DE69824295T2 - Abgedichtete Schleuse für eine Vakuumkammer - Google Patents

Abgedichtete Schleuse für eine Vakuumkammer Download PDF

Info

Publication number
DE69824295T2
DE69824295T2 DE1998624295 DE69824295T DE69824295T2 DE 69824295 T2 DE69824295 T2 DE 69824295T2 DE 1998624295 DE1998624295 DE 1998624295 DE 69824295 T DE69824295 T DE 69824295T DE 69824295 T2 DE69824295 T2 DE 69824295T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rollers
chamber
belt
roller
passage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE1998624295
Other languages
English (en)
Other versions
DE69824295T3 (de
DE69824295D1 (de
Inventor
Pierre Vanden Brande
Alain Weymeersch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ArcelorMittal France SA
Original Assignee
Cockerill Sambre SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=8237125&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE69824295(T2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Cockerill Sambre SA filed Critical Cockerill Sambre SA
Application granted granted Critical
Publication of DE69824295D1 publication Critical patent/DE69824295D1/de
Publication of DE69824295T2 publication Critical patent/DE69824295T2/de
Publication of DE69824295T3 publication Critical patent/DE69824295T3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F27D99/0073Seals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/52Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
    • C21D9/54Furnaces for treating strips or wire
    • C21D9/56Continuous furnaces for strip or wire
    • C21D9/562Details
    • C21D9/565Sealing arrangements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B21MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
    • B21BROLLING OF METAL
    • B21B45/00Devices for surface or other treatment of work, specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, metal-rolling mills
    • B21B45/004Heating the product
    • B21B2045/006Heating the product in vacuum or in inert atmosphere
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B21MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
    • B21BROLLING OF METAL
    • B21B9/00Measures for carrying out rolling operations under special conditions, e.g. in vacuum or inert atmosphere to prevent oxidation of work; Special measures for removing fumes from rolling mills
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/74Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
    • C21D1/773Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material under reduced pressure or vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/04Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity adapted for treating the charge in vacuum or special atmosphere
    • F27B9/042Vacuum furnaces
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/28Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity for treating continuous lengths of work
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F27D99/0073Seals
    • F27D2099/0078Means to minimize the leakage of the furnace atmosphere during charging or discharging
    • F27D2099/008Using an air-lock

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine abgedichtete Schleuse zum Einführen und kontinuierlichen Hindurchbewegen eines Bandes eines Substrats, beispielsweise eines Blechs, in eine Vakuumkammer, umfassend
    • – eine Kammer,
    • – mindestens zwei erste Walzen, die in der Kammer derart angeordnet sind, daß sie sich um parallele Achsen drehen können,
    • – mindestens eine zweite Walze, die in der Kammer derart angeordnet ist, daß sie sich um eine Achse, die zu den Achsen der mindestens zwei ersten Walzen parallel ist, drehen kann,
    • – einen für die Bewegung des Bandes vorgesehenen Durchlaß zwischen, nacheinander in der Bewegungsrichtung des Bandes, einer der mindestens zwei ersten Walzen, einer zweiten Walze und einer weiteren der mindestens zwei ersten Walzen, wobei die mindestens zwei ersten Walzen auf der einen Seite des Durchlasses angeordnet sind und die mindestens eine zweite Walze auf der entgegengesetzten Seite dieses Durchlasses angeordnet ist,
    • – eine im wesentlichen dichte Zone, die zwischen dem Band und den zwei aufeinanderfolgenden ersten Walzen ausgebildet ist, wobei diese Zone mit einer Vakuumpumpe verbunden ist,
    (siehe beispielsweise die US-A 368106).
  • Man kennt auch abgedichtete Schleusen mit mehreren aufeinanderfolgenden Vakuumkammern am Eingang und am Ausgang der Kammer (siehe beispielsweise die US-A-2.972.330).
  • Eines der Ziele der Erfindung ist es, eine Schleuse des vorstehend genannten Typs bereitzustellen, die es erlaubt, gleichzeitig eine minimale Sperrigkeit und eine maximale Dichtigkeit für das kontinuierliche Hindurchbewegen eines Bandes eines Substrats zu erreichen.
  • Um dieses Problem zu lösen, ist gemäß der Erfindung eine abgedichtete Schleuse, so wie eingangs beschrieben, vorgesehen, bei welcher die mindestens eine zweite Walze in der Kammer versetzt in Bezug auf die mindestens zwei ersten Walzen angeordnet ist, wobei die Schleuse ferner Mittel zum Einstellen der Distanz zwischen mindestens zwei aufeinanderfolgenden Walzen und Mittel zum Einstellen des Drucks des Bandes auf die Walzen umfaßt.
  • Weitere Ausführungsformen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
  • Weitere Einzelheiten und Besonderheiten der Erfindung werden aus der nachstehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beispielhaft gegebenen Beschreibung von zwei besonderen Ausführungsformen der erfindungsgemäßen abgedichteten Schleuse hervorgehen.
  • 1 ist eine schematische Ansicht eines Längsschnitts einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen abgedichteten Schleuse.
  • 2 ist ein Schnitt längs der Linie II-II der 1.
  • 3 ist eine Draufsicht längs der Linie III-III der 1.
  • 4 ist eine der 1 entsprechende Schnittansicht einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schleuse.
  • In den verschiedenen Figuren betreffen gleiche Bezugszeichen die gleichen Elemente oder entsprechende Elemente.
  • In allgemeiner Weise betrifft die Erfindung eine abgedichtete Schleuse, die dazu bestimmt ist, vor dem Einlaß und nach dem Auslaß einer Vakuumkammer, die in kontinuierlicher Weise von einem Band eines Substrats, insbesondere eines Stahlblechs, durchquert wird, angeordnet zu werden.
  • Die beiden Schleusen können miteinander identisch oder voneinander verschieden sein, in Abhängigkeit von der Größe des Vakuums, das in der vorstehend genannten Kammer aufrechterhalten werden soll.
  • In jeder dieser Schleusen sind Walzen angeordnet, die sich frei um ihre Achsen, die sich quer zu der Bewegungsrichtung des Bandes und parallel zueinander erstrecken, drehen können.
  • Diese Schleusen sind dadurch gekennzeichnet, daß die Walzen in der Bewegungsrichtung des Bandes in Bezug aufeinander versetzt sind.
  • Vorteilhafterweise umfaßt die Kammer einer Schleuse mindestens drei aufeinanderfolgende Walzen, die längs der Bewegungsrichtung des Bandes versetzt sind und zwischen denen ein Durchlaß für dieses letztere vorgesehen ist.
  • Die erste und die dritte Walze sind auf der einen Seite dieses Durchlasses oder des sich durch diesen letzteren hindurch bewegenden Bandes angeordnet, während die zweite Walze auf der in Bezug auf die beiden vorstehenden Walzen entgegengesetzten Seite dieses Durchlasses oder des Bandes angeordnet ist, und dies derart, daß eine im wesentlichen dichte Zone zwischen diesem Band und der ersten Walze und der dritten Walze gebildet wird.
  • Um eine Druckerniedrigung in dieser Zone aufrechtzuerhalten, ist dieselbe mit einer Vakuumpumpe verbunden, und es sind Mittel zum Regeln des Drucks des Bandes auf die Walzen in Abhängigkeit von den Druckdifferenzen, die zwischen dieser Zone und der Umgebung dieser letzteren bestehen, vorgesehen.
  • Die 1 bis 3 zeigen schematisch eine erste besondere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen abgedichteten Schleuse.
  • Diese Schleuse wird gebildet durch ein parallelepipedförmiges Gehäuse 1, das eine Kammer begrenzt, in welcher drei Walzen 2a, 2b und 2c mit horizontalen und parallelen Achsen angeordnet sind, die mit einem horizontalen Versatz und in der Weise angeordnet sind, daß zwischen zwei aufeinandertolgenden Walzen ein Durchlaß 9 gebildet ist, in welchem ein kontinuierliches Blech 3 geführt ist.
  • Die Walzen 2a und 2c sind oberhalb dieses Durchlasses 9 angeordnet, während die dazwischenliegende Walze 2b sich zwischen den beiden Walzen 2a und 2c unterhalb dieses Durchlasses befindet. Diese drei Walzen bilden somit aufeinanderfolgende, das heißt in der Bewegungsrichtung des Bandes 3, die durch den Pfeil 16 angegeben ist, versetzte Walzen. Somit ist zwischen diesen Walzen, den Seitenwänden 11 und 12 des Gehäuses 1 und dem Band 3 eine Zone 6 gebildet. Die Dichtheit dieser Zone ist durch Vorsehen eines minimalen Spiels zwischen den Seitenwänden 11 und 12 des Gehäuses 1 und den Walzen 2a, 2b und 2c sowie durch Dichtungselemente 4 zwischen den zylindrischen Wänden der Walzen und der oberen Wand 13 und der unteren Wand 14 des Gehäuses 1 gewährleistet. Das Blech 3 gewährleistet die Hauptdichtigkeit zwischen zwei aufeinanderfolgenden Walzen, indem es sich mit einem vorherbestimmten Druck gegen einen Teil der zylindrischen Oberfläche dieser letzteren bewegt.
  • Die einzige relativ bedeutende undichte Stelle befindet sich an den Spalten 8, die zwischen den seitlichen Rändern des Blechs 3 und den Seitenwänden 11 und 12 des Gehäuses vorhanden sind.
  • Um eine minimale undichte Stelle zwischen den beiden ebenen Stirnflächen 15 der Walzen 2a, 2b, 2c und den Seitenwänden 11 und 12 des Gehäuses 1 zu erhalten, sind diese Walzen um im Inneren der Enden dieser Walzen 2 angeordnete Lager 7 drehbar angeordnet.
  • Um diese undichten Stellen, die unvermeidbar sind, zu kompensieren, ist diese Zone 6 über eine in der oberen Wand 13 des Gehäuses 1 vorgesehene Öffnung 5 an eine nicht dargestellte Vakuumpumpe angeschlossen.
  • Vorteilhafterweise sind bei der in den 1 bis 3 dargestellten besonderen Ausführungsform die Lager 7 der Walze 2b derart angeordnet, daß sie eine leichte vertikale Verschiebung in den Seitenwänden 11 und 12 erfahren können. Das Gleiche gilt für das mit der zylindrischen Oberfläche dieser Walze 2b zusammenwirkende Dichtungselement 4, das vertikal verschieblich, wie durch die Pfeile 10 gezeigt, in der unteren Wand 14 des Gehäuses 1 angeordnet sein kann. Auf diese Weise ist es möglich, die Distanz zwischen zwei auf einanderfolgenden Walzen und somit den Querschnitt des Durchlasses 9 zwischen diesen Walzen in Abhängigkeit von der Dicke des Bleches 3 einzustellen.
  • Der Durchmesser der Walzen 2a, 2b und 2c, der für die drei Walzen im wesentlichen identisch ist, ist ausreichend groß, um keine plastischen Verformungen in dem Blech 3 hervorzurufen. Vorteilhafterweise ist dieser Durchmesser mindestens 600 mm, für ein Blech mit einer Dicke von 1 mm.
  • Außerdem ist es, um die Dichtheit der Zone 6 zu gewährleisten, wichtig, daß der Kontaktdruck zwischen dem Blech und den Walzen, der der Dichtheit in dieser Zone dient, mindestens die Differenz des in dieser letzteren herrschenden Drucks und des Drucks in ihrer Umgebung ausgleicht. Somit ist für eine Druckdifferenz von 500 mbar und eine Walze mit einem Durchmesser von 600 mm und ein Band mit einer Breite von 1 m der auf das Blech in der durch den Pfeil 16 angegebenen Bewegungsrichtung auszuübende Zug vorteilhafterweise mindestens 3.000 kg, was, für ein Blech mit einer Dicke von 1 mm, einem Zug von 3 kg pro mm2 entspricht. Für ein Blech von gleicher Breite und einer Dicke von 0,5 mm gelangt man somit zu einem Zug von 6 kg pro mm2. Wenn die Zuggrenze beispielsweise 6 kg pro mm2 ist, gewährleistet ein Blech von 0,25 mm die Dichtheit nur für eine auf 250 mbar begrenzte maximale Druckdifferenz.
  • 4 betrifft eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen abgedichteten Schleuse, die sich von der vorstehenden dadurch unterscheidet, daß das Gehäuse 1 eine Aufeinanderfolge von drei im wesentlichen dichten Zonen 6a, 6b und 6c umfaßt, die durch Vorsehen von fünf aufeinanderfolgenden Walzen, die sich abwechselnd auf der einen und auf der anderen Seite des Bandes 3 befinden, in dem Gehäuse 1 erhalten werden.
  • Somit gewährleistet, wenn, wie in Bezug auf die vorstehend genannte erste Ausführungsform erwähnt, die Zuggrenze beispielsweise 6 kg pro mm2 ist, ein Blech von 0,25 mm die gewünschte Dichtheit nur für eine maximale Druckdifferenz zwischen zwei aufeinanderfolgenden Zonen dieser zweiten Ausführungsform, die auf 250 mbar begrenzt ist. Dies verlangt also zwei zusätzliche Zonen in dem Gehäuse, was demnach dadurch erhalten wird, daß die Anzahl der aufeinanderfolgenden, sich abwechselnd auf der einen und auf der anderen Seite des Bandes erstreckenden Walzen erhöht wird.
  • Es versteht sich, daß die Erfindung nicht auf die vorstehend beschriebenen und in den beigefügten Figuren dargestellten Ausführungsformen einer abgedichteten Schleuse beschränkt ist, sondern daß andere Varianten in Betracht gezogen werden können, insbesondere was die Anzahl der Walzen, die relative Anordnung dieser letzteren sowie die gegebenenfalls zum Einstellen der Distanz zwischen zwei aufeinanderfolgenden Walzen vorgesehenen Mittel und die Mittel zum Gewährleisten der Dichtheit zwischen den Wänden des Gehäuses und den Walzen angeht, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen, wie er durch die beigefügten Ansprüche definiert ist.
  • Darüber hinaus könnte es, wenn die Dicke der zu behandelnden Bleche im Verhältnis zu deren Breite relativ groß ist, in bestimmten Fällen nützlich sein, zusätzliche Dichtungsmittel vorzusehen, die in den Spalten 8 zwischen zwei aufeinanderfolgenden Walzen zu beiden Seiten der seitlichen Ränder des Bleches angeordnet sind.

Claims (5)

  1. Abgedichtete Schleuse zum Einführen und kontinuierlichen Hindurchbewegen eines Bandes eines Substrats (3), beispielsweise eines Blechs, in eine Vakuumkammer, umfassend – eine Kammer (1), – mindestens zwei erste Walzen (2a, 2c), die in der Kammer derart angeordnet sind, daß sie sich um parallele Achsen drehen können, – mindestens eine zweite Walze (2b), die in der Kammer derart angeordnet ist, daß sie sich um eine Achse, die zu den Achsen der mindestens zwei ersten Walzen (2a, 2c) parallel ist, drehen kann, – einen für die Bewegung des Bandes vorgesehenen Durchlaß zwischen, nacheinander in der Bewegungsrichtung des Bandes, einer der mindestens zwei ersten Walzen (2a), einer zweiten Walze (2b) und einer weiteren der mindestens zwei ersten Walzen (2c), wobei die mindestens zwei ersten Walzen (2a, 2c) auf der einen Seite des Durchlasses angeordnet sind und die mindestens eine zweite Walze (2b) auf der entgegengesetzten Seite dieses Durchlasses angeordnet ist, – eine im wesentlichen dichte Zone, die zwischen dem Band (3) und den zwei aufeinanderfolgenden ersten Walzen (2a, 2c) ausgebildet ist, wobei diese Zone mit einer Vakuumpumpe verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine zweite Walze (2b) in der Kammer versetzt in Bezug auf die mindestens zwei ersten Walzen (2a, 2c) angeordnet ist, und dadurch, daß die Schleuse ferner umfaßt – Mittel zum Einstellen der Distanz zwischen mindestens zwei aufeinanderfolgenden Walzen (2a) und (2b) oder (2b) und (2c), und – Mittel zum Einstellen des Drucks des Bandes (3) auf die Walzen (2a, 2b, 2c).
  2. Schleuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Einstellen der Distanz dieselbe längs einer zu der Bewegungsrichtung (16) des Bandes (3) im wesentlichen senkrechten Richtung (10) einstellen.
  3. Schleuse nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, um das Band (3) mit einem solchen Zug zu beaufschlagen, daß dieses letztere die zwischen zwei aufeinanderfolgenden Zonen (6) existierende Druckdifferenz aufnehmen kann.
  4. Schleuse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß Dichtungselemente (4) zwischen der Wand der Kammer (1) und den Walzen (2a, 2b, 2c) vorgesehen sind.
  5. Schleuse nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Einstellen der Distanz den Querschnitt des vorstehend genannten Durchlasses (9) zwischen den Walzen in Abhängigkeit von der Dicke des Bandes anpassen.
DE69824295T 1998-11-26 1998-11-26 Abgedichtete Schleuse für eine Vakuumkammer Expired - Lifetime DE69824295T3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP98870258A EP1004369B2 (de) 1998-11-26 1998-11-26 Abgedichtete Schleuse für eine Vakuumkammer

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE69824295D1 DE69824295D1 (de) 2004-07-08
DE69824295T2 true DE69824295T2 (de) 2004-11-18
DE69824295T3 DE69824295T3 (de) 2009-07-30

Family

ID=8237125

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69824295T Expired - Lifetime DE69824295T3 (de) 1998-11-26 1998-11-26 Abgedichtete Schleuse für eine Vakuumkammer

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6334751B1 (de)
EP (1) EP1004369B2 (de)
JP (1) JP4319307B2 (de)
AT (1) ATE268229T1 (de)
DE (1) DE69824295T3 (de)
DK (1) DK1004369T4 (de)
ES (1) ES2222567T5 (de)
PT (1) PT1004369E (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009052873A1 (de) 2009-11-13 2011-06-16 THEVA DüNNSCHICHTTECHNIK GMBH Einschleusung eines Bandsubstrats zur kontinuierlichen Bearbeitung im Hochvakuum

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7269982B2 (en) * 2000-11-14 2007-09-18 Invista North America S.Ar.L Steam seal for textile production
US6878207B2 (en) * 2003-02-19 2005-04-12 Energy Conversion Devices, Inc. Gas gate for isolating regions of differing gaseous pressure
DE102006025751B4 (de) * 2006-05-31 2010-12-23 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Verfahren zur Abdichtung einer Vakuumkammer und Schleuseneinrichtung für eine Vakuumkammer
DE602007002782D1 (de) * 2007-02-28 2009-11-26 Applied Materials Inc Zugangsversperrsystem, Netzverarbeitungsanlage und Anwendungsverfahren dafür
US20120178037A1 (en) * 2011-01-07 2012-07-12 Tangteck Equipment Inc. Roller sealing device and gas-sealing method thereof
SE536952C2 (sv) * 2012-06-25 2014-11-11 Impact Coatings Ab Kontinuerlig rulle-till-rulle-anordning
DE102018215100A1 (de) 2018-05-28 2019-11-28 Sms Group Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage, und Verfahren zum Beschichten eines bandförmigen Materials
DE102018215101A1 (de) 2018-05-28 2019-11-28 Sms Group Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage, und Verfahren zum Beschichten eines bandförmigen Materials
DE102018215102A1 (de) 2018-05-28 2019-11-28 Sms Group Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage, und Verfahren zum Beschichten eines bandförmigen Materials
WO2024052712A1 (en) * 2022-09-05 2024-03-14 Arcelormittal Sealing airlock for deposition chamber

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2972330A (en) * 1956-02-15 1961-02-21 Nat Steel Corp Vacuum seal for coating apparatus
US3158507A (en) * 1960-01-11 1964-11-24 Continental Can Co Floating roller seal
GB1126700A (en) * 1965-01-08 1968-09-11 United States Steel Corp Roll seal for vacuum strip-treating chamber
US3367667A (en) * 1965-07-16 1968-02-06 United States Steel Corp Roll seal for vacuum strip-treating chamber
BE792701A (de) * 1971-12-14 1973-03-30 Arbed
KR910005158B1 (ko) 1987-06-05 1991-07-23 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 진공연속 처리장치
KR920003591B1 (ko) 1988-04-11 1992-05-04 미쯔비시주우고오교오 가부시기가이샤 연속진공증착장치
JP2691007B2 (ja) 1989-03-20 1997-12-17 株式会社日立製作所 真空連続処理装置
DD289297B5 (de) 1989-11-28 1993-12-16 Ardenne Anlagentech Gmbh Bandschleuse fuer vakuumbeschichtungsanlagen
EP0527859B1 (de) 1990-05-10 1995-07-19 Eastman Kodak Company Gerät zur plasmabehandlung eines durchgehenden materials
GB9323034D0 (en) * 1993-11-09 1994-01-05 Gen Vacuum Equip Ltd Vacuum web coating
JP3315238B2 (ja) * 1994-02-10 2002-08-19 富士写真フイルム株式会社 感光材料用支持体の真空処理用シール方法及び装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009052873A1 (de) 2009-11-13 2011-06-16 THEVA DüNNSCHICHTTECHNIK GMBH Einschleusung eines Bandsubstrats zur kontinuierlichen Bearbeitung im Hochvakuum

Also Published As

Publication number Publication date
DE69824295T3 (de) 2009-07-30
EP1004369B1 (de) 2004-06-02
DK1004369T3 (da) 2004-09-27
ATE268229T1 (de) 2004-06-15
ES2222567T5 (es) 2009-04-16
DK1004369T4 (da) 2009-03-09
JP2000225331A (ja) 2000-08-15
EP1004369A1 (de) 2000-05-31
PT1004369E (pt) 2004-10-29
US6334751B1 (en) 2002-01-01
JP4319307B2 (ja) 2009-08-26
ES2222567T3 (es) 2005-02-01
DE69824295D1 (de) 2004-07-08
EP1004369B2 (de) 2008-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3432549C2 (de)
DE69824295T2 (de) Abgedichtete Schleuse für eine Vakuumkammer
DE1542532A1 (de) Walzenabdichtung fuer Vakuumkammer
DE19514846A1 (de) Lagereinstellmechanismus für kolbenstangenlose Zylinder
DE4339092C2 (de) Transportvorrichtung für Flachmaterial
EP1663823A1 (de) Stapelbildungsvorrichtung
DE2856392C3 (de) Abschreckvorrichtung zum Härten von Blechen unterschiedlicher Breite
DE2937971A1 (de) Vorrichtung zum aufbringen einer flaechenpressung auf fortschreitende werkstuecke
EP2091642B1 (de) Bandschleuse
DE3209890C2 (de) Beizanlage zum kontinuierlichen Beizen von Metallbändern
DE2725573C2 (de) Stützelement einer Durchbiegungseinstellwalze
EP0921235A1 (de) Verbauvorrichtung
DE2453059B2 (de) Dichteinrichtung an einem ueber- oder unterdruck aufweisenden behaelter
DE2828207A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum formen endloser metallgurte aus rohlingen aus rohrfoermigem material
DE2534535C2 (de) Kassette für ein endloses Farbband in einer Schreibmaschine oder ähnlichen Maschinen
DE2729938C3 (de) Doppelbandpresse zum Herstellen von Preßplatten
DE2907711C2 (de) Vorrichtung zum Schneiden von Profilen aus einem Materialblock
DE1501611B1 (de) Vorrichtung zum Kuehlen oder Beheizen von aus dem fluessigen in den festen Zustand ueberfuehrbarem Gut
DE102006025751B4 (de) Verfahren zur Abdichtung einer Vakuumkammer und Schleuseneinrichtung für eine Vakuumkammer
DE2729263A1 (de) Vorrichtung zum kontinuierlichen pressen von pressgutmatten im zuge der herstellung von spanplatten, faserplatten u.dgl.
AT409241B (de) Vorrichtung zum glätten und kühlen bzw. kühlen einer extrudierten materialbahn
DE2160253C3 (de) Transport- und Führungseinrichtung einer Vorrichtung zum Ausgießen von Kanälen in Profilstäben mit wärmeisolierenden Kunststoffmaterialien
DE3149111C2 (de) Halterung von Leit- und/oder Umlenkblechen in einem Entwicklungsgeät für fotografische Schichtträger
DE60201747T2 (de) Vorrichtung zum eintragen von weichelastischen bändern in eine kammer
DE4140396C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von zumindest zwei Gurtbahnen aus Gummi oder Kunststoff

Legal Events

Date Code Title Description
8363 Opposition against the patent
8366 Restricted maintained after opposition proceedings
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ARCELORMITTAL FRANCE, SAINT DENIS, FR