TW439167B - Pod door to port door retention system - Google Patents

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五、發明說明（l) , 發明背景 發明範疇 本發明係關於將工件（例如半導體晶圓）自一儲藏及輸送 莢傳送至一處理工具，特別係關於一系統，可在工件傳送 於莢與處理工具間之過程中，在莢門自莢移開、並裝載於/ 該處理工具時，確保莢門係穩固固定於該處理工具之入口- 門。 . ' 相關技藝之說明 惠普公司（Hewlett-Packard Company)在美國專利第 4, 532, 970號及第4, 5 34, 3 8 9號中提出一標準化機械介面 ） 〔SMI F )系统。SM IF系統之目的係為減少半導體晶圓在整個 半導體製程之儲藏及輸送過程中所接受之微粒通量。至於 如何達成此一目的，有部份係藉由以機械方式確保圍繞晶 圓之氣態媒介（例如空氣或氮氣）在儲藏及輸送過程中基本 上係相對於晶圓而固定不動、並藉由破保來自周圍環境之 微粒不致進入鄰接之晶圓環境中而加以達成。 SM I F系統具有三個主要構件：（1 )複數個容積最小、且 經密封之莢，用於儲藏及輸送晶圓及/或晶圓卡匣；（2 ) — 輸入/輸出（I /0)微環境，位於一半導體處理工具上，可在} 注入潔淨之空氣時，提供一微小之潔淨空間，其間可供外… 曝之晶圓及/或晶圓卡匣來回傳送於該半導體處理工具之 内部；及（3 )—介面，用於將晶圓及/或晶圓卡匣傳送於 -SM I F莢及SM i F微環境之間，但晶圓或卡匣將不致暴露於微-粒之中。密西·帕力克（Mihir Parikh)與奧瑞契·金孚

O:\59V59457.PTD 第 5 頁 439t 61 五、發明說明（2) (Ulrich Kaempf)在「SMIF :在超大型積體電路製造過程 中之晶圓卡匣傳送技術」一文中（「固態技術」，1 9 8 4年7 月出版，第1 1 1至1 1 5頁），即對一 SM I F系統之進一步細節 有所說明。 上述類型之系統，其所涉及之微粒大小範圍係從小於 / G.02微米（ym)至200微米以上。由於在製造半導體裝置時-所應用之幾何尺寸極小，因此，此一大小之微粒在半導體‘ 之處理過程中極具傷害性。目前基本之先進半導體製程係 使用半微米及以下之幾何尺寸。幾何尺寸大於0. 1微米之 污染微粒將對幾何尺寸為1微米之半導體裝置造成巨幅干Ο 擾。當然，半導體處理之幾何尺寸係朝愈來愈小之方向發 屐，目前在研發實驗室中已接近0.1微米甚至更小。未來， ，幾何尺寸.將曰益縮小，因此，更為微小之污染微粒及分 子污染物便成為值得關注之課題。 一般而言，SMIF莢包括一莢門，該莢門可與一莢殼搭配 *藉以提供一密封之環境，可供晶圓儲藏其中、並於其間. 進行傳送。目前已有所謂「底部開啟」莢，其中之莢門係 水平設置於莢之底部，而晶圓則係支撐於一卡匣内，該卡 匣係支撐於莢門上。目前亦有「前方開啟」莢，其中之莢：) 門係位於一垂直面，而晶圓則係支撐於一安裝於莢殼内之" 卡匣中，抑或係支撐於複數個安裝於莢殼内之托架上。無 論前方開啟莢或底部開啟莢，其莢門均包括一前表面，該-前表面係該密封之莢環境之一部份；及一後表面，暴露於 晶圓廠之環境中。

O:\59\59457.PTD 第6頁 五、發明說明（3) '--- 為將晶圓傳送於晶圓廠内之—SMI F莢與—處理工 基本上’莢係以手動方式或自動化之方式裝载於/、之間 端之一裝栽入口。該處理工具包括一取极入D工具前 口在無莢時係由一莢門覆蓋，該莢門包括一前表^取极= 於晶圓廠之環境中；及一後表㊆，該後表面係該處理：J :密封環境之一部份。SMIF莢係置於裝載入口上，因此，、' 莢門與亡口門係彼此相鄰。在入口門上設有複數個重合銷‘ ’可與英門上之複數個長孔相搭配，藉以確保英門與入口 門可彼此妥適對準。 八 一旦將莢置於裝載入口上’在入口門内部之機構將使莢〇 門自莢殼解扣，並將笑門與入口門一同移至處理工具内， 莢門與入口門在處理工具内將避開晶圓之傳送路徑。莢殼 仍將鄰近介面入口，藉以維持—潔淨之環境，該潔淨環境 包括處理工具之内部及晶圓四周之莢殼。隨後，處理工具 内之一機器人便可取极支撐於莢内之特定晶圓，並將其傳 送於莢與處理工具之間。 在處理工具内，外曝晶圓之周圍提供一潔淨、低微粒、 且低污染之環境極為重要。雖然晶圓廠内之空氣基本上係 經相當程度之過濾，但相較於SM丨F莢及處理工具之内部，） 在處理工具及莢四周之環境内仍包括相當高量級之微粒及 污染物。因此，須採取重要之步驟，將SM〗F莢及處理工具. 之内部與礙内之環境加以隔離。 ' 一如上述’即使莢門與入口門具有暴露於晶圓廠環境中. 之表面’但基本上，莢門與入口門仍將被帶入處理工具之

第7頁 ^391 67 五、發明說明（4) 内部，以便進行 表面上之微粒及 係在將炎門與入 門置於處理工具 之彼此貼合。此 表面之間，藉以 内。 目前已有連接 工具之内時，將 入口門間並無額 ，或相對於入口 發生此種振動或 或入口門表面掉 先前技藝曾試 於處理工具之内 可見於美國專利 之裝載與卸載站 (Jenoptik A.G. 對吸力杯，連接 對吸力杯將接合 吸力，措以將爽 仍有可能自莢門 此 系統尚有一 口門間之吸力亦 莢與工具間之晶圓傳送。為防止外曝之門 污染物污染處理工具之内部，現有之作法 口門送入處理工具内時、及將莢門與入口 之内後，均維梧外曝之莢門與入口門表面 種接觸可將微粒及/或污染秒留置於外曝 防止該等微粒及/或污染物傳入處理工具 機構，可在莢門自莢移開、並裝載於處理 莢門連接至入口門。然而，由於在莢門與 外之限制，莢門有可能會在入口門上振動 門而傾斜、或作為其他方式之運動。只要 運動，均可能使微粒及/或污染物自莢與/ 落，並沉積於處理工具内。 圖在莢門與入口門係彼此連接、且係裝載 時，將莢門穩固貼靠於入口門。此種系統 第5, 772, 38 6號：「用於半導體處理裝置 」，該項專利係讓真納地克公司 )。根據該專利之說明，入口門可包括一 於一真空源，當莢門連接於入口門時，該 莢門之一表面，而真空源則將於杯内產生 門固定於入口門。事實上，微粒與污染物 與入口門間脫離，並進入處理工具内，而 缺點：真空源有故障之可能，而莢門與入 可能因其他原因而消失。在此一狀況下，

4 3¾1 67 五、發明說明（5) 莢門將有振動、或相對於入口門而運動（如前述）之潛在可 能。此外，此一類型之系統必須在廠内設置一真空源，作 為處理工具之一額外設備。如此一來，不但將增加工具設 計之成本及複雜度、控制系統亦須包括用於監測真空源之 常式，以確保適當之運作。 發明總結 因此，本發明之一優點為：可將自莢門與入口門間掉落 至處理工具内之微粒及污染物減至最少。 本發明之另一優點马：巧在八口門與莢門閂鎖成一體時 ，於該兩門間提供一緊密之密封，藉以防止污染物及/或 微粒自該兩門並列之表面間脫落。 本發明之另一優點為：入口門與莢門間之緊密密封完全 係由該入口門與該莢門其内部之機構所建立，不需使用額 外之監測器及/或設備，例如用於處理工具之真空源。 本發明之另一優點為：可提供一系統，用於使入口門與 莢門彼此穩固貼靠，該系統可以手動方式加以調整，以配 合入口門與莢門之不同厚度。 本發明之另一優點為：可在上述之手動調整系統外，另 設一自我調整裝置，或以該自我調整裝置取代上述之手動 調整系統，以適應入口門與莢門厚度之變化，並為工程公 差預作準備。 本發明之另一優點為：可提供一系統，該系統在將莢門 連接至入口門時之緊密度大於使用傳統吸力系統時之連接 緊密度。 _画_ 1 11 Hi 1 ill 1 ill III 1 五、發明說明（6) 本發明可 例中係關於 程中，在英 門，使其腎 孔内，位於 殼分離。在 根據本發明 同時向後移 莢門，使之 在一具體 閂鍵係附著 份係容納於 亦可使該閂 該螺帽可 裝入穿過螺 後，若將該 長孔所容許 出口門之外 可調整閂鍵 之變化。此 位移量相當 門表面之位 括一閂鍵， 内一門閂總成之一長孔相搭配。該閂鍵一旦妥適插 6 7 43 91^7 提供上述及其他之優點，本發明在較佳 機構，用於在工件傳送於莢與處理工具 門自莢移開、並裝載於該處理工具時， 貼於入口_ .門。在一較佳具體實例中，該 自入口門之外表面向外伸出。該閂鍵可 入口門^内之機構便將轉動該問鍵，使莢 此同時，此一轉動亦將使莢門連接於入 之較佳具體實例，在閂鍵轉動時，該閂 動（亦即朝入口門之方向往回移動），藉 與入口門緊密接合。 實例中，為使閂鍵一經轉動即可向後位 於一軸，該軸包括一後端螺紋部份。該 一安裝於入口門内之螺帽内，俾使閂鍵 鍵相對於該螺帽而向後移動。 藉由複數個螺絲附著於入口門内，該等 帽之複數個調整長孔内。在閂鍵就一固 等螺絲自調整長孔中旋鬆，該螺帽將可 之範圍内轉動，而該等長孔則將使閂鍵 表面向前或向後位移。藉由此一調整機 突於出口門表面前方之高度，以配合莢 外，由於因螺帽某一幅度之轉動而造成 小，因此，螺帽調整總成可對閂鍵其超 置進行微調。螺距之減小或增大可分別 具體實 間之過 拉動莢 機構包 與莢門 入該長 門與莢 口門。 鍵亦將 以拉動 移，該 螺紋部 之轉動 螺絲可 定位置 在該等 相對於 構，便 門厚度 之閂鍵 出入口 使微調

第10頁 五、發明說明（7) 之動作更細或更粗。螺距之改變亦將改變閂鍵因某一幅度 之轉動而產生之位移量。 在本發明之替選具體實例中，該螺帽可安裝於一彈簧板 上，使閂鍵之軸向位置得以自我調整。此一替選具體實例 可配合入口門與莢門之厚度變化，並為入口門與莢門内之 工程公差預作準備。 閂鍵及容納閂鍵之長孔最好包括平滑之表面，藉以減少 閂鍵在長孔内轉動時所生成之微粒。然而，即使有微粒產 生，微粒亦將被留置在莢門内。在另一替選具體實例中， 閂鍵可設有複數個滾子’該等滾子於閂鍵轉動時可與長孔 壁相接觸，以進一步防止微粒之產生。 圖示之簡單銳明 以下，本發明將參照附圖而加以說明，附.圖中： 圖1為一前方開啟式SMIF莢之透視圖，該莢鄰近一處理 工具之入口門； 圖2為一入口門其外表面之局部放大透視圖，該入口門 包括一閂鍵，自該入口門向外伸出； 圖2 A為圖2中閂鍵之一替選構造，其包括複數個滾子； 圖3為入口 P1内部之前視圖，該入口門包括用於轉動問 鍵之機構； 圖4為一分解透視圖，顯示根據本發明之閂鍵及複數個 安裝構件’該等安裝構件係用於使閂鍵得以轉動及位移； 圖5為入口門内總成機構之透視圖，該機構係用於支撐 、轉動、及移動閂鍵； '發明說明（8) 6為一透視圖，顯示根據本發明之一具體實例之 轉動ΐ Γ數個安裝構件，該等安裝構件係用於使問鍵得以 哪動及位移； 圖7Α為了頂視圖’顯示根據本發明之另一替選具體實例 2鍵及複數個安裝構件，該等安裝 於使閂鍵得. 以轉動及位移； 圖7Β為圖7Α中本發明具體實例之側視圖； - 圖7C為圖7Α中本發明之具體實例於收縮位茛之頂視圖。 詳細說明 以下，本發明將參照圖1至圖7C而加以說明，該等附圖 =較佳具體實例中大致係關於機構，用於在工作傳送於莢 =處理工具間之過程中，在莢門自莢移開、益裝載於該處 里工具時’使莢門與莢分離，並使莢門緊密速接於入口門 雖然本發明之一較佳具體實例於操作時係搭配一 丨F莢 ’但本發明實可搭配任一種之容器而加以操作，包括2 Ο Ο =厘與300公厘之SMjj莢、底部開啟及前方開啟式之SMI F 笑、及其他並非根據SM IF技術而操作之莢/盒。此外，本 發明.於操作時所搭配之容器可載有任一種之工件，包括晶 圓、原型光罩、及平板顯示器。根據本發明之結構Τ符合） 「國際半導體設備與及材料學會（SEMI)」所有適用之標準、 ’並使相關之部份亦得以符合該等標準。 圖1為一3 0 0公厘之前方開啟式SM IF莢20之透視圖，該莢 包括—莢門22 ’可與一莢殼24搭配，構成一密封之環境，-供~或多個工件置於其中。（在將莢裝載於入口門後，莢

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43 91 67 五、發明說明（9) 門20之背面通常係面向入口門。為使圖示清晰’ 與此不同。）圖中之〇πη 圖i所示 棍墙J 公厘之前方開啟笑，佝 據上述之說明，莢之尺寸及類型益非本發明之關 : 於英2〇與一處理工具之間’須將該苑裝栽於ί Ϊ 1上，並使之鄰近該處理工具前端之―人口⑽ 。在工具28内所實施之製程類別並非本 126 任一種之測試、監測、及/或處理。"之關鍵’可為 參考圊1與圖2，入口門26之前表面3〇係面 表面31 ’並包括一對閃鍵32，兩於容納於 ：後 對相對應之長孔33中’該門問總成係安裝於英以之： 例而言，在發證予伯諾拉（Bon〇ra)等 j内。舉 4, 995’ 430嬈.「具有經改良之閂鎖機構之可

送容器」中即揭露一種位於莢門内之婢 、° 'J 納問=並與之搭配操作’該項專利係讓：本發 人，^全文以提及之方式併入本文。為將莢門 = 門’莢門2 2係位於鄰近入口門2 6之位 ； 鍵容納於垂直向之長孔33内。位置，俾使垂直向之問 問鍵32之轉動除可將莢門自莢殼分 相對應之長孔33，使莢門與入口門因桩°肖閂鍵鎖於 替選閃鍵32，其包括複數個滾子35，。圖2A顯不— 文裝於該閂鐽之一鉑

37上’以下將有更為詳細之說明。本發明之 例包括兩對閂鍵32與長孔33，每對閂 / 1 ”胜I 操作上均完全相同。因…=2 =孔；結構上與 該等閂鍵及/或長孔其中之一，作有 ，T此僅係針對 彳一有關閂鍵及長孔、及其

第13頁 4 3 91 67 〜 五、發明說明（10) ' * --------- 相Ξ ί Ϊ J:::該兩對閃鍵及長孔均同樣適周。然而 以上之實例中’笑門可藉由-對、或兩對 ί二:：同中：若設有超過-對…及長孔，各對不必 例以i=ϊ係「位於笑門内之門問總成之較佳具體實 明之關鍵，因此分離笑門與英殼之機構並非本發 32 體實例中，閃鍵32係執行雙重之功能。問鍵 八#緊密連接/分離入口門與笑門，一方面亦可連 1爽-門與莢殼。然而’在替選具體實例中，閂鍵32 〇此，執行其中之一項功能。舉例而言，在某一此種替選 體貫例中，閂鍵3 2係根據本發明之原則而僅將莢門閂鎖 (及分離）於入口門。舉例而言，在伯諾拉等人之美國專利 ，申請案第08/998, 1 1 5號：「SMiF莢門與入口門之移除及回 復系統」中即揭露一種系統’其中之閂鍵並不提供莢門與 莢殼間之連接/分離功能，該項專利申請案係讓與本發明 之所有人’其全文以提及之方式併入本文。此外，在另一 替選具體實例中’閂鍵可能僅具有連接/分離莢門與莢殼 之功能。在此種具體實例中’可設有閂鍵3 2以外之其他機 構，用於將莢門緊密連接（及分離）於入口門，以下將有更 為詳細之說明〇 現討論本發明之較佳具體實例《以下將參照圖3之後視 圖及圖4與圖5之透視圖，說明在入d門内、用於引動閂鍵

苐U頁 43 916 7 五、發明說明（u) L2之:二ΪΪΓ1鍵32係固定於其個別之問鍵安裝總成 薄36固定安步Ϊ Γ細之說明。每一阿鍵32均具有一引動 i移尸38# 上（如圖4所示）’該等引動器36係藉由， +移杯38彼此連接。在一較佳具體 ^ 於鄰近入口門26之付署f與加品丄 ，、要將一夹置 考加以户_、 （牛〇而& ，可甴—入口處莢感測 态加以私不），一馬達4〇便將驅動一對滑 導蟫俨4fi兮道皮帶相者。滑輪44係附著於-導累幹46，邊導螺桿具有一活動架台5〇安裝1上’ =可在螺桿轉動時’ ☆導螺桿來回移動…;動架 連接於固定於引動器36上之平移桿38。如此—來？ ： 〇仏 轉動將使平移桿3δ產生平移，並使引動器36產生2達之 而轉動閃鍵32。熟知此項技藝之人士即可瞭解，，因 構及連桿可以多種不同之機構及連桿加以替代，用/之機 達之轉距傳送至引動器36，使閂鍵32因而轉動。以將馬 參考圖4與圖5，閂鍵安裝總成包括一固定安 撐塊52，m軸承54，該軸承可裝人—形〇 =承支 之孔56内。閃鍵32包括一向後延伸之軸58，該輪係σ門 動之方式支撐於軸承支撐塊52之軸承54内。一如1可轉

，裔3/同樣係沿軸5 8而安裝，並利用一銷6 〇 (舉例而I)弓I 疋於該軸。如此，閂鍵32便須隨引動器36而轉動。。固 p ^ ί女裝總成34尚包括一螺帽安裝塊62，該螺帽安裝換 不口毛文裝於軸承支撐塊52。在將引動器36固定 孕時’可在螺帽安裝塊62與軸承支撐塊52間設置—& 間’使該引動器得以沿閂鍵之轉動轴而略為平移，以下=

4391 67 五、發明說明（12) 有所說明。 閂鍵安裝總成3 4尚包括一軸向調整嫘帽6 4，該螺帽係利 用一對螺絲6 6，以可調整之方式安裝於螺帽安裝塊6 2。詳 s之’該對螺絲6 6可分別穿入與之對應之弧形長扎6 8内， 該等長孔係軸向穿過調整螺帽6 4，並伸入螺帽安裝塊上兩 對間隔設置之埋頭孔6 3之其中一對埋頭孔中。在將螺絲6 6 旋鬆後，調整螺帽64便可在長孔68所容許之範圍内轉動。 之所以設置兩對間隔設置之埋頭孔63(而非一對），係為使 調整螺帽得以作3 6 0度之調整。詳言之，若將螺絲6 6置於 第—對間隔設置之孔6 3中’則該螺帽可調整之範圍係由長 孔6 8之弧長所定義之某—轉動範圍。然而，隨後若將螺絲 6 6移除，並插入第二對間隔設置之孔6 3中，則可作進一步 之轉動調整。 m. 器36之 中央開 ?0相搭 帽64與 整螺帽 操作 則已容 器36， ϋ門上 内具有 韩5 8之 一開口 口内 。 配。因 閂鍵32 、及大 時，在 納於門 該引動 。此外 螺紋之 後段包括螺 、及螺帽安 調整螺帽内 匕，— -^q —. 間之任何才目 致相對於人 一莢門已先 閂總成之長 器則將轉動 ’根據本發 中央開口中 紋70。轴58可穿入轴 裝塊62，並容納於調 <中央開口包括螺紋 般之螺帽/螺栓設計： 對轉動亦將使該閂鍵 口門而位移。 置於鄰近入口門之位 孔3 3之内後，馬達4 〇 才目對應之閂鍵32，使 S月’閂鍵螺紋70其在 <轉動將使閂鍵3 2在 承54 、引動 整螺帽6 4之 ，可與螺紋 在調整螺 相對於該調 置、而閂鍵 將轉動引動 莢門鎖於入 調整螺帽64 轉動之同時

第16頁 43 9167 f五、發明說明（13) ^ ~ ___ 亦朝入口門之方向向後移動。閂鍵3 2將在向後位移 ^ 合長孔33之後壁，藉以拉動莢門，使之與入口門緊密接= 〇 在本發明之一較佳具體實例中，引動器3 6可轉動莢門閂 鍵之幅度約為90度。螺紋70之螺距可約為〇· ι〇〇至l 15〇英， 吋’因此’閂鍵若轉動9 0度，將使其朝入口門表面之方向_ 向後位移0. 025至0, 037英吋《螺紋70之螺距在本發明之替-選具體實例中可小於或大於0.10Q至〇·15〇英叫'。 有時，莢門與/或入口門之厚度或有不同之變化，抑或 須略微調整閂“突出於入口門前表面外之距離。為達此一 目的’可將螺絲66旋鬆’以利軸向調整螺帽64之轉動，在 此一轉動過程中’引動器3 6將防止閂鍵之轉動，使調整螺 帽64之轉動帶動問鍵作軸向之位移，藉以加大或縮小其超 出入口門前表面之幅度。閂鍵其軸向位置之可調整幅度可 藉由增、減軸向調整螺帽6 4內長孔6 8之弧長、及/或變化 螺紋7 0之螺距而加以改變。由於因螺帽與閂鍵間某一幅度 之轉動而造成之問鍵位移量相當小，因此，螺帽調整總成 可對閂鍵其超出入口門表面之位置進行微調。減少或增大 螺，紋7 0之螺距可分別使微調之動作更細或更粗。在替選具 體實例中，長孔6 8可以螺絲孔取代，以略去上述之調整功…) 能。. _ 圖6之分解透視圖顯示本發明之一替選具體實例。圖6所. 示之具體實例與圖4、圖5所示幾乎完全相同，其不同之處， 在於：圖6中之具體實例略除上述具體實例之螺帽安裝塊

第17頁 4391 67 虫-τ'帽配板7 4加以 樓塊5 2，藉以固 向後延伸之導鋼 螺帽配板7 4包括 相對應。孔8 〇之 7 8之直徑。螺帽 塊72，該等固定 ，固定於導銷之 抗安裝於導銷76 方向向前移動。 而固定於該螺帽 絲6 6可使調整螺 可將長孔6 8略去 ’並避免利甩螺 取化。詳言 ;^安裝於入 7 6，該等導 複數個孔8 0 直徑略大於 配板7 4係藉 環82係於導 後段。根據 周圍之彈簧 配板。一如 帽6 4具有可 ’而以螺絲 帽6 4進行手 五、發明說明（14) β2，而大致以一導銷塊72及一 之，導銷塊72係固定於轴承支 口門内。導銷塊72至少包括兩 銷包括環繞其周圍之彈簧78。 ’其數量及位置均係與導銷7 6 導銷7 6之直徑，但略小於彈簧 由複數個固定環82,固軼於導銷 銷7 6穿入螺帽配板7 4之孔8 0後 此一設計’螺帽配板74將可抵 78之作用力，而朝導銷塊72之 軸向調整帽6 4係藉由螺絲6 8 則述，穿入孤形長孔6 8内之螺 調整性。在此一具體實例中， 孔取代’以防止螺帽6 4之轉動 動調整。 在圖6之具體實例中，軸58係向後穿過軸承“、引動器 36之開口、及導銷塊與螺帽配板上之中央開口 ，俾使調款 螺帽64之中央開口容納該軸之螺紋，此—部份一如前述： 根據此一具體實例，導銷塊與螺帽配板除可提供以手動方 式調整問鍵其超出入口門表面之幅度外，亦提供問鍵安裝 總成之自我調整，藉以適應不同厚度之莢門與入口門，^ 為工程公差預作準備。詳言之，若莢門在閂鍵32完成轉動-之前，其貼靠於入口門之緊密程度已可滿足本發明之目的 ，則閂鍵之繼續轉動將不致使閂鍵進一步向後位移，反而

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五、發明說明（15) 將使調整螺帽6 4及螺帽配板7 4藉由壓縮彈簧7 8而朝導銷塊 72之方向向前移動。 調整螺帽64 ”角位置之調整，係控制螺帽配板以於何時 開始抵抗彈簧78之力、且朝導銷塊之方向移動之部份因素 。此外，在本發明之入口門與莢門間之理想壓縮力可藉由 改變彈箐常數及/或彈簧78其預負載之程度而加以變化。 問鍵32及容納閃鍵之長孔33最好包括平滑之表面’藉以 減少問鍵在長孔内轉動時所生成之微粒。即使有微粒產生 ，微粒亦將被留置在莢門内 境。如圖2 A所示，在本發明 設有複數個滾子3 5，安裝於 該等滾子在閂鍵向後位移時 等滾子使閂鍵在沿長孔3 7之 即使在閂鍵滾子與長孔壁間 雖然本發明之閂鍵安裝總 鍵之轉動同時帶動閂鍵本身 亦可相互獨立。在本發明之 之機構系統，俾使閂鍵3 2產 口門緊密接合。圖7A至圖7C 首先，在圖7A與圖γβ中可見 向後延伸’並穿過入口門26 之開口。此一具體實例尚包 可平移之方式安袭於入口門 58之末端；及—螺旋彈簧μ ’不致影響處理工具之内部環 之—替選具體實例中，閂鍵可 ~穿過軸58之前端之銷37上《 可與長孔37之壁面相接觸。該 壁面而轉動時不致產生微粒， 之壓縮力偏大時亦復如此。 成之—較佳具體實例係利用閂 之位移’但問鍵之位移及轉動 替選具體實例中，可採用替選 生所需之位移，並使莢門與入 顯示某一此種替選具體實例。 問鍵32之頂視圖，軸58自閂鍵 、幸由承支撐塊52、及引動器36 括—U型托架82，該托架係以 内；一墊圈84，固定附著於軸 ’圍繞轴5 8 ’且係壓縮於托架

第19頁 4391 67 五、發明說明（16) 82之一前壁88與墊圏84之間。 根據圖7A至圖7C所示之替選具體實例，在鬆弛狀態下， 墊圈84係由彈簧86向後壓’並貼靠於托架82之—後壁9〇。 在一具體實例中，托架82於一開始即藉由—已知之^移機 構而使之向前平移（亦即朝入口門2 6之方向）。舉例而言， 托架82可固定於一導桿或電磁線圈，並由該導螺桿或電磁 線圈加以驅動。此,一向前之位移使閂鍵32得以伸入笑門上 門閂總成之長孔内。在替選具體實例中’閂鍵於—開始時 即可位於入口門前方距離夠遠處，因此，平移托架82 ^不 需預先向前平移。在引動器36如前述轉動閂鍵32以便將苑 門連接至入口門之過程中（或之後），該平移托架可向後平 移。在進行此一向後平移之動作時，托架82之前壁88將對 彈簧86施力’而該彈簧則將對墊圈84施力，藉以使軸“及 閂鍵32向後移動，如此便可拉動莢門，使之更緊貼於入口 門0 在托架82向後平移之過程中之某一時刻，笑門22其貼靠 於入口門26之緊密程度將足以達成本發明之目的。^此一 時刻，阻止閂鍵32、軸58及墊圏84向後位移之力將大過彈 簧86之力，彈簣86將於此—時刻時起開始被壓縮，如圖7C 所7F °托架8 2將在彈簧8 6尚未被完全壓縮前之某—時刻， 停止向後位移。因此，根據此一替選具體實例，彈簧8 6將 產生作用’使莢門緊貼於入口門，而此一機構將可自我調 整’以適應不同厚度、不同公差之入口門與莢門。在圖6 所示之本發明具體實例中，入口門與莢門間之理想麼縮力

第20頁 4 3 916 7 五、發明說明（17) 可藉由改變彈簧常數及/或彈簧86其預負載之程度而加以 變化》

熟知此項技藝之人士即可瞭解，亦可有其他之設計’其 能使閂鍵之位移及轉動係彼此獨立。另一此種替選構造係 類似於圖7A至圖7C中之圖示，但彈簧8 6及卩形托架82則可 略去。一般而言，在此一具體實例中，軸58與閂鍵係固定 於一主動件’例如—導螺桿或電磁線圈，該導螺桿或電磁 線圈將使問鍵在英門連接至人口門之過程中（或之後）向後 位^，以便使笑門與入口門緊密連接。舉例而言，軸58可 土推；T内’而該止推轴承之安裝則可使其位移 嗲工推鲑永在：η推軸承將使軸58與閂鍵32得以轉動，但 時亦將對該轴施以-軸向荷，，以便使 人口門之過•中（或之後2^實<列，在笑門連接至 向後移動，直到笑門與入口;將驅使㈣及閃㈣ 在本發明上述之較佳且體實、:合為止。 閂總成、並將荚門連接$ Λ Η中，閂鍵32除可引動莢解 密接觸。然而，= = 機=使議入口門緊

入口門、使之緊密接合之目的他：構亦可達成拉動笑門與 4,534,389號：「用於處理積體牛^列而言’美國專利第 鎖門問」即揭露一種彈筈閂及之可接合介面之聯 用於將莢門貼靠於入口。 故缓（該項專利之圖5 )， 在另 個磁鐵 替選具體實例中（未圖示） 女裝於其前表面，該（等） ，入口門可包括一或多 礎鐵係對準莢門後表面

43 r\, 案號 88111853_S^f年 I 1月 曰 修正

五、發明說明（/你) 元件符號簡要說明 20 莢 22 門 24 莢 殼 26 入 α 門 28 處 理 工 具 30 前 表 面 3 1 後 表 面 32 閂 鍵 33 長 扎 34 閂 鍵 安 装總成 35 滾 子 36 引 動 器 37 銷 38 平 移 桿 40 馬 達 42,44 滑 輪 46 確 動 皮 帶 48 導 螺 桿 50 活 動 架 台 52 軸 承 支 撐塊 54 轴 承 56 孔 58 閂 鍵 之 幸由 60 銷 62 螺 帽 安 裝 塊 63 孔 64 軸 向 調 整 螺帽 66 螺 絲 68 長 孔 70 螺 紋 72 導 銷 塊 74 螺 帽 配 板 76 導 銷 78 彈 簧 80 孔 82 固 定 環

O:\59\59457.ptc 第22a頁 2000.12.14.023 4 3 916 7 五、發明說明（18) 上數量與之對應之磁鐵。若將莢門裝載於裝載入口，則入 口磁鐵之N-S極將分別對準莢磁鐵之S-N極，使莢門被吸引 ，並與入口門穩固接合。入口之磁鐵（或莢上之磁鐵）可以 可轉動之方式支撐於入口，以便能繞一垂直於入口門與莢 門表面之軸而轉動。若需將莢門歸位於莢，可轉動磁鐵， 使入口磁鐵之N-S極分別對準莢磁鐵之S-N極。在此一位置 _ 時，並排之磁鐵將互斥，莢門便得以歸位於莢。 以上雖已將本發明作詳細說明，但本發明並不限於上述 之具體實例。熟知此項技藝之人士可做多種不同之改變、 替換、及修改，但仍不脫離本發明之精神或範圍，本發明：G 之範圍一如後附申請專利範圍之說明與界定。

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Claims (1)

1. 43 91 67 _案號88111853 又气年iJ月 日 1¾¾月# ^充| 六、申請專利範圍 I-————3 1 . 一種將一莢門緊密固定於一入口門之系統，其係作 用於在工件傳送於該莢及一處理工具間之過程中，該莢門 自莢移開且裝載於該處理工具時，該系統包括： 一閂鍵，安裝於該入口門内，該閂鍵包括第一裝置 ，用於將該莢門連接至該入口門；及第二裝置，用於將該 莢門緊密固定於該入口門。 2. 如申請專利範圍第1項中用於將一莢門緊密固定於一 入口門之系統，該第一裝置及該第_二裝置包括該閂鍵在其 接合於該入口門之一長孔内時所產生之轉動。 3. 如申請專利範圍第1項中用於將一莢門緊密固定於一 入口門之系統，其中該第二裝置可加以調整。 4. 如申請專利範圍第1項中用於將一莢門緊密固定於一 入口門之系統，其中該第二裝置可以手動方式加以調整。 5. 如申請專利範圍第1項中用於將一莢門緊密固定於一 入口門之系統，其中該第二裝置可自我調整。

   O:\59\59457.ptc 第1頁 2000. 12. 14. 024