FR2550379A1 - Canon a electrons destine a etre monte sur une chambre de travail notamment pour le traitement de pieces par vaporisation sous vide - Google Patents

Abstract

POUR FACILITER L'ADAPTATION D'UN CANON A ELECTRONS A DIFFERENTES DISTANCES OBJET, AINSI QUE LE NETTOYAGE ET L'ENTRETIEN, LE TUBE ENVELOPPE 19 DE LA CHAMBRE 10 DE GUIDAGE DE FAISCEAU EST UN CYLINDRE CREUX FIXE DE FACON DEMONTABLE ENTRE DEUX BRIDES DE RACCORDEMENT 20, 21. LA BRIDE SUPERIEURE 20 PORTE UNE BRIDE DE CENTRAGE 28 A LAQUELLE LE TUBE DE GUIDAGE DE FAISCEAU 18 EST SUSPENDU, EVENTUELLEMENT AVEC INTERPOSITION D'UNE VANNE D'ISOLEMENT 11. LA BRIDE INFERIEURE 21 ENTOURE UNE BRIDE 34 D'ASSEMBLAGE ETANCHE AU VIDE DANS LAQUELLE EST ENCASTREE L'EXTREMITE INFERIEURE DU TUBE DE GUIDAGE 18. LORSQUE LE GENERATEUR DE FAISCEAU 15 EST DEPOSE, ON PEUT AINSI EXTRAIRE LE TUBE DE GUIDAGE 18 DE LA LENTILLE DE FOCALISATION 15 ET DE L'UNITE DE DEVIATION 17 A TRAVERS LA CHAMBRE D'ACCELERATION 7, CONJOINTEMENT AVEC LA BRIDE DE CENTRAGE 28. LA LIMITE ENTRE LE VIDE ET L'ATMOSPHERE EST FORMEE PAR LE TUBE DE GUIDAGE 18 ET SES DIFFERENTS ELEMENTS D'ETANCHEITE.

Description

L'invention concerne un canon à électrons destiné à être monté sur une

chambre de travail comprenant: a) un générateur de faisceau comprenant une cathode et une électrode de mise en forme du faisceau; * b) une chambre d'accélération dans laquelle est agencée une anode d'accélération et c) une chambre de guidage du faisceau comprenant un tube enveloppe et un tube de guidage du faisceau, qui s'étend entre l'anode d'accélération et la chambre de travail et qui est entouré 10 d'au moins une lentille de focalisation et d'une unité de déviation, le tube enveloppe reliant la chambre d'accélération et la chambre

de travail l'une à l'autre en constituant un élément porteur.

On connaît par la demande de brevet de la R F A. déposée sous le N O 15 14 782 un canon à électrons qui correspond 15 dans une large mesure au genre décrit au début Dans ce canon, la chambre d'accélération est entourée d'un bottier dans lequel on peut faire le vide, qui présente une bride de raccordement à son extrémité inférieure L'extrémité supérieure rétrécie du tube enveloppe est assemblée à joint étanche au vide à cette bride de 20 raccordement Dans ce dispositif, le boîtier et le tube enveloppe forment la paroi étanche qui sépare le vide de l'atmosphère et représentent, de même que la paroi de la chambre d'accélération, des éléments taillés sur mesure qui sont exactement adaptés aux caractéristiques de conception du générateur de faisceau et des 25 autres composants d'optique électronique On ne peut pas sans autres précautions modifier la distance entre la cathode et la lentille de focalisation dans de larges limites pour adapter ainsi le canon à électrons à de nouveaux paramètres de puissance et à de nouveaux rapports de reproduction opto- électronique Il n'y est pas prévu un tube de guidage du faisceau distinct mais l'anode d'accélération assure en supplément la fonction d'un tube de guidage du faisceau sur une petite distance Dans la solution connue, il est certes possible de remplacer facilement la cathode, ce qui représente un objectif de l'invention, mais on ne peut pas remplacer 35 facilement les autres éléments qui entourent le faisceau d'électrons sur le trajet qu'il parcourt pour pénétrer dans la chambre de travail La mise sous vide du volume entourant le générateur de

faisceau et la chambre d'accélération s'effectue sur des sections d'autant plus grandes, à l'extérieur de la chambre d'accélération et à l'extérieur de l'anode d'accélération, de sorte que la totalité du volume du tube enveloppe est également sous vide.

On connaît par le brevet de la R F A 19 55 846 un canon à électrons dans lequel le tube de guidage du faisceau sert d'élément porteur et également de paroi étanche qui isole de l'atmosphère Le tube enveloppe n'assure aucune fonction de support et, par ailleurs, il représente une fabrication spéciale qui ne peut pas être adaptée à d'autres caractéristiques du canon à électrons Avec la solution connue, il est certes possible d'extraire les éléments électromagnétiques de la lentille de focalisation et de l'unité de déviation pour étuver le dispositif sans supprimer le vide; la dépose du tube de guidage du faisceau et des autres 15 composants d'optique électronique du dispositif exige toutefois

un démontage complet de toute l'unité.

L'une des missions les plus essentielles de la chambre de guidage du faisceau consiste 3 fixer la distance entre le générateur de faisceau et la lentille de focalisation par le choix de la relation géométrique fixe qui existe entre ces deux éléments Cette condition est valable en principe pour toutes les

sortes connues de construction de canons.

La distance entre le générateur de faisceau et la lentille de focalisation qui est appelée en optique électronique 25 "distance objet" est déterminée par différents facteurs Si l'on utilise des dispositifs à faisceau d'électrons d'une ouverture relativement grande, la distance objet est maintenue à une faible valeur pour des raisons d'éclairement admissible de la lentille de focalisation Ceci est en particulier une caractéristique de ce 30 qu'on appelle les canons à basse tension qui travaillent à des tensions allant jusqu'à environ 60 k V Dans les canons à électrons dont la tension d'accélération peut atteindre 150 k V, l'ouverture du faisceau d'électrons est plus petite et, par conséquent, la distance objet admissible peut être maintenue beaucoup plus grande. 35 Il en résulte que, dans les canons à basse tension, la distance objet n'est dans la plupart des cas que d'environ un quart à un tiers de la distance objet utilisée dans le cas des canons à

haute tension.

Un autre critère d'après lequel on choisit la distance objet est le rapport de reproduction ou de grossissement Ce rapport détermine en dernier lieu, en fonction de la distance objet et de la distance image, et pour une surface d'émission donnée de la cathode, 5 le diamètre du faisceau d'électrons (le spot) qui agit sur la pièce et, par conséquent, également la densité d'énergie et le pouv Oir de pénétration de ce faisceau Toutefois, la distance image, c'est-àdire la distance entre la pièce et le plan de la lentille de focalisation,est invariable dans de nombreux cas et en partie déterminée 10 en tout cas par la construction de la chambre de travail et du

porte-pièce placé dans la chambre de travail.

I 1 en résulte que le domaine d'application optimal des canons à électrons qui sont montés sur les chambres de travail construites pour la fabrication en série est dans la plupart des 15 cas limité par le fait que la distance entre le générateur de

faisceau et la lentille de focalisation est fixée par la construction.

La densité d'énergie et le diamètre du faisceau ne peuvent pas être modifiés dans la mesure qui serait souhaitable pour des raisons de technique du soudage ou de technique métallur20 gique En général, aux faibles jusqu'aux moyennes intensités de faisceau, les canons à basse tension ont une trop petite distance objet et les canons à haute tension ont une trop grande distance

objet Ce mode de construction des canons à électrons ne donne pas à ces appareils la possibilité de s'adapter aux conditions exigées 25 par le soudage dans une mesure suffisante.

D'autres déficiences des modes de construction de canons déjà connus résident dans les médiocres possibilités d'entretien des volumes dans lesquels le faisceau d'électrons est guidé ou qu'il parcourt C'est le cas surtout pour la vanne d'iso30 lement montée dans la chambre de guidage du faisceau, par laquelle la chambre d'accélération peut être isolée de la chambre de travail en ce qui concerne le vide afin que les volumes précités puissent

être remplis d'air ou de gaz inerte indépendamment l'un de l'autre.

Dans le processus du travail de pièces, ces volumes reçoivent une 35 vaporisation de métal relativement forte et ils doivent donc être nettoyés régulièrement avant qu'il ne se produise des perturbations dans le fonctionnement du canon à électrons L'expérience montre que la vanne d'isolement précitée, qui est fréquemment désignée par les expressions de vanne de canon ou de vanne de tube électronique, tend à se mettre hors service Dans la plupart des cas, on arrête le canon à électrons et on le démonte pour des opérations d'entretien au bout de temps de fonctionnement déterminés Ces travaux demandent

beaucoup de temps et sont donc coûteux.

L'invention a donc pour but de perfectionner un canon à électrons du genre décrit au début de manière qu'il puisse facilement être adapté, en ce qui concerne ses cotes essentielles 10 (distance objet),à de nouveaux paramètres de projet et/ou à de nouveaux problèmes de travail et de manière qu'en même temps la commodité d'entretien soit suffisamment améliorée pour permettre de maintenir à une valeur aussi réduite que possible le temps

d'arrêt de l'ensemble de l'installation qui est d O à l'entretien 15 du canon à électrons.

Selon l'invention, dans le cas du canon à électrons décrit au début, la solution du problème posé consiste en ce que le tube enveloppe est constitué par un cylindre creux et est muni de brides de raccordement démontables, respectivement supérieure 20 et inférieure, en ce que la bride de raccordement supérieure présente une couronne porteuse destinée à recevoir une bride de centrage à joint étanche, en ce que la bride de raccordement inférieure est munie intérieurement d'une bride d'assemblage étanche au vide, en ce qu'à son extrémité supérieure le tube de guidage du faisceau est suspendu à la bride de centrage, de façon démontable et à joint étanche au vide tandis qu'à son extrémité inférieure il est encastré à joint étanche au vide dans la bride d'assemblage étanche av vide, et en ce que, lorsque le générateur de faisceau est enlevé, le tube de guidage du faisceau peut être extrait de la 30 lentille de focalisation et de l'unité de déviation à travers la

chambre d'accélération, conjointement avec la bride de centrage.

Grâce à la configuration purement cylindrique du tube enveloppe et du tube de guidage du faisceau et à la liaison démontable entre le tube enveloppe et les deux brides de raccordement, 35 ainsi qu'à la liaison démontable entre le tube de guidage du faisceau et, d'une part, la bride de centrage et, d'autre part, la bride d'assemblage étanche au vide, on obtient la possibilité de

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modifier la longueur du tube enveloppe et du tube de guidage du faisceau sur un large intervalle (en supposant des limites raisonnables) sans que l'on n'ait à procéder à des modifications particulières ou à des opérations d'adaptation sur les brides de raccor5 dement ou les assemblages à brides Un jeu tube enveloppe et tube de guidage du faisceau déjà existant peut être facilement remplacé par un jeu correspondant, plus long ou plus court, de sorte que la distance objet définie plus haut peut être adaptée d'une façon simple aux besoins modifiés La paroi étanche au-vide nécessaire 10 se limite ici au diamètre beaucoup plus petit du tube de guidage du faisceau tandis que le tube enveloppe ne participe pas à l'étanchéité au vide De cette façon, on peut obtenir l'étanchéité nécessaire d'une façon plus facide et plus fiable A cela s'ajoute le fait que les éléments qui conduisent la tension se trouvent en dehors 15 du vide, en contact avec l'atmosphère, o l'on trouve des conditions

d'isolement plus favorables.

Grâce à la facilité avec laquelle, selon l'invention, on peut démonter le tube de guidage du faisceau de la lentille de

focalisation ou de l'unité de déviation qui reste en place, le 20 réglage de ces composants d'optique électronique-reste conservé.

Grâce à la configuration des éléments déposés, qui possèdent une symétrie de révolution totale, le réglage de ces composants reste également conservé après le remontage La bride de centrage décrite apporte une contribution particulière à ce résultat d'autant plus 25 que, selon une autre caractéristique de l'invention, cette bride

porte également l'anode d'accélération dans une disposition coaxiale.

De cette façon, on peut en particulier facilement nettoyer le tube de guidage du faisceau, qui est trèe fortement

exposé aux vapeurs de métaux, ou le remplacer par un nouyeau, 30 puisqu'il s'agit d'un élément extrêmement peu coûteux.

Les deux brides de raccordement précitées peuvent être assemblées au tube enveloppe avec un centrage précis La chambre d'accélération est fixée au générateur de faisceau au niveau de la bride de raccordement supérieure L'ensemble du canon 35 à électrons est fixé à la chambre de travail au moyen de la bride

de raccordement inférieure.

Comme l'indiquent les exposés donnés plus haut, la solution selon l'invention est particulièrement avantageuse lorsqu'il est prévu une vanne d'isolement, interposée entre le tube de guidage du faisceau et la bride de centrage et munie d'un corps de vanne auquel le tube de guidage du faisceau est suspendu Lorsqu'on dépose le tube de guidage du faisceau au moyen de la bride de centrage, la vanne d'isolement, qui est directement assemblée à la bride de centrage, est extraite en même temps et peut être facilement démontée ou remplacée pour les besoins de l'entretien Le tube de 10 guidage du faisceau n'est relié à la bride de centrage que d'une façon indirecte mais elle est suspendue à cette bride d'une façon

fiable et géométriquement précise.

Selon une autre caractéristique de l'invention, il est particulièrement avantageux dans ce cas qu'au corps de la vanne soit 15 fixé un corps d'étranglement connu en soi qui présente une surface externe cylindrique sur laquelle le tube de guidage du faisceau est emmanché avec interposition de garnitures d'étanchéité Dans ce cas, le tube de guidage du faisceau est fixé indirectement à-la bride de centrage par l'intermédiaire du corps d'étranglement et par 20 l'intermédiaire du corps de la vanne, sans que ceci n'altère la précision de l'alignement Après l'extraction du tube de guidage du faisceau, le corps d'étranglement est également facilement accessible

pour le nettoyage.

Pour faciliter également le démontage de la vanne d'isolement, il est particulièrement avantageux que la vanne d'isolement présente un arbre d'entrainement disposé perpendiculairement

à l'axe du tube de guidage du faisceau et qui est relié à un entraînement en rotation par l'intermédiaire d'un accouplement à fente.

Comme son nom l'indique, l'accouplement à fente présente une fente 30 radiale Si l'axe longitudinal de la fente s'étend parallèlement à l'axe du tube de guidage, l'arbre d'entraînement, qui est muni d'un carré à cet endroit, peut facilement être extrait de l'accouplement

à fente par un mouvement de bas en haut.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention 35 seront mieux compris à la lecture de la description qui va suivre,

d'un exemple de réalisation de l'invention, et en se référant aux dessins annexés sur lesquels, la figure 1 est une coupe verticale d'un canon à électrons complet; la figure 2 représente la partie inférieure du canon à électrons de la figure 1, avec de légères modifications et à plus grande échelle;

la figure 3 montre la partie inférieure de la figure 2, pour l'explication d'autres détails.

Sur la figure 1, la chambre de travail n'est illustrée que par sa partie supérieure Dans la paroi limite supérieure, est 10 ménagée une ouverture 2 d'entrée du faisceau qui est centrée sur

l'axe A-A d'un canon à électrons 3.

Le canon à électrons 3 est composé de trois parties ou sous-ensembles essentiels, à savoir d'un générateur de faisceau 4, comprenant une cathode 5 et une électrode 6 conformatrice de faisceau (cylindre de Wehnelt), d'une chambre d'accélération 7, qui est reliée à une pompe à vide non représentée par une tubulure d'aspiration 8, d'une anode d'accélération 9 et d'une chambre 10 de guidage du faisceau dans laquelle sont agencés, dans le sens du parcours du faisceau, une vanne d'isolement 11, un corps d'étran20 glement 12, un dispositif de réglage 13, une lentille de balayage 14, une lentille de focalisation 15, un ensemble de détecteurs 16 et une unité de déviation 17 Les éléments 13 à 17 entourent un tube 18 de guidage du faisceau en ménageant une distance d'écartement radiale qui sera encore décrite plus bas avec plus de précision La chambre 10 25 de guidage du faisceau, avec tous les éléments qui y sont montés, est entourée d'un tube enveloppe 19 qui est rigidement solidaire de brides de raccordement 20 et 21, respectivement à ses extrémités supérieure et inférieure A la bride de raccordement supérieure 20

est fixé latéralement un mécanisme d'entraînement en rotation 22 30 qui commande la vanne d'isolement 11.

Le générateur de faisceau 4 est fixé à un isolateur de haute tension 23 Une borne de haute tension 25 est prévue pour

l'alimentation en courant.

Sur la figure 2, les éléments identiques à ceux de la 35 figure 1 sont désignés par les mêmes numéros de référence On y reconnaît en supplément les particularités suivantes: la bride de raccordement supérieure 20 est assemblée à une couronne porteuse 26 avec laquelle elle peut également être fabriquée en une seule pièce La couronne porteuse 26 présente un évidement tourné concentrique muni d'un épaulement annulaire 27 5 dans lequel est encastrée une bride de centrage 28 La bride de centrage présente également sur sa surface supérieure un évidement tourné dans lequel est encastrée coaxialement l'anode d'accélération 9,

qui est munie d'un perçage 9 a pour le passage du faisceau d'électrons.

La vanne d'isolement 11, dont le tournant sphérique, non représenté 10 en détail, tourne dans un corps de vanne 29 complémentaire, est fixéeà la face inférieure de la bride de centrage 28, au moyen d'un évidement de centrage peu profond et avec interposition d'une bague torique Les détails d'une-telle vanne font partie de l'état de la technique, de sorte qu'on peut se dispenser de s'y étendre de façon 15 plus approfondie Le tournant est actionné par un arbre d'entraînement 30 qui s'étend perpendiculairement à l'axe du tube 18 de

guidage du faisceau et qui présente un carré à son extrémité libre.

Le mécanisme 12 d'entraînement en rotation, qui est coaxial à l'arbre d'entraînement, présente également un arbre 22 a dont 20 l'extrémité droite est munie d'une fente radiale Le carré de l'arbre d'entraînement 30 et la fente de l'arbre 22 a forment ensemble un accouplement à fente 31 Si l'axe longitudinal de la fente s'étend parallèlement à l'axe du tube 18 de guidage du faisceau,

on peut extraire l'arbre d'entraînement 30 de la fente de l'arbre 22 a 25 par un mouvement de bas en haut.

Sur sa face inférieure, le corps de vanne 29 porte, avec interposition d'une autre bague torique, le rebord en collerette 12 a du corps d'étranglement 12, dont l'alésage intérieur 12 b,

qui s'élargit en escalier, s'étend également coaxialement à l'axe A-A 30 de l'ensemble (voir également figure 1).

Le corps d'étranglement 12 présente une surface extérieure cylindrique 12 c sur laquelle le tube 18 de guidage du faisceau est emmanché par son extrémité supérieure 18 a avec interposition de

garnitures d'étanchéité 32.

Dans la bride de raccordement inférieure 21, est encastrée concentriquement, et avec interposition d'un corps isolant 33 composé d'une résine moulée chargée de plomb, une bride 34

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de joint à vide qui est isolée à joint étanche de la chambre de travail 1 par une garniture d'étanchéité 35 et de l'extrémité inférieure 18 b du tube 18 de guidage du faisceau par une garniture d'étanchéité 36 Le tube de guidage du faisceau est emmanché dans la garniture d'étanchéité 36. Le tube 18 de guidage du faisceau est divisé en longueur, au niveau d'un joint 37, en un segment supérieur 18 c et un segment inférieur 18 d Les extrémités qui se trouvent au niveau du joint sont montées, à un certain écartement mutuel, et avec interposition 10 de garnitures d'étanchéité, dans un bottier de détecteurs 38 qui

fait partie d'un ensemble de détecteurs 16 Pour la description de

ces détails, on se reportera à h figure 3.

De cette façon, le tube 18 de guidage du faisceau représente, avec ses élements adjacents et les garnitures d'étan15 chéité interposées, la séparation entre l'atmosphère (à l'extérieur du tube 18 de guidage du faisceau) et le vide (à l'intérieur du tube 18 de guidage du faisceau) Comme on peut le voir, le tube enveloppe 19 ne participe pas à l'étanchéité au vide mais la chambre d'accélération 7 est montée à joint étanche au vide par son boîtier 7 a sur la couronne porteuse 26 et, par conséquent, elle

est sous un vide de service très élevé.

La bride de raccordement supérieure 20 porte, par l'intermédiaire d'un corps isolant 39 composé d'une résine moulée, le dispositif de réglage 13 qui est en principe constitué par une 25 unité de déviation analogue à l'unité de déviation 17 Le corps isolant 39 est muni d'une charge composée de granulés ou de poudre de plomb, comme le corps isolant 33, pour arrêter le rayonnement X. La proportion de plomb est choisie de manière à assurer la fonction

d'un écran de plomb de 3 à 5 mmn d'épaisseur dans la direction du 30 rayonnement.

Quant au dispositif de réglage 13, en principe, dans le cas d'un canon à électrons possédant un tube de guidage du faisceau 18 ou un tube enveloppe 19 de faible longueur, un réglage supplémentaire du faisceau n'est pas nécessaire puisque le canon est alimenté avec 35 une tension de faisceau fixe et que la cathode possède une grande stabilité thermique de sa forme dans l'espace Si, toutefois, pour des raisons de procédé, on doit allonger la distance objet et, par conséquent, le tube 18 de guidage du faisceau et le tube enveloppe 19, il peut éventuellement être nécessaire de procéder à une correction du réglage Les signaux de réglage sont obtenus au moyen de l'ensemble de détecteurs 16 et ensuite, après un traitement approprié (connu), 5 ils sont envoyés au dispositif de réglage 13, qui règle le faisceau d'électrons dans un plan X-Y de manière qu'il se trouve exactement au centre de l'ensemble de détecteurs 16 Avec cet agencement, il est possible de fixer la position du spot sur la pièce de façon reproductible par une procédure extrêmement simple, en dépit d'un réglage 10 manuel Il est donc possible de livrer le canon à électrons avec ou sans dispositif de réglage 13 et avec ou sans ensemble de détecteurs 16 tout en conservant sensiblement la même configuration pour la chambre 10 de guidage du faisceau Toutefois, on peut également sans difficulté équiper le canon à électrons de ces organes après coup. 15 La bride de raccordement inférieure 21 porte également, par l'intermédiaire du corps isolant 33 déjà décrit, l'unité de déviation 17 qui est réalisée sous la forme d'un quadripôle et qui permet de dévier le faisceau dans un système de coordonnées X-Y

d'une façon connue en soi.

On peut reconnaître que, de cette façon, lorsque le générateur de faisceau 4 est déposé, le tube 18 de guidage du faisceau peut être extrait de la lentille de focalisation 15 et de l'unité de déviation 17 à travers la chambre d'accélération 7 et conjointement avec la bride de centrage 28 Ceci est rendu possible par le fait que 25 le diamètre intérieur des composants fixes qui entourent le tube de guidage du faisceau (lentille de balayage 14, lentille de focalisation 15, unité de déviation 17 et, éventuellement, dispositif de réglage 13) est plus grand que le diamètre extérieur ou les diamètres extérieurs du tube 18 de guidage du faisceau et éventuellement des com30 posants (ensemble de détecteurs 16) qui sont montés sur le tube de guidage du faisceau et que l'on doit faire passer à travers les autre S organes de l'appareil avec le tube de guidage du faisceau lors de la dépose de ce dernier La bride de centrage 28 est fixée dans la couronne porteuse 26, par exemple par trois vis 40 réparties sur la péri35 phérie et, après dévissage de ces vis, elle peut être extraite facilement de la chambre 10 de guidage du faisceau par un mouvement de bas

en haut, avec tous les éléments qui sont montés sur cette bride.

La lentille de balayage 14 a pour mission (connue) de déplacer périodiquement le foyer du faisceau d'électrons qui est prédéterminé par la lentille de focalisation 15, sur de petites

distances dans la direction longitudinale du faisceau d'électrons.

Le champ à symétrie de révolution produit par la lentille de balayage 14 s'ajoute à celui de la lentille de focalisation 15. L'enveloppe 41 de la lentille de balayage 14 est composée d'une poudre de ferrite, de sorte que l'inductivité totale de la lentille de balayage 14 peut être maintenue à une valeur telle que le champ 10 électromagnétique produit puisse suivre la variation du courant de balayage jusqu'à une fréquence de quelques k Hz Ce balayage du foyer

est réalisable avec des courants approximativement rectangulaires.

Selon la figure 3, l'ensemble de détecteurs 16 est composé du boîtier de détecteurs 38 dans lequel sont disposés, dans 15 un plan E-E radial par rapport à l'axe A-A de l'ensemble, quatre détecteurs 42, en forme de tige, répartis sur la circonférence et dont les extrémités intérieures font saillie radialement dans l'espace libre du tube de guidage du faisceau Les détecteurs sont montés à l'aide de corps isolants non représentés en détail dans 20 des perçages du boîtier 38 des détecteurs et, à leurs extrémités extérieures, ils portent des contacts glissants 43 qui coopèrent avec des contre-contacts élastiques correspondants 44 qui sont montés dans une cage de contacts fixes 45 De cette façon, il est possible de séparer les liaisons électriques les unes des autres 25 sans prendre de mesures particulières lorsqu'on extrait le tube de guidage du faisceau avec le bottier 38 des détecteurs Etant donné que, de cette façon, les détecteurs forment des éléments constitutifs de la construction du tube de guidage du faisceau, lorsqu'on dépose ce tube de la chambre 10 de guidage du faisceau, ils sont également 30 extraits avec ce tube Ils peuvent être alors nettoyés, changés ou remplacés d'une façon extrêmement simple L'assemblage à joint étanche au vide réalisé entre le boltier 38 des détecteurs et les deux segments 18 c et 18 d du tube de guidage du faisceau est assuré par les garnitures d'étanchéité 46 et 47 déjà décrites Naturellement, 35 les détecteurs 42 sont eux aussi montés à joint étanche au vide dans

le bottier 38 des détecteurs qui est composé de métal.

Les détecteurs 42 sont disposés symétriquement et engagés de la mêmelongueur dans le tube de guidage du faisceau et, de cette façon, ils sont frappés par les électrons périphériques du faisceau d'électrons Les électrons captés sont transmis par les contre5 contacts 44 disposés dans la cage de contacts 45, et,par l'intermédiaire de conducteurs non représentés, à des dispositifs régulateurs

qui agissent de la façon déjà décrite sur le dispositif de réglage 13.

La cage de contacts 45 est également munie de dispositifs d'ajustement de centrage qui maintiennent le porte-détecteurs 38 dans une position 10 de symétrie de révolution à l'intérieur de la lentille de focalisation 15 avec la précision nécessaire.

La lentille de focalisation 15 porte une bague ajustée 48 faite d'une matière non ferritique qui est reliée à la lentille de focalisation 15 avec symétrie de révolution La lentille de balayage 14 15 est également montée coaxialement par sa monture enveloppante 41

dans la bague ajustée 48.

La division du tube de guidage du faisceau en un segment partiel supérieur et un segment partiel inférieur, 18 c et 18 d respectivement, ne change visiblement rien à la possibilité 20 fondamentale d'extraire l'ensemble du tube de guidage, par un mouvement de bas en haut, avec le bottier de détecteurs 38 qui

assure l'assemblage Il est également possible de modifier individuellement la longueur des segments du tube lorsque ceci est nécessaire en raison d'une modification de la distance objet.

Dans l'exemple de réalisation, le tube 18 de guidage du faisceau, ou bien ses deux segments, est ou sont fabriqué(s) en matière plastique, la surface interne 49 étant munie d:'un revêtement

conducteur de l'électricité. Le principe de construction décrit réunit en lui-même 30 les avantages

suivants: faible poids et faible volume, donc plus petit volume de vide poussé à pomper et aire réduite des surfaces; petit nombre de garnitures étanches au vide et faible longueur totale de ces garnitures; interchangeabilité des surfaces ou éléments exposés à la vaporisation en service; garnitures d'étanchéité de la vanne d'isolement protégées du dépôt de vapeur; nombre extrêmement réduit de pièces logées à l'intérieur du volume o l'on fait le vide et disposition des jeux de lentilles et dispositif de déviation électromagnétique à l'extérieur du vide; et

utilisation d'un nombre aussi grand que possible d'éléments analogues pour des distances objet différentes.

Selon les figures 2 et 3, les composants électro10 magnétiques sont encore entourés d'un blindage 50 qui est relié au corps isolant 39 de la bride de raccordement supérieure 20 par l'intermédiaire d'un manchon entretoise 51 Ici également, on peut procéder facilement à une adaptation à différentes distances objet en utilisant différentes longueurs pour le 15 manchon entretoise 51 Le centrage du blindage 50 est assuré par le bord extérieur du corps isolant 33; le centrage du manchon entretoise 51 est assuré par des prolongements annulaires non représentés en détail prévus sur le blindage 50 et sur le corps isolant 39 respectivement (figure 2) Le blindage 50 et le 20 manchon entretoise 51 sont composés, de même que les corps isolants 33 et 39, d'une matière isolante ou d'une matière plastique chargée d'une charge de plomb, afin d'assurer l'arrêt du rayonnement X. REV Eh NDICATIONS 1 Canon à électrons destiné à être monté sur une chambre de travail, comprenant a) un générateur de faisceau comportant une cathode et une électrode conformatrice de faisceau, b) une chambre d'accélération dans laquelle est agencée une anode 5 d'accélération, c) une chambre de guidage du faisceau, comprenant un tube enveloppe et un tube de guidage du faisceau, qui s'étend entre l'anode d'accélération et la chambre de travail et qui est entouré d'au moins une lentille de focalisation et d'une unité de déviation, le tube enveloppe reliant la chambre d'accélération et 10 la chambre de travail l'une à l'autre en constituant un élément porteur, caractérisé en ce que le tube enveloppe ( 19) est constitué par un cylindre creux et est muni de brides de raccordement démontables respectivement supérieure ( 20) et inférieure ( 21), en ce que la bride de raccordement supérieure ( 20) présente une couronne porteuse ( 26) destinée à recevoir une bride de centrage ( 28) à joint étanche, en ce que la bride de raccordement inférieure ( 21) est munie intérieurement d'une bride d'assemblage étanche au vide ( 34), en ce qu'à son extrémité supérieure ( 18 a) le tube ( 18) de guidage du faisceau est suspendu à la bride de centrage ( 28) de façon démon20 table et à joint étanche au vide tandis qu'à son extrémité inférieure ( 18 b) il est encastré à joint étanche au vide dans la bride d'assemblage étanche au vide ( 34) et en ce que, lorsque le

générateur de faisceau ( 4) est enlevé, le tube de guidage du faisceau ( 18) peut être extrait de la lentille de focalisation ( 15) et 25 de l'unité de déviation ( 17) à travers la chambre d'accélération ( 7), conjointement avec la bride de centrage ( 28).

2 Canon à électrons selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'anode d'accélération ( 9) est montée sur la

bride de centrage ( 28).

3 Canon à électrons selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'entre le tube ( 18) de guidage du faisceau et la bride de centrage ( 28) est agencée une vanne d'isolement ( 11) munie d'un corps de vanne ( 29) auquel le tube ( 18) de guidage du

faisceau est suspendu.

4 Canon à électrons selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'au corps ( 29) de la vanne est fixé un corps d'étranglement ( 12) qui présente une surface externe cylindrique ( 12 c) sur laquelle le tube ( 18) de guidage du faisceau est emmanché avec interpositionde garnitures d'étanchéité ( 32). Canon à électrons selon la revendication 3, caractérisé en ce que la vanne d'isolement ( 11) présente un arbre d'entraînement ( 30) qui s'étend perpendiculairement à l'axe du tube ( 18) de guidage du faisceau et qui est relié à un mécanisme d'entraîne10 ment en rotation ( 22) par l'intermédiaire d'un accouplement à

fente ( 31).

6 Canon à électrons selon la revendication 1, caractérisé en ce que le tube ( 18) de guidage du faisceau est divisé sur sa longueur en un segment supérieur ( 18 c) et un segment infé15 rieur ( 18 d) et en ce que les extrémités situées au niveau du joint ( 37) sont montées à joint étanche au vide et à une certaine distance l'une de l'autre dans un boîtier de détecteurs ( 38) dans lequel sont agencés quatre détecteurs ( 42) destinés à capter la position du faisceau, qui sont disposés dans un plan perpendiculaire à l'axe du tube ( 18) de guidage du faisceau, et en ce que les détecteurs ( 42) présentent sur leurs extrémités extérieures des contacts glissants ( 43) qui coopèrent avec des contre-contacts correspondants ( 44) disposés dans une cage de contacts ( 45) située dans une

position fixe.

7 Canon à électrons selon la revendication 6, caractérisé en ce que le tube ( 18) de guidage du faisceau est entouré à son extrémité supérieure par un dispositif ( 13) de réglage de

la position du faisceau.

8 Canon à électrons selon la revendication 1, caractérisé en ce que le tube ( 18) de guidage du faisceau est entouré d'une lentille de balayage ( 14) au-dessus du niveau de

la lentille de focalisation ( 15).

9 Canon à électrons selon l'une quelconque des

revendications 1 à 8, caractérisé en ce que les diamètres inté 35 rieurs des composants fixes qui entourent le tube ( 18) de guidage

du faisceau sont plus grands que le ou les diamètre(s) extérieur(s) du tube ( 18) de guidage du faisceau et/ou des composants montés sur le tube de guidage du faisceau et qui doivent passer à travers lesdits composants fixes avec le tube de guidage du faisceau au moment

de la dépose de ce dernier.

10 Canon à électrons selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'au moins la surface interne ( 49) du tube ( 18)

de guidage du faisceau est conductrice de l'électricité.

11 Canon à électrons selon les revendications 1 et 7,

caractérisé en ce qu'il est prévu, entre la bride de raccordement 10 supérieure ( 20) et le dispositif de réglage ( 13), de même qu'entre la bride de raccordement inférieure ( 21) de l'unité de déviation ( 17), un corps isolant ( 39 ou 33 respectivement) qui est composé d'une

matière isolante chargée de particules de plomb.