DE69934014T2 - Gondeltür und system zum rückhalten von zugangstüren - Google Patents

Gondeltür und system zum rückhalten von zugangstüren Download PDF

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Description

  • ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft die Verbringung von Werkstücken, wie beispielsweise Halbleiter-Wafer von einer Lager- und Transportgondel zu einem Prozess-Werkzeug und insbesondere ein System zur Sicherstellung, dass die Gondeltür fest und sicher an der Zugangstür zurückgehalten wird, wenn die Gondeltür von der Gondel entfernt und in dem Prozess-Werkzeug verstaut wird während der Werkstück-Verbringung zwischen der Gondel und dem Prozess-Werkzeug.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Ein SMIF-System, das von Hewlett-Packard Company vorgeschlagen wird, wird im U.S.-Patent Nr. 4,532,970 und 4,534,389 vorgeschlagen. Der Zweck eines SMIF-Systems besteht darin, Partikelströme auf Halbleiter-Wafer während Lagerung und Transport durch den Halbleiter-Herstellungsprozess zu reduzieren. Dieser Zweck wird teilweise erfüllt durch mechanisches Sicherstellen, dass während Lagerung und Transport die gasförmigen Medien, (wie beispielsweise Luft oder Stickstoff), welche die Wafer umgeben, im Wesentlichen ortsfest in Bezug auf die Wafer sind, und durch Sicherstellen, dass Partikel aus der Außenumgebung nicht in die unmittelbare Wafer-Umgebung gelangen.
  • Ein SMIF-System weist drei Hauptkomponenten auf: (1) abgedichtete Gondeln mit Mindestvolumen, die für Lagerung und Transport von Wafern und/oder Wafer-Kassetten verwendet werden; (2) eine Eingangs-/Ausgangs (I/O)-Mini-Umgebung, die sich auf einem Haltleiter-Verarbeitungswerkzeug befindet, um einen Miniatur-Reinraum bereitzustellen, (nachdem er mit sauberer Luft gefüllt worden ist), in dem ungeschützte Wafer und/oder Wafer-Kassetten in das und aus dem Inneren des Verarbeitungs-Werkzeugs verbracht werden können; und (3) eine Grenzfläche zum Verbringen der Wafer und/oder Wafer-Kassetten zwischen den SMIF-Gondeln und der SMIF-Mini-Umgebung, ohne die Wafer oder Kassetten Partikeln ungeschützt zu lassen. Weitere Details eines vorgeschlagenen SMIF-Systems sind beschrieben in dem Papier mit dem Titel: "SMIF: A TECHNOLOGY FOR WAFER CASSETTE TRANSFER IN VLSI MANUFACTURING," von Mihir Parikh und Ulrich Kaempf, Solid State Technology, Juli 1984, S. 111–115.
  • Systeme des oben genannten Typs befassen sich mit Partikelgrößen, die im Bereich von unter 0,02 Mikrometer (μm) bis über 200 μm liegen. Partikel mit diesen Größen können in der Halbleiter-Verarbeitung großen Schaden anrichten wegen der kleinen Geometrien, die beim Herstellen von Halbleiter-Vorrichtungen verwendet werden. Typische hoch entwickelte Halbleiter-Prozesse verwenden heute Geometrien, die einen halben μm und darunter betragen. Unerwünschte Kontaminierungspartikel, die Geometrien aufweisen, die größer als 0,1 μm sind, wirken sich in hohem Maße störend auf Halbleiter-Vorrichtungen mit 1-μm-Geometrie aus. Der Trend geht natürlich zu immer kleineren Halbleiter-Verarbeitungsgeometrien, die sich heute in Forschungs- und Entwicklungslabors 0,1 μm und darunter nähern. In der Zukunft werden Geometrien immer kleiner, und daher gewinnen immer kleinere Kontaminierungspartikel und molekulare Kontaminierungsstoffe an Bedeutung.
  • SMIF-Gondeln bestehen im Allgemeinen aus einer Gondeltür, die mit einem Gondelgehäuse zusammenpasst, um eine abgedichtete Umgebung bereitzustellen, in welcher Wafer gelagert und verbracht werden können. So genannte "Bodenöffnungs"-Gondeln sind bekannt, bei denen die Gondeltür horizontal an dem Boden der Gondel vorgesehen ist, und die Wafer werden in einer Kassette getragen, die wiederum auf der Gondeltür getragen wird. Auch die Bereitstellung von "Frontöffnungs"-Gondeln ist bekannt, bei denen sich die Gondeltür in einer vertikalen Ebene befindet, und die Wafer werden entweder in einer Kassette getragen, die in dem Gondelgehäuse angebracht ist, oder auf Einlegeböden, die in dem Gondelgehäuse angebracht sind. Sowohl für die Frontöffnungsals auch die Bodenöffnungs-Gondeln weist eine Gondeltür eine Vorderfläche auf, die als Teil der abgedichteten Gondelumgebung inbegriffen ist, und eine Rückfläche, die der Umgebung der Wafer-Herstellung (wafer fab) ausgesetzt ist.
  • Um Wafer zwischen einer SMIF-Gondel und einem Prozess-Werkzeug innerhalb einer Wafer-Herstellung zu verbringen, wird eine Gondel typischerweise entweder manuell oder voll automatisiert auf einen Ladezugang an einer Vorderseite des Werkzeugs gela den. Das Prozess-Werkzeug umfasst eine Zugangsöffnung, welche in Abwesenheit einer Gondel von einer Zugangstür bedeckt wird, welche eine vordere Fläche umfasst, die zu der Wafer-Herstellungsumgebung hin frei liegt, und eine rückwärtige Fläche, die Teil der abgedichteten Umgebung innerhalb des Prozess-Werkzeugs ist. Die SMIF-Gondel wird auf dem Ladezugang so abgesetzt, dass die Gondeltür und die Zugangstür aneinander angrenzend liegen. Ausrichtzapfen sind an der Zugangstür bereitgestellt, die mit Nuten in der Gondeltür zusammenpassen, um eine einwandfreie Flucht der Gondeltür in Bezug auf die Zugangstür sicherzustellen.
  • Sobald die Gondel an dem Ladezugang positioniert ist, entriegeln Mechanismen innerhalb der Zugangstür die Gondeltür von dem Gondelgehäuse und bewegen die Gondeltür und Zugangstür zusammen in das Prozess-Werkzeug, wo die Türen dann von dem Wafer-Verbringungsweg weg verstaut werden. Das Gondelgehäuse verbleibt in Nachbarschaft zu dem Grenzflächenzugang, um eine reine Umgebung aufrecht zu erhalten, die das Innere des Prozess-Werkzeugs und das Gondelgehäuse um die Wafer umfasst. Ein Wafer-Handhabungsroboter innerhalb des Prozess-Werkzeugs kann danach auf bestimmte Wafer, die in der Gondel getragen werden, für die Verbringung zwischen der Gondel und dem Prozess-Werkzeug zugreifen.
  • Es ist äußerst wichtig, eine reine, gering partikuläre und kontaminierende Umgebung rund um die ungeschützten Wafer innerhalb des Prozess-Werkzeugs bereitzustellen. Während die Luft in Wafer-Herstellungen typischerweise zu einem gewissen Grad gefiltert wird, weist die Umgebung, welche die Prozess-Werkzeuge und SMIF-Gondeln umgibt, relativ hohe Partikel- und Kontaminierungsstoff-Pegel im Vergleich zu innerhalb der Gondeln und Werkzeuge auf. Daher werden maßgebliche Schritte durchgeführt, um das Innere von SMIF-Gondel und Prozess-Werkzeug von der Außenumgebung innerhalb der Herstellung zu isolieren.
  • Wie oben erläutert, werden die Gondeltür und Zugangstür, auch wenn sie Flächen aufweisen, die der Umgebung der Wafer-Herstellung ausgesetzt sind, typischerweise in das Innere des Prozess-Werkzeugs gebracht in Vorbereitung der Wafer-Verbringung zwischen der Gondel und dem Werkzeug. Um zu verhindern, dass die Partikel und Kontaminierungsstoffe auf den freiliegenden Türflächen das Innere des Prozess-Werkzeugs kontaminieren, ist bekannt, die ungeschützten Gondel- und Zugangstürflächen gegen einander zu halten, wenn die Gondel- und die Zugangstür in die Prozess einander zu halten, wenn die Gondel- und die Zugangstür in die Prozess-Werkzeuge gebracht werden und während die Türen darin positioniert werden. Solcher Kontakt kann Partikel und/oder Kontaminierungsstoffe zwischen den ungeschützten Flächen einfangen, um damit die Verbringung der Partikel und/oder Kontaminierungsstoffe in das Prozess-Werkzeug zu verhindern.
  • Kopplungsmechanismen sind bekannt, um die Gondeltür an die Zugangstür zu koppeln, wenn die Gondeltür von der Gondel entfernt und in dem Prozess-Werkzeug verstaut wird. Ohne zusätzliche Zwangsführungen zwischen der Gondel- und der Zugangstür ist es jedoch möglich, dass die Gondeltür auf der Zugangstür schwingt, oder dass die Gondeltür ausschwenkt oder sich anderweitig in Bezug auf die Zugangstür bewegt. Jede solche Schwingung oder Bewegung kann dazu führen, dass Partikel und/oder Kontaminierungsstoffe sich von den Flächen der Gondel- und/oder Zugangstür lösen und sich in dem Prozess-Werkzeug absetzen.
  • Es wurden Versuche des bisherigen Stands der Technik durchführt, die Gondeltür fest gegen die Zugangstür zu halten, während die Türen aneinander gekoppelt und in dem Prozess-Werkzeug verstaut werden. Ein solches System ist im U.S.-Patent Nr. 5,772,386 mit dem Titel "Loading and Unloading Station for Semiconductor Processing Installations" offenbart, das der Jenoptik AG erteilt ist. Wie hierin dargelegt, kann die Zugangstür ein Paar von Saugnäpfen umfassen, die mit einer Vakuumquelle verbunden sind. Wenn die Gondeltür an die Zugangstür gekoppelt ist, greifen die Saugnäpfe in eine Fläche der Gondeltür ein, und die Vakuumquelle erzeugt einen Sog in den Näpfen, um die Gondeltür an der Zugangstür zu halten. Zusätzlich zu der Tatsache, dass Partikel und Kontaminierungsstoffe immer noch von zwischen den Türen in das Prozess-Werkzeug entweichen können, besteht ein weiterer Nachteil für das offenbarte System darin, dass die Vakuumquelle versagen kann, oder dass der Sog zwischen der Gondel- und der Zugangstür anderweitig verloren gehen kann. In einem solchen Augenblick wäre die Gondeltür potenziell in der Lage zu schwingen oder sich in Bezug auf die Zugangstür zu bewegen, wie oben erläutert. Außerdem erfordert diese Art von System eine Herstellung (fab), die eine Vakuumquelle als eine zusätzliche Hilfseinrichtung für das Prozess-Werkzeug bereitstellt. Dies erhöht nicht nur die Kosten und Komplexität der Werkzeug-Auslegung, sondern das Steuersystem muss auch Routinen zum Überwachen der Vakuumquelle enthalten, um einen einwandfreien Betrieb sicherzustellen.
  • US-A-5772386 offenbart eine Lade- und Entladestation für Halbleiter-Verarbeitungsinstallationen, die wenigstens eine verschließbare Beschickungsöffnung aufweist, durch die Wafer und andere Objekte in Transportbehälter geladen und aus diesen entladen werden können, welche mit einer Behälterabdeckung versehen sind, die sich im Wesentlichen in rechten Winkeln zu der Ladeebene erstreckt. Die Station weist eine Schließvorrichtung auf, die mit dem Behälter eine Grenzfläche bildet, und wird mit Schlüsseln bereitgestellt, die in entsprechende Schlitze in der Behälterabdeckung übergehen und sich drehen, um die Behälterabdeckung an der Schließvorrichtung zu verriegeln.
  • WO-A-9933726 offenbart ein System zum Öffnen und Schließen eines Zugangs in einem Wafer-Verarbeitungssystem, das verschiedene greifende Befestigungseinrichtungen verwendet, die auf der Rückseite eines Roboter-Endeffektors (end effector) installiert sein können. Der Endeffektor kann verschiedene greifende Einrichtungen aufweisen, wie beispielsweise magnetisch, Vakuum oder elektrisch betätigend, die veranlassen, dass sich die Tür aus ihrer abdichtenden Position löst. Eine Anordnung wird offenbart, die einen Schnappschloss-Schlüssel verwendet, der in eine Nut in einer Gondeltür eingreift und sich dreht, um die Gondeltür an der Zugangstür zu befestigen.
  • US-A-4688835 offenbart eine Schnappschlossvorrichtung zum einstellbaren Zusammenpressen und Zusammenhalten von zwei Elementen, entweder in Anschlag oder mit einem geregelten Spalt zwischen ihnen. Die Vorrichtung umfasst einen Griff mit einem nockenförmigen Ende und eine Welle, die schwenkbar an dem nockenförmigen Ende des Griffs befestigt ist und in einem Befestigungsloch des ersten Elements getragen wird. Das Schnappschloss wird in zwei Stufen betätigt, indem zuerst die Welle in einer entsprechenden Hülse durch eine Drehbewegung des Griffs verriegelt wird, gefolgt von einer Hebelaktion des Griffs, welche veranlasst, dass die Nockenfläche das erste und das zweite Elemente zusammenpressend zusammenhält.
  • KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist daher ein Vorteil der vorliegenden Erfindung, dass die Menge an Partikeln und Kontaminierungsstoffen minimiert wird, die sich von zwischen der Gondeltür und der Zugangstür in dem Prozess-Werkzeug ablösen können.
  • Es ist ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, dass sie eine dichte Abdichtung zwischen der Zugangs- und der Gondeltür bereitstellt, wenn die Türen aneinander verriegelt sind, um das Entweichen von Kontaminierungsstoffen und/oder Partikeln von zwischen ihren aneinander angrenzenden Flächen zu verhindern
  • Es ist ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, dass sie eine dichte Abdichtung zwischen der Zugangs- und der Gondeltür vollkommen durch Mechanismen in der Zugangs- und der Gondeltür herstellt, ohne dass zusätzliche Überwachungsvorrichtungen und/oder Hilfseinrichtungen, wie beispielsweise eine Vakuumquelle für das Prozess-Werkzeug, erforderlich sind.
  • Es ist noch ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, dass sie ein System zum festen Zusammenhalten der Zugangs- und der Gondeltür bereitstellt, welches System manuell einstellbar ist, um unterschiedliche Dicken der Zugangs- und der Gondeltür aufnehmen zu können.
  • Es ist ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, dass sie ein selbstregelndes System zusätzlich zu oder statt des oben beschriebenen manuellen Einstellungssystems zum Aufnehmen von Abweichungen in Dicken der Zugangs- und Gondeltür und zur Berücksichtigung von Konstruktionstoleranzen bereitstellt.
  • Es ist ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, dass sie ein System bereitstellt, das eine dichtere Ankopplung einer Gondeltür an eine Zugangstür bereitstellen kann als mit herkömmlichen Saugsystemen.
  • Diese und weitere Vorteile werden durch die vorliegenden Erfindung, wie durch Anspruch 1 definiert, bereitgestellt, die in bevorzugten Ausführungsformen Mechanismen zum dichten Heranziehen der Gondeltür an die Zugangstür betrifft, wenn die Gondeltür von der Gondel entfernt und in dem Prozess-Werkzeug verstaut wird während der Werkstück-Verbringung zwischen der Gondel und dem Prozess-Werkzeug. In einer bevor zugten Ausführungsform umfasst der Mechanismus einen Schnappschloss-Schlüssel, der von der Außenfläche der Zugangstür nach außen vorspringt. Der Schnappschloss-Schlüssel ist so bereitgestellt, dass er mit einem Schlitz einer Türschnappschlossbaugruppe in der Gondeltür zusammenpasst. Sobald der Schnappschloss-Schlüssel in dem Schloss richtig sitzt, wird der Schnappschloss-Schlüssel durch Mechanismen in der Zugangstür gedreht, um die Gondeltür von dem Gondelgehäuse abzukoppeln. Eine solche Drehung koppelt gleichzeitig die Gondeltür an die Zugangstür. Gemäß bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung bewegt sich der Schnappschloss-Schlüssel, während er sich dreht, gleichzeitig in eine Rückwärtsrichtung, (d.h. zurück zu der Zugangstür), um damit die Gondeltür in einen dichten Eingriff mit der Zugangstür zu ziehen.
  • Um eine Rückwärtsschiebung des Schnappschloss-Schlüssels bei Drehung bereitzustellen, ist der Schnappschloss-Schlüssel in einer bevorzugten Ausführungsform an einer Welle befestigt, die einen rückwärtigen Gewindeabschnitt umfasst. Der Gewindeabschnitt wird in einer Gewindemutter aufgenommen, die in der Zugangstür so angebracht ist, dass die Drehung des Schnappschloss-Schlüssels den Schnappschloss-Schlüssel auch in Bezug auf die Mutter nach hinten bewegt.
  • Die Mutter kann in der Zugangstür durch Schrauben befestigt sein, die in Einstellschlitze passen, die durch die Mutter bereitgestellt werden. Wenn sich der Schnappschloss-Schlüssel in einer ortsfesten Position befindet, gestattet das Lösen der Schrauben aus den Einstellschlitzen eine Drehung der Mutter bis zu dem Ausmaß der Schlitze, wodurch wiederum der Schnappschloss-Schlüssel in Bezug auf die Außenfläche der Zugangstür nach vorne oder nach hinten geschoben wird. Dieser Einstellmechanismus gestattet es, die Höhe des Schnappschloss-Schlüssels in der Vorderseite der Zugangstür einzustellen, um Abweichungen in Gondeltür-Dicken aufzunehmen. Da eine vorgegebene Drehung der Mutter außerdem zu einer relativ kleinen Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels führt, ist die Mutter-Einstellbaugruppe in der Lage, eine Feinstellung der Position des Schnappschloss-Schlüssels über die Fläche der Zugangstür hinaus bereitzustellen. Die Einstellung kann mehr oder weniger fein vorgenommen werden durch jeweiliges Reduzieren oder Erhöhen der Gewindeteilung. Eine Änderung der Gewindeteilung verändert auch die Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels für eine vorgegebene Drehung des Schnappschloss-Schlüssels.
  • In alternativen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kann die Mutter auf einer federbelasteten Platte angebracht sein, die eine Selbstregulierung der axialen Position des Schnappschloss-Schlüssels gestattet. Eine solche alternative Ausführungsform nimmt Abweichungen in Dicken der Zugangs- und Gondeltür auf und berücksichtigt auch Konstruktionstoleranzen in der Zugangs- und der Gondeltür.
  • Der Schnappschloss-Schlüssel und der Schlitz, der den Schnappschloss-Schlüssel aufnimmt, weisen vorzugsweise glatte Flächen auf, um Partikelerzeugung zu minimieren, wenn sich der Schnappschloss-Schlüssel in dem Schlitz dreht. Für den Fall, dass Partikel erzeugt werden, werden sie jedoch in der Gondeltür eingefangen. In einer weiteren alternativen Ausführungsform kann der Schnappschloss-Schlüssel mit Laufrollen versehen sein, die sich mit den Wänden des Schlitzes in Kontakt befinden, wenn sich der Schnappschloss-Schlüssel dreht, um weitere Partikelerzeugung zu verhindern.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die vorliegende Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die folgenden Figuren beschrieben:
  • 1 ist eine Perspektivansicht einer SMIF-Gondel mit Frontöffnung, die sich neben der Zugangstür eines Prozess-Werkzeugs befindet;
  • 2 ist eine vergrößerte Perspektivansicht eines Abschnitts der Außenfläche einer Zugangstür mit einem Schnappschloss-Schlüssel, der davon nach außen vorspringt;
  • 2A ist eine zu der in 2 gezeigten alternative Schnappschloss-Schlüssel-Auslegung, die Laufrollen aufweist;
  • 3 ist eine Vorderansicht des Inneren einer Zugangtür mit Mechanismen zum Drehen des Schnappschloss-Schlüssels;
  • 4 ist eine Explosions-Perspektivansicht, die den Schnappschloss-Schlüssel und Befestigungskomponenten gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt, die Drehung und Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels gestatten;
  • 5 ist eine Perspektivansicht des Baugruppen-Mechanismus in der Zugangstür zum Tragen, Drehen und Schieben des Schnappschloss-Schlüssels;
  • 6 ist eine Perspektivansicht eines Schnappschloss-Schlüssels und von Befestigungskomponenten, um Drehung und Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels gemäß einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu gestatten;
  • 7A ist eine Draufsicht eines Schnappschloss-Schlüssels und von Befestigungskomponenten, um Drehung und Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels gemäß einer weiteren alternativen Ausführungsform zu gestatten;
  • 7B ist eine Seitenansicht der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die in 7A gezeigt ist; und
  • 7C ist eine Draufsicht der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die in 7A gezeigt ist, in einer zurückgezogenen Position.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
  • Die vorliegende Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf 1–7C beschrieben, die in bevorzugten Ausführungsformen im Allgemeinen Mechanismen zum Abkoppeln einer Gondeltür von einer Gondel und zum dichten Ankoppeln der Gondeltür an die Zugangstür betrifft, wenn die Gondeltür von der Gondel entfernt und in dem Prozess-Werkzeug verstaut wird während der Werkstück-Verbringung zwischen der Gondel und dem Prozess-Werkzeug. Obwohl eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Verbindung mit einer SMIF-Gondel arbeitet, ist klar, dass die vorliegende Erfindung mit jedem von verschiedenen Behältern arbeiten kann. Dies umfasst 200-mm- und 300-mm-SMIF-Gondeln, SMIF-Gondeln mit Bodenöffnung und Frontöffnung und Gondeln/Behältnisse, die nicht gemäß der SMIF-Technologie arbeiten. Des Weiteren kann die vorliegende Erfindung mit Behältern arbeiten, die irgendwelche von verschiedenen Werkstücke tragen, einschließlich Wafer, Masken und Flachbildschirme. Der Aufbau gemäß der vorliegenden Erfindung erfüllt alle anwendbaren SEMI-Standards und gestattet deren Einhaltung.
  • 1 ist eine Perspektivansicht einer 300-mm-Frontöffnungs-SMIF-Gondel 20 mit einer Gondeltür 22, die mit einem Gondelgehäuse 24 zusammenpasst, um eine abgedichtete Umgebung für ein oder mehrere Werkstücke zu definieren, die sich darin befinden. (Die Rückseite der Gondeltür 22 würde für gewöhnlich der Zugangstür gegenüberliegen, wenn die Gondel auf den Zugang geladen ist. Aus Gründen der Klarheit ist dies in 1 anders dargestellt.) Obwohl die Gondel 20 als 300-mm-Frontöffnungs-Gondel dargestellt ist, wie vorher angegeben, sind die Größe und der Typ der Gondel für die vorliegende Erfindung nicht wichtig. Um die Werkstücke zwischen der Gondel 20 und einem Prozess-Werkzeug 28 zu verbringen, wird die Gondel auf einen Ladezugang 25 angrenzend an eine Zugangstür 26 auf einer Vorderseite des Prozess-Werkzeugs geladen. Die Art des in dem Werkzeug 28 ausgeführten Prozesses ist für die vorliegende Erfindung nicht wichtig und kann irgendeiner von verschiedenen Prüf-, Überwachungs- und/oder Verarbeitungsvorgängen sein.
  • Unter folgender Bezugnahme auf 1 und 2 liegt eine vordere Fläche 30 der Zugangstür 26 einer rückwärtigen Fläche 31 der Gondeltür 22 gegenüber und umfasst ein Paar von Schnappschloss-Schlüsseln 32 zur Aufnahme in einem entsprechenden Paar von Schlitzen 33 einer Türschnappschloss-Baugruppe, die in der Gondeltür 22 angebracht ist. Ein Beispiel einer Türschnappschloss-Baugruppe in einer Gondeltür, die so ausgelegt ist, dass sie einen Schnappschloss-Schlüssel 32 aufnimmt und betätigt, ist im U.S.-Patent Nr. 4,995,430 mit dem Titel "Sealable Transportable Container Having Improved Latch Mechanism", erteilt an Bonora und andere, offenbart, welches Patent an den Besitzer der vorliegenden Erfindung abgetreten ist, und welches Patent hierin in seiner Gesamtheit durch Verweis aufgenommen ist. Um die Gondeltür mit der Zugangstür zu verriegeln, ist die Gondeltür 22 an die Zugangstür 26 angrenzend so gelagert, dass die vertikal ausgerichteten Schnappschloss-Schlüssel in den vertikal ausgerichteten Schlitzen 33 aufgenommen werden.
  • Zusätzlich zum Abkoppeln der Gondeltür von dem Gondelgehäuse arretiert die Drehung der Schnappschloss-Schlüssel 32 die Schlüssel auch auf ihren jeweiligen Schlitzen 33, wodurch die Gondeltür an die Zugangstür gekoppelt wird. Wie im Folgenden ausführlicher erläutert, ist ein alternativer Schnappschloss-Schlüssel in 2A gezeigt, der Laufrollen 35 umfasst, die auf einem Stift 37 des Schlüssel angebracht sind. Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfasst zwei Paare von Schnappschloss-Schlüssel 32 und Schlitz 33, wobei jedes dieser Paare in Bezug auf Aufbau und Funktion zueinander identisch ist. Daher ist es möglich, dass in der folgenden Beschreibung zeitweise nur einer der Schnappschloss-Schlüssel und/oder Schlitze erörtert wird. Es ist jedoch klar, dass die Beschreibung der Schnappschloss-Schlüssel und Schlitze und der damit verbundenen Komponenten ebenfalls für beide der Schnappschloss-Schlüssel und Schlitze gilt. In alternativen Ausführungsformen der Erfindung kann die Gondeltür jedoch mit einem einzigen Paar von Schnappschloss-Schlüssel und Schlitz an die Zugangstür oder mit mehr als zwei Paaren von Schnappschloss-Schlüssel und Schlitz gekoppelt sein. Außerdem ist klar, dass, wenn mehr als ein Paar von Schnappschloss-Schlüssel/Schlitz vorhanden ist, die jeweiligen Paare in alternativen Ausführungsformen der Erfindung nicht zueinander identisch sein müssen.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform führen die Schnappschloss-Schlüssel 32 Doppelfunktionen aus. Sie koppeln/entkoppeln die Zugangs- und die Gondeltür in dichter Weise, und sie betätigen auch das Koppeln/Entkoppeln der Gondeltür und des Gondelgehäuses. Es ist jedoch klar, dass die Schnappschloss-Schlüssel 32 nur die eine oder die andere dieser Funktionen in alternativen Ausführungsformen ausführen können. Zum Beispiel stellen die Schnappschloss-Schlüssel 32 in einer solchen alternativen Ausführungsform keine Kopplungs-/Entkopplungsfunktionen zwischen der Gondeltür und dem Gondelgehäuse bereit. In einer solchen Ausführungsform würde der Schnappschloss-Schlüssel 32 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung nur die Gondeltür mit der Zugangstür verriegeln und von dieser entriegeln. Ein Beispiel für ein System, in dem die Schnappschloss-Schlüssel keine Kopplungs-/Entkopplungs-Funktionen zwischen der Gondeltür und dem Gondelgehäuse bereitstellen, ist zum Beispiel in der U.S.-Patentanmeldung mit der Serien-Nr. 08/998,115 mit dem Titel "SMIF Pod Door and Port Door Removal and Return System", erteilt an Bonora und andere, offenbart, welche Anmeldung an den Besitzer der vorliegenden Erfindung abgetreten ist. Außerdem können die Schnappschloss-Schlüssel in einer weiteren alternativen Ausführungsform nur vorgesehen sein, um das Koppeln und Entkoppeln der Gondeltür an das und von dem Gondelgehäuse zu betätigen.
  • Unter folgender Bezugnahme auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden die Strukturen in der Zugangstür zum Betätigen der Schnappschloss-Schlüssel 32 unter Bezugnahme auf die Rückansicht von 3 und die Perspektivansichten von 4 und 5 beschrieben. Die Schnappschloss-Schlüssel 32 sind an jeweiligen Schnappschloss-Schlüssel-Befestigungsbaugruppen 34 befestigt, die im Folgenden ausführlicher erläutert werden. Ein Stellglied 36 ist fest an jedem der Schnappschloss-Schlüssel 32 angebracht, (wie am besten in 4 zu sehen ist), welche Stellglieder 36 miteinander durch ein Verschiebegestänge 38 verbunden sind. In einer bevorzugten Ausführungsform treibt ein Motor 40, sobald eine Gondel angrenzend an eine Zugangstür 26 abgesetzt ist, (wie zum Beispiel von einem Gondel-an-Zugang-Sensor angezeigt), ein Paar von Riemenscheiben 42 und 44 an, die über einen Zahnriemen 46 an einander angebracht sind. Die Riemenscheibe 44 ist wiederum an einer Gewindespindel 48 angebracht, auf der ein Schlitten 50 befestigt ist, welcher Schlitten sich entlang der Gewindespindel bei der Schraubendrehung vor und zurück bewegt. Der Schlitten 50 ist wiederum mit dem Verschiebegestänge 38 verbunden, das an den Stellgliedern 36 befestigt ist. Somit veranlasst die Drehung des Motors eine Schiebung des Gestänges 38 und ein Schwenken der Stellglieder 36, um dadurch die Schnappschloss-Schlüssel 32 zu drehen. Wie dem Fachmann klar ist, können verschiedene Mechanismen und Verbindungen diejenigen ersetzen, die oben beschrieben worden sind, um ein Drehmoment vom Motor auf die Stellglieder 36 zu übertragen, um dadurch die Schnappschloss-Schlüssel 32 zu drehen.
  • Unter folgender besonderer Bezugnahme auf 4 und 5 umfasst die Schnappschloss-Schlüssel-Befestigungsbaugruppe einen ortsfest befestigten Lagertrageblock 52 mit einem Lager 54, das in ein Loch 56 passt, das in der Zugangstür ausgebildet ist. Der Schnappschloss-Schlüssel 32 umfasst eine Welle 58, die sich davon ausgehend nach hinten erstreckt, welche Welle drehbar in dem Lager 54 des Lagertrageblocks 52 getragen wird. Wie vorher angegeben, ist auch ein Stellglied 36 entlang der Welle 58 angebracht und daran zum Beispiel mit einem Stift 60 sicher befestigt. Somit ist der Schnappschloss-Schlüssel gezwungen, sich mit dem Stellglied 36 zu drehen.
  • Die Schnappschloss-Schlüssel-Befestigungsbaugruppe 34 umfasst des Weiteren einen Mutterbefestigungsblock 62, welcher ortsfest an dem Lagertrageblock 52 angebracht ist. Da das Stellglied 36 fest an der Welle 58 des Schnappschloss-Schlüssels angebracht ist, kann zwischen dem Mutterbefestigungsblock 62 und dem Lagertrageblock 52 ein Raum vorgesehen werden, um eine leichte Schiebung des Stellglieds entlang der Drehachse des Schnappschloss-Schlüssels zu gestatten, wie im Folgenden erläutert.
  • Die Schnappschloss-Schlüssel-Befestigungsbaugruppe 34 umfasst des Weiteren eine axiale Einstellmutter 64, die durch ein Paar Schrauben 66 einstellbar an dem Mutterbefestigungsblock 62 angebracht ist. Insbesondere passen die Schrauben 66 durch entsprechende bogenförmig gestaltete Schlitze 68, die axial durch die Einstellmutter 64 bereitgestellt sind, und in eines von zwei wechselweisen Paaren von angesenkten Löchern 63 in dem Mutterbefestigungsblock. Wenn die Schrauben 66 gelockert werden, kann die Einstellmutter 64 bis zu dem Ausmaß gedreht werden, das durch die Schlitze 68 gestattet wird. Die zwei wechselweisen Paare von angesenkten Löchern 66 sind vorgesehen, (als Gegensatz zu einem solchen Paar), um die Einstellung der Einstellmutter um 360° zu gestatten. Insbesondere kann die Mutter mit den Schrauben 66, die in einem ersten wechselweisen Paar von Löchern 63 bereitgestellt sind, auf ein bestimmtes Drehausmaß eingestellt werden, (das von der Bogenlänge der Schlitze 68 definiert wird). Wenn die Schrauben 66 jedoch danach entfernt und in das zweite wechselweise Paar von Löchern 63 eingesetzt werden, dann kann eine weitere Dreheinstellung erhalten werden.
  • Ein rückwärtiger Abschnitt der Welle 58 des Schnappschloss-Schlüssels umfasst Gewinde 70. Die Welle 58 passt durch das Lager 54, eine Öffnung in dem Stellglied 36 und den Mutterbefestigungsblock 62, und wird in der zentralen Öffnung der Einstellmutter 64 aufgenommen. Die zentrale Öffnung in der Einstellmutter umfasst Gewinde, die mit den Gewinden 70 zusammenpassen. Somit, wie bei einer allgemeinen Anordnung von Mutter und Schraube, führt jede relative Drehung zwischen der Einstellmutter 64 und dem Schnappschloss-Schlüssel 32 auch zu einer Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels in Bezug auf die Einstellmutter und die Zugangstür im Allgemeinen.
  • Im Betrieb, wenn eine Gondeltür zunächst an die Zugangstür angrenzend abgesetzt wird, und der Schnappschloss-Schlüssel in dem Schlitz 33 der Türschnappschloss-Baugruppe aufgenommen wird, dreht der Motor 40 die Stellglieder 36, welche wiederum die entsprechenden Schnappschloss-Schlüssel 32 drehen, um die Gondeltür auf der Zugangstür zu arretieren. Außerdem veranlasst gemäß der vorliegenden Erfindung die Drehung der Gewinde 70 des Schnappschloss-Schlüssels in der zentralen Gewinde-Öffnung in der Einstellmutter 64, dass sich der Schnappschloss-Schlüssel 32 rückwärts zu der Zugangstür hin bewegt, wenn er sich dreht. Der Schnappschloss-Schlüssel 32 greift in die rückwärtigen Wände des Schlitzes 33 ein, wenn er nach hinten verschoben wird, wodurch die Gondeltür in einen dichten Eingriff mit der Zugangstür gezogen wird.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann das Stellglied 36 den Gondeltür-Schnappschloss-Schlüssel um ungefähr 90° drehen. Die Gewindeteilung 70 kann ungefähr 100 bis 150 Tausendstel Zoll (mil) betragen, so dass eine 90°-Drehung des Schnappschloss-Schlüssels zu einer Schiebung von ungefähr 25 bis 37 Tausendstel Zoll des Schnappschloss-Schlüssels zu der Fläche der Zugangstür zurück führt. Es ist klar, dass die Teilung der Gewinde 70 in alternativen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kleiner oder größer als 100 bis 150 Tausendstel Zoll sein kann.
  • Gelegentlich können die Dicken der Gondel- und/oder Zugangstür abweichen, oder es kann anderweitig wünschenswert sein, den Abstand leicht zu korrigieren, um den der Schnappschloss-Schlüssel über die Vorderfläche der Zugangstür vorspringt. Um dies auszuführen, werden die Schrauben 66 gelöst, um eine Drehung der axialen Einstellmutter 64 zu gestatten. Während einer solchen Drehung verhindern die Stellglieder 36 eine Drehung der Schnappschloss-Schlüssel, so dass die Drehung der Einstellmutter 64 den Schnappschloss-Schlüssel axial so verschiebt, dass er um ein größeres oder kleines Ausmaß über die Vorderfläche der Zugangstür vorspringt. Der Grad, um den die axiale Position der Schnappschloss-Schlüssel eingestellt werden kann, kann durch Erhöhen oder Verringern der bogenförmigen Längen der Schlitze 68 in der axialen Einstellmutter 64 verändert werden und/oder durch Verändern der Teilung der Gewinde 70. Da eine vorgegebene Drehung zwischen der Mutter und dem Schnappschloss-Schlüssel zu einer relativ kleinen Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels führt, ist die Mutter-Einstellbaugruppe in der Lage, eine Feineinstellung der Position des Schnappschloss-Schlüssels über die Fläche der Zugangstür hinaus bereitzustellen. Die Einstellung kann mehr oder weniger fein vorgenommen werden, indem die Teilung der Gewinde 70 entsprechend verringert oder erhöht wird. In alternativen Ausführungsformen ist klar, dass die Schlitze 68 durch Schraubenlöcher ersetzt werden können, um das oben beschriebene Einstellungsmerkmal wegzulassen.
  • Eine alternative Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist in der Explosions-Perspektivansicht von 6 gezeigt. 6 ist identisch mit der Ausführungsform, die in Bezug auf 4 und 5 offenbart worden ist mit der Ausnahme, dass der Mutterbefestigungsblock 62 der oben beschriebenen Ausführungsformen weggelassen und stattdessen allgemein durch einen Führungsstiftblock 72 und eine Muttergegenplatte 74 (nut mating plate) ersetzt wird. Insbesondere ist der Führungsstiftblock 72 so an dem Lagertrageblock 52 befestigt, dass er ortsfest in der Zugangstür angebracht ist. Der Führungsstiftblock 72 umfasst wenigstens zwei sich nach rückwärts erstreckende Führungsstifte 76, welche Führungsstifte Federn 78 umfassen, die sie umgeben. Die Muttergegenplatte 74 umfasst Löcher 80, die hinsichtlich Anzahl und Position den Führungsstiften 76 entsprechen. Die Löcher 80 weisen einen leicht größeren Durchmesser als die Führungsstifte 76 auf, aber einen kleineren Durchmesser als derjenige der Federn 78. Die Muttergegenplatte 74 ist an dem Führungsstiftblock 72 durch Halteringe 82 befestigt, die an einem rückwärtigen Abschnitt der Führungsstifte befestigt werden, nachdem die Führungsstifte 76 durch die Löcher 80 in die Muttergegenplatte 74 eingepasst worden sind. In einer solchen Anordnung ist die Muttergegenplatte 74 in der Lage, sich gegen die Spannkraft der Federn 78, die um die Führungsstifte 76 angebracht sind, nach vorne zu dem Führungsstiftblock 72 zu bewegen.
  • Die axiale Einstellmutter 64 ist mit Schrauben 68 an der Muttergegenplatte befestigt. Wie oben kann die Einstellmutter 64 einstellbar gemacht werden durch die Schrauben 66, die in die bogenförmigen Schlitze 68 passen. Es ist klar, dass die Schlitze 68 in dieser Ausführungsform weggelassen und durch Schraubenlöcher ersetzt werden können um die Drehung der Mutter 64 und die manuelle Einstellung durch diese zu verhindern.
  • In der Ausführungsform von 6 erstreckt sich die Welle 58 nach hinten durch das Lager 54, die Öffnung in dem Stellglied 36 und durch zentrale Öffnungen in dem Führungsstiftblock und der Muttergegenplatte, so dass die Gewinde in der zentralen Öffnung der Einstellmutter 64 aufgenommen werden, wie oben beschrieben. Gemäß dieser Ausführungsform stellen der Führungsstiftblock und die Muttergegenplatte zusammen zusätzlich zu jeder manuellen Einstellung des Ausmaßes, bis zu dem der Schnapp schloss-Schlüssel über die Fläche der Zugangstür hinaus vorspringt, eine Selbstregelung der Schnappschloss-Befestigungsbaugruppe bereit, um Gondel- und Zugangstüren von variierenden Dicken aufzunehmen und Konstruktionstoleranzen zu berücksichtigen. Insbesondere in dem Fall, in dem sich eine Gondeltür ausreichend dicht an der Zugangstür befindet, um die Ziele der vorliegenden Erfindung zu erfüllen, bevor der Schnappschloss-Schlüssel 32 seinen Drehungshub beendet hat, führt die fortgesetzte Drehung des Schnappschloss-Schlüssels statt zu einer weiteren Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels nach hinten zu einer Schiebung der Einstellmutter 64 und der Muttergegenplatte 74 nach vorne zum Führungsstiftblock 72 hin, indem die Federn 78 zusammengedrückt werden.
  • Es ist klar, dass die Einstellung der Winkelposition der Einstellmutter 64 teilweise den Punkt steuern kann, an dem die Muttergegenplatte 74 beginnt, sich gegen die Kraft der Federn 78 zum Führungsstiftblock hin zu bewegen. Außerdem ist klar, dass die gewünschte Druckkraft zwischen der Gondel- und der Zugangstür gemäß der vorliegenden Erfindung geändert werden kann, indem die Federkonstante und/oder der Grad der Vorbelastung der Federn 78 geändert wird.
  • Der Schnappschloss-Schlüssel 32 und der Schlitz 33, der den Schnappschloss-Schlüssel aufnimmt, weisen vorzugsweise glatte Flächen auf, um die Partikelerzeugung zu minimieren, wenn sich der Schnappschloss-Schlüssel in dem Schlitz dreht. Selbst wenn Partikel erzeugt werden, werden sie in der Gondeltür eingefangen und würden sich nicht auf die Umgebung in dem Prozess-Werkzeug auswirken. In einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die in 2A gezeigt ist, kann der Schnappschloss-Schlüssel mit Laufrollen 35 versehen sein, die auf einem Stift 37 durch das vordere Ende der Welle 58 angebracht sind. Die Laufrollen liegen in Kontakt an den Wänden des Schlitzes 37, wenn der Schnappschloss-Schlüssel nach hinten geschoben wird. Die Laufrollen gestatten es dem Schnappschloss-Schlüssel, sich selbst bei einer großen Druckkraft zwischen den Schnappschloss-Laufrollen und den Schlitzwänden gegen die Wand des Schlitzes 37 zu drehen, ohne Partikel zu erzeugen.
  • Obwohl eine bevorzugte Ausführungsform der Schnappschloss-Schlüssel-Befestigungsbaugruppe gemäß der vorliegenden Erfindung die Drehung des Schnappschloss-Schlüssels auch dazu nutzt, die Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels zu bewir ken, ist klar, dass der Schnappschloss-Schlüssel unabhängig von seiner Drehung verschoben werden kann. Alternative mechanische Systeme können verwendet werden, um die gewünschte Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels 32 und das dichte Eingreifen zwischen der Gondeltür und der Zugangstür in alternativen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung zu veranlassen. Eine solche alternative Ausführungsform ist in 7A–7C gezeigt. Zunächst wird auf 7A und 7B Bezug genommen, in denen eine Draufsicht des Schnappschloss-Schlüssels 32 und der Welle 58, die sich von dort aus nach rückwärts und durch die Zugangstür 26 erstreckt, des Lagertrageblocks 52 und der Öffnung in dem Stellglied 36 gezeigt wird. Diese Ausführungsform umfasst des Weiteren einen U-förmigen Bügel 82, der verschiebbar in der Zugangstür angebracht ist, eine Unterlegscheibe 84, die fest an dem Ende der Welle 58 befestigt ist, und eine Spiralfeder 86, die um die Welle 58 gewickelt ist und zwischen einer vorderen Wand 88 des Bügels 82 und der Unterlegscheibe 84 zusammengedrückt wird.
  • Gemäß der alternativen Ausführungsform, die in 7A–7C in einem entspannten Zustand gezeigt ist, wird die Unterlegscheibe 85 durch die Feder 86 nach hinten gespannt und kommt an einer rückwärtigen Wand 90 des Bügels 82 zum Anschlag. In einer Ausführungsform wird der Bügel 82 durch einen bekannten Schiebungsmechanismus zuerst vorwärts geschoben, (d.h. zur Zugangstür 26 hin). Zum Beispiel kann der Bügel 82 an einer Gewindespindel oder einem Elektromagneten befestigt sein und von diesen angetrieben werden. Diese Vorwärtsschiebung gestattet es dem Schnappschloss-Schlüssel 32, in dem Schlitz in der Türschnappschloss-Baugruppe in der Gondeltür zu lagern. In alternativen Ausführungsformen kann der Schnappschloss-Schlüssel sich zuerst weit genug vor der Zugangstür befinden, so dass keine erste Vorwärtsschiebung des Schiebungsbügels 82 notwendig ist. Nachdem oder während das Stellglied 36 den Schnappschloss-Schlüssel 32 dreht, um die Gondeltür an die Zugangstür zu koppeln, wie oben beschrieben, kann der Schiebungsbügel rückwärts geschoben werden. Bei einer solchen Rückwärtsschiebung übt die vordere Wand 88 des Bügels 82 eine Kraft auf die Feder 86 aus, welche wiederum eine Kraft auf eine Unterlegscheibe 84 ausübt, um die Welle 58 und den Schnappschloss-Schlüssel 32 nach hinten zu bewegen, wodurch die Gondeltür dichter gegen die Zugangstür gezogen wird.
  • An einem bestimmten Punkt während der Rückwärtsschiebung des Bügels 82 wird die Gondeltür 22 ausreichend dicht gegen die Zugangstür 26 gehalten, um Ziele der vorlie genden Erfindung zu erfüllen. An diesem Punkt überwindet die Kraft, die der Rückwärtsschiebung des Schnappschloss-Schlüssels 32, der Welle 58 und der Unterlegscheibe 84 entgegenwirkt, die Kraft der Feder 86, an welchem Punkt die Feder 86 beginnt, zusammengedrückt zu werden, wie in 7C gezeigt. An einem vorbestimmten Punkt, bevor die Feder 86 vollständig zusammengedrückt wird, hört die Rückwärtsschiebung des Bügels 82 auf. Somit wird die Feder 86 gemäß dieser alternativen Ausführungsform so wirken, dass sie die Gondeltür dicht gegen die Zugangstür hält, und der Mechanismus ist selbstregelnd für Zugangstüren und Gondeltüren von variierenden Dicken und Toleranzen. Wie in der in 6 gezeigten Ausführungsform der Erfindung kann die gewünschte Druckkraft zwischen der Zugangs- und der Gondeltür geändert werden, indem die Federkonstante und/oder der Grad der Vorbelastung der Feder 86 geändert wird.
  • Wie dem Fachmann klar wäre, sind andere Auslegungen möglich, bei denen die Schiebung des Schnappschloss-Schlüssels unabhängig von seiner Drehung ausgeführt wird. Eine weitere solche alternative Ausführungsform ist derjenigen ähnlich, die in 7A bis 7C gezeigt ist, doch können die Feder 86 und der U-förmige Bügel 82 weggelassen werden. Im Allgemeinen wären die Welle 58 und der Schnappschloss-Schlüssel in dieser Ausführungsform an einer Antriebsvorrichtung befestigt, wie zum Beispiel einer Gewindespindel oder einem Elektromagneten, welche den Schnappschloss-Schlüssel während oder nach dem Ankoppeln der Gondeltür an die Zugangstür rückwärts schieben würden, um eine dichte Kopplung zwischen den Türen bereitzustellen. Die Welle 58 kann zum Beispiel in einem Axiallager angebracht sein, das wiederum zur Schiebung an der Antriebsvorrichtung angebracht ist. Das Axiallager würde es der Welle 58 und dem Schnappschloss-Schlüssel 32 gestatten, sich zu drehen, während auch eine axiale Belastung auf die Welle ausgeübt wird, um die Welle und den Schnappschloss-Schlüssel zu schieben. Gemäß dieser Ausführungsform würde die Antriebsvorrichtung während oder nach dem Ankoppeln der Gondeltür an die Zugangstür die Welle 58 und den Schnappschloss-Schlüssel rückwärts schieben, bis ein dichtes Eingreifen zwischen der Gondel- und der Zugangstür hergestellt ist.
  • In oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung stellen die Schnappschloss-Schlüssel 32 zusätzlich zum Betätigen der Gondel-Aufklinkbaugruppe und Ankoppeln der Gondeltür an die Zugangstür einen dichten Kontakt zwischen der Gondeltür und der Zugangstür her. Es ist jedoch klar, das im bisherigen Stand der Technik andere Mechanismen als der Schnappschloss-Schlüssel bekannt sind, welche die Aufgabe ausführen können, die Gondeltür und die Zugangstür in dichtes Eingreifen zu ziehen. Zum Beispiel offenbart das U.S.-Patent Nr. 4,534,389 mit dem Titel "Interlocking Door Latch for Dockable Interface for Integrated Circuit Processing" ein federbelastetes Sperrklinken- und Lösekabel (5 dieses Patents), um eine Gondeltür gegen den Zugang zu halten.
  • Obwohl die Erfindung hierin ausführlich beschrieben worden ist, sollte klar sein, dass die Erfindung nicht auf die hierin offenbaren Ausführungsformen begrenzt ist. Verschiedene Änderungen, Ersetzungen und Modifizierungen können vom Fachmann daran vorgenommen werden, ohne von der Erfindung abzuweichen, wie sie in den Ansprüchen im Anhang beschrieben und definiert ist.

Claims (5)

  1. System zum festen Zurückhalten einer Gondeltür (22), die einen Schlitz (33) aufweist, gegen eine Zugangstür (26) eines Prozess-Werkzeugs (28), wobei das System umfasst: eine Zugangstür (26), die eine Grenzfläche zu dem Prozesswerkzeug (28) bereitstellt und eine Ebene definiert; und eine Schnappschlossbaugruppe, die in der Zugangstür angebracht ist, wobei die Schnappschlossbaugruppe einen Schnappschloss-Schlüssel (32) aufweist, der so geformt ist, dass er mit dem Schlitz (33) in der Gondeltür zusammenpasst, wobei die Schnappschlossbaugruppe eine erste Einrichtung zum Drehen des Schnappschloss-Schlüssels um eine Achse enthält, die im Wesentlichen in Bezug auf die Ebene orthogonal verläuft, um die Gondeltür mit der Zugangstür zu koppeln, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnappschlossbaugruppe des Weiteren eines zweite Einrichtung umfasst, um den Schnappschloss-Schlüssel in Richtung der Achse zu bewegen, um die Gondeltür sicher an der Zugangstur zu befestigen.
  2. System nach Anspruch 1, wobei die erste Einrichtung und die zweite Einrichtung Drehen des Schnappschloss-Schlüssels (32) umfassen, nachdem der Schnappschloss-Schlüssel in den Schlitz (33) in der Gondeltür (22) eingegriffen hat.
  3. System nach Anspruch 1, wobei die zweite Einrichtung eine axiale Einstellvorrichtung (64, 70) enthält, die den Abstand regelt, um den sich der Schnappschloss-Schlüssel (32) sich aus der Zugangtür (26) erstreckt.
  4. System nach Anspruch 1, wobei die zweite Einrichtung manuell betrieben wird.
  5. System nach Anspruch 1, wobei die zweite Einrichtung automatisch betrieben wird.
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