DE755353C

DE755353C - Objektschleuse fuer Korpuskularstrahlgefaesse, insbesondere fuer Emissionsmikroskope

Info

Publication number: DE755353C
Application number: DEL105095D
Authority: DE
Inventors: Ernst Dr-Ing Brueche
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1941-08-11
Filing date: 1941-08-12
Publication date: 1953-06-01

Description

Die Erfindung betrifft eine Objektschleuse für Korpuskularstrahlgefäße. Es ist bereits eine große Anzahl von Ausführungsformen von 0"b j einschleusen für Korpuskularstrahlgefäße bekannt, jedoch handelt es sich bei den bekannten Anordnungen um Schleusen für Durchstrahlungselektronenmikroskope und Oszillogräphenröhren. Die bekannten Anordnungen sind nicht für Emissionsmikroskope geeignet. Objektschleusen für Emissionsmikroskope sind noch nicht bekannt.

Die Erfindung betrifft eine Objektschleuse, welche für Emissionsmikroskope Verwendung

finden kann. Die vorliegende Anordnung kann auch für andere Korpuskularstrahlgefäße be- is nutzt werden. Erfindungsgemäß ist die Objektschleuse derart ausgebildet, daß nach dem Einschleusen des Objekts dieses mit Stromzuführungen versehen ist. Diese Ausbildung der Objektschleuse ermöglicht erstmalig das Ein- und Ausschleusen des Objekts bei Emissionsmikroskopen sowie die Stromzuführung zu einem in ein Durchstrahlungselektronenmikroskop eingeschleusten Objekt.

In den Zeichnungen sind in zum Teil sehematischer Weise Ausführungsbeispiele nach

der Erfindung dargestellt. Die Fig. ι und 2 zeigen eine Anordnung, welche für Emissionsmikroskope Verwendung finden kann. Die Elektroden für das Emissionsmikroskop befinden sich in dem Raum 1. Es sind lediglich die beiden blendenförmigen Elektroden 2 und 3 eingezeichnet, während sich die Kathode noch im Schleusenraum 4 befindet. Der Schleusenraum 4, welcher in Achsrichtung des Entladungsgefäßes vor der Kathode angeordnet ist, ist durch eine vakuumdicht verschließbare Klappe 5, die mit einer Gummidichtung 6 versehen ist, gegenüber der x\ußenluft abgeschlossen. In der Schleusenkammer befindet sich ein hülsenförmiges Gebilde 7, in das die Patrone bzw. der Objektträger 8 eingelegt wird. Der Objektträger trägt an der dem Entladungsgefäß ι zugewandten Seite die zu untersuchende Kathode 67. Zum Einschleusen des Objekts wird die Patrone 8 in die Hülse 7 eingelegt und die Schleusenkammer durch die Klappe 5 vakuumdicht verschlossen. Nach dem Verschließen der Schleusenkammer kann das Objekt mit Hilfe des Handgriffs 13, welcher mit der Hülse 7 und der Abschlußplatte 14 des Vakuumgefäßes zusammenwirkt, in das Vakuumgefäß eingeschleust werden. Bei entsprechender Drehung des Handrades 13 wird der an dem Stab 9 befestigte Stempel 23 vorgeschoben. Zu diesem Zweck ist der an dem Handrad 13 befestigte stabförmige Körper 68 mit zwei Gewinden 12 und 10 versehen, welche so ausgebildet sind, daß der mit dem Gewinde 10 zusammen arbeitende Körpern um eine Strecke vorgeschoben wird, welche der doppelten von dem Körper 68 zurückgelegten Strecke entspricht. Auf diese Weise wird der mit Hilfe des Vorsprungs 24 an dem Stempel 23 befestigte Objektträger in entsprechender Weise vorgeschoben, während die Klappe 14 mit Hilfe des Hebels 15 geöffnet worden ist. Zum vakuumdichten Abschluß ist die Platte 14 mit einer Gummidichtung 16 versehen.

Der Objektträger 8 ist an gegenüberliegenden Seiten mit Stromzuführungen versehen, die, wie aus der Fig. 2 ersichtlich ist, mit entsprechenden Stromzuführungen zu der Hülse 7 zusammen arbeiten. Die Bügel 21 und 22, welche an der Hülse 7 befestigt sind, greifen nämlich in entsprechende Hohlräume des Objektträgers ein. Zur Stromzuführung zu der Hülse dienen wiederum die Bügel 17 und 18, welche in leitender Verbindung mit den metallischen Abschnitten 19 und 20 der Hülse 7 stehen.

Ein anderes Ausführungsbeispiel nach der Erfindung ist in der Fig. 3 dargestellt, bei der die Einschleusvorrichtung aus einem senkrecht zur Strahlrichtung durch einen rohrförmigen Ansatz 26 der Gefäßwandung vakuumdicht geführten, in seiner Längsrichtung verschiebbaren stabförmigen Körper besteht, welcher mit einer Bohrung 28 zur Aufnahme der Objektpatrone bzw. des Objektträgers 29 versehen ist. Beim Einschleusen des stabförmigen Körpers 2j wird die Bohrung 28 zunächst mit dem Vor vakuum 26 und dann mit dem Hauptvakuum 25 in Verbindung gebracht. Zur Stromzuführung dienen die Zuleitungen 30 und 31, welche isoliert durch den stabförmigen Körper 27 geführt sind. Der bei den Einschleusanordnungen zu verwendende Objektträger hat zweckmäßig die in der Fig. 4 dargestellte Form. Er besteht aus einem Isolierkörper 32, der mit einer Durchbohrung 40 für den Strahl durchtritt versehen ist. Der Isolierkörper 32 ist an gegenüberliegenden Längskanten mit Metallschienen 33 und 34 versehen, die über Bügel 38 und 39 mit dem Objekt 37 in Verbindung stehen. Die Zuführung zu den Metallschienen 33 und 34 erfolgt beispielsweise über die Kontakte 35 und 36. In manchen Fällen hat es sich auch als zweckmäßig erwiesen, dem Objektträger die in der Fig. 4a gezeigte konische Form zu geben, die sich besonders bewährt hat, wenn eine Einschleusvorrichtung verwendet wird, wie sie in der Fig. 5 dargestellt ist. Bei dieser Ausführungsform steht der Raum 41 des Elektronenmikroskops mit der Schleusenkammer 42 in Verbindung, welche durch die Verschlußklappen 43 und 44 verschlossen werden kann. Um die Vakuumsicherheit zu erhöhen, sind die Vakuumklappen 43 und 44 an der der Schleusenkammer zugewandten Seite mit einer aufvulkanisierten Gummischicht 45 bzw. 49 versehen. Der Objektträger 46 ist an der Stelle 52 an dem in dem Punkt 51 drehbar gelagerten Hebel 47 befestigt. Die innere V'erschlußklappe ist über den Hebel 48, welcher an der Stelle 54 an der Verschlußklappe befestigt ist, mit dem Hebel 47 an der Stelle 53 verbunden. In dem Objektträger befindet sich das Objekt 55, welches über die Zuleitungen 68 und 69, die isoliert durch die Gefäß wandung hindurchgeführt sind, mit einer Stromquelle in Verbindung gebracht werden kann. Gegebenenfalls kann der Gegenstand der Erfindung auch bei einer Einschleusvorrichtung Verwendung finden, welche aus einem mit Bohrungen versehenen Hahn besteht. Eine derartige Anordnung ist in der Fig. 6 dargestellt. Der Hahn 59 kann einerseits über die Leitung 61 mit der Außenluft und andererseits über die Leitung 62 mit dem Vorvakuum in Verbindung gebracht werden. Endlich besteht die Möglichkeit, den Hahn in die dargestellte Betriebslage zu bringen, bei der der Hahn mit der Leitung 60 verbunden ist. Das mit den rohrförmigen Teilen 56 und 57 verbundene Rohr 58, welches den Hahn enthält, ist ferner mit Bohrungen versehen, durch die

die Zuleitungen 63 und 64 isoliert hindurchgeführt sind, welche bei der Betriebsstellung des Hahnes 59 mit den Leitungen 65 und 66 und damit mit dem Objekt in Verbindung stehen.

Claims

PATENTANSPRÜCHE:

1. Objektschleuse fürKorpuskularstrahlgefäße, insbesondere Emissionsmikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß nach dsm Einschleusen des Objekts dieses mit Stromzuführungen versehen ist.

2. ,Objektschleuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromzuführung beim Einschleusen des Objekts automatisch durch Schienen oder Stecker getätigt ist.

3. Objektschleuse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromzuführung während des Einschleusenis des Objekts nicht unterbrochen ist.

4. Objektschleuse für Emissionsmikroskope nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleusenkammer in Achsrichtung des Entladungsgefäßes vor der Kathode angeordnet ist.

5. Objektschleuse nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger (8) in der Schleusenkammer in eine mit Stromzuführungen versehene Hülse (7) eingelegt ist.

6. Objektschleuse nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger aus einem langgestreckten, vorzugsweise wenigstens teilweise konisch ausgebildeten Körper (32) besteht, der an zwei gegenüberliegenden Seiten mit Stromschienen (33, 34) versehen ist.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen