DE3328172A1 - Elektronenstrahlkanone - Google Patents
ElektronenstrahlkanoneInfo
- Publication number
- DE3328172A1 DE3328172A1 DE19833328172 DE3328172A DE3328172A1 DE 3328172 A1 DE3328172 A1 DE 3328172A1 DE 19833328172 DE19833328172 DE 19833328172 DE 3328172 A DE3328172 A DE 3328172A DE 3328172 A1 DE3328172 A1 DE 3328172A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- guide tube
- electron beam
- flange
- gun according
- beam guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 41
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 24
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 4
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 3
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000012799 electrically-conductive coating Substances 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/065—Construction of guns or parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
LEYBOLD-HERAEUS GmbH
Bonner Straße 504
D-5000 Köln - 51
" Elektronenstrahlkanone "
Die Erfindung betrifft eine Elektronenstrahlkanone für den
Anbau an eine Arbeitskammer enthaltend a) einen Strahlerzeuger mit Katode und Strahlformungselektrode, b) eine Beschleunigungskammer, in der eine Beschleunigungsanode ange·
ordnet ist, und c) eine Strahlführungskammer mit einem
Mantelrohr und einem Strahlführungsrohr, das sich zwischen
Beschleunigungsanode und Arbeitskammer erstreckt und
mindestens von einer Fokussierungslinse und einer Ablenkeinheit umgeben ist, wobei das Mantelrohr die Beschleunigungskammer und die Arbeitskammer als tragendes
Bauteil miteinander verbindet.
Durch die DE-AS 15 14 782 ist eine Elektronenstrahlkanone
bekannt, die der eingangs beschriebenen Gattung weitgehend entspricht. Die Beschleunigungskammer ist
dabei von einem evakuierbaren Gehäuse umgeben, das an seinem unteren Ende einen Anschlußflansch aufweist.
Mit diesem Anschlußflansch ist das verjüngte obere Ende des Mantelrohres vakuumdicht verbunden. Gehäuse
und Mantelrohr bilden dabei die Abdichtung zwischen Vakuum und Atmosphäre und stellen ebenso wie die
Wandung der Beschleunigungskammer maßgeschneiderte Bauteile dar, die exakt auf die Auslegungsdaten des
Strahlerzeugers und der übrigen elektronen-optischen Bauteile abgestimmt sind. Es ist nicht ohne weiteres
möglich, den Abstand zwischen Katode und Fokussierungslinse in weiten Grenzen zu verändern und dadurch die
Elektronenstrahl kanone anderen Leistungsdaten und elektronen-optischen Abbildungsverhältnissen anzupassen.
Ein besonderes Strahlführungsrohr ist nicht vorhanden, vielmehr übernimmt die Beschleunigungsanode
auf einer kurzen Wegstrecke zusätzlich die Funktion eines Strahlführungsrohres. Bei der bekannten Lösung ist es
zwar gemäß Aufgabenstellung möglich, die Katode leicht auszuwechseln, nicht aber die übrigen Bauteile, die
den Elektronenstrahl auf seinem Wege in die Arbeitskammer umgeben. Die Evakuierung der Umgebung des
Strahlerzeugers und der Beschleunigungskammer erfolgt über entsprechend groß dimensionierte Querschnitte außerhalb
der Beschleunigungskammer und außerhalb der Beschleunigungsanode, so daß auch das gesamte Volumen des
Mantelrohres unter Vakuum steht.
8351?328172
Durch die DE-PS 19 55 846 ist eine Elektronenstrahl kanone
bekannt, bei der das Strahlführungsrohr als tragendes Bauteil sowie als Abdichtung gegenüber der Atmosphäre
dient. Das Mantelrohr hat keine tragende Funktion und stellt außerdem eine Sonderanfertigung dar, die nicht
an andere Auslegungsdaten der Elektronenstrahlkanone
angepaßt werden kann. Mit der bekannten Lösung ist es zwar möglich, die elektromagnetischen Teile der Fokussierungs·
linse und der Ablenkeinheit zum Zwecke des Ausheizens der Vorrichtung ohne Aufhebung des Vakuums abzuziehen;
ein Ausbau des Strahlführungsrohres und der übrigen elektronen-optischen Bauteile der Vorrichtung erfordern
jedoch eine vollständige Zerlegung der gesamten Einheit.
Eine der wesentlichsten Aufgaben der Strahlführungskammer
ist es, durch die feste geometrische Relation von Strahlerzeuger und Fokussierungslinse deren Abstand
voneinander festzulegen. Diese Forderung gilt grundsätzlich für alle bekannten Kanonenbauarten.
Der Abstand zwischen dem Strahlerzeuger und der Fokussierungslinse, in der Elektronenoptik "Objektabstand"
genannt, wird durch verschiedene Faktoren bestimmt. Werden Elektronenstrahlsysteme mit relativ großer Apertur benutzt,
so wird der Objektabstand aus Gründen der zulässigen Ausleuchtung der Fokussierungslinse klein gehalten.
Dies ist ein Merkmal insbesondere der sogenannten Niederspannungskanonen, die bei Spannungen bis zu etwa
60 kV arbeiten. Bei Elektronenstrahlkanonen, deren Beschleunigungsspannung
bis zu 150 kV beträgt, ist die
835,1328172
Apertur des Elektronenstrahles kleiner, und damit kann
der zulässige Objektabstand erheblich größer gehalten werden. Infolgedessen ist bei Niederspannungskanonen der
Objektabstand meist nur etwa ein Viertel bis ein Drittel des bei Hochspannungskanonen benutzten Objektabstandes.
Ein weiteres Kriterium, nach dem der Objektabstand gewählt wird, ist das Abbildungsverhältnis. Dieses bestimmt
in Abhängigkeit vom Objektabstand und vom Bildabstand bei gegebener Emissionsfläche der Katode letztendlich
den Durchmesser des auf dem Werkstück wirksam werdenden Elektronenstrahles (Brennfleck) und damit
auch dessen Energiedichte und Eindringungsvermögen. Der Bildabstand, d.h. der Abstand des Werkstückes von
der Ebene der Fokussierungslinse, ist jedoch in vielen Fällen nicht veränderbar, in jedem Fall aber mitbedingt
durch die Konstruktion der Arbeitskammer und der in der Arbeitskammer angeordneten Werkstückaufnahme.
Hieraus ergibt sich, daß der optimale Anwendungsbereich von Elektronenstrahlkanonen, die auf die für die Serienproduktion
gebauten Arbeitskammern aufgesetzt werden, meist dadurch eingeengt ist, daß der Abstand des Strahlerzeugers
zur Fokussierungslinse konstruktiv festgelegt ist.
Energiedichte und Strahldurchmesser sind nicht in dem Maße veränderbar, wie dies aus schweißtechnischen oder
metallurgischen Gründen wünschenswert wäre. Niederspannungskanonen
haben bei kleinen bis mittleren Strahlströmen meist einen zu kleinen und Hochspannungskanonen
einen zu großen Objektabstand. Die Elektronenstrahlkanonen können, durch ihre Bauart bedingt, nicht genügend an die schweißtechnischen Erfordernisse angepaßt werden.
Weitere Mängel bekannter Kanonenbauarten sind in schwierigen Wartungsmöglichkeiten derjenigen Räume
zu sehen, in denen der Elektronenstrahl geführt wird, bzw., die er durchläuft. Hier ist es vor allem das in
die Strahlführungskammer eingebaute Absperrventil, durch
das die Beschleunigungskammer.vakuummäßig von der
Arbeitskammer getrennt werden kann, damit die genannten Räume unabhängig voneinander geflutet werden können.
Diese Räume werden beim Bearbeitungsprozeß von Werkstücken relativ stark mit Metall bedampft und müssen
infolgedessen regelmäßig gereinigt werden, bevor es
zu Störungen in der Funktion der Elektronenstrahl kanone
kommt. Dabei neigt insbesondere das bereits genannte Absperrventil, das häufig auch als Kanonenventil oder
Strahlrohrventil bezeichnet wird, erfahrungsgemäß
zu Ausfällen. Meist wird nach bestimmten Betriebszeiten die Elektronenstrahl kanone stillgelegt und für die
Wartung zerlegt. Diese Arbeiten sind·zeitaufwendig und daher kostspielig.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Elektronenstrahlkanone der eingangs beschriebenen Art
dahingehend zu verbessern, daß sie hinsichtlich ihrer wesentlichen Abmessungen (Objektabstand) leicht an geänderte Auslegungsdaten und/oder Bearbeitungsprobleme
angepaßt werden kann, und daß gleichzeitig die Wartungsfreundlichkeit so verbessert wird, daß der Zeitausfall
der gesamten Anlage durch die Wartung der Elektronenstrahlkanone möglichst kurz gehalten werden kann.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der eingangs beschriebenen Elektronenstrahl kanone erfindungsgemäß dadurch, daß das Mantelrohr als Hohlzylinder ausgebildet und mit je einem lösbaren oberen und unteren Anschlußflansch versehen ist, daß der obere Anschluß-
flansch einen Tragring für die vakuumdichte Aufnahme eines Zentrierflansches aufweist, daß der untere Anschlußflansch innen mit einem Vakuumverbindungsflansch
versehen ist, daß das Strahlführungsrohr mit seinem oberen Ende lösbar und vakuumdicht an dem Zentrier
flansch aufgehängt und mit seinem unteren Ende vakuum
dicht in den Vakuumverbindungsflansch eingesetzt ist,
und daß das Strahlführungsrohr bei abgenommenen Strahlerzeuger durch die Beschleunigungskammer zusammen
mit dem Zentrierflansch aus der Fokussierungslinse und
aus der Ablenkeinheit herausziehbar ist.
Durch die rein zylindrische Ausbildung von Mantelrohr und Strahlführungsrohr sowie durch die lösbare Verbindung
des Mantelrohres mit den beiden Anschlußflanschen bzw. durch die lösbare Verbindung des Strahlführungsrohres
mit dem Zentrierflansch einerseits und mit dem Vakuumverbindungsflansch andererseits wird erreicht, daß das Mantel
rohr undjdas Strahlführungsrohr in weiten Bereichen (vernünftige Grenzen vorausgesetzt) in der Länge veränderbar
sind, ohne daß es besonderer Veränderungen bzw. Anpassungsmaßnahmen an den Anschlußflanschen bzw.
Flanschverbindungen bedarf. Ein vorhandener Satz, bestehend aus Mantelrohr und Strahlführungsrohr läßt
sich leicht durch einen entsprechend längeren oder kürzeren Satz ersetzen, so daß der weiter oben beschriebene Objektabstand auf.einfache Weise den geänderten Bedürfnissen angepaßt werden kann. Die erforderliche Vakuumabdichtung: erstreckt sich dabei aus-
schließlich auf den wesentlich kleineren Durchmesser
des Strahlführungsrohres, während das Mantelrohr an der
Vakuumabdichtung nicht beteiligt ist. Auf diese Weise läßt sich leichter und zuverlässiger die erforderliche
Abdichtung erreichen. Hinzukommt, daß die spannungs
führenden Teile außerhalb des Vakuums an Atmosphäre
liegen, wo günstigere Isolationsverhältnisse gegeben sind.
Durch die erfindungsgemäße leichte Demontierbarkeit
des Strahlführungsrohres aus der am Ort verbleibenden
Justierung dieser elektronen-optischen Bauteile erhalten. Durch die vollständig rotationssymmetrische
Ausbildung der ausgebauten Teile bleibt auch deren Justierung nach dem Wiedereinbau erhalten. Hieran hat
der beschriebene Zentrierflansch einen besonderen Anteil, zumal er gemäß der weiteren Erfindung in koaxialer
Anordnung auch die Beschleunigungsanode trägt.
83513 - 11 -
Insbesondere das Strahlführungsrohr, das den Metalldämpfen
besonders stark ausgesetzt ist, läßt sich auf diese Weise leicht reinigen oder durch ein neues ersetzen, da es sich
um ein außerordentlich billiges Bauteil handelt.
Die beiden genannten Anschlußflansche lassen sich mit dem Mantelrohr präzise zentriert verbinden. An dem oberen Anschlußflansch
ist die Beschleunigungskammer mit dem Strahlerzeuger angeflanscht. Mit dem unteren Anschlußflansch ist
die gesamte Elektronenstrahl kanone an die Arbeitskammer
angeflanscht.
Die erfindungsgemäße Lösung kommt gemäß den weiter oben
gemachten Ausführungen besonders dann zum Tragen, wenn zwischen Strahlführungsrohr und Zentrierflansch ein Absperrventil
mit einem Ventilgehäuse angeordnet ist, an dem das Strahlführungsrohr aufgehängt ist. Bei der
Demontage des Strahlführungsrohres mittels des Zentrierflansches wird alsdann das mit dem Zentrierflansch unmittelbar
verbundene Absperrventil mit ausgebaut und kann zu Wartungszwecken leicht zerlegt oder ausgetauscht
werden. Das Strahlführungsrohr ist mit dem Zentrierflansch nur mittelbar verbunden, jedoch an diesem zuverlässig
und geometrisch exakt aufgehängt.
Es ist dabei gemäß der weiteren Erfindung wiederum besonders vorteilhaft, wenn an dem Ventilgehäuse ein an
sich bekannter Drosselkörper befestigt ist, der eine zylindrische Außenfläche aufweist, auf die das Strahlführungsrohr
unter Zwischenschaltung von Dichtungen aufgeschoben ist. In diesem Fall ist das Strahlführungsrohr
mittelbar über den Drosselkörper und über das Ventilgehäuse an dem Zentrierflansch befestigt, ohne daß sich
an der exakten Ausrichtung hierdurch etwas ändert. Auch der Drossel körper wird nach dem Ausbau des Strahlführungsrohres
Reinigungszwecken leicht zugänglich.
Um den Ausbau auch des Absperrventils zu erleichtern,
ist es besonders vorteilhaft, wenn das Absperrventil
eine zur Achse des Strahlführungsrohres senkrecht stehende Antriebswelle aufweist, die über eine Schlitzkupplung
mit einem Drehantrieb verbunden ist. Die Schlitzkupplung besitzt - wie der Name sagt - einen
radialen Schlitz. Sofern dessen längste Achse parallel zur Achse des Strahlführungsrohres verläuft, läßt
sich die Antriebswelle, die an dieser Stelle mit einem Vierkant versehen ist, leicht nach oben aus der Schlitzkupplung
herausziehen.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des Erfindungsgegenstandes
ergeben sich aus den übrigen Unteransprüchen.
Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes wird nachfolgend anhand der Figuren 1 bis 3 näher beschrieben.
Es zeigen:
Figur 1 einen Vertikalschnitt durch eine vollständige
Elektronenstrahl kanone,
83513 - 13 -
Figur 2 den unteren Teil der Elektronenstrahl kanone nach Figur 1 mit geringen Modifikationen in
vergrößertem Maßstab» und
Figur 3 den unteren Teil von Figur 2 zur Erläuterung weiterer Einzelheiten.
In Figur 1 ist von einer Arbeitskammer 1 nur der obere Teil dargestellt. In der oberen Begrenzungswand ist
eine Strahleintrittsöffnung 2 angeordnet, die mit der Achse A-A einer Elektronenstrahlkanone 3 fluchtet.
Die Elektronenstrahlkanone 3 besteht aus drei wesentlichen Teilen bzw. Baugruppen, nämlich aus einem Strahlerzeuger
mit einer Katode 5 und einer strahlformenden Elektrode 6 (Wehnelt-Zylinder), aus einer Beschleunigungskammer 7, die
über einen Saugstutzen 8 mit einer nicht gezeigten
Vakuumpumpe verbunden ist, aus einer Beschleunigungsanode
und einer Strahlführungskammer 10, in der - in Strahrichtung gesehen - ein Absperrventil 11, ein Drosselkörper 12, eine Justiereinrichtung 13, eine·Wobbellinse 14,
eine Fokussierungslinse 15, eine Sensorenanordnung 16
und eine Ablenkeinheit 17 angeordnet sind. Die Bauteile 13 bis 17 umgeben unter Belassung eines weiter unten noch
näher erläuterten radialen Abstandes ein Strahlführungsrohr 18. Die Strahlführungskammer 10 ist mit sämtlichen
Einbauten von einem Mantelrohr 19 umgeben, das an seinem
oberen und unteren Ende mit je einem Anschlußflansch 20
bzw. 21 fest verbunden ist. Am oberen Anschlußflansch 20
ist seitlich ein Drehantrieb 22 für das Absperrventil 11
befestigt.
83513 - 14 -
befestigt.
vorgesehen.
In Figur 2 sind gleiche Teile wie in Figur 1 mit gleichen Bezugszeichen versehen. Zusätzlich ist folgendes zu erkennen:
Der obere Anschlußflansch 20 ist mit einem Tragring 26
verbunden, mit dem er allerdings auch einstückig herge
stellt werden kann. Der Tragring 26 besitzt eine
konzentrische Ausdrehung mit einer Ringschulter 27, in die ein Zentrierflansch 28 eingesetzt ist. Der Zentrierflansch besitzt auf seiner Oberseite gleichfalls eine
Ausdrehung, in die koaxial die Beschleunigungsanode 9
eingesetzt ist, die mit einer Bohrung 9a für den Durchtritt des Elektronenstrahls versehen ist. An die Unterseite des Zentrierflansches 28 ist mittels einer flachen
zentrierenden Ausdrehung und unter Zwischenschaltung einer Rundschnu.rdichtung das Absperrventil 11 angesetzt,
dessen nicht näher bezeichnetes kugelförmiges Küken
in einen komplementären Ventilgehäuse 29 gelagert ist. Einzelheiten eines solchen Ventils sind jedoch.
Stand der Technik, so daß sich ein näheres Eingehen hierauf erübrigt. Das Küken wird durch eine Antriebs
welle 30 betätigt, die zur Achse des Strahlführungs
rohres 18 senkrecht ausgerichtet ist und an ihrem freien Ende ein Vierkant aufweist. Der zur Antriebswelle koaxiale
Drehantrieb 12 besitzt gleichfalls eine Welle 22a, deren
rechtes Ende mit einem radialen Schlitz versehen ist. Das Vierkant der Antriebswelle 30 und der Schlitz
der Welle 22a bilden zusammen eine Schlitzkupplung 31.
Sofern die Längsachse des Schlitzes parallel zur Achse des StrahlfUhrungsrohres 18 verläuft, läßt sich
die Antriebswelle 30 nach oben aus dem Schlitz der Welle 22a herausziehen.
Das Ventilgehäuse 29 trägt an seiner Unterseite unter
Zwischenschaltung einer weiteren Rundschnurdichtung den Flanschrand 12a des Drosselkörpers 12, dessen stufenförmig
erweiterte Innenbohrung 12b gleichfalls koaxial zur Achse A-A des Systems verläuft (siehe auch Figur 1).
Der Drosselkörper 12 besitzt eine zylindrische Außenfläche 12c, auf die das Strahlführungsrohr 18 mit
seinem oberen Ende 18a unter Zwischenschaltung von Dichtungen 32 aufgeschoben ist.
In den unteren Anschlußflansch 21 ist unter Zwischenschaltung
eines aus Gießharz mit Bleifüllung bestehenden Isolierkörpers konzentrisch ein Vakuumverbindungsflansch 34 eingesetzt,
der durch eine Dichtung 35 gegenüber der Arbeitskammer 1 und durch eine Dichtung 36 gegenüber dem
unteren Ende 18b des Strahlführungsrohres 18 abgedichtet ist. Das Strahlführungsrohr ist in die Dichtung 36 eingeschoben.
Das Strahlführungsrohr 18 ist in Längsrichtung an einer
Trennstelle 37 in ein oberes Teilstück 18c und in ein unteres Teilstück 18d unterteilt. Die an der Trennstelle
liegenden Enden sind mit Abstand voneinander unter Zwischen-
M V W St V
83513
- 16 -
schaltung von Dichtungen in einem Sensorgehäuse 38 gelagert, das Teil der Sensorenanordnung 16 ist. Bezüglich
weiterer Einzelheiten wird auf Figur 3 verwiesen.
Auf die angegebene Weise'stellt das StrahlfUhrungsrohr
mit seinen angrenzenden Bauelementen und den zwischengeschalteten Dichtungen die Trennung zwischen Atmosphäre
(außerhalb des Strahlführungsrohres 18) und Vakuum (innenhalb des Strahlführungsrohres 18) dar. Das Mantelrohr 19 ist ersichtlich an der Vakuum-Abdichtung nicht beteiligt, jedoch ist die Beschleunigungskammer 7 mit ihrem
Gehäuse 7a vakuumdicht gegenüber dem Tragring 26 abgedichtet und steht infolgedessen unter einem sehr hohen Betriebsvakuum.
Der obere Anschlußflansch 20 trägt über einen aus Gießharz
bestehenden Isolierkörper 39 die Justiereinrichtung 13,
die im Prinzip als Ablenkeinheit analog der Ablenkeinheit
ausgebildet ist. Der Isolierkörper-39. ist - ebenso, wie der
Isolierkörper 33-mit einer Füllung aus Bleigranulat oder -pulver versehen, um d4e Röntgenstrahlung zurückzuhalten.
Der Bleianteil wird dabei so gewählt, daß in Strahlungsrichtung die Wirkung eines 3 - 5 mm starken Bleischirmes
entsteht.
Zur Justiereinrichtung 13 ist folgendes auszuführen: Grundsätzlich ist eine zusätzliche Strahljustierung bei
einer Elektronenstrahl kanone mit kurzem Strahl führungsrohr bzw. kurzem Mantelrohr 19 nicht erforderlich, weil die
ES-Kanone mit einer festen Strahlspannung versorgt wird,
und die Katode eine große thermische Stabilität hinsichtlich der Raumform besitzt. Ist es jedoch aus Verfahrens-
gründen erforderlich, den Objektabstand und damit das
Strahlführungsrohr 18 und das Mantelrohr 19 zu verlängern,
so ist gegebenenfalls eine Nachjustierung erforderlich. Die
Justiersignale werden mittels der Sensorenanordnung 16 gewonnen und nach entsprechender (bekannter) Signalver-
arbeitung der Justiereinrichtung 13 zugeführt, die den Elektronenstrahl in einer X-Y-Ebene derart justiert,
daß er genau im Zentrum der Sensorenanordnung 16 liegt. Durch diese. Anordnung ist es möglich, die Position des
Brennflecks auf dem Werkstück trotz manueller Justierung äußerst einfach reproduzierbar zu gestalten. Es ist also
möglich, bei im wesentlichen gleicher Ausbildung der Strahlführungskammer 10 die Elektronenstrahl kanone mit
oder ohne Justiereinrichtung 13 und mit oder ohne Sensorenanordnung 16 zu liefern. Es ist aber ohne weiteres
auch möglichs die ES-Kanone nachträglich entsprechend
umzurüsten.
Der untere Anschlußflansch 21 trägt über den bereits beschriebenen
Isolierkörper 33 auch die Ablenkeinheit 17, die als Vierpol ausgebildet ist und es ermöglicht, den
Strahl im X-Y-Koordinatensystem in an sich bekannter Weise abzulenken.
Es ist erkennbar, daß auf die angegebene Weise das Strahlführungsrohr
18 bei abgenommenem Strahlerzeuger 4 durch die Beschleunigungskammer 7 zusammen mit dem
Zentrierflansch 28 aus der Fokussierungslinse 15 und aus
der Ablenkeinheit 17 herausziehbar ist. Dies ist dadurch möglich, daß die Innendurchmesser der das Strahlführungsrohr
umgebenden ortsfesten BauteiIe-(Wobbellinse 14, Fokussieru
linse 15, Ablenkeinheit 17 und gegebenenfalls Justiereinrichtung 13) größer sind als der bzw. die Außendurchmesser
des Strahlführungsrohres 18 bzw. der mit dem Strahlführungsrohr bei dessen Ausbau durch die Bauteile
83513 - 18 -
hindurchzuführenden, am Strahlführungsrohr angebrachten Bauteile (Sensorenanordnung 16). Der Zentrierflansch
wird in dem Tragring 26 durch beispielsweise drei auf den Umfang verteilte Schrauben 40 gehalten und ist nach
dem Lösen dieser Schrauben mit allen angebauten Bauteilen leicht nach oben aus der Strahlführungskammer 10 herausziehbar,
Die Wobbellinse 14 hat den (bekannten) Zweck, den Fokus
des Elektronenstrahles, der durch die Fokussierungslinse vorgegeben ist, periodisch um geringe Beträge in Längsrichtung
des Elektronenstrahls zu verschieben. Das von der Wobbellinse 14 erzeugte rotationssymmetrische Feld wird zu
demjenigen der Fokussierungslinse 15 addiert. Die Ummantelung 41 der Wobbellinse 14 besteht aus Ferit pulver,
wodurch die gesamte Induktivität der Wobbellinse in einer Größe gehalten werden kann, daß das erzeugte
elektromagnetische Feld hinsichtlich seiner Änderung dem Wobbeistrom bis zu einer Frequenz von einigen kHz
zu folgen vermag. Dabei ist es möglich, die Wobbelung des Fokus mit näherungsweise rechteckförmigen Strömen
zu bewerkstelligen.
Gemäß Figur 3 besteht die Sensorenanordnung 16 aus dem Sensorgehäuse 38, in dem in einer zur Systemachse A-A
radialen Ebene E-E vier auf den Umfang verteilte stiftförmige Sensoren 42 angeordnet sind, die mit ihren inneren
Enden radial in den lichten Raum des Strahlführungsrohres
hineinragen. Die Sensoren sind mit Hilfe von nicht näher bezeichneten Isolierkörpern in Bohrungen des
Sensorgehäuses 38 gelagert und tragen an ihren äußeren
83513 - 19 -
Enden Gleitkontakte 43, die mit entsprechenden federnden
Gegenkontakten 44 zusammenwirken, die in einem ortsfesten Kontaktkäfig 45 gelagert sind. Hierdurch ist es möglich,
die elektrischen Verbindungen ohne besondere Maßnahmen beim Herausziehen des Strahlführungsrohres mit dem Sensorgehäuse
38 voneinander zu trennen. Da die Sensoren somit konstruktive Bestandteile des Strahlführungsrohres sind,
werden sie bei dessen Ausbau aus der Strahlführungskammer ebenfalls mit herausgenommen. Sie können nunmehr äußerst
einfach gereinigt, gewechselt oder ersetzt werden. Die vakuumdichte Verbindung des Sensorgehäuses 38 mit den
beiden Teilen 18c und 18d des Strahlführungsrohres erfolgt
über die bereits beschriebenen Dichtungen 46 und 47. Auch die Sensoren 42 sind naturgemäß vakuumdicht in das aus
Metall bestehende Sensorgehäuse 38 eingesetzt.
Die Sensoren 42 stehen symmetrisch und mit gleicher Länge in das Strahlführungsrohr hinein und werden dadurch
von den Randelektronen des Elektronenstrahls beaufschlagt. Die aufgefangenen Elektronen werden über die im
Kontaktkäfig 45 angeordneten Gegenkontakte 44 über nicht gezeigte Leitungen zu Regelanordnungen für die bereits beschriebene
Beeinflussung der Justiereinrichtung 13 geleitet. Auch der Kontaktkäfig 45 ist mit zentrierenden
Passungen versehen, die den Sensorträger 38 mit der notwendigen Genauigkeit in der Rotationssymmetrie innerhalb
der Fokussierungslinse 15 halten.
Die Fokussierungslinse 15 trägt einen Passungsring 48 aus einem nicht-ferit-ischem Material, der rotationsymmetrisch
an die Fokussierungslinse 15 angeschlossen ist. In den
83513 - 20 -
Passungsring 48 ist die Wobbellinse 14 mit ihrer Ummantelung 41 ebenfalls koaxial eingesetzt.
Die Unterteilung des Strahlführungsrohres in ein oberes und ein unteres Teilstück 18c bzw. 18d ändert ersichtlich
nichts an der grundsätzlichen Möglichkeit, das gesamte Strahlführungsrohr mit dem die Verbindung bewirkenden
Sensorgehäuse 38 nach oben hin auszubauen. Auch ist es möglich, die Teilstücke einzeln einer Längenveränderung
zu unterziehen, wenn dies aufgrund einer Änderung des Objektabstandes erforderlich sein sollte.
Das Strahlführungsrohr 18 bzw. dessen beide Teile sind beim Ausführungsbeispiel aus Kunststoff hergestellt, wobei
die innere Oberfläche 49 mit einer elektrisch leitfähigen Beschichtung versehen ist.
Das beschriebene Konstruktionsprinzip vereinigt in sich folgende Vorteile:
- geringes Gewicht und Volumen, damit kleiner abzupumpender Hochvakuumraum und geringe Oberflächen,
- geringe Zahl und Gesamtlänge aller Vakuumdichtungen,
- Auswechselbarkeit der beim Betrieb einer Bedampfung ausgesetzten Flächen bzw. Bauteile,
- Schutz der Dichtungen des Absperrventils vor einer Bedampfung,
- Unterbringung möglichst weniger Teile innerhalb des Vakuumraums bzw. Unterbringung elektromagnetischer
Linsensysteme bzw. Ablenksysteme außerhalb des Vakuums, und
- Verwendung möglichst vieler gleichartiger Bauteile bei unterschiedlichen Objektabständen.
Gemäß den Figuren 2 und 3 sind die elektromagnetischen Bauteile noch von einer Kapselung 50 umgeben, die über
eine Distanzhülse 51 mit dem Isolierkörper 39 des oberen Anschlußflansches 20 verbunden ist. Auch hier läßt sich
durch unterschiedliche Längen der Distanzhülse 51 eine An·
passung an unterschiedliche Objektweiten leicht vornehmen Die Zentrierung der Kapselung 50 erfolgt durch den Außenrand
des Isolierkörpers 33; die Zentrierung der Distanzhülse 51 erfolgt durch nicht näher bezeichnete Ringfortsätze
an der Kapselung 50 bzw. am Isolierkörper 39 (Figur 2). Die Kapselung 50 und die Distanzhülse 51
bestehen ebenso wie die Isolierkörper 33 und 39 aus mit einer Bleifüllung versetztem Isolier.- bzw. Kunststoff,
um eine Zurückhaltung der Röntgenstrahlung zu ermöglichen
- Leerseite ■*■
Claims (11)
1./'Elektronenstrahlkanone für den Anbau an eine Arbeitskammer,
enthaltend a) einen Strahlerzeuger mit Katode und Strahlformungselektrode, b) eine Beschleunigungskammer9
in der eine Beschleunigungsanode angeordnet ist, und c) eine., Strahlführungskammer»
mit einem Mantelrohr und einem Strahlführungsrohr, das sich zwischen Beschleunigungsanode
und Arbeitskammer erstreckt und mindestens von einer Fokussierungslinse und einer Ablenkeinheit
umgeben ists wobei das Mantelrohr die Beschleunigungskammer und die Arbeitskammer als tragendes Bauteil
miteinander verbindet, dadurch gekennzeichnet, daß das Mantelrohr (19) als Hohlzylinder ausgebildet und
mit je einem lösbaren oberen (20) und unteren Anschlußflansch (21) versehen ist, daß der obere Anschlußflansch
(20) einen Tragring (26) für die vakuumdichte Aufnahme eines Zentrierflansches (28)
aufweist, daß der untere Anschlußflansch (21) innen mit einem Vakuumverbindungsflansch (34) versehen ist,
daß das Strahlführungsrohr (18) mit seinem oberen Ende (18a) lösbar und vakuumdicht an dem Zentrierflansch
(28) aufgehängt und mit seinem unteren Ende (18b) vakuumdicht in den Vakuumverbindungsflansch (34)
eingesetzt ist, und daß das Strahlführungsrohr (18) bei abgenommenem Strahlerzeuger (4) durch die Beschleunigungskammer
(7) zusammen mit dem Zentrierflansch (28) aus der Fokussierungslinse (15) und aus
der Ablenkeinheit (17) herausziehbar ist.
2. Elektronenstrahlkanone nach Anspruch 1, dadurch gekenn·
zeichnet, daß die Beschleunigungsanode (9) auf den Zentrierflansch (28) aufgesetzt ist.
3. Elektronenstrahlkanone nach Anspruch 1, dadurch gekenn·
zeichnet, daß zwischen Strahlführungsrohr (18) und Zentrierflansch (28) ein Absperrventil (11) mit einem
Ventilgehäuse (29) angeordnet ist, an dem das Strahlführungsrohr
(18) aufgehängt ist.
4. Elektronenstrahlkanone nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß an dem Ventilgehäuse (29) ein Drossel körper (12) mit einer zylindrischen Außenfläche
(12c) befestigt ist, auf die das Strahlführungsrohr (18) unter Zwischenschaltung von
Dichtungen (32) ' aufgeschoben ist.
5. Elektronenstrahlkanone nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß das Absperrventil (11) eine zur Achse des Strahlführungsrohres (18) senkrecht stehende Antriebswelle
(30) aufweist, die über eine Schlitzkupplung (31) mit einem Drehantrieb (22) verbunden
ist.
6. Elektronenstrahlkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Strahlführungsrohr (18) in Längsrichtung
in ein oberes Teilstück (18c) und ein unteres Teilstück (18d) unterteilt ist und daß die an der
Trennstelle (37) liegenden Enden mit Abstand vakuumdicht in einem Sensorgehäuse (38) gelagert sind, in
dem in einer zur Achse des Strahlführungsrohres (18) senkrechten Ebene vier Sensoren (42)ifür die
Strahlposition angeordnet sind, daß die Sensoren (42) an ihren äußeren Enden Gleitkontakte (43) aufweisen,
die mit entsprechenden Gegenkontakten (44) eines ortsfesten Kontaktkäfigs .(45) zusammenwirken.
7. Elektronenstrahlkanone nach Anspruch 6, dadurch gekenn"
zeichnet, daß das StrahlfUhrungsrohr (18) an seinem oberen Ende von einer Justiereinrichtung (13) für die Strahlposition
umgeben ist.
8. Elektronenstrahlkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das StrahlfUhrungsrohr (18) oberhalb der Fokussierungslinse (15) von einer Wobbellinse (14)
umgeben ist.
9. Elektronenstrahlkanone nach mindestens einem der Ansprüche
1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Innendurchmesser der das Strahlführungsrohr (18)
umgebenden ortsfesten Bauteile größer sind als der bzw. die Außendurchmesser des Strahlführungsrohres
(18) bzw. der mit dem Strahlführungsrohr bei dessen Ausbau durch die Bauteile hindurchzufUhrenden ,
am StrahlfUhrungsrohr angebrachten Bauteile.
10. Elektronenstrahlkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens die innere Oberfläche (49) des Strahlführungsrohres (18) elektrisch leitfähig
ausgebildet ist.
11. Elektronenstrahlkanone nach den Ansprüchen 1 und 7, dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen dem oberen Anschlußflansch (20) und der Justiereinrichtung (13) und zwischen
dem unteren Anschlußflansch (21) und der Ablenkeinheit (17) je ein Isolierkörper (39 bzw. 33) angeordnet ist, der
aus einem mit Bleipartikeln gefüllten Isolierstoff besteht.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833328172 DE3328172A1 (de) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | Elektronenstrahlkanone |
JP59124626A JPS6044950A (ja) | 1983-08-04 | 1984-06-19 | 電子銃 |
US06/624,987 US4622453A (en) | 1983-08-04 | 1984-06-27 | Electron beam gun mounting on a work chamber |
GB08417147A GB2144904B (en) | 1983-08-04 | 1984-07-05 | Electron beam gun |
FR8412341A FR2550379A1 (fr) | 1983-08-04 | 1984-08-03 | Canon a electrons destine a etre monte sur une chambre de travail notamment pour le traitement de pieces par vaporisation sous vide |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833328172 DE3328172A1 (de) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | Elektronenstrahlkanone |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3328172A1 true DE3328172A1 (de) | 1985-02-14 |
Family
ID=6205785
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833328172 Withdrawn DE3328172A1 (de) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | Elektronenstrahlkanone |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4622453A (de) |
JP (1) | JPS6044950A (de) |
DE (1) | DE3328172A1 (de) |
FR (1) | FR2550379A1 (de) |
GB (1) | GB2144904B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4032918A1 (de) * | 1990-10-17 | 1992-04-23 | Hell Rudolf Dr Ing Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur abschirmung eines elektronenstrahles |
DE19537230C1 (de) * | 1995-10-06 | 1997-01-30 | Saechsische Elektronenstrahl G | Elektronenkanone |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2518502C1 (ru) * | 2012-10-09 | 2014-06-10 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский технологический институт "Прогресс" | Электронно-лучевая пушка |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1955846C3 (de) * | 1969-11-06 | 1973-10-31 | Leybold-Heraeus Gmbh & Co Kg, 5000 Koeln | Elektronenkanone fur die Erhitzung von Materialien in einem Vakuumbehalter |
DE1514782B2 (de) * | 1965-12-14 | 1975-11-13 | Steigerwald Strahltechnik Gmbh, 8000 Muenchen | Elektronenstrahl-Erzeugungssystem |
DE2528032C2 (de) * | 1975-06-24 | 1983-06-09 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Elektronenstrahlerzeuger für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2627580A (en) * | 1948-10-23 | 1953-02-03 | Rca Corp | Demountable vacuumtight seal |
BE634472A (de) * | 1962-07-05 | 1964-01-03 | ||
US3345529A (en) * | 1966-08-29 | 1967-10-03 | Ibm | Electron beam column with demountable flux-generating assembly and beam-forming elements |
US3846660A (en) * | 1969-08-06 | 1974-11-05 | Gen Electric | Electron beam generating system with collimated focusing means |
US3887784A (en) * | 1971-12-27 | 1975-06-03 | Commissariat Energie Atomique | Welding guns |
US3787696A (en) * | 1972-03-15 | 1974-01-22 | Etec Corp | Scanning electron microscope electron-optical column construction |
US3783230A (en) * | 1972-08-10 | 1974-01-01 | J Peyrot | Gun for welding tubes on a tube plate |
JPS5937540B2 (ja) * | 1974-09-06 | 1984-09-10 | 株式会社日立製作所 | 電界放射形走査電子顕微鏡 |
US4084076A (en) * | 1977-05-10 | 1978-04-11 | Evgeny Ivanovich Istomin | Electron beam welding gun |
-
1983
- 1983-08-04 DE DE19833328172 patent/DE3328172A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-06-19 JP JP59124626A patent/JPS6044950A/ja active Granted
- 1984-06-27 US US06/624,987 patent/US4622453A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-07-05 GB GB08417147A patent/GB2144904B/en not_active Expired
- 1984-08-03 FR FR8412341A patent/FR2550379A1/fr active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1514782B2 (de) * | 1965-12-14 | 1975-11-13 | Steigerwald Strahltechnik Gmbh, 8000 Muenchen | Elektronenstrahl-Erzeugungssystem |
DE1955846C3 (de) * | 1969-11-06 | 1973-10-31 | Leybold-Heraeus Gmbh & Co Kg, 5000 Koeln | Elektronenkanone fur die Erhitzung von Materialien in einem Vakuumbehalter |
DE2528032C2 (de) * | 1975-06-24 | 1983-06-09 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Elektronenstrahlerzeuger für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4032918A1 (de) * | 1990-10-17 | 1992-04-23 | Hell Rudolf Dr Ing Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur abschirmung eines elektronenstrahles |
DE4032918C2 (de) * | 1990-10-17 | 2000-06-29 | Heidelberger Druckmasch Ag | Vorrichtung zur Beaufschlagung eines Materials mit einem Elektronenstrahl |
DE19537230C1 (de) * | 1995-10-06 | 1997-01-30 | Saechsische Elektronenstrahl G | Elektronenkanone |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2550379A1 (fr) | 1985-02-08 |
JPS6044950A (ja) | 1985-03-11 |
GB2144904B (en) | 1986-12-03 |
JPH0524613B2 (de) | 1993-04-08 |
US4622453A (en) | 1986-11-11 |
GB2144904A (en) | 1985-03-13 |
GB8417147D0 (en) | 1984-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE68926962T2 (de) | Plasma elektronengewehr fur ionen aus einer entfernten quelle | |
DE1920300A1 (de) | Vorrichtung zur Herbeifuehrung von Kernfusionen | |
DE882769C (de) | Verfahren und Einrichtung zur Trennung geladener Teilchen von verschiedenem e/m-Verhaeltnis | |
DE69414421T2 (de) | Plasmabeschleuniger mit geschlossener elektronenlaufbahn | |
DE1814802A1 (de) | Vorrichtung zur Herbeifuehrung von Kernfusionen | |
EP0558797B1 (de) | Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung | |
DE1156515B (de) | Vorrichtung zur Erzeugung negativer Ionen | |
DE1190112B (de) | Vorrichtung zur Erzeugung eines Elektronenstrahlbuendels hoher Stromstaerke und Verfahren zum Erhitzen und Schmelzen mittels einer solchen Vorrichtung | |
DE69919675T2 (de) | Vakuumbeschichtungsvorrichtung | |
CH621580A5 (de) | ||
EP0504477A1 (de) | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats | |
WO2001097242A1 (de) | Vakuumschaltröhre | |
DE3333686C2 (de) | ||
EP0492114A1 (de) | Zerstäubungsanlage | |
CH639798A5 (de) | Roentgenroehre mit einer elektronenkanone. | |
DE2519537C2 (de) | Elektronenstrahlgerät für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke mit Ablenksystemen | |
DE19739527C2 (de) | Vakuumbogen-Plasmaquelle mit Magnet-Partikelfilter | |
DE2341503A1 (de) | Elektronenstrahlroehre | |
DE3328172A1 (de) | Elektronenstrahlkanone | |
DE3303677C2 (de) | Plasmakanone | |
DE2528032C2 (de) | Elektronenstrahlerzeuger für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke | |
DE2712829C3 (de) | Ionenquelle | |
EP0608478A2 (de) | Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung | |
DE1240199B (de) | Entladungsvorrichtung zum Erzeugen einer energiereichen Bogenentladung | |
DE2203853C3 (de) | Bildwandler- oder Bildverstärkerdiodenrohre |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |