DE748192C

DE748192C - Vakuumleitung fuer an der Pumpe betriebene UEbermikroskope

Info

Publication number: DE748192C
Application number: DEL99693D
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Ernst Brueche
Priority date: 1939-12-14
Filing date: 1939-12-14
Publication date: 1944-10-28

Description

Vakuumleitung für an der Pumpe betriebene Übermikroskope Bei Hochspannungsentladungsgefäßen, wie beispielsweise Elektronenmikroskopen oder Röntgenröhren, ist es wünschenswert, sie derart auszubilden, daß sie nicht nur vom Fachmnann, sondern auch von jedermann ohne Gefährdung des Bedienungspersonals zur Beobachtung und photographischen Aufnahme von Gegenständen benutzt werden können. Da zum Betrieb derartiger Entladungsgefäße Hochspannung benötigt wird, ist das Haupt-Problem, die Hochspannungsleitungen derart zu verlegen, daß sie nicht ohne weiteres berührt werden können.
Die Erfindung betrifft eine diese Aufgabe in einfacher Weise lösende und weitere Vorteile 'zeigende Anordnung, die sich dadurch auszeichnet, daß parallel zum Übermikroskop die mit der Pumpe verbundene Vakuumleitung angeordnet ist, welche koaxial im Innern die rohrförmig ausgebildete Hochspannungsleitung enthält, und von der Abzweigungen zu dem Übermikroskop führen. Durch diese Anordnung wird nicht nur ein Schutz gegen Berührung der Hochspannungsleitung erzielt, sondern es werden zugleich günstige Spannungsverhältnisse an der Hochspannungsleitung geschaffen, eine einfache Führung anderer Stromzuleitungen und ein äußerst einfacher Aufbau der zum Betrieb der Röhre erforderlichen äußeren Hilfsmittel ermöglicht.
Innerhalb des an Hochspannung liegenden' Rohres können sich dann die Zuleitungen zum Wehnel-Zvlinder sowie eine Glühkathodenleitung befinden, so claß das Hochspannungsrohr gleichzeitig zur Abschirmung der in seinem Innern angeordneten Spannungsleitung 7 n e dient. ' IDie Hochspannungsleitung ist an den Abzweigstellen zweckmäßig mit einer übergeschobenen metallischen Kugel versehen. an der die Abzweigleitung befestigt ist. Durch die Verwendung einer derartigen Kugel wird die Herstellung der gesamten Anordnung wesentlich vereinfacht. Bei der Herstellung wird nämlich in die Vakuumleitung die als Rohr ausgebildete Hochspannungsleitung eingesetzt, welche auf den Abzweigstellen mit einer aufgeschobenen Kugel versehen ist. Die Einifügung der Abzweigleitungen kann dann in äußerst einfacher Weise durch Einführen der als Sange oder Rohr ausgebildeten Abzweigleitungen in die mit entsprechenden Ausfräsungen versehene Kugel erfolgen. Um die Theile fest aneinander ztu befestigen, ist beispielsweise eine Schraubverbindung möglich.
In der Abbildung ist ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung in zum Teil schematischer Weise dargestellt. Der Vakuumraum 3 steht über das Vakuumurohr I mit der Pumpe, über das Vakuumrohr 2 mit dem ersten Linsenraum des Elektronenmikroskops und über das Vakuumrohr l mnit dem zweiten Linsenraten des Elektronenmikroskops in Verbindung. Durch das Vakuumrohr 2 und den Vakuumraum 3 ist das Hochspannungsrohr 5 geführt, welches die Spannungszuleitungen 9, Io zur Glühkathode sowie zunm Welnelt-Zvlinder enthält. Die Hochspannungsleitung 5i st unter Zwischenfügung eines Hochspannungsisolators 8 durch die Wandung des Vakuum raumes 3 nach außen geführt. An der über das Rohr 5 geschobenen Kugel 6 ist die Zuleitung 7 zur Hochspannungslinse des Elektronenmikroskops befestigt. Zur Verbindung des Vakuumrohres mit demn eigentlichen Elektronennmikroskop sind beide Teile mit Flanschen 12, 13 versehen, die beispielsweise durch Schweißen miteinander verbunden sind. Soll jedoch das Hochspannungsentladungsgefäilß lösbar an der Vakuumleitung befestigt sein. so werden die Flansche zweckmäßig durch Schrauben miteinander verbunden. Zur Erzielung eines vakuumdichten Abschlusses ist in diesem Fall zweckmäßig ein Tombakrohr zwischengeschaltet. Zur Vermeidung von Überschlägen sind sowohl das Rohr r r als auch die Leitung 7 mit Umbördelungen o. dgl. ausgerüstet. Die Zuleitung zur anderen Hochspannungslinse des Elektronenmnikroskops Ist .in entsprechender Weise ausgebildet. Das Vakuutnrohr 2 ist am anderen Ende ebenfalls durch einen Isolator abgeschlossen, durch dlen das Hochspannungsrohr 3 nach außen geführt ist.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: I. Vakuumleitung für an der Pumpe betriebene übermikroskope, dadurch gekennzeiclnet, daß parallel zum Übermikroskop die mit der Pumpe verbundene Vakuumleitung angeordnet ist, welche koaxial imn Innern die rohrförmig ausgebildete Hochspannungsleitung enthält, und von der Abzweigungen zu demn Übermikroskop führen. a. Vakuumleitung für Übermikroskope nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß') innerhalb der rohrförmigen Hochspannungsleitung die übrigen Spannungsleitungen angeordnet sind. 3 Vakuumleitung für Übermikroslkope nach Anspruch I oder a, dadurch gekennzeichnet, daß die rohrförmig ausgebildete Hochspannungsleitung an den Abzweigstellen mit einer Kugel versehen ist. an der die Abzweigleitung befestigt ist. Verfahren zur Herstellung einer Vakuutuleitung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß über die rohrförmig ausgebildete Hochspannungsleitung an der bzw. an den Abzweigstellen eine mit einer oder mehreren seitlichen Bohrungen versehene Kugel oder ein entsprechender Körper geschoben wird, in deren Bohrung die vorzugsweise als Stange oder Rohr ausgebildete Abzweigleitung eingesetzt wird. Zur Abgrenzung des Anmeldungsgegenstandes v=om Stand der Technik ist ini Erteilungsverfahren folgende Druckschrift in Betracht.gezogen worden: deutsche Patentschrift ...... .. \r. 63? f364.