DK154416B

DK154416B - Indstilleligt dampaflejringsapparat

Info

Publication number: DK154416B
Application number: DK085880AA
Authority: DK
Inventors: Michael Gregg Blankenship
Original assignee: Corning Glass Works
Priority date: 1979-03-01
Filing date: 1980-02-28
Publication date: 1988-11-14
Also published as: IL59484A; YU56880A; EP0018068A1; JPS6320772B2; FI67361C; ATE10292T1; DK154416C; FI67361B; ES8103386A1; US4314837A; IN152644B; AU5596180A; NO800571L; EP0018068B1; IL59484A0; DE3069619D1; NO147416C; ES489018A0; FI800604A; NO147416B

Description

i

DK 154416 B

Den foreliggende opfindelse angår et apparat til dannelse af en optisk bølgelederpræform ved, at dampen eller omsætningsprodukterne af et fordampet råmateriale ledes mod et udgangselement. De således dannede præforme kan trækkes til optiske bølgeledere.

5 Det er kendt, at lys kan bringes til at udbrede sig inden for et langstrakt transparent legeme (såsom et filament af glas eller lignende) i diskrete eller adskilte bølgetyper, hvis visse forhåndsbetingelser er opfyldt. Filamentets størrelse, den radiale graduering af brydningsindekset og andre overvejelser samarbejder om at bestemme 10 filamentets effektivitet som transmissionsmedium for optiske kommunikationer. For at transmittere lyset uden for stor dispersion blandt bølgetyperne eller for kun at lade forudbestemte lysbølgetyper udbrede sig, må filamentets indre karakteristika kontrolleres nøje.

Det er velkendt, at et filament, som er egnet til brug som optisk 15 bølgeleder, kan dannes ved opvarmning af en cylindrisk præform af et transparent dielektrisk materiale såsom glas, og trækning af præformen til en ønsket tynd, langstrakt konstruktion, d.v.s. et filament. Bølgelederens strukturelle egenskaber afspejler nøje egenskaberne af præformen, ud fra hvilken den er trukket, især brydningsindeksgradienten.

20 I overensstemmelse med en praktisk fremgangsmåde dannes en præform for trækning ved belægning af et roterende, cylindrisk udgangsemne med successive lag af en glassod, som kan sintres. Soden opbygges lag på lag af ganske små siliciumholdige partikler, som anbringes på overfladen af præformen ved hjælp af en oxidationsreaktionsflamme eller lignende. Som 25 det vil være fagmanden bekendt, er flammen, som anvendes til sintring og overførsel af partikler til overfladen af en glaspræform eller lignende, tidligere blevet betegnet en "hydrolyserende flamme". Selv om det endnu ikke forstås fuldt ud, hvilket fænomen der nøjagtigt er involveret, antyder undersøgelser, som er foretaget for nylig, at det er mere 30 korrekt at karakterisere den egentlige reaktion som en oxidation. Som følge deraf vil beskrivelsen af denne reaktion med hensyn til en for nærværende foretrukket udførelsesform benytte betegnelsen "oxiderende", idet det må bemærkes, at den præcise art af den involverede kemiske reaktion ikke udgør nogen væsentlig faktor ved udøvelse af den fore-35 liggende opfindelse. Et sil iciumholdigt matrixmateriale såsom silicium-tetrachlorid føres i form af en damp til en brænder, hvorfra flammen udsendes. Andre materialer, heri betegnet dopemidler, tilføres også i kontrollerede mængder og på specielle tidspunkter for at variere 2

DK 154416 B

slutproduktets optiske egenskaber. Det må bemærkes, at det, mens den foretrukne udførelsesform beskrives i forbindelse med dannelse af silicatglasser, også er muligt at danne f.eks. siliciumoxidfri glasser indeholdende germaniumoxid med apparatet ifølge opfindelsen.

5 De forskellige fordampede eller forstøvede materialer kombineres så med oxygen i brænderflammen til dannelse af små kugleformede partikler, som holdes i smeltet tilstand og drives mod præformens overflade med flammens kraft. På denne måde afsættes det aflejrede materiale, sædvanligvis betegnet ,rglassod" langs et skrueformet locus, lag på lag, 10 idet de forskellige lag smelter sammen til dannelse af et kontinuum.

Ved en anden velkendt fremgangsmåde ledes det dampformige råmateriale ind i et opvarmet rør. Materialet aflejres i røret i på hinanden følgende lag, og røret sammenklappes så, hvorved der fås en sammensmeltet præform. Pr^formen opvarmes derefter og trækkes til et 15 langstrakt filament.

For at danne en præform med i det væsentlige konsistente egenskaber og for at sikre en ensartet fordeling af den glasdannende sod har det været nødvendigt at forsyne en hydrolyserende brænder med en i det væsentlige konstant strøm af fordampet råmateriale indeholdt i en bære-20 gas. Der er følgelig blevet udtænkt systemer til regulering af bæregasstrømmen og hastigheden, hvormed råmaterialet fordampes og indføres i bæregassen. Til dels på grund af mangfoldigheden af faktorer, som bestemmer mængden af damp indført i en hydrolyserende flamme på et givet tidspunkt, optræder der ofte fluktuationer i de forskellige damp-25 aflejringsprocessers aflejringshastighed, hvilket resulterer i uønskede inkonsistente egenskaber af den dannede præform.

Det er forsøgt at anvende en bæregas til afgivelse af en reaktantdamp. Til dette formål anvendes en søjle, hvori der er en pakning, og der er en pumpe til cirkulering af flydende råmateriale gennem pak-30 ningen. Bæregas under tryk indføres i pakningen og strømmer derigennem, og råmaterialedampen bliver ført med bæregassen. Gassen forlader søjlen gennem en udgangsåbning og ledes til det sted, hvor den skal aflejres. Selv om dampstrømningshastigheden kan reguleres nøjagtigt ved en sådan fremgangsmåde, skal både trykket og temperaturen 35 i reservoiret for det flydende råmateriale kontrolleres nøjagtigt.

I USA patentskrift nr. 4.062.665 beskrives et dampaflejringsapparat til dannelse af en optisk bølgelederpræform, hvilket indbefatter mindst to reservoirer indeholdende flydende råmaterialer, op 3

DK 154416 B

varmningsindretninger for hvert reservoir, reaktionsindretninger til dannelse af et reaktionsprodukt, rørsystemer til levering af reagensdampe og eventuelt bæregas fra reservoirerne til reaktionsindretningerne og en respektiv afmålingsindretning anbragt i rørsystemet, 5 der forløber mellem hvert reservoir og reaktionsindretningen, hvilken afmålingsindretning er i form af en strømningsreguleringsventil i rørsystemet ved udgangen fra hvert reservoir, hvor hver ventil har en mekanisme til udvirkning af ventil indstilling. Reservoirerne huses i bade med konstant temperatur for at holde de flydende sammensætninger på 10 de ønskede temperaturer og derved holde deres damptryk konstante.

Det vil kunne forstås, at det ville være yderst ønskeligt at tilvejebringe et system til afgivelse af fordampet råmateriale til en hydrolyserende brænder på konsistent, i høj grad kontrollerbar måde, uden behov for præcist at regulere temperaturen og trykket i rå-15 materialereservoiret.

I USA patentskrift nr. 4.173.305 beskrives et apparat, der leverer en præcist reguleret mængde af reaktantdampe til afgivelsesindretninger.

I overensstemmelse med anvisningerne i dette patentskrift holdes forskellige reaktionsproduktkomponenter i væskeform i reservoirer, og 20 der er med hvert reservoir forbundet en afmålingspumpe til afgivelse af et forudbestemt volumen af væskekomponenten til et blandingstrin. De forskellige væsker blandes grundigt og forstøves så. Materialedampene overføres til afgivelsesindretninger såsom en reaktionsbrænder eller lignende. Råmaterialedampene omsættes så i flammen på konventionel måde 25 og aflejres på et substrat til dannelse af et produkt, såsom en optisk bølgelederpræform. Selv om apparatet ifølge dette patent er i stand til nøjagtigt at kontrollere mængden af de forskellige reaktionsproduktkomponenter, der afgives til forbrugsindretningerne, er de i systemet anvendte pumper med variabel ydelse meget bekostelige.

30 Som det vil kunne forstås af det foregående ville det være yderst ønskeligt at tilvejebringe et apparat til afgivelse af bølgeleder-materialer til en reaktionsbrænder eller lignende, med hvilket ovennævnte ulemper undgås, og en regulerbar strøm af stærkt fortættede dampe af de ønskede materialer tilvejebringes.

35 Dette opnås ved ifølge opfindelsen at tilvejebringe et dampaflejringsapparat til dannelse af en optisk bølgelederpræform og indbefattende mindst to reservoirer indeholdende flydende råmaterialer, opvarmningsindretninger for hvert reservoir, reaktionsindretninger 4

DK 154416 B

til dannelse af et reaktionsprodukt, rørsystemer til levering af reagensdampe men ingen bæregas fra reservoirerne til reaktionsindretningerne og en respektiv afmålingsindretning anbragt i rørsystemet, der forløber mellem hvert reservoir og reaktionsindretningen,· hvilken 5 afmålingsindretning er i form af en strømningsreguleringsventil i rørsystemet ved udgangen fra hvert reservoir, hvor hver ventil har en mekanisme til indstilling af ventilen, hvilket dampaflejringsapparat er ejendommeligt ved, at reservoiropvarmningsindretningerne for hvert reservoir omfatter indretninger til afføling af damptrykket i hvert 10 reservoir og indretninger til, som reaktion på et signal frembragt med trykaffølingsindretningerne, at forsyne hvert af reservoirerne med en mængde varme, som er nødvendig for at opvarme de flydende råmaterialer i reservoirerne til en temperatur, som er tilstrækkelig til at omdanne de flydende råmaterialer der’ til en damp med forudbestemt minimumdamptryk 15 i hvert reservoir, hvilke ivarmningsindretninger er således indrettet, at damptrykket i hvert res^.voir ikke forbliver konstant men kan stige til over minimumdamptrykket.

Opfindelsen belyses nærmere i det følgende under henvisning til tegningen, hvor 20 fig. 1 afbilder et system konstrueret i overensstemmelse med den foreliggende opfindelse, og fig. 2 brudstykkevis viser et tværsnit i en brænder, som kan anvendes i forbindelse med systemet i fig. 1.

I fig. 1 anbringes et lag glassod på en i det væsentlige cylin-25 drisk kappe eller udgangsemne 10 med afgivelsesindretninger såsom en flammehydrolysebrænder 12. Udgangsemnet roteres og fremføres med hensyn til brænderen, således at der opbygges en i det væsentlige cylindrisk præform 16. Som illustration beskrives opfindelsen i forbindelse med dannelse af en præform, som kan trækkes til en optisk bølgeleder. Som 30 det er velkendt for fagmanden, kan substratet eller udgangsemnet 10 derefter fjernes ved mekaniske eller kemiske processer, således at kun det aflejrede materiale lades tilbage. Den cylindriske præform trækkes derefter til en langstrakt bølgeleder, hvis egenskaber afspejler reaktionsproduktkomponenternes sammensætning. I stedet for flamme-35 reaktion til aflejring af de ønskede reaktionsprodukter på den ydre overflade af et udgangsemne kan dampenes reaktion finde sted inden for et opvarmet område af et substratrør, idet glasaflejring finder sted på rørets indvendige overflade, en fremgangsmåde der af og til omtales som 5

DK 154416 B

indvendig dampfaseoxidation (IVPO).

De komponenter, som til sidst inkorporeres i reaktionsprodukterne, holdes i reservoirerne 18, 20 og 22, som kan være i handelen tilgængelige tryktanke. Disse reservoirer er forsynet medopvarmningsindretninger 5 24, 26 og 28 for at holde reaktanternes temperatur tilstrækkeligt høj til at holde damptrykket i reservoirerne på et niveau, som er tilstrækkeligt til at bevirke passende dampstrømning gennem afmålings-apparatet til brænderen. Det minimale damptryk, hvormed dette formål kan opfyldes, er 4 psig (27 kPa overtryk). Det maksimale tryk i reser-10 voirerne dikteres af de udstyrsmæssige begrænsninger såsom den nedenfor beskrevne massestrømsreguleringsenhed, hvis anbefalede maksimale drifts- 3 tryk er 150 psig (10 kPa overtryk). Temperaturreguleringsenheden 30, 32 og 34, som holder råmaterialet i hvert reservoir på en passende temperatur, kan være udvalgt blandt sådanne i handelen tilgængelige enheder som 15 model 383 af "Robert Shaw" reguleringsenheder, "Eurotherm" reguleringsenheder og lignende. Trykfølere 36, 38 og 40 forsyner henholdsvis reguleringsenhederne 30, 32 og 34 med reguleringssignaler. Reservoirtrykket overvåges følgelig, og den derved fremkomne information anvendes til regulering af opvarmningsindretningers 24, 26 og 28 drift. Passende 20 ventiler 42, 44 og 46 i henholdsvis ledning 41, 43 og 45 er forbundet med de respektive reservoirer for om ønsket at udøve en vis kontrol over dampstrømningen eller helt afskære strømmen af forskellige dampe f.eks. med henblik på vedligeholdelse af systemet eller reservoirudskiftning. Ledningerne 41, 43 og 45 er forsynet med respektive strømnings-25 reguleringsventiler 48, 50 og 52, således at strømningshastigheden af de respektive dampe fra reservoirerne kan reguleres. For at lette betjeningen af systemet forestiller man sig, at ventilerne 48, 50 og 52 er af en sådan type, at de reguleres elektromagnetisk eller ved hjælp af en motor. Der er følgelig vist motorer 54, 56 og 58, som er sammen-30 koblet med ventilerne og drives af reguleringsenheder 60, 62 og 64, således at strømningen af dampe fra reservoirerne bringes til at variere på ønsket måde. Massestrømstransducere 66, 68 og 70 er anbragt i strøm-ningsaffølende indbyrdes forhold med henholdsvis ledning 41, 43 og 45.

De med disse transducere tilvejebragte signaler overføres til 35 reguleringsenhederne, således at dampenes massestrømme kan reguleres.

Hver kombination af en trykreguleringsventil, motor, reguleringsenhed og transducer, f.eks. de ved henvisningstallene 48, 54, 60 og 66 viste elementer omtales som en massestrømsreguleringsenhed. Sådanne 6

DK 154416 B

reguleringsenheder forefindes konventionelt i væskestrømssystemer, og forskellige passende typer kan let fås i handelen. Et eksempel på en sådan reguleringsenhed er Tylonmodellen "FC-260", som kan fås fra Tyion Corp., Torrance, California. I dette system omfatter motoren 54, f.eks.

5 en elektrisk opvarmningsindretning, som er sammenkoblet med ventilen 48, der omfatter et differentialt ekspansionsrør med en til-knyttet kugle, som bevæger sig i forhold til ventilsædet, således at kugle-mod-sædeåbningen varieres, hvorved gasstrømmen gennem ventilen 48 reguleres.

Hver af reguleringsenhederne 60, 62 og 64 har en sætpunkt input 10 terminal, som er forbundet med systemreguleringsenheden 72, som kan omfatte en mikroprocessor eller computer, som er programmeret til at forsyne hver reguleringsenhed med et passende reguleringssignal. Reguleringsenhed 72 kan omfatte en A-D konverter med en model "3911A" reguleringsenhed, en model "1500 CAMAC" kasse (Kinetic Systems, Inc.) 15 sammenkoblet med en "PDP 1 '34" computer under anvendelse af en "VT 52" videoterminal, programmen dskonsol, "DECskriver, "RK llT"disk og et software, hvilke seks sidstnævnte komponenter kan fås fra Digital Equipment Corporation.

Dampene, som strømmer fra ledning 41, 43 og 45, kombineres i led-20 ning 71, som er forbundet med brænder 12. Dampforsyningsledninger 41, 43, 45 og 71 skal opvarmes til en temperatur, som er mindst lige så høj som den maksimale temperatur, hvortil reservoirer 18, 20 og 22 opvarmes.

I ledning 71 kan der også indføres oxygen nedenstrøms for de kombinerede dampe, fra en kilde 74. Oxygenstrømningshastigheden reguleres med en 25 massestrømsreguleringsenhed omfattende ventil 76, motor 78, reguleringsenhed 80 og transducer 82. Oxygenets strømningshastighed reguleres fortrinsvis som en funktion af dampkomponenternes strømningshastighed, således at der indføres en passende oxygenmængde i systemet. Selv om man mener, det må foretrækkes at injicere noget oxygen i reaktantdampene, er 30 dette trin ikke nødvendigt, og i realiteten er en af fordelene ved det foreliggende system, at der kan opnås en meget mere tæt strøm af reaktionsproduktkomponenter, da man ikke er afhængig af en bæregas som middel til transport af reaktantdampene.

Selv om oxygen er nødvendig for at danne de forskellige oxider, som 35 udgør den i flammen af brænder 12 dannede glassod, kan dette oxygen leveres ved brænderen. Et brudstykkevis tværsnit af brænder 12 er vist i fig. 2. En centralt placeret åbning 86 i brænderfront 84 er omgivet af koncentriske ringe af åbninger 88, 90 og 92. Reaktantdampene udgår

DK 154416B

7 fra åbning 86, hvor de underkastes varme fra en flamme frembragt af brændstofgassen og oxygenet, som udgår fra åbningerne 90. En strøm af oxygen omtalt som det indre skjold udgår fra åbninger 88; denne strøm hindrer omsætning af reaktantforbindelserne ved brænderfronten. Endelig 5 udgår der en oxygenstrøm omtalt som det ydre skjold fra åbninger 92.

Denne brænderudformning ligner noget den, der er beskrevet i USA patentskrift nr. 3.698.936 med undtagelse af, at en ringformet spalte ifølge dette patent tilvejebringer det indre skjold, og at de ydre skjoldåbninger mangler. Alle åbningerne i brænder 12 kan forsynes med 10 grenrør lig dem, der er beskrevet i USA patentskrift nr. 3.698.936.

Der henvises nu igen til fig. 1, hvor brændstofgas og oxygen, som føres til brænder 12 med ledning 14, udgår fra brænderen og antændes. Yderligere oxygen kan tilføres med ledning 15. Reaktantdampene, som tilføres med ledning 71, reagerer i flammen til dannelse af en glassod, 15 som ledes mod præform 16. Chloret eller øvrigt materiale, hvormed matrixen og dopematerialerne tidligere har været kombineret, adskilles fra materialerne og kombineres med hydrogen fra carbonhydridbrændstoPet til dannelse af saltsyre. Reaktionens specifikke art afhænger naturligvis af de tilstedeværende komponenter og den specielle anvendelse af 20 opfindelsen. Sådanne reaktioner er i sig selv ikke en del af den foreliggende opfindelse, og man regner med, at andre end de heri beskrevne komponenter kan anvendes uden at afvige fra opfindelsens tese. Desuden kan også andre former for aflejringsindretni nger udvælges til brug i forbindelse med opfindelsen såsom det nævnte apparat til indvendig 25 dampfaseaflejring (IVPO) eller andre mekanismer, som overfører matrixen og dopematerialerne til et substrat. I den foreliggende illustration vil man erkende, at der, i fravær af oxygen som bæregas, til brænderen 12 kan afgives yderligere oxygen ud over den støkiometriske mængde, som er nødvendig til forbrænding af brændstoffet, f.eks. på den i for-30 bi ndel se med fig. 2 beskrevne måde.

For at benytte det illustrerede system ved dannelse af en optisk bølgeleder omfattende f.eks. SiOg, GeOg og BgOg kan reservoirer 18, 20 og 22 indeholde henholdsvis Si Cl^, GeCl^ og BC1^- Naturligvis kan der benyttes mange andre glasdannende reaktanter, som er i stand til at 35 afgives i dampform. Temperaturreguleringsenheder 30, 32 og 34 indstilles således, at damptrykket i de respektive reservoirer er tilstrækkeligt højt til at tillade, at dampene afgives gennem massestrømsreguleringsenhederne til brænderen eller andre forbrugsindretni nger. Selv om man

DK 154416 B

8 mener, at et minimalt tryk på 4 psig (27 kPa overtryk) vil kunne anvendes, blev trykket i reservoiret i en praktisk udførelsesform holdt på ca. 12 psig (83 kPa overtryk). For at give dette tryk blev temperaturen af SiCl^, GeCl^ og BClg holdt på henholdsvis ca. 76°C, 105eC og 30°C.

5 Med ventiler 42, 44 og 46 åbne forsyner systemregulering 72 hver af massestrømsreguleringsenhederne med passende sætpunktssignaler, således at ventiler 48, 50 og 52 lader den ønskede mængde damp passere til brænder 12. En på passende måde afmålt strøm af oxygen indføres også i brænderen sammen med reaktantdampene. Dampene reagerer med oxygen i 10 flammen og danner glassod, som aflejres på overfladen af sodpræform 16.

Dorn 10 fjernes fra den færdige præform, som så opvarmes og konsolideres til en monolitisk glasagtig præform, som på konventionel måde kan trækkes til en optisk bølgeleder.

For radialt at variere bølgelederstrukturens brydningsindeks ændres 15 forholdene imellem de forskellige komponenter på forudbestemt måde under dannelsen af præformen. Til dette formål bringes systemregulering 72 til at producere kommandosignaler til forskellige af massestrømsregulerings-enhederne på forudbestemte tidspunkter, således at mængden eller arten af dopemidler ændres. I almindelighed er ændringen således, at der ud-20 virkes en formindskelse i det endelige glasprodukts brydningsindeks med voksende præformradius. Strømningsreguleringsventilerne 48, 50 og 52 regulerer følgelig på passende måde strømmen af reaktantdampe derigennem.

Den beskrevne type dampafgivelsessystem er i stand til at afgive 25 reaktantdampe til et aflejringsapparat med ekstremt høj nøjagtighed.

Nøjagtig regulering af temperaturen og trykket af væskerne i reservoirerne er unødvendig; det er blot nødvendigt at holdetrykket deri tilstrækkeligt højt, således at dampene kan transporteres gennem massestrømsreguleringsenhederne til brænderen.

30 Det må bemærkes, at der er blevet beskrevet et forbedret system til afgivelse af dampformigt råmateriale til aflejringsindretninger på en præcist reguleret måde. Som det klart vil fremgå af den forudgående beskrivelse, er visse aspekter af opfindelsen ikke begrænset til de særlige detailler i de illustrerede eksempler, og det kan derfor forventes, 35 at andre modifikationer eller anvendelser vil fremgå for fagmanden.

F.eks. bør det, skønt der i figurerne illustreres en frem-gangsmåde til udvendig dampaflejring, være åbenbart for fagmanden, at det illustrerede system lige så vel kan benyttes til indvendige damp- aflejringsprocesser

Claims

9 DK 154416 B og til lignende anvendelser, hvor strømmen af damp til aflejringsindretningerne skal reguleres inden for et snævert område. Det er derfor hensigten, at kravene skal dække sådanne modifikationer, som ikke afviger fra opfindelsens sande ånd. 5

1. Dampaflejringsapparat til dannelse af en optisk bølgelederpræ-10 form og indbefattende mindst to reservoirer (18, 20, 22) indeholdende flydende råmaterialer, opvarmningsindretninger (24, 26, 28) for hvert reservoir, reaktionsindretninger til dannelse af et reaktionsprodukt, rørsystemer (41, 43, 45) til levering af reagensdampe men ingen bæregas fra reservoirerne til reaktionsindretningerne og en respektiv afmålings-15 indretning (48, 50, 52) anbragt i rørsystemet, der forløber mellem hvert reservoir og reaktionsindretningen, hvilken afmålingsindretning er i form af en strømningsreguleringsventil i rørsystemet ved udgangen fra hvert reservoir, hvor hver ventil har en mekanisme (54, 56, 58) til indstilling af ventilen KENDETEGNET ved, AT reservoiropvarmningsindret-20 ningerne (24, 26, 28) for hvert reservoir omfatter indretninger (36, 38, 40. til afføling af damptrykket i hvert reservoir og indretninger (30, 32, 34) til, som reaktion på et signal frembragt med trykaffølings-indretningerne, at forsyne hvert af reservoirerne med en mængde varme, som er nødvendig for at opvarme de flydende råmaterialer i reservoirerne 25 (18, 20 eller 22) til en temperatur, som er tilstrækkelig til at omdanne de flydende råmaterialer deri til en damp med forudbestemt minimumdamptryk i hvert reservoir, hvilke opvarmningsindretninger er således indrettet, at damptrykket i hvert reservoir ikke forbliver konstant men kan stige til over minimumdamptrykket.

2. Apparat ifølge krav 1, KENDETEGNET ved, AT mindst én af væsker ne i reservoirerne (18, 20, 22) omfatter en siliciumforbindelse, og AT mindst én af de andre væsker i reservoirerne omfatter et dopemiddel til påvirkning af brydningsindekset af en siliciumholdig optisk bølgeleder-præform.

3. Apparat ifølge krav 1 eller 2, KENDETEGNET ved, AT det er for synet med indretninger (74, 76, 78, 80, 82) til indføring af oxygen i dampbanen nedenstrøms for afmålingsindretningerne og til regulering af oxygenstrømmen. DK 154416 B 10

4. Apparat ifølge krav 1, 2 eller 3 KENDETEGNET ved, AT reaktionsindretningerne omfatter en reaktionsbrænder (12), og AT det er forsynet med indretninger (14, 15) til levering af en brændbar gas, oxygen eller lignende til brænderen.

5. Apparat ifølge et hvilket som helst af kravene 1 til 4 KENDE TEGNET ved, AT det indbefatter indretninger (72) til automatisk regulering af mængderne af dampe, som leveres af afmålingsindretningerne, for derved at bestemme forholdene mellem råmaterialerne, der leveres til dampaf1 ej ringsi ndretn i ngerne.

6. Apparat ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, KENDETEGNET ved, AT hver af afmålingsindretningerne omfatter en reguleringsenhed (60, 62, 64) til aktivering af indstil!ingsmekanismen og en transducer (66, 68, 70) til afføling af dampmassestrømshastigheden, hvor transducerens udgang er forbundet med reguleringssenheden, samt system-15 reguleringsindretninger (72) forbundet med den til hver af afmålingsindretningerne knyttede reguleringsenhed for levering af et strømningsreguleringssignal til denne. 20 25 30