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レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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住友化学株式会社 |
塩、クエンチャー、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法並びに塩の製造方法
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JP7537913B2
(ja)
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2019-06-04 |
2024-08-21 |
住友化学株式会社 |
塩、クエンチャー、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2021038203A
(ja)
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2019-08-29 |
2021-03-11 |
住友化学株式会社 |
塩、クエンチャー、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP7545834B2
(ja)
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2019-08-29 |
2024-09-05 |
住友化学株式会社 |
塩、クエンチャー、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2021130807A
(ja)
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2019-12-18 |
2021-09-09 |
住友化学株式会社 |
樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法並びに化合物
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JP2021123580A
(ja)
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2020-02-06 |
2021-08-30 |
住友化学株式会社 |
カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2021123579A
(ja)
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2020-02-06 |
2021-08-30 |
住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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US11740555B2
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2020-03-05 |
2023-08-29 |
Sumitomo Chemical Company, Limited |
Resist composition and method for producing resist pattern
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2020-03-05 |
2023-06-20 |
Sumitomo Chemical Company, Limited |
Resist composition and method for producing resist pattern
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2020-03-23 |
2023-06-13 |
Sumitomo Chemical Company, Limited |
Resist composition and method for producing resist pattern
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US11822241B2
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Sumitomo Chemical Company, Limited |
Salt, acid generator, resist composition and method for producing resist pattern
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JP2021181431A
(ja)
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2020-05-15 |
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住友化学株式会社 |
カルボン酸塩、クエンチャー、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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TW202202476A
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2020-05-21 |
2022-01-16 |
日商住友化學股份有限公司 |
鹽、酸產生劑、抗蝕劑組成物及抗蝕劑圖案的製造方法
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TWI849314B
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日商住友化學股份有限公司 |
化合物、樹脂、抗蝕劑組成物及抗蝕劑圖案的製造方法
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JP2021188041A
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2020-06-01 |
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住友化学株式会社 |
化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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2020-06-25 |
2022-01-13 |
住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2022013736A
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住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2022075556A
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2020-11-06 |
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住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2022077505A
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2020-11-11 |
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住友化学株式会社 |
カルボン酸塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2022077982A
(ja)
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2020-11-12 |
2022-05-24 |
住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2022123839A
(ja)
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2021-02-12 |
2022-08-24 |
住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2022164585A
(ja)
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2021-04-15 |
2022-10-27 |
住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2022164583A
(ja)
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2021-04-15 |
2022-10-27 |
住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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US20230004084A1
(en)
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2021-05-06 |
2023-01-05 |
Sumitomo Chemical Company, Limited |
Salt, acid generator, resist composition and method for producing resist pattern
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JP2022183077A
(ja)
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2021-05-28 |
2022-12-08 |
住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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JP2022183074A
(ja)
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2021-05-28 |
2022-12-08 |
住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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US20230113512A1
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2021-08-06 |
2023-04-13 |
Sumitomo Chemical Company, Limited |
Resist composition and method for producing resist pattern
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