DE1464352B2 - Elektromagnetische elektronenlinse fuer elektronenmikroskope - Google Patents
Elektromagnetische elektronenlinse fuer elektronenmikroskopeInfo
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims 4
- 241000047428 Halter Species 0.000 claims 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 claims 1
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 claims 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 claims 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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Description
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stimmen. Das innere Hohlglied 34 ist einer der Teile ist und in einem ferromagnetischen Hohlzylinder 54
des Mantels des Mikroskops, die den Elektronenbün- endet, dessen etwas kegelförmig durchbohrtes Ende
delkanal bilden. In diesen gelangen häufig Staubteil- 56 dem Ende 51 des Zylinders 49 gegenüberliegt und
chen, die beim Auswechseln des Objekts im Halter mit diesem zusammenarbeitet, um das Magnetfeld im
27 in das Mikroskop eintreten. Staubteilchen können 5 Linsengebiet 57 zu gestalten. Die Zylinder 49 und 54
auch ins Mikroskop gelangen, wenn dieses zum Er- werden von einem hohlen nichtmagnetischen Absetzen
bestimmter Teile zerlegt wird. Standsglied 58 im Abstand voneinander gehalten.
Im Mantelkanal bzw. in der Bohrung des Hohl- Die letzte Linse im Mikroskop ist eine Projektionsgliedes befinden sich mehrere hohlzylindrische ferro- linse, die aus einer Spule 59 und mehreren ferromagnetische
Einsätze 37, 38 und 39, die koaxial zur io magnetischen Teilen besteht, und zwar der Ringscheibe
Achse 13 des Elektronenbündels angeordnet sind. Je- 53, einem zylindrischen Ansatz 61 des Umfanges
der dieser Einsätze 37, 38, 39 hat eine kegelförmige derselben, einer Ringscheibe 62 am anderen Ende
Bohrung mit einem eingeschlossenen Winkel, dessen des Zylinders 61 und drei fluchtenden ferromagneti-Wert
vom Abstand zwischen dem Zylinder und sehen Innenzylindern um die Achse des Mantels. Der
einem Punkt im Gebiet 28 des Objektives abhängt. 15 erste dieser Zylinder ist mit 63 bezeichnet und hat
Dieser Punkt ist scheinbar der Ursprung der Elektro- eine kegelförmige Bohrung, dessen eingeschlossener
nen im Bündel, die sich im allgemeinen gradlinig auf Winkel vom gleichen Gesetz bestimmt wird, das für
ihrem Weg durch die Einsätze 37, 38 und 39 bewe- die Winkel der Einsätze 37, 38 und 39 gilt, mit dem
gen. Der Scheitelwinkel der Bohrung in jedem Ein- Unterschied, daß der Scheitel des Winkels der Bohsatz
ist derartig, daß der Schnittpunkt der Erzeugen- 20 rung des Zylinders 63 zwischen dem Ende dieses Zyden
zwischen diesem Punkt des Objektives und dem linders und dem Zentrum des nächst davorliegenden
diesem zugewandten Ende des betreffenden Einsatzes Linsengebiets 57 liegt. Die beiden weiteren ferromaliegt.
Infolgedessen ist der eingeschlossene Winkel gnetischen Zylinder 64 und 66 mit einander zugekehrder
Bohrung des Einsatzes 37, der dem Gebiet 28 am ten etwas kegelförmig durchbohrten Enden 67 bzw.
nächsten liegt, größer als der eingeschlossene Winkel 25 68 bestimmen das Feld der Korrektionslinse im Geder
Bohrung im zweiten Einsatz 38, der wiederum biet 69. Diese Zylinder werden durch einen nichtmagrößer
als der eingeschlossene Winkel der Bohrung gnetischen Hohlzylinder 71 im Abstand voneinander
im dritten Einsatz 39 ist. Das kegelförmige Ende 36 gehalten,
des Hohlkörpers 34 folgt der gleichen Regel. Jenseits der Projektionslinse befindet sich ein
des Hohlkörpers 34 folgt der gleichen Regel. Jenseits der Projektionslinse befindet sich ein
Stigmatorspulen sind vorgesehen, um im Gebiet 28 30 Raum 72, in dem ein Halter für einen photographi-
Korrekturfelder zu liefern, und in der Figur sind zwei sehen Film untergebracht werden kann. Am Ende
Stigmatorspulen, und zwar 41 und 42 dargestellt. des Raumes 72 befindet sich ein Fenster 73, das eine
Jede Spule hat einen schlanken ferromagnetischen Innenfläche 74 hat, auf der eine dünne Schicht 76
Kern, und zwar die Spule 41 einen Kern 43 und die aus Leuchtmaterial angebracht ist, um das Elektro-
Spule 42 einen Kern 44. Diese Stigmatorspulen wer- 35 nenbild in ein Lichtbild umzuwandeln. Das Fenster
den fest in einem nichtmagnetischen Teil 46 gehal- wird von einem Klemmring 77 gehalten und durch
ten. Packungen 78 bis 80 abgedichtet.
Vom Feld einer weiteren Spule 47 wird eine ver- Beim Zusammenbau des Mikroskops werden zugrößernde
Elektronenlinse gebildet. Die Form des nächst die Zylinder 21, 31, 48 und 61 mit den zuMagnetfeldes
dieser Spule wird bestimmt, d. h. das 4° geordneten Spulen aufeinander gestapelt. Hierbei fin-FeId
wird konzentriert, von ferromagnetischen Glie- den Lehren Verwendung. Die Verbindungsnähte zwidern,
unter anderem der Ringscheibe 35 und einem sehen den Teilen, die zusammen den Mantel bilden,
zylindrischen Ansatz 48 am Umfang dieser Scheibe. werden mit Hilfe von ringförmigen Packungen 81
Ein innerer Hohlzylinder 49 erstreckt sich vom Innen- hermetisch abgedichtet, so daß die Räume, in denen
umfang der Scheibe 33 und endet in einem sich 45 die Linsenspulen 18, 29, 47 und 59 angeordnet sind,
nach innen erstreckenden Ende 51 mit einer mittle- nicht entlüftet zu werden brauchen. Die Innenzylinren
Öffnung, durch die die Achse 13 hindurchgeht. der werden dann zwischen dem Zylinder 34 und dem
Der Zylinder 49 bildet eigentlich eine magnetische Zylinder 66 im Mantelkanal angeordnet und durch
Verlängerung des Zylinders 34, und zur Erhöhung eine Mutter 82 gehalten.
der elektrischen Abschirmung ist ein nichtmagneti- 50 Das Ganze wird ausgerichtet und mittels mindestens
scher Hohlzylinder 52 vorgesehen, der in die Zylin- eines Schraubenbolzens 83 und eines Hohlrohres 86
der 34 und 49 und um die Einsätze 37, 38 und 39 84, der den Raum 72 mit einem Entlüftungskanal 86
paßt. Diese letzteren sind nur an den Enden der Zy- verbindet, festgesetzt. Der Kanal 86 steht auch mit
linder 34 und 49 magnetisch mit diesen verbunden. einem Kanal 87 in Verbindung, der in den Deckel
Die übrigen, die Spule 47 umgebenden magnetischen 55 des Mikroskops mündet. Dies ermöglicht eine rasche
Glieder bestehen aus einer Ringscheibe 53, die ma- Entlüftung des Mikroskops an beiden Enden des
gnetisch mit dem Ende des Zylinders 48 verbunden Mantels.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Elektromagnetische Elektronenlinse für zu verhindern, werden zusätzliche magnetische oder
Elektronenmikroskope mit einer Elektronenquel- 5 statische zylindrische Linsen im Strahlengang an-Ie,
bestehend aus einer in einer ferromagnetischen geordnet, die in rechtwinklig aufeinander arbeitenden
Kapselung angeordneten Spule, bei der die Kap- Koordinaten den Astigmatismus bei geeigneter Einselung
eine zur Achse des Elektronenstrahlbün- stellung ausgleichen können. Diese Linsen erfüllten
dels koaxiale, zylindrische Bohrung aufweist, in jedoch nicht die Bedingungen der vorliegenden Einweicher
hohlzylindrische Einsätze mit konisch io sätze, da die Innenwand der bekannten Linse zylinzulaufenden,
als Polschuhe wirkenden Enden an- drisch ist und somit keine Abschattung des größten
geordnet sind, dadurch gekennzeichnet, Teiles der Innenoberfläche gegenüber dem Elektrodaß
in den Einsätzen (34) weitere Einsätze (37, nenbündel wie bei einem Zylinder auftritt.
38, 39) mit durchgehenden, zur Bündelachse ko- Die Erfindung wird nachstehend an Hand der
axialen kegelstumpfförmigen Bohrungen vorhan- 15 Zeichnung näher erläutert, die eine Seitenansicht
den sind und die kleineren Stirnseiten der Kegel- eines Elektronenmikroskops, teilweise im Querschnitt,
stumpfe jeweils der Elektronenquelle zugewandt darstellt,
sind. Das Mikroskop 11 hat an einem Ende eine Elek-
2. Elektronenlinse nach Anspruch 1, dadurch tronenquelle 12, die von üblicher Art sein kann. Von
gekennzeichnet, daß die Bohrungen der weiteren 20 der Quelle 12 herrührende Elektronen bewegen sich
Einsätze einen um so kleineren Kegelwinkel auf- auf der Achse 13 unter der Einwirkung der Anzieweisen,
je weiter sie von der Elektronenquelle hungskraft einer Anode 14, die eine mittlere Öffnung
entfernt sind. 16 hat. Die Quelle 12 ist mit der Minusklemme einer
Spannungsquelle verbunden, deren Plusklemme mit
25 der Anode 14 verbunden ist. Die Elektronen durchwandern jenseits der Anode ein Kondensorfeld im
Raum 17. Der Kondensor besteht aus dem Magnet-
Die Erfindung bezieht sich auf eine elektromagne- feld einer Drahtspule 18 in Zusammenwirkung mit
tische Elektronenlinse für Elektronenmikroskope mit einer ferromagnetischen Anordnung, die aus einer
einer Elektronenquelle, bestehend aus einer in einer 30 Ringscheibe 19 besteht, die am Außenumfang in eine
ferromagnetischen Kapselung angeordneten Spule, zylindrische Wand 21 und am Innenumfang in einen·
bei der die Kapselung eine zur Achse des Elektro- kleineren Zylinder 22 übergeht. Diese Zylinder beste-
nenstrahlenbündels koaxiale, zylindrische Bohrung hen aus ferromagnetischem Material und der letztere
aufweist, in welcher hohlzylindrische Einsätze mit hat ein mehr oder weniger kegelförmiges, sich nach
konisch zulaufenden, als Polschuhe wirkenden Enden 35 innen erstreckendes durchbohrtes Ende 23. Eine
angeordnet sind. zweite, dickere ringförmige Scheibe 24 aus ferro-
Bei einem Elektronenmikroskop werden die Elek- magnetischem Material schließt den Weg mit gerin-
tronen der Quelle gebündelt und treffen das zu unter- gem magnetischem Widerstand für die Kraftlinien und
suchende Objekt, wonach das Bündel fokussiert wird verbindet das von der Scheibe 19 abgekehrte Ende
und die Elektronen der Bildfläche, die üblicherweise 40 des Zylinders 21 mit einer ferromagnetischen Scheibe
ein Leuchtschirm oder ein photographischer Film ist, 25, die eine mittlere Öffnung aufweist. Diese Öffnung
zugeführt werden. Die Güte des erzeugten Bildes und die Öffnung des Endteiles 23 bestimmen die
hängt von den Einflüssen ab, die das Elektronenbün- Form des Magnetfeldes des Kondensors,
del auf seinem Weg durch den Kanal für das Bündel Die ringförmige Scheibe 24 dient auch als Teil des
erfährt. Einige dieser Einflüsse sind Kräfte, die von 45 Halters für das zu untersuchende Objekt. Dieses Ob-
Fokussierungsfeldern der Elektronenlinsen geliefert jekt wird so in einem Träger 27 angeordnet, daß es
werden. Andere Kräfte sind die Folge von Streufei- von Elektronen des Strahls, die sich gemäß der
dem und haben eine nachteilige Wirkung, wodurch Achse 13 bewegen, getroffen wird,
die Güte des Bündels und des Bildes beeinträchtigt Das Objekt im Halter 27 befindet sich im Gebiet
wird. Einer der Gründe solcher Streufelder ist die 50 28 der Fokussierungslinse, die üblicherweise als Ob-
AnsammlungelektrischgeladenerStaubteilchenu.dgl., jektiv bezeichnet wird. Dieses Objektiv wird vom
die von der Innenwand des Kanals angezogen Magnetfeld einer Spule 29 gebildet. Das Feld wird
werden und sich auf ihr absetzen. Ein anderer Grund von die Spule 29 umgebenden ferromagnetischen
ist eine dünne Ölschicht, die aus den Vakuumpum- Gliedern, unter anderem der Ringscheibe 24 und
pen stammt und sich auf dieser Innenwand bildet. 55 einem zylindrischen Ansatz 31 derselben, einge-
Die Erfindung bezweckt, diesen Nachteil zu ver- schnürt. Eine kleine durchbohrte ferromagnetische
meiden oder wenigstens die Einwirkung elektrischer Scheibe 32 paßt in die Scheibe 24 und bildet einen
Streufelder stark zu verringern. Die Erfindung ist da- der Innenränder, die die Gestalt des Magnetfeldes im
durch gekennzeichnet, daß in den Einsätzen weitere kritischen Gebiet 28 zu bestimmen helfen. Eine fer-
Einsätze mit durchgehenden, zur Bündelachse ko- 60 romagnetische Ringscheibe 33 schließt einen Weg
axialen kegelstumpfförmigen Bohrungen vorhanden mit geringem magnetischem Widerstand am anderen
sind und die kleineren Stirnseiten der Kegelstümpfe Ende des Zylinders 31 mit einem hohlen ferromagne-
jeweils der Elektronenquelle zugewandt sind. tischen Glied 34. Letzteres hat ein mehr oder weniger
Es ist zwar aus der britischen Patentschrift kegelförmiges Ende 36, in dessen Mitte sich eine Öff-779
462 bekannt, das Entstehen von Streufeldern zu 65 nung befindet, die von dem inneren Rand um die
verhindern, die durch Aufladung von Schmutzschich- Achse 13 begrenzt wird. Dieser Rand arbeitet mit
ten innerhalb des Bündelkanals zustande kommen dem Innenrand der Scheibe 32 zusammen, um die
können. Das Entstehen der Streufelder wird darauf Gestalt des Magnetfeldes im Linsengebiet 28 zu be-
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US207680A US3150256A (en) | 1962-07-05 | 1962-07-05 | Column for electron microscopes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1464352A1 DE1464352A1 (de) | 1969-03-13 |
DE1464352B2 true DE1464352B2 (de) | 1972-04-06 |
Family
ID=22771559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19631464352 Pending DE1464352B2 (de) | 1962-07-05 | 1963-07-02 | Elektromagnetische elektronenlinse fuer elektronenmikroskope |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3150256A (de) |
BE (1) | BE634472A (de) |
CH (1) | CH413146A (de) |
DE (1) | DE1464352B2 (de) |
GB (1) | GB1049327A (de) |
NL (1) | NL294725A (de) |
SE (1) | SE320444B (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3299308A (en) * | 1963-07-19 | 1967-01-17 | Temescal Metallurgical Corp | Electron beam traverse of narrow aperture in barrier separating regions of differentpressure |
US3345529A (en) * | 1966-08-29 | 1967-10-03 | Ibm | Electron beam column with demountable flux-generating assembly and beam-forming elements |
DE3328172A1 (de) * | 1983-08-04 | 1985-02-14 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Elektronenstrahlkanone |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE904096C (de) * | 1940-10-09 | 1954-02-15 | Siemens Ag | Korpuskularstrahlmikroskop |
DE926266C (de) * | 1948-10-02 | 1955-04-14 | Manfred Von Ardenne | Elektronenmikroskop mit quer zur Strahlrichtung auswechselbarem Polschuheinsatzkoerper |
DE903017C (de) * | 1951-01-31 | 1954-02-01 | Sueddeutsche Lab G M B H | Herstellung kleiner Kugeln aus hochschmelzbaren Materialien |
CH332306A (de) * | 1955-05-10 | 1958-08-31 | Ardenne Manfred Von | Polarisationsladungsfreie Blende für Elektronen- und Ionengeräte |
-
0
- NL NL294725D patent/NL294725A/xx unknown
- BE BE634472D patent/BE634472A/xx unknown
-
1962
- 1962-07-05 US US207680A patent/US3150256A/en not_active Expired - Lifetime
-
1963
- 1963-07-02 DE DE19631464352 patent/DE1464352B2/de active Pending
- 1963-07-02 SE SE7350/63A patent/SE320444B/xx unknown
- 1963-07-03 CH CH822963A patent/CH413146A/de unknown
- 1963-07-05 GB GB26756/63A patent/GB1049327A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH413146A (de) | 1966-05-15 |
US3150256A (en) | 1964-09-22 |
BE634472A (de) | 1964-01-03 |
NL294725A (de) | |
SE320444B (de) | 1970-02-09 |
DE1464352A1 (de) | 1969-03-13 |
GB1049327A (en) | 1966-11-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
SH | Request for examination between 03.10.1968 and 22.04.1971 |