AT203071B - Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

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  Elektronenmikroskop 
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 ssender Ring um das Rohr angeordnet werden, der mit Stellschrauben in jeglicher Richtung senkrecht zur   Bündelachse   verstellbar ist. Die gewünschte Einstellbarkeit des Gegenstandes ist auch erreichbar, wenn der Gegenstandsträger in einem geringen Abstand von seinem der Gegenstandsebene zugewandten Ende von einem fest angeordneten engschliessenden Ring umfasst ist und sein anderes Ende gegenüber der Wand des Bündelkanals mit Stellschrauben seitlich verstellbar abgestützt ist. 



   In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele des Mikroskops nach der Erfindung dargestellt. 
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 ger ausserdem einen Teil der Wand, wobei eine Einstellmöglichkeit veranschaulicht ist und Fig. 3 zeigt eine andere Einstellart. 



   Die verschiedenen Teile des Mikroskops, wie z. B. der Kopf   1,   in dem das Elektrodensystem zur Erzeugung des gerichteten Elektronenstrahls untergebracht ist, und das   Elektronenlinsensystem sind inner-   halb der Wand 2 angeordnet. Davon sind mit 3, 4 und 5 die Erregerspulen der Beleuchtungslinse, des Objektivs bzw. des Projektionsteils bezeichnet. Die Spulen sind von einem Stahlmantel 6 umgeben, der aus mehreren Teilen besteht. Diese Teile sind mittels Ringen aus nicht ferromagnetischem Material voneinander getrennt. Der Ring 7 liegt zwischen den Polen der Beleuchtungslinse, der Ring 8 trennt die Polschuhe der Objektivlinse und der Ring 9 trennt die Polschuhe der Projektionslinse. Die Teile des Mantels 6 werden zwischen dem Deckel 10 und einem Stossrand 11 in der Wand 2 festgeklemmt.

   Der Raum innerhalb der Wand 2, der den Kopf 1 des Mikroskops enthält, sowie der Elektronendurchgang innerhalb des Mantels 6 werden evakuiert. 



   Zwischen den Polschuhen 12 und 13 der Objektivlinse erstreckt sich die Gegenstandsebene. Der Gegenstand liegt auf einer Tragfläche 14 am Ende des rohrförmigen Trägers 15. Der Träger ragt von dem Fensterende des Mikroskops durch die Polschuhbohrungen hinein, ist mittels eines Flansches 16 an einem festen Teil des Mikroskops befestigt und befindet sich vollständig im Vakuumraum. Mit dem Deckel 10 ist ein konischer Teil 17 verbunden, dessen weites Ende vom Schaufenster 18 verschlossen ist. 



   Fig. 2 zeigt den die Objektivlinse und die Projektionslinse umfassenden Mikroskopteil. Der konische Wandteil 19 bildet ein Ganzes mit dem rohrförmigen Träger 15. Dieser ist mit der Wand des im Mantel 6 vorhandenen Kanals luftdicht verbunden. Der Konus 19 besitzt einen Flansch 20, der in einem Rand 21 des Deckels 10 passend eingesetzt und darin befestigt   i ? t.   



   Eine Zwischenwand 22 zwischen den Spulen 4 und 5 des Objektivs und des Projektionsteils enthält einen ringförmigen Raum 23, in dem ein den Träger 15 umfassender Ring 24 untergebracht ist. Mit z. B. drei Stellschrauben 25 ist der Ring seitlich verstellbar, und kann das Ende des Trägers in Querrichtung verschoben werden. Auf diese Weise ist es möglich, verschiedene Punkte im Gegenstand abzubilden. 



   Die Einstellung des Gegenstandes erfolgt nach Fig. 3 mit in der Wand 2 befestigten Stellschrauben 25, die gegen den Flansch 20 des konischen Teils 19 drücken. Der Träger 15 durchsetzt einen fest angeordneten Ring 26, zwischen dem Projektionsteil und dem Objektiv, im Mikroskopraum. Gummiring 27 dienen zur Abdichtung. 



   Um die Gegenstände zu vertauschen. wird Luft in das Mikroskop eingelassen, anschliessend der Träger entfernt. Die Einstellung des Elektronenstrahls verändert sich infolgedessen nicht, so dass, nachdem der Gegenstandsträger aufs neue angebracht worden ist, der Apparat evakuiert und wieder betriebsbereit gemacht werden kann. 



    PATENTANSPRÜCHE :    
1. Elektronenmikroskop, bei dem der zu untersuchende Gegenstand in der Gegenstandsebene der Objektivlinse mittels eines axial im Bündelkanal angebrachten   rohrförmigen   Trägers angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger in der Bohrung des an der Fensterseite des Mikroskops liegenden Polschuhs der Objektivlinse angeordnet und am Strahlenaustrittsende des Bündelkanals mit dessen Wand verbunden ist.

Claims (1)

1. 2. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstandsträger einen sich erweiternden Teil besitzt, der den Vakuumraum des Mikroskops begrenzt und mit dem Fenster verbunden ist.

   3. Elektronenmikroskop nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstandsträger, in Richtung des Strahlenbündels gesehen, hinter der Objektivlinse von einem Ring umfasst ist, der mit Stellschrauben in jeglicher Richtung in einer Ebene senkrecht zur Bündelachse verstellbar ist. <Desc/Clms Page number 3>

   4. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstandsträger in einem geringen Abstand von seinem der Gegenstandsebene zugewandten Ende von einem fest angeordneten Ring umfasst ist, und sein anderes Ende gegenüber der Wand des Bündelkanals mit Stellschrauben seitlich in jeglicher Richtung verstellbar abgestützt ist.