CN113122805A - 蒸发源的加热装置和蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。本申请的蒸发源的加热装置，包括加热件和固定件，所述加热件用于对蒸发源加热，所述固定件用于固定加热件；所述固定件包括第一主体和第二主体；所述第一主体设置有第一凹槽，所述第二主体设置有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相配合形成固定部，所述固定部能够用于固定所述加热件。本申请结构简单，使用、操作方便，布置更加合理，不仅能提高加热件的加热效率，还能提高加热件的安装结构稳定性，保证加热件的稳定性，也利于对加热件的保护，最终保证了产品的蒸镀质量。

Description

蒸发源的加热装置和蒸镀设备

技术领域

本申请属于蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件具有更轻薄、亮度高、功耗低、响应快、清晰度高等诸多优点，可广泛应用于各种终端设备的显示领域或照明领域。当前，OLED器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热转印等多种方式。其中，蒸镀工艺是在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

现有的蒸发源(蒸镀源)装置，一般包括盛放有机材料或金属材料的坩埚和对坩埚加热的加热器件。然而，现有的用于为坩埚内的蒸镀材料加热的加热装置，存在装置的稳定性或牢固性较差的问题，尤其是对于加热件的固定存在结构或安装繁琐，稳定性或牢固性差，影响了加热效果，从而导致降低了蒸镀源的蒸镀质量，降低了产品良率。

所以，研发出一种结构简单，安装、使用方便，又能很好的固定加热件的蒸发源的加热装置，将具有很好的市场推广价值。

发明内容

本申请的目的之一在于提供一种蒸发源的加热装置，结构简单，安装、使用方便，布置更加合理，能够提高加热装置的结构稳定性，保证蒸镀质量，能够克服上述问题或者至少部分地解决上述技术问题。

本申请的目的之二在于提供一种蒸镀设备，包括所述的蒸发源的加热装置，至少具有与所述蒸发源的加热装置相同的优势。

上述目标和其他目标将通过独立权利要求中的特征来达成。进一步的实现方式在从属权利要求、说明书和附图中体现。

根据本申请的一个方面，提供一种蒸发源的加热装置，包括加热件和固定件，所述加热件用于对蒸发源加热，所述固定件用于固定加热件；

所述固定件包括第一主体和第二主体；

所述第一主体设置有第一凹槽，所述第二主体设置有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相配合形成固定部，所述固定部能够用于固定所述加热件。

可选的，所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置，相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连；

所述固定件包括多个固定部，各所述固定部分别用于固定各所述直线段加热件。

可选的，所述固定件包括多个所述第一主体和多个所述第二主体，且所述第一主体与所述第二主体的数量相等；

每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成多个所述固定部，适于固定部分所述加热件；

所述固定件沿所述直线段加热件长度方向的长度小于所述直线段加热件长度的1/5。

可选的，每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成2-10个所述固定部。

可选的，每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成4-6个所述固定部。

可选的，所述固定件包括一个所述第一主体和多个所述第二主体；

多个所述第二主体与所述第一主体相配合形成多个所述固定部，适于固定整个所述加热件；

所述固定件沿所述直线段加热件长度方向的长度小于所述直线段加热件长度的1/5；

所述第一主体的长度大于首个所述直线段加热件和末个所述直线段加热件之间的距离。

可选的，每个所述第二主体与所述第一主体相配合形成2-10个所述固定部。

可选的，每个所述第二主体与所述第一主体相配合形成4-6个所述固定部。

可选的，所述固定部靠近所述加热件的一侧设置有保护层。

可选的，所述第一主体与所述第二主体通过螺钉等可拆卸的方式连接。

可选的，所述固定件为绝缘件。

可选的，所述蒸发源的加热装置还包括加热箱体和温控系统；

所述固定件与所述加热箱体连接，每个所述加热件至少由上下间隔布置的两个所述固定件进行固定；

所述温控系统设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。

可选的，所述第一主体或第二主体通过螺钉等可拆卸的方式固定于加热箱体的侧壁内侧。。

可选的，每个直线段加热件均由上下平行设置的固定件进行固定。

可选的，所述蒸发源的加热装置还包括连接件；

所述加热件包括间隔布置的第一加热件和第二加热件，所述固定件包括用于固定所述第一加热件的第一固定件和用于固定所述第二加热件的第二固定件，所述连接件设置于所述第一固定件与所述第二固定件之间，用于固定蒸发源。

根据本申请的另一个方面，提供一种蒸镀设备，包括蒸发源，还包括如上所述的蒸发源的加热装置。

与现有技术相比，本申请提供的技术方案可以达到如下有益效果：

本申请提供的蒸发源的加热装置包括加热件和用于固定加热件的固定件，其中，固定件包括第一主体和第二主体，第一主体设置有第一凹槽，第二主体设置有第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽相配合能够形成固定部，通过该固定部可以用于固定加热件。该加热件的固定件结构简单，使用、操作方便，布置更加合理，一方面，提高了加热件的加热效率，另一方面，提高了加热件的安装结构稳定性，保证了加热件的稳定性，也利于对加热件的保护，最终保证了产品的蒸镀质量。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。

本申请的其他特征和优点将在随后的具体实施部分结合附图予以说明。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例提供的蒸发源的加热装置结构示意图；

图2为图1中A-A向剖面示意图；

图3为本申请一实施例提供的加热箱体的结构示意图；

图4为本申请一实施例提供的加热件的结构示意图；

图5为本申请一实施例提供的固定件的俯视示意图；

图6为本申请另一实施例提供的固定件的俯视示意图；

图7为本申请一实施例提供的第一加热件安装于第一固定件的结构示意图；

图8为本申请另一实施例提供的第一加热件安装于第一固定件的结构示意图；

图9为本申请一实施例提供的蒸发源的加热装置的控制示意图。

附图标记：

1-加热箱体；101-第一侧壁；102-第二侧壁；103-第三侧壁；104-第四侧壁；105-底壁；106-容纳腔室；

2-加热件；21-第一加热件；22-第二加热件；201-直线段加热件；202-圆弧段加热件；

3-固定件；31-第一固定件；32-第二固定件；301-第一主体；3011-第一凹槽；302-第二主体；3021-第二凹槽；303-固定部；304-保护层；

4-连接件；

5-温度传感器；501-第一组温度传感器；502-第二组温度传感器；503-第三组温度传感器；504-第四组温度传感器；

6-反射部；

7-支撑件。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合本申请实施例中的附图，对本申请的技术方案进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本文中，前、后、上、下、左、右、内、外等指的是蒸镀设备正常放置时常规理解的方位。

需要说明的是，除非另有定义或说明，本文中所用的专业与科学术语与本领域熟练人员所熟悉的意义相同。在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在一种具体实施例中，下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。

本领域技术人员理解，如背景技术所言，现有技术中用于蒸发源的加热装置，或多或少存在一定的缺陷，因此，为了克服现有技术的不完善，本申请实施例的技术方案提供一种蒸发源的加热装置和包含该蒸发源的加热装置的蒸镀设备。

如图1至图9所示，本实施例提供一种蒸镀设备，包括蒸发源的加热装置和蒸发源(图中未示出)，该蒸发源的加热装置用于对蒸发源进行加热，该蒸发源的加热装置具有容纳腔室106(或称蒸镀腔体)，可用于容纳蒸发源，蒸发源可设置于容纳腔室106内部，用于加热蒸发材料(待蒸镀材料)使其升华或汽化。

需要说明的是，本申请实施例不对蒸发源和蒸发材料进行特殊限定。例如蒸发源可选择坩埚、石英器皿或高熔点的金属等，并不限于此。蒸发材料可包括有机材料、金属材料、金属络合物等，并不限于此。

为了简化，本申请实施例以坩埚作为蒸镀设备的蒸发源为例对蒸镀设备做具体阐述。

本领技术人员理解，坩埚可用于容纳蒸发材料，并向蒸发材料传导热量。在坩埚内部盛放不同种类的蒸发材料，在高真空环境下材料受热汽化或升华后沉积到基材上形成薄膜层，可用于实现OLED器件的功能层。

对于坩埚的具体结构以及坩埚相对于加热装置的设置等也不作特殊限定，例如可以参照现有技术。

可以理解，该蒸镀设备包括蒸发源和对蒸发源加热的蒸发源的加热装置，通过特定的蒸发源的加热装置的设置，可以提高加热效率，提高加热件的安装结构稳定性，安装结构牢固、可靠，最终保证了产品的蒸镀质量。

具体地，如图1至图9所示，本实施例提供一种蒸发源的加热装置，包括加热箱体1、加热器、固定件3和温控系统；其中，加热箱体1具有容纳腔室106，坩埚(图中未示出)可设置于容纳腔室106内部；加热器包括加热件2，加热件2可产生热辐射，用于对坩埚进行加热，并使坩埚内的蒸发材料受热汽化或升华；固定件3可设置于加热箱体1，用于固定加热件2；温控系统可设置于加热箱体1，并与加热件2电连接，用于检测坩埚的温度和控制加热件2所产生的热量。

[关于加热箱体]

本实施例中的蒸发源可以为线性蒸发源，即坩埚可以为线性坩埚。坩埚和加热箱体1的外形可以设置为相同，例如均可以设置为长方体形。当然，在其他实施方式中，加热箱体1和坩埚的形状还可以根据实际需求设置，设置为本领域技术人员可知的其他任意形状，本申请实施例对此不赘述也不作限定。

示例性的，如图3所示，在一些实施方式中，加热箱体1为长方体形，加热箱体1的截面为矩形。下文中主要以加热箱体1为长方体形为例，对该蒸发源的加热装置进行示例性的详细说明，应理解，加热箱体1的形状并不限于此。

示例性的，加热箱体1的形状为长方体形，加热箱体1可以从一侧开口，例如可以从上端开口，用于放置或取出蒸发源的坩埚。

在一些实施方式中，加热箱体1可以包括四个侧壁和底壁105，例如加热箱体1包括平行设置的第一侧壁101和第二侧壁102，平行设置的第三侧壁103和第四侧壁104，以及分别与第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103和第四侧壁104的底端连接的底壁105。这四个侧壁和底壁105可以围构形成容纳腔室106，可用于容纳坩埚。

其中，第一侧壁101和第二侧壁102可以为由长和高围成的两个侧壁，第三侧壁103和第四侧壁104可以为由宽和高围成的两个侧壁。可以理解，相对而言，第一侧壁101和第二侧壁102为长边，第三侧壁103和第四侧壁104为短边，即第一侧壁101和第二侧壁102的面积要大于第三侧壁103和第四侧壁104的面积，也就是说，第一侧壁101与第二侧壁102的面积相等，第三侧壁103和第三侧壁103的面积相等，第一侧壁101的面积(或第二侧壁102的面积)要大于第三侧壁103的面积(或第四侧壁104的面积)。

如图2所示，在一些实施方式中，至少部分加热箱体1可设置有热传递部，用于使加热箱体1与坩埚之间发生热传递。

具体地，至少部分四个侧壁和底壁105设置有热传递部，用于使热传递部与坩埚之间发生热传递。可以理解，热传递是由于温度差引起的热能传递现象，包括热传导、热辐射和热对流三种方式，本申请实施例中的热传递方式可以为热辐射，上述热传递部也可以称为热辐射部。

热传递部用于使热传递部与坩埚之间发生热传递，是指热传递部与坩埚之间可以发生热辐射，热传递部和坩埚可以形成反射腔，加热件产生的热量一部分可以直接被坩埚吸收用于加热蒸发材料，没有被坩埚直接吸收的部分热量可以保留在反射腔内，由坩埚反射到热传递部，再被热传递部反射到坩埚，这部分热量再次被坩埚吸收用于加热蒸发材料。这样，可以提高对加热件产生的热量的利用率，减少散失到蒸镀设备外的热辐射，同时也更易于温度的控制。

热传递部可以仅设置在加热箱体1的底壁105，也可以仅设置在加热箱体1的四个侧壁中的一个或多个，或者也可以同时设置在加热箱体1的四个侧壁和底壁105。当然，在蒸镀设备中设置多个热传递部的情况下，多个热传递部的结构可以相同，也可以不同。

如图2所示，在一些实施方式中，热传递部包括反射部6。通过反射部6的设置，使得加热件产生的热辐射在反射部6与坩埚之间热辐射对流，从而可提高坩埚对热辐射的吸收率，提高加热温度控制的准确度，减少热辐射的散失，尽量避免了热辐射的浪费，进而提高蒸镀精度。

在一些实施方式中，第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103、第四侧壁104和底壁105可以均为能够反射热量的反射板。也就是说，第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103、第四侧壁104和底壁105均设置反射部6，该反射部6为分别由第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103、第四侧壁104和底壁105形成的反射板。这样，可以提高反射能力，使更多热辐射被坩埚吸收，进一步提高热辐射的使用率，易于温度的控制，而且方便加工制作，稳定性好。

在另一些实施方式中，第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103、第四侧壁104和底壁105可以均贴合至少一层能够反射热量的反射层。也就是说，第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103、第四侧壁104和底壁105均设置反射部6，该反射部6为分别设置在第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103、第四侧壁104和底壁105内侧的反射层。这样，可以提高反射能力，使更多热辐射被坩埚吸收，进一步提高热辐射的使用率，易于温度的控制，而且可以降低材料成本，方便加工制作。

需要说明的是，对于反射板或反射层的具体结构、材质不作特殊限制，例如可以参考现有技术，只要能够使热辐射在反射部6与坩埚之间对流，反射部6能够将热辐射反射至坩埚即可。

在一些实施方式中，底壁105的反射部6可以设置为多个，且多个反射部6沿着加热箱的底壁105的长度方向间隔布置；进一步，间隔处可以设置有支撑件7，反射部6的反射面高度略低于支撑件7的支撑面。该反射部6可以为设置于底壁105上表面的反射层。

对于底壁105的反射部的具体数量、反射部的长和宽等不作特殊限制，可以根据具体结构合理设置。

可以看出，蒸发源包括能够装填蒸发材料的坩埚，将该坩埚借由加热装置进行加热，并使借由反射部所反射的热量返回至坩埚，进而可以提升热效率来将蒸发材料进行加热。如此设置，可以减少热量的损失，热量利用率高，温度更易于控制。

在一些实施方式中，加热件2可以位于加热箱体1(四个侧壁)的内侧，即靠近坩埚的一侧，且上下均匀分布，可以保证对坩埚的均匀加热。

[关于加热件]

如图4所示，加热件2能够产生热辐射，用于对坩埚加热；加热件2可包括多个直线段加热件201和多个圆弧段加热件202，多个直线段加热件201并排设置；相邻的两个直线段加热件201通过圆弧段加热件202相连。

需要说明的是，加热件2包括多个直线段加热件2021和多个圆弧段加热件202，其中，多个是指大于等于两个，例如，直线段加热件201的数量可以为2个、3个、4个、5个、6个、8个、9个、10个、15个、20个等，圆弧段加热件202的数量可以为2个、3个、4个、5个、6个、8个、9个、10个、12个、15个等，此处可以根据实际使用需要进行选择直线段加热件201和圆弧段加热件202的数量，本实施例对于直线段加热件201和圆弧段加热件202的具体数量不作限定。

可以理解，加热件2可以产生热辐射，当加热件2对蒸发源的坩埚进行加热，使其内部的蒸发材料汽化，气态材料可以沉积到蒸发源上方的基材上。

如此，将加热件2呈“曲折”状态设置，不仅可以更充分利用加热装置的空间，而且使得加热件2的加热更加均匀，加热效率更高，可以实现更大的加热功率和加热速率，从而提高了蒸发源内待蒸镀材料的加热效率和质量，最终确保了产品的质量。

此外，该加热件2的结构使得各段加热件实现平滑的相互连接，避免了各段端点处或边缘处的应力集中，从而提高产品的良率和使用稳定性。其中，设计圆弧段加热件的优点是让相邻的直线段加热件平滑过渡，避免因突变而导致的应力集中等问题，相较于单纯的直线型或其他类型的加热件设计，圆弧形过渡可以充分利用加热装置的空间，更好的提高加热效率和加热效果，提高产品的良率和稳定性。

在上述实施方式的基础上，圆弧段加热件202的形状可以为半圆形或本领域技术人员可知的其他(类似)形状。这样，有助于提高加热效率和加热效果，提高产品的良率和稳定性。

如图4所示，在一些实施方式中，相邻的两个直线段加热件201的首端分别通过一个圆弧段加热件202相连；其中一个直线段加热件201的尾端与另一个与其相邻的直线段加热件201的尾端分别通过另一个圆弧段加热件202相连。

可以理解，该加热件2可以由一系列的直线段加热件201和圆弧段加热件202首尾连接一体成型。进一步讲，该加热件2中，一个直线段加热件201的首端可以与一个圆弧段加热件202的一端连接，与其相邻的另一个直线段加热件201的首端可以与该圆弧段加热件202的另一端连接，两个直线段加热件201和一个圆弧段加热件202可以形成一个组合结构，每个组合结构的两个直线段加热件201的尾端分别通过一个圆弧段加热件202与其相邻的直线段加热件201相连；每一个直线段加热件201和与其首端、尾端相连的两个圆弧段加热件202可以形成类似“S”型。

如图4所示，在一些实施方式中，一个圆弧段加热件202和与其相连的两个直线段加热件201形成U型结构。可以理解，圆弧段加热件202在和两个直线段加热件201相连时，圆弧段加热件202的弧面向外凸出，即圆弧段加热件202向远离直线段加热件201的一侧延伸。

如此设置，可使得加热件的加热更加均匀，加热效率更高，可以避免应力集中，还可以实现更大的加热功率和加热速率，而且加热件的结构稳定性更好，使用寿命长。

在一些实施方式中，多个直线段加热件201可以等间距的平行设置；也就是说，任意相邻两个直线段加热件201之间的间距均相等，且所有直线段加热件201均为平行设置的。

在一些实施方式中，多个直线段加热件201的长度相等，且直径相等；也就是说，多个直线段加热件201的长度和直径均相等，该加热件2中，所采用的为相同的直线段加热件201。

在一些实施方式中，多个圆弧段加热件202的直径相等；也就是说，该加热件2中，所采用的为相同的圆弧段加热件202。

这样，可以使加热件的加热温度更均匀，充分保证了加热温度的均匀性，加热效果好。

在一些实施方式中，相邻两个直线段加热件201的间距小于直线段加热件201的长度；相邻两个直线段加热件201的间距大于直线段加热件201的直径。如图4所示，直线段加热件201的长度可以理解为直线段加热件201竖直方向的长度，相邻两个直线段加热件201的间距可以理解为相邻两个直线段加热件201横向之间的距离。对于具体的相邻两个直线段加热件201的间距与直线段加热件201的长度的差值，具体的相邻两个直线段加热件201的间距与直线段加热件201的直径的差值，本申请实施例对此不作限定。如此设置，更有利于提升加热效果。

示例性的，在一些实施方式中，相邻两个直线段加热件201的间距小于直线段加热件201的长度的1/5；相邻两个直线段加热件201的间距大于直线段加热件201的直径的2倍。例如，相邻两个直线段加热件201的间距小于直线段加热件201的长度的1/4、1/3、1/2或者其他数值；相邻两个直线段加热件201的间距大于直线段加热件201的直径的2.5倍、3倍、4倍、5倍或者其他数值，可根据蒸镀坩埚及蒸镀设备的实际需求设置，本申请实施例对此不作限定。如此设置，更有利于提升加热效果，加热件具有更优异的加热性能。

在一些实施方式中，相邻两个直线段加热件201的间距与圆弧段加热件202的直径相等。也就是说，圆弧段加热件202的内径为与其相连的两个直线段加热件201之间内侧的间距，圆弧段加热件202的外径为与其相连的两直线段加热件201之间外侧的间距。圆弧段加热件202的圆心可以在与其相连的两个直线段加热件201的首端中点位置。

该加热件2通过上述参数的设定使得对坩埚的加热温度更加均匀和具有更加优异的加热性能，同时加热件具有更加稳定的结构。

加热件2在安装时，其直线段加热件201的长度方向与加热箱体1的深度方向(高度方向)一致。

如图2所示，在一些实施方式中，加热件2包括至少一个位于四个侧壁上部的第一加热件21和至少一个位于四个侧壁的下部的第二加热件22，第一加热件21和第二加热件22可以相互独立，第一加热件21和第二加热件22可以单独控温。这样，方便对于蒸发温度的调节和控制，确保加热效果。

可以理解，在第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103和第四侧壁104的上部可以设置第一加热件21，也就是说，第一加热件21环绕加热箱体1的上部设置；在第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103和第四侧壁104的下部可以设置第二加热件22，也就是说，第二加热件22环绕加热箱体1的下部设置。这样，可以保证充分均匀的加热。

第一加热件21和第二加热件22可以采用不同的电压源驱动，可实现不同的发热功率，可实现坩埚顶部和底部的不同的加热功率和加热速率；或者，第一加热件21和第二加热件22也可以采用相同的电压源驱动。

在一些实施方式中，坩埚的外侧壁与加热件2不接触，且加热件2与坩埚的外侧壁之间具有预设的间隙，此间隙的预留可以保证剥离掉落的金属材料不会掉落到加热件上。对于此预留的间隙的具体大小不作特殊限制，可根据具体结构合理设置，只要保证加热件不与坩埚贴合即可。此外，长度方向和宽度方向的间隙可以设置为相等，有助于对坩埚的均匀加热，加热效果更佳均匀。

如图2所示，在一些实施方式中，加热件2可以包括位于加热箱体1四个侧壁上部的第一加热件21，以及位于四个侧壁下部的第二加热件22；且位于四个侧壁的第一加热件21和第二加热件22均可以单独控温；且将坩埚放入加热箱体1时，坩埚的外壁与第一加热件21和第二加热件22不接触，且具有预设的间隙；第一加热件21和第二加热件22均与控制器电连接。如此设置，有助于对坩埚的均匀加热，充分保证了均匀加热，使得加热效果更佳。

可以理解，第一加热件21和第二加热件22可以以坩埚为中心上下对称配置，在上下部加热坩埚。第一加热件21的结构和第二加热件22的结构可以完全相同。第一加热件21和第二加热件22安装时，其直线段加热件201的长度方向与加热箱体1的深度方向一致。

[关于固定件]

如图5至图8所示，固定件3用于固定加热件2，固定件3包括第一主体301和第二主体302；第一主体301设置有第一凹槽3011，第二主体302设置有第二凹槽3021，第一凹槽3011与第二凹槽3021相配合形成固定部303，固定部303能够用于固定加热件2。

需要说明的是，第一主体301和第二主体302可以均为板状结构，第一主体301也可以为第一板，第二主体302也可以为第二板。第一主体301和第二主体302的形状或尺寸可以设计为相同，也可以设计为不同，具体的第一主体301和第二主体302的实际形状可根据加热件或加热装置的实际情况来适应性设计。

示例性的，以第一主体301和第二主体302的形状均为矩形为例，对技术方案进行详细描述，应理解，第一主体301和第二主体302的形状并不限于此。第一主体301为矩形时，可以在第一主体301的长边侧向内开设第一凹槽3011，即第一凹槽3011为沿着第一主体301宽度方向开设的凹槽；同样的，第二主体302为矩形时，可以在第二主体302的长边侧向内开设第二凹槽3021，即第二凹槽3021为沿着第二主体302宽度方向开设的凹槽。第一凹槽3011或第二凹槽3021的截面形状例如可以为半圆形或者其他图形均可。

第一主体301和第二主体302具有配合面(贴合面)，分别在第一主体301和第二主体302的配合面设置第一凹槽3011和第二凹槽3021，这样，可以将第一凹槽3011的开口面和第二凹槽3021的开口面相对应，进而形成固定部303，该固定部303可以为通槽结构，可以用于固定加热件2，例如可以用于固定加热件2的直线段加热件201。

应理解，固定部303可以用于固定直线段加热件201，固定部303的形状可以与直线段加热件201的形状相适应，或者固定部303的内径要大于等于直线段加热件201的外径。此处，固定部303的具体形状结构可以根据实际需要进行选择。

如此设置，可以使得加热件的固定结构简单，牢固可靠，方便安装和拆卸。

在一些实施方式中，固定件3为绝缘件；第一主体301和第二主体302均为绝缘件，其可以仅起到固定或保护加热件的作用，而对于固定件的具体材质不作特殊限制。

在一些实施方式中，第一主体301与第二主体302通过螺钉或本领域技术人员可知的其他可拆卸的方式连接。这样，容易安装和拆卸，更方便对加热件的固定。

如图5所示，在一些实施方式中，每个第一主体301设置有多个第一凹槽3011，每个第二主体302设置有多个第二凹槽3021，并形成多个固定部303。相邻两个固定部303的间距可以与相邻两个直线段加热件201的间距相同，以使得加热件2中的所有直线段加热件201均被该固定件3固定。

应理解，本文中，多个是指至少两个，即包括两个及两个以上。每个固定件3包括多个固定部303，各固定部303分别用于固定各直线段加热件201，对于固定部303的具体数量不作限定，其可以根据直线段加热件201的数量而选择设置。

如图7所示，在一些实施方式中，固定件3包括多个第一主体301和多个第二主体302，且第一主体301与第二主体302的数量相等。

可以理解，固定件3可以包括多个相等数量的第一主体301和第二主体302，也就是说，可以利用多个间隔设置的第一主体301和第二主体302来固定一个加热件2。每个第一主体301可以都设置多个第一凹槽3011，每个第二主体302可以都设置多个第二凹槽3021，当然，第一凹槽3011和第二凹槽3021的数量需要相同。

每个第一主体301与每个第二主体302相配合形成多个固定部303，适于固定部分加热件2，是指每个第一主体301都设置多个第一凹槽3011，每个第二主体302都设置多个第二凹槽3021，从而配合形成多个固定部303，这多个固定部303可以用于固定整个加热件2中的部分直线段加热件201。该整个加热件2可以由如此的多个第一主体301和第二主体302进行固定。

可选的，每个第一主体301都设置2-10个第一凹槽3011，每个第二主体302都设置2-10个第二凹槽3021，从而配合形成2-10个固定部303。较佳的，每个第一主体301都设置4-6个第一凹槽3011，每个第二主体302都设置4-6个第二凹槽3021，从而配合形成4-6个固定部303。这样，更方便安装固定，操作方便。

应理解，对于第一主体301和第二主体302的具体数量不作限定，其可以根据直线段加热件的数量而选择设置。

在一些实施方式中，固定件3沿直线段加热件201长度方向的长度小于直线段加热件201长度的1/5。如此设置，有利于增加加热件的散热面积，提高加热效率。

在一些实施方式中，每个加热件2均由上下平行的两固定件3进行固定，其上下两个固定件3的上下位置和所包含的第一主体301和第二主体302的数量为一一对应。

在一些实施方式中，固定件3可通过螺钉或本领域技术人员可知的其他可拆卸的方式连接与加热箱体1的内侧壁连接。例如，可以将第二主体302通过螺钉或本领域技术人员可知的其他可拆卸的方式连接与加热箱体1的内侧壁连接，而后，再将第一主体301与第二主体302通过螺钉或本领域技术人员可知的其他可拆卸的方式连接。

通过对固定件3如此的布置，一方面是可以提高加热件的安装稳定性，提高加热稳定性，另一方面是增加的加热件的散热面积，提高加热效率。

如图8所示，在另一些实施方式中，固定件3包括一个第一主体301和多个第二主体302。

可以理解，固定件3可以包括多个第二主体302和一个第一主体301，也就是说，可以利用多个间隔设置的第二主体302和一个第一主体301来固定一个加热件2。该第一主体301可以都设置多个第一凹槽3011，每个第二主体302可以都设置多个第二凹槽3021，多个第二主体302所设置的第二凹槽3021的总体数量与第一主体301设置的第一凹槽3011的数量相同。

多个第二主体302与第一主体301相配合形成多个固定部303，适于固定整个加热件2，是指该第一主体301都设置多个第一凹槽3011，每个第二主体302都设置多个第二凹槽3021，多个第二主体302与一个第一主体301相配合形成多个固定部303，这多个固定部303可以用于固定整个加热件。

可选的，每个第二主体302都设置2-10个第二凹槽3021，与部分第一主体301相配合从而形成2-10个固定部303。较佳的，每个第二主体302都设置4-6个第二凹槽3021，与部分第一主体301相配合从而形成4-6个固定部303。这样，便于整体安装，更方便安装和拆卸，更便于对加热件的整体更换，操作方便。

每个加热件2可以均由上下平行的两固定件3进行固定，两个固定件3的第一主体301可以在两端连成一体。这样，整个结构的布置，使得其更便于对加热件进行整体的更换。

在一些实施方式中，可以先将多个第二主体302通过螺钉或本领域技术人员可知的其他可拆卸的方式连接与加热箱体1的内侧壁连接，而后再将整个第一主体301与多个第二主体302通过螺钉或本领域技术人员可知的其他可拆卸的方式连接。

在一些实施方式中，第一主体301的长度大于首个(第一个)直线段加热件201和末个(最后一个)直线段加热件201之间的距离。也就是说，第一主体301的长度大于加热件2中两端的直线段加热件201之间的距离，这样能够使得所有的直线段加热件都被固定，而且结构稳定、可靠。

如图6所示，在一些实施方式中，固定部3靠近加热件2的一侧设置有保护层304。这样，利于对加热件和固定件的保护，可延长使用寿命。

在一些实施方式中，固定件3包括用于固定第一加热件21的第一固定件31和用于固定第二加热件21的第二固定件32，且均为绝缘件。第一固定件31和第二固定件32的结构可以设置为相同。

应理解，上述固定件3的数量与加热件2的数量相对应，当加热件2包括第一加热件21和第二加热件22时，固定件3可包括第一固定件31和第二固定件32，第一固定件31用于固定第一加热件21，第二固定件32用于固定第二加热件22。在其他实施方式中，固定件的数量还可以加热件的需求设置，本申请实施例对此不作限定。

以上可知，采用多个固定件3对加热件2进行固定，一方面，保证了加热件的稳定性，同时也是对加热件固定部的保护，另一方面，通过设置多个加热件固定部，减小了对加热的散热面积的遮挡，提高了加热装置的加热效率。

[关于温控系统]

如图9所示，在一些实施方式中，温控系统包括温度传感器5和控制器，温度传感器5可设置在容纳腔室106内部，温度传感器5与控制器电连接，控制器与加热件2电连接，控制器可以分别与第一加热件21和第二加热件22电连接。这样，通过温度传感器5可以对坩埚进行温度值的实时监测，控制器与温度传感器5信号连接，通过控制器对温度传感器5的温度值采集，从而获取整个坩埚的实时温度，实现对坩埚的全局温度监控。

本领域技术人员理解，控制器分别与温度传感器5和加热器(加热件)电连接，进一步，温度传感器5的输出端可以与控制器的输入端连接，控制器的输出端可以与加热器连接；控制器可用于接收或采集温度传感器5的信号(温度数据)，并控制加热器动作，即可控制加热器的开启、关闭或加热温度的调节。例如当控制器接收到温度传感器5传输的温度数据不在预设温度范围内时，控制器可控制加热器调节加热热量，以使所产生的热量处于预定的温度范围内。需要说明的是，控制器与温度传感器5、加热件的具体连接或控制方式或控制器的具体类型是本领域技术人员可知的，本申请实施例对此不再赘述也不作限定。

温度传感器5的具体类型可以是多种多样的，例如温度传感器5可以为接触式温度传感器，也可以为非接触式温度传感器。

在一些实施方式中，温度传感器5为接触式温度传感器。这样，有助于提高温度监测的准确度，成本较低。

在一些实施方式中，可以设置多个温度传感器5，且多个温度传感器5分别设置在预定位置，进行温度的检测。从而可以用于实时监控坩埚的实时温度，易于实现对坩埚的温度准确、实时的监控，更有助于提高产品质量。

在一些实施方式中，温度传感器5的数量为至少四组，每组温度传感器至少包括一个温度传感器。示例性的，温度传感器5设置为四组，分别包括第一组温度传感器501、第二组温度传感器502、第三组温度传感器503和第四组温度传感器504，这四组温度传感器可分别设置在加热箱体1的四个侧壁上。

在其他实施方式中，温度传感器5的数量还可根据蒸镀坩埚的实际需求进行设置。

上述四组温度传感器5可以均设置在四个侧壁的内侧，即靠近坩埚的一侧。

在一些实施方式中，第一组温度传感器501可以设置在第一侧壁101的中部，且靠近底壁105位置处，第二组温度传感器502可以设置在第二侧壁102的中部，且远离底壁105位置处；

第三组温度传感器503可以设置在第三侧壁103的内侧，例如可以设置在第三侧壁103内侧上部，第四组温度传感器504可以设置在第四侧壁104的内侧，例如可以设置在第四侧壁104内侧上部。

可以理解，上述四组温度传感器中，其中两组分别位于加热箱体1的相对短边侧面，用于检测线性坩埚的短边两处的温度；另外两组分别位于加热箱体1的相对长边侧面，且均位于长边侧面的中间位置处，一个靠近底壁105，另一个远离底壁105；温度传感器可以为接触式，通过至少四个温度传感器的在预定位置检测，实现对坩埚的温度准确实时的监控。

这样，将上述四组温度传感器5分别设置于加热箱体1的四个侧壁的预设位置，可以实现对坩埚的上、下、左、右全方位的温度监测，然后再将监测的数据传输至控制器，控制器可以对加热器(加热件)进行控制，以实现对蒸发源的坩埚加热温度的精确控制，提高了蒸发源的蒸镀质量。

[关于连接件]

在一些实施方式中，蒸发源的加热装置包括加热箱体1、加热器、固定件3和温控系统，而且还包括多个连接件4；多个连接件4可沿加热箱体1侧壁等间距的分布，用于固定坩埚。其中，加热箱体1、加热器、固定件3和温控系统的结构可以参照如上的描述。

具体地，加热件2包括上下间隔布置的第一加热件21和第二加热件22，固定件3包括用于固定第一加热件21的第一固定件31和用于固定第二加热件22的第二固定件32，连接件4设置于第一固定件31和第二固定件32之间，即每个连接件4的顶端与第一固定件31连接，每个连接件4的底端与第二固定件32连接；当坩埚放入至加热箱体1内部时，连接件4可以与坩埚贴合，用于固定坩埚，同时使得第一加热件21和第二加热件22均与坩埚具有一定的间隙，提高加热效果和加热效率。

应用本实施例的技术方案，将加热件设计成“曲折”状态，使得加热件的加热更加均匀，加热效率更高；通过对固定件的如此布置，不仅提高了加热件的安装稳定性，提高加热稳定性，而且增加了加热件的散热面积，进一步提高了加热效率；此外，通过温控系统对加热温度的精确控制，可以最终提高蒸镀源的蒸镀质量。

示例性的，本申请实施例提供的蒸发源的加热装置和包含该蒸发源的加热装置的蒸镀设备可用于制备OLED器件或其他半导体膜层或器件的过程中，本申请实施例对此不作限定。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸发源的加热装置，其特征在于，包括加热件和固定件，所述加热件用于对蒸发源加热，所述固定件用于固定加热件；

所述固定件包括第一主体和第二主体；

所述第一主体设置有第一凹槽，所述第二主体设置有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相配合形成固定部，所述固定部能够用于固定所述加热件。

2.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置，相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连；

所述固定件包括多个固定部，各所述固定部分别用于固定各所述直线段加热件。

3.根据权利要求2所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述固定件包括多个所述第一主体和多个所述第二主体，且所述第一主体与所述第二主体的数量相等；

每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成多个所述固定部，适于固定部分所述加热件；

所述固定件沿所述直线段加热件长度方向的长度小于所述直线段加热件长度的1/5。

4.根据权利要求3所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成2-10个所述固定部。

5.根据权利要求2所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述固定件包括一个所述第一主体和多个所述第二主体；

多个所述第二主体与所述第一主体相配合形成多个所述固定部，适于固定整个所述加热件；

所述固定件沿所述直线段加热件长度方向的长度小于所述直线段加热件长度的1/5；

所述第一主体的长度大于首个所述直线段加热件和末个所述直线段加热件之间的距离。

6.根据权利要求5所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，每个所述第二主体与所述第一主体相配合形成2-10个所述固定部。

7.根据权利要求1-6任一项所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述固定部靠近所述加热件的一侧设置有保护层。

8.根据权利要求1-6任一项所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述蒸发源的加热装置还包括加热箱体和温控系统；

所述固定件与所述加热箱体连接，每个所述加热件至少由上下间隔布置的两个所述固定件进行固定；

所述温控系统设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。

9.根据权利要求1-6任一项所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述蒸发源的加热装置还包括连接件；

所述加热件包括间隔布置的第一加热件和第二加热件，所述固定件包括用于固定所述第一加热件的第一固定件和用于固定所述第二加热件的第二固定件，所述连接件设置于所述第一固定件与所述第二固定件之间，用于固定蒸发源。

10.一种蒸镀设备，包括蒸发源，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的蒸发源的加热装置。

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