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Die vorliegende Erfindung betrifft
(i) ein Verfahren zur Herstellung eines Gegenstands, der eine Polymerbeschichtung
aufweist, die auf einer mikrostrukturierten Oberfläche angeordnet
ist, und (ii) einen Gegenstand, der eine mikrostrukturierte Oberfläche besitzt
und der eine Profil erhaltende Polymerbeschichtung aufweist, die
auf der Oberfläche
angeordnet ist.
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Zur Beschichtung von Substraten mit
dünnen
Schichten aus polymeren Materialien sind zahlreiche Verfahren bekannt.
Im Allgemeinen können
die bekannten Verfahren hauptsächlich
in drei Gruppen eingeteilt werden, nämlich (1) Flüssigkeitsbeschichtungsverfahren,
(2) Gasphasenbeschichtungsverfahren und (3) Monomerdampfbeschichtungsverfahren.
Wie nachstehend erläutert
sind einige dieser Verfahren zur Beschichtung von Gegenständen verwendet
worden, die sehr kleine Oberflächenmerkmalsprofile
aufweisen.
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Flüssigkeitsbeschichtungsverfahren
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Flüssigkeitsbeschichtungsverfahren
beinhalten im Allgemeinen das Auftragen einer Lösung oder Dispersion eines
Polymers auf ein Substrat oder beinhalten das Auftragen eines flüssigen reaktiven
Materials auf das Substrat. Auf das Auftragen von Polymer oder Präpolymer
folgt im Allgemeinen das Verdampfen des Lösungsmittels (im Fall von Materialien,
die aus einer Lösung
oder Dispersion aufgetragen werden) und/oder das Härten oder
Aushärten
zu einer Polymerbeschichtung. Flüssigkeitsbeschichtungsverfahren
schließen
die Verfahren ein, die gemeinhin als Rakel-, Vorstreich-, Spalt-,
Gleit-, Düsen-,
Walzen- oder Tiefdruckbeschichtung bekannt
sind. Die Beschichtungsqualität
hängt im
Allgemeinen von der Einheitlichkeit des Gemischs, der Qualität der abgeschiedenen
Flüssigkeitsschicht
und dem zum Trocknen oder Härten
der Flüssigkeitsschicht
verwendeten Verfahren ab. Wenn ein Lösungsmittel verwendet wird,
kann es aus dem Gemisch verdampft werden, so dass sich eine feste
Beschichtung bildet. Der Schritt des Verdampfens erfordert jedoch üblicherweise beträchtliche
Energie und Verfahrenszeit, um zu gewährleisten, dass das Lösungsmittel
umweltfreundlich entsorgt wird. Während des Verdampfungsschritts
können örtlich begrenzte
Faktoren – welche
Viskosität,
Oberflächenspannung,
Einheitlichkeit der Zusammensetzung und Diffusionskoeffizienten
einschließen – die Qualität der Endpolymerbeschichtung
beeinflussen.
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Flüssigkeitsbeschichtungsverfahren
können
verwendet werden, um Materialien auf Substrate aufzutragen, die
kleine Oberflächenmerkmalsprofile
aufweisen. Beispielsweise offenbart U.S. Pat. Nr. 5,812,317 das Auftragen
einer Lösung
aus Präpolymerkomponenten
und einem Silanhaftvermittler auf die hervorstehenden Teile von
teilweise eingebetteten Mikrokugeln. Und U.S. Pat. Nr. 4,648,932
offenbart das Extrudieren eines flüssigen Harzes auf teilweise
eingebettete Mikrokugeln. Als weiteres Beispiel offenbart U.S. Pat.
Nr. 5,674,592 die Bildung einer selbstorganisierenden Monoschicht-Beschichtung
aus Octadecylmercaptan und einem teilfluorierten Mercaptan (nämlich C8F17(CH2)11SH) aus einem Lösungsmittel auf einer Oberfläche, die
kleine Oberflächenmerkmalsprofile
aufweist.
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Gasphasenbeschichtungsverfahren
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Gasphasenbeschichtungsverfahren schließen im Allgemeinen
die Verfahren ein, die allgemein als physikalische Gasphasenabscheidung
(physical vapor deposition: PVD), chemische Gasphasenabscheidung (chemical
vapor deposition: CVD) und Plasmaabscheidung bekannt sind. Diese
Verfahren schließen üblicherweise
die Erzeugung eines Gasphasenbeschichtungsmaterials ein, das auf
einer Substratoberfläche
kondensiert oder damit reagiert. Die Verfahren sind typischerweise
zur Beschichtung von Filmen, Folien und Papieren in Rollenform ebenso
wie zur Beschichtung von dreidimensionalen Objekten geeignet. Verschiedene
Gasphasenabscheidungsverfahren werden in „Thin Films: Film Formation
Techniques", Encyclopedia of Chemical Technology, 4. Aufl., Bd.
23 (New York, 1997), S. 1040-76, beschrieben.
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PVD ist ein Vakuumverfahren, bei
dem das Beschichtungsmaterial durch Verdampfen, durch Sublimation
oder durch Beschuss mit energiereichen Ionen aus einem Plasma (Sputtern)
verdampft wird. Das verdampfte Material kondensiert auf dem Substrat
zu einem festen Film. Das abgeschiedene Material ist jedoch im Allgemeinen
metallischer oder keramischer Natur (siehe Encyclopedia of Chemical
Technology, a. a. 0.). U.S. Pat. Nr. 5,342,477 offenbart die Verwendung
eines PVD-Verfahrens zur Abscheidung eines Metalls auf einem Substrat,
das kleine Oberflächenmerkmalsprofile
aufweist. Ein PVD-Verfahren wurde auch verwendet, um organische
Materialien, wie Perylenfarbstoffmoleküle, zu sublimieren und auf
Substrate abzuscheiden, die kleine Oberflächenmerkmale aufweisen, wie
in U.S. Pat. Nr. 5,879,828 offenbart.
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CVD-Verfahren schließen die
Umsetzung von zwei oder mehreren Gasphasenspezies (Vorstufen) zur Bildung
fester metallischer und/oder keramischer Beschichtungen auf einer Oberfläche ein
(siehe Encyclopedia of Chemical Technology, a. a. 0.). Bei einem
Hochtemperatur-CVD-Verfahren erfolgen die Reaktionen auf Oberflächen, die
auf 300 °C
bis 1000°C
oder höher
erhitzt werden können,
und folglich sind die Substrate auf Materialien begrenzt, die verhältnismäßig hohen
Temperaturen widerstehen können.
Bei einem Plasma verstärkten
CVD-Verfahren werden die Reaktionen durch ein Plasma angeregt und
deshalb kann die Substrattemperatur beträchtlich niedriger sein. CVD-Verarbeitung
kann verwendet werden, um anorganische Beschichtungen auf strukturierten
Oberflächen
zu erzeugen. Beispielsweise lehrt U.S. Pat. Nr. 5,559,634 die Verwendung
von CVD-Verarbeitung,
um dünne,
transparente Beschichtungen von keramischen Materialien auf strukturierten
Oberflächen
für optische
Anwendungen zu erzeugen.
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Plasmaabscheidung, auch als Plasmapolymerisation
bekannt, entspricht der durch Plasma erhöhten CVD, ausgenommen, dass
die Vorstufenmaterialien und die abgeschiedenen Beschichtungen typischerweise organischer
Natur sind. Das Plasma bricht die Vorstufenmoleküle merklich zu einer Verteilung
von molekularen Fragmenten und Atomen auf, die willkürlich auf
einer Oberfläche
rekombinieren, wodurch eine feste Beschichtung erzeugt wird (siehe
Encyclopedia of Chemical Technology, a. a. 0.). Ein Charakteristikum
einer Plasma abgeschiedenen Beschichtung ist das Vorhandensein eines
weiten Bereichs an funktionellen Gruppen, einschließlich vieler
Typen von funktionellen Gruppen, die in den Vorstufenmolekülen nicht
enthalten sind. Plasma abgeschiedenen Beschichtungen fehlt im Allgemeinen
die Struktur mit sich wiederholenden Einheiten herkömmlicher
Polymere und sie gleichen im Allgemeinen nicht den linearen, verzweigten
oder herkömmlichen vernetzten
Polymeren und Copolymeren. Plasmaabscheidungsverfahren können zur
Beschichtung strukturierter Oberflächen verwendet werden. Beispielsweise
lehrt U.S. Pat. Nr. 5,116,460 die Verwendung von Plasmaabscheidung
zur Erzeugung von Beschichtungen aus Plasma polymerisierten Fluorkohlenstoffgasen
auf geätzten
Siliziumdioxidoberflächen
während
der Herstellung von Halbleitervorrichtungen.
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Monomerdampfbeschichtungsverfahren
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Monomerdampfbeschichtungsverfahren
können
als Hybrid aus den Flüssigkeits-
und Gasphasenbeschichtungsverfahren beschrieben werden. Monomerdampfbeschichtungsverfahren
schließen
im Allgemeinen das Kondensieren einer Flüssigkeitsbeschichtung aus der
Gasphase und nachfolgend deren Verfestigen oder Härten auf
dem Substrat ein. Die Flüssigkeitsbeschichtung
kann im Allgemeinen mit hoher Einheitlichkeit abgeschieden werden
und kann rasch zu einer festen Beschichtung von hoher Qualität polymerisiert
werden. Das Beschichtungsmaterial besteht oft aus durch Strahlung
härtbaren
Monomeren. Elektronenstrahl- oder ultraviolette Strahlung wird häufig zum
Härten
verwendet (siehe beispielsweise U.S. Pat. Nr. 5,395,644). Die flüssige Natur
der anfänglichen
Abscheidung macht die Monomerdampfbeschichtungen im Allgemeinen
glatter als das Substrat. Diese Beschichtungen können deshalb als Glättungsschicht
verwendet werden, um die Rauheit eines Substrats zu verringern (siehe
beispielsweise J. D. Affinito et al., „Polymer/Polymer, Polymer/Oxide,
and Polymer/Metal Vacuum Deposited Interference Filters", Proceedings
of the 10th International Conference on Vacuum
Web Coating, S. 207-20 (1996)).
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Wie vorstehend beschrieben, ermöglicht die
derzeitige Technologie die Herstellung von Beschichtungen, die Metall-,
keramische, organische Molekül-
oder Plasma polymerisierte Schichten aufweisen. Auch wenn die bekannte
Technologie die Auftragung bestimmter Beschichtungen auf bestimmte
Substrate ermöglicht,
sind die Verfahren im Allgemeinen im Umfang der Materialien, die
abgeschieden werden können,
und in der Kontrollierbarkeit der chemischen Zusammensetzung der
Beschichtungen begrenzt. In der Tat ist von diesen Verfahren im
Allgemeinen nicht bekannt, dass sie zur Herstellung gehärteter polymerer
Beschichtungen auf mikrostrukturierten Oberflächen geeignet sind, die eine
kontrollierte Chemie aufweisen und/oder das mikrostrukturierte Profil
erhalten. Auch wenn die vorstehend beschriebenen Verfahren im Allgemeinen
zur Beschichtung von ebenen Oberflächen oder Substraten mit makroskopischen
Konturen geeignet sind, sind sie wegen ihrer Unfähigkeit, die physikalische
Mikrostruktur zu erhalten, nicht besonders zur Beschichtung von Substraten
geeignet, die mikrostrukturierte Profile aufweisen.
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Einige Substrate besitzen eine spezifische
Oberflächenmikrostruktur
statt einer glatten, ebenen Oberfläche. Mikrostrukturierte Oberflächen werden üblicherweise
eingesetzt, um dem Substrat bestimmte nützliche Eigenschaften zu verleihen,
wie optische, mechanische, physikalische, biologische oder elektrische
Eigenschaften. In vielen Situationen ist es wünschenswert, die mikrostrukturierte
Oberfläche
zu beschichten, um die Substrateigenschaften zu modifizieren, während die
Vorteile des darunter liegenden mikrostrukturierten Oberflächenprofils
erhalten bleiben. Diese Beschichtungen sind deshalb im Allgemeinen
relativ zu den charakteristischen Abmessungen der mikrostrukturierten
Oberfläche
dünn. Von
den vorstehend beschriebenen Dünnschichtbeschichtungsverfahren
können
wenige einheitliche dünne
Beschichtungen auf mikrostrukturierten Oberflächen so abscheiden, dass das
darunter liegende physikalische mikrostrukturierte Oberflächenprofil
erhalten bleibt.
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Die vorliegende Erfindung stellt
ein neues Verfahren zur Beschichtung einer mikrostrukturierten Oberfläche mit
einem Polymer bereit. Das Verfahren umfasst die Schritte:
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- a) Bereitstellen eines Substrats mit einer
mikrostrukturierten Oberfläche;
- b) Erzeugen von Präpolymerdampf
durch Verdampfen einer flüssigen
Zusammensetzung, die ein Monomer oder ein Oligomer enthält;
- c) Kondensieren des Präpolymerdampfs
auf die mikrostrukturierte Oberfläche zu einer flüssigen Beschichtung
einer härtbaren
Vorstufe; und
- d) Härten
der Vorstufenbeschichtung, die auf der mikrostrukturierten Oberfläche abgeschieden
wurde,
wobei die Polymerbeschichtung eine Dicke von nicht mehr
als etwa 20% der kleinsten betrachteten charakteristischen Abmessung
der mikrostrukturierten Oberfläche
aufweist.
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Dieses Verfahren unterschidet sich
von bekannten Verfahren zur Beschichtung mikrostrukturierter Oberflächen darin,
dass eine verdampfte flüssige
Zusammensetzung auf einer mikrostrukturierten Oberfläche kondensiert
wird, um eine härtbare
Beschichtung bereitzustellen, die auf der mikrostrukturierten Oberfläche gehärtet wird.
Das Verfahren kann polymere Beschichtungen herstellen, die das mikrostrukturierte
Profil des darunter liegenden Substrats erhalten. Bekannte Verfahren
zur Beschichtung mikrostrukturierter Gegenstände schlossen die Beschichtung
reaktiver flüssiger
Materialien aus einer Lösung
oder Dispersion, das Sublimieren ganzer Moleküle oder die Abscheidung von
Atomen und/oder molekularen Fragmenten ein. Von diesen bekannten
Verfahren war nicht bekannt, dass sie Polymerbeschichtungen bereitstellten,
die das Profil des darunter liegenden mikrostrukturierten Substrats
erhielten und die eine kontrollierte chemische Zusammensetzung aufwiesen.
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Ein Produkt, das mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
hergestellt werden kann, unterschiedet sich so von bekannten mikrostrukturierten
Gegenständen.
Die vorliegende Erfindung stellt demgemäß auch einen Gegenstand bereit,
der eine mikrostrukturierte Oberfläche aufweist, die eine Profil
erhaltende Polymerbeschichtung aufweist, die auf der mikrostrukturierten
Oberfläche
abgeschieden wurde. Die Polymerbeschichtung erhält nicht nur das Profil der
mikrostrukturierten Oberfläche,
sondern sie kontrolliert auch die chemische Zusammensetzung. Deshalb
weist die Polymerbeschichtung auch eine kontrollierte chemische
Zusammensetzung auf. In einer anderen Ausführungsform kann ein mikrostrukturiertes
Substrat so beschichtet werden, dass es mehrfache, Profil erhaltende
Beschichtungen aufweist, wodurch eine mehrschichtige Beschichtung
erzeugt wird.
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Die vorliegende Erfindung stellt
die Fähigkeit
zur Beschichtung eines weiten Bereichs von Polymer bildenden Materialien
auf mikrostrukturierten Oberflächen
bereit, wodurch sich Beschichtungen ergeben, die das mikrostrukturierte
Profil erhalten und die kontrollierte chemische Zusammensetzungen
aufweisen. Dies wiederum ermöglicht
die Veränderung
der Oberflächeneigenschaften
des mikrostrukturierten Substrats (d. h. Austausch gegen die oder Verbesserung
mit den Oberflächeneigenschaften
der Beschichtung), ohne die strukturellen Eigenschaften der ursprünglichen
Oberfläche
nachteilig zu beeinflussen. Außerdem
können
mehrfache Profil erhaltende Beschichtungen aus gleichen oder verschiedenen
Materialien abgeschieden werden, um weiter eine oder mehrere Oberflächeneigenschaften
zu beeinflussen, wie optische Eigenschaften, elektrische Eigenschaften,
Trenneigenschaften, biologische Eigenschaften und andere solche
Eigenschaften, ohne das Profil des mikrostrukturierten Substrats
nachteilig zu beeinflussen.
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Gewünschte Herstellungsverfahren
ebenso wie Endanwendungen können
den Bereich an Materialien begrenzen, der zur Erzeugung mikrostrukturierter
Substrate verwendet werden kann. Auch wenn mikrostrukturierte Gegenstände leicht
so hergestellt werden können,
dass sich gewünschte
mikrostrukturelle Eigenschaften ergeben, so kann die Oberfläche des
mikrostrukturierten Gegenstands unerwünschte (oder suboptimale) physikalische,
chemische, elektrische, optische, biologische Eigenschaften oder
andere Oberflächeneigenschaften
aufweisen.
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Die vorliegende Erfindung kann mikrostrukturierte
Substrate mit einer breiten Vielzahl von Oberflächeneigenschaften bereitstellen,
die ansonsten mit herkömmlichen
Mitteln nicht erzielbar sind, während
das mikrostrukturierte Profil des Substrats immer noch erhalten
bleibt. Indem eine Profil erhaltende Polymerbeschichtung auf einer
mikrostrukturierten Oberfläche
gemäß der vorliegenden
Erfindung abgeschieden wird, können die
strukturellen Eigenschaften des mikrostrukturierten Substrats erhalten
bleiben, während
eine oder mehrere der verschiedenen physikalischen, optischen oder
chemischen Eigenschaften der mikrostrukturierten Oberfläche verändert oder
verbessert werden. Die erfindungsgemäßen, Profil erhaltenden Polymerbeschichtungen weisen
auch eine kontrollierte chemische Zusammensetzung auf, was dabei
hilft, die Einheitlichkeit der Oberflächeneigenschaften über gewünschten
Substratbereichen zu erreichen und zu erhalten.
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Die vorstehenden und weitere Vorteile
der Erfindung werden vollständiger
in den Zeichnungen und der ausführlichen
Beschreibung dieser Erfindung gezeigt und beschrieben. Es ist jedoch
klar, dass die Beschreibung und die Zeichnungen Veranschaulichungszwecken
dienen und nicht so gelesen werden sollten, dass sie den Umfang
der Erfindung ungebührlich
begrenzen.
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Wie in diesem Dokument verwendet,
haben die folgenden Begriffe die folgenden Definitionen:
„Kondensieren"
bedeutet das Ansammeln von Gasphasenmaterial auf einer Oberfläche, so dass
das Material in flüssigem
oder festem Zustand auf der Oberfläche liegt.
„Kontrollierte
chemische Zusammensetzung" definiert eine Polymerbeschichtung, die
eine vorgegebene lokale chemische Zusammensetzung aufweist, gekennzeichnet
dadurch, dass Monomereinheiten beispielsweise durch Additions-,
Kondensations- und/oder Ringöffnungsreaktionen
verknüpft
sind, und deren chemische Zusammensetzung über laterale Entfernungen,
die wenigstens mehreren Vielfachen der mittleren Beschichtungsdicke
gleich sind, vorgegeben ist, wobei die folgenden Bedeutungen zugeschrieben
werden: „vorgegeben"
bedeutet, dass es bekannt sein kann, bevor die Beschichtung erzeugt
wird; „lateral"
ist definiert durch alle Richtungen senkrecht zur Richtung der Dicke;
und die „Richtung
der Dicke" ist für
jede gegebene Position auf der Beschichtung als die Richtung senkrecht
zum darunter liegenden Oberflächenprofil
an dieser Position definiert.
„Härten" bedeutet ein Verfahren,
um die Verknüpfung
der Monomer- und/oder Oligomereinheiten zu einem Polymer zu induzieren.
„Merkmal"
bedeutet, wenn es zur Beschreibung einer Oberfläche verwendet wird, eine Struktur,
wie einen Pfosten, Steg, Spitze, Teil einer Mikrokugel oder ein
anderes derartiges hervorstehendes Teil, das sich über angrenzende
Teile der Oberfläche
erhebt, oder eine Struktur, wie eine Rille, Kanal, Tal, Trog, Kerbe,
Loch oder eine andere derartige Vertiefung, die sich unterhalb angrenzender
Teile der Oberfläche
erstreckt. Die „Größe" oder „Abmessung"
eines Merkmals schließt
seine charakteristische Breite, Tiefe, Höhe oder Länge ein. Von den verschiedenen
Abmessungen in einem mikrostrukturierten Oberflächenprofil gibt die „kleinste
betrachtete charakteristische Abmessung" die kleinste Abmessung
des mikrostrukturierten Profils an, die von einer Profil erhaltenden
Polymerbeschichtung der vorliegenden Erfindung erhalten werden soll.
„Mikrostrukturiertes
Substrat" bedeutet ein Substrat, das mindestens eine Oberfläche aufweist,
die eine beabsichtige Vielzahl von Merkmalen aufweist, die ein Profil
definieren, das durch lokale Minima und Maxima gekennzeichnet ist,
wobei der Abstand zwischen benachbarten lokalen Minima und/oder
Maxima etwa 1 μm
bis etwa 1000 μm
beträgt.
Der Abstand zwischen zwei Punkten auf der Oberfläche bezieht sich auf den Abstand zwischen
den Punkten in jeder betrachteten Richtung.
„Monomer"
bezieht sich auf ein einzelnes Molekül aus einer Einheit, das sich
mit sich selbst oder mit anderen Monomeren oder Oligomeren zu anderen
Oligomeren oder Polymeren kombinieren kann.
„Oligomer"
bezieht sich auf eine Verbindung, die eine Kombination aus 2 oder
mehreren Monomeren ist, die aber noch nicht groß genug ist, um sich als Polymer
zu qualifizieren.
„Polymer"
bezieht sich auf ein organisches Molekül, das Monomer- und/oder Oligomereinheiten,
die aus mehreren Kohlenstoffatomen bestehen, aufweist, die regelmäßig oder
unregelmäßig angeordnet
sind. Erfindungsgemäß hergestellte
Polymerbeschichtungen werden hergestellt, indem kondensierte Monomere
und/oder Oligomere verknüpft
werden, so dass mindestens ein Teil der chemischen Struktur der
Polymerbeschichtung sich wiederholende Einheiten aufweist.
„Präpolymer"
schließt
Monomere, Oligomere und Gemische oder Kombinationen davon ein, die
physikalisch auf einer Oberfläche
kondensiert und zu einer Polymerbeschichtung verknüpft werden
können.
„Vorstufenbeschichtung"
bedeutet eine härtbare
Beschichtung, die eine Polymerbeschichtung wird, wenn sie gehärtet ist.
„Profil
erhaltende Beschichtung" bedeutet eine Beschichtung auf einer Oberfläche, wo
das äußere Profil
der Beschichtung bei Merkmalsabmessungen größer als etwa 0,5 μm im Wesentlichen
mit dem Profil der darunter liegenden Oberfläche übereinstimmt und bei Merkmalsabmessungen
kleiner als etwa 0,5 μm
das Profil der darunter liegenden Oberfläche glättet; wobei „im Wesentlichen übereinstimmt"
Abweichungen vom Oberflächenprofil
von nicht mehr als etwa 15% einschließt, das heißt, jede Abmessung (wie Länge, Breite
und Höhe) des
Oberflächenprofils
weicht nach der Beschichtung um nicht mehr als etwa 15% von der
entsprechenden Abmessung vor der Beschichtung ab. Bei Profil erhaltenden
Beschichtungen, die Mehrschichtstapel einschließen, ist wenigstens eine Schicht
des Mehrschichtstapels eine Profil erhaltende Beschichtung.
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Wenn „Dampf" verwendet wird, um
die Begriffe „Monomer", „Oligomer"
oder „Präpolymer"
zu modifizieren, bezieht es sich auf Monomer-, Oligomer- oder Präpolymermoleküle in der
Gasphase.
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1 ist
eine schematische Darstellung eines Beschichtungsverfahrens, das
in der vorliegenden Erfindung verwendbar ist.
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2 ist
eine schematische Darstellung eines Gegenstands 10, der
ein mikrostrukturiertes Substrat 12 einschließt, das
eine erfindungsgemäße Profil
erhaltende Beschichtung 16 aufweist.
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3 ist
eine schematische Darstellung eines Gegenstands 20, der
ein mikrostrukturiertes Substrat 22 einschließt, das
eine erfindungsgemäße Profil
erhaltende Beschichtung 26 aufweist.
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4 ist
eine schematische Darstellung eines Gegenstands 30, der
ein mikrostrukturiertes Substrat 32 einschließt, das
eine erfindungsgemäße Profil
erhaltende Beschichtung 34 aufweist:
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5 ist
eine Querschnittsansicht eines Teils eines retroreflektierenden
Gegenstands 40, der eine erfindungsgemäße Profil erhaltende Beschichtung 34 aufweist.
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6 ist
eine vergrößerte Ansicht
eines Teils des retroreflektierenden Gegenstands, wie durch Bereich 6 in 5 angezeigt.
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7 ist
eine digitale Reproduktion einer Rasterelektronenmikrografie, die
einen Teil eines erfindungsgemäßen beschichteten
mikrostrukturierten Substrats 52 im Querschnitt zeigt.
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8 ist
eine digitale Reproduktion einer Rasterelektronenmikrografie, die
einen Teil eines erfindungsgemäßen beschichteten
mikrostruktwierten Substrats 62 im Querschnitt zeigt.
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1 zeigt
ein Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten beschichteten
Gegenstands. Im Allgemeinen kann ein Ausgangsmaterial eines Präpolymers
verdampft, physikalisch auf einem mikrostrukturierten Substrat kondensiert
und zu einer Polymerbeschichtung auf den Mikrostrukturelementen
des Substrats gehärtet
werden. Wie ausführlicher
in diesem Dokument erläutert,
kann die Beschichtung erzeugt werden, um das Profil des mikrostrukturierten
Substrats zu erhalten.
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Das in 1 gezeigte
Beschichtungsverfahren kann bei Atmosphärendruck, wobei der Beschichtungsbereich
gegebenenfalls in einer Kammer 118 eingeschlossen ist (z.
B. um eine saubere Umgebung bereitzustellen, um eine inerte Atmosphäre bereitzustellen
oder aus anderen erwünschten
Gründen),
oder bei vermindertem Druck, wobei Kammer 118 eine Vakuumkammer
ist, durchgeführt
werden. Das Beschichtungsmaterial 100, das in Form eines
flüssigen
Monomers oder Präpolymers
zugeführt
wird, kann über
Pumpe 104 in den Verdampfer 102 abgemessen werden.
Wie nachstehend ausführlich
beschrieben, kann das Beschichtungsmaterial mit einem von mehreren
Verfahren verdampft werden, einschließlich Flashverdampfen und Trägergaskollisionsverdampfen.
Vorzugsweise kann das Beschichtungsmaterial durch die optionale
Düse 122 zu feinen
Tröpfchen
zerstäubt
werden, wobei die Tröpfchen
nachfolgend im Verdampfer 102 verdampft werden. Gegebenenfalls
kann ein Trägergas 106 verwendet
werden, um das Beschichtungsmaterial zu zerstäuben und die Tröpfchen durch
die Düse 122 in
den Verdampfer 102 zu lenken. Das Verdampfen des flüssigen Beschichtungsmaterials
oder der Tröpfchen
des flüssigen
Beschichtungsmaterials kann durch Kontakt mit den erhitzten Wänden des
Verdampfers 102, Kontakt mit dem optionalen Trägergas 106 (gegebenenfalls
erhitzt durch Heizung 108) oder Kontakt mit einer anderen
erhitzten Oberfläche
erfolgen. Jeder geeignete Arbeitsschritt zum Verdampfen des flüssigen Beschichtungsmaterial
wird zur Verwendung in dieser Erfindung in Betracht gezogen.
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Nach dem Verdampfen kann das Beschichtungsmaterial 100 durch
eine Beschichtungsdüse 110 und auf
eine mikrostrukturierte Oberfläche 111 von
Substrat 112 gelenkt werden. Eine Maske (nicht gezeigt)
kann gegebenenfalls zwischen die Beschichtungsdüse 110 und das Substrat 112 platziert
werden, um ausgewählte Teile
der Substratoberfläche 111 zu
beschichten. Beispielsweise können
ausgewählte
Teile des Substrats beschichtet werden, so dass sich Zeichen, Ziffern
oder andere Aufdrucke auf dem Substrat ergeben oder sich Gebiete
auf dem Substrat ergeben, die unterschiedliche Eigenschaften aufweisen,
wie Färbung.
Gegebenenfalls kann die mikrostrukturierte Substratoberfläche 111 unter
Verwendung einer elektrischen Entladungsquelle 120 vorbehandelt
werden, wie eine Glimmentladungsquelle, Dunkelentladungsquelle,
Koronaentladungsquelle oder dergleichen. Der Vorbehandlungsschritt
wird gegebenenfalls durchgeführt,
um die Oberflächenchemie zu
modifizieren, beispielsweise um die Haftung des Beschichtungsmaterials
am Substrat zu verbessern oder für
andere derartige Zwecke.
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Das Substrat 112 wird vorzugsweise
auf einer Temperatur von oder unter der Kondensationstemperatur
des Monomer- oder Präpolymerdampfes
gehalten, der aus der Beschichtungsdüse 110 austritt. Das
Substrat 112 kann auf der Oberfläche der Trommel 114 platziert
werden oder andersartig in kurzzeitige Verbindung damit gebracht
werden. Die Trommel 114 ermöglicht, dass sich das Substrat 112 mit
einer ausgewählten
Geschwindigkeit an der Beschichtungsdüse 1,10 vorbei
bewegt, wodurch die Beschichtungsdicke gesteuert wird. Die Trommel 114 kann
auch auf einer geeigneten Grundtemperatur gehalten werden, um das
Substrat 112 auf oder unter der Kondensationstemperatur
des Präpolymerdampfes
zu halten.
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Nachdem das Beschichtungsmaterial
auf die mikrostrukturierte Substratoberfläche 111 aufgetragen wurde,
kann es verfestigt werden. Bei Beschichtungsmaterialien, die durch
Strahlung härtbare
oder durch Wärme
härtbare
Monomere enthalten, kann stromabwärts von der Beschichtungsdüse 110 in
Drehrichtung der Trommel (angezeigt durch Pfeil 124) eine Härtungsquelle 116 bereitgestellt
werden. Jede geeignete Härtungsquelle
wird von dieser Erfindung in Betracht gezogen, einschließlich Elektronenstrahlquellen,
Ultraviolettlampen, elektrische Entladungsquellen, Wärmelampen, Öfen, Trockner
und dergleichen.
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Vorrichtungen, die zur Durchführung verschiedener
Gesichtspunkte des in 1 veranschaulichten Verfahrens
geeignet sind, werden in den internationalen Anmeldungen US 98/24230
(entspricht der U.S. Patentanmeldung 08/980,947) und US 98/22953
(entspricht der U.S. Patentanmeldung 08/980,948) und in den U.S.
Pat. Nm. 4,722,515; 4,842,893; 4,954,371; 5,097,800 und 5,395,644
beschrieben. Insbesondere ist eine Vorrichtung, die zur Durchführung bestimmter
Gesichtspunkte des in 1 veranschaulichten
Verfahrens unter Vakuumbedingungen geeignet ist, auf individuell
angefertigter Basis im Handel von Delta V Technologies, Inc, Tucson,
AZ, erhältlich.
Vorrichtungen und Teile von Vorrichtungen, die zur Durchführung dieser
und anderer Gesichtspunkte des in 1 veranschaulichten
Verfahrens geeignet sind, werden ausführlicher in diesem Dokument
beschrieben.
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Beispielhafte Monomere und Oligomere,
die zur Herstellung Profil erhaltender Polymerbeschichtungen geeignet
sind, werden ausführlicher
in der folgenden Erläuterung
beschrieben. Kurz gesagt schließen
geeignete Monomere und Oligomere Acrylate, Methacrylate, Acrylamide,
Methacrylamide, Vinylether, Maleate, Cinnamate, Styrole, Olefine,
Vinyle, Epoxide, Silane, Melamine, hydroxyfunktionelle Monomere
und aminofunktionelle Monomere ein. Geeignete Monomere und Oligomere
können
mehr als eine reaktive Gruppe aufweisen und diese reaktiven Gruppen
können
am selben Molekül
unterschiedlich funktionell sein. Solche gemischten Präpolymere
werden typischerweise verwendet, damit sich in der gehärteten Endbeschichtung
ein breiter Bereich an physikalischen, chemischen, mechanischen,
biologischen und optischen Eigenschaften ergibt. Es kann auch nützlich sein,
reaktive Materialien aus der Dampfphase auf ein Substrat zu beschichten, das
bereits chemisch reaktive Spezies auf seiner Oberfläche aufweist,
wobei Beispiele für
solche reaktive Spezies Monomere, Oligomere, Initiatoren, Katalysatoren,
Wasser oder reaktive Gruppen sind, wie Hydroxy, Carbonsäure, Isocyanat,
Acrylat, Methacrylat, Vinyl, Epoxy, Silyl, Styryl, Amino, Melamine
und Aldehyde. Diese Reaktionen können
thermisch oder durch Strahlungshärtung
mit Initiatoren und Katalysatoren, wie es zu der Chemie passt, oder
in einigen Fällen
ohne Initiatoren oder Katalysatoren, gestartet werden. Wenn mehr
als ein Präpolymerausgangsmaterial
verwendet wird, können
die Bestandteile zusammen verdampft und abgeschieden werden oder
sie können
aus getrennten Verdampfungsquellen verdampft werden.
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Ein bevorzugtes Abscheidungsverfahren
zur Herstellung einer Polymerbeschichtung auf einer mikrostrukturierten
Oberfläche
gemäß der vorliegenden
Erfindung schließt
den Schritt der Monomerdampfabscheidung ein. Die Monomerdampfabscheidung
beinhaltet (1) das Verdampfen eines Monomer- oder anderen Präpolymermaterials,
(2) das Kondensieren des Materials auf einem mikrostrukturierten
Substrat und (3) das Härten
des kondensierten Materials auf dem Substrat. Wenn das Material
auf dem Substrat kondensiert ist, liegt es vorzugsweise in flüssiger Form
vor, die es ermöglicht,
dass sich die Beschichtung an das Profil der mikrostrukturierten
Oberfläche
anpasst und dieses erhält
und die Oberflächenrauheit
des Substrats glättet,
die kleiner als die Mikrostrukturelemente ist. Das Härten des
flüssigen
Präpolymers
auf dem Substrat härtet
das Material. Mehrfache Schichten des gleichen oder verschiedenen
Materials können
wiederholt abgeschieden und gehärtet
werden, wodurch sich eine Reihe von Beschichtungen in einem Mehrschichtstapel
ergibt, wobei eine oder mehrere dieser Schichten eine Profil erhaltende
Polymerbeschichtung sein kann, die das mikrostrukturierte Profil
der Oberfläche
erhält,
auf der sie abgeschieden wurde. In einer anderen Ausführungsform
können andere
Abscheidungsverfahren zum Abscheiden anderer Materialien verwendet
werden, wie Metalle oder andere anorganische Stoffe (z. B. Oxide,
Nitride, Sulfide usw.), bevor oder nachdem eine oder mehrere Polymerschichten
abgeschieden wurden oder zwischen getrennte Polymerschichten oder
Mehrschichtstapeln mit einer oder mehreren Profil erhaltenden Schicht(en).
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Das Verdampfen des Beschichtungsmaterials
zu einem Monomer- oder Präpolymerdampfstrom
kann auf eine Vielzahl von Arten durchgeführt werden und jedes geeignete
Verfahren zum Verdampfen des Präpolymerbeschichtungsmaterials
wird von der vorliegenden Erfindung in Betracht gezogen. Vorzugsweise
führt das
Verdampfen des Beschichtungsmaterials zu Molekülen oder Clustern von Molekülen des
Beschichtungsmaterials, die zu klein sind, um das sichtbare Licht
zu streuen. Also kann vorzugsweise keine sichtbare Streuung vom
bloßen
Auge wahrgenommen werden, wenn sichtbares Laserlicht durch das verdampfte
Beschichtungsmaterial gelenkt wird. Ein beispielhaftes Verfahren
ist Flashverdampfen, wobei ein flüssiges Monomer eines durch
Strahlung härtbaren
Materials in einer beheizten Kammer oder einem Rohr zu kleinen Tröpfchen zerstäubt wird,
die Durchmesser von weniger als einem μm bis zu einigen Zehn μm aufweisen.
Das Rohr oder die Kammer ist heiß genug, um die Tröpfchen zu
verdampfen, aber nicht so heiß,
dass die Monomertröpfchen beim
Kontakt gecrackt oder polymerisiert werden. Beispiele für Flashverdampfungsverfahren
werden in den U.S. Pat. Nrn. 4,722,515; 4,696,719; 4,842,893; 4,954,371;
5,097,800 und 5,395,644 beschrieben.
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Ein anderes bevorzugtes Verfahren
zum Verdampfen des Beschichtungsmaterial zu einem Monomer- oder
Präpolymerdampfstrom
ist ein Trägergaskollisionsverfahren,
wie in der internationalen Anmeldung US 98/24230 (entspricht der
U.S. Patentanmeldung 08/980,947) offenbart. Das beschriebene Trägergaskollisionsverfahren
basiert auf dem Konzept des Zerstäubens einer fluiden Beschichtungszusammensetzung,
die vorzugsweise lösungsmittelfrei
ist, zu einer Vielzahl feiner flüssiger
Tröpfchen.
Die fluide Beschichtungszusammensetzung wird zerstäubt, indem
die fluide Zusammensetzung durch eine Expansionsdüse gelenkt
wird, die eine Druckdifferenz ausnutzt, um das Fluid rasch zu expandieren
und zu kleinen Tröpfchen
zu formen. Die zerstäubten
Tröpfchen
werden mit einem Trägergas
in Kontakt gebracht, das das Verdampfen der Tröpfchen selbst bei Temperaturen
deutlich unter dem Siedepunkt der Tröpfchen bewirkt. Das Verdampfen
kann rascher und vollständiger
erfolgen, da der Partialdruck des Dampfes im Gemisch mit dem Trägergas noch
deutlich unter dem Sättigungsdruck
des Dampfes liegt. Wenn das Gas erwärmt ist, stellt es die thermische/mechanische Energie
für das
Verdampfen bereit.
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Das Zerstäuben der fluiden Beschichtungszusammensetzung
kann auch erreicht werden, wenn andere Zerstäubungsverfahren eingesetzt
werden, die jetzt im Fachgebiet bekannt sind (oder später entwickelt
werden), einschließlich
Ultraschallzerstäubung,
Zentrifugalscheibenzerstäubung
und dergleichen. In einer bevorzugten Ausführungsform wird die Zerstäubung jedoch
erreicht, indem ein Trägergasstrom
energetisch mit einem Strom einer fluiden Zusammensetzung zur Kollision
gebracht wird. Vorzugsweise ist das Trägergas erhitzt und der Fluidstromfluss
ist zum Zeitpunkt der Kollision laminar. Die Kollisionsenergie bricht
die fluide Beschichtungszusammensetzung mit vorzugsweise laminarem
Fluss zu sehr feinen Tröpfchen
auf. Die Verwendung dieser Art von Kollision, um das Zerstäuben zu
erreichen, ist besonders vorteilhaft, da sie kleinere zerstäubte Tröpfchen bereitstellt,
die eine engere Größenverteilung
und eine einheitlichere Anzahldichte von Tröpfchen pro Volumen aufweisen,
als mit anderen Zerstäubungsverfahren
erreicht werden kann. Außerdem
sind die resultierenden Tröpfchen
nahezu unmittelbar in engem Kontakt mit dem Trägergas, was zu raschem, wirkungsvollem
Verdampfen führt.
Das Gemisch aus Gas und Dampf kann durch ein beheiztes Rohr oder
eine Kammer transportiert werden. Auch wenn erfindungsgemäße Polymerbeschichtungen
auf mikrostrukturierten Oberflächen
unter Verwendung von Beschichtungsvorgängen in einem Vakuum erzeugt
werden können,
ist die Verwendung der Trägergaskollision
zum Zerstäuben
zur Verwendung in Vakuumkammern weniger geeignet, da das Trägergas in
der Regel den Kammerdruck erhöht.
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Das Rohr oder die Kammer kann auch
eine Dampsbeschichtungsdüse
einschließen,
die zum Druckaufbau in Verdampfungsrohr oder -kammer dienen kann,
so dass ein gleichmäßiger, einheitlicher
Monomerdampfstrom aus der Dampfbeschichtungsdüse strömt. Der Monomerfluss aus einer
Dampsbeschichtungsdüse
kann durch die Geschwindigkeit des Einspritzens des flüssigen Monomers
in die Verdampfungskammer, die Größe der Öffnung am Ende der Düse und die
Weglänge
durch die Düse
gesteuert werden. Außerdem
kann die Gestalt der Dampfbeschichtungsdüsenöffnung die räumliche
Verteilung des auf dem Substrat abgeschiedenen Monomerdampfes bestimmen.
Beispielsweise ist bei einem flächenähnlichen
Substrat, das auf der Außenseite
einer rotierenden Trommel montiert ist, die Dampfbeschichtungsdüsenöffnung vorzugsweise
ein Schlitz, der so orientiert ist, dass seine lange Achse entlang
der Breite des Substrats ausgerichtet ist. Die Öffnung ist auch vorzugsweise
so positioniert, dass jeder Bereich entlang der Breite des Substrats,
auf dem die Beschichtung erwünscht
ist, der gleichen Dampfabscheidungsrate ausgesetzt ist. Diese Anordnung
ergibt eine im Wesentlichen einheitliche Beschichtungsdickenverteilung
quer über
das Substrat.
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Das mikrostrukturierte Substrat wird
vorzugsweise bei einer Temperatur am oder unter dem Kondensationspunkt
des Dampfes und vorzugsweise deutlich unter dem Kondensationspunkt
des Dampfes gehalten. Dies bewirkt, dass der Dampf als eine dünne, einheitliche,
im Wesentlichen fehlerfreie Beschichtung kondensiert, die nachfolgend
mit verschiedenen Härtungsmechanismen
gehärtet
werden kann, falls gewünscht.
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Die abgeschiedenen Präpolymermaterialien
können
in im Wesentlichen einheitlicher, im Wesentlichen kontinuierlicher
Weise aufgetragen werden oder sie können in diskontinuierlicher
Weise aufgetragen werden, beispielsweise als Inseln, die nur einen
ausgewählten
Teil oder Teile der mikrostrukturierten Oberfläche bedecken. Diskontinuierliche
Beschichtungen können
in Form von Buchstaben oder anderen Zeichen unter Verwendung beispielsweise
einer Maske oder anderer geeigneter Verfahren bereitgestellt werden,
einschließlich der
nachfolgenden Entfernung unerwünschter
Teile.
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Die Monomerdampfabscheidung ist besonders
nützlich,
um dünne
Filme mit einer Dicke im Bereich von etwa 0,01 μm bis etwa 50 μm zu erzeugen.
Dickere Beschichtungen können
erzeugt werden, indem die Zeitdauer verlängert wird, die das Substrat
dem Dampf ausgesetzt ist, indem die Fließgeschwindigkeit der fluiden
Zusammensetzung zum Zerstäuber
erhöht
wird oder indem das Substrat während
mehrfacher Durchläufe dem
Beschichtungsmaterial ausgesetzt wird. Die Verlängerung der Zeitdauer, die
das Substrat dem Dampf ausgesetzt ist, kann erreicht werden, indem
mehrfache Dampfquellen zum System zugefügt werden oder indem die Geschwindigkeit
verringert wird, mit der sich das Substrat durch das System bewegt.
Geschichtete Beschichtungen aus verschiedenen Materialien können erzeugt
werden, indem nacheinander Abscheidungen unter Verwendung eines
unterschiedlichen Beschichtungsmaterials für jede Abscheidung beschichtet
werden oder indem gleichzeitig Materialien aus unterschiedlichen
Quellen abgeschieden werden, die entlang des Wegs des Substrats
voneinander entfernt abgeordnet sind.
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Das Substrat ist vorzugsweise an
einer mechanischen Vorrichtung befestigt, um das Substrat an der oder
den Verdampfungsquellen vorbei zu bewegen, so dass die Geschwindigkeit,
mit der sich das Substrat an der/den Quelle(n) vorbei bewegt, und
die Geschwindigkeit, mit der die Quelle(n) Material hervorbringt,
die Dicke des Materials bestimmt, das auf einer gegebenen Fläche des
Substrats abgeschieden wird. Beispielsweise können flexible Substrate auf
der Außenseite
einer rotierenden Trommel montiert werden, die in der Nähe der Präpolymerdampfquelle(n)
angeordnet ist, so dass eine Umdrehung der Trommel für jede Dampfquelle eine
einheitlich dicke Schicht des Materials auf dem Substrat abscheidet.
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Die eingesetzten Monomeren oder Monomergemische
besitzen vorzugsweise einen Dampfdruck zwischen etwa 10–6 Torr
und 10 Torr, stärker
bevorzugt ungefähr
10–3 bis
10–1 Torr,
bei Normaltemperatur und -druck. Diese Monomeren mit hohem Dampfdruck
können
flashverdampft werden oder durch Trägergaskollisionsverfahren bei
verhältnismäßig niedrigen
Temperaturen verdampft werden und werden somit nicht auf Grund von
Cracken durch das Erhitzungsverfahren zersetzt. Das Fehlen von nicht
reaktiven Zersetzungsprodukten bedeutet, dass die Filme, die aus
diesen Monomeren mit niedrigem Molekulargewicht und hohem Dampfdruck
erzeugt wurden, verringerte Gehalte an flüchtigen Komponenten aufweisen
und dadurch einen höheren
Grad an chemischer Kontrollierbarkeit. Als Ergebnis ist im Wesentlichen
das gesamte abgeschiedene Monomer reaktiv und kann zu einem vollständigen Film
mit kontrollierter chemischer Zusammensetzung härten, wenn es einer Strahlungsquelle
ausgesetzt wird. Diese Eigenschaften ermöglichen es, eine im Wesentlichen
kontinuierliche Beschichtung trotz der Tatsache bereitzustellen,
dass der abgeschiedene Film sehr dünn ist (die bevorzugte Dicken
können
abhängig
von der Endverwendung des beschichteten Gegenstands variieren; jedoch
schließen
beispielhafte Dicken jene mit etwa 20% oder weniger der Größe der Mikrostrukturmerkmale
auf dem Substrat, mit etwa 15% oder weniger der Größe der Mikrostrukturmerkmale,
mit etwa 10% oder weniger der Größe der Mikrostrukturmerkmale
und so weiter ein).
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Nach dem Kondensieren des Materials
auf dem Substrat kann die flüssige
Monomer- oder Präpolymerschicht
gehärtet
werden. Das Härten
des Materials beinhaltet im Allgemeinen die Bestrahlung des Materials
auf dem Substrat mit sichtbarem Licht, ultravioletter Strahlung,
Elektronenstrahlen, Ionenbestrahlung und/oder Radikalen (wie z.
B. aus einem Plasma) oder Wärme
oder jedes andere geeignete Verfahren. Wenn das Substrat auf einer
rotierenden Trommel montiert ist, ist die Strahlungsquelle vorzugsweise
stromabwärts von
der Monomer- oder Präpolymerdampfquelle
angeordnet, so dass das Beschichtungsmaterial kontinuierlich auf
die Oberfläche
aufgetragen und gehärtet
werden kann. Mehrfache Umdrehungen des Substrats scheiden dann kontinuierlich
Monomerdampf ab und härten diesen
auf Schichten, die während
früherer
Umdrehungen abgeschieden und gehärtet
wurden. Diese Erfindung zieht auch in Betracht, dass das Härten gleichzeitig mit
dem Kondensieren erfolgt, beispielsweise wenn die Substratoberfläche ein
Material aufweist, das eine Härtung
anregt, sobald das flüssige
Monomer- oder Präpolymermaterial
mit der Oberfläche
in Kontakt kommt. So kann das Kondensieren und Härten, auch wenn es als getrennte
Schritte beschrieben wird, unter dieser Erfindung gemeinsam, zeitlich
oder physikalisch, erfolgen.
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Die Prinzipien dieses Verfahrens
können
in einem Vakuum durchgeführt
werden. Vorteilhafterweise können
jedoch Zerstäubung,
Verdampfung und Beschichtung bei jedem gewünschten Druck oder jeder gewünschten
Atmosphäre,
einschließlich
Umgebungsdruck und -atmosphäre,
erfolgen. Als weiterer Vorteil können
Zerstäubung,
Verdampfung und Beschichtung bei verhältnismäßig niedrigen Temperaturen
erfolgen, so dass temperaturempfindliche Materialien ohne Zersetzung
(wie Cracken oder Polymerisation der konstituierenden Moleküle) beschichtet
werden können,
die ansonsten bei höheren
Temperaturen erfolgen könnte.
Dieses Verfahren ist auch äußerst vielseitig
verwendbar dahin gehend, dass praktisch jedes flüssige Material oder Kombination
von flüssigen
Materialien mit einem messbaren Dampfdruck zur Erzeugung von Beschichtungen verwendet
werden kann.
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Zur Erzeugung polymerer Beschichtungen
kann die erfindungsgemäße Beschichtungszusammensetzung
eine oder mehrere Komponenten einschließen, die monomer, oligomer
oder polymer sind, auch wenn typischerweise lediglich Polymere mit
verhältnismäßig niedrigem
Molekulargewicht, z. B. Polymere mit einem Zahlenmittel des Molekulargewichts
von weniger als 10.000, vorzugsweise weniger als etwa 5000 und stärker bevorzugt
weniger als etwa 2000, einen ausreichenden Dampfdruck aufweisen,
um bei der Durchführung
der vorliegenden Erfindung verdampft zu werden.
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Repräsentative Beispiele für die wenigstens
eine fluide Komponente der Beschichtungsmasse zur Erzeugung von
Profil erhaltenden Beschichtungen auf mikrostrukturierten Oberflächen schließen ein:
durch Strahlung härtbare
Monomere und Oligomere, die eine Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungsfunktionalität aufweisen
(für die
Alkene, (Meth)acrylate, (Meth)acrylamide, Styrole und Allylethermaterialien
repräsentativ sind);
Fluorpolyethermonomere, -oligomere und -polymere; fluorierte (Meth)acrylate
einschließlich
Poly(hexafluorpropylenoxid)diacrylat; Wachse, wie Polyethylen und
perfluorierte Wachse; Silikone einschließlich Polydimethylsiloxanen
und anderen substituierten Siloxanen; Silanhaftvermittler, wie Aminopropyltriethoxysilan
und Methacryloxypropyltrimethoxysilan; Disilazane, wie Hexamethyldisilazan;
Alkohole einschließlich
Butandiol oder anderen Glykolen und Phenole; Epoxide; Isocyanate,
wie Toluoldiisocyanat; Carbonsäuren
und Carbonsäurederivate,
wie Ester von Carbonsäuren
und einem Alkohol, und Anhydride von Carbonsäuren; aromatische Verbindungen,
wie aromatische Halogenide; Phenole, wie Dibromphenol; Phenylether;
Chinone; polycyclische aromatische Verbindungen einschließlic Naphthalin,
Vinylnapthalin und Anthracen; nichtaromatische Heterocyclen, wie
Norbornan; Azlactone; aromatische Heterocyclen, wie Furan, Pyrrol,
Thiophen, Azole, Pyridin, Anilin, Chinolin, Isochinolin, Diazine
und Pyrone; Pyryliumsalze; Terpene; Steroide; Alkaloide; Amine;
Carbamate; Harnstoffe; Azide; Diazoverbindungen; Diazoniumsalze;
Thiole; Sulfide; Sulfatester; Anhydride; Alkane; Alkylhalogenide;
Ether; Alkene; Alkine; Aldehyde; Ketone; organometallische Spezies,
wie Titanate, Zirkonate und Aluminate; Sulfonsäuren; Phosphin; Phosphoniumsalze;
Phosphate; Phosphonatester; Schwefel-stabilisierte Carbanionen;
Phosphor-stabilisierte Carbanionen; Kohlenhydrate; Aminosäuren; Peptide;
Reaktionsprodukte, die sich aus diesen Materialien ableiten, die
Fluide mit dem erforderlichen Dampfdruck sind oder in ein Fluid
mit dem erforderlichen Dampfdruck überführt (z. B. geschmolzen, gelöst oder
dergleichen) werden können,
Kombinationen davon und dergleichen. Von diesen Materialien können alle,
die unter Normalbedingungen Feststoffe sind, wie ein Paraffinwachs,
geschmolzen oder in einer anderen fluiden Komponente gelöst werden,
um sie mittels der Prinzipien der vorliegenden Erfindung zu verarbeiten.
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In der vorliegenden Erfindung kann
die Beschichtungsmasse mindestens eine polymere Vorstufenkomponente
einschließen,
die eine härtbare
flüssige
Beschichtung auf dem mikrostrukturierten Substrat erzeugen kann,
wobei die Komponente(n) eine mit Strahlung oder Hitze vernetzbare
Funktionalität
aufweisen, so dass die flüssige
Beschichtung härtbar
ist, wenn sie härtender
Strahlungsenergie ausgesetzt wird, um die Beschichtung zu härten und
zu verfestigen (d. h. zu polymerisieren und/oder zu vernetzen).
Repräsentative
Beispiele für
härtende
Strahlungsenergie schließen
elektromagnetische Energie (z. B. Infrarotenergie, Mikrowellenenergie,
sichtbares Licht, ultraviolettes Licht und dergleichen), beschleunigte
Teilchen (z. B. Elektronenstrahlenergie) und/oder Energie aus elektrischen
Entladungen (z. B. Coronas, Plasmas, Glimmentladung oder Dunkelentladung)
ein.
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Durch Strahlung vernetzbare Funktionalität bezieht
sich auf funktionelle Gruppen, die dirkt oder indirekt an einem
Monomer-, Oligomer- oder Polymergrundgerüst (je nach dem) hängen, die
an den Vernetzungs- und/oder Polymerisationsreaktionen teilnehmen,
wenn sie einer geeigneten Quelle für härtende Strahlungsenergie ausgesetzt
werden. Diese Funktionalität
schließt
im Allgemeinen nicht nur Gruppen ein, die bei Bestrahlung über einen
kationischen Mechanismus vernetzen, sondern auch Gruppen, die über einen
radikalischen Mechanismus vernetzen. Repräsentative Beispiele für durch
Strahlung vernetzbare Gruppen, die bei der Durchführung der
vorliegenden Erfindung geeignet sind, schließen Epoxidgruppen, (Meth)acrylatgruppen,
olefinische Kohlenstoff-Kohlenstoff Doppelbindungen, Allylethergruppen,
Styrolgruppen, (Meth)acrylamidgruppen, Kombinationen davon und dergleichen
ein.
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Bevorzugte radikalisch härtbare Monomere,
Oligomere und/oder Polymere schließen jeweils eine oder mehrere
radikalisch polymerisierbare Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen
ein, so dass die mittlere Funktionalität dieser Materialien mindestens
eine radikalisch polymerisierbare Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung
pro Molekül
ist. Materialien mit diesen Einheiten können miteinander über diese
Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungsfunktionalität copolymerisieren
und/oder vernetzen. Radikalisch härtbare Monomere, die bei der
Durchführung
der vorliegenden Erfindung geeignet sind, werden vorzugsweise aus
einem oder mehreren mono-, di-, tri- und tetrafunktionellen, radikalisch
härtbaren
Monomeren gewählt.
Verschiedene Mengen an mono-, di-, tri- und tetrafunktionellen,
radikalisch härtbaren
Monomeren können
je nach den gewünschten Eigenschaften
der Endbeschichtung in die vorliegende Erfindung eingebracht werden.
Beispielsweise kann es, um Beschichtungen bereitzustellen, die höhere Grade
der Abrieb- und
Schlagbeständigkeit
aufweisen, wünschenswert
sein, dass die Zusammensetzung ein oder mehrere multifunktionelle
radikalisch härtbare
Monomere, vorzugsweise mindestens sowohl di- als auch trifunktionelle
radikalisch härtbare
Monomere, einschließt, so
dass die radikalisch härtbaren
Monomere, die in die Zusammensetzung eingebracht wurden, eine mittlere radikalisch
härtbare
Funktionalität
pro Molekül
von 1 oder mehr haben.
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Bevorzugte, erfindungsgemäße, durch
Strahlung härtbare
Beschichtungsmassen können
0 bis 100 Gewichtsteile monofunktionelle radikalisch härtbare Monomere,
0 bis 100 Gewichtsteile difunktionelle radikalisch härtbare Monomere,
0 bis 100 Gewichtsteile trifunktionelle radikalisch härtbare Monomere
und 0 bis 100 Gewichtsteile tetrafunktionelle radikalisch härtbare Monomere
mit der Maßgabe
einschließen,
dass die radikalisch härtbaren
Monomere eine mittlere Funktionalität von 1 oder mehr, vorzugsweise
1,1 bis 4, stärker
bevorzugt 1,5 bis 3 aufweisen.
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Eine repräsentative Klasse von monofunktionellen
radikalisch härtbaren
Monomeren, die bei der Dwchführung
der vorliegenden Erfindung geeignet sind, schließt Verbindungen ein, bei denen
eine Kohlenstoff-Kohlenstoff Doppelbindung direkt oder indirekt
mit einem aromatischen Ring verknüpft ist. Beispiele für solche
Verbindungen schließen
Styrol, alkyliertes Styrol, Alkoxystyrol, halogenierte Styrole,
radikalisch härtbares
Naphthalin, Vinylnaphthalin, alkyliertes Vinylnaphthalin, Alkoxyvinylnaphthalin,
Acenaphthalin, Kombinationen davon und dergleichen ein. Eine weitere
repräsentative
Klasse monofunktioneller, radikalisch härtbarer Monomere schließt Verbindungen
ein, bei denen eine Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung an eine
cycloaliphatische, heterocyclische und/oder aliphatische Einheit
gebunden ist, wie 5-Vinyl-2-norbornen, 4-Vinylpyridin, 2-Vinylpyridin, 1-Vinyl-2-pyrrolidinon,
1-Vinylcaprolactam, 1-Vinylimidazol, N-Vinylformamid und dergleichen.
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Eine weitere repräsentative Klasse solcher monofunktioneller
radikalisch härtbarer
Monomere umfasst (Meth)acrylat-funktionelle Monomere, die Einheiten
der Formel:
enthalten, in der R eine
einwertige Einheit ist, wie Wasserstoff, Halogen oder ein Alkykest.
Repräsentative
Beispiele für
Monomere, die solche Einheiten enthalten, schließen (Meth)acrylamide, Chlor(meth)acrylamid,
lineare, verzweigte oder cycloaliphatische Ester der (Meth)acrylsäure mit
1 bis 16, vorzugsweise 1 bis 8 Kohlenstoffatomen, wie Methyl(meth)acrylat,
n-Butyl(meth)acrylat, t-Butyl(meth)acrylat, Ethyl(meth)acrylat,
Isopropyl(meth)acrylat, 2-Ethylhexyl(meth)acrylat und Isooctylacrylat;
Vinylester von Alkansäuren,
die linear, verzweigt oder cyclisch sein können; Isobornyl(meth)acrylat;
Vinylacetat; Allyl(meth)acrylat und dergleichen ein.
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Diese (Meth)acrylat-funktionellen
Monomere können
auch andere Arten von Funktionalitäten einschließen, wie
Hydroxylfunktionalität,
Nitrilfunktionalität,
Epoxidfunktionalität,
Carbonsäurefunktionalität, Thiolfunktionalität, Aminfunktionalität, Isocyanatfunktionalität, Sulfonylfunktionalität, Perfluorfunktionalität, Bromfunktionalität, Sulfonamido-,
Phenylfunktionalität,
Kombinationen davon und dergleichen. Repräsentative Beispiele für diese
radikalisch härtbaren
Verbindungen schließen
Glycidyl(meth)acrylat, (Meth)acrylnitril, β-Cyanoethyl-(meth)acrylat, 2-Cyanoethoxyethyl(meth)acrylat,
p-Cyanostyrol, Thiophenyl(meth)acrylat,
(Tetrabromcarbazoyl)butyl(meth)acrylat, ethoxyliertes Brombisphenol-A-di(meth)acrylat,
Brombisphenol-A-diallylether, (Brom)phenoxyethylacrylat, Butylbromphenylacrylat,
p-(Cyanomethyl)styrol, einen Ester aus einer α,β-ungesättigten Carbonsäure mit
einem Diol, z. B. 2-Hydroxyethyl(meth)acrylat oder 2-Hydroxypropyl(meth)acrylat; 1,3-Dihydroxypropyl-2-(meth)acrylat;
2,3-Dihydroxypropyl-1-(meth)acrylat;
ein Addukt einer α,β-ungesättigten Carbonsäure mit
Caprolacton; einen Alkanolvinylether, wie 2-Hydroxyethylvinylether;
4-Vinylbenzylalkohol; Allylalkohol; p-Methylolstyrol, N,N-Dimethylamino(meth)acrylat,
(Meth)acrylsäure,
Maleinsäure,
Maleinsäureanhydrid,
Trifluorethyl(meth)acrylat, Tetrafluorpropyl-(meth)acrylat, Hexafluorbutyl(meth)acrylat,
2-(N-Ethylperfluoroctansulfonamido)- ethylacrylat, 2-(N-Ethylperfluoroctansulfonamido)ethyl(meth)acrylat,
2-(N-Butylperfluoroctansulfonamido)ethylacrylat, Butylperfluoroctylsulfonamidoethyl(meth)acrylat,
Ethylperfluoroctylsulfonamidoethyl(meth)acrylat, Pentadecafluoroctylacrylat,
Gemische davon und dergleichen ein.
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Eine weitere Klasse von monofunktionellen
radikalisch härtbaren
Monomeren, die bei der Durchführung
der vorliegenden Erfindung geeignet sind, schließt ein oder mehrere N,N-disubstituierte (Meth)acrylamide ein.
Die Verwendung eines N,N-disubstituierten (Meth)acrylamids kann
einige Vorteile bieten. Beispielsweise kann das Monomer ermöglichen,
dass antistatische Beschichtungen hergestellt werden, die verbesserte
Haftung an Polycarbonatsubstraten zeigen. Ferner kann die Verwendung
dieser Art von Monomer Beschichtungen bereitstellen, die verbesserte
Wetterfestigkeit und Zähigkeit
aufweisen. Vorzugsweise weist das N,N-disubstituierte (Meth)acrylamid
ein Molekulargewicht von etwa 99 bis etwa 500 auf.
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Die N,N-disubstituierten (Meth)acrylamidmonomere
haben im Allgemeinen die Formel:
in der R
1 und
R
2 jeweils unabhängig voneinander für Wasserstoff,
einen (C
1-C
8)Alkylrest
(linear, verzweigt oder cyclisch), der gegebenenfalls Hydroxy-,
Halogenid-, Carbonyl- und
Amidofunktionalitäten
aufweist, einen (C
1-C
8)Alkylenrest,
der gegebenenfalls Carbonyl- und
Amidofunktionalitäten
aufweist, einen (C
1-C
4)Alkoxymethylrest,
einen (C
4-C
10)Arylrest,
einen (C
1-C
3)Alk(C
4-C
10)arylrest oder
einen (C
4-C
10)Heteroarylrest
stehen; mit der Maßgabe,
dass lediglich einer der Reste R
1 und R
2 für
Wasserstoff steht; und R
3 für Wasserstoff,
ein Halogen oder eine Methylgruppe steht. Vorzugsweise steht R
1 für
einen (C
1-C
4)Alkylrest;
steht R
2 für einen (C
1-C
4)Alkylrest; und steht R
3 für Wasserstoff
oder eine Methylgruppe. R
1 und R
2 können
gleich oder verschieden sein. Stärker
bevorzugt stehen R
1 und R
2 jeweils
für CH
3 und steht R
3 für Wasserstoff.
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Beispiele für solche geeigneten (Meth)acrylamide
sind N-tert-Butylacrylamid, N,N-Dimethylacrylamid, N,N-Diethylacrylamid,
N-(5,5-Dimethylhexyl)acrylamid, N-(1,1-Dimethyl-3-oxobutyl)acrylamid, N-(Hydroxymethyl)acrylamid,
N-(Isobutoxymethyl)-acrylamid,
N-Isopropylacrylamid, N-Methylacrylamid, N-Ethylacrylamid, N-Methyl-N-ethylacrylamid und
N,N'-Methylen-bisacrylamid. Ein bevorzugtes (Meth)acrylamid ist
N,N-Dimethyl(meth)acrylamid.
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Weitere Beispiele für radikalisch
härtbare
Monomere schließen
Alkene, wie Ethen, 1-Propen,
1-Buten, 2-Buten (cis oder Trans), Verbindungen, die eine Allyloxyeinheit
enthalten, und dergleichen ein.
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Zusätzlich zu dem oder als eine
Alternative für
das monofunktionelle radikalisch härtbare Monomer kann auch jede
Art von multifunktionellen radikalisch härtbaren Monomeren, die vorzugsweise
eine radikalisch härtbare
Di-, Tri- und/oder Tetrafunktionalität aufweisen, in der vorliegenden
Erfindung verwendet werden. Solche multifunktionellen (Meth)acrylatverbindungen
sind im Handel von einer Vielzahl verschiedener Lieferanten erhältlich.
In einer anderen Ausführungsform
können
solche Verbindungen unter Verwendung einer Vielzahl bekannter Reaktionsschemata
hergestellt werden.
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Spezifische Beispiele für geeignete
multifunktionelle, ethylenisch ungesättigte Ester von (Meth)acrylsäure sind
die Polyacrylsäure-
oder Polymethacrylsäureester
von mehrwertigen Alkoholen einschließlich beispielsweise des Diacrylsäure- und
Dimethylacrylsäureesters
aliphatischer Diole, wie Ethylenglykol, Triethylenglykol, 2,2-Dimethyl-1,3-propandiol,
1,3-Cyclopentandiol,
1-Ethoxy-2,3-propandiol, 2-Methyl-2,4-pentandiol, 1,4-Cyclohexandiol,
1,6-Hexandiol, 1,2-Cyclohexandiol, 1,6-Cyclohexandimethanol; Hexafluordecandiol,
Octafluorhexandiol, Perfluorpolyetherdiol; der Triacrylsäure- und
Trimethacrylsäureester
aliphatischer Triole, wie Glycerin, 1,2,3-Propantrimethanol, 1,2,4-Butantriol,
1,2,5-Pentantriol,
1,3,6-Hexantriol und 1,5,10-Decantriol; der Triacrylsäure- und
Trimethacrylsäureester
von Tris(hydroxyethyl)isocyanurat; der Tetraacryl- und Tetramethacrylsäureester
aliphatischer Triole, wie 1,2,3,4-Butantetrol, 1,1,2,2,-Tetramethylolethan
und 1,1,3,3-Tetramethylolpropan; der Diacrylsäure- und Dimethacrylsäureester
aromatischer Diole, wie Brenzcatechin und Bisphenol A; der Gemische
davon und dergleichen.
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Das erfindungsgemäße Verfahren zur Beschichtung
mikrostrukturierter Substrate kann zur Erzeugung Profil erhaltender
Polymerbeschichtungen verwendet werden. Die Zeichnungen veranschaulichen
das Konzept einer Profil erhaltenden Beschichtung auf einem mikrostrukturierten
Gegenstand. 2 zeigt
insbesoridere einen Gegenstand 10, der ein Substrat 12 einschließt, das
eine Vielzahl von Mikrostrukturelementen 14 aufweist. Die
Mikrostrukturelemente 14 können beispielsweise pfostenartige
Strukturen sein, die durch eine Höhe H und durch Abmessungen
der Grundfläche,
mit Breite W und Länge
L bezeichnet, gekennzeichnet werden können. Diese Strukturen können sich
auch von der Grundfläche
zur Spitze hin verjüngen,
wie in 2 gezeigt.
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Substrat 12 hat darauf eine
Beschichtung 16 angeordnet, die sich dem mikrostrukturierten Profil
anpasst. Die Dicke T der Beschichtung 16 ist genügend dünn, um aus
der Beschichtung eine Profil erhaltende Beschichtung zu machen.
Was „genügend dünn, um eine
Profil erhaltende Beschichtung zu machen" bedeutet, hängt von
der Anwendung und den Abmessungen der Mikrostrukturelemente ab.
Wenn beispielsweise in 2 die
Dicke der Beschichtung in der Größenordnung
von der Hälfte
des Abstandes zwischen den Mikrostrukturelementen ist, kann die
Beschichtung die Struktur der Oberfläche auffüllen und nicht länger Profil
erhaltend sein. In der Praxis ist die Obergrenze bei der Beschichtungsdicke,
um Profil erhaltende Beschichtungen zu erzielen, kleiner als die
kleinste betrachtete charakteristische Abmessung der Mikrostrukturelemente auf
der Oberfläche.
Beispielsweise beträgt
in 2 die Obergrenze
bei der Beschichtungsdicke weniger als die Breite W der Grundfläche der
Mikrostrukturelemente und beträgt
vorzugsweise weniger als etwa 50%, stärker bevorzugt weniger als
etwa 20% der Breite der Grundfläche
der Mikrostrukturelemente. Der Ausdruck „kleinste betrachtete charakteristische
Abmessung" variiert in der Bedeutung in Abhängigkeit von den Mikrostrukturmerkmalen.
Bei Mikrostrukturmerkmalen mit verhältnismäßig flachen Oberflächenfacetten
wird jedoch die kleinste betrachtete charakteristische Abmessung
oft durch die kleinste dieser flachen Oberflächenfacetten bemessen. Bei
gerundeten Mikrostrukturmerkmalen kann eine Abmessung, wie ein Durchmesser
oder ein Krümmungsradius,
ein passenderes Maß sein.
-
Um das Profil der mikrostrukturierten
Oberfläche
zu erhalten, weist die Polymerbeschichtung der vorliegenden Erfindung
eine Dicke auf, die nicht mehr als etwa 20% der kleinsten betrachteten
charakteristischen Abmessung der Mikrostrukturelemente beträgt. In Abhängigkeit
von den Abmessungen des Mikrostrukturmerkmals weist die Polymerbeschichtung
eine Dicke auf, die vorzugsweise weniger als 200 μm, stärker bevorzugt
weniger als 100 μm
und noch stärker
bevorzugt weniger als 50 μm
beträgt.
Außerdem
hat die Polymerbeschichtung vorzugsweise eine Dicke, die größer als
etwa 0,01 μm
ist. Auf diese Weise kann die Beschichtung Oberflächenmerkmale
auffüllen,
die viel kleiner als die Größe der Mikrostrukturmerkmale
sind, wodurch die Oberfläche
geglättet
wird, während
das mikrostrukturierte Profil erhalten wird.
-
Eine mikrostrukturierte Oberfläche, die
Merkmale einschließt,
die den in
2 gezeigten ähnlich sind, kann
für viele
Anwendungen verwendet werden. Beispiele schließen mikrostrukturierte Befestigungselemente (wie
in den U.S. Pat. Nrn. 5,634,245 und 5,344,177 offenbart), Abstandshalter,
wie diejenigen, die für
elektronische Displayträgermaterialien
verwendet werden, wie Flüssigkristallanzeigetafeln
(beispielsweise die mikrostrukturierten Rillen und Pfosten, die
in U.S. Pat. Nr. 5,268,782 offenbart werden), Lichtextraktionsstrukturen an
einem optischen Wellenleiter (wie die in der europäischen Patentanmeldung
EP 0 878 720 A1 offenbarten) und
weitere Anwendungen ein, wie sie für den Fachmann offensichtlich
sind. Bei diesen Anwendungen können die
Breite und Länge
der Grundfläche
der Mikrostrukturelemente in
2 etwa
0,5 μm bis
Hunderte von μm groß sein.
Gleichermaßen
können
die Höhen
der Mikrostrukturelemente von Zehntel μm zu Hunderten μm variieren.
Die Mikrostrukturelementen können
einheitlich groß und
einheitlich auf der Substratoberfläche angeordnet sein oder auch
nicht. Der Abstand zwischen Mikrostrukturelementen kann im Bereich
von unter 1 μm bis
etwa 1000 μm
liegen.
-
3 zeigt
den mikrostrukturierten Gegenstand 20, der ein Substrat 22 einschließt, das
eine Reihe V-förmiger
paralleler Rillen aufweist, die durch die Mikrostrukturmerkmale 24 definiert
sind. Die Merkmale haben einen Abstand von Spitze zu Spitze S, eine
Breite von Tal zu Tal W, eine Höhe
von Spitze zu Tal H, eine Länge
der seitlichen Oberfläche
L und einen Winkel, der an jeder Spitze und jedem Tal durch aneinander
grenzende Facetten der seitlichen Oberfläche gebildet wird. Die Profil
erhaltende Beschichtung 26 hat eine Dicke T. Ein Merkmal,
das an einer mikrostrukturierten Oberfläche, wie in 3 gezeigt, von Interesse sein kann, ist die
Schärfe
der Winkel an den Spitzen 28 und Tälern 27. Die Schärfe eines
Winkels kann mit einem Krümmungsradius
gemessen werden. Der Krümmungsradius
gibt den Radius der größten Kugel
an, die in den konkaven Teil des Winkels passt, während die
von der Kugel berührte
Oberfläche
maximiert wird. Mikrostrukturierte V-Rillen können Krümmungsradien von einigen Zehn μm bis herunter
zu einigen Zehn nm aufweisen. Wenn die Beschichtung 26 abgeschieden
ist, ist die Schärfe
der Spitzen und Täler
vorzugsweise im Wesentlichen erhalten. In Abhängigkeit von der Dicke der
Beschichtung 26 kann jedoch ein gewisses Abrunden an der
Spitze der Beschichtung 29 und am Tal der Beschichtung 29' erfolgen.
Das Abrunden an den Spitzen ist typischerweise weniger deutlich
als das Abrunden an den Tälern.
Deutlicheres Abrunden an den Tälern
kann auf Grund des Meniskus erfolgen, der von einer Beschichtung
aus flüssigem
Monomer gebildet wird, um die Oberflächenspannung während der
Abscheidung zu vermindern. Das Ausmaß des Abrundens kann von der
Dicke der Beschichtung, dem Winkel der V-Rillenstrukturen, dem Material
der Beschichtung und der Gesamtgröße der Strukturen abhängen.
-
Eine mikrostrukturierte Oberfläche, die
Merkmale aufweist, die den in 3 gezeigten
V-Rillen vergleichbar
sind, kann für
verschiedene Zwecke verwendet werden, die das Steuern der Winkelgenauigkeit
des Lichtaustritts bei Lichtröhren
(wie in U.S. Pat. Nr. 4,805,984 offenbart) oder Displayschirmen,
die Steuerung von Fluidfluss, das Erhöhen des Oberflächenbereichs
bei Katalyseanwendungen und weitere Funktionen einschließen, die
dem Fachmann offensichtlich sind. Außerdem können mikrostrukturierte Oberflächen hergestellt
werden, die pyramidenartige oder Würfelecken-Vorsprünge oder
Einbuchtungen aufweisen, die als mehrfache Sätze sich schneidender V-Rillen
visualisiert werden können.
Pyramidale und mit Würfelecken
mikrostrukturierte Oberflächen
können
beispielsweise als retroreflektierendes Flächenmaterial (wie in den U.S.
Pat. Nrn. 5,450,235; 5,614,286; und 5,691,846 offenbart), als optische
Sicherheitsgegenstände
(wie in U.S. Pat. Nr. 5,743,981 offenbart), als Diffraktionsgitter,
wie für
Hologramme (wie in U.S. Pat. Nr. 4,856,857 ofenbart), als mikrostrukturierte
Schleifgegenstände
(wie in U.S. Pat. Nr. 5,672,097 offenbart) oder in weiteren solchen
Anwendungen verwendbar sein.
-
4 zeigt
einen mikrostrukturierten Gegenstand 30, der ein retroreflektierendes
Flächenmaterial sein
kann, wie in den U.S. Pat. Nrn. 3,700,478; 3,700,305; 4,648,932;
und 4,763,985 offenbart. Der Gegenstand 30 schließt ein Substrat 32 ein,
das eine Schicht optischer Elemente, wie Mikrokugeln 36,
darauf angeordnet hat. Die Mikrokugeln 36 haben eine Profil
erhaltende Beschichtung 34 und sind zum Teil in eine Trägerschicht 35 eingebettet
(häufig
auch als Bindemittelschicht bezeichnet). Die Dicke 7 der
Beschichtung 34 ist viel kleiner als der Durchmesser D
der Mikrokugeln 36, so dass die Beschichtung im Wesentlichen
das gekrümmte Profil
der Kugeln 36 erhält.
Die Beschichtung 34 kann auf die Mikrokugeln 36 aufgetragen
werden, wenn die Kugeln auf einem Trägerfilm (nicht gezeigt) sind,
wobei die Trägerschicht
nachfolgend über
die Beschichtung auf den Kugeln aufgetragen wird. Der Trägerfilm
wird dann entfernt, wodurch sich der in 4 gezeigte Aufbau ergibt.
-
Wie in den vorstehend angeführten Patenten
und in der mit eingereichten und anhängigen U.S. Patentanmeldung
09/259,100 (Attorney Docket Nr. 54701USA4A mit dem Titel „Retroreflective
Articles Having Polymer Multilayer Reflective Coatings") beschrieben,
kann der Aufbau aus 4 beispielsweise
als retroreflektierendes Flächenmaterial
für Verkehrszeichen
oder andere solche Anwendungen verwendbar sein. Bei retroreflektierenden
Anwendungen sollte die Beschichtung hinter den Mikrokugeln hochgradig
reflektierend sein. Auch wenn Metallbeschichtungen oder mehrschichtige
dielektrische Metalloxidbeschichtungen als reflektierende Beschichtungen
auf die Mikrokugeln aufgetragen werden können, können diese Arten von Beschichtungen
mit der Zeit korrodieren und ihr Reflexionsvermögen verlieren. Wie nachstehend
ausführlich
in den veranschaulichenden Beispielen beschrieben, kann die vorliegende
Erfindung verwendet werden, um eine mehrschichtige Polymerbeschichtung
hinter den Mikrokugeln bereitzustellen, wodurch das Profil der Mikrokugelstruktur
erhalten bleibt, und auch um eine Oberfläche bereitzustellen, die hochgradig
reflektierend für
Licht ist, insbesondere für
sichtbares Licht.
-
Mikrostrukturierte Substrate, die
Profil erhaltende Polymerbeschichtungen aufweisen, können für eine Vielzahl
von Zwecken eingesetzt werden. Zum Beispiel kann, wie in den folgenden
Beispielen veranschaulicht, eine Schicht aus Mikrokugeln mit einer
Profil erhaltenden Polymerschicht beschichtet werden, die als Abstandshalterschicht
zwischen den Mikrokugeln und einer reflektierenden Schicht für retroreflektierendes
Kugelfolienmaterial mit verkapselten Linsen fungiert, wie in den
U.S. Pat. Nrn. 4,763,985 und 4,648,932 beschrieben. Analog kann
eine Profil erhaltende . Polymerbeschichtung als eine Zwischenschicht
verwendet werden, die auf einer Schicht von Mikrokugeln oder als
eine reflektierende Schicht in retroreflektierendem Folienmaterial
abgeordnet ist. Beispielsweise kann eine Profil erhaltende Beschichtung
verwendet werden, um die Zwischenschicht oder die reflektierende
Schicht (oder beide) zu ersetzen, die in U.S. Pat. Nr. 5,812,317
offenbart wird. Profil erhaltende Polymerbeschichtungen können auch
in Mehrschichtstapeln verwendet werden, um reflektierende Beschichtungen
auf mikrostrukturierten Gegenständen
zu erzeugen, wie in der mit eingereichten und anhängigen U.S.
Patentanmeldung 09/259,100 (Attorney Docket Nr. 54701USA4A mit dem
Titel „Retroreflective
Articles Having Polymer Multilayer Reflective Coatings") offenbart.
-
Beispiele
-
Vorteile und Aufgaben dieser Erfindung
werden weiter in den nachstehend aufgeführten Beispielen veranschaulicht.
Es versteht sich jedoch, dass, obwohl die Beispiele diesem Zweck
dienen, die speziellen, verwendeten Bestandteile und Mengen und
weiteren Bedingungen, die in den Beispielen aufgeführt werden,
nicht so auszulegen sind, dass sie den Umfang dieser Erfindung ungebührlich begrenzen.
Die Beispiele, die für
die Offenbarung gewählt
wurden, sind lediglich veranschaulichend dafür, wie verschiedene Ausführungsformen der
Erfindung hergestellt werden und was die Ausführungsformen im Allgemeinen
leisten.
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Beispiel 1
-
In diesem Beispiel wurde ein Gegenstand
hergestellt, der ähnlich
dem in 4 gezeigten Gegenstand 30 aufgebaut
war. Bei der Herstellung dieses Gegenstands wurde eine temporäre Trägerfolie
bereitgestellt, auf der eine Monoschicht aus Glasmikrokugeln (mittlerer
Durchmesser etwa 60 μm
und Brechungsindex 2,26) zum Teil und temporär in die Oberfläche eines
Polyvinylbutyralharzes eingebettet war, das durch seine Hydroxylgruppen
zu einem im Wesentlichen wärmehärtbaren
Zustand vernetzt war. Das Polyvinylbutyralharz wurde von einer weichmacherhaltigen
Polyvinylchloridbeschichtung auf einem Trennpapierträger getragen.
Diese mikrostrukturierte Folie aus Grundmaterial wurde als Weitwinkel-ebene
Oberseite- (wide-angle-flat-top: WAFT) Kugelschicht bezeichnet.
-
Eine Probe der WAFT-Kugelschicht
wurde an einer gekühlten
Stahltrommel eines Monomerdampfabscheidungsapparats, wie in U.S.
Pat. Nr. 4,842,893 beschrieben, fest geklebt. Der Apparat verwendete
ein Flashverdampfungsverfahren zur Erzeugung von Präpolymerdampf,
der unter Verwendung einer Dampfbeschichtungsdüse aufgetragen wurde. Die Dampbeschichtungsdüse lenkte
das Beschichtungsmaterial auf die WAFT-Kugelschicht. Die WAFT-Kugelschicht
war auf einer Trommel montiert, die sich so drehte, dass das Substrat
der Reihe nach einer Plasmabehandlungsvorrichtung, der Dampbeschichtungsdüse und einem
Elektronenstrahlhärtungskopf
ausgesetzt wurde. Die Abscheidung fand in einer Vakuumkammer statt.
Die Dampbeschichtungsdüse
war so gestaltet, dass sie etwa 30,5 cm Breite eines auf der Trommel
montierten Substrats beschichtete. Das mikrostrukturierte WAFT-Kugelschichtmaterial
war 30,5 cm breit und so an der Dampbeschichtungsdüse ausgerichtet,
dass mindestens 28 cm der Substratbreite plus ein schmales Band
auf der Metalltrommel von etwa 2,5 cm Breite beschichtet wurden.
Tripropylenglykoldiacrylat wurde verdampft und auf der mikrostrukturierten
WAFT-Kugelschichtprobe
kondensiert, während
die gekühlte
Stahltrommel bei –30°C gehalten
wurde. Die Probe auf der Trommel wurde an der Plasmabehandlungsvorrichtung,
Dampfbeschichtungsdüse
und Elektronenstrahlhärtungskopf
mit einer Geschwindigkeit von 38 m/min vorbei bewegt. Ein Stickstoffgasfluss
von 570 ml/min wurde an der 2000 W-Plasmabehandlungsvorrichtung angelegt.
Der Flüssigkeitsfluss von
Tripropylenglykoldiacrylat bei Zimmertemperatur betrug 9 ml/min.
Der Monomerverdampferschacht wurde auf 290°C gehalten. Die Dampfbeschichtungsdüse wurde
auf 275°C
gehalten. Der Druck in der Vakuumkammer betrug 4,8 × 10–1 Torr.
Die Elektronenstrahlhärtungskanone
verwendete eine Beschleunigungsspannung von 10 kV und 9 bis 12 mA
Stromstärke.
-
Das Monomer Tripropylenglykoldiacrylat
wurde während
20 Umdrehungen der Probe aufgetragen und gehärtet, wobei bei jeder Umdrehung
ungefähr
0,5 μm Monomer
abgeschieden und gehärtet
wurden (ungefähr 10 μm Gesamtdicke
nach 20 Umdrehungen). Zur Abschätzung
der Beschichtungsdicke auf der mikrostrukturierten WAFT-Kugelschichtprobe
wurde das Polytripropylenglykoldiacrylat, das auf das schmale Band
der frei liegenden glatten Metalltrommel beschichtet und gehärtet worden
war, entfernt und gemessen, wobei es eine Dicke von 10,5 μm aufwies.
Die Beschichtungsdicke auf der mikrostrukturierten WAFT-Kugelschicht
wurde aus Mikrophotographien auf ungefähr 10 μm geschätzt.
-
Wie nachstehend beschrieben, wurden
die Mikrokugeln nachfolgend mit einer Aluminiumreflektorschicht
und einer Haftkleberschicht beschichtet und dann vom temporären Träger entfernt,
um einen Gegenstand, wie den in 4 gezeigten,
herzustellen.
-
Beispiel 2
-
Ein weiteres Stück einer mikrostrukturierten
WAFT-Kugelschicht, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde auf die
gekühlte
Stahltrommel des in Beispiel 1 verwendeten Apparats fest geklebt.
Als Monomer wurde ein 50/50-Gemisch (nach dem Gewicht) aus Tris(2-hydroxyethyl)isocyanurattriacrylat
und Trimethylolpropantriacrylat bei den gleichen Bedingungen, wie
in Beispiel 1 angegeben, verwendet; ausgenommen, dass dieses Monomerengemisch
auf 80°C
erhitzt wurde, die Plasmaleistung 1900 W betrug und das Kammervakuum
bei 4,5 × 10–4 Torr
lag. Die Dicke des abgeschiedenen Polymers wurde auf ungefähr 6 μm geschätzt. Dies
ist dünner
als in Beispiel 1, das ein Monomer mit niedrigerem Molekulargewicht
einsetzte, verglichen mit dem in Beispiel 2 eingesetzten Gemisch
aus Monomeren mit höherem
Molekulargewicht.
-
Aluminiummetall wurde in einem Vakuumglocken-Dampibeschichter über den
in den Beispielen 1 und 2 hergestellten Polymerbeschichtungen abgeschieden,
wodurch reflektierende Metallschichten erzeugt wurden, die die Optiken
für das
retroreflektierende Folienmaterial mit verkapselten Linsen vervollständigten.
Nach dem Auftragen der Aluminiumbeschichtung wurde eine Schicht
aus Haftkleber auf die beschichteten Mikrokugeln laminiert und die
temporäre
Trägerfolie
wurde von den Mikrokugeln entfernt. An diesem Punkt kann gegebenenfalls
eine Schutzdeckschicht auf die Teile der Mikrokugeln aufgetragen
werden, die durch Entfernung des temporären Trägers frei gelegt wurden, wodurch
ein Gegenstand 40 erzeugt wird, wie in 5 gezeigt. Wie in 5 angegeben, kann das retroreflektierende
Folienmaterial mit verkapselten Linsen 40 eine Schicht von Mikrokugeln 36 einschließen, die
in einer Bindemittelschicht 35 eingebettet sind, wobei
die Polymerbeschichtung 34 (wie die in den Beispielen 1
und 2 abgeschiedene) auf den Mikrokugeln angeordnet ist und eine reflektierende
Beschichtung 38 (wie Aluminium oder andere reflektierende
Metalle) zwischen der Polymerbeschichtung und der Bindemittelschicht
angeordnet ist. In einigen Anwendungen fungiert die Polymerbeschichtung 34 als
Abstandshalterschicht, die die Lichtbrechung kompensiert, die durch
die Schutzdeckschicht 39 verursacht wird. 6 zeigt eine vergrößerte Ansicht des Bereichs 6,
wie in 5 angegeben.
Wie in der vergrößerten Ansicht erläutert, kann die Beschichtung 34,
wie in den Beispielen 1 und 2 abgeschieden, eine Profil erhaltende
Beschichtung sein.
-
Zum Vergleich mit den Beispielen
1 und 2 wurde eine Folie aus retroreflektierendem Folienmaterial verwendet,
die im Handel von der Minnesota Mining and Manufacturing Co. (3M),
St. Paul, MN, unter der Handelsbezeichnung 3M SCOTCHLITE Flexible
Reflective Sheeting #580-10 erhältlich
ist. Das Rückstrahlungsvermögen wurde
für die
Beispiele 1 und 2 und das Vergleichsbeispiel gemessen, indem die
Intensität
von Licht gemessen wurde, das von jeder Probe nach dem Einfall mit
einem gewählten
Eintrittswinkel gemäß dem standardisierten
Test ASTM E 810 zurückgestrahlt
wurde. Die Ergebnisse werden in Tabelle I angegeben.
-
Zurückgestrahltes Licht ist das
Licht, das zurück
zur Lichtquelle reflektiert wird und um einen kleinen Beobachtungswinkel
versetzt ist, um der unterschiedlichen Position von Lichtquelle
und Auge des Beobachters Rechnung zu tragen. Der Beobachtungswinkel
wurde für
diese Messungen konstant bei 0,2° gehalten.
Der Eintrittswinkel ist der Winkel zwischen den Lichtstrahlen, die
auf die Oberfläche
auftreffen, und einer zur Oberfläche
senkrechten.
-
Linie am Punkt des Auftreffens. Der
Eintrittswinkel war wie in Tabelle I angegeben. Die Fähigkeit
eines retroreflektierenden Folienmaterial, Licht über einen
Bereich von Eintrittswinkeln zurück
zu reflektieren, wird im Allgemeinen als die Winkelgenauigkeit des
reflektierenden Folienmaterials bezeichnet. Damit WAFT-Folienmaterial
eine gute Winkelgenauigkeit hat, sollten die Polymerbeschichtung
(oder Abstandshalterschicht) und die Al-Metallbeschichtung (oder
andere Reflektorschicht) das Krümmungsprofil
der Mikrokugeln erhalten.
-
Tabelle
I
Rückstrahlvermögen bei
verschiedenen Eintrittswinkeln Lichtstärke/Foot-Lambert/Quadratfuß = Candela/Lux/Quadratmeter)
-
Wie aus Tabelle I ersichtlich, hatte
Beispiel 1 eine ausgezeichnete Helligkeit und Winkelgenauigkeit, vergleichbar
zu der im Handel erhältlichen
Probe. Beispiel 2 zeigte eine angemessene Leistung, wurde aber etwas
niedriger als Beispiel 1 und die im Handel erhältliche Vergleichsprobe gemessen,
die Verfahren auf Lösungsmittelbasis
einsetzt, um sie mit einer Abstandshalterschicht zu versehen. Auf
der Basis von Wissen um Abstandshalterschichten auf Lösungsmittelbasis
wird angenommen, dass Beispiel 2 eine geringere Dicke der Abstandshalterschicht
aufwies als für
gute Helligkeit erwünscht
ist, während
Beispiel 1 näher
an der optimalen Dicke der Abstandshalterschichtvon etwa 12 μm bei Mikrokugeln
mit 60 μm
Durchmesser lag.
-
Beispiel 3
-
Glasmikrokugeln mit einem mittleren
Durchmesser von 40 bis 90 μm
und einem Brechungsindex von 1,93 wurden zum Teil in eine temporäre Trägerfolie
eingebettet, wodurch ein mikrostrukturiertes Substrat erzeugt wurde,
das als ein Kugelschichtträger
bezeichnet wird. Der Kugelschichtträger wurde auf der gekühlten Stahltrommel
des in Beispiel 1 beschriebenen Monomerdampfbeschichtungsapparats
fest geklebt. Alternierende Schichten von sec-Butyl(dibromphenylacrylat)
(SBBPA), wie in der internationalen Veröffentlichung WO 9850805 Al
(entspricht der U.S. Patentanmeldung 08/853,998) beschrieben, und
Tripropylenglykoldiacrylat (TRPGDA) wurden verdampft und auf dem
Kugelschichtträger
kondensiert, während
die gekühlte
Stahltrommel auf –30°C gehalten
wurde. Die Trommel drehte sich, wodurch die Probe an der Plasmabehandlungsvorrichtung,
Dampfbeschichtungsdüse
und Elektronenstrahlhärtungskopf
mit einer Geschwindigkeit von 38 m/min vorbei bewegt wurde. Ein
Stickstoffgasfluss von 570 ml/min wurde an der 2000 W-Plasmabehandlungsvorrichtung
angelegt. Der Flüssigkeitsfluss
von Tripropylenglykoldiacrylat bei Zimmertemperatur betrug 1,2 ml/min und
der Flüssigkeitsfluss
von erwärmtem
SBBPA betrug 1,1 ml/min. Der Monomerverdampferschacht wurde auf
295°C gehalten
und die Dampfbeschichtungsdüse
war bei 285°C.
Der. Druck in der Vakuumkammer betrug 2,2 × 10–4 Torr.
Die Elektronenstrahlhärtungskanone
verwendete eine Beschleunigungsspannung von 7,5 kV und 6 mA Stromstärke. Die
alternierenden Schichten wurden aufgetragen, indem das SBBPA-Monomerflussventil
an der Monomerpumpe eine Trommelumdrehung geöffnet, dann das SBBPA-Monomerflussventil
geschlossen und gleichzeitig das TRPGDA-Monomerflussventil für die nächste Trommelumdrehung geöffnet wurde.
Dies wurde für
60 alternierende Schichten wiederholt, wobei jede Schicht gehärtet wurde,
bevor die nächste
Schicht abgeschieden wurde. Der Kugelschichtträger, der mit den 60 alternierenden
Schichten beschichtet war, wurde mit etwa 0,7 mm schnellhärtendem
Universalepoxidklebstoff beschichtet, verkauft von ITW Devcon, Danvers,
MA, unter der Handelsbezeichnung POLYSTRATE 5-MINUTE EPOXY. Das
Epoxid konnte bei Normalbedingungen 1 Stunde härten, bevor der Kugelschichtträger abgezogen
wurde, wodurch Teile der Mikrokugeln an der Oberfläche frei
gelegt wurden.
-
Zum Vergleich wurden Glasmikrokugeln
in einen Kugelschichtträger
eingebettet und mit etwa 0,7 mm des selben Epoxids beschichtet,
ohne dass Schichten auf die Mikrokugeln aufgedampft wurden. Der
Trägerfilm wurde
abgezogen, nachdem das Epoxid 1 Stunde härten konnte. Das Rückstrahlvermögen von
Beispiel 3 und diesem Vergleichsbeispiel wurde als Funktion der
Wellenlänge
für sichtbares
Licht. mit Wellenlängen
von 400 nm bis 800 nm gemessen. Beispiel 3 wies ein Rückstrahlvermögen von
etwa 2,5% bis 3,5% über
den Bereich der Wellenlängen
auf, während
die Vergleichsprobe ohne die mehrschichtige Beschichtung auf den
Mikrokugeln ein Rückstrahlvermögen von
etwa 1,5% über
den Bereich aufwies. Dies zeigte an, dass die mehrschichtige Aufdampfbeschichtung
reflektierend war.
-
Beispiel 4
-
Glasmikrokugeln mit einem mittleren
Durchmesser von 40 bis 90 μm
und einem Brechungsindex von 1,93 wurden zum Teil in eine temporäre Trägerfolie
eingebettet. Die temporäre
Trägerfolie
wird als Dampfschichtträger
bezeichnet. Spiegekeflektierende Schichten aus Aluminium wurden
auf die frei liegenden Teile der Mikrokugeln aufgetragen, wodurch
sich retroreflektierende Elemente ergaben. Die metallisierte Dampfschichtträger/Mikrokugelschicht
wurde mittels Kerbrakelbeschichtung unter Verwendung eines 0,15
mm Spalts und mit einer Emulsion aus den folgenden Komponenten (in
Gewichtsteilen angegeben) beschichtet:
39,42 Teile Rhoplex
HA-8 (Rohm and Haas Co.)
2,06 Teile Acrysol ASE-60 (Rohm and
Haas Co.)
0,23 Teile Nopco DF160-L (Diamond Shamrock Co.),
auf 50% verdünnt
mit Wasser
0,47 Teile Ammoniumnitrat (verdünnt mit Wasser, 10,6 Teile
Wasser, 90,4 Teile Ammoniumnitrat)
0,31 Teile Ammoniumhydroxid
(wässrig
28-30 Gew.%)
1,96 Teile Z-6040 (Dow Chemical Co.)
2 Teile
Aerotex M-3 (American Cyanamid Co.)
55,55 Teile Wasser
-
Das Material wurde etwa 5 Minuten
in einem Ofen bei 105 °C
gehärtet.
Ein weniger als 0,1 mm dicker Film aus mit Koronaentladung behandeltem
Ethylen-Acrylsäure-Copolymer
(im Handel von Consolidated Thermoplastics Co., Dallas, TX, unter
der Handelsbezeichnung LEA-90 erhältlich) wurde auf den beschichteten,
metallisierten Dampfschichtträger
laminiert. Der Dampfschichtträger
wurde dann abgezogen, wodurch die Mikrokugeln auf der Substratoberfläche frei
gelegt wurden.
-
Das mikrostrukturierte Substrat mit
frei liegenden Glasmikrokugeln wurde mittels Monomerdampfabscheidung
bei Normaldruck in einem Walze-zu-Walze-Beschichtungssystem mit dem in den internationalen Anmeldungen
US 98/24230 (entspricht U.S. Patentanmeldung 08/98,947) und US 98/22953
(entspricht U.S. Patentanmeldung 08/980,948) beschriebenen Verfahren
und Apparat beschichtet. Ein Flüssigkeitsstrom
wurde auf die frei liegenden Mikrokugeln des mikrostrukturierten
Substrats zerstäubt,
verdampft, kondensiert und polymerisiert. Dies geschah wie folgt.
Ein Flüssigkeitsstrom,
bestehend aus einer Lösung
von 7,08 Gewichtsteilen 1,6-Hexandioldiacrylat mit einem Siedepunkt
von 295 °C
bei Standarddruck und 60,0 Gewichtsteilen Perfluoroctylacrylat (im
Handel von 3M Company, St. Paul, MN, unter der Handelsbezeichnung
FC 5165 erhältlich)
mit einem Siedepunkt von 100°C
bei 100 mm Hg (1400 Pa), wurde mit einer Spritzenpumpe (im Handel
von Harvard Apparatus, Holliston, MA, unter der Handelsbezeichnung
Model 55-2222 erhältlich)
durch eine Zerstäuberdüse gefördert, wie
die in den internationalen Anmeldungen US 98/24230 (entspricht U.S.
Patentanmeldung 08/980,947) und US 98/22953 (entspricht U.S. Patentanmeldung
08/980,948) offenbarte. Ein Gasstrom (Stickstoff von Tieftemperaturgüte, erhältlich von
Praxair Co., Inver Grove Heights, MN) bei 0,35 mPa (34 psi) wurde
auf 152°C
erhitzt und durch die Zerstäuberdüse geleitet.
Die Flüssigkeitsfließgeschwindigkeit
betrug 0,5 ml/min und die Gasstromfließgeschwindigkeit betrug 26,1
l/min (Standardtemperatur und -druck oder „STP": standard temperature
and pressure). Sowohl der Flüssigkeitsstrom
als auch der Gasstrom durchliefen die Düse entlang getrennter Kanäle, wie
in den internationalen Anmeldungen US 98/24230 (entspricht U.S.
Patentanmeldung 08/980,947) und US 98/22953 (entspricht U.S. Patentanmeldung
08/980,948) beschrieben. Der Gasstrom trat an einer kreisförmigen Mündung aus,
die auf eine zentrale Spitze gerichtet war, die sich 3,2 mm vom
Ende der Düse
befand. An dieser Stelle kollidierte der Gasstrom mit dem zentralen
Flüssigkeitsstrom.
Der Flüssigkeitsstrom
wurde dadurch zu einem Nebel von Flüssigkeitströpfchen im Gasstrom zerstäubt. Die
zerstäubten
Flüssigkeitströpfchen im
Gasstrom verdampfen dann rasch, sobald sich der Fluss durch eine
Dampftransportkammer bewegte. Die Dampftransportkammer hatte zwei
Teile, ein Glasrohr mit 10 cm Durchmesser und 64 cm Länge und
ein Aluminiumrohr mit 10 cm Durchmesser und 10 cm Länge. Das
Austrittsende der Düse
erstreckte sich ungefähr
16 mm in ein Ende des Glasrohrs und das Aluminiumrohr war mit dem
anderen Ende des Glasrohrs verbunden. Die Glas- und Aluminiumrohre
wurden mittels um das Rohr herum gewickeltes Heizband und Bandheizer
erhitzt, um Dampfkondensation an den Wänden der Dampftransportkammer
zu verhindern.
-
Das Dampf- und Gasgemisch verließ die Dampfbeschichtungsdüse am Ende
des Aluminiumrohrs. Der Auslass der Dampfbeschichtungsdüse war ein
Schlitz mit 25 cm Länge
und 1,6 mm Breite. Die Temperatur des Dampf- und Gasgemischs betrug
an einer Position 3 cm vor dem Auslass der Dampfbeschichtungsdüse 120°C. Das Substrat
wurde auf einer gekühlten
Metalltrommel über
ein mechanisches Antriebssystem, das die Bewegungsgeschwindigkeit
des Substratfilms auf 2,0 m/min regelte, an der Dampfbeschichtungsdüse vorbei bewegt.
Der Spalt zwischen der Dampfbeschichtungsdüse und der gekühlten Trommel
war 1,75 mm. Der Dampf im Gas- und Dampfgemisch kondensierte auf
den Film, wobei er einen Streifen nasse Beschichtung erzeugte.
-
Unmittelbar nach dem Beschichten,
während
das Substrat noch auf der gekühlten
Trommel war, wurde die Monomerbeschichtung radikalisch polymerisiert,
indem der beschichtete Film in einer Stickstoffatmosphäre unter
einem 222 nm monochromatischen Ultraviolettlampensystem (im Handel
von Heraeus Co., Deutschland, unter der Handelsbezeichnung Nobelight
Excimer Labor System 222 erhältlich)
durchgeleitet wurde. Die Lampe hatte eine Bestrahlungsstärke von
100 mW/cm2.
-
Beispiel 5
-
Das Substrat und die Beschichtungsverfahren
wurden gemäß Beispiel
4 durchgeführt,
ausgenommen, dass die Substratgeschwindigkeit während der Monomerdampfabscheidung
4,0 m/min betrug und die Gaseinlasstemperatur 146°C betrug.
-
Beispiel 6
-
Das Substrat und die Beschichtungsverfahren
wurden gemäß Beispiel
4 durchgeführt,
ausgenommen, dass vor der Monomerdampfabscheidung das Substrat durch
Stickstoff-Koronaentladung
bei einer normalisierten Koronaenergie von 1,3 J/cm2 mit
300 W Leistung und 54 l/min Stickstofffluss an den Elektroden vorbei behandelt
wurde. 3 Keramikröhrenelektroden
von Sherman Treaters, Ltd., UK, mit einer wirksamen Länge von 35
cm wurden mit einer blanken Metallerdungswalze verwendet. Die Koronaenergiequelle
war ein Modell RS-48B Surface Treater von ENI Power Systems, Rochester,
NY. Die Geschwindigkeit während
der aufeinander folgenden Schritte von Koronabehandlung, Monomerdampfabscheidung
und Härten
betrug 4,0 m/min und die Gaseinlasstemperatur betrug 140°C.
-
Das Rückstrahlvermögen der
Beispiele 4 bis 6 und einer Al-beschichteten Kontrollprobe wurde
wie in Beispiel 1 beschrieben gemessen. Die Ergebnisse werden in
Tabelle II angegeben. Wie aus Tabelle II ersichtlich, haben die
Beispiele 4 bis 6 ein verbessertes Rückstrahlvermögen relativ
zur Al-beschichteten Kontrollprobe, insbesondere bei höheren Eintrittswinkeln.
-
Tabelle
II
Rückstrahlvermögen bei
verschiedenen Eintrittswinkeln (Lichtstärke/Foot-Lambert/Quadratfuß = Candela/Lux/Quadratmeter)
-
Beispiel 7
-
Ein Stück optischen Films, im Handel
von Minnesota Mining and Manufacturing Co., St. Paul, MN, unter
der Handelsbezeichnung 3M OPTICAL LIGHTING FILM (OLF) #2301 erhältlich,
wurde an der gekühlten Stahltrommel
des Monomerdampfabscheidungsapparats fest geklebt und mit Monomerdampf
wie in Beispiel 1 beschichtet. OLF weist eine Reihe von mikrostrukturierten
V-förmigen
Rillen und Spitzen auf der einen Seite auf und ist auf der anderen
glatt. Der Film wird typischerweise in elektronischen Displays zur
Steuerung der Lichtverteilung eingesetzt. Die V-förmigen Strukturen
waren etwa 178 μm
hoch mit einem Abstand von Spitze zu Spitze von 356 μm. Der „V"-Winkel
betrug an den Spitzen und den Tälern
90°. Tripropylenglykoldiacrylat wurde
verdampft und auf der gerillten Seite der OLF-Probe kondensiert, wobei die gekühlte Stahltrommel
bei –30°C gehalten
wurde. Die Probe auf der Trommel wurde an der Plasmabehandlungsvorrichtung,
Dampfbeschichtungsdüse
und Elektronenstrahlhärtungskopf
mit einer Geschwindigkeit von 38 m/min vorbei bewegt. Ein Stickstoffgasfluss
von 570 ml/min wurde an der 2000 W-Plasmabehandlungsvorrichtung
angelegt. Der Flüssigkeitsfluss
von Tripropylenglykoldiacrylat bei Zimmertemperatur betrug 9 ml/min.
Der Monomerverdampferschacht wurde auf 290°C gehalten und die Dampfbeschichtungsdüse war bei
275°C. Der
Druck in der Vakuumkammer betrug 4,8 × 10–4 Torr.
Die Elektronenstrahlhärtungskanone
verwendete eine Beschleunigungsspannung von 10 kV und 9 bis 12 mA
Stromstärke.
Das Monomer Tripropylenglykoldiacrylat wurde während 20 Umdrehungen der Probe
aufgetragen und gehärtet,
wobei während
jeder Umdrehung ungefähr
0,5 μm auf
der Trommel abgeschieden wurden. Es wurde jedoch eine Gesamtdicke
von 1 μm
auf dem OLF gemessen. Der Unterschied zwischen der Dicke auf der
Trommel (10 μm)
und dem OLF (1 μm)
ist wahrscheinlich auf schlechte Wärmeübertragung zwischen der OLF-Probe
und der Trommel zurückzuführen, was
zu geringerer Kühlung
der OLF-Probe im Verhältnis
zur Trommel führt.
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7 zeigt
eine digital reproduzierte Rasterelektronenmikrografie eines Teils
der beschichteten OLF-Probe 50 in der Nähe einer Spitze 56.
Das Bild wurde vergrößert, so
dass es die oberen knapp 10% eines einzigen Merkmals auf dem OLF-Substrat
zeigt. Das OLF-Substrat 52 hatte
eine Profil erhaltende Beschichtung 54 und wurde abgebildet,
nachdem es in einem Epoxid 55 eingegossen worden war, das
um die Probe herum gehärtet
wurde, und dann mittels eines Mikrotoms zu Querschnitten geschnitten
wurde. Der in Epoxid eingegossene Querschnitt wurde poliert und
abgebildet, wodurch sich die in 7 gezeigte
Mikrographie ergab. Wie durch den 6 μm Maßstab in 7 angezeigt, betrug die Dicke T der Beschichtung 54 etwa
1 μm. Die Beschichtung
wies in einem Gebiet um die Spitze 56 eine geringere Dicke
auf, aber das Gesamtprofil der beschichteten OLF-Probe stimmte mit
dem darunter liegenden OLF-Profil innerhalb von 3% überein.
Die dunkle Bande zwischen OLF-Substrat 52 und Beschichtung 54 zeigte
teilweise Delamination der Beschichtung während des Polierschritts an.
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Beispiel 8
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Eine OLF-Folie, wie in Beispiel 7
verwendet, wurde durch den in Beispiel 1 beschriebenen Apparat in einem
Walze-zu-Walze-Aufbau mit einer Geschwindigkeit von 38 m/min gefördert. Tripropylenglykoldiacrylat wurde
verdampft und mit der gekühlten
Stahltrommel bei –30°C auf der
gerillten Seite der OLF-Probe kondensiert. Die OLF-Bahn wurde an
der Plasmabehandlungsvorrichtung, Dampfbeschichtungsdüse und Elektronenstrahlhärtungskopf
mit einer Geschwindigkeit von 38 m/min vorbei bewegt. Ein Stickstoffgasfluss
von 570 ml/min wurde an der 2000 W-Plasmabehandlungsvorrichtung
angelegt. Der Flüssigkeitsfluss
von Tripropylenglykoldiacrylat bei Zimmertemperatur betrug 18 ml/min.
Der Monomerverdampferschacht war bei 29°C und die Dampfbeschichtungsdüse war bei
275 °C.
Die Vakuumkammer wurde bei 4,8 × 10–4 Torr
gehalten. Die Elektronenstrahlhärtungskanone
verwendete eine Beschleunigungsspannung von 12 bis 15 kV und 9 bis
12 mA Stromstärke.
Unter diesen Bedingungen wurde eine ungefähr 0,6 μm dicke Schicht aus Polytripropylenglykoldiacrylat über der
mikrostrukturierten Seite der OLF-Probe abgeschieden.
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8 zeigt
eine digital reproduzierte Rasterelektronenmikrografie eines Teils
der beschichteten OLF-Probe 60 in der Nähe eines Tals 66.
Das Bild wurde vergrößert, so
dass es die unteren knapp 20% des Schnittpunktes zweier Merkmale
auf dem OLF-Substrat 62 bei einem Tal 66 zeigt.
Das OLF-Substrat 62 hatte eine Profil erhaltende Beschichtung 64 und
wurde abgebildet, nachdem es in einem Epoxid 65 eingegossen worden
war, das um die Probe herum gehärtet
wurde, und dann mittels eines Mikrotoms zu Querschnitten geschnitten
wurde. Der in Epoxid eingegossene Querschnitt wurde poliert und
abgebildet, wodurch sich die in 8 gezeigte
Mikrographie ergab. Wie durch den 12 μm Maßstab in 8 angezeigt, betrug die Dicke T der Beschichtung 64 etwa
0,6 μm.
Die Beschichtung wies einen abgerundeten Teil 68 neben
dem Tal 66 des OLF-Substrats 62 auf. Die Krümmung des
abgerundeten Teils der Beschichtung war größer als die Krümmung des
Tals, aber das Gesamtprofil der beschichteten OLF-Probe stimmte
mit dem darunter liegenden OLF-Profil innerhalb von 1% der Facettenlängen überein.
Die dunklen Banden zwischen OLF-Substrat 62 und Beschichtung 64 sowie
zwischen Beschichtung 62 und Epoxid 65 zeigten
teilweise Delamination der Beschichtung während des Polierschritts an.
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Die Oberflächenrauheit der Beispiele 7 und 8 und
von unbeschichtetem OLF wurden mittels Interferometrie analysiert.
Die Interferometrie misst die Höhen
von Oberflächenmerkmale,
indem ein Laserstrahl in einen Probenstrahl und einen Referenzstrahl
aufgeteilt, der Probenstrahl von der Oberfläche der Probe reflektiert und
der Phasenunterschied zwischen dem Referenzstrahl (der eine bekannte
Entfernung durchquert) und dem Probenstrahl detektiert wird. Die
Entfernung, die der Referenzstrahl durchquert, wird über einen
vorgegebenen Bereich variiert, so dass mehrfache konstruktive und
destruktive Interferenzringe detektiert werden. Auf diese Weise
können
unterschiedliche Oberflächenhöhen detektier
werden. Die Proben wurden um 45° geneigt,
so dass das Interferometer direkt auf eine der Seiten der V-Rillen
blickte. Wie in Tabelle III angegeben, sind Rq und
Ra statistische Maßzahlen für die Oberflächenrauheit,
wobei höhere
Werte höhere
Rauheit anzeigen. Rq ist der quadratische
Mittelwert der Rauheit und wird berechnet, indem die Quadratwurzel
aus der Summe der Quadrate des Unterschieds zwischen der Höhe an einem
gegebenen Punkt auf der Oberfläche
und der mittleren Höhe
der Oberfläche
gezogen wird. Ra ist die mittlere Höhenabweichung
entlang der Oberfläche. Tabelle
III fasst die Ergebnisse zudammen.
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Tabelle
III
Oberflächenrauheit
in nm
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Die Daten in Tabelle III zeigen,
dass die beschichteten OLF-Oberflächen in den Beispielen 7 und
8 glatter waren (niedrigere Rq- und Ra-Werte hatten) als die OLF-Oberfläche vor
dem Beschichten. Die zeigt an, dass die Beschichtungen in den Beispielen
7 und 8 auch die Facetten der Mikrostruktur glätteten, während sie das Profil der Mikrostruktur
der OLF-Probe erhielten.
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Diese Erfindung kann geeigneterweise
in Abwesenheit jeglichen Elements durchgeführt werden, das nicht spezifisch
in diesem Dokument beschrieben wurde.
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Verschiedene Abänderungen und Veränderungen
dieser Erfindung sind für
den Fachmann aus der Beschreibung hier klar, ohne vom Umfang und
Geist dieser Erfindung abzuweichen. Demgemäß ist die Erfindung an den
Begrenzungen in den Ansprüchen
und allen Äquivalenten
dazu definiert.