DEP0055795DA - Justierbarer Blenden oder Objektträger vorzugsweise für Elektronenstrahlröhren - Google Patents

Description

In der Technik₉ beispielsweise in der Optik oder in der Elektronik, besteht vielfach die Aufgabe, eine Blende_l durch die ein Strahlengang begrenzt werden soll, oder einen Objektivträger genau und spielfrei zu justieren» Besonders schwierig ist das in der Elektronik, insbesondere bei Elektronenmikroskopen₉ bei denen die im Vakuum angeordnete Blende von wenigen Mikron Öffnungsdurchmesser von außen sehr genau vesstellt werden soll*

Die Erfindung betrifft eine justierbare Blende₉ vorzugsweise für Elektronenstrahlröhren) von besonders einfacher Ausfuhrung₀ Erfindungsgemäß ist die Blende mittels Abstandsglieder*} an einem membran art igen, der Wirkung der Verstelleinrichtung unterliegendem Trägerkörper befestigt. Die Justierschrauben können dann zum Beispiel auf die Abstandsglieder oder auf die Membran durchsetzende Verlängerungen dieser Glieder einwirken, wodurch die Blende entgegen der federkraft der Membran verschwenkt wird, und zwar um einen etwa in der Memb ran ebene liegenden Punkt» Die Blende beW?<ti: SfcW le dann /einen) Kreis^pOder bei Verstellung in mehr als einer RichtungT^inetfKugelf lächej^^^ 

Sie kann auf diese

Weise in einem begrenzten Bereich genau justiert werden* Die Anordnung hat den Vorteil, daß die Verstellung völlig spielfrei vor sich geht* Bei Elektronenstrahlröhren, bei denen Membran und Blende im Vakuum angeordnet sind_s müssen

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die Justierschrauben von außen äurch die Yakuumwandurig

hin durchgreifen«,

Wenn zusätzlich zur Verstellung der Blende in der einen Ebene eine weitere Verstellung in der Hohe_s also ein Heben und Senken_l in Frage kommt, so werden zweckmäßig die Anlageflächen der Justierschrauben an den <B3=ead«a* 4ial=ke2*a»g so ausgebildet, daß sich bei dejl "^»^ei^sg eine Komponente senkrecht zur Blendenebene ergibt.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel dargestellt, das auch noch weitere Einzelheiten der Erfindung zeigt. Abb, 1 stellt einen Teil eines Elektronenmikroskopes im Schnitt dar, während Abb. 2 einen Schnitt durch die An-Ordnung nach Abb, 1 nach der Linie A-A zeigThyAbb. 3 ist eine Abwandlung der Anordnung nach Abb, 1

Die Wandung des Vakuumrohres des Elektronenmikroskops ist mit 1 bezeichnet. Bei 2 ist in dem Rohr eine aus flrei blendenfnrmigen Elektroden bestehende elektrostatische Linse angedeutet, deren Öffnungen von dem senkrecht verlaufenden Elektronenstrahl durchsetzt werden» Die Elektroden sind, wie hier nicht näher dargestellt, isoliert eingesetzt* Weitere Linsen sowie die oberhalb angeordnete Elektronenquelle und der unterhalb zu denkende Leuchtschirm sind nicht mitgezeichnet.

Hi* der Linse 2 ist die Aperturblende 3 etteemmeaga&a»%, die zur Ausblendung eines bestimmten Elektronenbüschels und damit zur Erhöhung der Kontraste im Bild dient. Die Blende besteht hier aus einer konusförmigen Kappe_t die 4©°=4ter9ar «Boden in Linsennähe die Blendenöffnung von einigen Mikron Durchmesser enthalte Die &Εψψ® J> ist auf einer Membran 4 befestigt, die ihrerseits mit ihrem Rand an der Außenwandung 1 des Elektronenmikroskops festgeschraubt ist, Sie=Jfea#e4^-

JLwvdL Ait (WW* tä-nk^eföLAt ^^^^^^^l^^⁴ ^^^

Diese Verstärkung dient als Angriffsfläche für die Justierschrauben 5s von denen, wie Abb» 2 zeigt, zwei im Winkel Von 120° vorgesehen sind«, Außerdem wirkt auf den Mantel 3¹ die Rückholfeder 6 ein* durch die eine definierte Lage de^ <$eem*8 3 bei jeder Stellung der Schrauben 5 sichergestellt ist* In gewissen fällen kann es zweckmäßig sein» an Stelle der Rückholfeder eine weitere Justiersehraube vorzusehen»

Zur Justierung der Blendenöffnung im Strahlengang werden die Schrauben 5 in entsprechender Weise verstellt» Dadurch bewegt sich die Blendenöffnung auf einer Kugelflache ι (Im wesentlichen senkrecht zur ElektronenstrahlacEse]«, Ihre richtige Stellung kann im Leuchtschinnbild festgestellt werden^. Die Schrauben 5 müssen vakuumdicht einp₃eführt Sein_s, da sich ja die Randel dieser Schrauben außerhalb des Vakuum befinden»

Bei der Ausführungsform nach Abb_e 3 sind die Angriffs ■ flächen der hier zweckmäßig vorgesehenen drei Justierschrauben am Mantel 3^! abgeschrägt. Dadurch erfolgt bei gleichmäßiger Drehung der Schrauben ein Heben und Senken der Blende 3»

Die Erfindung kann selbstverständlich auch bei Blenden anderer Art Anwendung finden« Beispielsweise kann sie in der in Abb, 3 dargestellten Ausführung auch für die Justierung von Objektträgern in Elektronenmikroskopen von Bedeutung sein«

Claims (1)

Pa^ejit^ansprüchjs

1. JustierbarerBlende^vo^zugswe^ise für Elektrqnenstrihl-

röhren, dadurch gekennzeichnet^daSl^^«e^^^ia^bstahds-,/—

glieder^ an einem^/membr an arteigenerer Verstelltf£ijhing unterliegende^Ssäg^^drper befestigt ist,

2„ Justierbarer Blendepmach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsglieder durch die Membran hindurch verlängert sind und die Justierschrauben an diesen Verlängerungen angreifen* _Λ. ·ι*ιι*

3» Justierbarenf'Blende^fiach Anspruch I_t dadurch gekennzeichnet, daß zwei Justierschrauben und eine Rückholfeder vorgesehen sind, die in Winkelabständen von etwa 120° auf <l*eHB!feefitbbnhait=e^»g einwirken..

4·. Justierbarst B1 ende^n^h~lins^uch 1 ₅ dadurch gekenn< zeichnet, daß die 4^^#i§s#^^«-4re^^3^n#en§ia%t=e^#^ die üuM^irschrauben\"a^g^slShragF~sink, jgj?'d^B~dJe~~Schrau

Schrauben mit

einer senkrecht zur Blendenebene gerichteten Verstellkomponente auf 4*e Biende;>6i