DE3305415C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3305415C2 DE3305415C2 DE3305415A DE3305415A DE3305415C2 DE 3305415 C2 DE3305415 C2 DE 3305415C2 DE 3305415 A DE3305415 A DE 3305415A DE 3305415 A DE3305415 A DE 3305415A DE 3305415 C2 DE3305415 C2 DE 3305415C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- lens
- electron
- electron beam
- electrode
- gauze
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
- H01J29/56—Arrangements for controlling cross-section of ray or beam; Arrangements for correcting aberration of beam, e.g. due to lenses
- H01J29/566—Arrangements for controlling cross-section of ray or beam; Arrangements for correcting aberration of beam, e.g. due to lenses for correcting aberration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
- H01J29/58—Arrangements for focusing or reflecting ray or beam
- H01J29/62—Electrostatic lenses
- H01J29/622—Electrostatic lenses producing fields exhibiting symmetry of revolution
- H01J29/624—Electrostatic lenses producing fields exhibiting symmetry of revolution co-operating with or closely associated to an electron gun
Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Kathodenstrahlröhre
mit einem Elektronenstrahlerzeugungssystem in einem eva
kuierten Kolben zum Erzeugen eines Elektronenstrahls, der
auf eine Auftreffplatte mit Hilfe mindestens einer be
schleunigenden Elektronenlinse fokussiert wird, die - in
Fortpflanzungsrichtung des Elektronenstrahls gesehen - aus
einer ersten und einer zweiten, koaxial um den Elektronen
strahl angeordneten Elektrode besteht.
Derartige Kathodenstrahlröhren werden beispiels
weise als Schwarz/Weiß- oder Farbfernsehbildröhre, als
Fernsehkameraröhre, als Projektionsfernsehbildröhre, als
Oszillografenröhre oder als Röhre zum Darstellen von Zif
fern und Symbolen benutzt. Letztgenannter Röhrentyp wird
auch als DGD-Röhre bezeichnet (Data Graphic Display tube).
Eine derartige Kathodenstrahlröhre ist beispiels
weise aus der offengelegten niederländischen Patentanmeldung
78 12 540 bekannt. Das hier beschriebene Elektronenstrahl
erzeugungssystem einer Farbfernsehbildröhre enthält drei
mit ihren Achsen in einer Ebene liegende Elektronenstrahl
erzeugungssysteme. Die zweite Elektrode der an der Bild
schirmseite liegenden beschleunigenden Elektronenlinse
eines jeden Strahlerzeugungssystems ist an einer gemein
samen Zentrierbuchse befestigt. Weiter ist es möglich,
daß die ersten Elektroden der beschleunigenden Elektronen
linse einen gemeinsamen Teil bilden. Dies ist beispiels
weise der Fall bei einem sogenannten integrierten Strahl
erzeugungssystem, das auch in der erwähnten niederländi
schen Patentanmeldung 78 12 540 beschrieben ist.
Bei derartigen Röhrenm sind die Abmessungen des
Auftreffflecks sehr wichtig, weil sie die Schärfe des dar
gestellten oder aufgenommenen Fernsehbildes bestimmen. Es
gibt drei Beiträge zu den Auftrefffleckabmessungen, u. zw.
der Beitrag durch die Unterschiede der thermischen Aus
trittsgeschwindigkeiten und der Winkel der Elektronen, die
aus der emittierenden Oberfläche der Kathode heraustreten,
die Beiträge der Raumladung des Bündels und die sphärische
Aberration der benutzten Elektronenlinsen. Letztgenannter
Beitrag wird dadurch ausgelöst, daß Elektronenlinsen den
Elektronenstrahl nicht ideal fokussieren. Im allgemeinen
werden Elektronen, die einen Teil des Elektronenstrahls
bilden und weiter entfernt von der optischen Achse einer
Elektronenlinse in diese Schwefelsäure eintreten, kräftiger von der
Linse abgelenkt als Elektronen, die näher bei der Achse in
die Linse eintreten. Dies wird als positive sphärische
Aberration bezeichnet. Die Auftrefffleckabmessungen ver
größern sich um die dritte Potenz der Bündelparameter, wie
beispielsweise des Öffnungswinkels oder des Durchmessers
des einfallenden Elektronenstrahls. Sphärische Aberration
wird daher auch 3. Ordnungsfehler genannt. Es wurde nach
gewiesen (W. Glaser, Grundlagen der Elektronenoptik, Springer
Verlag, Wien 1952), daß bei rotations-symmetrischen
Elektronenlinsen, bei denen das Potential außerhalb der
optischen Achse beispielsweise mit Metallzylindern festge
legt ist, immer eine positive sphärische Aberration auf
tritt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
Kathodenstrahlröhre anzugeben, in der die sphärische Aber
ration stark herabgesetzt oder sogar negativ gemacht ist,
um die positive sphärische Aberration einer vorangehenden
oder einer folgenden Linse auszugleichen, um auf diese
Weise die Auftrefffleckabmessungen herabzusetzen.
Diese Aufgabe wird bei einer Kathodenstrahlröhre
eingangs erwähnter Art erfindungsgemäß dadurch
gelöst, daß die zweite Elektrode mit einer in Richtung
auf die erste Elektrode gekrümmten elektrisch leitenden
Folie versehen ist, die den Elektronenstrahl schneidet
und deren Krümmung zumindest in der Mitte der Elektronenlinse
mit größer werdendem Abstand
von der optischen Achse abnimmt. Unter
Folie sei hier auch eine elektrisch leitende Gaze verstan
den.
Es sind auch Elektronenstrahlerzeugungssysteme
bekannt, in denen zwei beschleunigende Linsen für die
Fokussierung des Elektronenstrahls benutzt werden. Die gekrümmte,
elektrisch leitende Folie kann in diesem Fall in einer der beschleunigenden
Linsen oder in beiden Linsen benutzt werden.
Die Verwendung von Folien und Gazen in Elektronen
linsen ist beispielsweise aus Philips Research Reports 18,
465-605 (1963) bekannt, mit Folien und Gazen wurden ins
besondere Verwendungen angestrebt, bei denen eine sehr
kräftige Linse bei einem verhältnismäßig geringem Poten
tialverhältnis der Linse gewünscht wird. Dieses Potential
verhältnis ist das Verhältnis zwischen den Potentialen der
Linsenelektroden. In einer beschleunigenden Linse erfolgt
die Linsenwirkung durch eine konvergierende Linsenwirkung
im niedrigen Potentialteil der Linse und eine geringe diver
gierende Wirkung im hohen Potentialteil der Linse, so daß
das daraus entstehende Linsenverhalten konvergierend ist.
Die Linse ist also einer positiven und einer negativen
Linse zusammengesetzt. Durch das Anbringen einer flachen
oder konvex gekrümmten Gaze oder Folie am Rand der zweiten
Elektrode, die der ersten Elektrode zugewandt ist, wird
die negative Linse beseitigt und entsteht eine rein posi
tive Linse, die somit eine viel kräftigere Linsenwirkung
besitzt. Jedoch weist diese Linse immer noch sphärische
Aberration auf. Eine kugelförmige Gaze oder Folie in einer
beschleunigenden Elektronenlinse liefert, wie weiter unten
näher erläutert wird, nur eine geringe Reduzierung der
sphärischen Aberration. Indem nunmehr erfindungsgemäß der
Krümmungsradius der Gaze oder Folie zunächst mit sich ver
größerndem Abstand zur optischen Achse vergrößert wird,
erfolgt eine Stärkeänderung der Linse, wobei diese Stärke
in der Mitte vergrößert und zum Rand hin verkleinert wird.
Hierdurch bekommt man eine Linse, die die gleiche Stärke
für alle Bahnen des Elektronenstrahls hat. Bei den bekann
ten Gazelinsen, die mit einer flachen Gaze (oder Folie)
oder mit einer konvexen Gaze (oder Folie) mit einem kon
stanten Krümmungsradius versehen sind, ist dies nicht der
Fall. Durch die Wahl des Verlaufs des Krümmungsradius der
Gaze oder der Folie nach der Erfindung läßt sich die
sphärische Aberration stark herabsetzen oder sogar negativ
machen.
Sowohl aus Messungen als auch aus Berechnungen
erfolgt, daß eine Form der Folie oder Gaze
entsprechend der Form des Zentralteils einer O. Ordnung-
Besselfunktion, vorzugsweise bis zum ersten Minimum, zu
bevorzugten ist, was weiter unten näher erläutert wird.
Dies Form weicht bis zum ersten Minimum der O. Ordnung-
Besselfunktion wenig von der Kosinusform ab.
Im Gegensatz zur Verwendung einer Folie gibt
die Verwendung einer Gaze jedoch auch einen zusätzlichen
Beitrag zur Abmessung des Auftreffflecks. Dies ist die
Folge der Öffnungen in der Gaze, die als negative Blenden
linsen wirken. Dieser Beitrag, wie in Philips Research
Reports 18, 465-605 (1963) beschrieben, ist der Maschen
weite der Gaze proportional. Diese Maschenweite kann je
doch derart gewählt werden, daß dieser Beitrag viel kleiner
als die üblichen Beiträge in der Auftrefffleckvergrößerung
ist. Der restliche Beitrag der sphärischen Aberration der
Hauptlinse kann durch geeignete Wahl der Form der Gaze
kleiner als der Beitrag der Maschenweite gemacht werden.
Wenn sich vom Rand der Folie oder Gaze der zwei
ten Elektrode ein zylinderförmiger Kragen in Richtung auf
die erste Elektrode erstreckt, ist es sogar möglich, eine
beschleunigende Elektronenlinse mit einer negativen sphä
rischen Aberration herzustellen. Dieser Effekt läßt sich
auch durch eine Vergrößerung des Abstands (d) zwischen
den zwei Elektroden der beschleunigenden Linsen erreichen.
Diese negative sphärische Aberration kann dazu dienen,
eine positive sphärische Aberration einer vorangehenden
oder nachfolgenden Linse im Elektronenstrahlerzeugungs
system auszugleichen. Das Maß, mit dem die sphärische
Aberration korrigiert wird, bestimmt auch die Höhe (h) der
Gaze nach der Erfindung. Die Höhe ist der maximale Abstand
zwischen Gazeteilen, entlang der Achse der Linse gemesen
(siehe weiter Fig. 9b).
Da es möglich ist, in einer erfindungsgemäßen
Kathodenstrahlröhre die sphärische Aberration herabzusetzen,
ist es nicht mehr notwendig, eine Elektronenlinse mit einem
Linsendurchmesser zu wählen, der viel größer als der
Strahldurchmesser ist. Dadurch ist es möglich, Elektronen
strahlerzeugungssysteme mit Linsenelektroden mit einem ver
hältnismäßig geringen Durchmesser herzustellen, wodurch
der Hals der Kathodenstrahlröhre, in dem das Elektronen
strahlerzeugungssystem montiert ist, einen verhältnismäßig
geringen Durchmesser haben kann. Da hierdurch die Ablenk
spulen näher bei den Elektronenstrahlen liegen, kann man
mit einer geringeren Ablenkenergie auskommen. Geeignete
Werkstoffe für die Herstellung derartiger Folien und Gazen
sind beispielsweise Nickel, Molybdän und Wolfram. Eine
Nickelgaze kann sehr gut elektrolytisch abgelagert werden
(electroformed by electrolytic deposition). Es ist möglich,
Webegaze aus Molybdän und Wolfram mit einer Durchlässig
keit von 80% herzustellen.
Die bisher zum Herabsetzen sphärischer Aberration
benutzten Folien oder Gazen waren flach oder konvex (siehe
z. B. Optik 46 (1976) Nr. 4, 463-473, "Der Öffnungsfehler 3.
Ordnung und der axiale Farbfehler von rotationssymmetrischen
Elektronenlinsen mit gekrümmter geladener transparenter
Folie", H. Hoch, E. Kasper, D. Kern).
Der Effekt derartiger Folien bei einer beschleu
nigenden Elektronenlinse auf die sphärische Aberration ist
jedoch nicht sehr groß. Dies läßt sich auch verstehen.
Eine flache oder eine konvexe Gaze folgt mehr oder weniger
der Form der Äquipotentialflächen zwischen zwei Linsenelek
troden ohne Gaze. Erfindungsgemäß wird die Form der Äqui
potentialflächen zum Herabsetzen der sphärischen Aberration
beeinflußt.
Da die beschleunigenden Elektronenlinsen für er
findungsgemäße Kathodenstrahlröhren nahezu keine sphärische
Aberration aufweisen, können die Elektronenstrahlerzeugungs
systeme einfacher ausgeführt werden und beispielsweise aus
einer Kathode, einem Steuergitter und der erwähnten be
schleunigenden Elektronenlinse bestehen.
In der DE-PS 11 34 769 wird eine Einrichtung be
schrieben, bei der zwischen zwei Ringelektroden eine konvexe
Gazeelektrode elektrisch isoliert aufgehängt ist. Diese
Gazeelektrode wird zum Ausgleichen der sphärischen Aber
ration einer magnetischen Fokussierungslinse benutzt. Die
Gaze bildet keinen Teil der zu korrigierenden Linse. Außer
dem ist die Magnetlinse keine beschleunigende Linse. Auch
ist aus der US-PS 32 40 972 eine Kathodenstrahlröhre mit
einer in Richtung auf die Auftreffplatte konvexen Gaze
bekannt, durch die eine negative beschleunigende Linse zum
Erhalten von Ablenkverstärkung ohne Rastverzerrung ge
bildet wird. Hiermit wird jedoch die sphärische Aberration
des Elektronenstrahls nicht herabgesetzt.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nach
stehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine erfindungs
gemäße Kathodenstrahlröhre,
Fig. 2 einen Schnitt durch eine Elektronenstrahl
erzeugungssystem für eine Kathodenstrahlröhre nach Fig. 1,
Fig. 3 einen der Elektronenstrahlerzeuger des
Systems nach Fig. 2 im Längsschnitt,
Fig. 4a eine beschleunigende Elektronenlinse
nach dem Stand der Technik im Längsschnitt,
Fig. 4b eine Vergrößerung des Fokuspunktes des
mit der Linse nach Fig. 4a fokussierten Elektronenstrahls,
Fig. 5a eine beschleunigende Elektronenlinse mit
einer konvexen Gaze nach dem Stand der Technik im Längs
schnitt,
Fig. 5b eine Vergrößerung des Fokuspunktes des
mit der Linse nach Fig. 5a fokussierten Elektronenstrahls,
Fig. 6a eine beschleunigende
Elektronenlinse einer Kathodenstrahlröhre nach der Erfindung
im Längsschnitt,
Fig. 6b eine Vergrößerung des Fokuspunktes des
mit der Linse nach Fig. 6a fokussierten Elektronenstrahls,
Fig. 7a eine andere Ausführungsform einer
beschleunigenden Elektronenlinse
einer Kathodenstrahlröhre nach der Erfindung
im Längsschnitt,
Fig. 7b eine Vergrößerung des Fokuspunktes des
mit der Linse nach Fig. 7a fokussierten Elektronenstrahls,
Fig. 8a eine andere Ausführungsform einer be
schleunigenden Elektronenlinse mit einer negativen sphä
rischen Aberration im Längsschnitt,
Fig. 8b eine Vergrößerung des Fokuspunktes des
mit der Linse nach Fig. 8a fokussierten Elektronenstrahls,
und
Fig. 9a eine O. Ordnung-Besselfunktion und die
Fig. 9b bis i Schnitte durch eine Anzahl beschleunigender
Elektronenlinsen einer Kathodenstrahlröhre nach der Erfindung.
In Fig. 1 ist als Beispiel schematisch eine er
findungsgemäße Kathodenstrahlröhre dargestellt, in diesem
Fall eine Farbfernsehbildröhre vom "in-line"-Typ. In einem
Glaskolben 1, der aus einem Bildfenster 2, einem Konus 3
und einem Hals 4 besteht, sind in diesem Hals drei Elek
tronenstrahlerzeugungsssysteme 5, 6 und 7 angeordnet, welche
die Elektronenstrahlen 8, 9 und 10 erzeugen. Die Achsen
der Elektronenstrahlerzeugungssysteme liegen in einer Ebene,
d. h. in der Zeichenebene. Die Achse des mittleren Elektro
nenstrahlerzeugungssystems 6 ist mit der Röhrenachse 11
nahezu deckungsgleich. Die drei Elektronenstrahlerzeugungs
systeme münden in eine Buchse 16, die koaxial im Hals 4
liegt. Das Bildfenster 2 ist an der Innenseite mit einer
Vielzahl von Tripeln von Phosphorlinien versehen. Jedes
Tripel enthält eine Linie aus einem grün leuchtenden Phosphor,
eine Linse aus einem blau leuchtenden Phosphor und
eine Linie aus einem rot leuchtenden Phosphor. Alle Tripel
zusammen bilden den Bildschirm 12. Die Phosphorlinien ver
laufen senkrecht zur Zeichenebene. Vor dem Bildschirm ist
eine Lochmaske 13 angeordnet, in der eine Vielzahl läng
licher Öffnungen 14 angebracht ist, durch die die Elektronen
strahlen 8, 9 und 10 hindurchgehen. Die Elektronen
strahlen werden in horizontaler Richtung (in der Zeichen
ebene) und in der vertikalen Richtung (senkrecht dazu) vom
Ablenkspulensystem 15 abgelenkt. Die drei Elektronenstrahl
erzeugungssysteme sind derart montiert, daß ihre Achsen
einen spitzen Winkel miteinander bilden. Die Elektronen
strahlen fallen dadurch unter einem Winkel, dem sogenannten Farb
auswahlwinkel, durch die Öffnungen 14 und treffen jeweils
nur Phosphorlinien einer Farbe.
In Fig. 2 sind die drei Elektronenstrahlerzeu
gungssysteme 5, 6 und 7 in Perspektive dargestellt. Die
Elektroden dieses dreifachen Elektronenstrahlerzeugungs
systems sind in bezug aufeinander mit Hilfe von Metall
streifen 17 positioniert, die in Glasmontagestäbchen 18
eingeschmolzen sind. Jedes Elektronenstrahlerzeugungs
system besteht aus einer Kathode (hier nicht dargestellt),
einer Steuerelektrode 21, einer ersten Anode 22 und Elek
troden 23 und 24. Die Elektroden 23 und 24 bilden zusammen
eine beschleunigende Elektronenlinse, mit der die Elektronen
strahlen auf dem Bildschirm 12 (Fig. 1) fokussiert werden.
Die Elektroden 24 sind mit in Richtung der Elektroden
23 gekrümmten Gazen 30 (hier nicht sichtbar) versehen.
In Fig. 3 ist im Längsschnitt eines der
Elektronenstrahlerzeugungssysteme dargestellt. In der
Elektrode 21 befindet sich eine Kathode 19. Die Elektrode
24 ist mit einer aus Wolfram hergestellten Gaze 30 (Draht
durchmesser 7,5 µm und Maschenweite 75 µm) versehen. Die
Gazekrümmung sinkt zunächst mit dem Abstand von der Achse
31. Dies hat, wie anhand der Fig. 6a und 6b bis 8a und b
näher erläutert wird, eine Verringerung der positiven, oder
abhängig vom Abstand (siehe Fig. 8a) sogar eine negative
sphärische Aberration zur Folge. Die an die Elektroden ge
legten Potentiale sind in Fig. 3 dargestellt.
In Fig. 4a ist schematisch eine bekannte beschleu
nigende Elektronenlinse im Schnitt dargestellt. Die Linse
besteht aus einer ersten zylinderförmigen Elektrode 41 mit
einem Potential V₁ und aus einer zweiten zylinderförmigen
Elektrode 42 mit einem Potential V₂. Wenn V₂/V₁=10, beträgt
der Brennpunktabstand an der Bildseite etwa 2,5 D, worin D
der Durchmesser der Zylinderelektroden ist. Die Äquipoten
tiallinien 40 (es sind die Schnittlinien der Äquipotential
flächen mit der Zeichenebene) sind nach jeweils 0,5 V₁ dar
gestellt. Der Gegenstandsabstand ist hier und auch in den
nachfolgenden Beispielen derart gewählt, daß die paraxiale
lineare Vergrößerung immer 5 beträgt. Der Gesamtöffnungs
winkel des Elektronenstrahls 48 beträgt 0,15 rad. Neben der
Zentralbahn 43 sind äquidistant auf den Öffnungswinkel an
beide Seiten dieser Zentralbahn verteilt vier Elektronen
bahnen 44, 45, 46 und 47 dargestellt. In Fig. 4b ist eine
Vergrößerung des Fokuspunkts (Punkt mit Mindestdurchmesser)
des Elektronenstrahls nach Fig. 4a an der Stelle Z=10,5 D
dargestellt. Der Mindeststrahldurchmesser, geteilt durch
D beträgt 3,3×10-2. Die Strahlen 44 schneiden die Zen
tralbahn 43 an einer ganz anderen Stelle und weiter vom
Gegenstand entfernt als die weiter von der Zentralbahn 43
entfernt liegenden Strahlen 45, 46 und 47. Dies wird mit
positiver sphärischer Aberration bezeichnet.
In Fig. 5a ist schematisch eine beschleunigende
Elektronenlinse mit einer kugelförmigen Gaze 59 mit einem
Krümmungsradius der Gaze von 0,625 D dargestellt. Die Linse
besteht aus einer ersten zylinderförmigen Elektrode 51 mit
einem Potential V₁ und einer zweiten zylinderförmigen
Elektrode 52 mit einem Potential V₂. Wenn jetzt V₂/V₁=1,6
(z. B. V₁=10 kV und V₂=16 kV), ist der Brennpunktabstand
an der Bildseite wieder etwa 2,5 D. Die Äquipotentiallinien
50 sind nach jeweils 0,05 V dargestellt. Der Gesamtöffnungs
winkel des Elektronenstrahls 58 beträgt 0,06 rad. Er ist
im Vergleich zum Öffnungswinkel in Fig. 4a im Zusammenhang
mit dem anderen Spannungsverhältnis V₂/V₁ kleiner gewählt.
Neben der Zentralbahn 53 werden bei äquidistanter Verteilung
auf den Öffnungswinkel an einer Seite dieser Zentralbahn
vier Elektronenbahnen 54, 55, 56 und 57 dargestellt. Die
an der anderen Seite der Zentralbahn symmetrisch liegenden
Elektronenbahnen sind der Symmetrie halber nicht dargestellt.
In Fig. 5b ist eine Vergrößerung des Fokuspunkts
an der Stelle Z=13,8 D dargestellt. Der Mindestelektronen
strahldurchmesser geteilt durch D beträgt 1,8 · 10-2.
Aus dieser Figur ist ersichtlich, daß durch
Verwendung einer kugelförmigen Gaze in einer beschleunigen
den Elektronenlinse die sphärische Aberration herabgesetzt
wird. Denn der Schnittpunkt der inneren Strahlen (54) mit
der Zentralbahn liegt näher beim Schnittpunkt der äußeren
Strahlen (57) mit der Zentralbahn als in Fig. 4b.
In Fig. 6a ist schematisch eine beschleunigende
Elektronenlinse mit einer Gaze 69 dargestellt, die
die Form des Zentralteils einer O. Ordnung-
Besselfunktion besitzt, wobei das erste Minimum der O. Ordnung-
Besselfunktion mit dem Rand der zylinderförmigen
Elektrode 62 zusammenfällt. Die Höhe h der Gaze beträgt
0,125 D. Weiter besteht die Linse aus einer ersten zylinder
förmigen Elektrode 61 mit einem Potential V₁. Die zweite
zylinderförmige Elektrode 62 hat ein Potential V₂. Wenn
V₂/V₁=1,6 (z. B. V₁=10 kV und V₂=16 kV) beträgt der
Brennpunktabstand an der Bildseite wieder etwa 2,5 D. Die
Äquipotentiallinien 60 sind nach jeweils 0,05 V₁ darge
stellt. Der Gesamtöffnungswinkel des Elektronenstrahls 68
beträgt 0,06 rad. Es sind wieder vier Elektronenbahnen 64,
65, 66 und 67 an einer Seite der Zentralbahn 63 dargestellt.
In Fig. 6b ist eine Vergrößerung des Fokuspunkts
in Z=13,3 D dargestellt. Aus dieser Figur ist ersichtlich,
daß durch Verwendung einer Gaze mit einer Form, die im
wesentlichen der Form des Zentralteils einer O. Ordnung-
Besselfunktion entspricht, die sphärische Aberration nahe
zu beseitigt werden kann. Der Mindeststrahldurchmesser
beträgt etwa 25% des Mindeststrahldurchmessers nach Fig. 5b.
In Fig. 7a und 7b ist eine beschleunigende Elektronen
linse und eine Vergrößerung des Fokuspunkts analog
der Fig. 6a und 6b dargestellt. Die Elektrode 62 ist jetzt
jedoch mit einem sich in Richtung auf die Elektrode 61 er
streckenden Kragen 70 mit einer Länge l von 0,125 D ver
sehen. Wie aus Fig. 7b ersichtlich, ist im Punkt Z=15,6 D
der Mindeststrahldurchmesser sehr gering und tritt kaum
mehr eine sphärische Aberration auf.
In Fig. 8a ist eine beschleunigende Elektronen
linse gleich der in Fig. 7a dargestellt, wobei der Abstand
d zwischen der Elektroden 61 und 62 vergrößert ist und
0,125 D beträgt. Es ist aus Fig. 8b ersichtlich, daß eine
derartige Linse eine negative sphärische Aberration be
sitzt. Die inneren Strahlen 64 des Elektronenbündels schnei
den die Zentralbahn früher als die weiter auswärts liegen
den Strahlen. Es ist möglich, mit einer derartigen Linse
mit negativer sphärischer Aberration die positive sphäri
sche Aberration einer vorangehenden Linse auszugleichen.
So bilden die Elektroden 22 und 23 in Fig. 1 zusammen eine
beschleunigende Elektronenlinse mit einer positiven sphä
rischen Aberration. Sie läßt sich durch eine negative
sphärische Aberration der Linse ausgleichen, die von den
Elektroden 23 und 24 gebildet wird, so daß der Gesamt
beitrag der sphärischen Aberration zur Auftreffflächen
abmessung möglichst klein wird.
In Fig. 9a ist der Verlauf der O. Ordnung-Bessel
funktion dargestellt. Im Zentrum befindet sich das erste
und größte Maximum 90 und daneben die Biegepunkte 91 und
die ersten Minima 92. Daneben befinden sich die zweiten
Maxima 93, abwechselnd gefolgt von Minima und Maxima. Für
die Erfindung ist nur der Verlauf dieser Funktion bis zu
den zweiten Maxima 93 wichtig.
In Fig. 9b ist schematisch eine beschleunigende
Elektronenlinse mit zwei zylinderförmigen Elektroden 100
und 101 dargestellt. Die Elektrode 100 ist mit einer ge
krümmten Gaze 102 versehen, die nach einer O. Ordnung-Bessel
funktion gekrümmt ist. Der Rand bildet das erste Minimum
dieser O. Ordnung-Besselfunktion. Die Höhe h der Gaze be
stimmt damit das Maß des Ausgleichs der sphärischen Aberration.
In Fig. 6a ist diese Höhe h beispielsweise 0,125 D.
In Fig. 9c ist schematisch eine beschleunigende
Elektronenlinse mit zwei zylinderförmigen Elektroden 103
und 104 dargestellt. Die Elektrode 103 ist mit einem zy
linderförmigen, sich in Richtung auf die Elektrode 104
erstreckenden Kragen 105 ausgerüstet. Die Form der Gaze
106 ist der Form der Gaze in Fig. 9b identisch. Außerdem
ist der Abstand zwischen den Elektroden 103 und 104 größer
als der Abstand zwischen den Elektroden 100 und 101 (Fig. 9b),
wodurch, wie in Fig. 8a und b dargestellt, eine
negative sphärische Aberration erhalten wird.
In Fig. 9d ist schematisch eine beschleunigende
Elektronenlinse mit zwei zylinderförmigen Elektroden 107
und 108 dargestellt. Die Elektrode 107 ist mit einer Gaze
109 versehen, die gemäß dem Zentralteil einer O. Ordnung-
Besselfunktion gekrümmt ist. Vom ersten Biegepunkt aus er
streckt sich ein flacher Teil 116 zum Rand der Elektrode 107.
In Fig. 9e ist schematisch eine beschleunigende
Elektronenlinse mit zwei zylinderförmigen Elektroden 110
und 111 dargestellt. Die Elektrode 110 ist mit einer Gaze
112 versehen, die nach einer O. Ordnung-Besselfunktion bis
zum zweiten Nulldurchgang gekrümmt ist.
In Fig. 9f ist schematisch eine beschleunigende
Elektronenlinse mit zwei zylinderförmigen Elektrodeen 113
und 114 dargestellt. Die Form der gekrümmten Gaze 115 ist
gleich der Form der in Fig. 9d dargestellten Gaze, jedoch
ist die Höhe das 1½fache der Höhe der gekrümmten Gaze 108
(Fig. 9d).
In Fig. 9g ist schematisch eine beschleunigende
Elektronenlinse mit zwei zylinderförmigen Elektroden 117
und 118 dargestellt. Die Form der gekrümmten Gaze 119 ist
der Form der in Fig. 9f dargestellten Gaze gleich, jedoch
ist der flache Rand 120 schmaler als der flache Rand 116
in Fig. 9f.
In Fig. 9h ist schematisch eine beschleunigende
Elektronenlinse mit zwei zylinderförmigen Elektroden 121
und 122 dargestellt. Die Elektrode 121 ist mit einer Gaze
123 versehen, die nach einer O. Ordnung-Besselfunktion bis
zum ersten Biegepunkt gekrümmt ist.
In Fig. 9i ist schematisch eine beschleunigende
Elektrodenlinse mit zwei zylinderförmigen Elektroden 124
und 125 dargestellt. Die Form der gekrümmten Gaze 126 ist
gleich der Form der in Fig. 9b dargestellten Gaze, jedoch
ist die Höhe h das Zweifache der Höhe der gekrümmten Gaze
102 der Fig. 9b.
Alle dargestellten Gazeformen haben gemeinsam,
daß sie gemäß einer O. Ordnung-Bessel
funktion gekrümmt sind. In Abhängigkeit vom Elektronen
strahldurchmesser und vom Elektrodendurchmesser können die
beschriebenen Formen gewählt werden. Die Höhe h der Gaze
und der Abstand d zwischen den zwei Elektroden der be
schleunigenden Elektronenlinse können anhand von Versuchen
und Berechnungen ermittelt werden.
Da die Form einer O. Ordnung-Besselfunktion bis
zum ersten Minimum nur geringfügig von der Form einer
Kosinunsfunktion abweicht, ist es klar, daß auch Gazen
oder Folien mit der Form einer Kosinusfunktion oder einer
anderen, nur geringfügig von einer O. Ordnung-Besselfunktion
abweichenden Form benutzt werden können. Denn der Kern der
Erfindung ist, daß der Krümmungsradius der Gaze zunächst
mit größer werdendem Abstand zur optischen Achse der
Elektronenlinse größer wird, wodurch eine Stärkenänderung
der Linse erfolgt, wobei diese Stärke im Zentrum des Strahls
vergrößert und zum Rande hin verkleiner wird. Hierdurch
wird eine Linse erhalten, die für alle Bahnen des Elek
tronenstrahls nahezu gleiche Stärke hat.
Claims (6)
1. Kathodenstrahlröhre mit einem Elektronenstrahl
erzeugungssystem in einem evakuierten Kolben zum Erzeugen
eines Elektronenstrahls, der auf eine Auftreffplatte mit
Hilfe mindestens einer beschleunigenden Elektronenlinse
fokussiert wird, die - in Fortpflanzungsrichtung des
Elektronenstrahls gesehen - aus einer ersten und einer
zweiten, koaxial um den Elektronenstrahl angeordneten
Elektrode besteht, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite
Elektrode (24) mit einer in Richtung auf die erste Elektrode
(23) gekrümmten, elektrisch leitenden Folie (30)
versehen ist, die den Elektronenstrahl schneidet und deren
Krümmung zumindest in der Mitte der Elektronenlinse
mit größer werdendem Abstand von der
optischen Achse (31) abnimmt.
2. Kathodenstrahlröhre nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Folie (30) mit größer
werdendem Abstand von der optischen Achse (31)
gemäß dem Zentralteil einer O. Ordnung-Bessel
funktion gekrümmt ist.
3. Kathodenstrahlröhre nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Folie (30) mit größer
werdendem Abstand von der optischen Achse (31)
gemäß dem Zentralteil einer O. Ordnung-Bessel
funktion bis zum ersten Minimum gekrümmt ist.
4. Kathodenstrahlröhre nach Anspruch 1, 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet, daß sich vom Rand der zweiten Elektrode
in Richtung auf die erste Elektrode (61) ein zylinder
förmiger Kragen (70) erstreckt.
5. Kathodenstrahlröhre nach einem der vorangehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Elektronen
strahlerzeugungssystem nacheinander eine Kathode, ein
Steuergitter und die erwähnte beschleunigende Elektronen
linse enthält.
6. Kathodenstrahlröhre nach einem der vorangehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Bild
röhre zum Darstellen von Buchstaben, Ziffern und Symbolen
ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL8200691A NL8200691A (nl) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | Kathodestraalbuis. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3305415A1 DE3305415A1 (de) | 1983-09-01 |
DE3305415C2 true DE3305415C2 (de) | 1991-10-24 |
Family
ID=19839299
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833305415 Granted DE3305415A1 (de) | 1982-02-22 | 1983-02-17 | Kathodenstrahlroehre |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4567399A (de) |
JP (1) | JPS58154142A (de) |
CA (1) | CA1194081A (de) |
DD (1) | DD217081A5 (de) |
DE (1) | DE3305415A1 (de) |
ES (1) | ES8401677A1 (de) |
FR (1) | FR2522196B1 (de) |
GB (1) | GB2115978B (de) |
IT (1) | IT1171059B (de) |
NL (1) | NL8200691A (de) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8400841A (nl) * | 1984-03-16 | 1985-10-16 | Philips Nv | Kathodestraalbuis. |
US5154668A (en) | 1989-04-06 | 1992-10-13 | Schubert Keith E | Single paper sheet forming a two-sided copy of information entered on both sides thereof |
US6369512B1 (en) | 1998-10-05 | 2002-04-09 | Sarnoff Corporation | Dual beam projection tube and electron lens therefor |
FR3006499B1 (fr) | 2013-05-31 | 2016-11-25 | Commissariat Energie Atomique | Lentille electrostatique a membrane isolante ou semiconductrice |
US11373838B2 (en) | 2018-10-17 | 2022-06-28 | Kla Corporation | Multi-beam electron characterization tool with telecentric illumination |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2225917A (en) * | 1937-06-02 | 1940-12-24 | Gen Electric | Electron discharge device |
US2223040A (en) * | 1937-06-30 | 1940-11-26 | Gen Electric | Electron discharge device |
US2277414A (en) * | 1941-07-02 | 1942-03-24 | Gen Electric | Electron lens |
FR1272053A (fr) * | 1959-07-07 | 1961-09-22 | Rca Corp | Perfectionnements aux tubes à rayons cathodiques |
NL253491A (de) * | 1959-07-07 | |||
DE1134769B (de) * | 1959-08-22 | 1962-08-16 | Zeiss Carl Fa | Vorrichtung zur Kompensation des OEffnungsfehlers einer rotations-symmetrischen, raumladungsfreien elektronenoptischen Linse |
US3376447A (en) * | 1963-12-16 | 1968-04-02 | Philips Corp | Cathode-ray image scanning tube using low-velocity electron beam with electrostatic deflection and anamorphotic lens for improved focussing |
JPS5572346A (en) * | 1978-11-27 | 1980-05-31 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Electrostatic electron lens |
NL7812540A (nl) * | 1978-12-27 | 1980-07-01 | Philips Nv | Kathodestraalbuis. |
JPS5691360A (en) * | 1979-12-25 | 1981-07-24 | Toshiba Corp | Electron gun structure |
-
1982
- 1982-02-22 NL NL8200691A patent/NL8200691A/nl not_active Application Discontinuation
-
1983
- 1983-01-17 US US06/458,231 patent/US4567399A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-02-17 DE DE19833305415 patent/DE3305415A1/de active Granted
- 1983-02-17 CA CA000421850A patent/CA1194081A/en not_active Expired
- 1983-02-18 IT IT19660/83A patent/IT1171059B/it active
- 1983-02-18 ES ES519896A patent/ES8401677A1/es not_active Expired
- 1983-02-18 GB GB08304505A patent/GB2115978B/en not_active Expired
- 1983-02-19 JP JP58025527A patent/JPS58154142A/ja active Granted
- 1983-02-21 FR FR8302769A patent/FR2522196B1/fr not_active Expired
- 1983-03-16 DD DD83248851A patent/DD217081A5/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DD217081A5 (de) | 1985-01-02 |
JPS58154142A (ja) | 1983-09-13 |
JPH0447939B2 (de) | 1992-08-05 |
CA1194081A (en) | 1985-09-24 |
ES519896A0 (es) | 1983-12-01 |
GB2115978B (en) | 1985-12-18 |
NL8200691A (nl) | 1983-09-16 |
IT1171059B (it) | 1987-06-10 |
US4567399A (en) | 1986-01-28 |
IT8319660A0 (it) | 1983-02-18 |
ES8401677A1 (es) | 1983-12-01 |
FR2522196B1 (fr) | 1986-09-26 |
GB8304505D0 (en) | 1983-03-23 |
FR2522196A1 (fr) | 1983-08-26 |
GB2115978A (en) | 1983-09-14 |
DE3305415A1 (de) | 1983-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2534912A1 (de) | Fokussierlinsenanordnung fuer den elektronenstrahl einer kathodenstrahlroehre | |
DE2850411A1 (de) | Kathodenstrahlroehre | |
DE1162957B (de) | Elektronenlinsensystem zur Korrektur der Strahlenbuendelung in einer Kathodenstrahlroehre | |
DE2500818A1 (de) | Kathodenstrahlroehre | |
DE4037029C2 (de) | Elektronenkanone für eine Farbkathodenstrahlröhre | |
DE1762109B2 (de) | Farbbildroehre mit einer einfach elektronenkanone | |
DE3305415C2 (de) | ||
DE2311369A1 (de) | Elektronenstrahlroehre mit einem nichtrotationssymmetrischen element | |
DE3218939C2 (de) | ||
DE715021C (de) | Elektrische Elektronensammellinse fuer Hochvakuumelektronenstrahlroehren | |
DE1015948B (de) | Elektronenstrahlerzeugungssystem fuer eine Kathodenstrahlroehre, insbesondere fuer Fernsehzwecke | |
DE2935788A1 (de) | Kathodenstrahlroehre | |
DE2914838C2 (de) | Elektronenstrahlerzeugungssystem | |
DE4230207A1 (de) | Elektronenkanone fuer eine farbkathodenstrahlroehre | |
DE2811355A1 (de) | Geraet mit einer kathodenstrahlroehre | |
DE2729932A1 (de) | Kathodenstrahlroehre mit einer astigmatischen elektronenlinse | |
DE2846654A1 (de) | Farbbildroehre und verfahren zur herstellung einer derartigen farbbildroehre | |
DE3213498A1 (de) | Bildwiedergabevorrichtung | |
DE2010520A1 (de) | Kathodenstrahlrohre | |
DE19741381A1 (de) | Elektronenkanone für Farbkathodenstrahlröhre | |
DE1966566C2 (de) | Kathodenstrahlröhre | |
DD212355A5 (de) | Kathodenstrahlroehre | |
DE1101494B (de) | Mehrstrahl-Bildroehre mit Fokusmaske und einem Mosaikschirm | |
DD232374A5 (de) | Elektronenstrahlroehre | |
DE3013044A1 (de) | Fernsehbildroehre mit einem elektronenstrahlsystem, das nichtkreisfoermige oeffnungen hat |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: PIEGLER, H., DIPL.-CHEM., PAT.-ASS., 2000 HAMBURG |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: KOCH, I., DIPL.-ING. DR.-ING., PAT.-ASS., 2000 HAM |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |