DEP0055795DA

DEP0055795DA - Adjustable diaphragms or slides, preferably for cathode ray tubes

Info

Publication number: DEP0055795DA
Authority: DE
Inventors: Heinrich Sonnberger
Original assignee: Zeiss Opton Optische Werke Oberkochen GmbH, Oberkochen
Publication date: 1951-03-22

Description

In der Technik₉ beispielsweise in der Optik oder in der Elektronik, besteht vielfach die Aufgabe, eine Blende_l durch die ein Strahlengang begrenzt werden soll, oder einen Objektivträger genau und spielfrei zu justieren» Besonders schwierig ist das in der Elektronik, insbesondere bei Elektronenmikroskopen₉ bei denen die im Vakuum angeordnete Blende von wenigen Mikron Öffnungsdurchmesser von außen sehr genau vesstellt werden soll*In the art, _9, for example, in optics or electronics, there is often the task of iris _l through which a beam path is to be limited, or to adjust a lens carrier accurately and without play "is particularly difficult that in the electronics, in particular in electron microscopes ₉ where the aperture with an opening diameter of a few microns, which is arranged in a vacuum, needs to be adjusted very precisely from the outside *

Die Erfindung betrifft eine justierbare Blende₉ vorzugsweise für Elektronenstrahlröhren) von besonders einfacher Ausfuhrung₀ Erfindungsgemäß ist die Blende mittels Abstandsglieder*} an einem membran art igen, der Wirkung der Verstelleinrichtung unterliegendem Trägerkörper befestigt. Die Justierschrauben können dann zum Beispiel auf die Abstandsglieder oder auf die Membran durchsetzende Verlängerungen dieser Glieder einwirken, wodurch die Blende entgegen der federkraft der Membran verschwenkt wird, und zwar um einen etwa in der Memb ran ebene liegenden Punkt» Die Blende beW?<ti: SfcW le dann /einen) Kreis^pOder bei Verstellung in mehr als einer RichtungT^inetfKugelf lächej^^^ The invention relates to an adjustable diaphragm ₉ preferably for cathode ray tubes) of particularly simple execution ₀ According to the invention the stop means of spacer members is attached to a membrane-*} art by weight, the effect of the adjustment device lying under the support body. The adjusting screws can then act, for example, on the spacer members or on extensions of these members penetrating the membrane, whereby the diaphragm is pivoted against the spring force of the membrane, namely around a point lying roughly in the plane of the membrane : "The diaphragm moves? <Ti: SfcW le then / a) circle ^ pOr when adjusting in more than one directionT ^ inetfKugelflänej ^^^

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Weise in einem begrenzten Bereich genau justiert werden* Die Anordnung hat den Vorteil, daß die Verstellung völlig spielfrei vor sich geht* Bei Elektronenstrahlröhren, bei denen Membran und Blende im Vakuum angeordnet sind_s müssenWay be precisely adjusted within a limited range * The arrangement has the advantage that the adjustment is completely free of play in front of * In cathode ray tubes in which the diaphragm and aperture are arranged in the vacuum must _s

¹O ¹ O

O⁸ ve-* sekf <HicA cLa \ ι +■•j}
die Justierschrauben von außen äurch die Yakuumwandurig O ⁸ ve- * sekf <HicA cLa \ ι + ■ • j}
the adjusting screws from the outside through the yakuum wall

hin durchgreifen«,take action «,

Wenn zusätzlich zur Verstellung der Blende in der einen Ebene eine weitere Verstellung in der Hohe_s also ein Heben und Senken_l in Frage kommt, so werden zweckmäßig die Anlageflächen der Justierschrauben an den <B3=ead«a* 4ial=ke2*a»g so ausgebildet, daß sich bei dejl "^»^ei^sg eine Komponente senkrecht zur Blendenebene ergibt.If, in addition to adjusting the diaphragm in one plane, a further adjustment in height _s , i.e. lifting and lowering _l , comes into question, the contact surfaces of the adjusting screws on the <B3 = ead «a * 4ial = ke2 * a» g designed so that with dejl "^» ^ ei ^ sg there is a component perpendicular to the diaphragm plane.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel dargestellt, das auch noch weitere Einzelheiten der Erfindung zeigt. Abb, 1 stellt einen Teil eines Elektronenmikroskopes im Schnitt dar, während Abb. 2 einen Schnitt durch die An-Ordnung nach Abb, 1 nach der Linie A-A zeigThyAbb. 3 ist eine Abwandlung der Anordnung nach Abb, 1In the drawing, an embodiment is shown, which also shows further details of the invention. Fig. 1 shows part of an electron microscope in section, while Fig. 2 shows a section through the arrangement according to Fig. 1 along the line AA. 3 is a modification of the arrangement according to FIG

Die Wandung des Vakuumrohres des Elektronenmikroskops ist mit 1 bezeichnet. Bei 2 ist in dem Rohr eine aus flrei blendenfnrmigen Elektroden bestehende elektrostatische Linse angedeutet, deren Öffnungen von dem senkrecht verlaufenden Elektronenstrahl durchsetzt werden» Die Elektroden sind, wie hier nicht näher dargestellt, isoliert eingesetzt* Weitere Linsen sowie die oberhalb angeordnete Elektronenquelle und der unterhalb zu denkende Leuchtschirm sind nicht mitgezeichnet.The wall of the vacuum tube of the electron microscope is denoted by 1. At 2 there is one out of flrei in the pipe Diaphragm-shaped electrodes existing electrostatic lens indicated, the openings of which are perpendicular to the Electron beam are penetrated »The electrodes are insulated, as not shown here * Further lenses as well as the electron source arranged above and the luminescent screen to be thought of below are not signed.

Hi* der Linse 2 ist die Aperturblende 3 etteemmeaga&a»%, die zur Ausblendung eines bestimmten Elektronenbüschels und damit zur Erhöhung der Kontraste im Bild dient. Die Blende besteht hier aus einer konusförmigen Kappe_t die 4©°=4ter9ar «Boden in Linsennähe die Blendenöffnung von einigen Mikron Durchmesser enthalte Die &Εψψ® J> ist auf einer Membran 4 befestigt, die ihrerseits mit ihrem Rand an der Außenwandung 1 des Elektronenmikroskops festgeschraubt ist, Sie=Jfea#e4^-Hi * of lens 2 is the aperture diaphragm 3 etteemmeaga & a »%, which is used to mask out a certain electron cluster and thus to increase the contrasts in the image. The shutter here consists of a conical cap, the 4 © ° = 4ter9ar _"t bottom in the lens near the aperture of a few microns in diameter containing the & Εψψ® J> is attached to a diaphragm 4, which in turn screwed with its edge on the outer wall 1 of the electron microscope is, you = Jfea # e4 ^ -

JLwvdL Ait (WW* tä-nk^eföLAt ^^^^^^^l^^⁴ ^^^ JLwvdL Ait (WW * ta-nk ^ eföL At ^^ ^^^^^ l ^^ ⁴ ^^^

Diese Verstärkung dient als Angriffsfläche für die Justierschrauben 5s von denen, wie Abb» 2 zeigt, zwei im Winkel Von 120° vorgesehen sind«, Außerdem wirkt auf den Mantel 3¹ die Rückholfeder 6 ein* durch die eine definierte Lage de^ <$eem*8 3 bei jeder Stellung der Schrauben 5 sichergestellt ist* In gewissen fällen kann es zweckmäßig sein» an Stelle der Rückholfeder eine weitere Justiersehraube vorzusehen»This reinforcement serves as a contact surface for the adjusting screws 5s of which, as Fig "2 shows, two are provided at an angle of 120 °". In addition, the ^{return spring 6 acts on the jacket 3 1} through a defined position de ^ <$ eem * 8 3 is ensured in every position of the screws 5 * In certain cases it can be useful »to provide an additional adjustment cover instead of the return spring»

Zur Justierung der Blendenöffnung im Strahlengang werden die Schrauben 5 in entsprechender Weise verstellt» Dadurch bewegt sich die Blendenöffnung auf einer Kugelflache ι (Im wesentlichen senkrecht zur ElektronenstrahlacEse]«, Ihre richtige Stellung kann im Leuchtschinnbild festgestellt werden^. Die Schrauben 5 müssen vakuumdicht einp₃eführt Sein_s, da sich ja die Randel dieser Schrauben außerhalb des Vakuum befinden»To adjust the diaphragm opening in the beam path, the screws 5 are adjusted in a corresponding way "This causes the diaphragm opening to move on a spherical surface ι ( _{essentially perpendicular to the electron beam lens)} ". Its correct position can be determined in the luminous image ^. The screws 5 must be vacuum-tight 3 His eführt _s, as indeed the Randel these screws are located outside the vacuum "

Bei der Ausführungsform nach Abb_e 3 sind die Angriffs ■ flächen der hier zweckmäßig vorgesehenen drei Justierschrauben am Mantel 3^! abgeschrägt. Dadurch erfolgt bei gleichmäßiger Drehung der Schrauben ein Heben und Senken der Blende 3»In the embodiment according to Fig _e 3, the attack surfaces of the three adjusting screws, which are expediently provided here, are on the jacket 3 ^! beveled. As a result, if the screws are turned evenly, the cover 3 is raised and lowered »

Die Erfindung kann selbstverständlich auch bei Blenden anderer Art Anwendung finden« Beispielsweise kann sie in der in Abb, 3 dargestellten Ausführung auch für die Justierung von Objektträgern in Elektronenmikroskopen von Bedeutung sein« The invention can of course also be used with diaphragms of other types. "For example, in the embodiment shown in Fig. 3, it can also be of importance for the adjustment of specimen slides in electron microscopes ."

Claims

Pa ^ ejit ^ claims

1.Adjustable diaphragm for electrical lines

tubes, characterized ^ daSl ^^ «e ^^^ ia ^ bstahds -, / -

limbs ^ on a ^ / membrane attached to a species-specific adjustment f £ ijhing underlying ^ Ssäg ^^ drper,

2 "Adjustable Blendepmach claim 1, characterized in that the spacers are extended through the membrane and the adjusting screws act on these extensions * _Λ . · Ι * ιι *

3 »^ Justierbarenf'Blende fiat claim I _t characterized in that two adjusting screws and a return spring are provided at angular intervals of about 120 ° to <l EHB! Feefitbbnhait * = e ^» g act ..

4 ·. Most adjustable B1 end ^ n ^ h ~ lins ^ uch 1 ₅ characterized by the fact that the 4 ^^ # i§s # ^^ «- 4re ^^ 3 ^ n # en§ia% t = e ^ # ^ die üuM ^ ir Schrauben \ "a ^ g ^ slShragF ~ sink, jgj? 'd ^ B ~ dJe ~~ Schrau

Screws with

an adjustment component directed perpendicular to the diaphragm plane on 4 * e bend ;> 6i