DE719448C - Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das Elektronenmikroskop - Google Patents

Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das Elektronenmikroskop

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Publication number
DE719448C
DE719448C DEK152495D DEK0152495D DE719448C DE 719448 C DE719448 C DE 719448C DE K152495 D DEK152495 D DE K152495D DE K0152495 D DEK0152495 D DE K0152495D DE 719448 C DE719448 C DE 719448C
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DE
Germany
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sleeve
vacuum
electron microscope
rod
tight
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Expired
Application number
DEK152495D
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English (en)
Inventor
Friedrich Krause
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GEWERKSCHAFT MATHIAS STINNES
Original Assignee
GEWERKSCHAFT MATHIAS STINNES
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Publication date
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das Elektronenn-ikroskop Das Hauptpatent 708 778 befaßt sich mit .einer Vorrichtung zum Einbringen vorn. Objekten. in das Elektronenmikroskop, bei der .ein optisch geschliffener Stab mit mehreren Bohrungen senkrecht zur Achse zur Unterbringung von Objekten in einer Hülse geführt ist, wobei Stab und Hülse außerhalb des Elektronenmikroskops zusätzlich gegenei#nander durch eine Dichtung gesichert sind.
  • Die vorliegende Vorrichtung betrifft die Weiterentwicklung der Objektwechselvorrichtung nach denn: Hauptpatent und gewährleistet eineinwandfreies Vakuum, was von besonderer Bedeutung für die Untersuchung empfindlicher Präparate ist. Es ist deshalb in der Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das Elektronenmikroskop erfindungsgemäß innerhalb der Hülse eine zweite rohrartige, aus zwei Teilen bestehende Hülse, in der der Stab vakuunndicht geführt ist, angeordnet, deren einer Teil mit der :ersten Hülse verlötet und deren anderer Teil vakuumidicht innerhalb der ersten. Hülse verschiebbar und vakuumdicht mit dem festen Teil zu verbinden ist.
  • Die Erfindung sei an Hand der Zeichnung näher erläutert.
  • Ein Objektwechselstab 5, der in seiner Ausbildung dem Stab nach dem Hauptpatent entspricht, gleitet praktisch saugend eingeschliffen in einer rohrartigen Hülse, die aus den beiden Teilen i und 6 besteht und i;n. der Hülse 7 des Gerätes angeordnet ist. Die Hülse ist zum Durchtritt .der Elektronenstrahlen in die beiden Teile i und & zu trennen, die .an ihren zusammenstoßenden Enden einen vakuumdichten Abschluß bilden, der aus dem Ring 9 und der Nut 8 besteht. Der bewegliche Teil i der Hülse kann in der Hülse 7 nach rechts oder links verschoben werden.
  • über die Hülse 7, in der die Teile i und 6 angeordnet sind, greift eine überwurfmutter 2 ein. Wird diese angezogen, so wird über eine Führungsstange i o, die mit der dichtschließenden Endplatte i i des Teiles i verbunden ist, der bewegliche Teil i dichtend gegen den festen Teil 6 verschoben. Die Dichtung 9 greift dabei in die Nut 8, auf deren Boden zweckmäßig ein Dichtungsring eingelegt ist. Der Innenraum J für den Objektivstab 5 wird auf diese Weise von den HochvakuumraumA. des Gerätes getrennt mit der Folge, daß der Objektstab 5 vollständig herausgenommen werden kann, ohne daß das Vakuum - es handelt sich meist um ein Hochvakuum -der übrigen Apparatur beeinträchtigt wird.
  • Die Führungsstange io ist hohl ausgebildet, so däß der Innenraum J für weitere Arbeiten durch Anschluß an eine Vakuumpumpe bei 3 wieder ausgepumpt werden kann. Das mit einem Kanal versehene Rohr i o ist von einem Federungskörper .l umgeben, der seinerseits mit der Abschlußplatte 12, z. B. durch Lötung, vakuumdicht befestigt ist. Dieser Federungskörper wird bei Betätigung der überwur£-mutter 2 entsprechend zusammengedrückt oder ausgedehnt. Ein Röhr 13 verbindet den Raum G mit dem Raum A, so daß in diesem das gleiche Vakuum herrscht wie in der Apparatur.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das Elektronemnikroskop, bei der ein optisch geschliffener Stab mit mehreren Bohrungen senkrecht zur Achse zur Unterbringung von Objekten in einer Hülse geführt ist, wobei Stab und Hülse außerhalb des Elektronenmikroskops zusätzlich gegeneinander durch eine Dichtung gesichert sind, nach Patent 708 778, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Hülse (7) eine zweite rohrartige, aus zwei Teilen bestehende Hülse (i, 6), in der der Stab (5) vakuumdicht geführt ist, angeordnet ist, deren einer Teil (6) mit der ersten Hülse verlötet und deren anderer Teil (i) vakuumdicht innerhalb der ersten Hülse verschiebbar und vakuumdicht mit dem festen Teil (6) zu verbinden ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß ein Federungskörper (q.) die mit einem Kanal .-ersehene Führungsstange (i ö) des betveglichei Teiles der Hülse zwischen zwei Endplatten (11, 12) umgibt und mit diesem vakuumdicht verbunden ist.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch i oder 2 dadurch gekennzeichnet, daß der Raum (G) zwischen den beiden Endplatten durch ein. Rohr (13) mit dem Hochvakuumraum (A) des Mikroskops verbunden ist.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE898502C (de) * 1950-10-14 1953-11-30 Siemens Ag Objektschleuse fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE898502C (de) * 1950-10-14 1953-11-30 Siemens Ag Objektschleuse fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope

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