EP0726152A2 - Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahldruckkopf - Google Patents

Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahldruckkopf Download PDF

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EP0726152A2
EP0726152A2 EP96250101A EP96250101A EP0726152A2 EP 0726152 A2 EP0726152 A2 EP 0726152A2 EP 96250101 A EP96250101 A EP 96250101A EP 96250101 A EP96250101 A EP 96250101A EP 0726152 A2 EP0726152 A2 EP 0726152A2
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EP
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chambers
plate
parts
areas
etching
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EP0726152B1 (de
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Stephan Günther
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Francotyp Postalia GmbH
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    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet

Definitions

  • the invention relates to a manufacturing method for an ink jet print head according to the type specified in the preamble of claim 1.
  • Such an ink jet printhead can be used in small, fast printers. These are used, for example, for franking machines for franking mail.
  • ink jet print heads are constructed according to the edge shooter or face shooter principle (First annual ink jet printing workshop, March 26-27, 1992, Royal Sonesta Hotel, Cambridge, Massachusetts). Efforts have been made to minimize the dimensions of the chambers to increase the nozzle density. The nozzle chambers have also been arranged in a concentrated manner towards the front edge. However, this principle only makes sense for inkjet modules with a few nozzles in a row and fails with a large number of nozzles.
  • a nozzle plate was then placed in front of a one-piece, multi-chamber ink jet printhead.
  • the chambers are no longer parallel to each other with the smaller chamber area, but now with the larger chamber area.
  • the piezo crystals form the chamber walls (shared wall concept, Ink Jet Printing Conference, November 11-13, 1991).
  • DE 34 45 761 A1 discloses a method for producing a transducer arrangement from a single plate of a transducer material. After coating the lower plate surface with a membrane layer, material is removed from the upper surface in order to produce separate areas which are arranged on the membrane above each pressure chamber (area 25.4 mm * 2.54 mm). This eliminates the need for an adhesive bond between the transducer material and the membrane and the uniformity of all distances is improved. The resulting nozzle spacing is, however, relatively large.
  • Such an offset arrangement of two rows of nozzles is also known for an edge shooter module - shown in FIG. 2 (First Annual Ink Jet Printing Workshop, March 26-27, 1992, Royal Sonesta Hotel, Cambridge, Massachusetts).
  • a module consists of a total of only three parts (glass pieces), a central part with openings and two side parts, each with a row of ink chambers and a row of nozzles on the front side of the respective side part.
  • the two rows of ink chambers and the rows of nozzles on the front of the respective side part are offset from one another, which again brings with it the disadvantages already mentioned when assembling the module and when actuating.
  • an ink jet print head having an in-line module with an edge ejection is proposed .
  • the process for manufacturing the inkjet printhead is based on the CAD development of a printhead design and a mask production for a photosensitive glass plate.
  • the masked glass plates are exposed at least once to radiation with a corresponding wavelength of UV light with subsequent heat treatment.
  • the areas to be removed are then removed (etched out) from the plate and then the individual parts for the middle part and the parts carrying the chambers are separated.
  • the duration of the etching bath determines the layer thickness of the removed material.
  • Three individual parts each consisting of two Chamber-bearing parts and a middle part, are aligned and tacked together and then annealed.
  • nozzle channels and the cavities (chambers) and the outer edge of the module are specially treated before the printhead is contacted and installed.
  • the invention is based on the fact that when the edges are ejected, the row of nozzles with a high number of nozzles can be accommodated in a side part of a module. For the first time, a higher nozzle density can be achieved in the manner according to the invention, completely independently of the dimensions of the ink chambers.
  • the dimensions of the ink chambers can now even be increased without reducing the nozzle density.
  • Such an inkjet print head can advantageously be constructed from a plurality of modules, only one of the modules carrying the row of nozzles or consisting of a multi-part module. It is furthermore provided that the end edge of the chamber-bearing part, which carries the row of nozzles, is arranged at the edge or in the middle of a module.
  • FIG. 1a shows the known principle of an edge shooter inkjet print head in a perspective view. It consists of a module with two rows of nozzles offset from one another in the y direction. A first group 101 of ink chambers belongs to the nozzle group 1.1 of the first row and a group 102 of ink chambers to the nozzle group 1.2 of the second row.
  • FIG. 1b shows the known principle of a face shooter ink jet ink jet print head in a perspective view. It consists of a module, in the base of which two nozzle groups 1.1 and 1.2 offset in the z direction lie in a row. A group of ink chambers 101 and 102 for the nozzle group 1.1 and for the offset nozzle group 1.2 is supplied with ink from a suction chamber 151 and 152, respectively.
  • FIG. 1 c shows a perspective view of the principle according to the invention of an edge shooter ink jet in-line print head (ESIJIL). It consists of a module, on the end face of which k ⁇ 2 nozzle groups 1.1, 1.2, etc., which are horizontally offset from one another, lie in a row.
  • the ink flow from the chamber groups 101-104 in the volume of the module is directed to the front edge of the first chamber-bearing part, which forms a side part of the module.
  • the chambers of a group 101-104 are staggered in the y direction and their associated outgoing ink channels are guided to the printing edge in such a way that they form nozzles 1.1-1.4 which are in a row but are nevertheless very close apart. This is achieved in FIG.
  • FIG. 2 The construction of a known two-row edge shooter ink jet module shown in FIG. 2 consists of 3 ceramic or glass parts.
  • a first part which bears a first chamber group on its left side, is connected via a middle part to a second part, which bears a second chamber group on its right side, in the y direction such that the chambers lie against the inside of the middle part and laterally to one another are offset (horizontally).
  • Each chamber is connected to a suction chamber via a first channel and to the front edge of the module via a second channel.
  • Each of the second channels forms a nozzle. It is relatively difficult to exactly maintain the distance between the two rows of nozzles.
  • the middle part has a first opening which connects the suction spaces of both outer parts to one another and to an ink supply opening. There are also openings for the fasteners.
  • An ink chamber group 101 and the suction space 15 are located on the left side of the first part 2, which is not visible in FIG. 3.
  • the part 4 containing the second chambers does not carry any nozzles but only the second ink chamber group 102, which is supplied with ink via the second openings 14 of the middle part 3.
  • the associated further nozzles are connected to the ink chambers of the second part 4 via the third openings in the middle part 3.
  • Parts 2 - 4 are assembled in the direction of the y-axis.
  • the x-ray image of the ESIJIL printhead module according to the invention shown in FIG. 4 in plan view illustrates the in-line arrangement of the nozzles and the lateral offset of the ink chamber groups 101 of the first chamber-bearing part 2 and the group 102 of the second chamber-bearing part 4 the position of the first opening 18 in the middle part 3 to the ink supply opening 16 and the suction space 15, the second openings 14 which are in communication with the suction space 15 and the third openings 9 which supply the ink to the nozzles of the second nozzle group 1.2. It is contemplated that the nozzles of nozzle group 101 alternate with the nozzles of nozzle group 102 within the row of nozzles.
  • FIG. 5a A detail of the X-ray image from FIG. 4 is shown enlarged in FIG. 5a.
  • the chambers 11 of the first chamber group 101 located in the first part 2 are assigned nozzles of the first nozzle group 1.1 in the same part 2.
  • the chamber 11 is supplied with ink from a suction chamber 15 via one of the channels 13.
  • a corresponding section on the line AA through the drawing in Figure 5a is shown in Figure 5b.
  • the chambers 12 of the second chamber group 102 located in the second part 4 are assigned nozzles of the second nozzle group 1.2 in the other chamber-carrying part 2, as can be seen from the section BB shown in FIG. 5c.
  • Ink passes from the suction chamber 15 located in the first chamber-bearing part 2 via a other of the channels 13 and via one of the second openings 14 located in the middle part 3 into the chamber 12 of the second chamber-bearing part 4. From the chamber 12 to the corresponding nozzle in the first chamber-bearing part 2 there is a connection via a respective one third opening 9 in the middle part 3.
  • FIG. 6a, b, c and d show a second variant of the solution according to the invention.
  • FIG. 6a shows a top view of a detail as an X-ray image
  • FIG. 6d shows a front view of a print head as an X-ray image. Sections C-C, D-D and E-E are superimposed on the x-ray image in the view in FIG. 6d. The position of the ink chamber groups 101, 102, 103 and 104 can be seen from this in connection with FIG. 6a.
  • FIG. 6b shows a superimposition of sections through the lines A-A and A1-A1 of FIGS. 6a and 6d.
  • FIG. 6c shows a superimposition of sections through the lines B-B and B1-B1 of FIGS. 6a and 6d.
  • a respective second nozzle group 1.2 in the first part is connected to a chamber 12 of the second chamber group 102 in the second chamber-carrying part, which is arranged offset with respect to a chamber 11 of the first chamber group 101 of the first chamber-carrying part 2, the second chamber group 102 passing through Openings 14 in the center piece 3 is supplied with ink.
  • second openings 14 in the center piece 3 for supplying the second nozzle group 1. 2 with ink.
  • openings 9 in the respective middle piece are openings 10 in the first chamber-carrying part and a connection of the second chambers supporting part for connecting the chambers of each second chamber group 102 with the nozzle channels of the second nozzle group 1.2 in the first chamber-carrying part.
  • the ink chambers 11, 12 are supplied in each of the first and second chamber-carrying parts from a common suction chamber 15 in the first chamber-carrying part.
  • the ink is supplied to the suction chamber 15 via an opening 16 in that part 2 which forms a side part of the print head, and via corresponding openings 18, 22 in the respective center piece and further openings 17, 19, 21 in the parts 2, 4, 6 carrying the chambers and an opening 20 in the spacer 5.
  • a piezoelectric element 31 serves as a well-known means for driving ink out of a chamber and can be arranged on the chamber surface or in the chamber in order to exert pressure on the flexible chamber wall when it is excited To exert ink liquid in the chamber, causing an ink jet to emerge from the nozzle connected to the chamber.
  • Such a piezoelectric element 31 is arranged on the chamber surface in FIGS. 6b, 6c and 6d.
  • the chamber 12 is separated from the element 31 by a thin layer 30 consisting of the material of the chamber-carrying part 4, which is so elastic that the bending energy of the element 31 is only insignificantly damped.
  • a spacer 5 has a corresponding recess 32 for the piezoelectric element 31.
  • an elongated opening in the chambers-carrying parts are each provided with a correspondingly rotated by 90 o in the elongated aperture Middle parts and spacers are connected.
  • An inkjet print head constructed from such individual modules has no tolerance problems when assembling.
  • the shape of the openings can be oval or an elongated hole, the small diameter of the openings determining the passage cross section for the ink flow. If there is a greater deviation from the round or rectangular cross section, the openings 9 and 10 can also be arranged in two rows on lines C-C and D-D.
  • a module is composed of 3 parts each and is provided with piezoelectric elements and contacted.
  • a second module is joined together with the first module via a spacer 5 to form an ESIJIL printhead, the second module with parts 6, 7, 8 not having any nozzles, but only corresponding openings which correspond to the openings provided in parts 2 , 3, 4 of the first module are connected.
  • an ESIJIL printhead is built from a single, multi-part module.
  • FIG. 7a shows a front view with the in-line nozzle row and
  • FIG. 7b shows an X-ray image of the front view or an overlay of the sections through the lines C-C and E-E. All third openings lie on this line C-C. There are no further openings on a line D-D. It can be seen that the nozzle dimensions alone determine the maximum number of nozzles in the row. If there is a need for enlarged chamber dimensions, only the volume of the print head would have to be increased. Of course, it is also possible, if required, to solve higher tolerance requirements by means of the measures with third openings on a line D-D explained in FIG. 6.
  • the spacer parts are in two parts and consist of the same material as the piezoelectric elements (marked in black). These elements are worked out from the piezoelectric material, which is arranged on the chamber surface, but the edge is retained and cavities 32 are formed only in the immediate vicinity of the elements 31. Ink supply openings as well as second and third openings are worked out in the edge. After the piezoelectric elements are worked out, these are contacted, conductor tracks also being able to run on the chamber bottom and / or outside on the layer 30.
  • FIG. 8 shows the individual steps for a manufacturing process for the ESIJIL printhead according to the invention.
  • the process for manufacturing the inkjet printhead is based on the CAD development of a printhead design and a mask production for a photosensitive glass plate.
  • a photosensitive plate made of amorphous glass is masked and exposed to UV radiation.
  • the irradiated areas can later be etched approximately 100 times faster than unirradiated areas. After heat treatment, UV radiation is repeated.
  • the masked glass plates are exposed at least once to radiation with a corresponding wavelength of UV light with subsequent heat treatment.
  • the areas to be removed are then removed (etched out) from the plate and then the individual parts for the middle part and the parts carrying the chambers are separated.
  • the parallel processing steps for several parts of a module include masking and then etching the through openings.
  • the duration of the Etching bath determines the layer thickness of the removed material.
  • the old mask layer is removed by fine grinding the surface of the chamber parts. The surface is then masked in the areas that should not be deep-etched. After the etching of the ink chambers, the individual parts are finely ground to a final dimension and then masked to produce the supply channels and the ink nozzle channels, which should have a lower depth than the chambers. The material is removed again by etching. In special cases, only the etching sensitivity of the UV-irradiated areas of the material is used and a mask can be omitted.
  • etchants with different concentrations are used for the three areas in order to be able to remove the corresponding areas with different depth accuracy, the depth accuracy when etching the areas for through bores being lower than when etching very flat areas for the channels in the parts carrying the chambers and first the through holes, then the chambers and then the nozzle channels are etched. It is further contemplated that the thickness of the bottom layer 30 is monitored as the chambers are etched and that the thickness of the bottom layer 30 of the chambers required to complete the manufacture of the chambers is achieved by fine grinding each of the parts carrying the chambers.
  • the individual parts are connected in a module, with the individual parts being aligned. After the individual parts have been tacked together, a module is created, which is then tempered. During tempering, a phase transition from amorphous to crystalline takes place in the glass material.
  • nozzle channels and the cavities (chambers) and the outer edge of the module are specially treated before the printhead is contacted and installed.
  • Rinsing with a first suitable commercially available liquid creates a hydrophilic inner coating.
  • a hydrophobic outer coating is achieved by treating the front edge with a second suitable liquid. After the top layer has hardened, the nozzles are finished.
  • the application of the electrical conductor tracks to the chamber surface, the application of the piezo crystals and the contacting are carried out in a manner known per se.
  • the piezo crystals can be glued on individually and then hardened.
  • a layer of piezoelectric material can also be applied to the chamber surface, which is then structured and contacted. Coating can be done by sputtering.
  • the individual parts can be carried out in one step. This requires that the UV exposure be repeated through different masks before the plate is etched. Another possibility is UV exposure with different intensities.
  • the plate then has a different sensitivity during etching in different areas.
  • the dividing line between the individual parts is also etched, which simplifies subsequent separation.
  • the mask to be applied contains recessed areas for the chambers and the bores at the same time. After the etching, fine grinding takes place to the final dimension when the thickness of the layer 30 on the chamber bottom is reached.
  • the production of the ink nozzles and the piezoelectric elements, as well as the edge production, is carried out in the known manner mentioned above. In this variant the bottom of the chamber is used for contacting. Then the plate is divided into individual parts, which are then assembled into a module.
  • piezoelectric elements are also fitted or contacted only or the back of the chamber surface.
  • the middle parts can also be provided with conductor tracks. This means that cables can be routed from the other layers to the upper layers of the module without crossing, even if a large number of elements have to be contacted.
  • the individual module parts are aligned and annealed, with a phase transition from amorphous to crystalline. It is envisaged that spacer parts lie between the modules or are additionally arranged and that the spacer parts are produced from the plate material or from a layer of piezoelectric material applied to the surface of the plate, structuring being carried out by etching.
  • a printhead can be assembled from several modules or consists of only one module that follows has externally guided conductor tracks that are contacted externally.
  • the printhead is then housed in a housing and can be tested for functionality to remove faulty copies.
  • the plate material or a part of the individual parts consists of a photosensitive ceramic. Glass parts and / or ceramic parts can also be connected to one another by an adhesive connection.
  • the invention is not limited to the present embodiment. Rather, a number of variants are conceivable which make use of the solution shown, even in the case of fundamentally different types.

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

Das Herstellungsverfahren ist insbesondere für einen Tintenstrahldruckkopf nach dem Edge-Shooter-Prinzip geeignet, bei welchem jedes Kammern tragendes Teil mit Mitteln zum Zuführen und zum Austreiben von Tinte aus jeweils einer Düse zugeordneten Kammer ausgerüstet ist und bei welchem alle Düsen in einer einzigen Reihe liegen. Nach einer Vorbehandlung des Plattenmaterials zur Erzielung vorgenannter Teile, aus welchen der Druckkopf sich aufbaut, erfolgt ein Maskieren und Ätzen aller Platten in einem parallelen Plattenbearbeitungsprozeß für alle Einzelteile, wobei eine spezielle Bearbeitung von Kammern tragenden Teilen vorgesehen ist. Separierte fertiggestellte Einzelteile werden zu einem Modul verbunden, um ihn anschließend zu tempern. Nach einem Kontaktieren, Aufbringen der Piezo-Elemente wird das Modul gereinigt bevor ein Montieren zum Druckkopf mit anschließendem Test erfolgt. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahldruckkopf gemäß der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art.
  • Ein solcher Tintenstrahldruckkopf kann in kleinen schnellen Druckern eingesetzt werden. Solche werden beispielsweise für Frankiermaschinen zum Frankieren von Postgut verwendet.
  • Es ist bekannt, daS Tintenstrahldruckköpfe nach dem Edge-shooter- oder nach dem Face-shooter-Prinzip aufgebaut sind (First annual ink jet printing workshop, March 26-27, 1992, Royal Sonesta Hotel, Cambridge, Massachusetts). Bisher wurden Anstrengungen unternommen, die Abmaße der Kammern zu minimieren, um die Düsendichte zu erhöhen. Auch wurden bereits die Düsenkammern zur Stirnkante hin konzentriert angeordnet. Jedoch ist dieses Prinzip nur bei Tintenstrahlmodulen mit wenigen Düsen in einer Reihe sinnvoll und versagt bei einer hohen Anzahl von Düsen.
  • Es ist hinlänglich bekannt, daß eine erste Generation von Tintenstrahldruckköpfen nach dem Edge-shooter-Prinzip aus einzelnen Impulsstrahlern aufgebaut waren, die aus einer länglichen Tintenkammer mit rechteckigen Querschnitt und einem darüber angeordneten aufgeklebten Piezokristall bestehen (BIS CAP Ink Jet Printing Conference, Monterey, California, 11-13.November 1991).
  • Bei einer späteren Generation wurde dann eine Düsenplatte vor einen einstückigen Tintenstrahldruckkopf, der mehrere Kammern aufweist, angeordnet. Die Kammern liegen nicht mehr mit der kleineren Kammerfläche, sondern nunmehr mit der größeren Kammerfläche parallel nebeneinander. Die Piezokristalle bilden dabei die Kammerwände (shared wall concept, Ink Jet Printing Conference, 11-13.November 1991).
  • Aus der DE 34 45 761 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung einer Wandleranordnung aus einer einzelnen Platte eines Wandlerwerkstoffes bekannt. Nach dem Beschichten der unteren Plattenoberfläche mit einer Membranschicht erfolgt eine Materialentfernung aus der oberen Oberfläche, um getrennte Bereiche zu erzeugen, die auf der Membran oberhalb jeder Druckkammer (Fläche 25,4 mm * 2,54 mm) angeordnet sind. Damit entfällt die Notwendigkeit mittels Klebstoff eine Haftverbindung zwischen Wandlerwerkstoff und Membran herzustellen und die Gleichmäßigkeit aller Abstände wird verbessert. Der resultierende Düsenabstand ist jedoch relativ groß.
  • Weiterhin ist aus der US 46 80 595 ein Face-shooter mit einer Düsenlinie zwischen zwei Gruppen von Tintenkammern bekannt, der eine verdoppelte Düsendichte aufweist. Jeder rechteckigen Druckkammer sind ein Versorgungskanal und eine Düse sowie eine Schwingplatte mit piezokeramischem Element zugeordnet. Nachteilig ist hierbei jedoch, daß die in der Tintenzuführung und in jeder Kammer auftretenden Druckwellen ein Übersprechen auf weitere Druckkammern bewirken können. Nur durch sehr aufwendige Maßnahmen kann dieses Übersprechen nachträglich beseitigt werden. Ein weiterer Nachteil ist, daß diese Tintenstrahldruckköpfe in einem aufwendigen und teuren Herstellungsprozeß hergestellt werden müssen.
  • Aus der US 47 03 333 ist auch bekannt, solche aus schräg übereinander versetzt angeordneten Face-shooter-Modulen aufgebauten Tintenstrahldruckköpfe für eine geneigte Anordnung zur Oberfläche eines Aufzeichnungsträgers herzustellen. Tintenstrahldruckköpfe mit einer geneigten Anordnung zur Oberfläche eines Aufzeichnungsträgers erzeugen eine gleichmäßigere Aufzeichnung auch bei schwankender Dicke des Aufzeichnungsträgers. Die Herstellung solcher Druckköpfe erfordert jedoch eine Vielzahl von Herstellungsschritten. Es ist schwierig, die erforderliche Genauigkeit bei einem solch aufwendigen Gesamtaufbau jedes Druckkopfes zu garantieren. Ebenfalls aufwendig gestaltet sich auch die beim Betrieb erforderliche elektrische Ansteuerung solcher Druckköpfe mit gegeneinander versetzten Düsenreihen.
  • Die bereits beim Face-shooter-ink-jet-Modul mit zwei symmetrisch zur Düsenlinie angeordneten Gruppen von Tintenkammern erreichte doppelte Düsendichte in einer Reihe wird bisher bei Edge-shooter-ink-jet-Modulen mit einer Düsenreihe nicht erreicht. Um die doppelte Abbildungsdichte zu erreichen, werden mehrere Düsenreihen zueinander horizontal und vertikal versetzt angeordnet.
  • Eine solche versetzte Anordnung von zwei Düsenreihen ist auch bei einem - in der Figur 2 gezeigten - Edge-shooter-Modul bekannt (First Annual Ink Jet Printing Workshop, March 26-27, 1992, Royal Sonesta Hotel, Cambridge, Massachusetts). Ein derartiger Modul besteht aus insgesamt nur drei Teilen (Glasstücken), einem Öffnungen aufweisenden Mittelteil und zwei Seitenteilen mit jeweils einer Reihe an Tintenkammern und einer Düsenreihe an der Stirnseite des jeweiligen Seitenteils. Die beiden Reihen an Tintenkammern und die Düsenreihen an der Stirnseite des jeweiligen Seitenteils sind dabei zueinander versetzt, was wieder die bereits genannten Nachteile beim Zusammenfügen des Moduls und bei der Ansteuerung mit sich bringt.
  • Diese Nachteile verschärfen sich noch zusätzlich, wenn ein Tintendruckkopf aus mehreren solchen Modulen zusammengesetzt ist. So muß der Versatz der einzelnen Düsenreihen exakt gleich sein. Außerdem wäre jeder Modul einzeln jeweils über eine Tintenzuführungsleitung und jeweils einen Filter an einen Tintenvorratsbehälter anzuschließen.
  • Bei einer gegeneinander versetzten Anordnung von zwei Reihen mit jeweils einer geringen Düsendichte in jeder Reihe sind aufgrund einer erforderlichen Mindestgröße der Tintenkammer die minimalen Abstände zwischen den Düsen nicht weiter reduzierbar.
  • Herstellungsbedingt ist es unmöglich, für alle Düsen eine gleichbleibende Düsengröße zu erreichen, denn es müssen Kanäle in separate Glasstücke geätzt werden. Bereits geringe Größen- oder Materialunterschiede zwischen den Glasstücken führen zu Abweichungen der Düsenform und Position.
  • Es ist Aufgabe, die Nachteile des Standes der Technik zu beseitigen und ein Herstellungsverfahren mit niedrigen Herstellungskosten für einen Ink-jet-Druckkopf mit einer hohen Düsendichte pro Reihe zu schaffen.
  • Die Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
  • Ausgehend von der Zielstellung, Tintenstrahldruckköpfe für eine geneigte Anordnung zur Oberfläche eines Aufzeichnungsträgers herzustellen, um eine gleichmäßigere Aufzeichnung auch bei schwankender Dicke des Aufzeichnungsträgers zu erzeugen, wird ein Ink-jet-Druckkopf, der einen In-Line-Modul mit einem Kantenausstoß aufweist, vorgeschlagen.
  • Das Verfahren zur Herstellung des Tintenstrahldruckkopfes, geht von der CAD-Entwicklung eines Druckkopfdesigns und einer Maskenherstellung für eine photosensible Glasplatte aus.
  • Zur Erzeugung der gegen Ätzmittel empfindlichen aus der Glasplatte zu entfernenden Teile werden die maskierten Glasplatten mindestens einmal einer Bestrahlung mit UV-Licht entsprechender Wellenlänge mit anschließender Wärmebehandlung ausgesetzt.
  • In einem parallelen Bearbeitungsprozeß werden dann die zu entfernenden Bereiche aus der Platte entfernt (herausgeätzt) und danach die Einzelteile für das Mittelteil und die Kammern tragenden Teile separiert.
  • Anschließend erfolgen gesonderte Herstellungsverfahrensschritte für die Kammern tragenden Teile, um die Tintenkammern und die Düsen herzustellen. Die Dauer des Ätzbades bestimmt dabei die Schichtdicke des entfernten Materials.
  • Jeweils drei Einzelteile, bestehend aus jeweils zwei Kammern tragenden Teilen und einem Mittelteil, werden ausgerichtet und aneinandergeheftet sowie anschließend getempert.
  • Zum Abschluß erfolgt eine Sonderbehandlung der Düsenkanäle und der Hohlräume (Kammern) und der Außenkante des Moduls, bevor der Druckkopf kontaktiert und montiert wird.
  • Die Erfindung geht davon aus, daß beim Kantenausstoß die Düsenreihe mit einer hohen Düsenzahl in einem Seitenteil eines Moduls untergebracht werden kann. Erstmalig ist auf erfindungsgemäße Weise eine höhere Düsendichte, völlig unabhängig von den Abmaßen der Tintenkammern, erreichbar.
  • Die Abmaße der Tintenkammern können nun sogar vergrößert werden, ohne daß die Düsendichte vermindert wird.
  • Die weiteren Vorteile neben der erhöhten Düsendichte des Edge-Shooter-Ink-Jet-In-Line-Druckkopfes (ESIJIL-Druckkopf) sind:
    • Durch die in demselben Glasstück angeordneten Düsen, ist es möglich, für alle Düsen eine gleichbleibende Düsengröße und einen gleichen Abstand zu erreichen. Das ist dann der Fall, wenn vor dem Diffusions-Bond-Prozeß entsprechende Kanäle in das das Seitenteil des Moduls bildende Glasstück geätzt werden. Das reduziert auch die Herstellungskosten.
    • Gegenüber der üblichen Konstruktion mit einer horizontalen Ausrichtung von zwei Reihen von Düsen ist ein Überlappen des jeweils zweiten Kammern tragenden Teils mit einer versetzten Kammergruppe mit größerer Toleranz möglich.
    • Die erfindungsgemäße vertikale Ausrichtung des Teils mit den Düsen und eines Kammern tragenden Teils mit einer seitlich versetzten Kammergruppe ist unkritisch, da alle Düsen nur auf einer Seite des Druckkopfes sind. Dies reduziert auch die Kosten.
    • Die Düsenreihe macht es in unaufwendiger Weise möglich, den Druckkopf in einer geneigten Anordnung zum Aufzeichnungsträger anzuordnen.
    • Die elektrische Ansteuerung des Tintenstrahldruckkopfes kann einfacher ausgeführt werden, weil keine Kompensation des Düsenreihenabstandes durch zeitliche Staffelung der Drucksteuersignale erforderlich ist.
  • In vorteilhafter Weise kann ein solcher Tintenstrahldruckkopf aus mehreren Modulen aufgebaut sein, wobei nur einer der Module die Düsenreihe trägt oder aus einem mehrteiligen Modul besteht. Es ist weiterhin vorgesehen, daß die Stirnkante des Kammern tragenden Teils, das die Düsenreihe trägt, am Rand oder in der Mitte eines Moduls angeordnet ist.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet bzw. werden nachstehend zusammen mit der Beschreibung der bevorzugten Ausführung der Erfindung anhand der Figuren näher dargestellt. Es zeigen:
    • Figur 1a,
    Prinzip eines Edge-Shooter-Ink-Jet-Druckkopfes nach dem Stand der Technik
    Figur 1b,
    Prinzip eines Face-Shooter-Ink-Jet-Druckkopfes nach dem Stand der Technik
    Figur 1c,
    Prinzip des erfindungsgemäßen Aufbaues eines Edge-Shooter-Ink-Jet-In-Line-Druckkopfes
    Figur 2,
    Aufbau eines Edge-Shooter-Ink-Jet-Druckkopfes nach dem Stand der Technik
    Figur 3,
    Aufbau des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes in einer ersten Variante
    Figur 4,
    Röntgenbild des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes in Draufsicht,
    Figur 5a,
    Detail des Röntgenbildes
    Figur 5b,
    Schnitt durch die Linie A-A
    Figur 5c,
    Schnitt durch die Linie B-B
    Figur 6a,
    Detail des Röntgenbildes einer zweiten Variante des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes in Draufsicht,
    Figur 6b,
    Schnitt durch die Linie A-A
    Figur 6c,
    Schnitt durch die Linie B-B
    Figur 6d,
    Röntgenbild der Frontansicht
    Figur 7a,
    Frontansicht einer dritten Variante des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes,
    Figur 7b,
    Röntgenbild der Frontansicht nach Figur 7a
    Figur 8,
    Herstellungsverfahren für den erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes,
  • In der Figur 1a ist das bekannte Prinzip eines Edgeshooter-Tintenstrahldruckkopfes in perspektivischer Ansicht dargestellt. Er besteht aus einem Modul, an dessen Stirnseite zwei zueinander in y-Richtung versetzte Düsenreihen liegen. Dabei gehört zur Düsengruppe 1.1 der ersten Reihe eine erste Gruppe 101 an Tintenkammern und zur Düsengruppe 1.2 der zweiten Reihe eine Gruppe 102 an Tintenkammern.
  • In der Figur 1b ist das bekannte Prinzip eines Face-Shooter-Ink-Jet-Tintenstrahldruckkopfes in perspektivischer Ansicht dargestellt. Er besteht aus einem Modul, in dessen Grundfläche zwei zueinander in z-Richtung versetzte Düsengruppen 1.1 und 1.2 in einer Reihe liegen. Aus einen Ansaugraum 151 bzw. 152 wird jeweils eine Gruppe an Tintenkammern 101 bzw. 102 für die Düsengruppe 1.1 bzw. für die versetzten Düsengruppe 1.2 mit Tinte versorgt.
  • Die Figur 1c zeigt in perspektivischer Ansicht das erfindungsgemäße Prinzip eines Edge-Shooter-Ink-Jet-In-Line-Druckkopfes (ESIJIL). Er besteht aus einem Modul, an dessen Stirnseite k≧2 zueinander horizontal versetzte Düsengruppen 1.1, 1.2 usw. in einer Reihe liegen. Der Tintenfluß von den Kammergruppen 101 - 104 im Volumen des Moduls wird an die Stirnkante des ersten Kammern tragenden Teils, welches quasi ein Seitenteil des Moduls bildet, geleitet. Die Kammern einer Gruppe 101 - 104 sind dabei in y-Richtung gestaffelt und deren zugehörige abgehende Tintenkanäle werden so an die Druckkante geführt, daß sie Düsen 1.1 - 1.4 bilden, die in einer Reihe liegen aber dennoch einen sehr geringen Abstand haben. In der Figur 1c ist dies erreicht, in dem die abgehenden Tintenkanäle einen gewissen seitlichen Versatz in z-Richtung aufweisen. Ebenso können in einer anderen Ausführungsvariante die Kammern 101 - 104 selbst diesen seitlichen Versatz in z-Richtung aufweisen. Die Aneinanderreihung derartiger Anordnungen ergibt schließlich die gewünschte Zahl an Düsen in einer Reihe. In Fig. 1c sind der Übersicht halber nur zwei solche Anordnungen gezeichnet. Der seitliche Abstand der Düsen in z-Richtung ist dabei viel kleiner als der seitliche Abstand zweier in z-Richtung benachbarter Kammern 101 und 101 oder 102 und 102 usw. Die Tintentropfen werden aus den Düsen in x-Richtung ausgestoßen. Die Achsen x, y, z stehen jeweils orthogonal zueinander. Das Hinzufügen weiterer Kammern 105, 106 usw. in y-Richtung ist prinzipiell möglich, und lediglich vom Aufwand begrenzt. Seine positive Wirkung, nämlich Bildung nur einer Düsenreihe mit minimalem Düsenabstand, entfaltet das erfinderische Prinzip bereits mit 2 Kammergruppen 101 und 102.
  • Der Aufbau eines bekannten -in der Figur 2 gezeigtenzweireihigen Edge-Shooter-Ink-Jet-Moduls besteht aus 3 Keramik- oder Glasteilen. Ein erstes Teil, welches auf seiner linken Seite eine erste Kammergruppe trägt, wird über ein Mittelteil mit einem zweiten Teil, welches auf seiner rechten Seite eine zweite Kammergruppe trägt, so in y-Richtung verbunden, daß die Kammern innen am Mittelteil anliegen und zueinander seitlich (horizontal) versetzt sind. Jede Kammer ist über einen ersten Kanal mit einem Ansaugraum und mit einem zweiten Kanal mit der Stirnkante des Moduls verbunden. Jeder der zweiten Kanäle bildet eine Düse. Es ist relativ schwierig, den Abstand der beiden Düsenreihen exakt einzuhalten. Abweichungen führen aber bei konstanter zeitlicher Ansteuerung der beiden Düsenreihen zu Abweichungen im Druckbild, wodurch die Druckqualität gemindert wird. Das Mittelteil weist eine erste Öffnung auf, die die Ansaugräume beider Außenteile miteinander und mit einer Tintenzuführungsöffnung verbindet. Außerdem sind Öffnungen für die Befestigungsmittel vorhanden.
  • Der in der Figur 3 gezeigte Modul einer ersten Variante eines erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes (k=2) besteht ebenfalls aus 3 Teilen, wobei jedoch das erste Kammern enthaltene Teil 2 alle Düsen 1 trägt, wobei das Mittelteil 3 eine Anzahl an zweiten und dritten Öffnungen 14 und 9 zusätzlich zu der ersten Öffnung 18, welche die Tintenzuführungsöffnung 16 mit einem in der Figur 3 nicht dargestellten Ansaugraum 15 verbindet, aufweist. Eine Tintenkammergruppe 101 und der Ansaugraum 15 befinden sich auf der in der Figur 3 nicht sichtbaren linken Seite des ersten Teils 2. Das zweite Kammern enthaltene Teil 4 trägt keine Düsen sondern nur noch die zweite Tintenkammergruppe 102, welche über die zweiten Öffnungen 14 des Mittelteils 3 mit Tinte versorgt wird. Die zugehörigen weiteren Düsen sind über die dritten Öffnungen des Mittelteils 3 mit den Tintenkammern des zweiten Teils 4 verbunden. Die Teile 2 - 4 werden in Richtung der y-Achse montiert.
  • Das in der Figur 4 gezeigte Röntgenbild des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopf-Modules in Draufsicht verdeutlicht die In-Line-Anordnung der Düsen und den seitlichen Versatz der Tintenkammergruppen 101 des ersten Kammern tragenden Teiles 2 und der Gruppe 102 des zweiten Kammern tragenden Teiles 4, zeigt die Lage der ersten Öffnung 18 im Mittelteil 3 zu der Tintenzuführungsöffnung 16 und zum Ansaugraum 15, der zweiten Öffnungen 14, die mit dem Ansaugraum 15 in Verbindung stehen und der dritten Öffnungen 9, die die Tinte den Düsen der zweiten Düsengruppe 1.2 zuführen. Es ist vorgesehen, daß die Düsen der Düsengruppe 101 mit den Düsen der Düsengruppe 102 innerhalb der Düsenreihe alternieren.
  • In der Figur 5a ist ein Detail des Röntgenbildes aus der Figur 4 vergrößert dargestellt. Den im ersten Teil 2 gelegenen Kammern 11 der ersten Kammergruppe 101 sind Düsen der ersten Düsengruppe 1.1 in demselben Teil 2 zugeordnet. Aus einem Ansaugraum 15 wird die Kammer 11 über einen der Kanäle 13 mit Tinte versorgt. Ein entsprechender Schnitt auf der Linie A-A durch die Zeichnung in Figur 5a ist in der Figur 5b dargestellt. Den im zweiten Teil 4 gelegenen Kammern 12 der zweiten Kammergruppe 102 sind Düsen der zweiten Düsengruppe 1.2 im anderen Kammern tragenden Teil 2 zugeordnet, wie aus dem in der Figur 5c gezeigten Schnitt B-B ersichtlich ist. Aus dem im ersten Kammern tragenden Teil 2 gelegenen Ansaugraum 15 gelangt Tinte über einen anderen der Kanäle 13 und über eine der im Mittelteil 3 gelegenen zweiten Öffnungen 14 in die Kammer 12 des zweiten Kammern tragenden Teils 4. Von der Kammer 12 zur entsprechenden in dem ersten Kammern tragenden Teil 2 gelegenen Düse der Düsengruppe 12 besteht eine Verbindung über jeweils eine dritte Öffnung 9 im Mittelteil 3.
  • Die Figur 6a, b, c und d zeigen eine zweite Variante der erfindungsgemäßen Lösung. In der Figur 6a ist wieder eine Draufsicht auf ein Detail als Röntgenbild und in Figur 6d ist hierzu eine Vorderansicht eines Druckkopfes als Röntgenbild dargestellt. Dem Röntgenbild werden Schnitte C-C, D-D und E-E in der Ansicht Figur 6d überlagert. Daraus wird in Verbindung mit der Figur 6a die Lage der Tintenkammergruppen 101, 102, 103 und 104 ersichtlich. Die Figur 6b zeigt eine Überlagerung von Schnitten durch die Linien A-A und A1-A1 der Figuren 6a und 6d. Die Figur 6c zeigt eine Überlagerung von Schnitten durch die Linien B-B und B1-B1 der Figur 6a und 6d.
  • Die In-Line-Düsengruppen 1.1 - 1.4 von k=4 Kammergruppen 101,102,103, 104 befinden sich in einem jeweils ersten Teil 2, welches selbst nur eine erste 101 der k=4 Kammergruppen aufweist. Eine jeweils zweite Düsengruppe 1.2 im ersten Teil steht in Verbindung mit einer Kammer 12 der zweiten Kammergruppe 102 im zweiten Kammern tragenden Teil, die gegenüber einer Kammer 11 der ersten Kammergruppe 101 des ersten Kammern tragenden Teils 2 versetzt angeordnet ist, wobei die zweite Kammergruppe 102 durch Öffnungen 14 im Mittelstück 3 mit Tinte versorgt wird.
  • Erfindungsgemäß sind im Mittelstück 3 zweite Öffnungen 14 zur Versorgung der zweiten Düsengruppe 1.2 mit Tinte vorhanden. Gegenüber den Öffnungen 9 in dem jeweiligen Mittelstück sind Öffnungen 10 im jeweils ersten Kammern tragenden Teil und eine Verbindung des zweiten Kammern tragenden Teils zur Verbindung der Kammern der jeweils zweiten Kammergruppe 102 mit den Düsenkanälen der zweiten Düsengruppe 1.2 im jeweils ersten Kammern tragenden Teil vorhanden.
  • Aus jeweils einem gemeinsamen Ansaugraum 15 im jeweils ersten Kammern tragenden Teil erfolgt die Versorgung der Tintenkammern 11, 12 im jeweils ersten und jeweils zweiten Kammern tragenden Teil. Die Tintenzuführung zum Ansaugraum 15 geschieht über eine Öffnung 16 in demjenigen Teil 2, welches ein Seitenteil des Druckkopfes bildet, und über entsprechende Öffnungen 18, 22 im jeweiligen Mittelstück und weiteren Öffnungen 17, 19, 21 in den Kammern tragenden Teilen 2, 4, 6 und einer Öffnung 20 im Abstandsteil 5.
  • Ein - in den Figuren 1 bis 6a nicht gezeigtes - piezoelektrisches Element 31 dient als hinlänglich bekanntes Mittel zum Austreiben von Tinte aus einer Kammer und kann auf der Kammeroberfläche oder in der Kammer angeordnet sein, um bei seiner Erregung einen Druck über die nachgiebige Kammerwand auf die Tintenflüssigkeit in der Kammer auszuüben, was zum Austritt eines Tintenstrahls aus der an die Kammer angeschlossene Düse führt. In den Figuren 6b, 6c und 6d ist ein solches piezoelektrisches Element 31 auf der Kammeroberfläche angeordnet. So ist z.B. die Kammer 12 von dem Element 31 durch eine dünne aus dem Material des Kammern tragenden Teils 4 bestehenden Schicht 30 getrennt, welche so elastisch ist, daß die Biegeenergie des Elements 31 nur unwesentlich gedämpft wird. Ein Abstandsteil 5 weist eine entsprechende Aussparung 32 für das piezoelektrische Element 31 auf.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausführung des Erfindungsgedankens ist jeweils eine längliche Öffnung in den Kammern tragenden Teilen vorgesehen, die mit einer entsprechend um 90o gedrehten länglichen Öffnung in den Mittelteilen und Abstandsteilen in Verbindung steht. Ein aus derartigen einzelnen Modulen aufgebauter Tintenstrahldruckkopf kennt keine Toleranzprobleme beim Zusammenfügen.
  • Durch die - in den Figuren 6a, b, c - sichtbaren und angedeuteten rechteckigen Öffnungen ist keine aufwendige Ausrichtung mit- einer sehr hohen Genauigkeit beim Zusammenfügen der Teile mehr nötig, wie sie bisher beim Zusammenfügen von Teilen mit versetzten Düsenreihen erforderlich war. Die Form der Öffnungen kann in einer weiteren Variante oval oder als Langloch ausgebildet sein, wobei der kleine Durchmesser der Öffnungen den Durchlaßquerschnitt für den Tintenstrom bestimmt. Bei einer größeren Abweichung vom runden oder rechteckigen Querschnitt sind die Öffnungen 9 und 10 auch zweireihig auf Linien C-C und D-D anordenbar.
  • Es ist vorgesehen, daß bei einem Aufbau aus mehreren Modulen ein erster die Düsenreihe tragender Modul aus zwei Kammern tragenden Teilen 2 und 4, deren Kammergruppen 101 und 102 einem Mittelteil 3 zugewandt sind und mindestens ebenso ein zweiter Modul aus zwei Kammern tragenden Teilen 6 und 8 und einem Mittelteil 7 aufgebaut ist, daß jeder Modul einen Ansaugraum 15, 25 aufweist, daß ein Abstandsteil 5 mindestens zwischen den Modulen vorhanden ist, welches eine Tintenzuführungsöffnung 20 und Tintendurchführungsöffnungen 23, 26, die den Kammern des zweiten Moduls zugeordnet sind, sowie eine Aussparung 32 für das Mittel zum Austreiben 31 von Tinte aus einer Kammer aufweist, daß die Öffnungen 23, 24 an den dritten Öffnungen der Kammern tragenden Teile und der Mittelteile angeschlossen sind, um Tinte den Düsen aus den jeweiligen Kammern zuzuleiten, daß die Ansaugräume 15, 25 jedes Moduls über zweite Öffnungen 14, 24 mit den Kammern der Kammergruppen 101, 102, 103,..., 10k verbunden sind, um Tinte zuzuführen und daß in jedem Modul erste Öffnungen 18, 22 vorhanden sind, um die Tintenzuführung zu den Ansaugräumen zu sichern.
    Das Herstellungsverfahren geht davon aus, daß ein Modul aus jeweils 3 Teilen zusammengesetzt ist und mit piezoelektrischen Elementen versehen und kontaktiert wird. Ein zweiter Modul wird mit dem ersten Modul über ein Abstandsteil 5 zu einem ESIJIL-Druckkopf zusammengefügt, wobei der zweite Modul mit den Teilen 6, 7, 8 keine Düsen aufweist, sondern nur entsprechende Öffnungen, die mit den dafür vorgesehenen Öffnungen in den Teilen 2, 3, 4 des ersten Moduls in Verbindung stehen.
  • In einer dritten Variante wird ein ESIJIL-Druckkopf aus einem einzigen mehrteiligen Modul aufgebaut. In der Figur 7a ist eine Frontansicht mit der In-Line-Düsenreihe und in der Figur 7b ein Röntgenbild der Vorderansicht beziehungsweise eine Überlagerung der Schnitte durch die Linien C-C und E-E dargestellt. Auf dieser Linie C-C liegen alle dritten Öffnungen. Weitere Öffnungen auf einer Linie D-D sind nicht vorgesehen. Es ist erkennbar, daß allein die Düsenabmaße die maximale Anzahl an Düsen auf der Reihe bestimmen. Besteht ein Erfordernis nach vergrößerten Kammerabmaßen, müßte lediglich das Volumen des Druckkopfes erhöht werden. Natürlich ist es zusätzlich ebenfalls bei Bedarf möglich, höhere Toleranzanforderungen durch solche in den Figuren 6 erläuterten Maßnahmen mit dritten Öffnungen auf einer Linie D-D zu lösen.
  • Im Unterschied zu den Abstandsteilen in den Figuren 6 sind hier die Abstandsteile zweiteilig und bestehen aus dem selben Material wie die piezoelektrischen Elementen (schwarz gekennzeichnet). Diese Elemente werden aus dem piezoelektrischen Material herausgearbeitet, welches auf der Kammeroberfläche angeordnet ist, wobei jedoch der Rand erhalten bleibt und nur in der unmittelbaren Umgebung der Elemente 31 Hohlräume 32 entstehen. Im Rand sind sowohl Tintenzuführungsöffnungen als auch zweite und dritte Öffnungen herausgearbeitet. Nachdem die piezoelektrischen Elemente herausgearbeitet sind, werden diese kontaktiert, wobei Leiterbahnen auch auf dem Kammerboden und/oder außen auf der Schicht 30 verlaufen können.
  • In der Figur 8 sind die einzelnen Schritte für ein Herstellungsverfahren des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes aufgezeigt.
  • Das Verfahren zur Herstellung des Tintenstrahldruckkopfes, geht von der CAD-Entwicklung eines Druckkopfdesigns und einer Maskenherstellung für eine photosensible Glasplatte aus.
  • Mittels Masken, welche die Struktur der verschiedenen herzustellenden Teile aufweisen, wird eine photosensible Platte aus amorphem Glas maskiert und einer UV-Bestrahlung ausgesetzt. Die bestrahlten Bereiche können später ca. 100 mal schneller geätzt werden, als unbestrahlte Bereiche. Nach einer Wärmebehandlung erfolgt eine nochmalige UV-Bestrahlung.
  • Zur Erzeugung der gegen Ätzmittel empfindlichen aus der Glasplatte zu entfernenden Teile werden die maskierten Glasplatten mindestens einmal einer Bestrahlung mit UV-Licht entsprechender Wellenlänge mit anschließender Wärmebehandlung ausgesetzt.
  • In einem parallelen Bearbeitungsprozeß werden dann die zu entfernenden Bereiche aus der Platte entfernt (herausgeätzt) und danach die Einzelteile für das Mittelteil und die Kammern tragenden Teile separiert.
  • Zu den parallelen Bearbeitungsschritten für mehrere Teile eines Moduls gehört das Maskieren und anschließende Ätzen der durchgehenden Öffnungen.
  • Anschließend erfolgen gesonderte Herstellungsverfahrensschritte für die Kammern tragenden Teile, um die Tintenkammern und die Düsen herzustellen. Die Dauer des Ätzbades bestimmt dabei die Schichtdicke des entfernten Materials.
  • Vor dem Herstellen der Tintenkammern wird die alte Maskenschicht durch Feinschleifen der Oberfläche der Kammerteile entfernt. Anschließend wird die Oberfläche in den Bereichen maskiert, die nicht tiefengeätzt werden sollen. Nach dem Ätzen der Tintenkammern erfolgt ein Feinschleifen der Einzelteile auf Endmaß und ein anschließendes Maskieren zur Herstellung der Versorgungskanäle und der Tintendüsenkanäle, die eine geringere Tiefe als die Kammern aufweisen sollen. Der Materialabtrag erfolgt wieder durch Ätzen. Im Sonderfall wird nur die Ätzempfindlichkeit der UV-bestrahlten Bereiche des Materials ausgenutzt und eine Maske kann entfallen.
  • Es ist vorgesehen, daß für die drei Bereiche Ätzmittel mit unterschiedlicher Konzentration zum Einsatz kommen, um die entsprechenden Bereiche mit unterschiedlicher Tiefengenauigkeit entfernen zu können, wobei die Tiefengenauigkeit beim Ätzen der Bereiche für durchgehende Bohrungen geringer ist als beim Ätzen sehr flacher Bereiche für die Kanäle in den Kammern tragenden Teilen und wobei zuerst die durchgehenden Bohrungen, dann die Kammern und dann die Düsenkanäle geätzt werden. Es ist weiterhin vorgesehen, daß die Dicke der Bodenschicht 30 beim Ätzen der Kammern überwacht wird und daß die zum Abschluß der Herstellung der Kammern erforderliche Dicke der Bodenschicht 30 der Kammern durch Feinschleifen jeder der Kammern tragenden Teile erreicht wird.
  • Beim Separieren der Einzelteile werden die fertigen Mittelteile ausgesondert.
  • Jeweils drei Einzelteile, bestehend aus jeweils zwei Kammern tragenden Teilen und einem Mittelteil, werden ausgerichtet und aneinandergeheftet sowie anschließend getempert.
  • Die Einzelteile werden in einem Modul verbunden, wobei die Einzelteile ausgerichtet werden. Nach einem Aneinanderheften der Einzelteile ist ein Modul entstanden, welches anschließend getempert wird. Beim Tempern findet im Glasmaterial ein Phasenübergang von amorph zu kristallin statt.
  • Beim Abschneiden der Düsenspitzen mit einer rotierenden Trennscheibe entsteht eine gerade Stirnkante. Eine ebene Oberfläche wird durch abschließendes Feinschleifen erreicht.
  • Zum Abschluß erfolgt eine Sonderbehandlung der Düsenkanäle und der Hohlräume (Kammern) und der Außenkante des Moduls, bevor der Druckkopf kontaktiert und montiert wird.
  • Durch Spülen mit einer ersten geeigneten handelsüblichen Flüssigkeit entsteht eine hydrophile Innenbeschichtung. Durch Behandlung der Stirnkante mit einer zweiten geeigneten Flüssigkeit wird eine hydrophobische Außenbeschichtung erreicht. Nach dem Aushärten der Oberschicht sind die Düsen fertiggestellt.
  • Die Auftragung der elektrischen Leiterbahnen auf die Kammeroberfläche, das Aufbringen der Piezokristalle und das Kontaktieren erfolgt in einer an sich bekannten Weise. Die Piezokristalle können einzeln aufgeklebt werden mit anschließendem Aushärten. Es kann andererseits auch eine Schicht aus piezoelektrischem Material auf die Kammeroberfläche aufgetragen werden, welches anschließend strukturiert und kontaktiert wird. Das Beschichten kann durch Sputtern erfolgen.
  • Zum Abschluß erfolgt noch eine Düsenreinigung mittels Druckluft.
  • Die Herstellung der Kammern und der durchgehenden Bohrungen in den Einzelteilen kann in einer weiteren Variante des Herstellungsverfahrens in einem Schritt erfolgen. Dazu ist es erforderlich, daß die UV-Belichtung durch verschiedene Masken wiederholt wird, bevor die Platte geätzt wird. Eine weitere Möglichkeit besteht in einer UV-Belichtung mit unterschiedlicher Intensität. Die Platte weist dann in unterschiedlichen Bereichen eine unterschiedliche Empfindlichkeit beim Ätzen auf. Auch die Trennlinie zwischen den einzelnen Teilen wird mit angeätzt, was ein nachträgliches Vereinzeln vereinfacht. Die aufzutragende Maske enthält ausgesparte Bereiche für die Kammern und die Bohrungen gleichzeitig. Nach dem Ätzen erfolgt ein Feinschleifen auf Endmaß, wenn die Dicke der Schicht 30 am Kammerboden erreicht wird. Die Herstellung der Tintendüsen und der piezoelektrischen Elemente, sowie die Kantenherstellung, erfolgt auf die o.g. bekannte Weise. In dieser Variante wird zum Kontaktieren der Kammergrund benutzt. Anschließend wird die Platte in Einzelteile zerteilt, die anschließend zu einem Modul montiert werden.
  • In einer weiteren Variante wird auch oder nur die Rückseite der Kammeroberfläche mit piezoelektrischen Elementen bestückt und kontaktiert. Beim Kontaktieren vor dem Vereinzeln ist es vorteilhaft, daß auch die Mittelteile mit Leiterbahnen versehen werden können. Dadurch kann eine Leitungsführung von den anderen Schichten zu den oberen Schichten des Moduls kreuzungsfrei erfolgen, auch wenn sehr viele Elemente zu kontaktieren sind. Die Moduleinzelteile werden ausgerichtet aufeinandergeheftet und getempert, wobei ein Phasenübergang von amorph zu kristallin erfolgt. Es ist vorgesehen, daß Abstandsteile zwischen den Modulen liegen bzw. zusätzlich angeordnet sind und daß die Abstandsteile aus dem Plattenmaterial oder aus einer auf die Oberfläche der Platte aufgebrachten Schicht aus piezoelektrischem Material hergestellt werden, wobei ein Strukturieren durch Ätzen erfolgt. Ein Druckkopf kann aus mehreren Modulen montiert werden oder besteht nur aus einem Modul, der nach außen geführte Leiterbahnen aufweist, die extern kontaktiert werden. Der Druckkopf wird abschließend in einem Gehäuse untergebracht und kann auf Funktionsfähigkeit getestet werden, um fehlerhafte Exemplare auszusondern. In einer weiteren Ausführungsform besteht das Plattenmaterial oder ein Teil der Einzelteile aus einer photosensiblen Keramik. Glasteile und/oder Keramikteile können untereinander auch durch eine Klebverbindung verbunden werden.
  • Die Erfindung ist nicht auf die vorliegenden Ausführungsform beschränkt. Vielmehr ist eine Anzahl von Varianten denkbar, welche von der dargestellten Lösung auch bei grundsätzlich anders gearteten Ausführungen Gebrauch machen.

Claims (23)

  1. Verfahren zur Herstellung von Tintenstrahldruckköpfen, gekennzeichnet durch die Schritte:
    - parallele Plattenbearbeitung bei der Herstellung von durchgehenden Bohrungen in allen Teilen,
    - spezielle Bearbeitung von Kammern tragenden Teilen,
    - Verbinden der Einzelteile zu mindestens einem Modul mit anschließendem Tempern,
    - Aufbringen und Kontaktieren der piezoelektrischen Elemente mit aufgebrachten Leiterbahnen,
    - Assemblieren zum Druckkopf.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Masken für den Vorbehandlungsprozeß von Plattenmaterial erstellt werden, um aus dem Plattenmaterial Bereiche für mindestens die Tintenkammern, Düsenkanäle und Zuführungskanäle, für den Ansaugraum und für durchgehende Öffnungen gezielt entfernen zu können, daß im Vorbehandlungsprozeß Platten über Masken mindestens einmal einer Bestrahlung mit UV-Licht entsprechender Wellenlänge mit anschließender Wärmebehandlung ausgesetzt werden, daß in einem parallelen Prozeß die zu entfernenden Bereiche aus der Platte herausgeätzt werden.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Vorbehandlungsprozeß der Platten alle zu entfernenden Bereiche mit UV-Licht gleicher Wellenlängen und Intensität ausgesetzt werden, daß vor dem Herausätzen der photosensibilisierten Bereiche der Platte eine erste Maske auf die Platte aufgebracht wird, wodurch erste Bereiche aus der Platte herausgeätzt werden, daß nach dem Herausätzen der ersten Bereiche die erste Maske wieder entfernt und eine zweite Maske auf die Platte aufgebracht wird, um zweite Bereiche aus der Platte herauszuätzen, daß nach dem Herausätzen der zweiten Bereiche die zweite Maske wieder entfernt und daß dritte Bereiche aus der Platte herausgeätzt werden.
  4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Vorbehandlungsprozeß unterschiedliche Masken für das Plattenmaterial in Einsatz kommen, wobei Bereiche der Platte einer öfteren oder stärkeren Bestrahlung mit UV-Licht entsprechender Wellenlängen ausgesetzt sind als andere Bereiche der Platte, wodurch die Bereiche des Plattenmaterials, die unterschiedlich sensibilisiert für das Ätzmittel sind, entstehen, daß im Prozeß der parallelen Plattenbearbeitung eine Maske für unterschiedlich tief zu entfernende Bereiche auf die Platte aufgetragen wird und daß ein Ätzmittel bestimmter Konzentration zum Einsatz kommt.
  5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß für die drei Bereiche Ätzmittel mit unterschiedlicher Konzentration zum Einsatz kommen, um die entsprechenden Bereiche mit unterschiedlicher Tiefengenauigkeit entfernen zu können, wobei die Tiefengenauigkeit beim Ätzen der Bereiche für durchgehende Bohrungen geringer ist als beim Ätzen sehr flacher Bereiche für die Kanäle in den Kammern tragenden Teilen und wobei zuerst die durchgehenden Bohrungen, dann die Kammern und dann die Düsenkanäle geätzt werden.
  6. Verfahren nach den Ansprüchen 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Bodenschicht (30) beim Ätzen der Kammern überwacht wird und daß die zum Abschluß der Herstellung der Kammern die erforderliche Dicke der Bodenschicht (30) der Kammern durch Feinschleifen jeder der Kammern tragenden Teile erreicht wird.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß nach der parallelen Bearbeitung des Plattenmaterials Einzelteile aus der Platte separiert und getrennt weiterbearbeitet werden.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Ätzen der durchgehenden Bohrungen in allen Einzelteilen die Einzelteile separiert werden, daß die Kammern tragenden Teile nach dem Feinschleifen der Oberfläche maskiert werden, daß durch Tiefenätzen der nicht maskierten Bereiche Hohlräume oder/und Tintenkammern in den Kammern tragenden Teilen erzeugt werden, daß durch Feinschleifen auf Endmaß der einen Oberfläche die Tiefe der Kammern, daß durch Feinschleifen auf Endmaß der anderen Oberfläche die erforderliche Dicke der Bodenschicht (30) am Kammergrund exakt eingestellt und daß durch das Feinschleifen die Maske für das Tiefenätzen entfernt wird sowie daß anschließend ein Ätzen der Tintendüsen erfolgt.
  9. Verfahren nach dem Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß beim Ätzen der Tintendüsen im wesentlichen photosensibilisiertes Plattenmaterial entfernt wird oder daß vor dem Ätzen eine dritte Maske aufgebracht wird.
  10. Verfahren nach den Ansprüchen 1, 2, 4, 6, 7 und 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Herstellung der Hohlräume, Kammern und durchgehenden Bohrungen parallel in einem Schritt erfolgt, nachdem die zu entfernenden Bereiche auf dem Plattenmaterial unterschiedlich photosensibilisiert worden sind, woraus eine unterschiedliche Ätzgeschwindigkeit resultiert, daß nach der Herstellung der erforderlichen Tiefe der Hohlräume und der Kammern und der erforderlichen Dicke der Bodenschicht (30) der Kammern tragenden Teile eine Separierung in Einzelteile vorgenommen wird, daß anschließend die Tintendüsen in die Kammern tragenden Teile geätzt werden.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß im parallelen Plattenbearbeitungsprozeß die Trennlinien zwischen den Einzelteilen auf der Platte mit angeätzt werden, um ein nachfolgendes Separieren zu erleichtern.
  12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß nach Ätzen der Tintendüsen mindestens vereinzelte Plattenteile, wie Kammern tragende Teile, Mittelteile zu einem Modul zusammengefügt werden, wobei nach einem Ausrichten der Einzelteile ein Aneinanderheften erfolgt, daß die aneinander gehefteten Einzelteile miteinander dauerhaft verbunden werden und anschließend eine gerade Stirnkante durch Abschneiden der Düsenspitzen und durch Feinschleifen eine ebene Oberfläche der Stirnkante entsteht, daß durch Spülen der Hohlräume des Moduls mit einer ersten Spezialflüssigkeit eine hydrophile Innenbeschichtung und durch eine Behandlung der Oberfläche der Stirnkante mit einer zweiten Spezialflüssigkeit eine hydrophobische Außenbeschichtung, welche anschließend ausgehärtet werden, entstehen.
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Herstellen der Düsen und der Beschichtung ein Aufbringen der elektrischen Leiterbahnen und der Piezokristalle auf den Kammergrund oder/und auf die Außenoberfläche der Bodenschicht (30) sowie daß ein Kontaktieren erfolgt.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Piezokristalle aufgeklebt werden und die Klebeverbindung ausgehärtet wird.
  15. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte, aus welcher die Einzelteile hergestellt werden, aus amorphem, photoseniblem Glas besteht, daß die dauerhafte Verbindung der Einzelteile zu einem Modul durch Tempern erfolgt, wobei die Temperatur so gewählt ist, daß ein Phasenübergang von amorph zu kristallin erfolgt.
  16. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufbringen der Leiterbahnen und/oder einer Schicht aus piezoelektrischem Material durch Sputtern erfolgt, daß die piezoelektrische Schicht strukturiert und kontaktiert wird.
  17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß einzelne Module über mindestens ein Abstandsteil miteinander verbunden zu einem Tintenstrahldruckkopf assembliert werden oder ein mehrteiliges Modul verwendet wird, und daß ein Einbau des Tintenstrahldruckkopfes in ein Gehäuse und ein Herstellen von elektrischen Verbindungen erfolgt.
  18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsteile aus dem Plattenmaterial oder aus einer auf die Oberfläche der Platte aufgebrachten Schicht aus piezoelektrischem Material hergestellt werden, wobei ein Strukturieren durch Ätzen erfolgt.
  19. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsteile aus dem Plattenmaterial im parallelen Plattenbearbeitungsprozeß vor dem Separieren strukturiert werden.
  20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Düsenreinigung mittels Druckluft nach Fertigstellung eines jeden Moduls und/oder nach Fertigstellung des Druckkopfes erfolgt.
  21. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß nach Fertigstellung des Druckkopfes dessen Funktionsfähigkeit getestet wird und daß fehlerhafte Exemplare ausgesondert werden.
  22. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß während des parallelen Plattenbearbeitungsprozesses oder danach ein Aufbringen von elektrischen Leiterbahnen auf die Mittelteile erfolgt, um eine kreuzungsfreie Leitungsführung zu erzielen.
  23. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß das Plattenmaterial aus einer photosensiblen Keramik und/oder ein zweites Plattenmaterial aus photosensiblem, amorphem Glas besteht, daß mindestens ein Einzelteil eines Moduls aus Glas- oder Keramikmaterial hergestellt wird und daß zum Verbinden der Einzelteile eine Klebeverbindung eingesetzt wird.
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Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4225799A1 (de) * 1992-07-31 1994-02-03 Francotyp Postalia Gmbh Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
US5825382A (en) * 1992-07-31 1998-10-20 Francotyp-Postalia Ag & Co. Edge-shooter ink jet print head and method for its manufacture
DE4403042A1 (de) * 1992-07-31 1995-08-03 Francotyp Postalia Gmbh Edge-Shooter-Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
DE4336416A1 (de) * 1993-10-19 1995-08-24 Francotyp Postalia Gmbh Face-Shooter-Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
DE9404328U1 (de) * 1994-03-10 1994-05-19 Francotyp-Postalia Gmbh, 13409 Berlin Tintenstrahldruckkopf
DE4424771C1 (de) * 1994-07-05 1995-11-23 Francotyp Postalia Gmbh Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
DE4424770C1 (de) * 1994-07-05 1995-11-23 Francotyp Postalia Gmbh Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
DE59509149D1 (de) * 1994-08-03 2001-05-10 Francotyp Postalia Gmbh Anordnung für plattenförmige Piezoaktoren und Verfahren zu deren Herstellung
NL9401698A (nl) * 1994-10-14 1996-05-01 Oce Nederland Bv Inktstraal-drukkop en werkwijze voor het vervaardigen van een inktstraaldrukkop.
DE4443254C1 (de) * 1994-11-25 1995-12-21 Francotyp Postalia Gmbh Anordnung für einen Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
DE4443245C2 (de) * 1994-11-25 2000-06-21 Francotyp Postalia Gmbh Modul für einen Tintendruckkopf
DE4443244C2 (de) 1994-11-25 2000-04-06 Francotyp Postalia Gmbh Anordnung für einen Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
DE19522594C2 (de) * 1995-06-19 1999-02-04 Francotyp Postalia Gmbh Vorrichtung zur Reinhaltung der Düsen eines Tintendruckkopfes
US6729002B1 (en) * 1995-09-05 2004-05-04 Seiko Epson Corporation Method of producing an ink jet recording head
US6196668B1 (en) 1997-05-12 2001-03-06 Marconi Data Systems Ink jet print head modules with common ink supply
AUPP654398A0 (en) * 1998-10-16 1998-11-05 Silverbrook Research Pty Ltd Micromechanical device and method (ij46g)
EP1121249B1 (de) 1998-10-16 2007-07-25 Silverbrook Research Pty. Limited Verfahren zur herstellung einer düse für einen tintenstrahldruckkopf
TW514596B (en) 2000-02-28 2002-12-21 Hewlett Packard Co Glass-fiber thermal inkjet print head
DE10044219B4 (de) * 2000-09-07 2007-12-20 OCé PRINTING SYSTEMS GMBH Entwicklungsvorrichtung und Verfahren mit vertikaler Sprühvorrichtung
NL1016735C2 (nl) * 2000-11-29 2002-05-31 Ocu Technologies B V Werkwijze voor het vormen van een nozzle in een orgaan voor een inkjet printkop, een nozzle-orgaan, een inkjet printkop voorzien van dit nozzle-orgaan en een inkjet printer voorzien van een dergelijke printkop.
US6953241B2 (en) 2001-11-30 2005-10-11 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet head having passage unit and actuator units attached to the passage unit, and ink-jet printer having the ink-jet head
US6984027B2 (en) * 2001-11-30 2006-01-10 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet head and ink-jet printer having ink-jet head
EP1336488B1 (de) * 2002-02-18 2009-09-30 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Tintenstrahlkopf und damit versehene Druckvorrichtung
JP4147969B2 (ja) * 2002-02-20 2008-09-10 ブラザー工業株式会社 インクジェットヘッド及びこれを有するインクジェットプリンタ
US20030154908A1 (en) * 2002-11-19 2003-08-21 Webber Dominic George Manufacturing method and apparatus
US6890067B2 (en) * 2003-07-03 2005-05-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
US20050206679A1 (en) * 2003-07-03 2005-09-22 Rio Rivas Fluid ejection assembly
JP2005169628A (ja) * 2003-12-05 2005-06-30 Canon Inc インクジェット記録装置およびインクジェット記録方法
US7380914B2 (en) * 2005-04-26 2008-06-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
US7540593B2 (en) * 2005-04-26 2009-06-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
US7377620B2 (en) * 2005-05-26 2008-05-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Hydrophobic nozzle exit with improved micro fluid ejection dynamics
US20070236537A1 (en) * 2006-03-29 2007-10-11 Picosys Inc. Fluid jet print module
US8851642B2 (en) * 2012-05-03 2014-10-07 Delphax Technologies Inc. Ink delivery system for inkjet printheads
US9524543B2 (en) * 2012-09-28 2016-12-20 Skyworks Solutions, Inc. Automated detection of potentially defective packaged radio-frequency modules
DE202017106430U1 (de) 2017-10-24 2018-10-25 Francotyp-Postalia Gmbh Gutverarbeitungsgerät
DE202018005703U1 (de) 2018-12-08 2019-02-07 Doreen Seiferth Gesundheits-, Sport- und Massagebrett
JP7434854B2 (ja) * 2019-12-03 2024-02-21 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよび液体噴射システム
CN112895712B (zh) 2019-12-03 2023-05-16 精工爱普生株式会社 液体喷射头以及液体喷射系统
JP2021088083A (ja) * 2019-12-03 2021-06-10 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよび液体噴射システム

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0067653A2 (de) * 1981-06-13 1982-12-22 Konica Corporation Druckknopf für Tintenstrahlscheiber
JPS59229347A (ja) * 1984-05-07 1984-12-22 Seiko Epson Corp インクジエツトヘツド
JPS61225060A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 Nec Corp インクジエツト記録装置
US4680595A (en) * 1985-11-06 1987-07-14 Pitney Bowes Inc. Impulse ink jet print head and method of making same
US4703333A (en) * 1986-01-30 1987-10-27 Pitney Bowes Inc. Impulse ink jet print head with inclined and stacked arrays
US4752788A (en) * 1985-09-06 1988-06-21 Fuji Electric Co., Ltd. Ink jet recording head
US4769654A (en) * 1982-09-01 1988-09-06 Konishiroku Photo Industry Co., Ltd. Ink jet printing head having plurality of ink-jetting units disposed parallel to circular-shaped reference plane
US4897903A (en) * 1988-02-11 1990-02-06 Olympia Aktiengesellschaft Method of providing an ink jet printing head with piezo-crystals
EP0486256A2 (de) * 1990-11-13 1992-05-20 Citizen Watch Co., Ltd. Tintenstrahldruckkopf

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE364385B (de) * 1973-04-25 1974-02-18 Original Odhner Ab
DE2349555C2 (de) * 1973-04-25 1983-04-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Druckkopf für Farbflüssigkeits-Spritzdrucker und dergleichen
DE2649970A1 (de) * 1976-10-30 1978-05-03 Olympia Werke Ag Duesendrucker fuer ein tintenschreibwerk
US4092166A (en) * 1976-12-27 1978-05-30 International Business Machines Corporation Double exposure and double etch technique for producing precision parts from crystallizable photosensitive glass
US4216477A (en) * 1978-05-10 1980-08-05 Hitachi, Ltd. Nozzle head of an ink-jet printing apparatus with built-in fluid diodes
JPS5586767A (en) * 1978-12-23 1980-06-30 Seiko Epson Corp Print head
JPS5644671A (en) * 1979-09-21 1981-04-23 Seiko Epson Corp Ink-jet head
US4251820A (en) * 1979-12-28 1981-02-17 International Business Machines Corporation Solder glass bonded charge electrode assembly for ink jet printers
JPS57102366A (en) * 1980-12-18 1982-06-25 Canon Inc Ink jet head
JPS57113075A (en) * 1980-12-30 1982-07-14 Fujitsu Ltd Ink jet head
US4394670A (en) * 1981-01-09 1983-07-19 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and method for fabrication thereof
DE3222133A1 (de) * 1981-06-13 1982-12-30 Konishiroku Photo Industry Co., Ltd., Tokyo Schreibkopf fuer einen tintenstrahlschreiber
US4611219A (en) * 1981-12-29 1986-09-09 Canon Kabushiki Kaisha Liquid-jetting head
JPS58168572A (ja) * 1982-03-31 1983-10-04 Fujitsu Ltd 液滴噴射方法
JPS58187365A (ja) * 1982-04-27 1983-11-01 Seiko Epson Corp オンデマンド型インクジエツト記録ヘツド
DE3322647A1 (de) * 1982-06-25 1983-12-29 Canon K.K., Tokyo Verfahren zur herstellung eines tintenstrahl-aufzeichnungskopfes
US4609427A (en) * 1982-06-25 1986-09-02 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing ink jet recording head
DE3306098A1 (de) * 1983-02-22 1984-08-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisch betriebener schreibkopf mit kanalmatrize
GB8431676D0 (en) * 1983-12-16 1985-01-30 Pitney Bowes Inc Fabrication technique
JPS6328657A (ja) * 1986-07-22 1988-02-06 Nec Corp インクジエツトヘツド
DE3710654A1 (de) * 1987-03-31 1988-10-13 Siemens Ag Mehrschichtig aufgebauter tintenschreibkopf
EP0326568B1 (de) * 1986-10-16 1990-08-22 Siemens Aktiengesellschaft Mehrschichtig aufgebauter tintenschreibkopf
DE3855839T2 (de) * 1987-12-02 1997-07-31 Canon Kk Trägerschicht für Farbstrahlkopf, Herstellungsverfahren und Farbstrahlgerät versehen mit solch einem Kopf
DE3803432A1 (de) * 1988-02-05 1989-08-17 Olympia Aeg Piezoelektrisch betriebener schreibkopf in tintenmosaikschreibeinrichtungen
DE3805279A1 (de) * 1988-02-19 1989-08-31 Siemens Ag Piezoelektrischer tintendruckkopf und verfahren zu seiner herstellung
GB8810241D0 (en) * 1988-04-29 1988-06-02 Am Int Drop-on-demand printhead
DE3814720A1 (de) * 1988-04-30 1989-11-09 Olympia Aeg Verfahren zur herstellung einer grundplatte mit durch aetzen hergestellte einarbeitungen fuer einen tintendruckkopf
JPH0292644A (ja) * 1988-09-30 1990-04-03 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド
JP2839345B2 (ja) * 1989-09-11 1998-12-16 松下電器産業株式会社 インク記録装置
DE4025193A1 (de) * 1990-08-09 1992-02-13 Olympia Aeg Verfahren zum aetzen von feinkonturen in glasplatten fuer tintenschreibkoepfe
US5265315A (en) * 1990-11-20 1993-11-30 Spectra, Inc. Method of making a thin-film transducer ink jet head
US5500988A (en) * 1990-11-20 1996-03-26 Spectra, Inc. Method of making a perovskite thin-film ink jet transducer
US5141596A (en) * 1991-07-29 1992-08-25 Xerox Corporation Method of fabricating an ink jet printhead having integral silicon filter
DE4207626C2 (de) * 1992-03-06 1996-09-12 Eastman Kodak Co Hydrophobierungsmittel
JPH0640031A (ja) * 1992-06-19 1994-02-15 Sony Tektronix Corp インクジェット印刷ヘッドの駆動方法
DE4225799A1 (de) * 1992-07-31 1994-02-03 Francotyp Postalia Gmbh Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0067653A2 (de) * 1981-06-13 1982-12-22 Konica Corporation Druckknopf für Tintenstrahlscheiber
US4769654A (en) * 1982-09-01 1988-09-06 Konishiroku Photo Industry Co., Ltd. Ink jet printing head having plurality of ink-jetting units disposed parallel to circular-shaped reference plane
JPS59229347A (ja) * 1984-05-07 1984-12-22 Seiko Epson Corp インクジエツトヘツド
JPS61225060A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 Nec Corp インクジエツト記録装置
US4752788A (en) * 1985-09-06 1988-06-21 Fuji Electric Co., Ltd. Ink jet recording head
US4680595A (en) * 1985-11-06 1987-07-14 Pitney Bowes Inc. Impulse ink jet print head and method of making same
US4703333A (en) * 1986-01-30 1987-10-27 Pitney Bowes Inc. Impulse ink jet print head with inclined and stacked arrays
US4897903A (en) * 1988-02-11 1990-02-06 Olympia Aktiengesellschaft Method of providing an ink jet printing head with piezo-crystals
EP0486256A2 (de) * 1990-11-13 1992-05-20 Citizen Watch Co., Ltd. Tintenstrahldruckkopf

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 11, no. 67 (M-566) [2514] , 28.Februar 1987 & JP-A-61 225060 (NEC CORP), 6.Oktober 1986 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 9, no. 107 (M-378) [1830] , 11.Mai 1985 & JP-A-59 229347 (SUWA SEIKOSHA K.K.), 22.Dezember 1984 *

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