DE69434514T2 - Tintenstrahlaufzeichnungskopf - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung betrifft einen laminierten Tintenstrahlaufzeichnungskopf.
  • Tintenstrahlaufzeichnungsköpfe vom Abruftyp, die zum Ausgeben von Zeichen und Graphiken durch Ausstoßen von Tintentröpfchen aus einer Mehrzahl von Düsen in Übereinstimmung mit eingegebenen Informationen konstruiert sind, werden zunehmend beliebter wegen ihrer hohen Druckqualität und ihres schwachen Geräusches im Vergleich zu Aufzeichnungsköpfen vom Nadeldrucktyp, und wegen ihrer geringen Betriebskosten im Vergleich zu Seitendruckern.
  • Von diesen Tintenstrahlaufzeichnungsköpfen hat ein sogenannter "Face-Ejected"-Tintenstrahlkopf, der zum Ausstoßen von Tintentröpfchen in eine Richtung senkrecht zu der Oberfläche einer Platte durch Anordnen einer Mehrzahl von Düsen auf der Platte konstruiert ist, die Merkmale, dass ein hoher Freiheitsgrad für die Düsenanordnung gegeben ist und dass der Kopf wegen einer laminierten Struktur relativ einfach hergestellt werden kann.
  • 13 zeigt einen beispielhaften Tintenstrahlaufzeichnungskopf mit der obengenannten laminierten Struktur, die ähnlich jener ist, die in der Europäischen Patentanmeldung EP 0 572 231 A offenbart ist. Von einer Kanalplatte 94, die schlanke Druckerzeugungskammern 96 auf einer flachen Oberfläche begrenzt, ist eine Oberfläche durch eine Vibrationsplatte 95 abgedichtet, die piezoelektrische Vibrationselemente 97 aufweist, die so gebildet sind, dass sie den Druckerzeugungskammern 96 entsprechen, und die andere Oberfläche ist durch eine Regulierungsplatte 93 abgedichtet, die regulierende Öffnungen 98 aufweist.
  • Eine Verteilerplatte 92, die auf die Oberfläche der Regulierungsplate 93 laminiert ist, hat Durchgangslöcher, die Reservoirkammern 99 begrenzen, um Tinte zu den entsprechenden Druckerzeugungskammern 96 über die regulierenden Öffnungen 98 zu leiten. Für die Reservoirkammern 99 sind Strömungspfade 100, 101, 102 gebildet, die die Tinte von einem Tintentank zuleiten und durch die Vibrationsplatte 95, die Kanalplatte 94 und die Regulierungsplatte 93 laufen.
  • Ferner sind Düsen 90 in einer Düsenplatte 103 gebildet, die an einer Seite fixiert ist, die der Vibrationsplatte 95 gegenüberliegt. Verbindungslöcher 104, 105, 106 zum Verbinden der Düsen 90 mit den entsprechenden Druckerzeugungskammern sind so gebildet, dass die sich durch die Regulierungsplatte 93 und die Verteilerplatte 92 erstrecken.
  • Dieser laminierte Tintenstrahlaufzeichnungskopf ist dadurch gekennzeichnet, dass die entsprechenden Druckerzeugungskammer für gewöhnlich in zwei Reihen angeordnet sind, so dass sie einander mit Intervallen von 1,01 bis 1,53 mm (0,04 bis 0,06 Inch) innerhalb einer Reihe gegenüberliegen, und abwechselnd an die Düsen angeschlossen sind, die mit Intervallen von 0,50 bis 0,77 mm (0,02 bis 0,03 Inch) innerhalb der einzelnen Reihe beabstandet sind.
  • Übrigens muss zur Verbesserung der Aufzeichnungsqualität eines solchen Tintenstrahlaufzeichnungskopfs die Dichte der aufzuzeichnenden Pixel erhöht werden, indem ein auszustoßendes Tintentröpfchen verkleinert wird. Ferner muss zur Gewährleistung einer passenden Aufzeichnungsgeschwindigkeit bei erfüllter Pixeldichte die Anzahl von Düsen erhöht werden, die Tintentröpfchen ausstoßen. Insbesondere erfordert ein Farbdruck, bei dem ein einziges Pixel durch drei bis vier Farben gebildet wird, unbedingt eine große Anzahl von Düsen wie auch eine komplizierte Strömungspfadstruktur, die die Tinte zu einer solchen großen Anzahl von Düsen leiten kann.
  • Insbesondere ist es zur Verbesserung der Aufzeichnungsqualität durch Erhöhen der Dichte der aufzuzeichnenden Pixel notwendig, die Düsenanordnungsdichte zu erhöhen, wodurch die Strömungspfadstruktur zwischen einem Tintenspeicherabschnitt und den einzelnen Düsen verkompliziert wird. Dies gilt nicht nur für die ebenen Dimensionen und die Anordnung, sondern auch für die Dicke. Zum maschinellen Bearbeiten eines kleineren Durchgangslochs in einer Platte im Sinne der ebenen Dimensionen, muss die Dicke auf einen Grad verringert werden, der gleich dem Durchmesser des Lochs ist.
  • Ein anderer Aspekt der Erfindung ist die Bereitstellung eines neuartigen laminierten Tintenstrahlaufzeichnungskopfs, der kostengünstig unter Nutzung der Eigenschaften von zwei Einheiten hergestellt werden kann, von welchen eine aus einem Metallmaterial besteht und die andere aus einem keramischen Material besteht.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Vermeidung einer Beschädigung des Aufzeichnungskopfs, wenn der Aufzeichnungskopf in eine Umgebung bei niederer Temperatur gebracht wird.
  • Diese Aufgabe wird durch den laminierten Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß dem unabhängigen Anspruch 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Merkmale, Aspekte und Einzelheiten der Erfindung gehen aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen hervor.
  • Die Erfindung stellt einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf bereit, der durch Laminieren von Plattenelementen gebildet wird, und der so konstruiert ist, dass er einen Punkt auf einem Aufzeichnungsblatt bildet, indem ein Tintentröpfchen bei Empfang eingegebener Druckdaten ausgestoßen wird.
  • Um die obengenannten Aspekte zu erreichen, stellt die Erfindung gemäß einem spezifischen Aspekt vorzugsweise einen laminierten Tintenstrahlaufzeichnungskopf bereit, der eine Strömungspfadeinheit aufweist, die durch Laminieren einer Düsenplatte, einer Reservoirkammerbildungsplatte und einer Tintenzufuhreinlassbildungsplatte gebildet wird, wobei die Reservoirkammerbildungsplatte eine Mehrzahl von Reservoirkammern mit Verbindungslöchern hat, die jeweils mit den Düsen in Verbindung stehen, und die Tintenzufuhreinlassbildungsplatte an einer Oberfläche der Reservoirkammerbildungsplatte fixiert ist und Verbindungslöcher zur Verbindung mit Druckerzeugungskammern und Düsen hat. In einem solchen laminierten Tintenstrahlaufzeichnungskopf ist vorzugsweise eine Mehrzahl von Stellgliedeinheiten an der Strömungspfadeinheit fixiert, so dass sie der Gruppe von Düsen entsprechen, und jede Stellgliedeinheit enthält in vorteilhafter Weise eine Druckerzeugungskammerbildungsplatte, eine Vibrationsplatte und piezoelektrische Vibrationselemente. Die Druckerzeugungskammerbildungsplatte hat vorzugsweise eine Mehrzahl von Druckerzeugungskammern, die durch Seitenwände begrenzt sind, wobei die Vibrationsplatte in vorteilhafter Weise an einer Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte fixiert ist und/oder die piezoelektrischen Vibrationselemente auf einer Oberfläche der Vibrationsplatte gebildet sind, so dass sie den Druckerzeugungskammern entsprechen.
  • Die Strömungspfadeinheit, die auch als Stellgliedfixierungsplatte dient, besteht vorzugsweise aus Metall, mit dem durch Pressbearbeitung oder dergleichen relativ leicht Genauigkeit garantiert werden kann, und die Stellgliedeinheit besteht in vorteilhafter Weise aus Keramik, die durch Sintern fixiert werden kann, so dass die Genauigkeit in der Bildung der Düsen der Strömungspfadeinheit vollständig genutzt werden kann.
  • 1 ist eine beispielhafte Aufzeichnungsvorrichtung, bei der ein Tintenstrahlaufzeichnungskopf der Erfindung angewendet wird;
  • 2 ist ein beispielhafter Tintenstrahlaufzeichnungskopf der Erfindung;
  • 3 ist ein Diagramm, das einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf zeigt, der durch Fixieren einer einzigen Stellgliedeinheit an einer Strömungspfadeinheit gebildet ist;
  • 4 ist ein Diagramm, das eine Struktur des Aufzeichnungskopfs von 3 an der Seite der Stellgliedeinheit zeigt;
  • 5 ist eine in Einzelteile aufgelöste, perspektivische Ansicht, die eine innere Struktur des Aufzeichnungskopfs von 3 zeigt;
  • 6 ist ein Diagramm, das eine Struktur in einer Schnittansicht des Aufzeichnungskopfs von 3 zeigt;
  • 7(A) bis (C) sind Diagramme, die eine Methode zur Herstellung einer Stellgliedeinheit zeigen, die in dem Aufzeichnungskopf der Erfindung verwendet wird;
  • 8 ist ein Diagramm, das eine andere Ausführungsform des Aufzeichnungskopfs von 3 zeigt;
  • 9 ist eine in Einzelteile aufgelöste, perspektivische Ansicht, die einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf zeigt, der eine Ausführungsform der Erfindung ist;
  • 10 ist ein Diagramm, das den Tintenstrahlaufzeichnungskopf der Erfindung in der Form einer Struktur einer Seite zeigt, an der die Stellgliedeinheiten montiert sind;
  • 11 ist ein Diagramm, das einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, der eine andere Ausführungsform der Erfindung ist, in der Form einer Anordnung der Druckerzeugungskammern und Düsen zeigt;
  • 12 ist ein Diagramm, das einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, der eine andere Ausführungsform der Erfindung ist, in der Form einer Anordnung der Druckerzeugungskammern und Düsen zeigt; und
  • 13 ist ein Diagramm, das einen beispielhaften herkömmlichen laminierten Tintenstrahlaufzeichnungskopf zeigt.
  • Einzelheiten der Erfindung werden nun unter Bezugnahme auf die Ausführungsformen beschrieben, die in den Zeichnungen dargestellt sind.
  • 1 ist eine beispielhafte Aufzeichnungsvorrichtung, bei der der laminierte Tintenstrahlaufzeichnungskopf der Erfindung angewendet wird.
  • In 1 bezeichnet das Bezugszeichen 2 einen Druckmechanismusabschnitt. Ein Schlitten 80 wird durch einen Schlittenmotor 81 in die Hauptabtastrichtungen (in den Richtungen, die durch Pfeile A in 1 gekennzeichnet sind) bewegt. Ein Aufzeichnungsmedium 82 wird durch einen Blattvorschubmotor 84 in die Nebenabtastrichtungen (in die Richtungen, die durch Pfeile B in 1 gekennzeichnet sind) bewegt, während es durch eine Schreibwalze 83 positioniert wird.
  • Wie in 2 dargestellt ist, besteht der Druckmechanismusabschnitt 2 aus einem Tintenstrahlaufzeichnungskopf 10, der später beschrieben wird, einem Tintespeicherabschnitt 70 und einem Kopfbefestigungselement 20 zum Befestigen des Tintenstrahlaufzeichnungskopfs 10 und des Tintenspeicherabschnitts 70.
  • Der Tintenspeicherabschnitt 70 enthält ein Tintenspeicherelement 74 in dem Behälter, der durch einen Deckel 77 befestigt ist, der ein Atmosphärenverbindungsloch 76 aufweist. Ferner ist ein Strömungspfad durch einen Tintezufuhrschlauch 72 derart begrenzt, dass eines seiner Enden mit dem Tintenstrahlaufzeichnungskopf 10 verbunden ist und das andere Ende zu dem Tintenspeicherabschnitt 70 reicht, so dass die Tinte zu dem Tintenstrahlaufzeichnungskopf 10 geleitet wird. Ein Bezugszeichen 71 bezeichnet einen O-Ring zum Abdichten und ein Bezugszeichen 75 bezeichnet ein Filter, das an dem Tintenzufuhrschlauch 72 bereitgestellt ist.
  • Aufgrund dieser Konstruktion bildet der Augzeichnungskopf 10 ein Bild auf einer zweidimensionalen Ebene durch Ausstoßen eines Tintentröpfchens, während er sich in Übereinstimmung mit einem Drucksignal in die Hauptabtastrichtungen bewegt und ein Aufzeichnungsmedium sich in die Nebenabtastrichtung bewegt, wenn eine Einzellinie von Zeichen oder dergleichen mit Tinte gedruckt wird, die von dem Tintenspeicherabschnitt 70 zugeführt wird.
  • Wenn für mehr als eine vorbestimmte Zeit kein Druck ausgeführt wird, wird zusätzlich der Aufzeichnungskopf in eine Bereitschaftsposition 86 gebracht, wo ein Tintensaugmittel 85 bereitgestellt ist. Das Tintensaugmittel 85 hat eine Kappe 87 und einen nicht dargestellten Kappenbewegungsmechanismus, und wartet in einer Bereitschaftsposition, in der die Kappe 87 gegen die Düsenoberfläche des Aufzeichnungskopfes 10 liegt.
  • Während der Tintenspeicherabschnitt in der obengenannten Ausführungsform auf dem Schlitten 80 getragen wird, kann die Tinte dem Aufzeichnungskopf 10 durch einen Schlauch zugeführt werden, indem ein Tintentank auf einem Gehäuse oder dergleichen angeordnet wird.
  • 3 und 4 zeigen eine Ausführungsform des obengenannten Tintenstrahlaufzeichnungskopfs 10. Der Aufzeichnungskopf 10 wird durch Fixieren einer plattenförmigen Stellgliedeinheit 30 auf einer Oberfläche einer ähnlichen plattenförmigen Strömungspfadeinheit 40 gebildet, deren Fläche grob genug ist, um die Stellgliedeinheit 30 darauf zu befestigen. Ein Ende eines flexiblen Kabels 26 ist an eine Oberfläche der Stellgliedeinheit 30 angeschlossen, wobei das flexible Kabel dazu dient, ein Antriebssignal an ein piezoelektrisches Vibrationselement anzulegen, wie später beschrieben wird.
  • 5 zeigt eine Ausführungsform der Stellgliedeinheit. Die Stellgliedeinheit 30 wird durch aufeinanderfolgendes Laminieren einer Abdichtungsplatte 31, einer Druckerzeugungskammerbildungsplatte 32 und einer Vibrationsplatte 33 gebildet. Auf der Vibrationsplatte 33 werden untere Elektroden 35 gebildet, während sie voneinander getrennt sind, so dass sie den jeweiligen Druckerzeugungskammern 5 entsprechen. Piezoelektrische Vibrationselemente 34, die jeweils aus einem elektrostriktiven Material bestehen, sind so gebildet, dass sie den Oberflächen der unteren Elektroden 35 in der Form einer Schicht entsprechen. Eine obere Elektrode 35 ist auf den Oberflächen der piezoelektrischen Vibrationselemente 34 so gebildet, dass die piezoelektrischen Vibrationselemente 34 zwischen den unteren Elektroden 35 und der oberen Elektrode 36 liegen, wobei sich die obere Elektrode 36 über eine Mehrzahl von piezoelektrischen Vibrationselementen 34 erstreckt.
  • Das heißt, ein Antriebssignal wird individuell an eine untere Elektrode 35 angelegt, so dass ein piezoelektrisches Vibrationselement 34 selektiv angetrieben wird. Die obere Elektrode 36, die als gemeinsame Elektrode dient, und die unteren Elektroden 35, die als individuelle Elektroden dienen, sind durch einen Verbindungsanschluss 37, der auf der Vibrationsplatte 33 gebildet ist, und eine flexible gedruckte Platte (FO) an eine externe Antriebsschaltung angeschlossen. Die jeweiligen Druckerzeugungskammern 5 zum Erzeugen von Druck, der zum Ausstoßen von Tintentröpfchen notwendig ist, haben eine Anordnung auf einer Ebene, die durch schlanke Durchgangslöcher reguliert ist, die in der Druckerzeugungskammerbildungsplatte 32 gebildet sind. Die Umfangswand jedes Durchgangslochs dient als Seitenwand zum Begrenzen und Trennen der Druckerzeugungskammern voneinander.
  • Ferner ist die Abdichtungsplatte 31 nicht nur an die Seitenwände so gebunden, dass sie luftdicht ist, um die Druckerzeugungskammern 5 abzudichten und die Bodenwand für die Druckerzeugungskammer 5 zu bilden, sondern hat auch erste Verbindungslöcher 38 und zweite Verbindungslöcher 39, die so gebildet sind, dass beide Löcher 38, 39 mit jeder Druckerzeugungskammer 5 in der Nähe beider Enden der Druckerzeugungskammer 5 in Verbindung stehen. Jedes erste Verbindungsloch 38 dient dazu, die Tinte der entsprechenden Druckerzeugungskammer von außerhalb der Stellgliedeinheit zuzuführen, und jedes zweite Verbindungsloch 39 dient dazu, mit einer entsprechenden Düse 3, die ein Tintentröpfchen ausstößt, eine Verbindung herzustellen.
  • Die Strömungspfadeinheit 40 wird durch aufeinanderfolgendes Laminieren einer Düsenplatte 41, einer Reservoirkammerbildungsplatte 42 und einer Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 43 gebildet. Die Reservoirkammerbildungsplatte 42 hat ein Durchgangsloch zum Begrenzen einer gebildeten Reservoirkammer 6. Die Reservoirkammer 6 wird so gebildet, dass ein Ende ihrer Oberfläche durch die Düsenplatte 41 abgedichtet ist und das andere Ende ihrer Oberfläche durch die Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 43 abgedichtet ist. Die Reservoirkammer 6 dient als Verteiler zum Verzweigen der Tinte von dem Tintenspeicherabschnitt 74 in die entsprechenden Druckerzeugungskammern 5, und erstreckt sich von einem Abschnitt, der die entsprechenden Druckerzeugungskammern 5 im Sinne einer Ebene überlappt, zu einem Abschnitt, der die Stellgliedeinheit 30 im Sinne einer Ebene nicht überlappt, bei Betrachtung von der Plattenoberfläche.
  • In der Reservoirkammer 6 sind Tintenzufuhreinlässe 4 zum Zuführen der Tinte von der Reservoirkammer 6 zu den einzelnen Druckerzeugungskammern 5 in einem Abschnitt der Reservoirkammerbildungsplatte 42 gebildet, der die entsprechenden Druckerzeugungskammern 5 im Sinne einer Ebene überlappt, während ein Reservoireinlass 8 zum Einleiten der Tinte von dem Tintenspeicherabschnitt 74 zu der Reservoirkammer 6 in einem Bereich gebildet ist, der die Stellgliedeinheit 30 im Sinne einer Ebene nicht überlappt. Zusätzlich hat die Düsenplatte 41 Düsen 3 zum Ausstoßen von Tintentröpfchen, die so gebildet sind, dass sie den Druckerzeugungskammern 5 entsprechen. Zum Verbinden der Düsen 3 mit den entsprechenden Druckerzeugungskammern 5 sind Düsenverbindungslöcher 44, 45 in der Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 43 und der Reservoirkammerbildungsplatte 42 so angeordnet, dass sie jeweils den Düsen 3 entsprechen.
  • Die Tintenzufuhreinlässe 4 und die Düsenverbindungslöcher 44, die zu einer der Oberflächen der Strömungspfadeinheit 40 hin offen sind, werden an Positionen gebildet, die die ersten Verbindungslöcher 38 und die zweiten Verbindungslöcher 39 der Stellgliedeinheit 30 überlappen, welchen die Tintenzufuhreinlässe 4 und die Düsenverbindungslöcher 44 eins zu eins entsprechen. Die Strömungspfade zwischen den entsprechenden Einheiten werden miteinander verbunden, indem die Stellgliedeinheit 30 an die Strömungspfadeinheit 40 gebunden wird, wobei ihre entsprechenden Öffnungen einander überlappen.
  • Der Strom der Tinte in der Kopfeinheit 10, die aus der Strömungspfadeinheit 40 und der Stellgliedeinheit 30 gebildet ist, wird unter Bezugnahme auf 6 beschrieben, die eine Struktur in einer Schnittansicht entlang einer schlanken Druckerzeugungskammer zeigt.
  • Der einfachen Beschreibung wegen zeigt 6 den Reservoireinlass 8 in demselben Abschnitt wie die Druckerzeugungskammer 5 angeordnet. Die Tinte, die vom Tintenspeicherabschnitt eingeleitet wird, wird über den Reservoireinlass 8, die Reservoirkammer 6, den Tintenzufuhreinlass 4 und das Verbindungsloch 38 zu der Druckerzeugungskammer 5 geleitet. Der Tintenzufuhreinlass ist so konstruiert, dass, wenn die Tinte anfänglich in den Strömungspfad geladen wird, oder wenn Blasen, die in dem Strömungspfad erzeugt werden, oder wenn die Viskosität der Tinte erhöht ist, die Tinte oder die Blasen unter Verwendung des Tintensaugmittels 85 zwangsweise aus der Düse 3 gesaugt und abgegeben werden.
  • Zum Zeitpunkt des Drucks veranlasst ferner eine Kapillarkraft, die von einem Meniskus abgeleitet wird, der in der Düse 3 gebildet wird, dass die Tinte von dem Tintenspeicherabschnitt in die Druckerzeugungskammer 5 strömt. Das piezoelektrische Vibrationselement 34 bildet gemeinsam mit der Vibrationsplatte 33 ein unimorphes Vibrationselement. Das piezoelektrische Vibrationselement 34 wird durch Anlegen einer Spannung zu der Oberfläche zusammengezogen. Die Vibrationsplatte 33 biegt sich in eine solche Richtung, dass die Druckerzeugungskammer 5 zusammengezogen wird, wodurch Druck in der Druckerzeugungskammer 5 erzeugt wird. Durch diesen Druck wird ein Tintenstrom erzeugt, wobei der Tintenstrom von der Druckerzeugungskammer 5 über die zweiten Verbindungslöcher 39 und die Düsenverbindungslöcher 44, 45 zu der Düse 3 strömt, und dieser Tintenstrom wird aus der Düse 3 in Form eines Tintentröpfchens ausgestoßen.
  • Übrigens hat die Düsenplatte 41 eine zweilagige Struktur mit einem dünnwandigen Abschnitt 41a und einem dickwandigen Abschnitt 41b. Der dünnwandige Abschnitt 41a ist nur in der Nähe des Verbindungslochs 45 vorhanden, das mit der Düse 3 verbunden ist.
  • Diese Düsenplatte 41 wird gebildet, indem die Düse 3 durch Pressbearbeitung einer Metallplatte gebildet wird, die durch den Tintendruck von der Druckerzeugungskammer 5 elastisch verformbar ist, und anschließend ein Bereich mit Ausnahme der Umgebung der Düse 3 mit Chrom oder dergleichen auf eine solche Dicke plattiert wird, dass eine angemessene Festigkeit garantiert ist, um dadurch den dickwandigen Abschnitt 41b zu bilden.
  • Da die Düsenplatte 41 den dünnwandigen Abschnitt 41a nur in der Nähe der Düse 3 hat und den dickwandigen Abschnitt 41b in dem anderen Bereich, wird der dünnwandige Abschnitt 41a in der Nähe des Verbindungslochs 45 als Reaktion auf den Druck, der von der Druckerzeugungskammer 5 abgeleitet wird, elastisch verformt. Dies garantiert nicht nur die Nachgiebigkeit, die zum Ausstoßen eines Tintentröpfchens notwendig ist, sondern trägt auch zur Erhöhung der Steifigkeit eines Aufzeichnungskopfs bei, um dadurch dessen Durchbiegen zu minimieren, wenn an dem Aufzeichnungskopf eine Mehrzahl von Stellgliedeinheiten fixiert ist, wobei dieser Aufzeichnungskopf später beschrieben wird. Da die Düse 3 eine Stufe tiefer angeordnet ist, kann auch ein Kontakt des dünnwandigen Abschnitts 41a mit einem Aufzeichnungsblatt oder dergleichen verhindert werden.
  • Diese Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass sie zwei Reihen von Druckerzeugungskammern 5 enthält, die so gebildet sind, dass sie einer einzigen Stellgliedeinheit 30 gegenüber liegen. Die Druckerzeugungskammern 5 in einer Reihe sind in Bezug auf jene in der anderen Reihe entlang der Länge jeder Reihe um einen Abstand versetzt, der der halbe Abstand zwischen den benachbarten Druckerzeugungskammern 5 in einer einzigen Reihe ist. Ferner sind die entsprechenden Düsen 3 auf gleiche Weise in zwei Reihen so angeordnet, dass die Düsen 3 in einer Reihe in bezug auf jene in der anderen Reihe um einen Abstand versetzt sind, der der halbe Abstand zwischen den benachbarten Düsen 3 in einer einzigen Reihe ist. Daher ist der Abstand zwischen den benachbarten Düsen 3, betrachtet in die Hauptabtastrichtungen A, gleich einem Abstand, der der halbe Abstand zwischen den benachbarten Druckerzeugungskammern ist, wodurch die Anordnungsdichte der Düsen 3 im Wesentlichen verdoppelt wird.
  • Obwohl nur eine oder drei oder mehr Reihen von Druckerzeugungskammern in einer einzigen Stellgliedeinheit 30 angeordnet sein können, ermöglicht die Konstruktion mit zwei Reihen, dass Zufuhrleitungen in Räumen an beiden Seiten der Stellgliedeinheit 30 angeordnet werden, was wiederum zur Vereinfachung der Verdrahtungsstruktur beiträgt.
  • Während die Tinte in der obengenannten Ausführungsform durch die V-förmige oder U-förmige gemeinsame Reservoirkammer 6 den zwei Reihen von Druckerzeugungskammern zugeführt wird, können Reservoirkammern, die für die entsprechenden Reihen von Druckerzeugungskammern bestimmt sind, so angeordnet sein, dass Tintentröpfchen verschiedener Farben aus den entsprechenden Düsenreihen ausgestoßen werden können.
  • In der Folge werden spezifische Ausführungsformen der obengenannten Strömungspfadeinheit 40 beschrieben.
  • Düsen 3, die jeweils ein konisch zulaufendes Loch sind, dessen Öffnungsdurchmesser von 30 bis 50 μm reicht, sind in zwei Reihen in einem Abstand zwischen den Reihen von 564 μm auf der Düsenplatte 41 angeordnet, die aus einer rostfreien Stahlplatte besteht, deren Dicke von 50 bis 150 μm reicht. Die Reservoirkammerbildungsplatte 42 hat ein Durchgangsloch zum Begrenzen der Reservoirkammer 6 und weist die Düsenverbindungslöcher 45 auf, die durch Pressbearbeiten einer 150 μm dicken rostfreien Stahlplatte gebildet werden.
  • Der Durchmesser des Düsenverbindungslochs 45 ist vorzugsweise auf 150 μm eingestellt, gleich der Dicke der Platte. In der Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 43 werden sowohl die Tintenzufuhreinlässe 4 wie auch die Düsenverbindungslöcher 44 durch Pressbearbeiten einer rostfreien Stahlplatte gebildet, deren Dicke im Bereich von 50 bis 150 μm liegt. Die Fluidimpedanz des Tintenzufuhrlochs 4 ist vorzugsweise auf einen Wert gleich oder größer als die Fluidimpedanz der Düse eingestellt, so dass ein Tintenstrom, der durch den Druck der Druckerzeugungskammer 5 erzeugt wird, zu der Düse 3 geleitet wird, indem der Tintenstrom daran gehindert wird, zu der Reservoirkammer 6 zu gehen.
  • In dieser Ausführungsform ist der Tintenzufuhreinlass 4 auf dieselben Dimensionen wie die Düse 3 eingestellt, und sein Querschnitt läuft zu dem ersten Verbindungsloch 38 konisch zu. Wegen der konisch zulaufenden Form kann der Durchmesser des schmälsten Abschnitts des Tintenzufuhreinlasses 4 kleiner als die Dicke der Platte gestaltet werden, und zusätzlich kann der Tintenzufuhreinlass 4 exakt gebildet werden. Der Durchmesser des Düsenverbindungslochs 44 ist größer als jener des Düsenverbindungslochs 45 der Reservoirkammerbildungsplatte 43 und kleiner als die Breite der Druckerzeugungskammer 5, und reicht von 200 bis 300 μm. Infolge dieser Konstruktion kann der Strömungspfad von der Druckerzeugungskammer 5 zu der Düse 3 allmählich schmäler werden, wodurch verhindert wird, dass Blasen entlang dem Strömungspfad stagnieren.
  • Die drei Platten, die die Strömungspfadeinheit bilden, sind so laminiert, dass die Durchgangslöcher, die zueinander gehören, miteinander kommunizieren können. Diese Platten können gelötet, einen diffundierten Übergang haben, oder mit einem Klebstoff oder einer unsichtbaren Klebstoffschicht oder dergleichen gebunden sein. In dieser Ausführungsform sind die drei Platten mit einem Klebstoff gebunden, der aus einem Epoxidharz gebildet ist, das durch Tinte nicht korrodiert wird.
  • Während in dieser Ausführungsform jede Platte aus einer rostfreien Stahlplatte besteht, kann ein Material, aus dem jede Platte besteht, entsprechend der Funktion der Platte aus anorganischen Materialien, wie Keramik, Silizium und Glas, Metallen, wie Nickel, oder Kunststoffmaterialien, wie Polyimid, Polycarbonat und Polysulfon, passend gewählt und kombiniert werden, solange solche Materialien durch Tinte nicht korrodiert werden.
  • Die Kunststoffplatten können einer Bearbeitung mit einem Excimer-Laser oder einem Elektroplattieren unter Verwendung von Nickel unterzogen werden, da die Düsenplatte 41 und die Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 43 vergleichsweise dünn sind, mit Löchern, deren Durchmesser klein sind, und hohe Genauigkeit erfordern.
  • In dieser Erfindung erfordert die Strömungspfadeinheit 40, die auch als Fixierungsplatte für die Stellgliedeinheit 30 dient, eine hohe Steifigkeit. Daher ist ein Metall, das sowohl Zähigkeit als auch Steifigkeit aufweist, zur Herstellung der Strömungspfadeinheit 40 bevorzugt. Da insbesondere die Reservoirkammerbildungsplatte 42 das Durchgangsloch aufweist, das größer als jene ist, die in den anderen Platten gebildet sind, ist die Verwendung einer Platte bevorzugt, die dicker als die anderen Platten ist, um eine Struktur bereitzustellen, die eine passende Steifigkeit garantieren kann.
  • Anschließend wird eine spezifische Ausführungsform der Stellgliedeinheit 30 beschrieben. Die Druckerzeugungskammerbildungsplatte 32 ist ein 150 μm dicker, gesinterter Körper aus Zirkondioxid und hat eine Mehrzahl von Druckerzeugungskammern 5, die in zwei Reihen mit einem Abstand zwischen den Reihen von 564 μm angeordnet sind, gleich den Düsen 3. Die Breite jeder Druckerzeugungskammer 5 reicht von 350 bis 450 μm und die Länge reicht von 1 bis 3 mm. Diese Dimensionen sind auf optimale Werte eingestellt, abhängig von der Größe eines Tintentröpfchens, das zur Bildung eines Punktes erforderlich ist, der Düsenanordnungsdichte und dergleichen.
  • Die Abdichtungsplatte 31 ist ein 150 μm dicker gesinterter Körper aus Zirkondioxid, und ist an eine Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte 32 gebunden, so dass eine Oberfläche jeder Druckerzeugungskammer 5 abgedichtet ist. Der Durchmesser von jedem eines Paares von Verbindungslöchern 38, 39 ist auf 300 μm eingestellt. Die Vibrationsplatte 33 ist ein gesinterter Körper aus Zirkondioxid, dessen Dicke von 10 bis 20 μm reicht, und ist so gebunden, dass sie die andere Oberfläche der Druckerzeugungskammer 5 abdichtet. Die unteren Elektroden 35 sind auf der Vibrationsplatte 33 so gebildet, dass sie den Druckerzeugungskammern 5 entsprechen, und auf den Oberflächen der unteren Elektroden 35 sind die piezoelektrischen Elemente 34 gebildet. Jedes piezoelektrische Vibrationselement 34 wird durch Laminieren eines piezoelektrischen keramischen Materials, wie Bleititanatzirkonat, auf der entsprechenden unteren Elektrode 35 gebildet. Die Breite des piezoelektrischen Vibrationselements 34 ist auf Werte eingestellt, die von 80 bis 90% der Breite der Druckerzeugungskammer 5 reichen, und seine Dicke reicht von 20 bis 40 μm. Es sollte festgehalten werden, dass andere keramische Materialien, wie Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Bleititanatzirkonat, Zirkondioxid ersetzen können.
  • Anschließend wird ein Verfahren zur Herstellung der obengenannten Stellgliedeinheit beschrieben.
  • Wie in 7(A) dargestellt ist, werden die Vibrationsplatte 33, die Druckerzeugungskammerbildungsplatte 32, in der die Durchgangslöcher zur Begrenzung der Druckerzeugungskammern 5 bereits ausgestanzt sind, und die Abdichtungsplatte 31, in der die Verbindungslöcher bereits ausgestanzt sind, durch Druck in Form einer Grünschicht miteinander verbunden, das heißt, in tonartiger Form, und die derart gebundenen Platten werden danach integral bei Temperaturen gesintert, die von 800 bis 1000°C reichen. Infolge dieser Methode werden die entsprechenden Platten ohne Klebstoff aneinander gebunden.
  • Dann wird, wie in 7(B) dargestellt ist, ein Elektrodenmuster durch derartiges Drucken eines Materials hergestellt, dass Abschnitte, die den Druckerzeugungskammern 5 entsprechen, zu unteren Elektroden 35 werden, wobei das Material als eine Hauptkomponente mindestens eine Art von Legierungen enthält, die aus Platin, Palladium, Silber-Palladium, Silber-Platin und Platin-Palladium bestehen.
  • Wie in 7(C) dargestellt ist, werden danach die piezoelektrischen Elemente 34 auf die unteren Elektroden auf gleiche Weise durch Drucken und Sintern laminiert, um die Stellgliedeinheit zu vollenden. Schließlich wird eine gemeinsame Elektrode, die aus Chrom, Gold, Nickel oder dergleichen besteht, durch Sputtern gebildet, so dass sie sich über eine Mehrzahl von piezoelektrischen Vibrationselementen erstreckt.
  • Bei der integral gesinterten Stellgliedeinheit 30 sind die extrem winzig strukturierte Druckerzeugungskammerbildungsplatte 32 und die dünne Vibrationsplatte 33 fest aneinander gebunden. Daher weist sie eine ausgezeichnete Luftdichtigkeit und Korrosionsbeständigkeit gegen Tinte auf. Zusätzlich ermöglicht die Methode zur Herstellung der Stellgliedeinheit 30, die so einfache Schritte wie das Laminieren der Tonplatten, das Auftragen der pastenartigen Elektrode und der piezoelektrischen Vibrationselementmaterialien durch Drucken, und das Sintern all dieser Elemente umfasst, dass die Stellgliedeinheit 30 extrem einfach wie auch exakt hergestellt werden kann.
  • Obwohl die obengenannte Methode zum Bilden der Stellgliedeinheit 30, die durch integrales Sintern der Materialien gekennzeichnet ist, ganz ausgezeichnet ist, kann die Stellgliedeinheit durch Kombinieren herkömmlicher Methoden, wie einer Methode zum Binden von Platten, die aus Metall oder Harz bestehen, durch Kleben, Abscheiden oder Fusion, einer Methode zum Ätzen von Glas- oder Siliziumplatten, einer Kunststoffformungsmethode, und einer Methode zum Befestigen von piezoelektrischen Vibrationselement-Chips an der Vibrationsplatte gebildet werden.
  • Während in der obengenannten Ausführungsform der Tintenstrom von der Druckerzeugungskammer 5 zu der Reservoirkammer 6 durch den Tintenzufuhreinlass 4 reguliert wird, der in der Strömungspfadeinheit 40. angeordnet ist, kann das erste Verbindungsloch 38, das in der Stellgliedeinheit 30 gebildet ist, auf eine solche Größe eingeschränkt sein, das es den Rücklauf der Tinte reguliert.
  • Ferner ist der Tintenstrahlaufzeichnungskopf 10 der Erfindung nicht nur durch das Einstellen der Wärmekapazität der Stellgliedeinheit 30 (die durch das Produkt aus der Materialdichte, der spezifischen Wärme und dem Volumen bestimmt wird) auf einen kleineren Wert als die Wärmekapazität der Strömungspfadeinheit 40 gekennzeichnet, sondern auch durch das Fixieren des Tintenstrahlaufzeichnungskopfs 10 an dem Kopfbefestigungselement 20, so dass die Stellgliedeinheit 30 mit der Atmosphäre kommunizieren kann.
  • Infolge dieser Konstruktion können Probleme wie die Ausdehnung der Druckerzeugungskammer 5 aufgrund des Einfrierens der Tinte von der Seite der Düsenplatte 41 der Strömungspfadeinheit 40, das verursacht wird, wenn der Aufzeichnungskopf in eine Umgebung niederer Temperatur gebracht wird, und das Brechen der Vibrationsplatte 33 aufgrund eines solchen Einfrierens gelöst werden, wodurch die Tinte an der Seite der Stellgliedeinheit einzufrieren beginnen kann, und somit Druck, der in dem Strömungspfad aufgrund des Einfrierens erzeugt wird, zu der Seite der Strömungspfadeinheit (durch die Düsen zu der Atmosphäre) freigegeben werden kann.
  • 8 zeigt eine andere Ausführungsform der Stellgliedeinheit 30, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sich die Öffnungen der Druckerzeugungskammern 5 auf einer Oberfläche der Stellgliedeinheit 30 befinden, ohne die obengenannte Abdichtungsplatte 31 anzuordnen, und die Öffnungen stattdessen durch die Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 43 der Strömungspfadeinheit 40 abgedichtet sind. Diese Ausführungsform hat den Vorteil, dass die Anzahl der verwendeten Teile verringert ist, was wiederum zu einer Senkung der Herstellungskosten beiträgt.
  • Anschließend werden unter Bezugnahme auf 9 und 10 Techniken zur Konstruktion verschiedener Aufzeichnungsköpfe unter Verwendung einer Mehrzahl der obengenannten Stellgliedeinheiten 30 beschrieben.
  • In 9, 10 bezeichnet das Bezugszeichen 60 eine Strömungspfadeinheit, die durch Laminieren einer Düsenplatte 61, einer Reservoirkammerbildungsplatte 62 und einer Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 63 gebildet wird. Diese Platten 61, 62, 63 bestehen aus Metallplatten, die jeweils eine derartige Größe aufweisen, dass Düsengruppen 3a, 3b, 3c so angeordnet werden können, dass mindestens drei Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c einander nicht überlappen, wobei jede Düsengruppen zwei Düsenreihen hat.
  • Bei der Düsenplatte 61 sind nicht nur die Düsengruppen 3a, 3b, 3c in einer Metallplatte gebildet, wobei jede Düsengruppe Düsen 3 hat, sondern auch ein dünnwandiger Abschnitt 41a in der Nähe jeder Düse 3, wie in 6 dargestellt ist, um eine Nachgiebigkeit bereitzustellen.
  • Die Reservoirkammerbildungsplatte 62 hat Durchgangslöcher, die Reservoirkammern 6a, 6b, 6c begrenzen. Die Reservoirkammern 6a, 6b, 6c werden durch Abdichten einer Oberfläche jedes Durchgangslochs mit der Düsenplatte 61 und der anderen Oberfläche durch die Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 63 gebildet. Die Reservoirkammerbildungsplatte 62 dient als Verteiler zum Abzweigen von Tinte von dem Tintenspeicherabschnitt 74 zu entsprechenden Druckerzeugungskammern 5a, 5b, 5c.
  • Tintenzufuhreinlässe 4a, 4b, 4c zum Zuleiten der Tinte zu den Druckerzeugungskammern 5a, 5b, 5c der entsprechenden Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c von den Reservoirkammern 6a, 6b, 6c sind in Bereichen der Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 63 gebildet, die die Druckerzeugungskammern 5a, 5b beziehungsweise 5c im Sinne einer Ebene überlappen. Reservoireinlässe 8a, 8b, 8c zum Einführen der Tinte in den Tintenspeicherabschnitt 74 sind in Bereichen der Tintenzufuhreinlassbildungsplatte 63 gebildet, die die Stellgliedeinheiten 30a, 30b beziehungsweise 30c nicht überlappen.
  • Tintenzufuhreinlässe 4a, 4b, 4c und Düsenverbindungslöcher 64a, 64b, 64c, die sich auf einer Oberfläche der Strömungspfadeinheit 60 öffnen, sind an Positionen gebildet, die die ersten Verbindungslöcher 38 und die zweiten Verbindungslöcher 39 der Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c überlappen, die den Einlässen und Löchern eins zu eins entsprechen. Durch Binden der Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c an die Strömungspfadeinheit 60, so dass die entsprechenden Öffnungen miteinander ausgerichtet werden können, können die Strömungspfade der drei Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c mit der einzelnen Strömungspfadeinheit 60 verbunden werden.
  • Wie zuvor beschrieben, sind bei der Strömungspfadeinheit 60 die Reservoirkammern 6a, 6b, 6c unabhängig den entsprechenden Stellgliedeinheiten und den Reservoireinlässen 8a, 8b, 8c zugeordnet, die unabhängig den entsprechenden Reservoirkammern 6a, 6b, 6c entsprechen. Daher können Tinten verschiedener Farben, z.B. Cyan, Magenta, Gelb, in den entsprechenden Düsengruppen 3a, 3b, 3c, zu einem einzigen Kopf geleitet werden, um Tintentröpfchen verschiedener Farben von der einzelnen Strömungspfadeinheit auszustoßen.
  • Ferner ist die Strömungspfadeinheit 60 dahingehend vorteilhaft, dass die Strömungspfadeinheit 60 nicht nur Düsenöffnungen mit hoher Genauigkeit durch Pressbearbeitung bilden kann, die ein einfaches Bearbeitungsverfahren darstellt, sondern auch Metall, dessen Steifigkeit verhältnismäßig hoch ist, als Hauptmaterial verwendet werden kann. Andererseits können die Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c durch Sintern fixiert werden, und bestehen zusätzlich aus Keramik, die beim Sintern leicht zu verformen oder zu wellen ist, ohne eine erhöhte Spannung an diese anzulegen, obwohl die Keramik im Grunde elektrisch isolierend ist.
  • Dadurch kann ein kleinerer Aufzeichnungskopf mit Düsen, die bei hoher Dichte mit hoher Genauigkeit angeordnet sind, mit hoher Ausbeute hergestellt werden, indem nicht nur die Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c in einem möglichen Maße verkleinert sind, um die Produktionsausbeute zu erhöhen, sondern auch die Stellgliedeinheiten an die gemeinsame Strömungspfadeinheit 60 gebunden sind, in der die Düsen mit hoher Positionierungsgenauigkeit gebildet sind.
  • Da das piezoelektrische Vibrationselement 34, an das ein Antriebssignal angelegt wird, auf der Vibrationsplatte 33 gebildet werden kann, die aus Keramik besteht, die im Grunde elektrisch isolierend ist, ist kein besonderer Isolierprozess zur Bildung der Elektroden mehr notwendig.
  • 11 zeigt eine Ausführungsform im Sinne der relativen Positionen zwischen den Düsen 3 und den Druckerzeugungskammern 5, wobei die Ausführungsform dadurch gekennzeichnet ist, dass Punkte gebildet werden, indem die Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c so bereitgestellt sind, dass sie den Farben Cyan, Magenta und Gelb entsprechen.
  • Bei diesem Aufzeichnungskopf sind die Düsen verschiedener Farben an denselben Positionen in der Nebenabtastrichtung B angeordnet, so dass die Düsen der entsprechenden Farben ein Tintenbild an denselben Positionen erzeugen können. Bei Betrachtung einer einzigen Farbe liegen zwei Reihen von Druckerzeugungskammern, die einen Abstand von P1 haben, einander gegenüber, wobei eine Reihe in Bezug auf die andere um ein Intervall von P2, das die Hälfte des Intervalls P1 ist, in die Nebenabtastrichtung versetzt ist. Infolge dieser Anordnung ist die Düsendichte in die Nebenabtastrichtung im Wesentlichen auf P2 eingestellt.
  • Da sich die Eigenschaft einer Tinte im Allgemeinen von jener einer anderen unterscheidet, ist es schwierig, das beste Bild mit derselben Konstruktion der Strömungspfade für die entsprechenden Tinten zu erzeugen. Der Tintenstrahlaufzeichnungskopf der Erfindung ist jedoch dadurch gekennzeichnet, dass das beste Bild nur durch optimales Einstellen für jede Tinte sowohl der Form jeder Düse 3 der Strömungspfadeinheit 60 als auch der Form jedes Tintenzufuhreinlasses 4a, 4b, 4c erzeugt wird, selbst wenn alle Stellgliedeinheiten dieselbe Konstruktion haben. Dadurch müssen nur Stellgliedeinheiten mit derselben Konstruktion erzeugt werden, was wiederum zu einer Kostensenkung beiträgt, die durch eine Massenproduktion erreicht wird.
  • Da ein Tintenstrahlaufzeichnungskopf, der imstande ist, Tintentröpfchen in verschiedenen Mengen von den entsprechenden Düsengruppen 3a, 3b, 3c auszustoßen, nur durch Ändern der Form jeder Düse 3 oder der Form jedes Tintenzufuhreinlasses 4 der Strömungspfadeinheit 60 gebildet werden kann, kann des Weiteren der Tintenstrahlaufzeichnungskopf bereitgestellt werden, der dadurch gekennzeichnet, dass die Dichte gleichmäßig geändert wird, selbst wenn Stellgliedeinheiten derselben Konstruktion verwendet werden.
  • 12 zeigt eine Ausführungsform, in der ein Tintenstrahlaufzeichnungskopf mit einer hohen Punktdichte unter Verwendung einer Mehrzahl von Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c gebildet wird. In dieser Ausführungsform sind Düsen in einem Intervall von 6p in jeder von zwei Reihen angeordnet, die zu jeder der Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c gehören, und diese Düsen in jeder Reihe sind um p in die Nebenabtastrichtung B versetzt. Da die Druckerzeugungskammern in den zwei entsprechenden Reihen um 3p in die Nebenabtastrichtung B versetzt sind, ist jede Düse zu einer Seite in Bezug auf die Mittelachse der entsprechenden Druckerzeugungskammer angeordnet.
  • Da die drei Stellgliedeinheiten 30a, 30b, 30c in Bezug auf die entsprechenden Düsenreihen um 2p versetzt sind, sind die Düsen in einem Intervall von p angeordnet, wenn sie in die Hauptabtastrichtung A betrachtet werden. Das heißt, unter Verwendung der Druckerzeugungskammern 5, die in einem Intervall 6p angeordnet sind, werden Punkte bei einer Dichte gebildet, die das Sechsfache des Intervalls ist.
  • Wie zuvor beschrieben, kann die Ausführungsform, die durch die Befestigung einer Mehrzahl von Stellgliedeinheiten auf der einzigen gemeinsamen Strömungspfadeinheit 60 gekennzeichnet ist, einen Aufzeichnungskopf bereitstellen, der verschiedene Anwendungen ermöglicht, indem nur die Positionen geändert werden, an welchen die Stellgliedeinheiten derselben Konstruktion an der einzigen gemeinsamen Strömungspfadeinheit befestigt sind.
  • Da die Stellgliedeinheiten auf der einzigen gemeinsamen Strömungspfadeinheit 60 so befestigt sind, dass sie verstreut sind, kann des Weiteren nicht nur Wärme, die von den piezoelektrischen Vibrationselementen erzeugt wird, rasch abgestrahlt werden, sondern es kann auch die Positionier- und Dimensionsgenauigkeit jeder Düse durch die Strömungspfadeinheit reguliert werden, die aus Metall oder dergleichen besteht, in der Durchgangslöcher mit relativ hoher Genauigkeit gebildet werden können. Zusätzlich können die Stellgliedeinheiten verkleinert werden, die schwer zu sintern sind, wenn sie größer sind.
  • Wie zuvor beschrieben, ist die Ausführungsform dadurch gekennzeichnet, dass eine Strömungspfadeinheit an einer Mehrzahl von Stellgliedeinheiten befestigt ist, so dass sie Düsengruppen entspricht; d.h., die Strömungspfadeinheit wird durch Laminieren einer Düsenplatte, einer Reservoirkammerbildungsplatte und einer Abdichtungsplatte gebildet, wobei die Düsenplatte Düsen aufweist, die in eine Mehrzahl von Gruppen unterteilt sind, die Reservoirkammerbildungsplatte eine Mehrzahl von Reservoirkammern aufweist, die zu den entsprechenden Gruppen von Düsen gehören, und Verbindungslöcher aufweist, die jeweils mit den Düsen kommunizieren, und die Tintenzufuhreinlassbildungsplatte an einer Oberfläche der Reservoirkammer befestigt ist und Verbindungslöcher zum Kommunizieren mit den Druckerzeugungskammern und Düsen aufweist, und jede Stellgliedeinheit eine Druckerzeugungskammerbildungsplatte, eine Vibrationsplatte und piezoelektrische Vibrationselemente enthält, wobei die Druckerzeugungskammerbildungsplatte eine Mehrzahl von Druckerzeugungskammern aufweist, die durch Seitenwände begrenzt sind, die Vibrationsplatte an einer Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte befestigt ist, und die piezoelektrischen Vibrationselemente auf einer Oberfläche der Vibrationsplatte so gebildet sind, dass sie den Druckerzeugungskammern entsprechen. Daher kann die Strömungspfadeinheit, die auch als Befestigungsplatte für die Stellgliedeinheit dient, aus Metall hergestellt werden, das verhältnismäßig leicht eine angemessene Genauigkeit durch Pressbearbeitung oder dergleichen garantieren kann, wodurch nicht nur Düsen mit hoher Positionierungsgenauigkeit gebildet werden können, sondern auch ein Beitrag zur Verkleinerung der Stellgliedeinheit geleistet wird, die aus Keramik besteht, die durch Sintern befestigt werden kann, und somit die Produktionsausbeute verbessert wird. Selbst wenn eine Mehrzahl von Stellgliedeinheiten derselben Konstruktion verwendet wird, kann zusätzlich ein Aufzeichnungskopf, der für verschiedene Anwendungen geeignet ist, nur durch Ändern der Struktur einer Strömungspfadeinheit bereitgestellt werden, deren Konstruktion relativ einfach modifiziert werden kann.

Claims (10)

  1. Tintenstrahlaufzeichnungskopf, umfassend: eine laminierte Tintenstrahlaufzeichnungseinheit (10) mit: (a) einer Strömungspfadeinheit (40; 60), enthaltend: – eine Düsenplatte (41; 61) mit einer Mehrzahl von Düsen (3; 3a, 3b, ...); – eine Reservoirkammerbildungsplatte (42; 62) mit einer Mehrzahl von Reservoirkammern (6; 6a, 6b, ...) und mit Verbindungslöchern (45; 65a, 65b, ...), die jeweils mit den Düsen (3; 3a, 3b, ...) in Verbindung stehen; – eine Tintenzufuhreinlassbildungsplatte (43; 63), die an einer Oberfläche der Reservoirkammerbildungsplatte (42; 62) befestigt ist und Verbindungslöcher (44; 64) zur Verbindung mit Druckerzeugungskammern (5; 5a, 5b, ...) und Düsen (3; 3a, 3b, ...) aufweist; wobei die Düsenplatte (41; 61), die Reservoirkammerbildungsplatte (62) und die Tintenzufuhreinlassbildungsplatte (63) zur Bildung der Strömungspfadeinheit (40; 60) laminiert sind; und (b) eine Betätigungseinheit (30; 30a, 30b, ...), enthaltend: – eine Druckerzeugungskammerbildungsplatte (32) mit einer Mehrzahl von Druckerzeugungskammern (5; 5a, 5b, ...), die durch Seitenwände begrenzt sind; – eine Vibrationsplatte (33), die an einer Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte (32) befestigt ist; und – piezoelektrische Vibrationselemente (34), die an einer Oberfläche der Vibrationsplatte (33) gebildet sind, so dass sie den Druckerzeugungskammern (5; 5a, 5b, ...) entsprechen; wobei die Strömungspfadeinheit (40; 60) an die Betätigungseinheit (30; 30a, 30b, ...) derart angeschlossen ist, dass die Verbindungslöcher (4, 44; 4a, 4b, ..., 64a, 64b, ...) der Tintenzufuhreinlassbildungsplatte (64) der Strömungspfadeinheit mit den entsprechenden Druckerzeugungskammern (5; 5a, 5b, ...) in Verbindung stehen, um die laminierte Tintenstrahlaufzeichnungseinheit (10) zu bilden; gekennzeichnet durch (c) ein Kopfbefestigungselement (20), an dem die laminierte Tintenstrahlaufzeichnungseinheit (10) befestigt ist, so dass die Betätigungseinheit (30; 30a, 30b, ...) mit der Atmosphäre in Verbindung steht .
  2. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 1, wobei eine Wärmekapazität der Betätigungseinheit (30; 30a, 30b) geringer als eine Wärmekapazität der Strömungspfadeinheit (40; 60) eingestellt ist.
  3. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Betätigungseinheit (30; 30a, 30b, ...) und die Strömungspfadeinheit (40; 60) so ausgebildet sind, dass, wenn der Tintenstrahlaufzeichnungskopf in eine Umgebung geringer Temperatur gebracht wird, Tinte enthalten ist, die in der Betätigungseinheit (30; 30a, 30b, ...) und der Strömungspfadeinheit (40; 60), die mit der Betätigungseinheit (30; 30a, 30b, ...) in Verbindung steht, an der Seite der Betätigungseinheit einzufrieren beginnt.
  4. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Strömungspfadeinheit (40; 60) eine Metallplatte umfasst und mit einem Klebstoff fixiert ist.
  5. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Betätigungseinheit (30; 30a, 30b, ...) aus Keramik hergestellt ist und durch Sintern fixiert ist.
  6. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Tintenzufuhreinlassbildungsplatte (43; 63) Verbindungslöcher (8; 8a, ...) zum Zuleiten von Tinte zu den entsprechenden Reservoirkammern (6; 6a, ...) von außen aufweist.
  7. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Düsen (3; 3a, 3b, ...) in Gruppen angeordnet sind, in welchen die Düsen (3; 3a, 3b, ...) um ein vorbestimmtes Intervall für jede Gruppe versetzt sind.
  8. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Düsen (3; 3a, 3b, ...) in drei Gruppen (30; 30a, 30b, ...) unterteilt sind und Tinten verschiedener Farbe zu den Reservoirkammern geleitet werden, die zu den jeweiligen Gruppen gehören.
  9. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei ein flexibles Kabel (26) an die Betätigungseinheit (30) angeschlossen ist.
  10. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die Düsenplatte einen dünnwandigen Abschnitt (41a) in der Nähe jeder Düse (3) hat.
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