JP3519246B2 - 記録ヘッド - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録ヘッド、より
詳細には、静電型及び圧電型の駆動原理を併用したイン
クジェットヘッドに関するものであり、インクジェット
ヘッドとしては、カラープリント等の高画質印刷に利用
可能であり、その他には、マイクロポンプ，圧力センサ
ー等の振動板として利用可能である。

【０００２】

【従来の技術】オンデマンド型インクジェットヘッドと
しては、液室の壁の一部を薄い振動板にしておき、ここ
に電気機械変換素子として圧電素子を設け、電圧印加に
伴って発生する圧電素子の変形で前記振動板を変形せし
め、これにより、液室の圧力を変化させ、インクを吐出
する方式（ピエゾオンデマンド型）のもの、液室内部に
発熱体素子を設け、該発熱体素子を通電によって加熱し
て気泡を発生せしめ、該気泡が膨大する時の圧力によっ
てインクを吐出する方式（バブルジェット方式）のもの
が広く一般に知られている。これら方式には、小型化，
高密度化，高速化，高画質化等の課題があり、これら課
題を解決するものとして、静電力型のインクジェットヘ
ッドが提案されている。

【０００３】静電型インクジェットヘッドは液室に設け
た薄い振動板を静電力で変形させ、その変形によって液
室の圧力を上昇させてインクを吐出させるものである。
例えば、特開平５−５０６０１号公報に記載の発明で
は、シリコンからなる中基板に、ノズル，吐出室，イン
クキャビティー及び振動板をエッチングにて形成し、イ
ンク供給口を有する上基板と前記振動板に対向して電極
を設けた下基板とを一体化してへッドを構成し、振動板
と電極間に電界を印加して、前記の静電力の原理でイン
クを吐出させるようにしている。また、特開平６−７１
８８２号公報に記載の発明では、低電圧駆動を目的とし
て、振動板と電極の間隔を０.０５μ〜０.２μに限定し
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記従来の記録ヘッド
では、低電圧駆動を目的として、振動板と電極の間隔を
０.０５μ〜２.０μと限定している。しかし、このよう
な微小ギャップでは、凸欠陥，異物，ダスト等の影響に
よって振動板と電極の一部が接し、ショート或いは振動
板の変形が拘束される。さらに、微小ギャップでは、ギ
ャップ間に存在する空気のダンパー効果が無視できなく
なり、振動板の変形量或いは応答性が損なわれる。

【０００５】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、請求項１の発明は、 振動板と電極との接触を防いで素子の歩留まりを向上
させる、 振動板が変形或いは復帰する時に起こる空気のダンパ
ー効果を少なくし、振動板から発生する力のロスを少な
くして駆動特性を向上させる、ことを目的としてなされ
たものである。

【０００６】請求項２の発明は、 振動板が変形或いは復帰する時に起こる空気のダンパ
ー効果を少なくし、振動板から発生する力がロスされな
いようにして駆動特性を向上させる、ことを目的として
なされたものである。

【０００７】請求項３の発明は、 振動板直下の犠牲層を除去するときの処理時間を短く
し、また、除去不良を少なくし、 空気の抜け穴もかねさせて空気のダンパー効果を少な
くし、振動板から発生する力がロスされないようにして
駆動特性を向上させる、ことを目的としてなされたもの
である。

【０００８】請求項４の発明は、 振動板が変形或いは復帰する時に起こる空気のダンパ
ー効果を少なくして振動板から発生する力がロスされな
いようにして駆動特性を向上させ、 ギャップ間の空気圧変動を介しての隣接ビット間の干
渉を少なくする、ことを目的としてなされたものであ
る。

【０００９】請求項５の発明は、 振動板が変形或いは復帰する時に起こる空気のダンパ
ー効果を少なくして振動板から発生する力のロスを減ら
すこと、 ギャップ内の空気圧変動を介しての隣接ビット間の干
渉を少なくすること、 振動板直下の犠牲層を除去するときの処理時間を短く
し、また、除去不良を少なくすること、 振動板と電極との接触を防ぎ、素子の歩留まりを向上
させること、を目的としてなされたものである。

【００１０】請求項６の発明は、 振動板直下以外の部分での振動板と電極との接触を皆
無にすること、 振動板が変形或いは復帰する時に起こる空気のダンパ
ー効果を少なくして振動板から発生する力のロスを減ら
すこと、 上記及びをプロセス工程を増加することなしに実
現すること、を目的としてなされたものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、記録
体を吐出する吐出口と、記録体に吐出の圧力を加える加
圧液室を有しかつ該加圧液室の一部を構成する振動板が
形成された振動板基板と、電極を形成した電極基板とを
互いに対向する位置に配置し、前記電極と振動板の間に
働く静電力によって該振動板を変形せしめ、その発生し
た圧力によって前記記録体を被記録体に吐出する記録ヘ
ッドにおいて、前記振動板が形成されている振動板基板
と電極との間隔のうち、振動板直下での間隔よりも振動
板直下以外での間隔の方が長いことを特徴とし、もっ
て、振動板と電極との接触を防いで、素子の歩留まり
を向上させ、振動板が変形或いは復帰する時に起こる
空気のダンパー効果を少なくして、振動板から発生する
力が損なわれないようにして駆動特性を向上させるよう
にしたものである。

【００１２】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記振動板と電極との間隔を一定に保つために設け
られた支柱部材に少なくとも１つ以上の開口が設けられ
ていることを特徴とし、もって、振動板が変形或いは
復帰する時に起こる空気のダンパー効果を少なくし、振
動板から発生する力がロスされないようにして駆動特性
を向上させたものである。

【００１３】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、前記開口が振動板直下の部分に設けられていること
を特徴とし、もって、振動板直下の犠牲層を除去する
ときの処理時間を短くし、また、除去不良を少なくし、
空気の抜け穴もかねさせて空気のダンパー効果を少な
くし、振動板から発生する力がロスされないようにして
駆動特性を向上させたものである。

【００１４】請求項４の発明は、請求項２の発明におい
て、前記開口が振動板直下以外の部分に設けられている
ことを特徴とし、もって、振動板が変形或いは復帰す
る時に起こる空気のダンパー効果を少なくし、振動板か
ら発生する力がロスされないようにして駆動特性を向上
させ、ギャップ間の空気圧変動を介しての隣接ビット
間の干渉を少なくしたものである。

【００１５】請求項５の発明は、請求項２の発明におい
て、前記支柱部材が振動板直下の部分ではビット毎に分
離されており、振動板直下以外の部分では連続している
ことを特徴とし、もって、振動板が変形或いは復帰す
る時に起こる空気のダンパー効果を少なくし、振動板か
ら発生する力がロスされないようにして駆動特性を向上
させ、ギャップ内の空気圧変動を介しての隣接ビット
間の干渉を少なくし、振動板直下の犠牲層を除去する
ときの処理時間を短くし、また、除去不良を少なくした
ものである。

【００１６】請求項６の発明は、請求項２の発明におい
て、前記支柱部材が振動板直下以外の電極部にも設けら
れていることを特徴とし、もって、振動板直下以外の
部分での振動板と電極との接触を皆無にし、振動板が
変形或いは復帰する時に起こる空気のダンパー効果を少
なくし、振動板から発生する力がロスされないようにし
て駆動特性を向上させ、フォトリソ回数が増えるよう
にしたものである。

【００１７】

【発明の実施の形態】

（請求項１の発明）図１は、本発明によるインクジェッ
トヘッドの構成を示す要部断面図で、図示のように、下
基板１の上には、振動板５に対向するように電極２が配
置されており、上部には振動板５と加圧液室６となる凹
部が設けられた振動板基板４が接合され、さらに、その
上に吐出口８及び流路９とが形成された上基板７が接合
されている。振動板５と電極２の間に電界を印加して、
振動板５を静電力で変形させ、その変形或いは変形が復
元するときの復元力によって液室６内の圧力を上昇させ
てインクを吐出させるものである。この際、電極上の突
起，ダスト，異物を介して電極２と振動板基板或いは振
動板５が接してショートし、或いは、振動板の変形が拘
束される。さらに、電極２と振動板５との間隔が狭い微
小ギャップではギャップ内に存在する空気のダンパー効
果が無視できなくなり、振動板の変形量或いは応答性が
損なわれるといった問題があった。本発明は、上述のご
とき問題を解決するためになされたものである。

【００１８】本発明は、上述のごときインクジェットヘ
ッドにおいて、振動板基板４と電極２との間隔のうち、
振動板５直下での間隔Ｇ１よりも振動板直下以外での間
隔Ｇ２の方が長くなるようにしたもので、これにより、
振動板と電極間距離Ｇ１を所定の微小間隔に保ちなが
ら、振動板直下以外で電極と振動板基板が接する頻度を
著しく低下できた。間隔Ｇ１が０.５μｍであった場合
の上記効果をまとめたのが表１である。

【００１９】

【表１】

【００２０】Ｇ１が数μｍ程度微小ギャップになると空
気の低抗によるダンパー効果が無視できなくなり、振動
板の変形量或いは応答性が損なわれるといった問題も発
生する。電極の長さにも依存するが、Ｇ２を十分大きく
することで、例えば、３μｍ以上とすることで、ダンパ
ー効果は実用上問題のないレベルまで低減できる。

【００２１】ここで、基板１，４，７の材料としては、
ガラス（特には、パイレックス＃７７４０，＃７０７
０，＃７０５９等）或いは結晶シリコンが微細加工の面
からは望ましいが、本発明は、特に、これらに限定され
るものではない。但し、振動板基板４に関しては、電圧
を印加するために、抵抗の低い材料が望ましく、この意
味では低抵抗の結晶シリコンが好適である。図１では、
下基板１上の段差は１つで構成されているが、本発明
は、これらに限られるわけではなく、むしろ、複数段あ
った方がショート確率及びダンパー効果の低減に関して
はより効果的である。また、段差の形状としては、テー
パ状の方が電極の断線が防止でき、製品の歩留まりは向
上する。更に、図１では、サイドシュータを例にとった
が、エッジシュータでも同様な効果が期待できる。

【００２２】ここで、二つの異なるギャップＧ１，Ｇ２
及び電極を形成する方法について述べる。まず、下基板
１表面にＧ２に相当する部分のみを開口したレジストパ
ターンを形成し、基板をエッチングする。次に、Ｇ１，
Ｇ２を合わせた部分のみを開口したレジストパターンを
形成してエッチングする。このようなプロセスを繰り返
すことにより、基板１に複数の段差を設けることができ
る。

【００２３】次に、電極及び保護層の形成方法について
説明する。下基板１上に電極材料として、主として金属
材料の薄膜をスパッタ法，蒸着法，ＥＢ蒸着法等の気相
合成法にて堆積せしめ、フォトリソ，エッチングにて電
極２とした。より具体的には、金属材料とし、Ｔｉ／Ｐ
ｔ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｗ，Ｔａ，ＮｉＣｒ，Ｃｒｔ等を用い
て、膜厚０.０５から０.５ミクロンの電極層２を形成し
た。金属の他に、透明導電（ＩＴＯ，ＺｎＯ，ＳｎＯ）
等が使用できるが、これらの材料に特に限定されるもの
ではない。また、保護層としては、ＳｉＯ２，ＳｉＮ
ｘ，ＳｉＯＮｘ等の無機絶縁膜が使用され、スパッタ
法，蒸着法，ＥＢ蒸着法等の気相合成法にて堆積せし
め、フォトリソ，エッチングにて保護層とした。

【００２４】次に、振動板基板４の作製方法を説明す
る。Ｓｉ（１００）或いは（１１０）表面にＳｉＯ₂を
約２ミクロンつけたものを基体として、この上の振動板
５に対応した位置のＳｉＯ₂をエッチングして開口部を
あけて、その部分のＳｉのみをＫＯＨ水溶液（数％〜約
４５％）をエッチャントとして、８０℃において振動板
５の厚さまで異方性エッチした。この他に、ウェットの
異方性エッチャントとしては、ヒドラジン，ＴＭＨＡな
どが使用できる。また、Ｓｉの高ドープ層を利用した選
択エッチやＰＮ接合基板の電気化学的手法によるエッチ
ストップ等の利用による振動板厚の制御性向上が図れ
る。

【００２５】（請求項２の発明）図２は、請求項２の発
明の一実施例を説明するための要部構成図で、図２に
は、下基板１のみを示したが、実際には、図１に示した
ように、この上に振動板基板４および上基板７が順次接
合されて記録ヘッドが構成される。本発明は、振動板基
板４と電極２との間隔を一定に保つために、下基板１に
支柱部材１０を設け、この支柱部材１０に少なくも１つ
以上の開口部１１を設けたものである。これにより、振
動板が変形或いは復元するときに発生するギャップ内の
空気圧変動が、前記開口部１１から速やかに大気に開放
されるため、振動板５の動作が阻害されることがなくな
る。このため、振動板５から発生する力がロスされない
ため駆動特性が向上する。

【００２６】（請求項３の発明）図３は、請求項３の発
明の一実施例を説明するための概念図で、図３（Ａ）
は、本発明による記録ヘッドの上基板７のみをはずし振
動板基板４の上面から透視して画いたものである。図３
（Ａ）に示すように、振動板５の直下に位置する支柱部
材１０に、振動板横（行）方向に連通するように、開口
部１１（斜線にて示す）を設けたものである。ここで、
下基板１の材料しては、ガラス（特には、パイレックス
＃７７４０，＃７０７０，＃７０５９等）を使用した
が、本発明は、これらに限定されるものではない。

【００２７】次に、支柱部材１０に開口部１１を設ける
方法について説明する。下基板１に振動板５と電極２と
のギャップを形成するための凹部をエッチングして設け
るときに、支柱部の開口部１１に相当する部分のレジス
トパターンを開口しておいて、同時に、エッチングすれ
ば、その部分の支柱部がエッチされ、開口部１１が形成
される。さらに、この上に請求項１と同様な材料，プロ
セスで、電極２，保護層３を形成し、振動板基板４と接
合する。

【００２８】本発明によると、図３（Ａ）に示したよう
に、開口部１１が振動板直下の隣接した位置に、連通し
て設けられているので、振動板が変形或いは復元すると
きの微小ギャップ内に生じる空気の圧力変動が、速やか
に開口部１１を介して系外に開放される。このため、振
動板５の変形量或いは応答性が損なわれることがなくな
った。開口部１１が設けられていない通常の場合には、
電極にそって設けられた細長い間隙のみからしか空気の
圧力変動が開放されないため、空気抵抗が大きく空気の
ダンパー効果が無視できなくなる。

【００２９】図３（Ｂ）は、発明における他の作用効果
を説明するための要部斜視図である。而して、支柱部材
１０及び微小ギャップを形成するもう一つの方法とし
て、犠牲層プロセスがあるが、この犠牲層を下基板１と
振動板基板４とを接合した後に除去する時に、開口部１
１はエッチャントの進入口として作用し、犠牲層の除去
を均一に、速やかに進行させる役目を果たす。

【００３０】次に、図３（Ｂ）により、前記犠牲層につ
いて具体的に説明する。図３（Ｂ）において、下基板１
上に請求項１で説明した方法でギャップとなる凹部２
０，支柱部１０，開口部１１，電極２を形成し、その上
に犠牲層２１（斜線部）を凹部の深さだけ堆積する。次
に、凹部２０，支柱部１０，開口部１１にも形成された
犠牲層２１のみを除去する。電極２上の犠牲層２１はそ
のまま残す。犠牲層２１の材料としては、電極材料或い
は保護層とのエッチング選択性の取れるものであれば特
に限定されるものではない。例えば、電極をＴｉ／Ｐｔ
で形成したときには、Ａｌ，Ｎｉを犠牲層として使用し
た。

【００３１】凹部２０に何もない従来の作製プロセスで
は、下基板１と振動板基板４とが接合される際に、薄い
振動板５が熱或いは機械的外力によって変形し、振動板
としての機能が著しく損なわれ、最悪の場合は、電極と
接触してしまい動作しなくなると言った問題点があっ
た。これに比して、本発明のように犠牲層２１が設けら
れていると、接合時に犠牲層がストッパーの役割を果た
し、上記の問題は生じなくなった。さて、接合後に犠牲
層２１を除去しなくてはならないが、この時、本発明の
開口部１１があれば除去が短時間に、しかも、均一に実
行される。開口部がない従来の場合には、電極にそって
設けられた細長い間隙凹部のみからしかエッチャントが
浸透しないため、除去に長時間を要しかつ場合によって
は、一部の犠牲層２１が残存してしまうことがあった。

【００３２】（請求項４の発明）図４は、請求項４の発
明の一実施例を説明するための概念図で、同図は、本発
明による記録ヘッドの上基板７のみをはずし、振動板基
板４の上面から透視して画いたものである。図示のよう
に、振動板直下以外に位置する支柱部材１０に、振動板
横方向に連通するように、開口部１１を設けたものであ
る。下基板の作製プロセスは、請求項３で述べたものと
同一であり、説明は省略する。本発明の開口部１１の第
一の効果は、振動板が変形或いは復元するときの微小ギ
ャッブ内に生じる空気の圧力変動を速やかに系外に開放
させ、振動板の変形量或いは応答性が損なわれることを
防ぐことである。さらに、第二の効果として、開口部１
１が、振動板５の直下以外に位置する支柱部材１０に設
けられているために、振動板の変形による空気の圧力変
動が隣接ビット（隣接する振動板）に直接伝わるのを防
止或いは低減することができることにある。これによっ
て、隣接ビット間のクロストークが低減され、ひいて
は、記録特性が向上する。

【００３３】（請求項５の発明）図５は、請求項５の発
明の一実施例を説明するための概念図で、同図は、本発
明による記録ヘッドの上基板７のみをはずし、振動板基
板４の上面から透視して画いたものである。本発明で
は、図５に示したように、前記支柱部材が、振動板直下
の部分では、ビット毎に分離された分離支柱部１２であ
り、振動板直下以外の部分では、連続支柱部１３として
いる。下基板の作製プロセスは、請求項３で述べたもの
と同じであり、説明は省略する。

【００３４】本発明では、支柱部材が振動板直下の部分
でビット毎に分離された分離支柱部１２であり、従っ
て、開口部１１が振動板５の両側に配置されることにな
る。この結果、振動板が変形或いは復元するときの微小
ギャップ内に生じる空気の圧力変動を両側から系外に開
放することができ、振動板５の変形量或いは応答性が損
なわれることを一層防止することができる。

【００３５】さらに、請求項３の発明のように、犠牲層
プロセスを採用した場合に、振動板の両側からエッチャ
ントが進入でき、犠牲層の除去が均一に速やかに完結す
る。この結果、犠牲層の残存率は、実用上支障のない範
囲まで低減された。また、支柱部材が振動板直下の部分
でビット毎に分離された分離支柱部１２であり、振動板
の変形によって発生する空気の圧力変動が隣接ビットに
直接伝わることがなく、これによって、隣接ビット間の
クロストークが低減され、ひいては、記録特性が向上す
る。

【００３６】（請求項６の発明）図６は、請求項６の発
明の一実施例を説明するための要部断面図で、本発明の
最大の特徴は、支柱部材が振動板直下以外の電極部にも
設けられており、電極の保護層３をもかねていることに
ある。また、同時に、電極上の支柱部と基板表面上の支
柱部の高さが同一になり、かつ、電極上の突起，異物，
ダスト等の欠陥を著しく低減できるような構成およびそ
れを作製するプロセスを提供するものである。

【００３７】図６により説明すると、下基板１の上に
は、微小凹部１４が形成され、その中に電極２が振動板
５に対向するように配されている。その上に振動板５と
加圧液室６となる凹部が設けられた振動板基板４が支柱
部材１０を介して接合され、さらに、その上に吐出口８
及び流路９とが形成された上基板７が接合されて、本発
明の記録ヘッドは構成される。本ヘッドの動作原理は、
請求項１と同様なので省略する。上記のような構成にし
たことによって、振動板直下および直下以外の部分での
振動板と電極との接触を皆無にすることができた。

【００３８】図７は、図６に示した下基板１の作製プロ
セスを説明するための工程図で、まず、下基板１に微小
凹部１４をエッチングによって作製しておき（図７
（Ａ））、その上に電極材料２′を膜厚が微小凹部１４
の深さに等しくなるように堆積した（図７（Ｂ））。こ
こで、基板１の材料としては、微細加工の面からは、ガ
ラス（特には、パイレックス＃７７４０，＃７０７０，
＃７０５９等）が望ましいが、本発明は、特にこれらに
限定されるものではない。但し、振動板基板４に関して
は、電圧を印加するために抵抗の低い材料が望ましく、
この意味では低抵抗の結晶シリコンが好適である。ま
た、電極材料としては、主として金属材料の薄膜をスパ
ッタ法，蒸着法，ＥＢ蒸着法等の気相合成法にて堆積し
た。より具体的には、金属材料とし、Ｔｉ／Ｐｔ，Ｎ
ｉ，Ｃｕ，Ｗ，Ｔａ，ＮｉＣｒ，Ｃｒｔ等を用いて膜厚
０.０５から０.５ミクロン形成した。金属の他に透明導
電体（ＩＴＯ，ＺｎＯ，ＳｎＯ）等が使用できるが、本
発明は、これらの材料に特に限定されるものではない。

【００３９】次に、電極材料２′の表面をポリッシン
グ，ＣＭＰのような化学機械的研磨によってもとの基板
面まで鏡面研磨し、微小ギャップ１４内の電極２′のみ
を残す（図７（Ｃ））。初期基板面にあった突起，異
物，ダスト或いは電極材料堆積時に取り込まれた欠陥
は、上記の研磨工程によって、電極２′の部分内も含め
て完全に除去される。さらに、支柱部材１０（兼接合部
材）を堆積せしめ、所望の形状にレジストパターンを形
成し（図７（Ｄ））、フォトリソ，エッチングする（図
７（Ｅ））。支柱部材１０は、接合部材もかねる場合
は、パイレックス＃７７４０，＃７０７０，＃７０５９
等を使用してスパッタ法にて堆積した。また、支柱部材
１０のフォトリソ，エッチングの際に、請求項１〜５の
パターンにすることは、振動板が変形或いは復帰する時
に起こる空気のバンパー効果が少なくなり、振動板から
発生する力がロスされないため、駆動特性を向上できる
ことは言うまでもない。また、通常、電極パターンは、
フォトリソ，エッチングによって形成していたが、上記
のプロセスでは、全面を研磨するだけでパターンが形成
されるため、工程が簡略化できる。

【００４０】

【発明の効果】請求項１の発明は、記録体を吐出する吐
出口と、記録体に吐出の圧力を加える加圧液室を有し、
加圧液室の一部を構成する振動板が形成された振動板基
板と、電極を形成した電極基板とを互いに対向する位置
に配置し、前記電極と振動板の間に働く静電力によって
振動板を変形せしめ、その発生した圧力によって記録体
を被記録体に吐出する記録ヘッドにおいて、前記振動板
が形成されている振動板基板と電極との間隔のうち、振
動板直下での間隔よりも振動板直下以外での間隔の方が
長くしたので、振動板と電極との接触を防ぐことがで
き、素子の歩留まりが向上し、また、振動板が変形或い
は復帰する時に起こる空気のダンパー効果が少なくな
り、振動板から発生する力がロスされないため駆動特性
が向上する。

【００４１】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記振動板と電極との間隔を一定に保つために設け
られた支柱部材に少なくとも１つ以上の開口を設けたの
で、振動板が変形或いは復帰する時に起こる空気のダン
パー効果が少なくなり、振動板から発生する力がロスさ
れないため駆動特性が向上する。

【００４２】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、前記開口部が振動板直下の部分に設けられているの
で、振動板直下の犠牲層を除去するときに処理時間が短
くなり、また、除去不良も少なくなり、更には、空気の
抜け穴もかねるので空気のダンパー効果が少ななり、振
動板から発生する力がロスされないため駆動特性が向上
する。

【００４３】請求項４の発明は、請求項２の発明におい
て、記開口部が振動板直下以外の部分に設けられている
ので、振動板が変形或いは復帰する時に起こる空気のダ
ンパー効果が少なくなり、振動板から発生する力がロス
されないため駆動特性が向上し、更には、ギャップ間の
空気圧変動を介しての隣接ビット間の干渉が少なくな
る。

【００４４】請求項５の発明は、請求項２の発明におい
て、前記支柱部材が振動板直下の部分ではビット毎に分
離されており、振動板直下以外の部分では連続している
ので、振動板が変形或いは復帰する時に起こる空気のダ
ンパー効果が少なくなり、振動板から発生する力がロス
されないため駆動特性が向上し、また、ギャップ内の空
気圧変動を介しての隣接ビット間の干渉が少なくなり、
更には、振動板直下の犠牲層を除去するときの処理時間
が短くなり、また、除去不良も少なくなる。

【００４５】請求項６の発明は、請求項２の発明におい
て、前記支柱部材が振動板直下以外の電極部にも設けら
れているので、振動板直下以外の部分での振動板と電極
との接触を皆無にすることができ、また、振動板が変形
或いは復帰する時に起こる空気のダンパー効果が少なく
なり、振動板から発生する力がロスされないため駆動特
性が向上し、更には、フォトリソ回数が増えない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 請求項１の発明の一実施例を説明するための
要部断面図である。

【図２】 請求項２の発明の一実施例を説明するための
要部斜視図である。

【図３】 請求項３の発明の一実施例を説明するための
上面透視図（下基板と振動板基板のみ透視）及び斜視図
である。

【図４】 請求項４の発明の一実施例を説明するための
上面透視図（下基板と振動板基板のみ透視）である。

【図５】 請求項５の発明の一実施例を説明するための
上面透視図（下基板と振動板基板のみ透視）である。

【図６】 請求項６の発明の一実施例を説明するための
要部斜視図である。

【図７】 図６に示した下基板の作製方法を説明するた
めの工程図である。

【符号の説明】

１…下基板、２…電極、３…保護層、４…振動板基板、
５…振動板、６…加圧液室、７…上基板、８…吐出口、
９…流路、１０…支柱部材、１１…開口部。

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録体を吐出する吐出口と、該記録体に
   吐出の圧力を加える加圧液室を有しかつ該加圧液室の一
   部を構成する振動板が形成された振動板基板と、電極を
   形成した電極基板とを互いに対向する位置に配置し、前
   記電極と振動板の間に働く静電力によって該振動板を変
   形せしめ、該振動板の変形によって発生した圧力によっ
   て前記記録体を被記録体に吐出する記録ヘッドにおい
   て、前記振動板が形成されている振動板基板と電極との
   間隔が、振動板直下での間隔よりも振動板直下以外での
   間隔の方が長いことを特徴とする記録ヘッド。
2. 【請求項２】 前記振動板と電極との間隔を一定に保つ
   ための支柱部材を有し、該支柱部材に少なくとも１つ以
   上の開口を有することを特徴とする請求項１に記載の記
   録ヘッド。
3. 【請求項３】 前記開口が振動板直下の部分に設けられ
   ていることを特徴とする請求項２に記載の記録ヘッド。
4. 【請求項４】 前記開口が振動板直下以外の部分に設け
   られていることを特徴とする請求項２に記載の記録ヘッ
   ド。
5. 【請求項５】 前記支柱部材が振動板直下の部分ではビ
   ット毎に分離されており、振動板直下以外の部分では連
   続していることを特徴とする請求項２に記載の記録ヘッ
   ド。
6. 【請求項６】 前記支柱部材が振動板直下以外の電極部
   にも設けられていることを特徴とする請求項２に記載の
   記録ヘッド。