DE916200C - Einrichtung zum Feineinstellen von Elektroden oder Objekthaltern in elektronenoptischen Geraeten - Google Patents

Description

• Es sind Vorrichtungen zum Feineinstellen von Elektroden oder Objekthaltern in elektronenoptischen Geräten, insbesondere in Elektronenübermikroskopen, bekannt, bei denen mittels einer drehenden Bewegung, beispielsweise der Bewegung einer Schraube, eine geradlinige Schubbewegung hervorgerufen werden soll. Meist sind zwei solche Einrichtungen vorgesehen, um die Elektroden oder Objekthalter in einer Ebene in zwei zueinander senkrechten Richtungen bewegen zu können. Die bekannten Einrichtungen weisen jedoch den Nachteil auf, daß auf die zu verschiebenden Teile in zwar sehr geringem :Maße, aber dennoch störend, infolge der Drehbewegung von den Einstellorganen her auch Kräfte übertragen werden, die andere als die gewünschten Bewegungen zur Folge haben. Wegen der sehr starken Vergrößerungen, die mit den Elektronenü bermikrosköpen erzielt werden können, muß die Einrichtung zum Feineinstellen der Elektroden oder Objekthalter so ausgebildet sein, daß Verschiebungen um o;ooi mm noch mit Sicherheit eingestellt werden können. plan geht dabei in der Regel so vor, daß man zunächst die Verschiebung in der Richtung der einen Koordinatenachse und anschließend die Verschiebung in der dazu senkrechten Richtung vornimmt. Durch die erwähnten Bewegungen in unerwünschter Richtung, die eine Folge der Unvollkommenheit der bekannten Anordnungen sind, wird es notwendig, nacheinander mehrfach abwechselnd die beiden Einstellorgane zu betätigen, um den durch die unerwünschten Bewegungen bewirkten Fehler der Feineinstellung wieder auszugleichen.
• Dieser Nachteil der bekannten Anordnungen wird bei der Einrichtung gemäß der Erfindung dadurch vermieden, daß zwischen dem zu schiebenden Teil und dem sich drehenden Teil eine nur in Schubrichtung nachgiebige Feder eingeschaltet ist. Gegenüber den bekannten Anordnungen mit zwischengeschaltetem, gelenkig gelagertem Druckstück weist die erfindungsgemäße Anordnung mit eingeschalteter Feder den Vorteil einer völlig spielfreien Führung des einzustellenden Objekts auf. Wenn die Einrichtung zur Durchführung von Bewegungen in einer Ebene benutzt werden soll, ist es zweckmäßig, das Zwischenglied mit dem zu schiebenden Teil über ein Gelenk zu verbinden.
• Die Zeichnung zeigt in z. B. schematischer Darstellung ein Ausführungsbeispiel der Einrichtung gemäß der Erfindung.
• Die Elektrode i oder ein Objekthalter wird durch Drehen der feingängigen Schraube 2, die auf das beiderseitig gelenkig gelagerte Zwischenstück 3 einwirkt, in Richtung der Y-Achse verschoben. Zur Verschiebung in der dazu senkrechten Richtung, nämlich der X-Achse, dient die Schraube 5, die auf die Feder 7 drückt, die an ihrem freien Ende einen mit einer Kerbe oder Pfanne versehenen Teil 6 trägt. An der Elektrode i ist eine Schneide bzw. Spitze 4 angebracht, die in die Kerbe bzw. Pfanne des Teils 6 eingreift. Da die Elektrode i unter der Einwirkung der Zugfeder 8 steht, ist auf diese Weise das Zwischenglied 7 mit dem zu schiebenden Teil i über ein Gelenk verbunden, durch das eine Bewegung in Richtung der Achse der Schraube 5 hervorgerufen werden kann und eine Bewegung in der dazu senkrechten Richtung bei Verstellung der Schraube 2 möglich ist.
• Es ist in der Regel nicht erforderlich, für die Bewegung in jeder der beiden aufeinander senkrecht stehenden Richtungen Feineinstellungseinrichtungen gemäß der Erfindung vorzusehen. Diese Maßnahme empfiehlt sich jedoch, wenn höchste Anforderungen gestellt werden.
• Daß die Elektroden oder Objekthalter auch bei der im Ausführungsbeispiel dargestellten Anordnung sich nicht genau geradlinig, sondern auf einer sehr schwach gekrümmten, in erster Näherung durch einen Kreis sehr großen Durchmessers dargestellten Kurve bewegen und dabei eine äußerst geringfügige Drehung ausführen, beeinträchtigt die Wirkungsweise der Anordnung nicht, da die größten vorkommenden Verschiebungen so klein sind, daß sich die Krümmung der winzigen Stücke der von den einzelnen Punkten des geschobenen Teils zurückgelegten Bahnkurve praktisch in keiner Weise störend auswirkt.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Einrichtung zum Feineinstellen von Elektroden oder Objekthaltern in elektronenoptischen Geräten, insbesondere in Elektronenübermikroskopen, bei der mittels einer drehenden Bewegung, beispielsweise der Bewegung einer Schraube, eine geradlinige Schubbewegung hervorgerufen wird, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem zu schiebenden Teil und dem sich drehenden Teil zur Vermeidung der Übertragung von ungewollten Bewegungen auf das einzustellende Objekt eine nur in der Schubrichtung nachgiebige Feder eingeschaltet ist. Angezogene Druckschriften: Schwedische Patentschrift Nr. 113 ,a..45 Siemens-Zeitschrift, Bd. 2o, 194o, Heft 6, S. 2i7 bis 2:27; Zeitschrift »Optik«, Bd. 5, 19,49, S. 534 bis 5.48.