DE602005002257T2 - Vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlen mit einer flüssigmetallanode - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlen mit einer flüssigmetallanode Download PDF

Info

Publication number
DE602005002257T2
DE602005002257T2 DE602005002257T DE602005002257T DE602005002257T2 DE 602005002257 T2 DE602005002257 T2 DE 602005002257T2 DE 602005002257 T DE602005002257 T DE 602005002257T DE 602005002257 T DE602005002257 T DE 602005002257T DE 602005002257 T2 DE602005002257 T2 DE 602005002257T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
liquid metal
constriction
pressure
window
radiation window
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE602005002257T
Other languages
English (en)
Other versions
DE602005002257D1 (de
Inventor
Hans Barschorf
Bernd R. David
Axel Thran
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Original Assignee
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Intellectual Property and Standards GmbH filed Critical Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Publication of DE602005002257D1 publication Critical patent/DE602005002257D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE602005002257T2 publication Critical patent/DE602005002257T2/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/08Targets (anodes) and X-ray converters
    • H01J2235/081Target material
    • H01J2235/082Fluids, e.g. liquids, gases

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen mit einer Elektronenquelle zum Emittieren von Elektronen in einem Vakuumraum, einem Flüssigmetallkreislauf mit einem Flüssigmetall zum Emittieren von Röntgenstrahlen infolge des Auftreffens von Elektronen und mit einem Pumpenmittel zum Veranlassen einer Flüssigmetallströmung durch eine Verengung, wo die von der Elektronenquelle emittierten Elektronen auf das Flüssigmetall aufprallen, und mit einem Strahlungsfenster, das die genannte Verengung begrenzt, transparent für Elektronen und Röntgenstrahlen ist und die Verengung vom Vakuumraum trennt.
  • Eine Vorrichtung zum Erzeugen von Röntgenstrahlen der im einleitenden Absatz genannten Art ist aus dem Dokument WO 03/077277 A1 bekannt. In dieser Vorrichtung ist die Verengung durch ein dünnes Strahlungsfenster aus einem für Elektronen und Röntgenstrahlen transparenten Material, das das Flüssigmetall in der Verengung vom Vakuumraum trennt, und durch eine dem Strahlungsfenster gegenüberliegende Wand begrenzt. Das Profil der Wand ist dem Profil angeglichen, welches das Strahlungsfenster während des Betriebs infolge einer Verformung des Strahlungsfensters aufgrund des Drucks des Flüssigmetalls in der Verengung aufweist. Auf diese Weise wird erreicht, dass die Verengung eine vorgegebene beabsichtigte Querschnittfläche hat, und eine Abnahme der Strömungsgeschwindigkeit sowie ein begleitendes übermäßiges Ansteigen des Drucks am Ort der Fensterverformung werden verhindert.
  • In dem Dokument WO 03/077277 A1 werden weiterhin Verfahren zum Verringern der Verformung des Strahlungsfensters beschrieben, das relativ dünn ist, um eine ausreichende Transparenz für Elektronen und Röntgenstrahlen zu erreichen, indem entweder der Druck des Flüssigmetalls auf das Strahlungsfenster verringert wird oder indem das Fenster für eine bessere Stabilität mit einer Riffelung versehen wird. Die Verfahren zum Verringern des Drucks beruhen auf entweder einem festen oder einem flexiblen Profil, das der dem Strahlungsfenster gegenüberliegenden Wand der Verengung verliehen wird. Das genannte flexible Profil kann während des Betriebs mit Hilfe von mindestens einem Stellglied verändert werden.
  • Ein Nachteil der bekannten Vorrichtung mit dem genannten flexiblen Profil besteht darin, dass mindestens ein Drucksensor und ein Steuerelement benötigt werden, um das Stellglied in Abhängigkeit von einem Drucks mit Hilfe des Sensors zu steuern.
  • Ähnliche Vorrichtungen werden in den Dokumenten WO-03/001556-A1 und WO-03/077276-A1 beschrieben.
  • Die Erfindung hat zur Aufgabe, eine Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen der in dem einleitenden Absatz genannten Art zu schaffen, bei der eine Querschnittfläche der Verengung aufgrund eines Selbstregelungsprozesses im Wesentlichen einer beabsichtigten, gewünschten Querschnittflache entspricht, ohne dass externe oder zusätzliche Komponenten oder Elektronik benötigt werden.
  • Um die genannte Aufgabe zu lösen, ist eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Verengung durch ein dem genannten Strahlungsfenster gegenüberliegendes Kompensationsfenster begrenzt wird, das die Verengung von einer Druckkammer trennt, die Flüssigmetall enthält, welches durch den genannten Flüssigmetallkreislauf über eine Verbindung zugeführt wird, und das im Betrieb ein Profil infolge einer durch einen Druck in der Druckkammer verursachten Verformung hat, das im Wesentlichen dem Profil angeglichen ist, welches das Strahlungsfenster im Betrieb als Folge einer Verformung des Strahlungsfensters durch einen Druck des Flüssigmetalls in der Verengung hat.
  • Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass, da eine Verformung des Strahlungsfensters nicht vermieden werden kann, weil das Strahlungsfenster wegen der ausreichenden Transparenz für Elektronen und Röntgenstrahlen dünn sein muss und weil ein Vakuum auf einer Seite des Strahlungsfensters vorhanden ist, die Begrenzung der Verengung gegenüber dem Strahlungsfenster ein angepasstes Profil haben muss. Da erfindungsgemäß die genannte Begrenzung durch ein Kompensationsfenster mit einem Profil gebildet wird, das während des Betriebs im Wesentlichen dem Profil des Strahlungsfensters angeglichen ist und durch einen Druck des Flüssigmetalls in der Druckkammer verursacht wird, der sich von dem Druck in der Verengung unterscheidet, wird ohne die Notwendigkeit externer oder zusätzlicher Komponenten oder Elektronik erreicht, dass eine Querschnittfläche der Verengung in dem verformten Zustand der genannten Fenster, d.h. während des Betriebs, im Wesentlichen einer beabsichtigten, gewünschten Querschnittfläche entspricht, die die Verengung haben würde, wenn die Fenster keiner Verformung unterlägen.
  • Es ist zu beachten, dass der Ausdruck „angeglichen" in Anspruch 1 nicht begrenzt ist auf „ist identisch mit" oder „entspricht". Dementsprechend deckt die Erfindung nicht nur Ausführungsformen ab, bei denen die Verengung während des Betriebs eine konstante Querschnittfläche hat, gesehen in einer Strömungsrichtung des Flüssigmetalls, sondern auch Ausführungsformen, bei denen die Verengung während des Betriebs eine Querschnittfläche hat, die sich auf eine vorgegebene beabsichtigte Weise in der Strömungsrichtung verändert. Der Ausdruck „angeglichen" soll daher allgemein angeben, dass das Profil des dem Strahlungsfenster gegenüberliegenden Kompensationsfensters durch das Profil des verformten Strahlungsfensters bestimmt wird, sich diesem annähert oder entspricht, und zwar auf eine solche Weise, dass die Querschnittfläche der Verengung im verformten Zustand der genannten Fenster, d.h. während des Betriebs, im Wesentlichen einer beabsichtigten Querschnittfläche entspricht und sich dementsprechend auch – gesehen in Strömungsrichtung – auf eine Weise verändern könnte, die einer beabsichtigten Querschnittfläche entspricht, die die Verengung haben würde, wenn die Fenster keiner Verformung unterlägen.
  • Eine besondere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Druckkammer mit einem Hochdruckbereich des genannten Flüssigmetallkreislaufs stromaufwärts von der Verengung verbunden ist. Bei dieser Ausführungsform steht der Druck in der Druckkammer, der auf das Kompensationsfenster ausgeübt wird, in Zusammenhang mit dem Druck, der durch das Pumpenmittel bereitgestellt wird, und wird nicht durch einen Druckverlust stromabwärts von der Verengung beeinträchtigt, der durch Verluste durch viskose Strömung verursacht wird. Wenn der Unterschied zwischen dem Druck in der Verengung und dem Druck in der Druckkammer erheblich größer ist als der Druck in der Verengung, haben Druckänderungen in der Verengung praktisch keinen Einfluss auf die Verformung des Kompensationsfensters.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist die erfindungsgemäße Vorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Druckkammer im Wesentlichen über die gesamte Fläche des Kompensationsfensters reicht. Bei dieser Ausführungsform ist im Wesentlichen die gesamte Fläche des Kompensationsfensters dem Druck in der Druckkammer ausgesetzt, wenn die Fläche des Strahlungsfensters dem Druck in der Verengung unterliegt.
  • Eine vorteilhafte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass das genannte Kompensationsfenster im Wesentlichen die gleiche Größe hat wie das Strahlungsfenster. Bei dieser Ausführungsform werden die jeweiligen Verformungen der Fenster ähnlich sein, wenn vergleichbare Drücke ausgeübt werden.
  • Eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass das genannte Kompensationsfenster im Wesentlichen aus dem gleichen Material besteht wie das Strahlungsfenster. Bei dieser Ausführungsform werden die jeweiligen Verformungen der Fenster ähnlich sein, wenn vergleichbare Drücke ausgeübt werden. Vorzugsweise bestehen die Fenster aus Wolfram, Molybdän oder Diamant.
  • Noch eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass das genannte Kompensationsfenster dicker ist als das Strahlungsfenster. Bei dieser Ausführungsform ist der Druck in der Druckkammer höher als der Druck in der Verengung, und da der Unterschied zwischen dem Druck in der Verengung und dem Druck in der Druckkammer wesentlich größer ist als der Druck in der Verengung, haben Druckänderungen in der Verengung praktisch keinen Einfluss auf die Verformung des Kompensationsfensters.
  • Ausführungsformen einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen werden im Folgenden unter Bezugnahme auf die Figuren ausführlich erläutert. Es zeigen:
  • 1 schematisch eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen; und
  • 2 eine Verengung der Vorrichtung aus 1 im Detail.
  • In 1 sind nur die Hauptkomponenten einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen schematisch dargestellt. Die Vorrichtung umfasst ein Gehäuse 1, das einen Vakuumraum 2 umschließt, in dem eine Elektronenquelle 3 oder Kathode zum Emittieren von Elektronen untergebracht ist. Die Vorrichtung umfasst weiterhin ein geschlossenes Kanalsystem 4 mit einem Einlasskanal 5, einem konvergierenden Teil 6, einer Verengung 7, einem divergierenden Teil 8, einem Auslasskanal 9, einem Wärmetauscher 10 und einer Hydraulikpumpe 11. Der Kanal 4 ist mit einem Flüssigmetall gefüllt, das die Eigenschaft hat, beim Einfall von Elektronen Röntgenstrahlen zu emittieren, und somit wird ein Flüssigmetallkreislauf gebildet. Bei der dargestellten Ausführungsform ist das Flüssigmetall eine Legierung aus Ga, In und Sn, jedoch können auch andere Arten von Metallen oder Metalllegierungen, die bei Raumtemperatur vorzugsweise flüssig sind, zum Beispiel Hg, verwendet werden.
  • Die Verengung 7 wird durch ein Strahlungsfenster 12 begrenzt, das für Elektronen und Röntgenstrahlen transparent ist, und durch ein Kompensationsfenster 13, das dem Strahlungsfenster 12 gegenüber liegt. Bei der dargestellten Ausführungsform umfasst das Strahlungsfenster 12 ein eine relativ dünne (5 μm) Diamantplatte, wobei jedoch auch andere Materialarten, die ausreichend transparent für Elektronen und Röntgenstrahlung sind, zum Beispiel Mo, verwendet werden können. Das Strahlungsfenster 12 trennt die Verengung 7 vom Vakuumraum 2 und verhindert dadurch, dass der Vakuumraum 2 durch Flüssigmetallpartikel verunreinigt wird. Das Kompensationsfenster 13 trennt die Verengung 7 von der Druckkammer 14, die das von dem Kanalsystem 4 über eine Verbindung 15 zugeführte Flüssigmetall enthält.
  • Während des Betriebs der Vorrichtung wird das Flüssigmetall mittels der Hydraulikpumpe 11 dazu veranlasst, durch die Verengung 7 zu strömen. Bei der gezeigten Ausführungsform ist die Hydraulikpumpe 11 von konventioneller Art, es können jedoch stattdessen auch andere geeignete Pumpenmittel verwendet werden, zum Beispiel eine magnetohydraulische Pumpe. Die Verengung 7 hat eine relativ kleine Querschnittfläche, so dass die Flüssigmetallströmung in der Verengung 7 eine relativ hohe Geschwindigkeit hat und turbulent ist. Die Elektronenquelle 3 erzeugt ein Elektronenstrahlbündel 16, das das Strahlungsfenster 12 durchquert und an einer Aufprallposition 17 in der Verengung 7 auf das Flüssigmetall auftrifft. Infolge des Auftreffens des Elektronenstrahlbündels 16 auf dem Flüssigmetall werden an der Aufprallposition 17 Röntgenstrahlen 18 erzeugt. Das Flüssigmetall in der Verengung 7 stellt somit eine Anode der Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen dar. Die Röntgenstrahlen 18 treten durch das Strahlungsfenster 12 und ein Röntgenaustrittsfenster 19 aus, das in dem Gehäuse 1 vorgesehen ist.
  • Eine weitere Folge des Auftreffens des Elektronenstrahlbündels 16 auf dem Flüssigmetall ist die Erzeugung einer großen Wärmemenge an der Aufprallposition 17. Diese Wärme wird auf effiziente Weise durch die Flüssigmetallströmung in der Verengung 7 von der Aufprallposition 17 wegtransportiert, und das erwärmte Flüssigmetall wird anschließend in dem Wärmetauscher 10 wieder abgekühlt. Auf diese Weise wird eine übermäßige Erwärmung des Flüssigmetalls an der Aufprallposition 17 und in der Umgebung der Verengung 7 vermieden. Mit Hilfe der Flüssigmetallströmung in der Verengung 7 wird eine relativ hohe Geschwindigkeit beim Abtransport der Wärme von der Aufprallposition 17 erreicht, so dass ein relativ hohes Energieniveau des Elektronenstrahlbündels 16 und daher ein relativ hohes Energieniveau der Röntgenstrahlung 18 möglich wird.
  • In 2 ist ein Teil der Vorrichtung aus 1 in vergrößerter Ansicht dargestellt. Aufgrund des durch die Pumpenmittel (in 2 nicht abgebildet) ausgeübten Drucks fließt das Flüssigmetall durch den Einlasskanal 5, den konvergierenden Teil 6, die Verengung 7, den divergierenden Teil 8 und den Auslasskanal 9. Die Strömungsgeschwindigkeit nimmt in dem konvergierenden Teil 6 zu, so dass der statische Druck des Flüssigmetalls gemäß dem Bernoulli-Effekt abnimmt. Der Druck in der Verengung 7 führt zu einer Verformung des Strahlungsfensters 12, das daher ein Profil p hat. Aufgrund des Druckunterschieds zwischen dem Druck in der Verengung 7 und dem Druck in der Druckkammer 14 wird auch das Kompensationsfenster 13 verformt und hat daher ein Profil p', das dem Profil p im Wesentlichen angeglichen ist. In 2 ist eine Druckkammer 14 dargestellt, die über eine Verbindung 15 mit dem konvergierenden Teil 6 verbunden ist. Bei einer anderen Ausführungsform ist die Druckkammer 14 mit dem Einlasskanal 5 verbunden.
  • Um während des Betriebs eine ausreichend hohe Geschwindigkeit des Flüssigmetalls in der Verengung 7 zu erhalten, erzeugt die Pumpe 11 einen relativ hohen Flüssigmetalldruck. Bei der in 1 dargestellten Ausführungsform wird ein Druck in der Größenordnung von 50-60 bar im Einlasskanal 5 erzeugt, um eine Strömungsgeschwindigkeit in der Größenordnung von 50 m/s in der Verengung 7 zu erhalten. Bei der dargestellten Ausführungsform hat die Verengung 7 eine Höhe, d.h. einen Abstand zwischen dem Strahlungsfenster 12 und dem Kompensationsfenster 13, von ungefähr 400 μm, eine Länge in der Strömungsrichtung von ungefähr 1,5 mm und eine Breite senkrecht zu der Strömungsrichtung von ungefähr 10 mm. Infolge des Bernoulli-Effekts in dem konvergierenden Teil 6 liegt der Druck in der Verengung 7 bei 1 bar. Infolge des Bernoulli-Effekts in dem divergierenden Teil 8 liegt der Druck im Auslasskanal 9 in der Größenordnung von 40-45 bar und ist damit aufgrund der viskosen Strömungsverluste ?? niedriger ist als der Druck im Einlasskanal 5.
  • Unter dem Einfluss des Flüssigmetalldrucks in der Verengung 7 verformt sich das Strahlungsfenster 12. Eine Verformung des Strahlungsfensters 12 kann nicht verhindert werden, weil das Strahlungsfenster 12 dünn genug sein sollte, um eine ausreichende Transparenz für Elektronen und Röntgenstrahlen zu erreichen, und weil auf der dem Flüssigmetall abgewandten Seite des Strahlungsfensters ein Vakuumdruck vorhanden ist. Bei der Ausführungsform aus 1 liegt die maximale Verformung in der Mitte des Strahlungsfensters 12 in der Größenordnung von 30 μm. Infolge der Differenz zwischen dem Druck in der Verengung 7 und dem Druck in der Druckkammer 14 wird auch das Kompen sationsfenster 13 verformt. Bei der dargestellten Ausführungsform hat das Kompensationsfenster eine Dicke von 30 μm und besteht aus Wolfram. Die Druckdifferenz zwischen dem Druck in der Verengung 7 und dem Druck in der Druckkammer 14 liegt in der Größenordnung von 50-60 bar und die maximale Verformung des Kompensationsfensters 13 ist im Wesentlichen der Verformung des Strahlungsfensters 12 angeglichen.
  • Der Druck des Flüssigmetalls stromaufwärts von der Verengung 7 ist neben anderen Parametern ausschlaggebend für den Druck und die Geschwindigkeit des Flüssigmetalls in der Verengung 7 sowie für den Druck des Flüssigmetalls in der Druckkammer 14. Durch die Nutzung dieses Zusammenhangs wird ohne die Notwendigkeit externer oder zusätzlicher Komponenten oder Elektronik ein Selbstregelungsprozess geschaffen, der sichergestellt, dass die Verengung 7 eine beabsichtigte, gewünschte Querschnittfläche hat und damit ein übermäßiger Druck oder Druckänderungen, die sich auf das genannte Strahlungsfenster 12 auswirken, reduziert oder sogar verhindert werden.

Claims (6)

  1. Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen (18), die Folgendes umfasst: – eine Elektronenquelle (3) zum Emittieren von Elektronen in einem Vakuumraum (2); – einen Flüssigmetallkreislauf mit einem Flüssigmetall zum Emittieren von Röntgenstrahlen infolge des Auftreffens von Elektronen und mit einem Pumpenmittel (11) zum Veranlassen einer Flüssigmetallströmung durch eine Verengung (7), wo die von der Elektronenquelle (3) emittierten Elektronen auf das Flüssigmetall aufprallen; und – ein Strahlungsfenster (12), das die genannte Verengung (7) begrenzt, transparent für Elektronen und Röntgenstrahlen ist und die Verengung (7) vom Vakuumraum (2) trennt; dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Verengung (7) durch ein dem genannten Strahlungsfenster (12) gegenüberliegendes Kompensationsfenster (13) begrenzt wird, das die Verengung (7) von einer Druckkammer (14) trennt, die Flüssigmetall enthält, welches durch den genannten Flüssigmetallkreislauf über eine Verbindung (15) zugeführt wird, und das im Betrieb ein Profil (p') infolge einer durch einen Druck in der Druckkammer (14), welcher sich von dem Druck in der Verengung (7) unterscheidet, verursachten Verformung hat, das im Wesentlichen einem Profil (p) angeglichen ist, welches das Strahlungsfenster (12) im Betrieb als Folge einer Verformung des Strahlungsfensters (12) durch einen Druck des Flüssigmetalls in der Verengung (7) hat.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Druckkammer (14) mit einem Hochdruckbereich des genannten Flüssigmetallkreislaufs stromaufwärts von der genannten Verengung (7) verbunden ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Druckkammer (14) im Wesentlichen über die gesamte Fläche des Kompensationsfensters (13) reicht.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das genannte Kompensationsfenster (13) im Wesentlichen die gleiche Größe wie das Strahlungsfenster (12) hat.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das genannte Kompensationsfenster (13) im Wesentlichen aus dem gleichen Material besteht wie das Strahlungsfenster (12).
  6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das genannte Kompensationsfenster (13) dicker ist als das Strahlungsfenster (12).
DE602005002257T 2004-04-13 2005-03-31 Vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlen mit einer flüssigmetallanode Active DE602005002257T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP04101491 2004-04-13
EP04101491 2004-04-13
PCT/IB2005/051078 WO2005101450A1 (en) 2004-04-13 2005-03-31 A device for generating x-rays having a liquid metal anode

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE602005002257D1 DE602005002257D1 (de) 2007-10-11
DE602005002257T2 true DE602005002257T2 (de) 2008-05-29

Family

ID=34962083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE602005002257T Active DE602005002257T2 (de) 2004-04-13 2005-03-31 Vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlen mit einer flüssigmetallanode

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7483517B2 (de)
EP (1) EP1738389B1 (de)
JP (1) JP2007533093A (de)
CN (1) CN100565771C (de)
AT (1) ATE371950T1 (de)
DE (1) DE602005002257T2 (de)
WO (1) WO2005101450A1 (de)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5225881B2 (ja) * 2008-02-08 2013-07-03 バリアン・メディカル・システムズ・インコーポレイテッド X線管およびx線管冷却システム
DE102008026938A1 (de) 2008-06-05 2009-12-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Strahlungsquelle und Verfahren zum Erzeugen von Röntgenstrahlung
US7929667B1 (en) * 2008-10-02 2011-04-19 Kla-Tencor Corporation High brightness X-ray metrology
KR101540681B1 (ko) 2009-01-26 2015-07-30 엑실룸 에이비 엑스레이 윈도우
CN104022004B (zh) * 2009-01-26 2016-09-21 伊克斯拉姆公司 X-射线窗口
CN104681378B (zh) * 2009-04-03 2017-04-12 伊克斯拉姆公司 在x射线产生中液体金属靶的供应
US10801975B2 (en) 2012-05-08 2020-10-13 Kla-Tencor Corporation Metrology tool with combined X-ray and optical scatterometers
US20140369476A1 (en) * 2013-06-14 2014-12-18 Morpho Detection, Inc. Device for generating x-rays having a liquid metal anode
JP6231141B2 (ja) * 2016-02-17 2017-11-15 エクシルム・エービーExcillum AB X線窓
US10748736B2 (en) 2017-10-18 2020-08-18 Kla-Tencor Corporation Liquid metal rotating anode X-ray source for semiconductor metrology
EP3736444A1 (de) 2019-05-09 2020-11-11 Excillum AB Elektromagnetische pumpe
US11719652B2 (en) 2020-02-04 2023-08-08 Kla Corporation Semiconductor metrology and inspection based on an x-ray source with an electron emitter array
CN115020172A (zh) * 2022-07-01 2022-09-06 成都理工大学 一种环形电子束反射式液态金属阳极装置
US11955308B1 (en) 2022-09-22 2024-04-09 Kla Corporation Water cooled, air bearing based rotating anode x-ray illumination source

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5052034A (en) * 1989-10-30 1991-09-24 Siemens Aktiengesellschaft X-ray generator
DE19821939A1 (de) * 1998-05-15 1999-11-18 Philips Patentverwaltung Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target
DE19955392A1 (de) * 1999-11-18 2001-05-23 Philips Corp Intellectual Pty Monochromatische Röntgenstrahlenquelle
DE10062928A1 (de) * 2000-12-16 2002-06-20 Philips Corp Intellectual Pty Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
DE10106740A1 (de) * 2001-02-14 2002-08-22 Philips Corp Intellectual Pty Röntgenstrahler mit einem Target aus einem flüssigen Metall
DE10129463A1 (de) * 2001-06-19 2003-01-02 Philips Corp Intellectual Pty Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target
DE10130070A1 (de) * 2001-06-21 2003-01-02 Philips Corp Intellectual Pty Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
US6961408B2 (en) * 2002-03-08 2005-11-01 Koninklijke Philips Electronics N.V. Device for generating X-rays having a liquid metal anode
EP1485936B1 (de) * 2002-03-08 2005-11-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Einrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlen mit einer flüssigmetallanode
DE102004013618B4 (de) * 2004-03-19 2007-07-26 Yxlon International Security Gmbh Verfahren zum Betrieb einer magnetohydrodynamischen Pumpe, Flüssigmetallanode für eine Röntgenquelle sowie Röntgenstrahler

Also Published As

Publication number Publication date
WO2005101450A1 (en) 2005-10-27
DE602005002257D1 (de) 2007-10-11
EP1738389A1 (de) 2007-01-03
US7483517B2 (en) 2009-01-27
ATE371950T1 (de) 2007-09-15
JP2007533093A (ja) 2007-11-15
CN100565771C (zh) 2009-12-02
US20080285717A1 (en) 2008-11-20
CN1943001A (zh) 2007-04-04
EP1738389B1 (de) 2007-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE602005002257T2 (de) Vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlen mit einer flüssigmetallanode
DE102005020521B4 (de) Verfahren und Anordnung zur Unterdrückung von Debris bei der Erzeugung kurzwelliger Strahlung auf Basis eines Plasmas
DE971610C (de) Dynamische Druckstufenstrecke zur UEberfuehrung eines Korpuskular-strahlbuendels aus Raeumen niederen Gasdruckes in Raeume hoeheren Gasdruckes
EP1102302A1 (de) Monochromatische Röntgenstrahlenquelle
DE838168C (de) Kathodenstrahlröhre
DE102009003673A1 (de) Elektronenquelle auf der Basis von Feldemittern mit minimierten Strahl-Emittanzwachstum
DE19544203A1 (de) Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre
DE102009007218A1 (de) Elektronenbeschleuniger zur Erzeugung einer Photonenstrahlung mit einer Energie von mehr als 0,5 MeV
WO2005096341A1 (de) Anodenmodul für eine flüssigmetallanoden-röntgenquelle sowie röntgenstrahler mit einem anodenmodul
DE2743108C2 (de) Mehrstufiger Kollektor mit abgestufter Kollektorspannung
EP0021441B1 (de) Elektronenbeschleuniger zur Röntgenstrahlentherapie
EP2283508B1 (de) Strahlungsquelle und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung
DE4111877A1 (de) Ionisationsmanometer und zugehoerige steuerschaltung
EP1215707B1 (de) Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
DE10130070A1 (de) Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
DE2003715B2 (de) Ionenstrahlquelle
DE112017007408T5 (de) Ionenquelle und Ionenimplantationsvorrichtung
DE112010002767T5 (de) Kanone für geladene Teilchen und Vorrichtung für einen Strahl geladener Teilchen
DE60302445T2 (de) Einrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlen mit einer flüssigmetallanode
DE102009051374A1 (de) Vorrichtung zum Refelektieren beschleunigter Elektronen
EP1537765A1 (de) Flüssigkeitsfalle zum auffangen von flüssigkeiten in einer vakuumeinrichtung
DE102020109610A1 (de) Gasfeldionisierungsquelle
DE19905802A1 (de) Röntgenröhre
DE1439838A1 (de) Ionen-Mikroskop
DE69821746T2 (de) Röntgenröhre mit einem an die Brennpunktform angepassten Kühlprofil

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition