CN212247180U - 蒸发源的加热装置和蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。该蒸发源的加热装置，包括加热件，所述加热件用于对蒸发源加热；所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置；相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连。本申请将加热件呈“曲折”状态设置，使得加热件的加热更加均匀，加热效率更高，可以实现更大的加热功率和加热速率，提高了蒸发源内待蒸镀材料的加热效率和质量，提高蒸镀质量。

Description

蒸发源的加热装置和蒸镀设备

技术领域

本申请属于蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件具有更轻薄、亮度高、省点、清晰度高等诸多优点，可广泛应用于手机、电脑等各种终端设备的显示领域或其他照明领域。当前，OLED器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热转印等多种方式。其中，蒸镀工艺是在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。对于蒸镀工艺而言，用于蒸发材料的蒸发源是其核心，而对于蒸发源的加热也至关重要。

现有的蒸发源(蒸镀源)装置，一般包括盛放有机材料或金属材料的坩埚，对坩埚进行加热，实现坩埚内的待蒸镀材料的蒸镀。然而，现有的用于为坩埚内的待蒸镀材料加热的加热装置，仍存在一些不便与缺陷，亟待加以进一步改进。例如，现有的蒸发源的加热装置的加热效果差，降低了加热效率和质量，从而降低了坩埚的蒸镀质量。

由此可见，现有的蒸发源的加热装置仍有改善的空间。鉴于此，特提出本申请。

实用新型内容

本申请的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷或至少部分地解决上述现有技术存在的技术问题而提供一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备，能够改善加热效果，提高加热效率和质量，继而提高蒸镀质量和产品的良率。

根据本申请的第一方面，提供一种蒸发源的加热装置，包括加热件，所述加热件用于对蒸发源加热；

所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置；

相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连。

在一种可能的实现方式中，一个所述圆弧段加热件和与其相连的两个所述直线段加热件形成U型结构。

在一种可能的实现方式中，相邻的两个所述直线段加热件的首端分别通过一个所述圆弧段加热件相连；

其中一个所述直线段加热件的尾端与另一个与其相邻的所述直线段加热件的尾端分别通过另一个所述圆弧段加热件相连。

在一种可能的实现方式中，相邻两个所述直线段加热件的间距小于所述直线段加热件的长度；

相邻两个所述直线段加热件的间距大于所述直线段加热件的直径。

在一种可能的实现方式中，相邻两个所述直线段加热件的间距小于所述直线段加热件的长度的1/5；

相邻两个所述直线段加热件的间距大于所述直线段加热件的直径的2 倍。

在一种可能的实现方式中，相邻两个所述直线段加热件的间距与所述圆弧段加热件的直径相等。

在一种可能的实现方式中，所述圆弧段加热件为半圆形。

在一种可能的实现方式中，多个所述直线段加热件的长度相等，且直径相等；

和/或，多个所述圆弧段加热件的直径相等。

在一种可能的实现方式中，多个所述直线段加热件等间距的平行设置。

在一种可能的实现方式中，所述蒸发源的加热装置还包括加热箱体、温控机构和固定件；

所述固定件与所述加热箱体连接，所述加热件设置于所述固定件的安装面，所述固定件沿所述加热箱体高度方向的长度小于所述直线段加热件的长度；

所述温控机构设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。

在一种可能的实现方式中，所述温控机构包括控制器和多组温度传感器，多组所述温度传感器分别设置于所述加热箱体的不同位置，所述控制器分别与所述温度传感器和所述加热件电连接。

在一种可能的实现方式中，所述加热箱体具有容纳腔室，用于容纳蒸发源，至少部分所述加热箱体设有热传递部，用于使所述热传递部与蒸发源之间发生热传递；

在一种可能的实现方式中，所述蒸发源的加热装置还包括连接件；

所述加热件包括至少两个间隔布置的加热件，所述固定件包括至少两个间隔布置的固定件，所述连接件设置于任意两个所述固定件之间。

在一种可能的实现方式中，所述加热件包括上下间隔布置的第一加热件和第二加热件，所述固定件包括用于固定第一加热件的第一固定件和用于固定第二加热件的第二固定件，所述连接件设置于所述第一固定件和所述第二固定件之间，所述连接件与蒸发源贴合，用于固定蒸发源。

根据本申请的第二方面，提供一种蒸镀设备，包括蒸发源，还包括前述的蒸发源的加热装置。

与现有技术相比，本申请提供的技术方案可以达到如下有益效果：

本申请提供的蒸发源的加热装置包括用于对蒸发源加热的加热件，该加热件包括多个并排设置(平行设置)的直线段加热件和多个圆弧段加热件，且相邻的两个直线段加热件通过圆弧段加热件相连，如此，将加热件呈“曲折”状态设置，使得加热件的加热更加均匀，加热效率更高，可以实现更大的加热功率和加热速率，从而提高了蒸发源内待蒸镀材料的加热效率和质量，最终使得蒸镀的质量提高。

本申请提供的蒸镀设备包括上述蒸发源的加热装置，因而至少具有与上述蒸发源的加热装置相同的优势，在此不再详细描述。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。

本申请的其他特征和优点将在随后的具体实施部分结合附图予以说明。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例提供的蒸发源的加热装置结构示意图；

图2为图1中A-A向剖面示意图；

图3为本申请一实施例提供的加热箱体的结构示意图；

图4为本申请一实施例提供的加热件的结构示意图；

图5为本申请一实施例提供的第一加热件安装于第一固定件的结构示意图；

图6为本申请一实施例提供的蒸发源的加热装置的控制示意图。

附图标记：

1-加热件；11-第一加热件；12-第二加热件；101-直线段加热件；102- 圆弧段加热件；

2-加热箱体；201-第一侧壁；202-第二侧壁；203-第三侧壁；204-第四侧壁；205-底壁；206-容纳腔室；

3-反射部；

4-支撑件；

5-固定件；51-第一固定件；52-第二固定件；

6-连接件；

7-温度传感器；701-第一组温度传感器；702-第二组温度传感器；703- 第三组温度传感器；704-第四组温度传感器。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合本申请实施例中的附图，对本申请的技术方案进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

需要说明的是，本文中，“和/或”用于表示所说明的情况的一者或两者均可能发生，例如A和/或B包括(A和B)和(A或B)。

本文中，上、下、左、右、内、外、前、后等指的是蒸镀设备正常放置时常规理解的方位。

除非另有定义或说明，本文中所用的专业与科学术语与本领域熟练人员所熟悉的意义相同。

本领域技术人员理解，如背景技术所言，现有技术中的蒸发源的加热装置，或多或少存在一定的缺陷，主要包括加热效果较差，加热效率和质量较低的问题，因此，为了克服现有技术的不完善，本申请实施例的技术方案提供一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备，以改善加热效果，提高加热效率和质量。

如图1至图6所示，本实施例提供一种蒸镀设备，包括蒸发源的加热装置和蒸发源(图中未示出)，该蒸发源的加热装置用于对蒸发源进行加热，该蒸发源的加热装置具有容纳腔室206(或称蒸镀腔体)，可用于容纳蒸发源，蒸发源可设置于容纳腔室206内部，用于加热待蒸镀材料(蒸发材料)使其升华或汽化。

需要说明的是，本申请实施例不对蒸发源和蒸发材料进行特殊限定。例如蒸发源可选择坩埚、石英器皿或高熔点的金属等，并不限于此。蒸发材料可包括有机材料、金属材料、金属络合物等，并不限于此。

为了简化，本申请实施例以坩埚作为蒸镀设备的蒸发源为例对蒸镀设备做具体阐述。

本领技术人员理解，坩埚可用于容纳蒸发材料，并向蒸发材料传导热量。在坩埚内部盛放不同种类的蒸发材料，在高真空环境下材料受热汽化或升华后沉积到基材上形成薄膜层，可用于实现OLED器件的功能层。

对于坩埚的具体结构以及坩埚相对于加热装置的设置等也不作特殊限定，例如可以参照现有技术。

可以理解，该蒸镀设备包括蒸发源和对蒸发源加热的蒸发源的加热装置，通过特定的蒸发源的加热装置的设置，可以改善加热效果，提高加热效率和质量，进而提高蒸发源的蒸镀质量。

具体地，如图1至图6所示，本实施例提供一种蒸发源的加热装置，包括加热件1，加热件1用于对蒸发源加热；加热件1包括多个直线段加热件101和多个圆弧段加热件102，多个直线段加热件101并排设置；相邻的两个直线段加热件101通过圆弧段加热件102相连。

需要说明的是，加热件1包括多个直线段加热件101和多个圆弧段加热件102，其中，多个是指大于等于两个，例如，直线段加热件101的数量可以为2个、3个、4个、5个、6个、8个、9个、10个、15个、20 个等，圆弧段加热件102的数量可以为2个、3个、4个、5个、6个、8 个、9个、10个、12个、15个等，此处可以根据实际使用需要进行选择直线段加热件101和圆弧段加热件102的数量，本实施例对于直线段加热件101和圆弧段加热件102的具体数量不作限定。

可以理解，加热件1可以产生热辐射，当加热件对蒸发源的坩埚进行加热，使其内部的蒸发材料汽化，气态材料可以沉积到蒸发源上方的基材上。

如此，将加热件1呈“曲折”状态设置，不仅可以更充分利用加热装置的空间，而且使得加热件1的加热更加均匀，加热效率更高，可以实现更大的加热功率和加热速率，从而提高了蒸发源内待蒸镀材料的加热效率和质量，最终确保了产品的质量。

此外，该加热件1的结构使得各段加热件实现平滑的相互连接，避免了各段端点处或边缘处的应力集中，从而提高产品的良率和使用稳定性。其中，设计圆弧段加热件102的优点是让相邻的直线段加热件101平滑过渡，避免因突变而导致的应力集中等问题，相较于单纯的直线型或其他类型的加热件设计，圆弧形过渡可以充分利用加热装置的空间，更好的提高加热效率和加热效果，提高产品的良率和稳定性。

在上述实施方式的基础上，圆弧段加热件102的形状可以为半圆形或本领域技术人员可知的其他(类似)形状。这样，有助于提高加热效率和加热效果，提高产品的良率和稳定性。

如图4所示，在一些实施方式中，相邻的两个直线段加热件101的首端分别通过一个圆弧段加热件102相连；其中一个直线段加热件101的尾端与另一个与其相邻的直线段加热件101的尾端分别通过另一个圆弧段加热件102相连。

可以理解，该加热件1可以由一系列的直线段加热件101和圆弧段加热件102首尾连接一体成型。进一步讲，该加热件1中，一个直线段加热件101的首端可以与一个圆弧段加热件102的一端连接，与其相邻的另一个直线段加热件101的首端可以与该圆弧段加热件102的另一端连接，两个直线段加热件101和一个圆弧段加热件102可以形成一个组合结构，每个组合结构的两个直线段加热件101的尾端分别通过一个圆弧段加热件 102与其相邻的直线段加热件101相连；每一个直线段加热件101和与其首端、尾端相连的两个圆弧段加热件102可以形成类似“S”型。

如图4所示，在一些实施方式中，一个圆弧段加热件102和与其相连的两个直线段加热件101形成U型结构。可以理解，圆弧段加热件102在和两个直线段加热件101相连时，圆弧段加热件102的弧面向外凸出，即圆弧段加热件102向远离直线段加热件101的一侧延伸。

如此设置，可使得加热件的加热更加均匀，加热效率更高，可以避免应力集中，还可以实现更大的加热功率和加热速率，而且加热件的结构稳定性更好，使用寿命长。

如图4所示，在一些实施方式中，多个直线段加热件101可以等间距的平行设置；也就是说，任意相邻两个直线段加热件101之间的间距均相等，且所有直线段加热件101均为平行设置的。

在一些实施方式中，多个直线段加热件101的长度相等，且直径相等；也就是说，多个直线段加热件101的长度和直径均相等，该加热件中，所采用的为相同的直线段加热件101。

在一些实施方式中，多个圆弧段加热件102的直径相等；也就是说，该加热件中，所采用的为相同的圆弧段加热件102。

这样，可以使加热件的加热温度更均匀，充分保证了加热温度的均匀性，加热效果好。

在一些实施方式中，相邻两个直线段加热件101的间距小于直线段加热件101的长度；相邻两个直线段加热件101的间距大于直线段加热件101 的直径。参照图4所示，直线段加热件101的长度可以理解为直线段加热件101竖直方向的长度，相邻两个直线段加热件101的间距可以理解为相邻两个直线段加热件101横向之间的距离。对于具体的相邻两个直线段加热件101的间距与直线段加热件101的长度的差值，具体的相邻两个直线段加热件101的间距与直线段加热件101的直径的差值，本申请实施例对此不作限定。如此设置，更有利于提升加热效果。

示例性的，在一些实施方式中，相邻两个直线段加热件101的间距小于直线段加热件101的长度的1/5；相邻两个直线段加热件101的间距大于直线段加热件101的直径的2倍。例如，相邻两个直线段加热件101的间距小于直线段加热件101的长度的1/4、1/3、1/2或者其他数值；相邻两个直线段加热件101的间距大于直线段加热件101的直径的2.5倍、3倍、 4倍、5倍或者其他数值，可根据蒸镀坩埚及蒸镀设备的实际需求设置，本申请实施例对此不作限定。如此设置，更有利于提升加热效果，加热件具有更优异的加热性能。

在一些实施方式中，相邻两个直线段加热件101的间距与圆弧段加热件102的直径相等。也就是说，圆弧段加热件102的内径为与其相连的两个直线段加热件101之间内侧的间距，圆弧段加热件102的外径为与其相连的两直线段加热件101之间外侧的间距。圆弧段加热件102的圆心可以在与其相连的两个直线段加热件101的首端中点位置。

该加热件1通过上述参数的设定使得对坩埚的加热温度更加均匀和具有更加优异的加热性能，同时加热件具有更加稳定的结构。

如图1-6所示，在一些实施方式中，蒸发源的加热装置包括加热箱体 2、温控机构、加热器和固定件5；其中，加热箱体2具有容纳腔室206，坩埚(图中未示出)可设置于容纳腔室206内部，至少部分加热箱体2可设置有热传递部，用于使加热箱体2与坩埚之间发生热传递；加热器包括加热件1，加热件1可产生热辐射，用于对坩埚进行加热，并使坩埚内的蒸发材料受热汽化或升华；固定件5可设置于加热箱体2，用于固定加热件1；温控机构可设置于加热箱体2，并与加热件1电连接，用于检测坩埚的温度和控制加热件1所产生的热量。其中，加热件1可为如上所述的加热件1。

加热件1在安装时，其直线段加热件101的长度方向与加热箱体2的深度方向(高度方向)一致。

本实施例中的坩埚和加热箱体2的外形可以设置为相同，例如均可以设置为长方体形。当然，在其他实施方式中，加热箱体2和坩埚的形状还可以根据实际需求设置，设置为本领域技术人员可知的其他任意形状，本申请实施例对此不赘述也不作限定。

示例性的，如图3所示，在一些实施方式中，加热箱体2为长方体形，加热箱体2的截面为矩形。下文中主要以加热箱体2为长方体形为例，对该蒸发源的加热装置进行示例性的详细说明，应理解，加热箱体2的形状并不限于此。

示例性的，加热箱体2的形状为长方体形，加热箱体2可以从一侧开口，例如可以从上端开口，用于放置或取出蒸发源的坩埚。

在一些实施方式中，加热箱体2可以包括四个侧壁和底壁205，例如加热箱体2包括平行设置的第一侧壁201和第二侧壁202，平行设置的第三侧壁203和第四侧壁204，以及分别与第一侧壁201、第二侧壁202、第三侧壁203和第四侧壁204的底端连接的底壁205。这四个侧壁和底壁205 可以围构形成容纳腔室206，可用于容纳坩埚。

其中，第一侧壁201和第二侧壁202可以为由长和高围成的两个侧壁，第三侧壁203和第四侧壁204可以为由宽和高围成的两个侧壁。可以理解，相对而言，第一侧壁201和第二侧壁202为长边，第三侧壁203和第四侧壁204为短边，即第一侧壁201和第二侧壁202的面积要大于第三侧壁203 和第四侧壁204的面积，也就是说，第一侧壁201与第二侧壁202的面积相等，第三侧壁203和第三侧壁203的面积相等，第一侧壁201的面积(或第二侧壁202的面积)要大于第三侧壁203的面积(或第四侧壁204的面积)。

在一些实施方式中，至少部分四个侧壁和底壁205设置有热传递部，用于使热传递部与坩埚之间发生热传递。

可以理解，热传递是由于温度差引起的热能传递现象，包括热传导、热辐射和热对流三种方式，本申请实施例中的热传递方式可以为热辐射，上述热传递部也可以称为热辐射部。

热传递部用于使热传递部与坩埚之间发生热传递，是指热传递部与坩埚之间可以发生热辐射，热传递部和坩埚可以形成反射腔，加热件1产生的热量一部分可以直接被坩埚吸收用于加热蒸发材料，没有被坩埚直接吸收的部分热量可以保留在反射腔内，由坩埚反射到热传递部，再被热传递部反射到坩埚，这部分热量再次被坩埚吸收用于加热蒸发材料。这样，可以提高对加热件1产生的热量的利用率，减少散失到蒸镀设备外的热辐射，同时也更易于温度的控制。

热传递部可以仅设置在加热箱体2的底壁205，也可以仅设置在加热箱体2的四个侧壁中的一个或多个，或者也可以同时设置在加热箱体2的四个侧壁和底壁205。当然，在蒸镀设备中设置多个热传递部的情况下，多个热传递部的结构可以相同，也可以不同。

在一些实施方式中，热传递部包括反射部3。通过反射部3的设置，使得加热件1产生的热辐射在反射部3与坩埚之间热辐射对流，从而可提高坩埚对热辐射的吸收率，提高加热温度控制的准确度，减少热辐射的散失，尽量避免了热辐射的浪费，进而提高蒸镀精度。

在一些实施方式中，第一侧壁201、第二侧壁202、第三侧壁203、第四侧壁204和底壁205可以均为能够反射热量的反射板。也就是说，第一侧壁201、第二侧壁202、第三侧壁203、第四侧壁204和底壁205均设置反射部3，该反射部3为分别由第一侧壁201、第二侧壁202、第三侧壁 203、第四侧壁204和底壁205形成的反射板。这样，可以提高反射能力，使更多热辐射被坩埚吸收，进一步提高热辐射的使用率，易于温度的控制，而且方便加工制作，稳定性好。

在另一些实施方式中，第一侧壁201、第二侧壁202、第三侧壁203、第四侧壁204和底壁205可以均贴合至少一层能够反射热量的反射层。也就是说，第一侧壁201、第二侧壁202、第三侧壁203、第四侧壁204和底壁205均设置反射部3，该反射部3为分别设置在第一侧壁201、第二侧壁202、第三侧壁203、第四侧壁204和底壁205内侧的反射层。这样，可以提高反射能力，使更多热辐射被坩埚吸收，进一步提高热辐射的使用率，易于温度的控制，而且可以降低材料成本，方便加工制作。

需要说明的是，对于反射板或反射层的具体结构、材质不作特殊限制，例如可以参考现有技术，只要能够使热辐射在反射部3与坩埚之间对流，反射部3能够将热辐射反射至坩埚即可。

在一些实施方式中，底壁205的反射部3可以设置为多个，且多个反射部3沿着加热箱的底壁205的长度方向间隔布置；进一步，间隔处可以设置有支撑件4，反射部3的反射面高度略低于支撑件4的支撑面。该反射部3可以为设置于底壁205上表面的反射层。

对于底壁205的反射部3的具体数量、反射部3的长和宽等不作特殊限制，可以根据具体结构合理设置。

可以看出，蒸发源包括能够装填蒸发材料的坩埚，将该坩埚借由加热装置进行加热，并使借由反射部3所反射的热量返回至坩埚，进而可以提升热效率来将蒸发材料进行加热。如此设置，可以减少热量的损失，热量利用率高，温度更易于控制。

在一些实施方式中，加热件1可以位于加热箱体2(四个侧壁)的内侧，即靠近坩埚的一侧，且上下均匀分布，可以保证对坩埚的均匀加热。

在一些实施方式中，加热件1包括至少一个位于四个侧壁上部的第一加热件11和至少一个位于四个侧壁的下部的第二加热件12，第一加热件 11和第二加热件12可以相互独立，第一加热件11和第二加热件12可以单独控温。这样，方便对于蒸发温度的调节和控制，确保加热效果。

可以理解，在第一侧壁201、第二侧壁202、第三侧壁203和第四侧壁204的上部可以设置第一加热件11，也就是说，第一加热件11环绕加热箱体2的上部设置；在第一侧壁201、第二侧壁202、第三侧壁203和第四侧壁204的下部可以设置第二加热件12，也就是说，第二加热件12 环绕加热箱体2的下部设置。这样，可以保证充分均匀的加热。

第一加热件11和第二加热件12可以采用不同的电压源驱动，可实现不同的发热功率，可实现坩埚顶部和底部的不同的加热功率和加热速率；或者，第一加热件11和第二加热件12也可以采用相同的电压源驱动。

在一些实施方式中，坩埚的外侧壁与加热件1不接触，且加热件1与坩埚的外侧壁之间具有预设的间隙，此间隙的预留可以保证剥离掉落的金属材料不会掉落到加热件1上。对于此预留的间隙的具体大小不作特殊限制，可根据具体结构合理设置，只要保证加热件1不与坩埚贴合即可。

此外，长度方向和宽度方向的间隙可以设置为相等，有助于对坩埚的均匀加热，加热效果更佳均匀。

在一些实施方式中，加热件1可以包括位于加热箱体2四个侧壁上部的第一加热件11，以及位于四个侧壁下部的第二加热件12；且位于四个侧壁的第一加热件11和第二加热件12均可以单独控温；且将坩埚放入加热箱体2时，坩埚的外壁与第一加热件11和第二加热件12不接触，且具有预设的间隙；第一加热件11和第二加热件12均与控制器电连接。如此设置，有助于对坩埚的均匀加热，充分保证了均匀加热，使得加热效果更佳。

可以理解，第一加热件11和第二加热件12可以以坩埚为中心上下对称配置，在上下部加热坩埚。第一加热件11的结构和第二加热件12的结构可以完全相同。第一加热件11和第二加热件12安装时，其直线段加热件101的长度方向与加热箱体2的深度方向一致。

在一些实施方式中，固定件5为绝缘件；固定件5可固定于加热箱体 2的内侧，用于对加热件进行固定。需要说明的是，本申请实施例对于固定件5与加热箱体2的具体连接方式、固定件5与加热件1的具体连接方式不作特殊限制。

应理解，上述固定件5的数量与的数量相对应，当加热件1包括第一加热件11和第二加热件12时，固定件5可包括第一固定件51和第二固定件52，第一固定件51用于固定第一加热件11，第二固定件52用于固定第二加热件12。在其他实施方式中，固定件的数量还可以加热件的需求设置，本申请实施例对此不作限定。

在一些实施方式中，固定件5包括分别设置于加热箱体2四个侧壁的第一固定件51和第二固定件52，且均为绝缘件；第一加热件11固定于第一固定件51的安装面，第二加热件12固定于第二固定件52的安装面；固定件5沿加热箱体2高度方向(深度方向)的长度小于直线段加热件101 的长度，即第一固定件51和第二固定件52的沿着加热箱体2深度方向的长度分别小于加热件中直线段加热件101的长度。如此设置，可以减小热量的损失，提高加热件的加热效率。

在一些实施方式中，蒸发源的加热装置包括加热箱体2、温控机构、加热器和固定件5，而且还包括多个连接件6；多个连接件6可沿加热箱体2侧壁等间距的分布，用于固定坩埚。

具体地，加热件1包括上下间隔布置的第一加热件11和第二加热件 12，固定件5包括用于固定第一加热件11的第一固定件51和用于固定第二加热件12的第二固定件52，连接件6设置于第一固定件51和第二固定件52之间，即每个连接件6的顶端与第一固定件51连接，每个连接件6 的底端与第二固定件52连接；当坩埚放入至加热箱体2内部时，连接件6可以与坩埚贴合，用于固定坩埚，同时使得第一加热件11和第二加热件 12均与坩埚具有一定的间隙，提高加热效果和加热效率。

如图6所示，在一些实施方式中，温控机构包括温度传感器7和控制器，温度传感器7可设置在容纳腔室206内部，温度传感器7与控制器电连接，控制器与加热件1电连接，控制器可以分别与第一加热件11和第二加热件12电连接。这样，通过温度传感器7可以对坩埚进行温度值的实时监测，控制器与温度传感器7信号连接，通过控制器对温度传感器7 的温度值采集，从而获取整个坩埚的实时温度，实现对坩埚的全局温度监控。

本领域技术人员理解，控制器分别与温度传感器7和加热器(加热件) 电连接，进一步，温度传感器7的输出端可以与控制器的输入端连接，控制器的输出端可以与加热器连接；控制器可用于接收或采集温度传感器7 的信号(温度数据)，并控制加热器动作，即可控制加热器的开启、关闭或加热温度的调节。例如当控制器接收到温度传感器7传输的温度数据不在预设温度范围内时，控制器可控制加热器调节加热热量，以使所产生的热量处于预定的温度范围内。需要说明的是，控制器与温度传感器7、加热件1的具体连接或控制方式或控制器的具体类型是本领域技术人员可知的，本申请实施例对此不再赘述也不作限定。

温度传感器7的具体类型可以是多种多样的，例如温度传感器7可以为接触式温度传感器，也可以为非接触式温度传感器。

在一些实施方式中，温度传感器7为接触式温度传感器。这样，有助于提高温度监测的准确度，成本较低。

在一些实施方式中，可以设置多个温度传感器7，且多个温度传感器 7分别设置在预定位置，进行温度的检测。从而可以用于实时监控坩埚的实时温度，易于实现对坩埚的温度准确、实时的监控，更有助于提高产品质量。

在一些实施方式中，温度传感器7的数量为至少四组，每组温度传感器至少包括一个温度传感器。示例性的，温度传感器7设置为四组，分别包括第一组温度传感器701、第二组温度传感器702、第三组温度传感器 703和第四组温度传感器704，这四组温度传感器可分别设置在加热箱体2 的四个侧壁上。

在其他实施方式中，温度传感器7的数量还可根据蒸镀坩埚的实际需求进行设置。

上述四组温度传感器7可以均设置在四个侧壁的内侧，即靠近坩埚的一侧。

在一些实施方式中，第一组温度传感器701可以设置在第一侧壁201 的中部，且靠近底壁205位置处，第二组温度传感器702可以设置在第二侧壁202的中部，且远离底壁205位置处；

第三组温度传感器703可以设置在第三侧壁203的内侧，例如可以设置在第三侧壁203内侧上部，第四组温度传感器704可以设置在第四侧壁 204的内侧，例如可以设置在第四侧壁204内侧上部。

可以理解，上述四组温度传感器7中，其中两组分别位于加热箱体2 的相对短边侧面，用于检测线性坩埚的短边两处的温度；另外两组分别位于加热箱体2的相对长边侧面，且均位于长边侧面的中间位置处，一个靠近底壁205，另一个远离底壁205；温度传感器7可以为接触式，通过至少四个温度传感器7的在预定位置检测，实现对坩埚的温度准确实时的监控。

这样，将上述四组温度传感器7分别设置于加热箱体2的四个侧壁的预设位置，可以实现对坩埚的上、下、左、右全方位的温度监测，然后再将监测的数据传输至控制器，控制器可以对加热器(加热件)进行控制，以实现对蒸发源的坩埚加热温度的精确控制，提高了蒸发源的蒸镀质量。

应用本实施例的技术方案，将加热件设计成“曲折”状态，使得加热件的加热更加均匀，加热效率更高；此外，通过温控机构对加热温度的精确控制，可以最终提高蒸镀源的蒸镀质量。

示例性的，本申请实施例提供的蒸发源的加热装置和包含该蒸发源的加热装置的蒸镀设备可用于制备OLED器件或其他半导体膜层或器件的过程中，本申请实施例对此不作限定。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种蒸发源的加热装置，其特征在于，包括加热件，所述加热件用于对蒸发源加热；

所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置；

相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连；

其中，一个所述圆弧段加热件和与其相连的两个所述直线段加热件形成U型结构。

2.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，相邻两个所述直线段加热件的间距小于所述直线段加热件的长度；

相邻两个所述直线段加热件的间距大于所述直线段加热件的直径。

3.根据权利要求2所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，相邻两个所述直线段加热件的间距小于所述直线段加热件的长度的1/5；

相邻两个所述直线段加热件的间距大于所述直线段加热件的直径的2倍。

4.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，相邻两个所述直线段加热件的间距与所述圆弧段加热件的直径相等。

5.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述圆弧段加热件为半圆形。

6.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，多个所述直线段加热件的长度相等，且直径相等；

和/或，多个所述圆弧段加热件的直径相等。

7.根据权利要求1-6任一项所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述蒸发源的加热装置还包括加热箱体、温控机构和固定件；

所述固定件与所述加热箱体连接，所述加热件设置于所述固定件的安装面，所述固定件沿所述加热箱体高度方向的长度小于所述直线段加热件的长度；

所述温控机构设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。

8.根据权利要求7所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述蒸发源的加热装置还包括连接件；

所述加热件包括至少两个间隔布置的加热件，所述固定件包括至少两个间隔布置的固定件，所述连接件设置于任意两个所述固定件之间。

9.一种蒸镀设备，包括蒸发源，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的蒸发源的加热装置。

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