DE1955846C3 - Elektronenkanone fur die Erhitzung von Materialien in einem Vakuumbehalter - Google Patents
Elektronenkanone fur die Erhitzung von Materialien in einem VakuumbehalterInfo
- Publication number
- DE1955846C3 DE1955846C3 DE1955846A DE1955846A DE1955846C3 DE 1955846 C3 DE1955846 C3 DE 1955846C3 DE 1955846 A DE1955846 A DE 1955846A DE 1955846 A DE1955846 A DE 1955846A DE 1955846 C3 DE1955846 C3 DE 1955846C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- yoke
- container
- electron
- winding
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/3002—Details
- H01J37/3007—Electron or ion-optical systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/063—Geometrical arrangement of electrodes for beam-forming
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Elektronenkanone für die Erhitzung von Materialien in einem Vakuumbehälter,
bestehend aus einer Elektronenstrahlquelle, mindestens einer Elektronenlinse und mindestens
einer im wesentlichen symmetrisch zum Strahl angeordneten aus Magnetjoch mit Wicklung und
Schenkeln bestehenden Ablenkeinheit zur Ablenkung des Strahls im Innern des Behälters, wobei zwischen
der Strahlachse einerseits und der Elektronenlinse sowie der Wicklung und dem Joch der Ablenkeinheit
andererseits ein vakuumdichtes, mit dem Behälter verbindbares Strahlführungsrohr angeordnet ist, das
an seinem freien Ende durch die Elektronenstrahlquelle verschlossen ist.
Eine Elektronenkanone der vorstehenden Art ist beispielsweise durch die deutsche Auslegeschrift
248 175 bekannt. Die bekannte Kanone ragt in eingebautem Zustand mit ihrer Elektronenlinse und der
Ablenkeinheit in das Innere eines Vakuumbehälters hinein, in dem ein Erhitzungsvorgang bewirkt werden
soll. Es kann sich dabei um Schmelz-, Schweiß- und Verdampfungsvorgänge von Materialien aller
Art handeln. Zum Zwecke des' Schutzes der wärmeempfifidü.-hen
Spulen von Elektronenlinse und Ablenkeinheit ist die Kanone an ihrem in den Behälter
hineinragenden Teil mit einem Kühlmantel versehen. Die bekannte Kanone ist jedoch nur bedingt
einsetzbar bei Behältern, in denen ein Höchstvakuum erzeugt und während des Betriebes der Kanone aufrechterhalten
werden soll. Höchstvakua werden insbesondere für viele Vakuumaufdampfprozesse benötigt.
Um die geforderten, niedrigen Drücke erreichen zu können, ist es bekanntlich erforderlich, die gesamte
innere Oberfläche des Yakuumbehälters »auszuheizea«,
d. h., auf eine solche Temperatur zu bringen, bei der sich die ansonsten im Behälter verbleibenden
Gasmoleküle von den Wandungsteilen lösen ίο und nachfolgend abgepumpt werden können. Die erforderlichen
Ausheiztemperaturen liegen häufig im Bereich bis zu 400° C und teilweise auch darüber.
Für derartig hohe Temperaturen sind jedoch die bekannten Kanonen aus folgenden Gründen nicht geeignet:
Bei Anwendung einer Wasserkühlung läßt sich die in den Behälter hineinragende Oberfläche der Kanone
nicht ausheizen, beim Verzicht auf eine Wasserkühlung würde die elektrische Isolation der Magnetspulen
zerstört. Ein Ausbau der Kanone verbietet sich, da hierbei das Vakuum im Behälter zusammenbrechen
würde.
Es ist zwar von Kathodenstrahl-Röhren her bekannt, Ablenkspulen abziehbar zu gestalten (deuta5
sehe Patentschrift 767 800), jedoch liegt bei einer solchen Konstruktion der die Ablenkung des Elektronenstrahls
bewirkende Teil der Ablenkeinheit nicht im Innern der evakuierten Röhre; außerdem
liegen von der Betriebsweise her völlig unterschiedliehe Aufgaben vor: Die Elektronenstrahlröhre wird
nicht zum Zwecke einer Beschickung geöffnet, so daß eine wiederholbare Ausheizung erforderlich
würde.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Kanone der eingangs beschriebenen Art zu schaffen,
die ein Ausheizen der dem Innern des Vakuumbehälters zugekehrten Wandungsteile gestattet ohne daß
hierbei die wärmeempfindlichen Bauteile gefährdet würden. Außerdem soll die schnelle Betriebsbereitschaft
der in den Behälter eingebauten Elektronenkanone trotz des Ausheizvorganges erhalten bleiben.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß dadurch, daß die Schenkel und das Joch
mit der Wicklung der Ablenkeinheit als getrennte Bauteile ausgeführt sind, wobei die Schenkel fest mit
dem Vakuumbehälter verbindbar und das Joch mit der Wicklung ebenso wie die Elektronenlinse ohne
Aufhebung des Vakuums im Behälter von dem Strahlzuführungsrohr abziehbar sind.
Die besondere Schwierigkeit, die durch eine solche Lösung zu überwinden war, besteht dabei darin, daß der Elektronenstahl im Innern des Behälters abgelenkt werden soll, so daß sich der die eigentliche Strahlablenkung bewirkende Teil der Ablenkeinheit im Innern des Behälters befinden muß. Diese Bedingung hat bisher ein Ausheizen des Vakuumsbehälters und der mit ihm verbundenen Kanone verhindert.
Die besondere Schwierigkeit, die durch eine solche Lösung zu überwinden war, besteht dabei darin, daß der Elektronenstahl im Innern des Behälters abgelenkt werden soll, so daß sich der die eigentliche Strahlablenkung bewirkende Teil der Ablenkeinheit im Innern des Behälters befinden muß. Diese Bedingung hat bisher ein Ausheizen des Vakuumsbehälters und der mit ihm verbundenen Kanone verhindert.
Um eine solche besonders einfache Entfernung der Ablenkspule zu ermöglichen, wird gemäß der weitercn
Erfindung vorgeschlagen, daß das Joch der Ablenkeinheit im wesentlichen ringförmig ausgebildet
und mit zwei diametral gegenüberliegenden, parallelen Schenkelansätzen versehen ist, auf denen die
Wicklung angeordnet ist, und daß das Joch das Strahlführungsrohr umschließt. Eine solche Ausführung
erfüllt sämtliche eingangs gestellten Forderungen und zeichnet sich außerdem durch einen einfachen
und betriebssicheren Aufbau aus.
Ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung sei nachstehend an Hand -ier F i e. 1 bis 3
näher beschrieben.
Es zeigt
Es zeigt
F i g. 1 einen Längsschnitt durch eine an einen Vakernbehälter
angebaute Kanone,
Fig.2 eine Seitenansicht der Vorrichtung gemäß
Fig. 1, bei der die wesentlichen Baugruppen auseinandergezogen
dargestellt sind und
Fig.3 eine perspektivische Darstellung der Ablenkeinheit
mit ihren wesentlichsten Teilen.
In Fig. 1 ist mitl die vollständige Elektronenkanone
bezeichnet, bestehend aus einer Elektronenstrahlquelle 2, einer Elektronenlinse 3 und einer Ablenkeinheit
4, die den Elektronenstrahl 5 im Innern des Behälters 6 um einen Winkel zur ursprünglichen
Strahlachse ablenkt. Die Elektronenquelle besteht ihrerseits aus einer Glühkathode 7 und einer auf Erdpou-ntial
befindlichen Beschleunigungsanode 18, zwischen denen beim Betrieb eine hohe Potcntialdiffercnz
vorhanden ist. Die Elektronenstrahlquelle ist über die beiden Steckkontakte 9 und 10. welche mit
Gegenkontakten zusammenwirken, die — nicht sichtbar — in der Flanschplatte 11 aus Isoliermaterial
angeordnet sind, an nicht gezeichnete Hochspannungszuleitungen angeschlossen. Über die Kontakte
9 und 10 fließt gleichzeitig der Heizstrom für die Glühkathode 7. Mit 12 ist ein Gegenflansch bezeichnet,
der mit einem keramischen Hochspannungsisolator 13 vakuumdicht verbunden ist. Der
Isolator ist am gegenüberliegenden Ende mit einem weiteren Flansch 14 verbunden, der mit einem Gegenflansch
15 verschraubt ist. 16 und 17 sind Distanzringe, die ebenfalls absolute Vakuumdichtheit
gewährleisten und die hohlkegelförmig ausgebildete Beschleunigungsanode 18 umschließen. Der Gegenflansch
15 ist mit einem Strahlführungsrohr 19 verbunden, welches das vakuumdichte Zwischenglied
zwischen der Elektronenquelle 2 und dem Vakuumbehälter 6 darstellt. Zu diesem Zwecke ist das Strahlführungsrohr
19 an dem der Elektronenquelle abgewandten Ende mit einer Flanschplatte 20 versehen,
die unter Zwischenschaltung eines Dichtungsringes 21 auf dem Behälterflansch 22 ruht.
Die Ablenkeinheit 4 besteht aus einem im wesentliehen U-förmigen Magnetkern aus Weicheisen, der
sich wiederum aus den Schenkeln 23 mit den Polschuhen 24 und dem Joch 25 zusammensetzt. Die
Schenkel 23 und das Joch 25 sind 3teilig ausgeführt, berühren sich jedoch im Zustand eier Betriebsbereitschaft
der Kanone zur Leitung des magnetischen Flusses an den Trennfugen 26. Die Schenkel 23 sind
vakuumdicht und unlösbar mit der aus nicht ferromagnetischem Werkstoff bestehenden Flanschplatte
20 verbunden. Das Joch 25 ist senkrecht zur Schnittebene ringförmig ausgebildet und konzentrisch zum
Strahlführungsrohr 10 angeordnet. Es besitzt 2 diametral gegenüberliegende, parallel verlaufende Schenkelansätze
27, auf denen die 2teilig ausgeführte Wicklung 28 befestigt ist. Bei Erregung der Wicklung 28
wird zwischen den Polschuhen 24 ein Magnetfeld erzeugt, dessen Kraftlinien im wesentlichen senkrecht
zur Achse des Elektronenstrahls 5 verlaufen und infolgedessen eine Ablenkung bewirken, deren Größe
unter anderem von der Höhe des Erregungstromes abhängig ist.
Das Joch 25 mit der Wicklung 28 ist ebenso wie die Elektronenlinse 3 im Innern einer als Hohlzylinder
ausgebildeten Kapsel 29 befestigt. Als Distanzstück 38 dient ein Ring, der ebenso wie das Strahlführungsrohr
19 aus einem nicht ferromagnetischen Werkstoff besteht, um die Magnetfelder nicht störend
zu beeinflussen. Die Kapsel 29 ist mit ihren Einbauten von dem Strahlfühvungsrohr in dessen
Achsrichtung abziehbar und stützt sich auf der Anschlaghülse 30 ab. Die Kapsel 29 besitzt ferner 2 entsprechend
geformte Ausnehmungen für den Durchtritt der Schenkel 23 der Ablenkeinheit 4. Die Elektronenlinse
3 ist von einem Weicheisenmantel 32 umgeben, dessen Innendurchmesser ebenso wie der des
Jochs 25 so bemessen ist, daß ein Abnehmen der Kapsel 29 über die Umhüllung der Elektronenquelle
2 möglich ist.
Die Kapsel 29 ist durch eine Flanschplatte 33 verschlossen, die gleichzeitig Träger für die Schutzkappe
34 ist, die zum Zwecke des Berührungsschutzes einen metallischen, geerdeten Überzug trägt. Die Flanschplatte
33 besitzt ebenfalls eine Bohrung 35, die ein Abnehmen über die Umhüllung der Elektronenquelle
2 gestattet. Die Flanschplatte 33 ist mit dem Gegenflansch 15 verbunden, was beispielsweise über
einen nicht dargestellten Bajonettverschluß erfolgen kann. Hierdurch wird die Kapsel 29 gegen die Anschlaghülse
30 gepreßt und unverrückbar festgehalten. Ein Vorsprung 36 an der Flanschplatte 33 sorgt
für die radiale Festlegung der Kapsel 29. F i g. 2 zeigt die Elektronenstrahlkanone in einem Zustand, der
ein Ausheizen der gesamten Vorrichtung erlaubt, daß heißt, ohne Elektronenlinse und Wicklung des Magnetjochs
25. An dem Vakuumbehälter ist noch die Flanschplatte 20 mit dem Strahlführungsrohr 19 und
dem Hochspannungsisolator 13 befestigt, in dessen Innerem sich die Elektronenquelle 2 befindet. Die
entsprechenden Einzelteile sowie die zwischengeschalteten Dichtungsmittel sind absolut beständig bei
den auftretenden Ausheiztemperaturen. Aus der Flanschplatte 20 ragen die beiden Enden der Schenkel
23 der Ablenkeinheit heraus. Das mit ihnen im Betriebszustand der Kanone in Verbindung stehende
Joch mit der Ablenkwicklung befindet sich zusammen mit der Elektronenlinse im Innern der abgezogenen
Kapsel 29. Die Schutzkappe 34, in der sich auch die Steckkontakte 9 und 10 befinden, ist ebenfalls
in abgezogenem Zustande dargestellt. Nach Beendigung des Ausheizvorganges und genügendem
Abkühlen der ausgeheizten Teile ist es lediglich erforderlich, die Kapsel 29 wieder auf das Strahlführungsrohr
19 aufzuschieben und durch Aufsetzen und Veriitaein der Schutzkappe 34 in ihrer Lage zu
arretieren.
Die Details der F i g. 2 sind aus Platzgründen in einem kleineren Maßstab dargestellt als in F i g. 1.
In Fig. 1 ist eine Ablenkeinheit 4 dargestellt, die eine Strahlablenkung im wesentlichen nur in einer
Ebene zuläßt. Es ist jedoch ebensogut denkbar, eine weitere Ablenkeinheit vorzusehen, die beispielsweise
unter einem Winkel von 90° zur dargestellten Ablenkeinheit stehen kann. Mit einer solchen Anordnung
ist es dann möglich, mit dem Elektronenstrahl eine praktisch beliebige Fläche zu bestreichen, wobei
auch sich periodisch ändernde Ströme den Ablenkspulen zugeführt werden können, um bestimmte Leistungsdichteverteilungen
im Elektronenstrahl zu erzeugen. Die geometrische Form der Ablenkeinheit ist aus der persepektivcn Darstellung in F i g. 3 ersichtlich.
Die Bezifferung der dargestellten Teile ist
mit der in F i g. 1 identisch. Es ist zu erkennen, daß
das ringförmige Joch 25 und die beiden Schenkel 23 getrennt ausgeführt sind und an den Trennfugen 26
aneinanderstoßen. Zwischen der Trennfuge und dem Joch 25 befinden sich auf diametral entgegengesetzten
Seiten die Schenkelansätze 27, auf die die Wicklung 28, bestehend aus zwei Einzelspulen aufgeschoben
weiden kann. Die Öffnung 37 wird von dem hier nicht dargestellten Strahlführungsrohr 19 durchsetzt.
Die beiden Schenkel 23 sind vakuumdicht in der Weise mit der Flanschplatte 20 verbunden, daß die
Schenkelenden mit den Polschuhen 24 bei eingebauter Kanone symmetrische zum Elektronenstrahl 5 in
das Innere des Vakuumbehälters 6 hineinragen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Elektronenkanone für die Erhitzung von Materialien in einem Vakuumbehälter, bestehend
aus einer Elektronenstrahlquelle, mindestens einer Elektronenlinse und mindestens einer im
wesentlichen symmetrisch zum Strahl angeordneten, aus Magnetjoch mit Wicklung und Schenkeln
bestehenden Ablenkeinheit zur Ablenkung des Strahls im Innern des Behälters, wobei zwischen
der Strahlachse einerseits und der Elektronenlinse sowie der Wicklung und dem Joch der Ablenkeinheit
andererseits ein vakuumdichtes, mit dem Rehälter verbindbares Strahlzuführungsrohr
angeordnet ist, das an seinem freien Ende durch die Elektronenstrahlquelle verschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Schenkel
(23) und das Joch (25) mit der Wicklung (28) der Ablenkeinheit (4) als getrennte Bauteile ausgeführt
sind, wobei die Schenkel (23) fest mit dem Vakuumbehälter (6) verbindbar und das Joch
(25) mit der Wicklung (28) ebenso wie die Elektronenlinse (3) ohne Aufhebung des Vakuums im
Behälter (6) von dem Strahlführungsrohr (19) abziehbar sind.
2. Elektronenkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Joch (25) der Ablenkeinheit
(4) im wesentlichen ringförmig ausgebildet und mit zwei diametral gegenüberliegenden,
parallelen Schenkelansätzen (27) versehen ist, auf denen die Wicklung (28) angeordnet ist,
und daß das Joch (25) das Strahlführungsrohr (19) umschließt. '
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1955846A DE1955846C3 (de) | 1969-11-06 | 1969-11-06 | Elektronenkanone fur die Erhitzung von Materialien in einem Vakuumbehalter |
GB5443/70A GB1236891A (en) | 1969-11-06 | 1970-02-04 | An electron gun for heating materials in an evacuated container |
US14008A US3652821A (en) | 1969-11-06 | 1970-02-25 | Electron gun for heating materials in an evacuated container |
JP45021189A JPS5022280B1 (de) | 1969-11-06 | 1970-03-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1955846A DE1955846C3 (de) | 1969-11-06 | 1969-11-06 | Elektronenkanone fur die Erhitzung von Materialien in einem Vakuumbehalter |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1955846A1 DE1955846A1 (de) | 1972-01-05 |
DE1955846B2 DE1955846B2 (de) | 1973-04-12 |
DE1955846C3 true DE1955846C3 (de) | 1973-10-31 |
Family
ID=5750306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1955846A Expired DE1955846C3 (de) | 1969-11-06 | 1969-11-06 | Elektronenkanone fur die Erhitzung von Materialien in einem Vakuumbehalter |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3652821A (de) |
JP (1) | JPS5022280B1 (de) |
DE (1) | DE1955846C3 (de) |
GB (1) | GB1236891A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3328172A1 (de) * | 1983-08-04 | 1985-02-14 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Elektronenstrahlkanone |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3770934A (en) * | 1971-10-29 | 1973-11-06 | Machlett Lab Inc | Electron beam heating apparatus |
FR2188255A1 (en) * | 1972-06-05 | 1974-01-18 | Commissariat Energie Atomique | Electron beam deviating prism - using electro magnetic elements with air gap in iron circuit |
DE2519537C2 (de) * | 1975-05-02 | 1982-11-04 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Elektronenstrahlgerät für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke mit Ablenksystemen |
DE2528032C2 (de) * | 1975-06-24 | 1983-06-09 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Elektronenstrahlerzeuger für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke |
JPS522679U (de) * | 1975-06-24 | 1977-01-10 | ||
EP0196710A1 (de) * | 1985-03-28 | 1986-10-08 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Elektronenstrahlgerät dessen Anode in der Kathode-/Wehnelt-Zylindereinheit eingeschlossen ist |
DE3532888A1 (de) * | 1985-09-14 | 1987-04-02 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Anordnung zur regelung der ablenkung eines elektronenstrahls |
US5185530A (en) * | 1990-11-05 | 1993-02-09 | Jeol Ltd. | Electron beam instrument |
DE9411676U1 (de) * | 1994-07-08 | 1994-10-13 | Bestec Gmbh | Elektronenstrahlquelle |
JP6437316B2 (ja) * | 2014-02-14 | 2018-12-12 | 日本電子株式会社 | 電子銃、三次元積層造形装置及び電子銃制御方法 |
RU2709793C1 (ru) * | 2018-07-09 | 2019-12-20 | Публичное акционерное общество "Электромеханика" | Электронно-лучевая пушка с повышенным ресурсом эксплуатации |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2840740A (en) * | 1955-08-24 | 1958-06-24 | Gen Electric | Combination yoke clamp and terminal cover |
DE1248175B (de) * | 1961-08-31 | 1967-08-24 | Heraeus Gmbh W C | Elektronenstrahlerzeugungssystem |
NL295045A (de) * | 1962-07-09 | |||
US3504211A (en) * | 1965-05-12 | 1970-03-31 | Hitachi Ltd | Electron beam control device for use with a cathode ray tube for dynamic correction of electron beam astigmatism and defocusing |
-
1969
- 1969-11-06 DE DE1955846A patent/DE1955846C3/de not_active Expired
-
1970
- 1970-02-04 GB GB5443/70A patent/GB1236891A/en not_active Expired
- 1970-02-25 US US14008A patent/US3652821A/en not_active Expired - Lifetime
- 1970-03-12 JP JP45021189A patent/JPS5022280B1/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3328172A1 (de) * | 1983-08-04 | 1985-02-14 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Elektronenstrahlkanone |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE1955846B2 (de) | 1973-04-12 |
GB1236891A (en) | 1971-06-23 |
JPS5022280B1 (de) | 1975-07-29 |
US3652821A (en) | 1972-03-28 |
DE1955846A1 (de) | 1972-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE1955846C3 (de) | Elektronenkanone fur die Erhitzung von Materialien in einem Vakuumbehalter | |
DE2112215B2 (de) | Neutronengenerator | |
DE2801916A1 (de) | Fernsehbildroehre | |
DE2003715A1 (de) | Ionenstrahlquelle | |
DE3333686C2 (de) | ||
DE102008048785B4 (de) | Magnetronanordnung mit abgeschirmter Targethalterung | |
DE2519537C2 (de) | Elektronenstrahlgerät für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke mit Ablenksystemen | |
DE1297769B (de) | Langgestreckte Wanderfeld-Verstaerkerroehre | |
DE1218078B (de) | Vorrichtung zum Erzeugen und Einschliessen eines Plasmas | |
DE2627862A1 (de) | Elektronenstrahler | |
EP0254168A2 (de) | Zerstäubungskatode für Vakuum-Beschichtungsanlagen | |
DE1054140B (de) | Vorrichtung zum Loeschen von Lichtboegen bei Starkstromschalteinrichtungen | |
DE1573970A1 (de) | Vakuumschleuse und Sonde zum Einfuehren von Proben in ein Massenspektrometer | |
DE2528032C2 (de) | Elektronenstrahlerzeuger für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke | |
DE1236079B (de) | Steuerbare Halbleiteranordnung | |
DE639569C (de) | Wassergekuehlte, zerlegbare elektrische Entladungsroehre mit unmittelbarem Anschlussan eine Hochleistungspumpe | |
DE1916608C2 (de) | Laufzeitröhre mit magnetisch begrenztem Strahlfluß | |
DE7030843U (de) | Kathodenstrahklablenkvorrichtung. | |
DE1248175B (de) | Elektronenstrahlerzeugungssystem | |
AT220209B (de) | Gasdichte Durchführung mit rohrförmigem Isolierkörper | |
DE2904814A1 (de) | Feldemissions-elektronenstrahlerzeugungssystem | |
DE1565029B2 (de) | Vorrichtung zum schweissen von werkstoffen mit einem elektro nenstrahl | |
EP0138264A2 (de) | Farbbildwiedergaberöhre | |
DE1202918B (de) | Elektronenstrahlofen | |
DE19537230C1 (de) | Elektronenkanone |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
EHJ | Ceased/non-payment of the annual fee |