JPH03211058A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
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- JPH03211058A JPH03211058A JP511390A JP511390A JPH03211058A JP H03211058 A JPH03211058 A JP H03211058A JP 511390 A JP511390 A JP 511390A JP 511390 A JP511390 A JP 511390A JP H03211058 A JPH03211058 A JP H03211058A
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、中間板または振動板と基板とを静電接合し
て構成され、とくに中間板または振動板と基板との材料
を特定して高解像度化、小形化。 低コスト化を図ったインクジェット記録ヘッドに関する
。
て構成され、とくに中間板または振動板と基板との材料
を特定して高解像度化、小形化。 低コスト化を図ったインクジェット記録ヘッドに関する
。
従来、微細なノズル孔よりインクを噴射し、これを紙な
どの記録媒体上に付着させて記録を行うインクジェット
記録が知られている。そして、その原理の一つとしてオ
ン・デマンド型インクジェット記録ヘッドがある。 通常、この種の記録ヘッドでは、第４図の分解斜視図に
示すように、ステンレス鋼あるいはガラス等からなる基
板１に、インクノズル２）インク通路３ａ、３ｂ、イン
ク加圧室４、インク供給路５などの溝がエツチングまた
は機械加工などの手段で形成され、その上に振動板（蓋
板）６を重ね接着や拡散接合することによりインク流路
が構成されている。さらに、インク加圧室４に対応する
振動板６の表面位置に、電気機械変換素子としての役割
をもつ圧電素子７が接着され、振動板６の一部にはイン
ク供給孔８が設けられでいる。 また、圧電素子７の上下面には電極が形成されており、
この電極に電気信号を印加すると、圧電素子７に歪みが
生じて振動板６が変位する。その結果、インク加圧室４
の容積が減少し、これによってインクノズル２からイン
ク滴が噴射されて記録が行われる。
どの記録媒体上に付着させて記録を行うインクジェット
記録が知られている。そして、その原理の一つとしてオ
ン・デマンド型インクジェット記録ヘッドがある。 通常、この種の記録ヘッドでは、第４図の分解斜視図に
示すように、ステンレス鋼あるいはガラス等からなる基
板１に、インクノズル２）インク通路３ａ、３ｂ、イン
ク加圧室４、インク供給路５などの溝がエツチングまた
は機械加工などの手段で形成され、その上に振動板（蓋
板）６を重ね接着や拡散接合することによりインク流路
が構成されている。さらに、インク加圧室４に対応する
振動板６の表面位置に、電気機械変換素子としての役割
をもつ圧電素子７が接着され、振動板６の一部にはイン
ク供給孔８が設けられでいる。 また、圧電素子７の上下面には電極が形成されており、
この電極に電気信号を印加すると、圧電素子７に歪みが
生じて振動板６が変位する。その結果、インク加圧室４
の容積が減少し、これによってインクノズル２からイン
ク滴が噴射されて記録が行われる。
第４図に示したインジェット記録ヘッドで良好な記録を
行うためには、記録ヘッドより吐出するインク滴を直径
１００〜１５０μｍ程度にする必要があり、このために
はインクノズルの等価直径を５０μｍ前後とし、かつそ
の寸法精度を極めて高くすることが必要となる。また当
然ながら、インクノズルの間隔（ピッチ）も高精度で維
持されなければならない。さらに、インク印字品質つま
り高解像度化の観点からは、インクノズルの間隔はでき
る限り狭いことが望ましい。 従来技術で述べたステンレス鋼あるいはガラスを基板に
用いると、加工技術などの制約からインクノズル間隔は
ほぼ２５０μｍ前後が限度で、これを基板の表、裏の各
面に千鳥状に配置しても、その解像度は１８０ｄｐｉ
（１インチ当りのドツト数）である。そして、インクノ
ズル数も通常は１２本または２４本である。また、基板
の材料は一般的には等方的であるので、エツチングなど
の加工方法ではインクノズルの寸法バラツキの低減に関
しても一定の限界があり、印字品質の阻害要因になる。 一方、基板と蓋板の接合についても、接着剤などがイン
クノズル内に入り、その断面積を変化させたり、詰らせ
たりするトラブルが発生し易い。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、高解像度化、小形化、低コスト化を図ったインク
ジェット記録ヘッドを提供することにある。
行うためには、記録ヘッドより吐出するインク滴を直径
１００〜１５０μｍ程度にする必要があり、このために
はインクノズルの等価直径を５０μｍ前後とし、かつそ
の寸法精度を極めて高くすることが必要となる。また当
然ながら、インクノズルの間隔（ピッチ）も高精度で維
持されなければならない。さらに、インク印字品質つま
り高解像度化の観点からは、インクノズルの間隔はでき
る限り狭いことが望ましい。 従来技術で述べたステンレス鋼あるいはガラスを基板に
用いると、加工技術などの制約からインクノズル間隔は
ほぼ２５０μｍ前後が限度で、これを基板の表、裏の各
面に千鳥状に配置しても、その解像度は１８０ｄｐｉ
（１インチ当りのドツト数）である。そして、インクノ
ズル数も通常は１２本または２４本である。また、基板
の材料は一般的には等方的であるので、エツチングなど
の加工方法ではインクノズルの寸法バラツキの低減に関
しても一定の限界があり、印字品質の阻害要因になる。 一方、基板と蓋板の接合についても、接着剤などがイン
クノズル内に入り、その断面積を変化させたり、詰らせ
たりするトラブルが発生し易い。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、高解像度化、小形化、低コスト化を図ったインク
ジェット記録ヘッドを提供することにある。
この課題を解決するために、本発明に係るインクジェッ
ト記録ヘッドは、 中間板の少なくとも一方の側、または振動板の一方の側
に感光性ガラスからなる基板が静電接合され、この基板
の前記中間板または振動板の側にインク溜めとインク加
圧室とインク噴射用ノズルとが連通ずる溝として形成さ
れ、 前記基板に静電結合されるのが前記中間板の場合には、
この中間板とは逆側の前記基板の表面で前記インク加圧
室に対応する箇所に圧電素子が固着され、 前記基板に静電結合されるのが前記振動板の場合には、
この振動板の前記基板とは逆側表面で前記インク加圧室
に対応する箇所に圧電素子が固着される。 中間板または振動板は、半導体からなること、アルカリ
亜鉛硼珪酸ガラスからなること、または基板とほぼ同じ
熱膨張係数をもつ金属またはその合金からなることがそ
れぞれ可能である。 中間板または振動板が金属またはその合金からなるとき
、金属はＣｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｖ。 Ｐｄ、Ｂｅ、Ｒｅ、Ｒｈの内のいずれかであることが可
能である。
ト記録ヘッドは、 中間板の少なくとも一方の側、または振動板の一方の側
に感光性ガラスからなる基板が静電接合され、この基板
の前記中間板または振動板の側にインク溜めとインク加
圧室とインク噴射用ノズルとが連通ずる溝として形成さ
れ、 前記基板に静電結合されるのが前記中間板の場合には、
この中間板とは逆側の前記基板の表面で前記インク加圧
室に対応する箇所に圧電素子が固着され、 前記基板に静電結合されるのが前記振動板の場合には、
この振動板の前記基板とは逆側表面で前記インク加圧室
に対応する箇所に圧電素子が固着される。 中間板または振動板は、半導体からなること、アルカリ
亜鉛硼珪酸ガラスからなること、または基板とほぼ同じ
熱膨張係数をもつ金属またはその合金からなることがそ
れぞれ可能である。 中間板または振動板が金属またはその合金からなるとき
、金属はＣｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｖ。 Ｐｄ、Ｂｅ、Ｒｅ、Ｒｈの内のいずれかであることが可
能である。
基板材料の感光性ガラスは、紫外線に感光し、加熱現像
処理によって結晶化する。この結晶化した部分は非常に
微細で酸に溶けやすいので、複雑なインク溜め、インク
加圧室、インク噴射ノズルの連通ずる溝を高精度に加工
可能である。 中間板または振動板としてＳｉ、Ｇｅ、Ｇａ Ａｓなど
の半導体材料またはアルカリ亜鉛硼珪酸ガラスを選定す
れば、中間板または振動板と、基板とは静電結合、つま
り比較的低い温度での結合が可能である。 また、中間板または振動板として基板の感光性ガラスの
線膨張係数（８，４Ｘｌ０−６／ ’Ｃ）とほぼ同じ６
〜１２Ｘ１０−６／ ’Ｃの金属たとえばＣｒ、Ｔａ、
Ｔｉ。 Ｆｅ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｖ、Ｐｄ、Ｂｅ、Ｒｅ、Ｒｈの内の
いずれか、またはその合金を選定すれば、中間板または
振動板と、基板とは静電結合、つまり比較的低い温度で
のさらに変形の少ない高精度な結合が可能である。
処理によって結晶化する。この結晶化した部分は非常に
微細で酸に溶けやすいので、複雑なインク溜め、インク
加圧室、インク噴射ノズルの連通ずる溝を高精度に加工
可能である。 中間板または振動板としてＳｉ、Ｇｅ、Ｇａ Ａｓなど
の半導体材料またはアルカリ亜鉛硼珪酸ガラスを選定す
れば、中間板または振動板と、基板とは静電結合、つま
り比較的低い温度での結合が可能である。 また、中間板または振動板として基板の感光性ガラスの
線膨張係数（８，４Ｘｌ０−６／ ’Ｃ）とほぼ同じ６
〜１２Ｘ１０−６／ ’Ｃの金属たとえばＣｒ、Ｔａ、
Ｔｉ。 Ｆｅ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｖ、Ｐｄ、Ｂｅ、Ｒｅ、Ｒｈの内の
いずれか、またはその合金を選定すれば、中間板または
振動板と、基板とは静電結合、つまり比較的低い温度で
のさらに変形の少ない高精度な結合が可能である。
本発明に係るインクジェット記録ヘッドのいくつかの実
施例について以下に図面を参照しながら説明する。 第１図は第１実施例の断面図で、後述する第４゜第５の
各実施例の共通な断面図でもある。第１図において、基
板１は厚さ１ｍｍの感光性ガラスからなり、その溝の加
工は次のようにおこなう。露光し、現像（熱処理）し、
１０％ぶつ酸溶液でエツチングをする。なお、基板１の
各部の寸法は次のとおりである。 インクノズル： ４５ Ｘ ４５ Ｘ ３００ μｍイ
ンクノズル間隔： １０５ ｐ ｍ （２４Ｏｄｐｉ相
当）インクノズル数：３２個 インク加圧室： １．２ Ｘ ３ Ｘｏ、１５ｍｍ次に
、基板１の溝側の表面に振動板６として厚さ０．３ ｍ
ｍのＳｉ板を被せ、電圧６５０Ｖ、温度４６０°Ｃの条
件で静電接合する。その後、振動板６のインク加圧室４
に対応する位置に圧電素子７をエポキシ系の接着剤で貼
着する。圧電素子７の寸法は、１．２ Ｘ ３ ｘｏ、
１５ （縦×横×厚さ）薗である。 このインクジェット記録ヘッドの動作は、圧電素子７に
ピーク電圧１２０■の矩形波パルスを印加しておこなう
。周波数が５ｋＨｚでも、記録ヘッドに要求される２４
０ｄｐｉの良質な印字が可能であることが確認された。 第２図は第２実施例の断面図で、後述する第６の実施例
の共通な断面図でもある。第２図において、第１実施例
におけるのと同じ基板１と、中間板９として厚さ１ｍｍ
のＳｉ板とを第１実施例におけるのと同じ条件で静電接
合する。その後、基板１の中間板９とは逆側表面でイン
ク加圧室４に対応する位置に圧電素子７をエポキシ系の
接着剤で貼着する。その結果、インク噴射特性は第１実
施例におけるのと同じであった。 第３図は第３実施例の断面図で、後述する第７の実施例
の共通な断面図でもある。第４図において、第２実施例
におけるのと同じ中間板９としての厚さ１ｍｍのＳｉ板
の各側に、基板１１を第２実施例におけるのと同じ条件
で静電接合する。なお、基板１１の各部の寸法は次のと
おりである。 インクノズル： ４０ Ｘ ４０ Ｘ ３００ μｍイ
ンクノズル間隔：１４１ μｍ インクノズル数＝２４個 インク加圧室： １．２ Ｘ ３ Ｘｏ、１５胴その後
、各基板１１の中間板９とは逆側表面でインク加圧室４
に対応する位置に圧電素子７をエポキシ系の接着剤で貼
着する。その結果、インクノズル２が上下２段に千鳥状
に配置されるから合計のインクノズル数は４８個になり
、解像度は３００ｄｐｉになる。インク噴射特性は第１
．第２の各実施例におけるのと同じく良好である。 第４実施例はその断面が第１図に示される。第１図にお
いて、振動板１６として厚さ０．２ ｍｍのアルカリ硼
珪酸ガラスが第１実施例における振動板６の代わりに用
いられ、電圧１１０ Ｖ、温度３８０°Ｃの条件で基板
１と静電接合される。また、第２図におけるＳｔ中間板
９の代わりに、アルカリ硼珪酸ガラスの中間板を用いる
こともできる。圧電素子７の貼着については、第１実施
例におけるのと同様である。ところで、振動板はアルカ
リ硼珪酸ガラス以外のガラス材料では良好な結果が得ら
れなかった。 次の第５．第６．第７の各実施例では、振動板または中
間板として、金属またはその合金が用いられる。ただし
、金属またはその合金は、感光性ガラスと静電接合可能
であること、熱膨張係数が感光性ガラスの８．４ Ｘｌ
０−’／ ’Ｃとほぼ同じ６〜１２ＸｉＯ″６／ ”Ｃ
であること、精密加工、平面仕上げの０ 容易性、かつ経済性があること、などの条件を満足する
ものでなければならない。そのような金属は、Ｃｒ、Ｔ
ａ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｖ、Ｐｄ、Ｂｅ、Ｒｅ。 Ｒｈの内のいずれかである。なお、Ｎｂ、 Ｐ ｔ、
Ｒｈなどの耐酸化性に優れた金属またはその合金は、感
光性ガラスと大気中でも、電圧２００〜５００Ｖ。 温度４５０〜６００“Ｃの条件で静電接合可能である。 Ｔａ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｂｅ等の酸化しやすい金属は、Ａ
ｒ 。 Ｎ２などの不活性雰囲気中で静電接合可能である。 第５実施例は、その断面が第１図に示される。 第１図で、振動板２６として厚さ０．１ ｍｍのＦｅ板
が第１実施例における振動板６の代わりに用いられ、電
圧２５０Ｖ、温度５５０°Ｃの条件で基板１と静電接合
される。圧電素子７の貼着については第１実施例におけ
るのと同様である。インク噴射特性は前記各実施例にお
けるのと同じく良好である。 第６実施例は、その断面が第２図に示される。 第２図で、中間板１９として厚さ０．５ ｍｍのＦｅ板
が用いられ、電圧２５０Ｖ、温度５５０°Ｃの条件で基
板工と静電接合される。圧電素子７の貼着その他に１ ついては第２実施例におけるのと同様である。 第７実施例は、その断面が第３図に示される。 中間板１９として厚さ０．５ ｍｍのＦｅ板が用いられ
、その各側に第３実施例におけるのと同じ基板工１を第
５．第６の各実施例におけるのと同じ条件で静電接合す
る。 その後、各基板１１の中間板１９とは逆側表面でインク
加圧室４に対応する位置に圧電素子７をエポキシ系の接
着剤で貼着する。その結果、インクノズル２が上下２段
に千鳥状に配置されるから合計のインクノズル数は４８
個になり、解像度は３００ｄｐｉになる。インク噴射特
性は前記各実施例におけるのと同じく良好である。
施例について以下に図面を参照しながら説明する。 第１図は第１実施例の断面図で、後述する第４゜第５の
各実施例の共通な断面図でもある。第１図において、基
板１は厚さ１ｍｍの感光性ガラスからなり、その溝の加
工は次のようにおこなう。露光し、現像（熱処理）し、
１０％ぶつ酸溶液でエツチングをする。なお、基板１の
各部の寸法は次のとおりである。 インクノズル： ４５ Ｘ ４５ Ｘ ３００ μｍイ
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当）インクノズル数：３２個 インク加圧室： １．２ Ｘ ３ Ｘｏ、１５ｍｍ次に
、基板１の溝側の表面に振動板６として厚さ０．３ ｍ
ｍのＳｉ板を被せ、電圧６５０Ｖ、温度４６０°Ｃの条
件で静電接合する。その後、振動板６のインク加圧室４
に対応する位置に圧電素子７をエポキシ系の接着剤で貼
着する。圧電素子７の寸法は、１．２ Ｘ ３ ｘｏ、
１５ （縦×横×厚さ）薗である。 このインクジェット記録ヘッドの動作は、圧電素子７に
ピーク電圧１２０■の矩形波パルスを印加しておこなう
。周波数が５ｋＨｚでも、記録ヘッドに要求される２４
０ｄｐｉの良質な印字が可能であることが確認された。 第２図は第２実施例の断面図で、後述する第６の実施例
の共通な断面図でもある。第２図において、第１実施例
におけるのと同じ基板１と、中間板９として厚さ１ｍｍ
のＳｉ板とを第１実施例におけるのと同じ条件で静電接
合する。その後、基板１の中間板９とは逆側表面でイン
ク加圧室４に対応する位置に圧電素子７をエポキシ系の
接着剤で貼着する。その結果、インク噴射特性は第１実
施例におけるのと同じであった。 第３図は第３実施例の断面図で、後述する第７の実施例
の共通な断面図でもある。第４図において、第２実施例
におけるのと同じ中間板９としての厚さ１ｍｍのＳｉ板
の各側に、基板１１を第２実施例におけるのと同じ条件
で静電接合する。なお、基板１１の各部の寸法は次のと
おりである。 インクノズル： ４０ Ｘ ４０ Ｘ ３００ μｍイ
ンクノズル間隔：１４１ μｍ インクノズル数＝２４個 インク加圧室： １．２ Ｘ ３ Ｘｏ、１５胴その後
、各基板１１の中間板９とは逆側表面でインク加圧室４
に対応する位置に圧電素子７をエポキシ系の接着剤で貼
着する。その結果、インクノズル２が上下２段に千鳥状
に配置されるから合計のインクノズル数は４８個になり
、解像度は３００ｄｐｉになる。インク噴射特性は第１
．第２の各実施例におけるのと同じく良好である。 第４実施例はその断面が第１図に示される。第１図にお
いて、振動板１６として厚さ０．２ ｍｍのアルカリ硼
珪酸ガラスが第１実施例における振動板６の代わりに用
いられ、電圧１１０ Ｖ、温度３８０°Ｃの条件で基板
１と静電接合される。また、第２図におけるＳｔ中間板
９の代わりに、アルカリ硼珪酸ガラスの中間板を用いる
こともできる。圧電素子７の貼着については、第１実施
例におけるのと同様である。ところで、振動板はアルカ
リ硼珪酸ガラス以外のガラス材料では良好な結果が得ら
れなかった。 次の第５．第６．第７の各実施例では、振動板または中
間板として、金属またはその合金が用いられる。ただし
、金属またはその合金は、感光性ガラスと静電接合可能
であること、熱膨張係数が感光性ガラスの８．４ Ｘｌ
０−’／ ’Ｃとほぼ同じ６〜１２ＸｉＯ″６／ ”Ｃ
であること、精密加工、平面仕上げの０ 容易性、かつ経済性があること、などの条件を満足する
ものでなければならない。そのような金属は、Ｃｒ、Ｔ
ａ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｖ、Ｐｄ、Ｂｅ、Ｒｅ。 Ｒｈの内のいずれかである。なお、Ｎｂ、 Ｐ ｔ、
Ｒｈなどの耐酸化性に優れた金属またはその合金は、感
光性ガラスと大気中でも、電圧２００〜５００Ｖ。 温度４５０〜６００“Ｃの条件で静電接合可能である。 Ｔａ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｂｅ等の酸化しやすい金属は、Ａ
ｒ 。 Ｎ２などの不活性雰囲気中で静電接合可能である。 第５実施例は、その断面が第１図に示される。 第１図で、振動板２６として厚さ０．１ ｍｍのＦｅ板
が第１実施例における振動板６の代わりに用いられ、電
圧２５０Ｖ、温度５５０°Ｃの条件で基板１と静電接合
される。圧電素子７の貼着については第１実施例におけ
るのと同様である。インク噴射特性は前記各実施例にお
けるのと同じく良好である。 第６実施例は、その断面が第２図に示される。 第２図で、中間板１９として厚さ０．５ ｍｍのＦｅ板
が用いられ、電圧２５０Ｖ、温度５５０°Ｃの条件で基
板工と静電接合される。圧電素子７の貼着その他に１ ついては第２実施例におけるのと同様である。 第７実施例は、その断面が第３図に示される。 中間板１９として厚さ０．５ ｍｍのＦｅ板が用いられ
、その各側に第３実施例におけるのと同じ基板工１を第
５．第６の各実施例におけるのと同じ条件で静電接合す
る。 その後、各基板１１の中間板１９とは逆側表面でインク
加圧室４に対応する位置に圧電素子７をエポキシ系の接
着剤で貼着する。その結果、インクノズル２が上下２段
に千鳥状に配置されるから合計のインクノズル数は４８
個になり、解像度は３００ｄｐｉになる。インク噴射特
性は前記各実施例におけるのと同じく良好である。
この発明によれば、従来の技術に比べ次のようなすぐれ
た効果がある。 （１）精密加工性に優れる感光性ガラスを基板とするか
ら溝加工が微細になり、また基板と振動板または中間板
とが静電接合されて変形が少なく、インクノズルの詰ま
りがなく、さらに振動板または２ 中間板が金属ないしその合金の場合には基板の感光性ガ
ラスとほぼ同じ熱膨張係数のものが選定されて接合時と
使用時との温度差による熱歪みがさらに抑制されるから
、ノズルの高密度化、つまり高解像度化が図れる。 （２）前項に関連してインクジェット記録ヘッドの小形
化、低コスト化が図れる。
た効果がある。 （１）精密加工性に優れる感光性ガラスを基板とするか
ら溝加工が微細になり、また基板と振動板または中間板
とが静電接合されて変形が少なく、インクノズルの詰ま
りがなく、さらに振動板または２ 中間板が金属ないしその合金の場合には基板の感光性ガ
ラスとほぼ同じ熱膨張係数のものが選定されて接合時と
使用時との温度差による熱歪みがさらに抑制されるから
、ノズルの高密度化、つまり高解像度化が図れる。 （２）前項に関連してインクジェット記録ヘッドの小形
化、低コスト化が図れる。
第１図は第１．第４．第５の各実施例の共通な断面図、
第２図は第２．第６の各実施例の共通な断面図、第３図
は第３．第７の各実施例の共通な断面図、第４図は従来
例の分解斜視図である。 符号説明 １．１１：基板、２：インクノズル、 ４：インク加圧室、６．１６，２６７振動板、４ Ｃ４
は第３．第７の各実施例の共通な断面図、第４図は従来
例の分解斜視図である。 符号説明 １．１１：基板、２：インクノズル、 ４：インク加圧室、６．１６，２６７振動板、４ Ｃ４
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）中間板の少なくとも一方の側または振動板の一方の
側に感光性ガラスからなる基板が静電接合され、この基
板の前記中間板または振動板の側にインク溜めとインク
加圧室とインク噴射用ノズルとが連通する溝として形成
され、前記基板に静電結合されるのが前記中間板の場合
にはこの中間板とは逆側の前記基板の表面で前記インク
加圧室に対応する箇所に圧電素子が固着され、前記基板
に静電結合されるのが前記振動板の場合にはこの振動板
の前記基板とは逆側表面で前記インク加圧室に対応する
箇所に圧電素子が固着されることを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド。 ２）特許請求の範囲第１項記載の記録ヘッドにおいて、
中間板または振動板は、半導体からなることを特徴とす
るインクジェット記録ヘッド。 ３）特許請求の範囲第１項記載の記録ヘッドにおいて、
中間板または振動板は、アルカリ亜鉛硼珪酸ガラスから
なることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 ４）特許請求の範囲第１項記載の記録ヘッドにおいて、
中間板または振動板は、基板とほぼ同じ熱膨脹係数をも
つ金属またはその合金からなることを特徴とするインク
ジェット記録ヘッド。 ５）特許請求の範囲第４項記載の記録ヘッドにおいて、
金属はＣｒ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｆｅ，Ｎｂ，Ｐｔ，Ｖ，Ｐｄ
，Ｂｅ，Ｒｅ，Ｒｈの内のいずれかであることを特徴と
するインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP511390A JPH03211058A (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP511390A JPH03211058A (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03211058A true JPH03211058A (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=11602292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP511390A Pending JPH03211058A (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03211058A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10109415A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッド形成方法 |
| EP0867287A1 (en) * | 1997-03-27 | 1998-09-30 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
| US6893117B2 (en) | 1993-12-24 | 2005-05-17 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head |
| KR100549406B1 (ko) * | 1999-03-04 | 2006-02-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 잉크젯 헤드의 잉크 공급부 및 그 제조방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56121775A (en) * | 1980-03-03 | 1981-09-24 | Seiko Epson Corp | Printing head |
| JPS61106259A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-24 | Hitachi Ltd | インク滴噴出装置 |
-
1990
- 1990-01-13 JP JP511390A patent/JPH03211058A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56121775A (en) * | 1980-03-03 | 1981-09-24 | Seiko Epson Corp | Printing head |
| JPS61106259A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-24 | Hitachi Ltd | インク滴噴出装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6893117B2 (en) | 1993-12-24 | 2005-05-17 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head |
| US6902262B2 (en) | 1993-12-24 | 2005-06-07 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head |
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| US6142616A (en) * | 1997-03-27 | 2000-11-07 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
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