou úpravu menší než 200.
Příklad 2
Tento příklad vysvětluje účinek různých velikostí částic cerie při leštění taveného oxidu křemičitého.
Prostředek podle vynálezu byl v podstatě ten, který byl použit v příkladu 1 s cerií Rhodox 76 získanou od Rhone Poulené. Rhodox 76 byl však používán se čtyřmi různými velikostmi částic (jak bylo změřeno hodnotou Dso, která byla stanovena analyzátorem velikosti částic Horiba LA910) ve čtyřech různých • · · · ·· ·· ·· • · ·· · ·· · · ·· · • · ···· ···* • · ·· ·· ··· ·· · • · ···· ···· ··· ··· ·· ·· ·· · · vyhodnoceních leštění. Použité velikosti částic byly 3,17 mikrometrů, 2,14 mikrometrů, 0,992 mikrometrů a 0,435 mikrometrů. Graf uvedený jako obrázek 3 tyto výsledky shrnuje. Z grafu na obrázku 3 lze vyhodnotit, že u tohoto skla existují malé rozdíly v provedení leštění, které lze uvést do vztahu s velikostí částic cerie. Podobné výsledky byly získány, jestliže se jako zdroje cerie použily Superox 50” a ”50D-l”.
Přiklad 3
V tomto příkladu byl zkoumán zdroj cerie a specificky to, jestli čistota produktu má nějaký vliv na účinnosti čištění. Byly vyrobeny prostředky podle vynálezu, které obsahovaly asi 10 % složky cerie a tomu odpovídajících asi 90 % aluminy použitých v prostředcích v příkladu 1. Tyto prostředky byly testovány leštěním taveného křemičitého skla pomocí zařízení a postupů, které jsou stejné jako zařízení a postupy v příkladu 1. Byly získány výsledky, které jsou uvedeny na obrázku 4. První vzorek S” znamená Superox 50”, který obsahuje asi 34 % cerie. Druhý vzorek R byl Rhodox 76, který obsahuje asi 50 % cerie. Třetím vzorkem D byl 50D1”, který obsahuje asi 75 % cerie. Bylo pozorováno, že mezi těmito třemi vzorky existují malé rozdíly v provedení leštění. Zdá se, že oxidy jiných kovů vzácných zemin se pravděpodobně v prostředcích podle vynálezu chovají podobným způsobem jako cerie.
Příklad 4
Tento příklad zkoumá účinnost leštění a vliv velikosti částic cerie na sklo B270 (tvrdé sklo 530 Knoop). Zatímco shora uvedené příklady byly vyhodnocovány za laboratorních podmínek a testovány pouze na konečnou úpravu povrchu měřenou pojmy hodnot R&, následující hodnocení byla dělána v průmyslovém prostředí pomocí zručného operátora, který vyhodnotil konečný bod v pojmech vizuální dokonalosti. To znamená více než právě hodnota Ra, která nutně neidentifikuje šedost pocházející z nedokonalostí povrchu, které zůstaly po leštící operaci.
• · • ·
Bylo použito dvojstranné leštící zařízení 4800 P. R. Hoffman s leštícími polštářky Suba 10 od Rodei Corporation. Během leštění byl na kousky aplikován tlak přibližně 1,034.104 Pa (1,5 psi). Konečným bodem leštění bylo to, když byla dosažena předem stanovená úroveň dokonalosti (jasnosti) povrchu.
Byly vyrobeny tři prostředky podle vynálezu. Všechny tři obsahovaly aluminu a povrchově aktivní složky popsané v příkladu 1 ve stejných množstvích a dispergovaných spolu s ceriovou složkou ve stejných relativních poměrech v deionizované vodě. Rozdíly mezi složkami spočívaly ve velikosti částic cerie. V prvním prostředku (prostředek A) byla ceriová složka rozemleta na hodnotu Dso 0,4 mikrometry. Ve druhém a v třetím případě (prostředky B a B·) byla ceria (Superox 50) použita tak, jak byla dodána přímo výrobcem. Jediným rozdílem mezi těmito dvěma prostředky byly vzorky skla, které byly leštěny. V druhém případě B”' byla velikost leštěného vzorku menší a tedy tlak, který byl stejným zařízením během leštění vykazován na vzorky, byl větší. To vedlo rychleji k dosažení konečného bodu. Ve čtvrtém prostředku, prostředku C, byla také použita cerie a to tak, jak byla dodána výrobcem (Rhodox 76). Jak bylo dříve uvedeno, získané materiály měly bimodální distribuci s větším objemem částic o maximu částic podle analyzátoru velikosti částic Horiba 910 kolem 4. Výsledky jsou uvedeny níže v tabulce
1.
Tabulka 1
prostředek | počet vzorků | tloušťka na počátku | tloušťka na konci | doba (min) |
A | 24 | 4,180 mm | 4,168 mm | 120 |
B | 10 | 4,186 mm | 4,155 mm | 60 |
B· | 20 | 4,183 mm | 4,163 mm | 40 |
C | 10 | 4,180 mm | 4,150 mm | 50 |
Prostředek A (který používal rozemletou cerivou složku) poskytl jednotnou světlešedou barvu po 90 minutách a vyžadoval dalších 30 minut na odstranění této šedosti a získání plochosti pod jednou desetinou vlnové délky. Prostředky B a B' leštily velmi agresivně a stejnoměrně jednotně obráběný kus. Prostředek C také leštil mimořádně dobře a rychle. Produkt ze skla B270 měl vynikající plochost povrchu. Jiné leštící materiály mohly leštit spíše místně nepravidelně než sstejnoměrně a jednotně po celém povrchu obráběného kusu než jak tomu bylo u těchto prostředků.
Zdá se tedy, že jestliže je rozhodující jasnost, leštění prostředky, které obsahují nemletou ceriovou složku, poskytuje významné výhody. Naproti tomu prostředky, které mají mleté ceriové složky, leští rychle a rychle dosahují plochosti, ale trvá to delší dobu než se dosáhne vizuální dokonalosti.
«· · · ·· · · • · · · · ·· · zněněné stránky
Claims (4)
- PATENTOVÉ NÁROKY1. Optický leštící prostředek, vyznačující se tím, že obsahuje vodnou suspenzi, která sestává v podsatatě z 5 až 20 % hmotn. pevných látek, kde 85 až 95 % z obsahu pevných látek představuje složka alfa aluminy s Dso velikostí částic menší než 0,5 mikrometrů a odpovídajících 15 až 5 % hmotn.z obsahu pevných látek představuje ceria ve formě prášku s Dso velikostí částic od 0,2 do 4 mikrometrů.
- 2. Optický leštící prostředek podle nároku 1, vyznačující se tím, že obsah pevných látek v suspenzi je od 8 do 12 % hmotn.
- 3. Optický leštící prostředek podle nároku 1, vyznačující se tím, že složka aluminy má Dso velikost částic od 0,15 do 0,25 mikrometrů.
- 4. Optický leštící prostředek podle nároku 1, vyznačující se tím, že složka cerie má distribuci velikosti částic vykazující dvě složky a Dso velikost částic od 3 do 4 mikrometrů.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/025,730 US5989301A (en) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | Optical polishing formulation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CZ20002969A3 true CZ20002969A3 (cs) | 2001-03-14 |
CZ294042B6 CZ294042B6 (cs) | 2004-09-15 |
Family
ID=21827759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CZ20002969A CZ294042B6 (cs) | 1998-02-18 | 1999-02-16 | Optický lešticí prostředek |
Country Status (28)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5989301A (cs) |
EP (1) | EP1060221B1 (cs) |
JP (1) | JP3605036B2 (cs) |
KR (1) | KR100354202B1 (cs) |
CN (1) | CN1187426C (cs) |
AR (1) | AR014959A1 (cs) |
AT (1) | ATE245180T1 (cs) |
AU (1) | AU729245B2 (cs) |
BR (1) | BR9908020B1 (cs) |
CA (1) | CA2319107C (cs) |
CO (1) | CO5060536A1 (cs) |
CZ (1) | CZ294042B6 (cs) |
DE (1) | DE69909597T2 (cs) |
DK (1) | DK1060221T3 (cs) |
ES (1) | ES2204107T3 (cs) |
FI (1) | FI118180B (cs) |
HU (1) | HUP0101154A3 (cs) |
IL (1) | IL137804A0 (cs) |
MY (1) | MY123257A (cs) |
NO (1) | NO319039B1 (cs) |
NZ (1) | NZ505901A (cs) |
PL (1) | PL186840B1 (cs) |
PT (1) | PT1060221E (cs) |
RU (1) | RU2181132C1 (cs) |
SK (1) | SK285219B6 (cs) |
TW (1) | TWI239995B (cs) |
WO (1) | WO1999042537A1 (cs) |
ZA (1) | ZA991150B (cs) |
Families Citing this family (61)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6839362B2 (en) * | 2001-05-22 | 2005-01-04 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Cobalt-doped saturable absorber Q-switches and laser systems |
US20030092271A1 (en) * | 2001-09-13 | 2003-05-15 | Nyacol Nano Technologies, Inc. | Shallow trench isolation polishing using mixed abrasive slurries |
US6896591B2 (en) * | 2003-02-11 | 2005-05-24 | Cabot Microelectronics Corporation | Mixed-abrasive polishing composition and method for using the same |
US7045223B2 (en) * | 2003-09-23 | 2006-05-16 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Spinel articles and methods for forming same |
US20050061230A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Spinel articles and methods for forming same |
US7326477B2 (en) * | 2003-09-23 | 2008-02-05 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Spinel boules, wafers, and methods for fabricating same |
US7919815B1 (en) | 2005-02-24 | 2011-04-05 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Spinel wafers and methods of preparation |
US7294044B2 (en) * | 2005-04-08 | 2007-11-13 | Ferro Corporation | Slurry composition and method for polishing organic polymer-based ophthalmic substrates |
WO2008079680A1 (en) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Submicron alpha alumina high temperature bonded abrasives |
JP5539339B2 (ja) | 2008-06-23 | 2014-07-02 | サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド | 高気孔率ビトリファイド超砥粒製品および製造方法 |
WO2010087849A1 (en) * | 2009-01-30 | 2010-08-05 | Lenzsavers, Llc | Compositions and methods for restoring plastic covers and lenses |
EP2493659A4 (en) | 2009-10-27 | 2015-09-02 | Saint Gobain Abrasives Inc | VITREOUS BONDED ABRASIVE |
KR20150097811A (ko) | 2009-10-27 | 2015-08-26 | 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 | 레진본드 연마재 |
TWI598434B (zh) * | 2010-09-08 | 2017-09-11 | 巴斯夫歐洲公司 | 含有N-取代重氮烯(diazenium)二氧化鹽及/或N’-羥基-重氮烯(diazenium)氧化鹽之水研磨組成物 |
RU2013135445A (ru) | 2010-12-31 | 2015-02-10 | Сэнт-Гобэн Керамикс Энд Пластикс, Инк. | Абразивное изделие (варианты) и способ его формования |
TWI605112B (zh) * | 2011-02-21 | 2017-11-11 | Fujimi Inc | 研磨用組成物 |
US8986409B2 (en) | 2011-06-30 | 2015-03-24 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles including abrasive particles of silicon nitride |
CN103764349B (zh) | 2011-06-30 | 2017-06-09 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 液相烧结碳化硅研磨颗粒 |
WO2013049239A1 (en) | 2011-09-26 | 2013-04-04 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles including abrasive particulate materials, coated abrasives using the abrasive particulate materials and methods of forming |
CA2849805A1 (en) | 2011-09-29 | 2013-04-04 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing hard surfaces |
KR20140106737A (ko) | 2011-12-30 | 2014-09-03 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마입자들 형성 |
KR102074138B1 (ko) | 2011-12-30 | 2020-02-07 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마입자 및 이의 형성방법 |
US9266220B2 (en) | 2011-12-30 | 2016-02-23 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles and method of forming same |
EP2797716B1 (en) | 2011-12-30 | 2021-02-17 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Composite shaped abrasive particles and method of forming same |
BR112014017050B1 (pt) | 2012-01-10 | 2021-05-11 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | partícula abrasiva moldada |
WO2013106575A1 (en) | 2012-01-10 | 2013-07-18 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing coated surfaces |
US8840696B2 (en) | 2012-01-10 | 2014-09-23 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles |
WO2013138765A1 (en) | 2012-03-16 | 2013-09-19 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing surfaces |
US9242346B2 (en) | 2012-03-30 | 2016-01-26 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products having fibrillated fibers |
US8968435B2 (en) | 2012-03-30 | 2015-03-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for fine polishing of ophthalmic lenses |
US9200187B2 (en) | 2012-05-23 | 2015-12-01 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and methods of forming same |
IN2015DN00343A (cs) | 2012-06-29 | 2015-06-12 | Saint Gobain Ceramics | |
RU2614488C2 (ru) | 2012-10-15 | 2017-03-28 | Сен-Гобен Абразивс, Инк. | Абразивные частицы, имеющие определенные формы, и способы формирования таких частиц |
KR101818946B1 (ko) | 2012-12-31 | 2018-01-17 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 미립자 소재 및 이의 형성방법 |
PL2978566T3 (pl) | 2013-03-29 | 2024-07-15 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Cząstki ścierne o określonych kształtach i sposoby formowania takich cząstek |
TW201502263A (zh) | 2013-06-28 | 2015-01-16 | Saint Gobain Ceramics | 包含成形研磨粒子之研磨物品 |
CA3114978A1 (en) | 2013-09-30 | 2015-04-02 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and methods of forming same |
US9566689B2 (en) | 2013-12-31 | 2017-02-14 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
US9771507B2 (en) | 2014-01-31 | 2017-09-26 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same |
KR101890106B1 (ko) | 2014-04-14 | 2018-08-22 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마 입자들을 포함하는 연마 물품 |
US9803119B2 (en) | 2014-04-14 | 2017-10-31 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
US9902045B2 (en) | 2014-05-30 | 2018-02-27 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles |
US9914864B2 (en) | 2014-12-23 | 2018-03-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and method of forming same |
US9707529B2 (en) | 2014-12-23 | 2017-07-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Composite shaped abrasive particles and method of forming same |
US9676981B2 (en) | 2014-12-24 | 2017-06-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle fractions and method of forming same |
EP3277459B1 (en) | 2015-03-31 | 2023-08-16 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Fixed abrasive articles and methods of forming same |
TWI634200B (zh) | 2015-03-31 | 2018-09-01 | 聖高拜磨料有限公司 | 固定磨料物品及其形成方法 |
CA3118262C (en) | 2015-06-11 | 2023-09-19 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
KR102313436B1 (ko) | 2016-05-10 | 2021-10-19 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 연마 입자들 및 그 형성 방법 |
KR102481559B1 (ko) | 2016-05-10 | 2022-12-28 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 연마 입자 및 이의 형성 방법 |
WO2018064642A1 (en) | 2016-09-29 | 2018-04-05 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Fixed abrasive articles and methods of forming same |
US10759024B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-09-01 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
US10563105B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-02-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
CN110719946B (zh) | 2017-06-21 | 2022-07-15 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 颗粒材料及其形成方法 |
US11865663B2 (en) * | 2018-05-10 | 2024-01-09 | George Shuai | Optical surface polishing |
CN109439282A (zh) * | 2018-10-23 | 2019-03-08 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 复合纳米磨料、抛光液及其制备方法、玻璃晶片和电子设备 |
CN109135580B (zh) * | 2018-10-25 | 2021-04-02 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 一种玻璃用抛光液及其制备方法 |
CN110724460A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-01-24 | 刘通 | 一种铈铝复合氧化物抛光粉的制备方法 |
WO2021133901A1 (en) | 2019-12-27 | 2021-07-01 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles and methods of forming same |
CN113881348A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-01-04 | 青岛福禄泰科表面材料科技有限公司 | 一种复合氧化铝抛光液及其制备方法和应用 |
CN114213977A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-22 | 中天科技精密材料有限公司 | 抛光剂及其制备方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3429080A (en) * | 1966-05-02 | 1969-02-25 | Tizon Chem Corp | Composition for polishing crystalline silicon and germanium and process |
GB1501570A (en) * | 1975-11-11 | 1978-02-15 | Showa Denko Kk | Abrader for mirror polishing of glass and method for mirror polishing |
US4161394A (en) * | 1978-06-19 | 1979-07-17 | Regan Glen B | Polishing slurry of xanthan gum and a dispersing agent |
FR2549846B1 (fr) * | 1983-07-29 | 1986-12-26 | Rhone Poulenc Spec Chim | Nouvelle composition de polissage a base de cerium et son procede de fabrication |
US4576612A (en) * | 1984-06-01 | 1986-03-18 | Ferro Corporation | Fixed ophthalmic lens polishing pad |
US5312789A (en) * | 1987-05-27 | 1994-05-17 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive grits formed of ceramic, impregnation method of making the same and products made therewith |
BR9307095A (pt) * | 1992-09-25 | 1999-03-30 | Minnesota Mining & Mfg | Processo para preparar grãos de abrasivo |
CA2111010A1 (en) * | 1993-01-29 | 1994-07-30 | Robert James Hagerty | Method of finely polishing planar optical elements |
US5549962A (en) * | 1993-06-30 | 1996-08-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Precisely shaped particles and method of making the same |
US5465314A (en) * | 1993-09-09 | 1995-11-07 | The Furukawa Electronic Co., Ltd. | Method of manufacturing optical connector |
US5632668A (en) * | 1993-10-29 | 1997-05-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for the polishing and finishing of optical lenses |
KR960041316A (ko) * | 1995-05-22 | 1996-12-19 | 고사이 아키오 | 연마용 입상체, 이의 제조방법 및 이의 용도 |
US5693239A (en) * | 1995-10-10 | 1997-12-02 | Rodel, Inc. | Polishing slurries comprising two abrasive components and methods for their use |
US5702811A (en) * | 1995-10-20 | 1997-12-30 | Ho; Kwok-Lun | High performance abrasive articles containing abrasive grains and nonabrasive composite grains |
BR9708934A (pt) * | 1996-05-08 | 1999-08-03 | Minnesota Mining & Mfg | Artigo abrasivo abrasivo e processo para produzir um artigo abrasivo |
US5858813A (en) * | 1996-05-10 | 1999-01-12 | Cabot Corporation | Chemical mechanical polishing slurry for metal layers and films |
KR19980019046A (ko) * | 1996-08-29 | 1998-06-05 | 고사이 아키오 | 연마용 조성물 및 이의 용도(Abrasive composition and use of the same) |
JP3856513B2 (ja) * | 1996-12-26 | 2006-12-13 | 昭和電工株式会社 | ガラス研磨用研磨材組成物 |
US5876268A (en) | 1997-01-03 | 1999-03-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method and article for the production of optical quality surfaces on glass |
US5833724A (en) * | 1997-01-07 | 1998-11-10 | Norton Company | Structured abrasives with adhered functional powders |
US5851247A (en) * | 1997-02-24 | 1998-12-22 | Minnesota Mining & Manufacturing Company | Structured abrasive article adapted to abrade a mild steel workpiece |
US5910471A (en) | 1997-03-07 | 1999-06-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article for providing a clear surface finish on glass |
US5876470A (en) * | 1997-08-01 | 1999-03-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive articles comprising a blend of abrasive particles |
-
1998
- 1998-02-18 US US09/025,730 patent/US5989301A/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-02-12 MY MYPI99000512A patent/MY123257A/en unknown
- 1999-02-12 ZA ZA9901150A patent/ZA991150B/xx unknown
- 1999-02-15 CO CO99008983A patent/CO5060536A1/es unknown
- 1999-02-16 PT PT99907002T patent/PT1060221E/pt unknown
- 1999-02-16 DK DK99907002T patent/DK1060221T3/da active
- 1999-02-16 HU HU0101154A patent/HUP0101154A3/hu unknown
- 1999-02-16 DE DE69909597T patent/DE69909597T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 WO PCT/US1999/003143 patent/WO1999042537A1/en active IP Right Grant
- 1999-02-16 JP JP2000532484A patent/JP3605036B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 CN CNB998028681A patent/CN1187426C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1999-02-16 CA CA002319107A patent/CA2319107C/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-02-16 KR KR1020007009035A patent/KR100354202B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 ES ES99907002T patent/ES2204107T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 EP EP19990907002 patent/EP1060221B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 IL IL13780499A patent/IL137804A0/xx not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 BR BRPI9908020-6A patent/BR9908020B1/pt not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 AT AT99907002T patent/ATE245180T1/de active
- 1999-02-16 RU RU2000122964/04A patent/RU2181132C1/ru not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 SK SK1145-2000A patent/SK285219B6/sk not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 NZ NZ505901A patent/NZ505901A/en unknown
- 1999-02-16 AR ARP990100633A patent/AR014959A1/es unknown
- 1999-02-16 CZ CZ20002969A patent/CZ294042B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 PL PL99342392A patent/PL186840B1/pl not_active IP Right Cessation
- 1999-02-16 AU AU26777/99A patent/AU729245B2/en not_active Ceased
- 1999-03-02 TW TW088102220A patent/TWI239995B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-07-26 US US09/361,438 patent/US6258136B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-08-15 FI FI20001800A patent/FI118180B/fi not_active IP Right Cessation
- 2000-08-17 NO NO20004122A patent/NO319039B1/no not_active IP Right Cessation
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CZ20002969A3 (cs) | Prostředek pro leštění povrchů optických zařízení | |
KR100429940B1 (ko) | 개선된 세리아 분말 | |
JP2592401B2 (ja) | 表面を研磨及び平坦化する組成物と方法 | |
JP5281758B2 (ja) | 研磨用組成物 | |
KR101022982B1 (ko) | 폴리싱 슬러리 및 그 사용 방법 | |
EP1072666A2 (en) | Colloidal polishing of fused silica | |
US6159077A (en) | Colloidal silica polishing abrasive | |
CN111234706A (zh) | 一种水基研磨组合物及其制备方法 | |
JPH05156238A (ja) | メカノケミカル研摩用研摩剤、および材料片を研摩する方法 | |
MXPA00008063A (en) | Optical polishing formulation | |
Pan et al. | Innovative CMP Solution for Advanced STI Process | |
CN114774003B (zh) | NiP改性层化学机械抛光液及其制备方法和应用 | |
Singh et al. | Novel reactive chemical mechanical polishing technology for fabrication of SiC mirrors | |
JP2023141786A (ja) | 研磨スラリー及び研磨方法 | |
JP2001035819A (ja) | 研磨スラリー及びこれを用いた研磨方法 | |
Babel et al. | Surfactant based alumina slurries for copper CMP | |
JP3599816B2 (ja) | 研磨材 | |
CN115651544A (zh) | 一种混合磨料抛光液及其制备方法 | |
Kulawski et al. | Advances in the CMP process on fixed abrasive pads for the polishing of SOI-substrates with high degree of flatness |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Patent lapsed due to non-payment of fee |
Effective date: 20120216 |