DE69806897T2 - Dynamisch kompensierte Objektivlinse-Detektor-Vorrichtung und Verfahren - Google Patents

Dynamisch kompensierte Objektivlinse-Detektor-Vorrichtung und Verfahren

Info

Publication number
DE69806897T2
DE69806897T2 DE69806897T DE69806897T DE69806897T2 DE 69806897 T2 DE69806897 T2 DE 69806897T2 DE 69806897 T DE69806897 T DE 69806897T DE 69806897 T DE69806897 T DE 69806897T DE 69806897 T2 DE69806897 T2 DE 69806897T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
objective lens
detector device
lens detector
dynamically compensated
compensated objective
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69806897T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69806897D1 (de
Inventor
Reinhold Schmitt
Dr Frosien
Dr Lanio
Dr Schoenecker
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Publication of DE69806897D1 publication Critical patent/DE69806897D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69806897T2 publication Critical patent/DE69806897T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/21—Means for adjusting the focus
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
DE69806897T 1998-04-24 1998-04-24 Dynamisch kompensierte Objektivlinse-Detektor-Vorrichtung und Verfahren Expired - Fee Related DE69806897T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP98107474A EP0952606B1 (de) 1998-04-24 1998-04-24 Dynamisch kompensierte Objektivlinse-Detektor-Vorrichtung und Verfahren

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69806897D1 DE69806897D1 (de) 2002-09-05
DE69806897T2 true DE69806897T2 (de) 2002-11-28

Family

ID=8231817

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69806897T Expired - Fee Related DE69806897T2 (de) 1998-04-24 1998-04-24 Dynamisch kompensierte Objektivlinse-Detektor-Vorrichtung und Verfahren

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6232601B1 (de)
EP (1) EP0952606B1 (de)
JP (1) JP4156744B2 (de)
DE (1) DE69806897T2 (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1120809B1 (de) * 2000-01-27 2012-02-22 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Objektivlinse für eine Ladungsträgerstrahl-Vorrichtung
US20020171898A1 (en) * 2001-05-15 2002-11-21 Patton Charles Milan Method and apparatus for using strategically located reflectors to create pathways for networking of line-of-sight computing devices
JP2003151484A (ja) * 2001-11-15 2003-05-23 Jeol Ltd 走査型荷電粒子ビーム装置
DE10317894B9 (de) 2003-04-17 2007-03-22 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Fokussiersystem für geladene Teilchen, Elektronenmikroskopiesystem und Elektronenmikroskopieverfahren
US6897442B2 (en) * 2003-04-25 2005-05-24 Applied Materials Israel, Ltd. Objective lens arrangement for use in a charged particle beam column
CN1820194B (zh) * 2003-07-30 2012-06-13 应用材料以色列公司 具有多检测器的扫描电子显微镜和基于多检测器成像方法
US7842933B2 (en) * 2003-10-22 2010-11-30 Applied Materials Israel, Ltd. System and method for measuring overlay errors
DE102007010873B4 (de) 2007-03-06 2009-07-30 Carl Zeiss Nts Gmbh Objektivlinse
EP2019413B1 (de) * 2007-07-27 2010-03-31 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Elektrostatische Linsenanordnung
US9046475B2 (en) 2011-05-19 2015-06-02 Applied Materials Israel, Ltd. High electron energy based overlay error measurement methods and systems
EP2629317B1 (de) * 2012-02-20 2015-01-28 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Teilchenstrahlvorrichtung mit dynamischem Fokus und Verfahren zu deren Betrieb
CN113471042B (zh) * 2021-07-01 2024-03-08 中科晶源微电子技术（北京）有限公司 扫描电子显微镜装置和电子束检测设备

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61101944A (ja) * 1984-10-25 1986-05-20 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 荷電粒子ビ−ム用集束装置
EP0548573B1 (de) * 1991-11-27 1998-02-25 Hitachi, Ltd. Elektronenstrahlgerät
JPH05299048A (ja) * 1992-04-24 1993-11-12 Hitachi Ltd 電子線装置および走査電子顕微鏡
JPH0773841A (ja) * 1993-09-03 1995-03-17 Hitachi Ltd 走査電子顕微鏡と二次電子検出系
US5614833A (en) * 1994-10-25 1997-03-25 International Business Machines Corporation Objective lens with large field deflection system and homogeneous large area secondary electron extraction field
JP3372138B2 (ja) * 1995-06-26 2003-01-27 株式会社日立製作所 走査形電子顕微鏡

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000030653A (ja) 2000-01-28
US6232601B1 (en) 2001-05-15
DE69806897D1 (de) 2002-09-05
JP4156744B2 (ja) 2008-09-24
EP0952606A1 (de) 1999-10-27
EP0952606B1 (de) 2002-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69839654D1 (de) Optische Verzögerungsvorrichtung und entsprechendes Verfahren
DE69934972D1 (de) Bildgenerierende vorrichtung und bildgenerierendes verfahren
DE60026728D1 (de) Bauteilbestückungseinrichtung und verfahren
DE60020656D1 (de) Autofokusgerät und -verfahren
DE60035549D1 (de) Bildaufzeichnungsgerät und Verfahren
DE69619766T2 (de) Bilderzeugungsvorrichtung und Verfahren
DE69937298D1 (de) Bilderzeugungsgerät und verfahren
DE69512914T2 (de) Optisches messgerat und verfahren
DE69523415D1 (de) Positionsbestimmungsvorrichtung und Verfahren dazu
DE60029668D1 (de) Automatisches optisches Erfassungssystem und Verfahren
DE69932017D1 (de) Optisches Abtastgerät und optische Vorrichtung
DE69933328D1 (de) Mehrweg-Cachespeichervorrichtung und Verfahren
DE69515762T2 (de) Bilderzeugungsgerät und Verfahren
DE69934787D1 (de) Navigationsvorrichtung und verfahren
DE69922170D1 (de) Sensorvorrichtung und zugehöriges verfahren
DE69911848D1 (de) Bilderzeugungsgerät und Bildherstellungsverfahren
DE69927454D1 (de) Bildkommunikationsvorrichtung und verfahren
DE69832767D1 (de) Bildverbesserungsgerät und Verfahren
DE69806897T2 (de) Dynamisch kompensierte Objektivlinse-Detektor-Vorrichtung und Verfahren
DE69921926D1 (de) Bilderzeugungsgerät und Verfahren
DE69906870D1 (de) Nachweisvorrichtung und Nachweismethode
DE69725811D1 (de) Optische Abtastvorrichtung und Abtastverfahren
DE69938518D1 (de) Photographisches Behandlungsgerät und Verfahren
DE69602936D1 (de) Detektor-Objektivlinse
DE69901210D1 (de) Bildaufnahmevorrichtung und -verfahren

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee