DE10062928A1 - Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target - Google Patents

Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target

Info

Publication number
DE10062928A1
DE10062928A1 DE10062928A DE10062928A DE10062928A1 DE 10062928 A1 DE10062928 A1 DE 10062928A1 DE 10062928 A DE10062928 A DE 10062928A DE 10062928 A DE10062928 A DE 10062928A DE 10062928 A1 DE10062928 A1 DE 10062928A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
line section
liquid metal
metal target
slot
line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE10062928A
Other languages
English (en)
Inventor
Geoffrey Harding
Bernd Ulmer
Bernd David
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Original Assignee
Philips Corporate Intellectual Property GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7667538&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE10062928(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Philips Corporate Intellectual Property GmbH filed Critical Philips Corporate Intellectual Property GmbH
Priority to DE10062928A priority Critical patent/DE10062928A1/de
Priority to EP01000722A priority patent/EP1215707B1/de
Priority to DE50107672T priority patent/DE50107672D1/de
Priority to US10/014,185 priority patent/US6477234B2/en
Priority to JP2001380607A priority patent/JP3754361B2/ja
Publication of DE10062928A1 publication Critical patent/DE10062928A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/16Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • H01J35/18Windows
    • H01J35/186Windows used as targets or X-ray converters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/08Targets (anodes) and X-ray converters
    • H01J2235/081Target material
    • H01J2235/082Fluids, e.g. liquids, gases
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/12Cooling
    • H01J2235/1204Cooling of the anode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/12Cooling
    • H01J2235/1225Cooling characterised by method
    • H01J2235/1262Circulating fluids

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

Es wird ein Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target und einer Elektronenquelle (3) zur Emission eines Elektronenstrahls (4) in ein Fenster (23) eines Leitungsteils (51), durch das im Betriebszustand das Flüssigmetall-Target fließt, beschrieben, der sich insbesondere dadurch auszeichnet, dass das Leitungsteil (51) durch einen ersten Leitungsabschnitt (10, 20), der das Fenster (23) aufweist und durch den das Flüssigmetall-Target fließt, sowie einen zweiten Leitungsabschnitt (30, 40) gebildet ist, durch den ein Kühlmittel strömt und der so an dem ersten Leitungsabschnitt befestigt ist, dass der Bereich der Einwirkung des Elektronenstrahls auf den ersten Leitungsabschnitt gekühlt wird.

Description

Die Erfindung betrifft einen Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target und einer Elektronenquelle zur Emission eines Elektronenstrahls in ein Fenster eines Leitungsteils, durch das im Betriebszustand das Flüssigmetall-Target fließt, sowie ein. Röntgengerät mit einem solchen Röntgenstrahler.
Ein Röntgenstrahler dieser Art ist aus der DE 198 21 939.3 bekannt. Dabei wird das Fenster, durch das die von der Elektronenquelle emittierten Elektronen hindurchtreten und auf das Flüssigmetall-Target treffen, durch eine turbulente Strömung des Targets gekühlt. Durch diese Art der Kühlung wird die Dauerbelastbarkeit des Röntgenstrahlers erheblich verbessert. Einer weiteren Steigerung der Belastbarkeit steht jedoch die Tatsache entgegen, dass das Fenster sowie die das Fenster umgebenden Bereiche des Röntgen­ strahlers, d. h. der Fensterrahmen, relativ hohen thermischen Spannungen ausgesetzt sind. Die Ursachen hierfür liegen in der Wärmeerzeugung insbesondere aufgrund des direkten Einfalls von Elektronen mit hoher Energie und aufgrund der Strömung des heißen Flüssig­ metalls unter dem Fenster. Weiterhin tragen auch die gestreuten Elektronen, die einen nur geringen Energieverlust aufweisen, zur Wärmeerzeugung bei.
Dies ist deshalb besonders kritisch, weil die Verbindung zwischen dem Fenster und dem Fensterrahmen in Abhängigkeit von der verwendeten Bond-Technologie (z. B. Lötung) Klebung) einer nur begrenzten maximalen Temperatur standhalten kann.
Eine Aufgabe, die der Erfindung zugrunde liegt, besteht deshalb darin, einen Röntgen­ strahler mit Flüssigmetall-Target und einer Elektronenquelle der eingangs genannten Art zu schaffen, dessen Dauerbelastbarkeit weiter gesteigert werden kann.
Gelöst wird diese Aufgabe mit einem Röntgenstrahler der eingangs genannten Art, der sich gemäß Anspruch 1 dadurch auszeichnet, dass das Leitungsteil durch einen ersten Leitungs­ abschnitt, der das Fenster aufweist und durch den das Flüssigmetall-Target fließt, sowie einen zweiten Leitungsabschnitt gebildet ist, durch den ein Kühlmittel strömt und der so an dem ersten Leitungsabschnitt befestigt ist, dass der Bereich der Einwirkung des Elektronenstrahls auf den ersten Leitungsabschnitt gekühlt wird.
Ein besonderer Vorteil dieser Lösung besteht darin, dass durch die erhöhte Wärmeab­ führung die Belastbarkeit des Röntgenstrahlers insbesondere bei solchen Anwendungen weiter gesteigert werden kann, bei denen in einer kurzen Zeit eine hohe Röntgenstrahlen-Dosis erzeugt werden muss, wie zum Beispiel bei CT-Geräten mit hoher Abtastrate.
Die Unteransprüche haben vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung zum Inhalt.
In den Ansprüchen 2 bis 5 werden jeweils Maßnahmen beschrieben, die auf verschiedene Arten die Wärmeabführung weiter verbessern. Mit den Ausführungsformen gemäß den Ansprüchen 6 und 7 wird in vorteilhafter Weise die Gestaltung des Leitungsteils so vorge­ nommen, dass einerseits ein sich mit einem bestimmten räumlichen Öffnungswinkel ausbreitender Röntgenstrahl nicht gestört wird, andererseits aber auch keine Beeinträch­ tigung der Kühlung in Kauf genommen werden muss.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform anhand der Zeichnung. Es zeigt:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Röntgenstrahlers;
Fig. 2 Darstellungen von verschiedenen Elementen eines erfindungsgemäßen Leitungsteils;
Fig. 3 das erfindungsgemäße Leitungsteil in zusammengebautem Zustand; und
Fig. 4 eine Speisung des erfindungsgemäßen Leitungsteils.
Fig. 1 zeigt schematisch einen Röntgenstrahler, bei dem das mit Elektronen bestrahlte Target durch ein im Betriebszustand des Röntgenstrahlers flüssiges Metall gebildet ist. Innerhalb eines Röhrenkolbens 1 befindet sich in einem Vakuumraum eine Elektronen­ quelle in Form einer Kathode 3, die im Betriebszustand einen Elektronenstrahl 4 emittiert. Dieser Elektronenstrahl 4 ist auf ein Leitungsteil 51 eines Rohrleitungssystems 50 gerichtet und trifft durch ein für die Elektronen im wesentlichen durchlässiges Fenster 22, 34 auf das in dem Rohrleitungssystem 50 strömende Flüssigmetall-Target, so dass Röntgen­ strahlen angeregt werden. Mittels einer Pumpe 52 wird das flüssige Metall in einem Kreis­ lauf durch das Rohrleitungssystem 50 gepumpt, das auch durch einen Wärmetauscher 53 führt, so dass die erzeugte Wärme aus dem flüssigen Metall über einen Kühlkreislauf abge­ führt werden kann.
Das Leitungsteil 51 des Rohrleitungssystems 50 ist in den Fig. 2 und 3 im einzelnen in Draufsicht dargestellt.
Das Leitungsteil 51 setzt sich gemäß Fig. 2 aus vier Elementen 10, 20, 30, 40 zusammen, die in der Reihenfolge (a) bis (d) dargestellt sind und in dieser Reihenfolge übereinander angeordnet werden, das heißt auf das erste Element 10 gemäß Fig. 2(a) wird das zweite Element 20 gemäß Fig. 2(b), darauf das dritte Element 30 gemäß Fig. 2(c) und darauf schließlich das vierte Element 40 gemäß Fig. 2(d) gesetzt. Die Elemente werden in der in Fig. 2 gezeigten Ausrichtung aufeinander montiert. Der Elektronenstrahl tritt in zur Ebene der Zeichnung senkrechter Richtung von oben zunächst in das vierte Element 40 ein und gelangt dann durch das dritte und zweite Element 30, 20 schließlich in das erste Element 10.
Weiterhin ist davon auszugehen, dass der Elektronenstrahl einen linienförmigen Brenn­ punkt ("Strichfocus") bildet, der sich in den Darstellungen gemäß Fig. 2 von links nach rechts erstreckt. Ein solcher Stichfocus hat zum Beispiel Abmessungen von 1 mm × 7 mm und wird häufig bei Röntgenstrahlern verwendet, um bei konstanter Leistungsdichte die bestrahlte Fläche zu vergrößern.
Das erste Element 10 gemäß Fig. 2(a) ist aus einem massiven Metallkörper zum Beispiel aus Stahl oder Molybdän gebildet, der zum Beispiel etwa 100 mm lang, 25 mm breit und 10 mm tief ist. In diesen Metallkörper ist ein erster Kanal 11 eingebracht, durch den im Betriebszustand des zusammengebauten Leitungsteils das Flüssigmetall-Target, in dem die Röntgenstrahlen erzeugt werden, gemäß der Andeutung durch den Pfeil P1 fließt. Die Tiefe dieses ersten Kanals 11 ist nicht konstant, sondern nimmt in einem zentralen Bereich 12 ab. An der Stelle des zentralen Bereiches 12, an der der Elektronenstrahl eintritt, hat der Kanal seine geringste Tiefe, die dort zum Beispiel etwa 200 µm beträgt.
Das in Fig. 2(b) gezeigte zweite Element 20 ist etwa 1 mm stark und hat ansonsten im wesentlichen die gleichen äußeren Abmessungen wie das erste Element 10. In einem zentralen Bereich 21 befindet sich ein im wesentlichen kreisförmiger Einsatz 22, in den ein erster, im wesentlichen rechteckiger Schlitz 23 für den Elektronenstrahl eingebracht ist. Dieser Schlitz erstreckt sich mit seiner Längsrichtung senkrecht zu der Strömungsrichtung des Flüssigmetall-Targets, so dass sich eine optimale Wärmeabführung ergibt.
Der erste Schlitz 23 ist an seiner in der Darstellung unteren Seite mit einer Diamantschicht mit einer Dicke von etwa 1 µm verschlossen, die durch Kleben oder auf andere Weise an dem Einsatz 22 befestigt wird. Der erste Schlitz bildet somit ein Diamantfenster 23, das für Elektronen durchlässig ist.
Das zweite Element 20 wird mit Schrauben oder anderen Befestigungsmitteln (nicht gezeigt) auf dem ersten Element 10 so befestigt, dass ein erster flüssigkeitsdichter Leitungs­ abschnitt 10, 20 entsteht, durch den das Flüssigmetall-Target fließen kann. Aufgrund der reduzierten Tiefe des Kanals 11 in dem zentralen Bereich 12 und insbesondere an dem Diamantfenster wird das Target dort beschleunigt, so dass eine turbulente Strömung entsteht. Diese turbulente Strömung sorgt für eine besonders wirksame Abführung von thermischer Energie von dem Fenster, da durch die entstehenden Wirbel die Flüssigkeit besonders gut und schnell durchmischt wird. Dies ist insbesondere in dem temperatur­ kritischen Bereich des Diamantfensters und seiner Befestigung an dem Einsatz 22 vorteil­ haft.
Der erste Leitungsabschnitt 10, 20 ist Teil eines primären Flüssigmetall-Kreislaufs, der durch den Wärmetauscher 53 (Fig. 1) führt.
Weiterhin ist ein zweiter Leitungsabschnitt 30, 40 vorgesehen, der ein Kühlmittel führt und gemäß der in Fig. 2(c), (d) gezeigten Stellung mit einem Winkel von etwa 90 Grad auf dem ersten Leitungsabschnitt 10, 20 montiert wird, so dass er sich in Längsrichtung des ersten Schlitzes 23 über diesem erstreckt.
Der zweite Leitungsabschnitt umfasst ein drittes Element 30, das gemäß Fig. 2(c) aus einem Metallkörper zum Beispiel aus Stahl oder Molybdän mit einem zentralen Bereich 33 gebildet ist. In dem zentralen Bereich 33 befindet sich ein zweiter, im wesentlichen recht­ eckiger Schlitz 34a, der so angeordnet und ausgebildet ist, dass er den ersten Schlitz 23 in dem zweiten Element 20 fortsetzt. In den Metallkörper sind weiterhin zwei Kanäle 31, 32 eingefräst, die sich in Längsrichtung des zweiten Schlitzes 34a erstrecken und außerhalb des zentralen Bereiches 33 parallel zueinander verlaufen. In dem zentralen Bereich 33 beginnen die Kanäle 31, 32 auf der Höhe des einen Endes des zweiten. Schlitzes 34a auseinander zulaufen, bis sie sich jenseits der Höhe des anderen Endes des Schlitzes 34a wieder in Richtung auf ihre parallelen Abschnitte außerhalb des zentralen Bereiches zurückerstrecken. Die Kanäle 31, 32 schließen auf diese Weise in dem zentralen Bereich 33 eine im wesentlichen kreissegmentähnliche Fläche 35 ein, in der sich der erste Schlitz 34a befindet.
Das vierte Element 40 hat im wesentlichen die gleiche äußere Form wie das dritte Element 30 und wird mit Befestigungsmitteln (nicht dargestellt) auf diesem montiert, so dass sich der zweite flüssigkeitsdichte Leitungsabschnitt 30, 40 ergibt. In einem zentralen Bereich 41 des vierten Elementes 40 befindet sich eine im wesentlichen rechteckige Öffnung 34b des zweiten Schlitzes 34a. Außerdem ist in die äußere Fläche des zentralen Bereiches 41 eine kreissegmentähnliche Einsenkung 43 eingebracht, deren Form mit der Form der Fläche 35 korrespondiert, die die Kanäle 31, 32 in dem zentralen Bereich 33 des dritten Elementes 30 umschließen. Diese Einsenkung wird durch Abtragen von Material durch Fräsen oder auf andere Weise eingebracht.
Der zweite Leitungsabschnitt 30, 40 hat im Bereich der Einsenkung 43, in dem der Strich­ fokus des Elektronenstrahls liegt, in zusammengebautem Zustand eine Stärke von etwa 3 mm. Außerhalb dieses Bereiches, d. h. sowohl in einer Richtung stromaufwärts und strom­ abwärts, als auch in einer Richtung senkrecht dazu, kann die Stärke größer sein, so dass die Kanäle 31, 32 breiter bzw. tiefer ausgebildet werden können und damit Strömungsverluste aufgrund der Viskosität des Kühlmittels (sekundäre Flüssigkeit) vermindert werden. Die einzige Beschränkung in dieser Hinsicht ist durch die Forderung gegeben, dass die Abmes­ sungen und die Form des zweiten Leitungsabschnitts den nutzbaren Röntgenstrahl nicht behindern sollen.
Der zweite Leitungsabschnitt 30, 40 bildet einen Teil eines sekundären Flüssigkeitskreis­ laufs und dient dazu, Wärme von dem ersten Leitungsabschnitt, insbesondere dessen zentralem Bereich, in dem sich der erste Schlitz 23 und damit das Diamantfenster befindet, abzuführen. Zu diesem Zweck verläuft der zweite Leitungsabschnitt 30, 40 mit einem Winkel von 90 Grad zu dem ersten Leitungsabschnitt 10, 20. Die bevorzugte Richtung der Strömung des primären Flüssigmetall-Targets durch den ersten Leitungsabschnitt 10, 20 ist durch den Pfeil P1 in Fig. 2(a) und die bevorzugte Richtung der Strömung der sekundären Flüssigkeit durch den zweiten Leitungsabschnitt 30, 40 ist durch die Pfeile P2 in Fig. 2(c) angedeutet.
Mit dieser Anordnung werden drei vorteilhafte Wirkungen erzielt. Einerseits wird die Arbeitstemperatur des primären Flüssigmetall-Targets vermindert. Dadurch wird anderer­ seits auch die Temperatur der Verbindung zwischen dem Diamantfenster und dem Einsatz 22 abgesenkt, und schließlich wird die Wärmewirkung der sekundären Elektronen, die aus dem primären Elektronenstrahl herausgestreut werden und die unter dem Einfluss des gegenüber der Kathode positiven Potentials der Anode in der Nähe des Brennpunktes aufschlagen, vermindert.
Diese Wirkungen werden dadurch unterstützt, dass die beiden Kanäle 31, 32 des zweiten Leitungsabschnitts 30, 40 parallel zu der Richtung des Strichfocus des Elektronenstrahls und zu beiden Seiten der Schlitze verlaufen. Dadurch wird die Strömung in dem sekundären Flüssigkeitskreislauf sehr nahe an die Stelle des Elektroneneinschlags geführt.
Durch das Divergieren der Kanäle 31, 32 innerhalb des zentralen Bereiches 33 des zweiten Leitungsabschnitts sowie die kreissegmentähnliche Einsenkung 43 des zentralen Bereiches 41 des vierten Elementes 40 wird der Tatsache Rechnung getragen, dass ein Röntgenstrahl mit einem bestimmten räumlichen Öffnungswinkel aus der Öffnung 346 des zweiten Schlitzes 34a austreten muss. Bei allgemein gebräuchlichen diagnostischen Röntgenröhren beträgt der Winkel zwischen der Ebene der Anode und dem Röntgenstrahl, der am nächsten an der Anodenebene liegt, etwa 12 Grad. Fig. 3 zeigt diese Zusammenhänge für ein aus dem ersten und dem zweiten Leitungsabschnitt zusammengesetztes Leitungsteil 51, wobei die bevorzugte Strömungsrichtung des primären Flüssigmetall-Targets wiederum durch den Pfeil P1 und der sekundären Flüssigkeit wiederum durch den Pfeil P2 ange­ deutet ist.
Die Kanäle 31, 32 divergieren innerhalb des zentralen Bereiches 33 des dritten Elementes 30 in der Weise, dass der gemäß Fig. 3 austretende Röntgenstrahl 50 durch die Kanäle nicht gestört bzw. gedämpft wird. Entsprechendes gilt für die Bemessung der Einsenkung 43 in dem vierten Element, so dass sich mit diesen beiden Maßnahmen der erzeugte Röntgenstrahl im wesentlichen ungestört kegelförmig ausbreiten kann.
Der primäre und der sekundäre Flüssigkeitskreislauf können gemäß der Darstellung in Fig. 4 mit dem gleichen Flüssigmetall gemeinsam über die Leitung 50 (Fig. 1) mit der Pumpe 52 gespeist werden, wobei die Leitung vorzugsweise durch dem Wärmetauscher 53 geführt wird.
Im einzelnen ist zu diesem Zweck ein erster Leitungsverzweiger 501 (Y Stück) vorgesehen, an den die Leitung 50 angeschlossen ist und von dem eine primäre Leitung 502 und eine sekundäre Leitung 503 ausgeht. Diese Leitungen speisen das Leitungsteil 51 und setzen sich an dessen Ausgängen weiter fort, bis sie mit einem zweiten Leitungsverzweiger 504 (Y-Stück) wieder vereint und als gemeinsame Leitung 50 fortgesetzt werden. Die primäre und die sekundäre Leitung 502, 503 sind so geführt, dass sie an die jeweils einen rechten Winkel zueinander aufweisenden Eingänge bzw. Ausgänge des Leitungsteils 51 sowie den ersten bzw. zweiten Leitungsteiler 501, 504 angeschlossen werden können.
Alternativ dazu kann der sekundäre Flüssigkeitskreislauf auch getrennt und unabhängig von dem primären Kreislauf des Flüssigmetall-Targets geführt werden. Dies kann ins­ besondere dann sinnvoll sein, wenn eine Kühlflüssigkeit verwendet werden soll, die zum Beispiel eine besonders niedrige Viskosität und/oder eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist.
In jedem Fall ist die mit dem erfindungsgemäßen Leitungsteil 51 erzielte Wärmeabführung von dem Fenster, in das der Elektronenstrahl zur Erzeugung von Röntgenstrahlen eintritt, wesentlich wirksamer als bei bekannten Anordnungen dieser Art, so dass bei einem ent­ sprechenden Röntgenstrahler die Arbeitstemperatur vermindert oder die Strahlungsinten­ sität erhöht werden kann.

Claims (9)

1. Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target und einer Elektronenquelle zur Emission eines Elektronenstrahls in ein Fenster eines Leitungsteils, durch das im Betriebszustand das Flüssigmetall-Target fließt, dadurch gekennzeichnet, dass das Leitungsteil (51) durch einen ersten Leitungsabschnitt (10, 20), der das Fenster (23) aufweist und durch den das Flüssigmetall-Target fließt, sowie einen zweiten Leitungsabschnitt (30, 40) gebildet ist, durch den ein Kühlmittel strömt und der so an dem ersten Leitungsabschnitt befestigt ist, dass der Bereich der Einwirkung des Elektronenstrahls auf den ersten Leitungsabschnitt gekühlt wird.
2. Röntgenstrahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Leitungsabschnitt (10, 20; 30, 40) in einer zur Einfallsrichtung des Elektronenstrahls im wesentlichen senkrechten Ebene liegen und einen Winkel von etwa 90 Grad zueinander aufweisen.
3. Röntgenstrahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Fenster in dem ersten Leitungsabschnitt (10, 20) durch einen ersten, im wesentlichen rechteckigen Schlitz (23) mit einer Diamantschicht gebildet ist, wobei der Schlitz mit seiner Längsrichtung im wesentlichen senkrecht zur Strömungsrichtung des Flüssigmetall-Targets verläuft.
4. Röntgenstrahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Leitungsabschnitt (10, 20) einen Kanal (11) aufweist, in dem das Flüssigmetall-Target fließt und der im Bereich des ersten Schlitzes (23) mit einer Querschnittsverengung versehen ist.
5. Röntgenstrahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Leitungsabschnitt (30, 40) zwischen der Elektronenquelle (3) und dem ersten Leitungsabschnitt (10, 20) angeordnet ist und einen zweiten, im wesentlichen rechteckigen Schlitz (34a, 34b) aufweist, durch den der Elektronenstrahl in den ersten Schlitz (23) des ersten Leitungsabschnitts fällt.
6. Röntgenstrahler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Leitungsabschnitt (30, 40) zwei Kanäle (31, 32) für das Kühlmittel aufweist, die im wesentlichen parallel verlaufen, im Bereich des zweiten Schlitzes (34a) jedoch so divergieren, dass sie eine im wesentlichen kreissegmentähnliche Fläche (35) einschließen, in der der zweite Schlitz liegt.
7. Röntgenstrahler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine Öffnung (346) des zweiten Schlitz (34a) in einer in den zweiten Leitungsabschnitt (30, 40) eingebrachten, im wesentlichen kreissegmentähnlichen Einsenkung (43) der äußeren Fläche liegt.
8. Röntgenstrahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Leitungsabschnitt (10, 20; 30, 40) an einen gemeinsamen Kreislauf für das Flüssigmetall-Target angeschlossen sind, wobei das Flüssigmetall in dem zweiten Leitungsabschnitt als Kühlmittel dient.
9. Röntgengerät mit einem Röntgenstrahler nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
DE10062928A 2000-12-16 2000-12-16 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target Withdrawn DE10062928A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10062928A DE10062928A1 (de) 2000-12-16 2000-12-16 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
EP01000722A EP1215707B1 (de) 2000-12-16 2001-12-06 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
DE50107672T DE50107672D1 (de) 2000-12-16 2001-12-06 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
US10/014,185 US6477234B2 (en) 2000-12-16 2001-12-11 X-ray source having a liquid metal target
JP2001380607A JP3754361B2 (ja) 2000-12-16 2001-12-13 液体金属ターゲットを有するx線源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10062928A DE10062928A1 (de) 2000-12-16 2000-12-16 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10062928A1 true DE10062928A1 (de) 2002-06-20

Family

ID=7667538

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10062928A Withdrawn DE10062928A1 (de) 2000-12-16 2000-12-16 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
DE50107672T Expired - Lifetime DE50107672D1 (de) 2000-12-16 2001-12-06 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50107672T Expired - Lifetime DE50107672D1 (de) 2000-12-16 2001-12-06 Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6477234B2 (de)
EP (1) EP1215707B1 (de)
JP (1) JP3754361B2 (de)
DE (2) DE10062928A1 (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10130070A1 (de) * 2001-06-21 2003-01-02 Philips Corp Intellectual Pty Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
DE10147473C2 (de) * 2001-09-25 2003-09-25 Siemens Ag Drehanodenröntgenröhre
JP2005520289A (ja) * 2002-03-08 2005-07-07 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 液体金属アノードを有するx線発生装置
DE102004013620B4 (de) * 2004-03-19 2008-12-04 GE Homeland Protection, Inc., Newark Elektronenfenster für eine Flüssigmetallanode, Flüssigmetallanode, Röntgenstrahler und Verfahren zum Betrieb eines solchen Röntgenstrahlers
DE102004015590B4 (de) * 2004-03-30 2008-10-09 GE Homeland Protection, Inc., Newark Anodenmodul für eine Flüssigmetallanoden-Röntgenquelle sowie Röntgenstrahler mit einem Anodenmodul
CN100565771C (zh) * 2004-04-13 2009-12-02 皇家飞利浦电子股份有限公司 具有液态金属阳极的用于产生x射线的装置
DE102004031973B4 (de) * 2004-07-01 2006-06-01 Yxlon International Security Gmbh Abschirmung einer Röntgenquelle
SE530094C2 (sv) * 2006-05-11 2008-02-26 Jettec Ab Metod för alstring av röntgenstrålning genom elektronbestrålning av en flytande substans
DE102008026938A1 (de) * 2008-06-05 2009-12-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Strahlungsquelle und Verfahren zum Erzeugen von Röntgenstrahlung
HUP1000635A2 (en) * 2010-11-26 2012-05-29 Ge Hungary Kft Liquid anode x-ray source
US20140161233A1 (en) * 2012-12-06 2014-06-12 Bruker Axs Gmbh X-ray apparatus with deflectable electron beam
EP3385976A1 (de) * 2017-04-05 2018-10-10 Excillum AB Dampfüberwachung

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3246146A (en) * 1963-07-11 1966-04-12 Ass Elect Ind Apparatus for the X-ray analysis of a liquid suspension of specimen material
US4953191A (en) * 1989-07-24 1990-08-28 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High intensity x-ray source using liquid gallium target
US5052034A (en) * 1989-10-30 1991-09-24 Siemens Aktiengesellschaft X-ray generator
DE19821939A1 (de) * 1998-05-15 1999-11-18 Philips Patentverwaltung Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002289125A (ja) 2002-10-04
JP3754361B2 (ja) 2006-03-08
EP1215707B1 (de) 2005-10-12
DE50107672D1 (de) 2005-11-17
EP1215707A3 (de) 2004-02-11
EP1215707A2 (de) 2002-06-19
US20020080919A1 (en) 2002-06-27
US6477234B2 (en) 2002-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112010002512B4 (de) Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung und Untersuchungsvorrichtung, die diese verwendet
DE10062928A1 (de) Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
DE19734054A1 (de) Druckschaltungsplatine mit auf ihr aufgebrachten elektronischen Bauelementen
DE102010011581A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines 2D-Kollimatorelements für einen Strahlendetektor sowie 2D-Kollimatorelement
DE102007046278A1 (de) Röntgenröhre mit Transmissionsanode
DE112012003176B4 (de) Elektronenkanone und Ladungsteilchenstrahlvorrichtung
DE19544203A1 (de) Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre
DE2814929A1 (de) Bestrahlungsvorrichtung
DE102006060135A1 (de) Struktur zum Einfangen von gestreuten Elektronen
EP0021441B1 (de) Elektronenbeschleuniger zur Röntgenstrahlentherapie
EP2283508B1 (de) Strahlungsquelle und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung
WO2015121069A1 (de) Kühlanordnung für ein computersystem
WO2013007484A1 (de) Monochromatische röntgenquelle
DE3514700A1 (de) Roentgenroehre
DE102004015590B4 (de) Anodenmodul für eine Flüssigmetallanoden-Röntgenquelle sowie Röntgenstrahler mit einem Anodenmodul
DE102008004322B4 (de) Luftzuführanordnung für eine Gehäusewand eines Geäuses und Gehäuse mit einer Luftzuführanordnung
DE102010039214B4 (de) Flüssigkeitskühlung einer Röntgenröhre
DE102012103974A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden Brennflecks
EP1895327B1 (de) Löschen einer Speicherleuchtstoffschicht
DE102010020151A1 (de) Thermionischer Flachemitter und zugehöriges Verfahren zum Betrieb einer Röntgenröhre
WO2008006552A1 (de) Flüssigkeitsgekühltes target zur erzeugung von elektromagnetischer strahlung
EP3217408B1 (de) Fokussierungsmodul für einen formfilter und formfilter zum einstellen einer räumlichen intensitätsverteilung eines röntgenstrahls
DE60120902T2 (de) Drehanode mit kompakter abschirmvorrichtung
DE1200962B (de) Drehanodenroentgenroehre
DE69821746T2 (de) Röntgenröhre mit einem an die Brennpunktform angepassten Kühlprofil

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH, 20

8139 Disposal/non-payment of the annual fee