EP1215707B1 - Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target - Google Patents

Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target Download PDF

Info

Publication number
EP1215707B1
EP1215707B1 EP01000722A EP01000722A EP1215707B1 EP 1215707 B1 EP1215707 B1 EP 1215707B1 EP 01000722 A EP01000722 A EP 01000722A EP 01000722 A EP01000722 A EP 01000722A EP 1215707 B1 EP1215707 B1 EP 1215707B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
liquid metal
ray source
duct segment
duct
segment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP01000722A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1215707A2 (de
EP1215707A3 (de
Inventor
Geoffrey Harding
Bernd Ulmer
Bernd David
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Koninklijke Philips Electronics NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7667538&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=EP1215707(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Philips Intellectual Property and Standards GmbH, Koninklijke Philips Electronics NV filed Critical Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Publication of EP1215707A2 publication Critical patent/EP1215707A2/de
Publication of EP1215707A3 publication Critical patent/EP1215707A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1215707B1 publication Critical patent/EP1215707B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/16Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • H01J35/18Windows
    • H01J35/186Windows used as targets or X-ray converters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/08Targets (anodes) and X-ray converters
    • H01J2235/081Target material
    • H01J2235/082Fluids, e.g. liquids, gases
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/12Cooling
    • H01J2235/1204Cooling of the anode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/12Cooling
    • H01J2235/1225Cooling characterised by method
    • H01J2235/1262Circulating fluids

Definitions

  • the invention relates to an X-ray source with liquid metal target and an electron source for emitting an electron beam into a window of a conduit part, through the in operation, the liquid metal target flows, and an X-ray machine with a such X-ray source.
  • An X-ray source of this type is known from DE 198 21939.3.
  • This type of cooling significantly improves the continuous loadability of the X-ray source.
  • a further increase in resilience is opposed by the fact that the Window and the surrounding areas of the window of the X-ray source, d. H. of the Window frames, relatively high thermal stresses are exposed. The reasons for this lie in the heat generation in particular due to the direct incidence of electrons with high energy and due to the flow of hot liquid metal under the window. Furthermore, the scattered electrons carry only a small energy loss have, for generating heat.
  • An object on which the invention is based is an X-ray source to provide liquid metal target and an electron source of the type mentioned, whose continuous load capacity can be further increased.
  • an X-ray source of the type mentioned which is according to claim 1 characterized in that the conduit part by a first line section, which has the window and through which the liquid metal target flows, as well a second conduit section is formed through which a coolant flows and so on attached to the first line section is that the area of the action of the electron beam is cooled to the first line section.
  • a particular advantage of this solution is that due to the increased heat dissipation the load capacity of the X-ray source, especially in such applications on can be increased, in which in a short time a high X-ray dose must be generated, such as in CT devices with a high sampling rate
  • FIG. 1 schematically shows an X-ray emitter in which the electron-irradiated Target is formed by a liquid in the operating state of the X-ray source metal.
  • an electron source in the form of a cathode 3, which emits an electron beam 4 in the operating state.
  • This Electron beam 4 is directed to a conduit part 51 of a Rohdeitungssystems 50 and passes through a window 22, 34 which is substantially transparent to the electrons flowing liquid metal target to the piping 50, so that X-rays be stimulated.
  • a pump 52 the liquid metal in a circuit the Rohdeitungssystem 50 pumped, which also leads through a heat exchanger 53, so that the generated heat is removed from the liquid metal via a cooling circuit can.
  • the conduit part 51 of the Rohdeitungssystems 50 is shown in Figures 2 and 3 in detail in Top view shown.
  • the line part 51 is composed according to Figure 2 of four elements 10,20,30,40, which are shown in the order (a) to (d) and in this order one above the other are arranged, that is, on the first element 10 according to Figure 2 (a), the second Element 20 according to Figure 2 (b), thereon, the third element 30 according to Figure 2 (c) and thereon finally, the fourth element 40 according to FIG. 2 (d) is set.
  • the elements are in the in Figure 2 alignment shown assembled.
  • the electron beam enters the plane the drawing vertical direction from above initially in the fourth element 40 and then passes through the third and second elements 30, 20 finally into the first element 10th
  • the electron beam has a line-shaped focal point ("Stroke focus"), which in the illustrations according to FIG. 2 is from left to right extends.
  • stitch focus has, for example, dimensions of 1 mm x 7 mm and is often used in X-ray sources to provide the power at constant power density to increase the irradiated area.
  • the first element 10 according to FIG. 2 (a) is made of a solid metal body, for example made of steel or molybdenum, for example, about 100 mm long, 25 mm wide and 10 mm deep.
  • a first channel 11 is introduced, through which in Operating state of the assembled line part, the liquid metal target in which the X-rays are generated, according to the indication by the arrow P1 flows.
  • the depth This first channel 11 is not constant, but decreases in a central region 12.
  • the channel At the location of the central region 12 where the electron beam enters, the channel has its lowest depth, which is there for example about 200 microns.
  • the second element 20 shown in Figure 2 (b) is about 1 mm thick and otherwise in the essentially the same external dimensions as the first element 10.
  • a central Area 21 is a substantially circular insert 22 into which a first, in essentially rectangular slot 23 is introduced for the electron beam. This slot extends with its longitudinal direction perpendicular to the flow direction of Liquid metal targets, resulting in optimum heat dissipation.
  • the first slot 23 is at its lower side in the illustration with a diamond layer closed with a thickness of about 1 micron, by gluing or otherwise the insert 22 is attached.
  • the first slot thus forms a diamond window 23 suitable for Electrons are permeable.
  • the second element 20 is fastened with screws or other fastening means (not shown) mounted on the first element 10 so that a first liquid-tight line section 10, 20 is formed, through which the liquid metal target can flow. Due to the reduced Depth of the channel 11 in the central region 12 and in particular on the diamond window the target is accelerated there, creating a turbulent flow. These turbulent flow ensures a particularly effective dissipation of thermal energy from the window, because of the resulting vortex the liquid is particularly good and fast is mixed. This is especially true in the temperature critical area of Diamond window and its attachment to the insert 22 advantageous.
  • the first line section 10, 20 is part of a primary liquid metal circuit by the heat exchanger 53 ( Figure 1) leads.
  • a second line section 30, 40 is provided which leads a coolant and according to the position shown in Figure 2 (c), (d) at an angle of about 90 degrees the first line section 10, 20 is mounted so that it is in the longitudinal direction of first slot 23 extends over this.
  • the second line section comprises a third element 30, which according to Figure 2 (c) from a metal body, for example made of steel or molybdenum, with a central region 33 is formed.
  • a metal body for example made of steel or molybdenum
  • a second, substantially rectangular Slit 34 a which is arranged and formed so that the first slot 23 in the second element 20 continues.
  • In the metal body are still two channels 31, 32nd milled, which extend in the longitudinal direction of the second slot 34 a and outside the central region 33 parallel to each other. Start in the central area 33 the channels 31, 32 at the level of one end of the second slot 34 a apart until it returns to beyond the height of the other end of the slot 34a Move back direction to their parallel sections outside the central area.
  • the channels 31, 32 thus close in the central region 33 in the substantially circular segment-like surface 35 in which the first slot 34a is located.
  • the fourth element 40 has substantially the same outer shape as the third element 30 and is mounted with fasteners (not shown) on this, so that the second liquid-tight line section 30, 40 results.
  • a central area 41 of the fourth element 40 is a substantially rectangular opening 34 b of the second slot 34a.
  • a circular segment-like recess 43 introduced in the outer surface of the central region 41 , the shape of which with the shape of the surface 35th corresponding to the channels 31, 32 in the central region 33 of the third element 30 enclose. This sinking is done by removing material by milling or on introduced another way.
  • the second line section 30, 40 has in the region of the recess 43, in which the dashed line of the electron beam, when assembled, has a thickness of about 3 mm. Outside this range, ie both in one direction upstream and downstream, as well as in a direction perpendicular to it, the strength can be greater, so that the Channels 31, 32 can be formed wider or deeper and thus flow losses due to the viscosity of the coolant (secondary fluid) can be reduced.
  • the only limitation in this regard is given by the requirement that the dimensions and the shape of the second line section does not affect the usable x-ray beam to hamper.
  • the second conduit section 30, 40 forms part of a secondary fluid circuit and serves to heat from the first line section, in particular its central Area in which the first slot 23 and thus the diamond window is to dissipate.
  • the second line section 30, 40 extends at an angle of 90 Degree to the first line section 10,20.
  • the preferred direction of the flow of primary liquid metal targets through the first line section 10,20 is indicated by the arrow P1 in Figure 2 (a) and the preferred direction of secondary fluid flow through the second line section 30, 40 is indicated by the arrows P2 in Figure 2 (c).
  • the Working temperature of the primary liquid metal target is reduced. This will on the other hand also the temperature of the connection between the diamond window and the insert 22 lowered, and finally the thermal effect of the secondary electrons coming out of the primary electron beam are scattered out and under the influence of the opposite hit the cathode of the positive potential of the anode near the focal point, reduced.
  • FIG. 3 shows these relationships for one of the first and the second line section composed line part 51, wherein the preferred flow direction of the primary liquid metal target in turn by the Arrow P1 and the secondary liquid is again indicated by the arrow P2.
  • the channels 31, 32 diverge within the central region 33 of the third element 30 in such a way that the X-ray beam 50 exiting according to FIG. 3 does not pass through the channels is disturbed or damped.
  • the primary and secondary fluid circuits may be as shown in FIG 4 with the same liquid metal together via line 50 ( Figure 1) with the pump 52 are fed, the line is preferably passed through the heat exchanger 53 becomes.
  • a first line splitter 501 (Y-piece) is provided for this purpose the line 50 is connected and from which a primary line 502 and a secondary line 503 goes out. These lines feed the line part 51 and sit down continue at its outputs until it is connected to a second line splitter 504 (Y-piece) to be reunited and continued as joint leadership.
  • the primary and the Secondary line 502,503 are guided so that they are at each a right angle to each other having inputs or outputs of the line part 51 and the first or second line divider 501, 504 can be connected.
  • the secondary fluid circuit may be separate and independent of guided to the primary circuit of the liquid metal target. This can be special then be useful if a cooling liquid to be used, for example, a having particularly low viscosity and / or high thermal conductivity.
  • the heat dissipation achieved with the conduit part 51 according to the invention from the window into which the electron beam enters to generate X-rays much more effective than in known arrangements of this type, so that in a corresponding X-ray source reduces the working temperature or the radiation intensity can be increased.

Description

Die Erfindung betrifft einen Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target und einer Elektronenquelle zur Emission eines Elektronenstrahls in ein Fenster eines Leitungsteils, durch das im Betriebszustand das Flüssigmetall-Target fließt, sowie ein Röntgengerät mit einem solchen Röntgenstrahler.
Ein Röntgenstrahler dieser Art ist aus der DE 198 21939.3 bekannt. Dabei wird das Fenster, durch das die von der Elektronenquelle emittierten Elektronen hindurchtreten und auf das Flüssigmetall-Target treffen, durch eine turbulente Strömung des Targets gekühlt. Durch diese Art der Kühlung wird die Dauerbelastbarkeit des Röntgenstrahlers erheblich verbessert. Einer weiteren Steigerung der Belastbarkeit steht jedoch die Tatsache entgegen, dass das Fenster sowie die das Fenster umgebenden Bereiche des Röntgenstrahlers, d. h. der Fensterrahmen, relativ hohen thermischen Spannungen ausgesetzt sind. Die Ursachen hierfür liegen in der Wärmeerzeugung insbesondere aufgrund des direkten Einfalls von Elektronen mit hoher Energie und aufgrund der Strömung des heißen Flüssigmetalls unter dem Fenster. Weiterhin tragen auch die gestreuten Elektronen, die einen nur geringen Energieverlust aufweisen, zur Wärmeerzeugung bei.
Dies ist deshalb besonders kritisch, weil die Verbindung zwischen dem Fenster und dem Fensterrahmen in Abhängigkeit von der verwendeten Bond-Technologie (z. B.Lötung, Klebung) einer nur begrenzten maximalen Temperatur standhalten kann.
Eine Aufgabe, die der Erfindung zugrunde liegt, besteht deshalb darin, einen Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target und einer Elektronenquelle der eingangs genannten Art zu schaffen, dessen Dauerbelastbarkeit weiter gesteigert werden kann.
Gelöst wird diese Aufgabe mit einem Röntgenstrahler der eingangs genannten Art, der sich gemäß Anspruch 1 dadurch auszeichnet, dass das Leitungsteil durch einen ersten Leitungsabschnitt, der das Fenster aufweist und durch den das Flüssigmetall-Target fließt, sowie einen zweiten Leitungsabschnitt gebildet ist, durch den ein Kühlmittel strömt und der so an dem ersten Leitungsabschnitt befestigt ist, dass der Bereich der Einwirkung des Elektronenstrahls auf den ersten Leitungsabschnitt gekühlt wird.
Ein besonderer Vorteil dieser Lösung besteht darin, dass durch die erhöhte Wärmeabführung die Belastbarkeit des Röntgenstrahlers insbesondere bei solchen Anwendungen weiter gesteigert werden kann, bei denen in einer kurzen Zeit eine hohe Röntgenstrahlen-Dosis erzeugt werden muss, wie zum Beispiel bei CT-Geräten mit hoher Abtastrate
Die Unteransprüche haben vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung zum Inhalt.
In den Ansprüchen 2 bis 5 werden jeweils Maßnahmen beschrieben, die auf verschiedene Arten die Wärmeabführung weiter verbessern. Mit den Ausführungsformen gemäß den Ansprüchen 6 und 7 wird in vorteilhafter Weise die Gestaltung des Leitungsteils so vorgenommen, dass einerseits ein sich mit einem bestimmten räumlichen Öffnungswinkel ausbreitender Röntgenstrahl nicht gestört wird, andererseits aber auch keine Beeinträchtigung der Kühlung in Kauf genommen werden muss.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform anhand der Zeichnung. Es zeigt:
Fig. 1
eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Röntgenstrahlers;
Fig. 2
Darstellungen von verschiedenen Elementen eines erfindungsgemäßen Leitungsteils;
Fig. 3
das erfindungsgemäße Leitungsteil in zusammengebautem Zustand; und
Fig. 4
eine Speisung des erfindungsgemäßen Leitungsteils.
Figur 1 zeigt schematisch einen Röntgenstrahler, bei dem das mit Elektronen bestrahlte Target durch ein im Betriebszustand des Röntgenstrahlers flüssiges Metall gebildet ist. Innerhalb eines Röhrenkolbens 1 befindet sich in einem Vakuumraum eine Elektronenquelle in Form einer Kathode 3, die im Betriebszustand einen Elektronenstrahl 4 emittiert. Dieser Elektronenstrahl 4 ist auf ein Leitungsteil 51 eines Rohdeitungssystems 50 gerichtet und trifft durch ein für die Elektronen im wesentlichen durchlässiges Fenster 22, 34 auf das in dem Rohrleitungssystem 50 strömende Flüssigmetall-Target, so dass Röntgenstrahlen angeregt werden. Mittels einer Pumpe 52 wird das flüssige Metall in einem Kreislauf durch das Rohdeitungssystem 50 gepumpt, das auch durch einen Wärmetauscher 53 führt, so dass die erzeugte Wärme aus dem flüssigen Metall über einen Kühlkreislauf abgeführt werden kann.
Das Leitungsteil 51 des Rohdeitungssystems 50 ist in den Figuren 2 und 3 im einzelnen in Draufsicht dargestellt.
Das Leitungsteil 51 setzt sich gemäß Figur 2 aus vier Elementen 10,20,30,40 zusammen, die in der Reihenfolge (a) bis (d) dargestellt sind und in dieser Reihenfolge übereinander angeordnet werden, das heißt auf das erste Element 10 gemäß Figur 2(a) wird das zweite Element 20 gemäß Figur 2(b), darauf das dritte Element 30 gemäß Figur 2(c) und darauf schließlich das vierte Element 40 gemäß Figur 2(d) gesetzt. Die Elemente werden in der in Figur 2 gezeigten Ausrichtung aufeinander montiert. Der Elektronenstrahl tritt in zur Ebene der Zeichnung senkrechter Richtung von oben zunächst in das vierte Element 40 ein und gelangt dann durch das dritte und zweite Element 30, 20 schließlich in das erste Element 10.
Weiterhin ist davon auszugehen, dass der Elektronenstrahl einen linienförmigen Brennpunkt ("Strichfocus") bildet, der sich in den Darstellungen gemäß Figur 2 von links nach rechts erstreckt. Ein solcher Stichfocus hat zum Beispiel Abmessungen von 1 mm x 7 mm und wird häufig bei Röntgenstrahlern verwendet, um bei konstanter Leistungsdichte die bestrahlte Fläche zu vergrößern.
Das erste Element 10 gemäß Figur 2(a) ist aus einem massiven Metallkörper zum Beispiel aus Stahl oder Molybdän gebildet, der zum Beispiel etwa 100 mm lang, 25 mm breit und 10 mm tief ist. In diesen Metallkörper ist ein erster Kanal 11 eingebracht, durch den im Betriebszustand des zusammengebauten Leitungsteils das Flüssigmetall-Target, in dem die Röntgenstrahlen erzeugt werden, gemäß der Andeutung durch den Pfeil P1 fließt. Die Tiefe dieses ersten Kanals 11 ist nicht konstant, sondern nimmt in einem zentralen Bereich 12 ab.
An der Stelle des zentralen Bereiches 12, an der der Elektronenstrahl eintritt, hat der Kanal seine geringste Tiefe, die dort zum Beispiel etwa 200 µm beträgt.
Das in Figur 2(b) gezeigte zweite Element 20 ist etwa 1 mm stark und hat ansonsten im wesentlichen die gleichen äußeren Abmessungen wie das erste Element 10. In einem zentralen Bereich 21 befindet sich ein im wesentlichen kreisförmiger Einsatz 22, in den ein erster, im wesentlichen rechteckiger Schlitz 23 für den Elektronenstrahl eingebracht ist. Dieser Schlitz erstreckt sich mit seiner Längsrichtung senkrecht zu der Strömungsrichtung des Flüssigmetall-Targets, so dass sich eine optimale Wärmeabführung ergibt.
Der erste Schlitz 23 ist an seiner in der Darstellung unteren Seite mit einer Diamantschicht mit einer Dicke von etwa 1 µm verschlossen, die durch Kleben oder auf andere Weise an dem Einsatz 22 befestigt wird. Der erste Schlitz bildet somit ein Diamantfenster 23, das für Elektronen durchlässig ist.
Das zweite Element 20 wird mit Schrauben oder anderen Befestigungsmitteln (nicht gezeigt) auf dem ersten Element 10 so befestigt, dass ein erster flüssigkeitsdichter Leitungsabschnitt 10, 20 entsteht, durch den das Flüssigmetall-Target fließen kann. Aufgrund derreduzierten Tiefe des Kanals 11 in dem zentralen Bereich 12 und insbesondere an dem Diamantfenster wird das Target dort beschleunigt, so dass eine turbulente Strömung entsteht. Diese turbulente Strömung sorgt für eine besonders wirksame Abführung von thermischer Energie von dem Fenster, da durch die entstehenden Wirbel die Flüssigkeit besonders gut und schnell durchmischt wird. Dies ist insbesondere in dem temperaturkritischen Bereich des Diamantfensters und seiner Befestigung an dem Einsatz 22 vorteilhaft.
Der erste Leitungsabschnitt 10, 20 ist Teil eines primären Flüssigmetall-Kreislaufs, der durch den Wärmetauscher 53 (Figur 1) führt.
Weiterhin ist ein zweiter Leitungsabschnitt 30, 40 vorgesehen, der ein Kühlmittel führt und gemäß der in Figur 2(c), (d) gezeigten Stellung mit einem Winkel von etwa 90 Grad auf dem ersten Leitungsabschnitt 10, 20 montiert wird, so dass er sich in Längsrichtung des ersten Schlitzes 23 über diesem erstreckt.
Der zweite Leitungsabschnitt umfasst ein drittes Element 30, das gemäß Figur 2(c) aus einem Metallkörper zum Beispiel aus Stahl oder Molybdän mit einem zentralen Bereich 33 gebildet ist. In dem zentralen Bereich 33 befindet sich ein zweiter, im wesentlichen rechteckiger Schlitz 34a, der so angeordnet und ausgebildet ist, dass er den ersten Schlitz 23 in dem zweiten Element 20 fortsetzt. In den Metallkörper sind weiterhin zwei Kanäle 31, 32 eingefräst, die sich in Längsrichtung des zweiten Schlitzes 34a erstrecken und außerhalb des zentralen Bereiches 33 parallel zueinander verlaufen. In dem zentralen Bereich 33 beginnen die Kanäle 31, 32 auf der Höhe des einen Endes des zweiten Schlitzes 34a auseinander zulaufen, bis sie sich jenseits der Höhe des anderen Endes des Schlitzes 34a wieder in Richtung auf ihre parallelen Abschnitte außerhalb des zentralen Bereiches zurückerstrecken. Die Kanäle 31, 32 schließen auf diese Weise in dem zentralen Bereich 33 eine im wesentlichen kreissegmentähnliche Fläche 35 ein, in der sich der erste Schlitz 34a befindet.
Das vierte Element 40 hat im wesentlichen die gleiche äußere Form wie das dritte Element 30 und wird mit Befestigungsmitteln (nicht dargestellt) auf diesem montiert, so dass sich der zweite flüssigkeitsdichte Leitungsabschnitt 30, 40 ergibt. In einem zentralen Bereich 41 des vierten Elementes 40 befindet sich eine im wesentlichen rechteckige Öffnung 34b des zweiten Schlitzes 34a. Außerdem ist in die äußere Fläche des zentralen Bereiches 41 eine kreissegmentähnliche Einsenkung 43 eingebracht, deren Form mit der Form der Fläche 35 korrespondiert, die die Kanäle 31, 32 in dem zentralen Bereich 33 des dritten Elementes 30 umschließen. Diese Einsenkung wird durch Abtragen von Material durch Fräsen oder auf andere Weise eingebracht.
Der zweite Leitungsabschnitt 30, 40 hat im Bereich der Einsenkung 43, in dem der Strichfokus des Elektronenstrahls liegt, in zusammengebautem Zustand eine Stärke von etwa 3 mm. Außerhalb dieses Bereiches, dh sowohl in einer Richtung stromaufwärts und stromabwärts, als auch in einer Richtung senkrecht dazu, kann die Stärke größer sein, so dass die Kanäle 31, 32 breiter bzw. tiefer ausgebildet werden können und damit Strömungsverluste aufgrund der Viskosität des Kühlmittels (sekundäre Flüssigkeit) vermindert werden. Die einzige Beschränkung in dieser Hinsicht ist durch die Forderung gegeben, dass die Abmessungen und die Form des zweiten Leitungsabschnitts den nutzbaren Röntgenstrahl nicht behindern sollen.
Der zweite Leitungsabschnitt 30, 40 bildet einen Teil eines sekundären Flüssigkeitskreislaufs und dient dazu, Wärme von dem ersten Leitungsabschnitt, insbesondere dessen zentralem Bereich, in dem sich der erste Schlitz 23 und damit das Diamantfenster befindet, abzuführen. Zu diesem Zweck verläuft der zweite Leitungsabschnitt 30, 40 mit einem Winkel von 90 Grad zu dem ersten Leitungsabschnitt 10,20. Die bevorzugte Richtung der Strömung des primären Flüssigmetall-Targets durch den ersten Leitungsabschnitt 10,20 ist durch den Pfeil P1 in Figur 2(a) und die bevorzugte Richtung der Strömung der sekundären Flüssigkeit durch den zweiten Leitungsabschnitt 30, 40 ist durch die Pfeile P2 in Figur 2(c) angedeutet.
Mit dieser Anordnung werden drei vorteilhafte Wirkungen erzielt. Einerseits wird die Arbeitstemperatur des primären Flüssigmetall-Targets vermindert. Dadurch wird andererseits auch die Temperatur der Verbindung zwischen dem Diamantfenster und dem Einsatz 22 abgesenkt, und schließlich wird die Wärmewirkung der sekundären Elektronen, die aus dem primären Elektronenstrahl herausgestreut werden und die unter dem Einfluss des gegenüber der Kathode positiven Potentials der Anode in der Nähe des Brennpunktes aufschlagen, vermindert.
Diese Wirkungen werden dadurch unterstützt, dass die beiden Kanäle 31, 32 des zweiten Leitungsabschnitts 30, 40 parallel zu der Richtung des Strichfocus des Elektronenstrahls und zu beiden Seiten der Schlitze verlaufen. Dadurch wird die Strömung in dem sekundären Flüssigkeitskreislauf sehr nahe an die Stelle des Elektroneneinschlags geführt.
Durch das Divergieren der Kanäle 31, 32 innerhalb des zentralen Bereiches 33 des zweiten Leitungsabschnitts sowie die kreissegmentähnliche Einsenkung 43 des zentralen Bereiches 41 des vierten Elementes 40 wird der Tatsache Rechnung getragen, dass ein Röntgenstrahl mit einem bestimmten räumlichen Öffnungswinkel aus der Öffnung 34b des zweiten Schlitzes 34a austreten muss. Bei allgemein gebräuchlichen diagnostischen Röntgenröhren beträgt der Winkel zwischen der Ebene der Anode und dem Röntgenstrahl, der am nächsten an der Anodenebene liegt, etwa 12 Grad. Figur 3 zeigt diese Zusammenhänge für ein aus dem ersten und dem zweiten Leitungsabschnitt zusammengesetztes Leitungsteil 51, wobei die bevorzugte Strömungsrichtung des primären Flüssigmetall-Targets wiederum durch den Pfeil P1 und der sekundären Flüssigkeit wiederum durch den Pfeil P2 angedeutet ist.
Die Kanäle 31, 32 divergieren innerhalb des zentralen Bereiches 33 des dritten Elementes 30 in der Weise, dass der gemäß Figur 3 austretende Röntgenstrahl 50 durch die Kanäle nicht gestört bzw. gedämpft wird. Entsprechendes gilt für die Bemessung der Einsenkung 43 in dem vierten Element, so dass sich mit diesen beiden Maßnahmen der erzeugte Röntgenstrahl im wesentlichen ungestört kegelförmig ausbreiten kann.
Der primäre und der sekundäre Flüssigkeitskreislauf können gemäß der Darstellung in Figur 4 mit dem gleichen Flüssigmetall gemeinsam über die Leitung 50 (Figur 1) mit der Pumpe 52 gespeist werden, wobei die Leitung vorzugsweise durch den Wärmetauscher 53 geführt wird.
Im einzelnen ist zu diesem Zweck ein erster Leitungsverzweiger 501 (Y-Stück) vorgesehen, an den die Leitung 50 angeschlossen ist und von dem eine primäre Leitung 502 und eine sekundäre Leitung 503 ausgeht. Diese Leitungen speisen das Leitungsteil 51 und setzen sich an dessen Ausgängen weiter fort, bis sie mit einem zweiten Leitungsverzweiger 504 (Y-Stück) wieder vereint und als gemeinsame Leitung 50 fortgesetzt werden. Die primäre und die sekundäre Leitung 502,503 sind so geführt, dass sie an die jeweils einen rechten Winkel zueinander aufweisenden Eingänge bzw. Ausgänge des Leitungsteils 51 sowie den ersten bzw. zweiten Leitungsteiler 501, 504 angeschlossen werden können.
Alternativ dazu kann der sekundäre Flüssigkeitskreislauf auch getrennt und unabhängig von dem primären Kreislauf des Flüssigmetall-Targets geführt wenden. Dies kann insbesondere dann sinnvoll sein, wenn eine Kühlflüssigkeit verwendet werden soll, die zum Beispiel eine besonders niedrige Viskosität und /oder eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist.
In jedem Fall ist die mit dem erfindungsgemäßen Leitungsteil 51 erzielte Wärmeabführung von dem Fenster, in das der Elektronenstrahl zur Erzeugung von Röntgenstrahlen eintritt, wesentlich wirksamer als bei bekannten Anordnungen dieser Art, so dass bei einem entsprechenden Röntgenstrahler die Arbeitstemperatur vermindert oder die Strahlungsintensität erhöht werden kann.

Claims (9)

  1. Röntgensnahler mit Flüssigmetall-Target und einer Elektronenquelle zur Emission eines Elektronenstrahls in ein Fenster eines Leitungsteils, durch das im Betriebszustand das Flüssigmetall-Target fließt,
    dadurch gekennzeichnet, dass das Leitungsteil (51) durch einen ersten Leitungsabschnitt (10, 20), der das Fenster (23) aufweist und durch den das Flüssigmetall-Target fließt, sowie einen zweiten Leitungsabschnitt (30, 40) gebildet ist, durch den ein Kühlmittel strömt und der so an dem ersten Leitungsabschnitt befestigt ist, dass der Bereich der Einwirkung des Elektronenstrahls auf den ersten Leitungsabschnitt gekühlt wird.
  2. Röntgenstrahler nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Leitungsabschnitt (10, 20; 30, 40) in einer zur Einfallsrichtung des Elektronenstrahls im wesentlichen senkrechten Ebene liegen und einen Winkel von etwa 90 Grad zueinander aufweisen.
  3. Röntgenstrahler nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass das Fenster in dem ersten Leitungsabschnitt (10, 20) durch einen ersten, im wesentlichen rechteckigen Schlitz (23) mit einer Diamantschicht gebildet ist, wobei der Schlitz mit seiner Längsrichtung im wesentlichen senkrecht zur Strömungsrichtung des Flüssigmetall-Targets verläuft.
  4. Röntgenstrahler nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass der erste Leitungsabschnitt (10, 20) einen Kanal (11) aufweist, in dem das Flüssigmetall-Target fließt und der im Bereich des ersten Schlitzes (23) mit einer Querschnittsverengung vasehen ist.
  5. Röntgenstrahler nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Leitungsabschnitt (30, 40) zwischen der Elektronenquelle (3) und dem ersten Leitungsabschnitt (10, 20) angeordnet ist und einen zweiten, im wesentlichen rechteckigen Schlitz (34a, 34b) aufweist, durch den der Elektronenstrahl in den ersten Schlitz (23) des ersten Leitungsabschnitts fällt.
  6. Röntgenstrahler nach Anspruch 5,
    dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Leitungsabschnitt (30, 40) zwei Kanäle (31, 32) für das Kühlmittel aufweist, die im wesentlichen parallel verlaufen, im Bereich des zweiten Schlitzes (34a) jedoch so divergieren, dass sie eine im wesentlichen kreissegmentähnliche Fläche (35) einschließen, in der der zweite Schlitz liegt.
  7. Röntgenstrahler nach Anspruch 5,
    dadurch gekennzeichnet, dass eine Öffnung (34b) des zweiten Schlitz (34a) in einer in den zweiten Leitungsabschnitt (30, 40) eingebrachten, im wesentlichen kreissegmentähnlichen Einsenkung (43) der äußeren Fläche liegt.
  8. Röntgenstrahler nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Leitungsabschnitt (10, 20; 30, 40) an einen gemeinsamen Kreislauf für das Flüssigmetall-Target angeschlossen sind, wobei das Flüssigmetall in dem zweiten Leitungsabschnitt als Kühlmittel dient.
  9. Röntgengerät mit einem Röntgenstrahler nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
EP01000722A 2000-12-16 2001-12-06 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target Expired - Lifetime EP1215707B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10062928 2000-12-16
DE10062928A DE10062928A1 (de) 2000-12-16 2000-12-16 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP1215707A2 EP1215707A2 (de) 2002-06-19
EP1215707A3 EP1215707A3 (de) 2004-02-11
EP1215707B1 true EP1215707B1 (de) 2005-10-12

Family

ID=7667538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP01000722A Expired - Lifetime EP1215707B1 (de) 2000-12-16 2001-12-06 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6477234B2 (de)
EP (1) EP1215707B1 (de)
JP (1) JP3754361B2 (de)
DE (2) DE10062928A1 (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10130070A1 (de) * 2001-06-21 2003-01-02 Philips Corp Intellectual Pty Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
DE10147473C2 (de) * 2001-09-25 2003-09-25 Siemens Ag Drehanodenröntgenröhre
EP1485935A1 (de) * 2002-03-08 2004-12-15 Koninklijke Philips Electronics N.V. Gerät zur erzeugung von röntgenstrahlung mit flüssigmetallanode
DE102004013620B4 (de) * 2004-03-19 2008-12-04 GE Homeland Protection, Inc., Newark Elektronenfenster für eine Flüssigmetallanode, Flüssigmetallanode, Röntgenstrahler und Verfahren zum Betrieb eines solchen Röntgenstrahlers
DE102004015590B4 (de) * 2004-03-30 2008-10-09 GE Homeland Protection, Inc., Newark Anodenmodul für eine Flüssigmetallanoden-Röntgenquelle sowie Röntgenstrahler mit einem Anodenmodul
WO2005101450A1 (en) * 2004-04-13 2005-10-27 Koninklijke Philips Electronics N.V. A device for generating x-rays having a liquid metal anode
DE102004031973B4 (de) * 2004-07-01 2006-06-01 Yxlon International Security Gmbh Abschirmung einer Röntgenquelle
SE530094C2 (sv) * 2006-05-11 2008-02-26 Jettec Ab Metod för alstring av röntgenstrålning genom elektronbestrålning av en flytande substans
DE102008026938A1 (de) * 2008-06-05 2009-12-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Strahlungsquelle und Verfahren zum Erzeugen von Röntgenstrahlung
HUP1000635A2 (en) * 2010-11-26 2012-05-29 Ge Hungary Kft Liquid anode x-ray source
US20140161233A1 (en) * 2012-12-06 2014-06-12 Bruker Axs Gmbh X-ray apparatus with deflectable electron beam
EP3385976A1 (de) * 2017-04-05 2018-10-10 Excillum AB Dampfüberwachung

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3246146A (en) * 1963-07-11 1966-04-12 Ass Elect Ind Apparatus for the X-ray analysis of a liquid suspension of specimen material
US4953191A (en) * 1989-07-24 1990-08-28 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High intensity x-ray source using liquid gallium target
US5052034A (en) * 1989-10-30 1991-09-24 Siemens Aktiengesellschaft X-ray generator
DE19821939A1 (de) * 1998-05-15 1999-11-18 Philips Patentverwaltung Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target

Also Published As

Publication number Publication date
EP1215707A2 (de) 2002-06-19
DE50107672D1 (de) 2005-11-17
JP3754361B2 (ja) 2006-03-08
US6477234B2 (en) 2002-11-05
JP2002289125A (ja) 2002-10-04
US20020080919A1 (en) 2002-06-27
DE10062928A1 (de) 2002-06-20
EP1215707A3 (de) 2004-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112010002512B4 (de) Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung und Untersuchungsvorrichtung, die diese verwendet
EP1215707B1 (de) Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
DE202013105829U1 (de) Stehwellen-Elektronenlinearbeschleuniger mit kontinuierlich regelbarer Energie
DE19639243C2 (de) Multi-, insbesondere dichromatische Röntgenquelle
DE602005002257T2 (de) Vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlen mit einer flüssigmetallanode
EP1236220B1 (de) Detektor für ein rasterelektronenmikroskop mit variablem druck und rasterelektronenmikroskop mit einem solchen detektor
DE2814929A1 (de) Bestrahlungsvorrichtung
EP0378274B1 (de) Drehanoden-Röntgenröhre mit wenigstens zwei Spiralrillenlagern
DE102007046278A1 (de) Röntgenröhre mit Transmissionsanode
DE19544203A1 (de) Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre
WO2005091327A2 (de) Elektronenfenster für eine flüssigmetallanode, flüssigmetallanode, röntgenstrahler und verfahren zum betrieb eines solchen röntgenstrahlers
DE102006060135A1 (de) Struktur zum Einfangen von gestreuten Elektronen
DE102017002210A1 (de) Kühlvorrichtung für Röntgengeneratoren
EP1158562B1 (de) Röntgenröhre mit Flachkathode
EP3105650A1 (de) Kühlanordnung für ein computersystem
DE102004015590B4 (de) Anodenmodul für eine Flüssigmetallanoden-Röntgenquelle sowie Röntgenstrahler mit einem Anodenmodul
DE3514700A1 (de) Roentgenroehre
DE102005045203B4 (de) Modulare Bestrahlungsvorrichtung
DE102010039214B4 (de) Flüssigkeitskühlung einer Röntgenröhre
DE102012103974A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden Brennflecks
WO2008006552A1 (de) Flüssigkeitsgekühltes target zur erzeugung von elektromagnetischer strahlung
DE102010020151A1 (de) Thermionischer Flachemitter und zugehöriges Verfahren zum Betrieb einer Röntgenröhre
DE19518623C2 (de) Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen
DE69821746T2 (de) Röntgenröhre mit einem an die Brennpunktform angepassten Kühlprofil
DE1200962B (de) Drehanodenroentgenroehre

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.

Owner name: PHILIPS CORPORATE INTELLECTUAL PROPERTY GMBH

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH

Owner name: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK RO SI

17P Request for examination filed

Effective date: 20040811

AKX Designation fees paid

Designated state(s): DE FR GB

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: HARDING, GEOFFREY

Inventor name: ULMER, BERND

Inventor name: DAVID, BERND

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FR GB

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REF Corresponds to:

Ref document number: 50107672

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20051117

Kind code of ref document: P

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 20051207

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20060713

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061020

EN Fr: translation not filed
PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051231

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051012

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20091230

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20100225

Year of fee payment: 9

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20101206

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 50107672

Country of ref document: DE

Effective date: 20110701

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20101206

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20110701