ES2584180T3 - Conjunto de calentamiento para la deposición en vacío - Google Patents
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Abstract
Conjunto de calentamiento de evaporación en vacío para calentar un soporte (1), en el cual un material de evaporación es cargado, en el cual el soporte presenta una forma cilíndrica y comprende una primera superficie (1a) que dispone de un área abierta, una segunda superficie que se encuentra en el lado opuesto de la primera superficie y está cerrada, y una superficie circunferencial que conecta la primera superficie con la segunda superficie, comprendiendo el conjunto de calentamiento de evaporación en vacío: un recipiente de soporte (11), en el cual el soporte está situado, en el cual el recipiente de soporte es un elemento de calentamiento en forma de U y en forma de placa que está posicionado de tal manera que la parte curvada de la forma en U está orientada hacia abajo, y en el cual el soporte está posicionado en el recipiente de soporte de tal manera que la primera superficie del soporte se encuentra frente a un artículo objetivo de evaporación, y la superficie circunferencial está en contacto con la parte curvada de la forma en U; y un conector de electrodo (13) que está unido al recipiente de soporte y es un elemento en forma de placa, en el cual los dos extremos del conector de electrodo están conectados con un electrodo, en el cual el recipiente de soporte está posicionado entre el conector de electrodo y el artículo objetivo de evaporación, en el cual el recipiente de soporte presenta unas protuberancias (12) que cubren el borde de la primera superficie del soporte de tal manera que impiden que el soporte se caiga del recipiente de soporte, y en el cual el conector de electrodo está en contacto con la segunda superficie del soporte de tal manera que calienta la segunda superficie del soporte, y el recipiente de soporte calienta la superficie circunferencial del soporte.
Description
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DESCRIPCION
Conjunto de calentamiento para la deposicion en vado [Campo de la invencion]
La presente invencion se refiere a un conjunto de calentamiento de evaporacion en vado, en particular a un conjunto de calentamiento de evaporacion en vado y un aparato de evaporacion en vado que comprende el mismo, que calientan un soporte en el cual se llena un material de evaporacion, con el fin de evaporar el material de evaporacion en un artfculo objetivo de evaporacion.
[Descripcion del estado de la tecnica relacionado]
En los procesos de evaporacion en vado en el campo de las lentes opticas (incluyendo las lentes de gafas) y filtros, y de los dispositivos electronicos portatiles y productos de visualizacion tal como moviles, reproductores MP3, PMPs y ordenadores portatiles, ha habido varias tentativas tal como anti-reflejo, filtracion optica, control de reflectivi- dad/absorcion y coloracion de evaporacion. Con el fin de obtener varias caractensticas, un articulo objetivo de eva- poracion es fabricado formando una capa delgada evaporada sobre un sustrato, que esta hecho de vidrio, materias plasticas y metales, comprendiendo polvos y materiales granulares que contienen oxidos tal como oxidos de silico- na, oxidos de titanio y oxidos de circonio, fluoruros como fluoruros de magnesio, metales tal como cromo, mquel, aluminum y aceros inoxidables, y minerales.
No obstante, la capa delgada evaporada se corroe o se contamina facilmente y se separa asf del sustrato ya que la capa delgada evaporada contiene metales y oxidos. Para resolver los problemas de este tipo, una capa hidrofoba o una capa hidrofuga que esta hecha de materiales organicos, es revestida sobre la capa delgada evaporada. Para evacuar los materiales organicos, un soporte, en el cual se carga el material organico de evaporacion, se utilizo en un estado de vado.
Como proceso de evaporacion de vado, se utiliza un proceso de evaporacion en vado del tipo haz de electrones o un proceso de evaporacion en vado del tipo calentamiento por resistencia. Por lo general, el proceso de evapora- cion en vado del tipo haz de electrones es ventajoso porque el proceso es conveniente y puede ser automatizado. Sin embargo, el proceso de evaporacion en vado del tipo calentamiento por resistencia se utiliza ampliamente, de- bido al material organico de evaporacion que se utiliza habitualmente en el proceso de evaporacion en vado, y el soporte en el cual el material organico de evaporacion es cargado.
No obstante, en el proceso de evaporacion en vado del tipo calentamiento por resistencia, el material de evapora- cion que es llenado en el soporte es esparcido cuando se calienta, y se produce una perdida considerable de material de evaporacion. Por este motivo, el soporte tiene que estar situado cerca de la plantilla del artfculo objetivo de evaporacion, y el aparato de evaporacion en vado tiene que contener muchos soportes en el mismo en todas las direcciones para que mantenga su potencia de evaporacion.
La publicacion de VOIGT J W ET AL: "Ceramic Crucibles for Electron Bombardment Heating" (Crisoles de ceramica para el calentamiento por bombardeo de electrones), THE REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, vol. 35, no. 8, 1 agosto 1964 (1964-08-01), pagina 1087, XP001308134, revela un crisol de oxido de berilio suspendido en un conjunto de filamento de molibdeno.
El documento US 3 999 039 A revela un evaporador para la evaporacion horizontal a traves de bolsos de malla. [Resumen de la invencion]
[Objeto de la invencion]
La presente invencion se invento para resolver los problemas arriba mencionados y proporciona un conjunto de calentamiento de evaporacion en vado en el cual un soporte, dentro del cual se llena un material de evaporacion, puede ser instalado de modo seguro.
La presente invencion proporciona un conjunto de calentamiento de evaporacion en vado que puede minimizar la perdida de un material de evaporacion que es llenado en un soporte y puede aumentar su eficiencia de evaporacion.
La presente invencion proporciona un conjunto de calentamiento de evaporacion en vado que puede minimizar el numero de los soportes que estan instalados en el mismo, pero, no obstante, puede proveer una evaporacion uniforme y eficiente.
La presente invencion proporciona un aparato de evaporacion en vado que comprende el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado arriba indicado.
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[Constitucion de la invencion]
La presente invencion es un conjunto de calentamiento de evaporacion en vado para calentar un soporte, en el cual se llena un material de evaporacion, en el cual el soporte tiene forma de cilindro y presenta una primera superficie que tiene un area abierta, una segunda superficie que esta situada en el lado opuesto de la primera superficie y esta cerrada, y una superficie circunferencial que conecta la primera superficie con la segunda superficie, comprendiendo el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado: un recipiente de soporte en el cual el soporte esta posiciona- do, en donde el recipiente de soporte tiene forma en U y un elemento de calentamiento en forma de placa que esta posicionado de tal manera que la parte curvada de la forma en U esta orientada hacia abajo, y en el cual el soporte esta posicionado en el recipiente de soporte de tal modo que la primera superficie del soporte esta dirigida hacia un artfculo objetivo de evaporacion, y la superficie circunferencial del soporte tiene contacto con la parte curvada de la forma en U; y un conector de electrodos que esta unido al recipiente de soporte y es un elemento con forma de placa, en el cual ambos extremos del conector de electrodos estan conectados con un electrodo, en el cual el recipiente de soporte esta situado entre el conector de electrodos y el artfculo objetivo de evaporacion, en el cual el recipiente de soporte tiene protuberancias que cubren el borde de la primera superficie del soporte con el fin de impedir que el soporte se caiga del recipiente de soporte, y en el cual el conector de electrodos tiene contacto con la segunda superficie del soporte con el fin de calentar la segunda superficie del soporte, y el recipiente de soporte calienta la superficie circunferencial del soporte.
El conjunto de calentamiento de evaporacion en vado se compone de un material entre el tungsteno, el molibdeno, el mquel-cromo, el carbono y la fibra de carbono.
[Efecto de la invencion]
Un conjunto de calentamiento de evaporacion en vado y un aparato de evaporacion en vado que comprende el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado de acuerdo con la presente invencion presenta los efectos si- guientes.
(1) La presente invencion puede maximizar la eficiencia de evaporacion por la instalacion del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado en un aparato evaporativo de aparato de evaporacion en vado o un aparato de evaporacion en vado pulverizante de tal manera que el area abierta del soporte en el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado esta orientada hacia la plantilla del artfculo objetivo de la evaporacion, y por la insercion del soporte, en el cual se carga un material de evaporacion, en el lado abierto del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado para concentrar el material de evaporacion en el artfculo objetivo de evaporacion.
(2) La presente invencion puede causar que el material de evaporacion alcance de modo intenso el artfculo objetivo de evaporacion en solamente una direccion con un angulo de 30 grados a 160 grados, incluso si el soporte esta dispuesto en el centro del aparato de evaporacion en vado, minimizando de este modo la perdida de material de evaporacion, manteniendo su potencia de evaporacion con un numero mmimo de soportes, y reduciendo los costes para el material de evaporacion.
(3) La presente invencion puede reducir el numero de los soportes instalados hasta menos de la mitad de los soportes instalados en un aparato convencional de evaporacion en vado, facilitando de esta manera el cambio de los soportes, ahorrando el tiempo para cambiar los soportes y aumentando la eficiencia para el cambio de los soportes.
[Breve descripcion de los dibujos]
Fig. 1 es una vista en perspectiva de un conjunto de calentamiento de evaporacion en vado de acuerdo con la reali- zacion preferible de la presente invencion.
Fig. 2 es una vista en perspectiva en despiece del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado mostrado en la Fig. 1.
Fig. 3 es una vista en perspectiva que muestra que un soporte es instalado en el conjunto de calentamiento de eva- poracion en vado.
Fig. 4 es una vista en perspectiva de un aparato de evaporacion en vado que comprende el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado de la presente invencion.
Fig. 5 es una vista en perspectiva que muestra que el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado de la presente invencion es instalado en una parte de electrodo del aparato de evaporacion en vado.
[Descripcion detallada de la invencion]
En lo sucesivo, la forma de realizacion preferente de la presente invencion sera explicada con mas detalle con referenda a los dibujos anexos. Las funciones o estructuras relevantes conocidas publicamente no seran explicadas en detalle en la presente si no son necesarias para entender lo esencial de la presente invencion.
Figs. 1 y 2 son una vista en perspectiva y una vista en perspectiva en despiece de un conjunto de calentamiento de evaporacion en vado de acuerdo con la forma de realizacion preferible de la presente invencion. Fig. 3 es una vista en perspectiva que muestra que un soporte esta instalado en el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado.
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Tal como se muestra en las Figs. 1-3, el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 de la presente in- vencion es formado mediante la fabricacion de un recipiente de soporte 11 y un conector de electrodos 13 a partir de un elemento de calentamiento en forma de placa que tiene un espesor de 0.1 mm a 3 mm. Al menos un lado del recipiente de soporte 11 esta abierto, y el soporte 1 esta instalado en el recipiente de soporte 11. El conector de electrodos 13 es unido al recipiente de soporte 11, y ambos extremos del conector de electrodos 13 son conectados con los electrodos. El soporte 1 en forma de cilindro (publicacion de patente koreana divulgada No. 10-20090011432), que esta abierto en una direccion 1a y tiene un diametro de 2 mm a 50 mm y un espesor de 1 mm a 20 mm, es insertado en el recipiente de soporte 11 e instalado en el mismo.
De modo preferible, el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 es formado mediante la fabricacion del recipiente de soporte 11 y del conector de electrodos 13 a partir de un elemento de calentamiento en forma de placa que tiene un espesor de 0.2 mm. El lado superior 11a y el lado frontal 11b del recipiente de soporte 11 con forma de U estan abiertos. El conector de electrodos 13 rectangular en forma de placa se extiende en ambas direcciones del recipiente de soporte 11 para ser conectado con los electrodos. El soporte 1 en forma de cilindro presenta una pri- mera superficie que tiene un area abierta 1a, una segunda superficie que se encuentra en el lado opuesto de la primera superficie y esta cerrada, y una superficie circunferencial que conecta la primera superficie con la segunda superficie, y el soporte 1 tiene un diametro de 10 mm a 25 mm y un espesor de 5 mm a 10 mm. El soporte 1 es insertado en el recipiente de soporte 11 a traves del lado superior abierto 11a del recipiente de soporte 11 y es instalado en el recipiente de soporte 11. En caso de que el tamano o la longitud del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 es demasiado pequeno o corto, es diffcil formar el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 y tampoco es facil instalar el soporte 1 en el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10. En caso de que el tamano o la longitud del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 es demasiado grande o largo, el soporte 1 se separa facilmente del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 y la desviacion de calor que resulta del calor que es generado por una resistancia dificulta la transferencia de calor al soporte 1. Por esta razon, sera preferible seleccionar de modo adecuado el tamano o la longitud del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10.
El tungsteno, el molibdeno, el mquel-cromo, los carbonos y las fibras de carbono pueden utilizarse como el material del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10. De hecho, el tungsteno es el mas preferible como material del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 ya que el precio del tungsteno es relativamente bajo, la vida util del tungsteno es larga, y el tungsteno puede ser utilizado con una temperatura elevada. El conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 es un elemento de calentamiento del tipo calentamiento por resistencia que utiliza el calor que es generado por la resistencia a la cual una corriente es aplicada.
El conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 comprende el recipiente de soporte 11 y el conector de electrodos 13.
El recipiente de soporte 11 esta situado aproximadamente en el centro del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 y es un elemento en el cual el soporte 1 esta instalado. El lado superior 11a del recipiente de soporte 11 esta abierto. El soporte 1 es insertado en el recipiente de soporte 11 a traves del lado superior 11a, y el area abierta 1a de la primera superficie del soporte 1 se encuentra frente al artfculo objetivo de evaporacion (no represen- tado) a traves del lado frontal 11b del recipiente de soporte 11. El recipiente de soporte 11 tiene una pared lateral 11c que incluye el lado inferior del recipiente de soporte 11. La pared lateral 11c, que es un elemento de calenta- miento con forma curvada (es decir, un elemento de calentamiento con forma en U y forma de placa), tiene una parte curvada que esta orientada hacia abajo y que rodea la superficie circunferencial del soporte 1 para calentar la superficie circunferencial del soporte 1. Por ejemplo, el lado superior 11a del recipiente de soporte 11 esta abierto de ma- nera que permite la insercion del soporte 1 en el recipiente de soporte 11 desde arriba, y el lado frontal 11b del recipiente de soporte 11 esta abierto de tal modo que el area abierta 1a del soporte 1 esta expuesta en direccion del artfculo objetivo de evaporacion que esta distanciado con respecto al soporte 1 en una direccion horizontal. La presente forma de realizacion ejemplifica que el soporte 1 es insertado en el recipiente de soporte 11 a traves del lado superior abierto 11a del recipiente de soporte 11, y el recipiente de soporte 11 tiene unas protuberancias 12 en la pared lateral 11c. Cada protuberancia 12 se extiende de tal modo que cubre el borde de la primera superficie del soporte 1 y evita que el soporte 1, que esta instalado en el recipiente de soporte 11, se caiga del recipiente de soporte 11 a traves del lado frontal abierto 11b.
El recipiente de soporte 11 esta sujetado aproximadamente en el centro del conector de electrodos 13 a traves de soldadura o a traves de insercion, y el conector de electrodos 13 es fabricado para ser un elemento de calentamiento rectangular en forma de placa que es simetrico con respecto al recipiente de soporte 11. El conector de electrodos 13 es conectado con la parte de electrodo 23 que es conectada con los electrodos y es instalada en el aparato de evaporacion en vado 20 (vease Fig. 4), y se aplica una corriente al conector de electrodos 13 de modo que se genera calor por resistancia. De modo adicional, el conector de electrodos 13 es recortado de una placa para ser una placa en forma de T en la cual la longitud desde el extremo horizontal hasta el centro de la placa en forma de T es de 5 mm a 50 mm (el optimo es 30 mm), y la anchura de la parte vertical de la placa en forma de T es de 5 mm a 10 mm (el optimo es 10 mm) de tal modo que se sujetan facilmente ambos extremos horizontales del conector de electrodos 13 en la parte de electrodo 23. El conector de electrodos 13 es sujetado en el recipiente de soporte 11 de tal
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manera que cierra el lado trasero del recipiente de soporte 11 para que caliente la segunda superficie del soporte 1 que esta instalado en el recipiente de soporte 11.
Entre uno y treinta conjuntos de calentamiento de evaporacion en vado 10 estan conectados con la barra de elec- trodos 23b de la parte de electrodos 23 (vease Fig. 5), que esta instalada en un aparato de evaporacion en vado del tipo haz de electrones o del tipo calentamiento por resistencia, un evaporador del tipo vertical o del tipo horizontal, o un aparato de evaporacion en vado del tipo de calentamiento por pulverizacion/resistencia del tipo vertical o del tipo horizontal, conectado en serie o en paralelo de tal manera que las areas abiertas de los soportes de los conjuntos de calentamienta de evaporacion en vado estan orientadas en una hasta cuatro direcciones.
A continuacion, el aparato de evaporacion en vado que comprende el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado de la presente invencion sera explicado con referencia a las Figs. 4 y 5.
Fig. 4 es una vista en perspectiva del aparato de evaporacion en vado que comprende el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado de la presente invencion. Fig. 5 es una vista en perspectiva que muestra que el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado de la presente invencion esta instalado en la parte de electrodos del aparato de evaporacion en vado.
Tal como se ilustra en las Figs. 4 y 5, el aparato de evaporacion en vado 20 de la presente invencion comprende una camara de evaporacion 21, la parte de electrodos 23 y el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10.
En la camara de evaporacion 21 transcurre un proceso de evaporacion en vado. La camara de evaporacion 21 no se describira en detalle ya que esta conocida publicamente.
La parte de electrodos 23 esta instalada en la camara de evaporacion 21 y aplica una corriente al conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 que esta instalado en la parte de electrodos 23. La parte de electrodos 23 comprende soportes de electrodo 23a que estan instaladas verticalmente en el centro de la camara de evaporacion 21, y unas barras de electrodos 23b que se extienden en una direccion y en la otra direccion a partir del soporte de electrodo 23a estan dispuestas verticalmente en pares. El conector de electrodos 13 del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 es sujetado en el extremo de la barra de electrodos 23b mediante un tornillo 23c. La presente forma de realizacion ejemplifica que los orificios de tornillo (no representados) estan formados en ambos extremos del conector de electrodos 13 y los extremos del conector de electrodos 13 estan sujetados en un par de las barras de electrodos 23b por los tornillos 23c. Sin embargo, la presente invencion no esta limitada a la presente forma de realizacion. Ello quiere decir que los orificios de insercion (no representados) pueden estar formados en ambos extremos del conector de electrodos 13, y las protuberancias (no representadas) pueden estar formadas en los extremos de un par de las barras de electrodos 23b, insertando de esta manera las protuberancias de las barras de electrodos 23b en los orificios de insercion del conector de electrodos 13.
Entre uno y treinta conjuntos de calentamiento de evaporacion en vado 10 que estan conectados con la parte de electrodos 23 en serie o en paralelo de tal manera que las areas abiertas de los soportes 1 estan orientadas en una hasta cuatro direcciones, calientan el soporte 1 en el cual se carga el material de evaporacion. La estructura del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado no se describira ya que ha sido explicada con referencia a las Figs. 1 a 3.
Tal como se ha explicado mas arriba, el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 de la presente in- vencion esta instalado en la parte de electrodos 23 del aparato evaporativo de evaporacion en vado 20 o el aparato de evaporacion en vado del tipo deposito por pulverizacion 20 de tal manera que el lado frontal abierto 11b del recipiente de soporte 11 se encuentra frente a la plantilla del artfculo objetivo de evaporacion (no representado), y el soporte 1, en el cual es cargado el material de evaporacion, es insertado en el conjunto de calentamiento de evapo- racion en vado 10 a traves del lado superior abierto 11a del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10. Por esta razon, el material de evaporacion puede ser concentrado en el artfculo objetivo de evaporacion en el proceso de evaporacion, maximizando de este modo su eficiencia de evaporacion.
La presente invencion puede provocar que los materiales de evaporacion alcancen de modo intenso el artfculo objetivo de evaporacion en una unica direccion con un angulo de 30 grados a 160 grados incluso cuando el soporte 1 esta dispuesto en el centro del aparato de evaporacion en vado 20, minimizando de este modo la perdida del material de evaporacion, manteniendo su potencia de evaporacion con el numero mmimo de los soportes 1, y reduciendo los costes para el material de evaporacion. La presente invencion puede reducir el numero de los soportes instala- dos 1 a menos de la mitad del numero de los soportes instalados en un aparato convencional de evaporacion en vado, facilitando de este modo el cambio de los soportes 1, ahorrando el tiempo para cambiar los soportes 1 y au- mentando su eficiencia para el cambio de los soportes 1.
El artfculo objetivo de evaporacion puede consistir en metales y vidrios que se utilizan en los dispositivos electroni- cos portatiles de visualizacion tal como los moviles, moviles inteligentes, reproductores MP3, reproductores multimedia portatiles (PMPs), receptores de transmisiones digitales de multimedia (DMB), productos de navegacion, tabletas
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de PC y ordenadores portatiles; paneles en forma de laminas hechos de acnlico, PC (policarbonato), PMMA (polime- tilmetacrilato), PET (tereftalato de polietileno), ABS (acrilonitrilo butadieno estireno), copoKmero y resinas contenien- do mezclas de los mismos; y productos de moldeo por inyeccion tal como cajas, ventanas, teclados, partes funciona- les clave y varios accesorios.
El artfculo objetivo de evaporacion es instalado en el aparato de evaporacion en vado 20 que comprende el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10. Con el fin de evitar aranazos, huellas dactilares y contaminaciones de la superficie del artfculo objetivo de evaporacion y a efectos de eliminar huellos dactilares y contaminaciones de la superficie del artfculo objetivo de evaporacion, el angulo de contacto de agua de la superficie del artfculo objetivo de evaporacion es establecido entre 70 grados y 130 grados, y el angulo de contacto de aceite (CH2I2) de la superficie del artfculo objetivo de evaporacion es establecido entre 80 grados y 100 grados, o bien el angulo de contacto de agua de la superficie del artfculo objetivo de evaporacion es establecido entre 60 grados y 110 grados, y el angulo de contacto de aceite (CH2I2) de la superficie del artfculo objetivo de evaporacion es establecido entre 30 grados y 80 grados.
A continuacion, se explicara el metodo de la fabricacion del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado y el metodo de evaporacion en vado que utiliza el mismo.
<Ejemplo 1>
El conector de electrodos es recortado de una placa de molibdeno que tiene un espesor de 0.2 mm para tener un ancho de 20 mm y una longitud de 100 mm a 150 mm (150 mm es optimo). El conector de electrodos es recortado para ser una placa en forma de T en la cual la longitud desde el extremo horizontal hasta el centro de la placa en forma de T es de 5 mm a 50 mm (30 mm es optimo), y el ancho de la parte vertical de la placa en forma de T es de 5 mm a 10 mm (10 mm es optimo). El recipiente de soporte es recortado de una placa de molibdeno que tiene un espesor de 0.2 mm para tener un ancho de 5 mm y una longitud de 30 mm. El recipiente de soporte presenta unas formas de rueda dentada, cada una de las cuales tiene una longitud horizontal de 3 mm y una longitud vertical de 3 mm a unos intervalos de 3 mm en un lado (es decir, lado trasero) del recipiente de soporte. El recipiente de soporte presenta unas formas de rueda dentada, cada una de las cuales tiene una longitud horizontal de 3 mm y una longitud vertical de 3 mm a unos intervalos de 12 mm en el otro lado (es decir, lado frontal) del recipiente de soporte. El lado que presenta las formas de rueda dentada a unos intervalos de 3 mm es insertado en el orificio de insercion con forma de semidrculo que esta dispuesto en el centro del conector de electrodos, y es plegado hacia abajo con el fin de sujetar el recipiente de soporte en el conector de electrodos. A continuacion, el otro lado, que presenta las formas de rueda dentada a unos intervalos de 12 mm, es plegado en una direccion normal para estar orientado hacia el interior.
<Ejemplo 2>
Los conjuntos de calentamiento de evaporacion en vado 10 fabricados en el Ejemplo 1 son instalados en un par de barras de electrodos 23b, que estan instaladas en el aparato de evaporacion en vado 20 del tipo deposito por pulve- rizacion, que tiene un diametro de 1600 mm, y son dispuestos en tres filas (alta, media y baja), en cada una de las cuales dos conjuntos de calentamiento de evaporacion en vado 10 son posicionados de tal manera que los lados frontales abiertos 11b del recipiente de soportes 11 estan orientados en direcciones opuestas. A continuacion, el soporte 1 es insertado en el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 a traves del lado superior abierto 11a del recipiente de soporte 11 del conjunto de calentamiento de evaporacion en vado 10 de tal manera que el area abierta 1a esta orientado frente al artfculo objetivo de evaporacion.
El artfculo objetivo de evaporacion, que esta hecho de vidrio, es instalado sobre una plantilla, y se introduce gas argon en el aparato de evaporacion en vado 20 cuando el aparato de evaporacion en vado 20 presenta un estado de vado elevado de 1.5 x 10-5 torr. A continuacion, se activa plasma con la potencia de 0.3 KW durante 600 segun- dos con el fin de poner el aparato de evaporacion en vado 20 en un estado de vado de 2.2 x 10-2 torr. A continua- cion, se activa la superficie del artfculo objetivo de evaporacion. Utilizando un objetivo Si, se aplican gas oxfgeno y gas argon con la potencia de 4.5 KW durante 180 segundos para poner el aparato de evaporacion en vado 20 en un estado de vado de 1.5 x 10-3 torr, generando de esta forma una capa de SiO2.
Una tension de 3.5 V y una corriente de 288 A se aplican al conjunto de calentamiento de evaporacion 10 de la presente invencion, en el cual se inserta el soporte 1, en el cual se ha llenado un agente de revestimiento anti-huellas y anti-contaminacion, de tal modo que el material de evaporacion es evaporado desde el soporte calentado 1 sobre el artfculo objetivo de evaporacion durante 240 segundos.
Tabla 1 muestra el angulo de contacto y la durabilidad del artfculo objetivo de evaporacion que es evaporado por el agente de revestimiento anti-huellas y anti-contaminacion.
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[Tabla 1]
- Muestra
- Angulo inicial (HO) Angulo inicial (CH2I2) Resistencia al desgaste (H2O) Resistencia qmmica (H2O) Agua salada (HO)
- Fila 1 (alta)
- 116.2 96.7 113.1 115.1 115.3
- Fila 2 (medio)
- 117.2 96.5 112.6 115.2 115.1
- Fila 3 (bajo)
- 116.8 97.2 113.2 115.4 115.5
<Ejemplo 3>
Utilizando el metodo explicado en el Ejemplo 2, una tension de 3.5 V y una corriente de 288 A se aplican al conjunto de calentamiento de evaporacion 10 de la presente invencion, en el cual es insertado el soporte 1, en el cual se llena el agente de revestimiento que presenta una buena visibilidad de huellas dactilares, despues de lo cual el material de evaporacion es evaporado desde el soporte calentado 1 sobre el artfculo objetivo de evaporacion durante 240 segundos. Tabla 2 muestra el angulo de contacto y la durabilidad del artfculo objetivo de evaporacion que es evaporado a traves del agente de revestimiento que presenta una buena visibilidad de huellas dactilares.
[Tabla 2]
- Muestra
- Angulo inicial (HO) Angulo inicial (CH2I2) Resistencia al desgaste (H2O) Resistencia qmmica (H2O) Agua salada (HO)
- Fila 1 (alta)
- 81.2 39.4 74.5 72.3 75.1
- Fila 2 (medio)
- 81.3 39.5 74.5 72.5 74.4
- Fila 3 (bajo)
- 81.4 42.4 73.4 71.3 75.5
[Numeros de referencia]
10: Conjunto de calentamiento de evaporacion
11: Recipiente de soporte
13: Conector de electrodos
20: Aparato de evaporacion en vacfo
21: Camara de evaporacion
23: Parte de electrodos
Claims (3)
- 51015202530REIVINDICACIONES1. Conjunto de calentamiento de evaporacion en vado para calentar un soporte (1), en el cual un material de evaporacion es cargado, en el cual el soporte presenta una forma cilmdrica y comprende una primera superficie (1a) que dispone de un area abierta, una segunda superficie que se encuentra en el lado opuesto de la primera superficie y esta cerrada, y una superficie circunferencial que conecta la primera superficie con la segunda superficie, compren- diendo el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado:un recipiente de soporte (11), en el cual el soporte esta situado, en el cual el recipiente de soporte es un elemento de calentamiento en forma de U y en forma de placa que esta posicionado de tal manera que la parte curvada de la forma en U esta orientada hacia abajo, y en el cual el soporte esta posicionado en el recipiente de soporte de tal manera que la primera superficie del soporte se encuentra frente a un artfculo objetivo de evaporacion, y la superficie circunferencial esta en contacto con la parte curvada de la forma en U; yun conector de electrodo (13) que esta unido al recipiente de soporte y es un elemento en forma de placa, en el cual los dos extremos del conector de electrodo estan conectados con un electrodo,en el cual el recipiente de soporte esta posicionado entre el conector de electrodo y el artfculo objetivo de evapora- cion,en el cual el recipiente de soporte presenta unas protuberancias (12) que cubren el borde de la primera superficie del soporte de tal manera que impiden que el soporte se caiga del recipiente de soporte, yen el cual el conector de electrodo esta en contacto con la segunda superficie del soporte de tal manera que calienta la segunda superficie del soporte, y el recipiente de soporte calienta la superficie circunferencial del soporte.
- 2. Conjunto de calentamiento de evaporacion en vado de acuerdo con la reivindicacion 1,en el cual el conjunto de calentamiento de evaporacion en vado se compone de uno entre el tungsteno, el molib- deno, el mquel-cromo, el carbono y la fibra de carbono.
- 3. Aparato de evaporacion en vado comprendiendo:una camara de evaporacion para un procedimiento de evaporacion en vado; y el conjunto de calentamiento para la evaporacion en vado segun la reivindicacion 1 o 2, en el cual el electrodo esta instalado en la camara de evapora- cion.
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