JPS62213399A - 圧電磁器 - Google Patents
圧電磁器Info
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- JPS62213399A JPS62213399A JP5583486A JP5583486A JPS62213399A JP S62213399 A JPS62213399 A JP S62213399A JP 5583486 A JP5583486 A JP 5583486A JP 5583486 A JP5583486 A JP 5583486A JP S62213399 A JPS62213399 A JP S62213399A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）発明の分野
この発明は、例えば、アコースティックエミッション（
ａｃＯＬｌｓｔｉｃ （３１＋１ｉＳＳｉＯｎ ）信号
を検出するＡＥｔ？ン１ノや超音波発振体として用いら
れるような圧電磁器に関する。
ａｃＯＬｌｓｔｉｃ （３１＋１ｉＳＳｉＯｎ ）信号
を検出するＡＥｔ？ン１ノや超音波発振体として用いら
れるような圧電磁器に関する。
（ロ）発明の背景
従来、上述例の圧電磁器としては、例えば、次の如き構
造の圧電磁器がある。
造の圧電磁器がある。
すなわち、ＡＭ ２０３セラミツク製の振動板上面に、
導体電極を形成し、この４休電極上に、プレス焼結して
得た圧電セラミック例えば半導性ブータン酸バリウム焼
結体を接着剤により接着固定した圧電ＩＩｉ器である。
導体電極を形成し、この４休電極上に、プレス焼結して
得た圧電セラミック例えば半導性ブータン酸バリウム焼
結体を接着剤により接着固定した圧電ＩＩｉ器である。
しかし、上述した従来構造の圧電磁器では次の如ぎ問題
点があった。
点があった。
つまり、焼結体としての圧電ヒラミックを接着剤により
接着固定する関係上、圧電セラミックの厚さが薄い場合
には、接着剤による接４時にＪ３いて、この圧電セラミ
ックが割れたり或は接着作業が極めて複雑となる。
接着固定する関係上、圧電セラミックの厚さが薄い場合
には、接着剤による接４時にＪ３いて、この圧電セラミ
ックが割れたり或は接着作業が極めて複雑となる。
また上述の圧電セラミックは焼結体であって、同セラミ
ックの厚さを所定源ざに形成１°ることが、焼結体加工
性との関係で極めて困デ１であるうえ、比較的大きな電
極面積をもつ圧電セラミックの形成が困難である。
ックの厚さを所定源ざに形成１°ることが、焼結体加工
性との関係で極めて困デ１であるうえ、比較的大きな電
極面積をもつ圧電セラミックの形成が困難である。
さらに、上述の接着剤を用いる関係上、振動子として使
用する際に温度サイクル等のストレスに弱い問題点を右
していた。
用する際に温度サイクル等のストレスに弱い問題点を右
していた。
（ハ）発明の目的
この発明は、接着剤を用いない特異構造の圧電ｌａ器と
することにより、厚さが比較的薄く、しかも面積が比較
的大きい圧電セラミックを得ることができると共に、温
度サイクル等のストレスに対しても強く信頼性が良好で
、そのうえ、製造作業も容易に行なうことができる圧電
磁器の提供を目的とする。
することにより、厚さが比較的薄く、しかも面積が比較
的大きい圧電セラミックを得ることができると共に、温
度サイクル等のストレスに対しても強く信頼性が良好で
、そのうえ、製造作業も容易に行なうことができる圧電
磁器の提供を目的とする。
（二〉発明の要約
この発明は、振動板上に、導電ペースト膜を印刷形成し
、該導電ペースト膜上に厚膜印刷手段に基づいて圧電セ
ラミックペースト膜を印刷形成し、該圧電セラミックペ
ースト膜上に導電ペースト膜を中頃形成し、上記各導電
ペースト膜および圧電セラミックペースト膜を焼成した
圧電Ｉｌ器であることを特徴とする。
、該導電ペースト膜上に厚膜印刷手段に基づいて圧電セ
ラミックペースト膜を印刷形成し、該圧電セラミックペ
ースト膜上に導電ペースト膜を中頃形成し、上記各導電
ペースト膜および圧電セラミックペースト膜を焼成した
圧電Ｉｌ器であることを特徴とする。
（ホ）発明の効果
この発明によれば、圧電セラミックをペースト化するこ
とで、この圧電セラミックペーストを厚膜印刷手段によ
り振動板上に直接形成することができる。
とで、この圧電セラミックペーストを厚膜印刷手段によ
り振動板上に直接形成することができる。
この結果、従来例の如き接着剤を用いる必要がなくなる
ので、厚さが比較的薄く、面積の大きい圧電ヒラミック
を容易に得ることがぐきる効果がある。
ので、厚さが比較的薄く、面積の大きい圧電ヒラミック
を容易に得ることがぐきる効果がある。
また温度ナイクル等のストレスに対しでも強く、振動子
として使用する際の信頼性の向上を図ることができると
共に、製造作業も従来構造の圧７１（磁器と比較して容
易となる効果がある。
として使用する際の信頼性の向上を図ることができると
共に、製造作業も従来構造の圧７１（磁器と比較して容
易となる効果がある。
加えて、厚膜印刷手段のスクリーンマスク形状を変える
だけで、異形状の圧電セラミックをｒｍ単に形成するこ
とができる効果がある。
だけで、異形状の圧電セラミックをｒｍ単に形成するこ
とができる効果がある。
（へ）発明の実施例
この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。
図面は圧電磁器を示し、第１図において、アルミナ類の
振動板１上には、導電ペーストｌ１１２を印刷形成し、
この８１電ペースト膜２上に厚膜印刷手段に基づいて圧
電セラミックペーストＩｔ！Ｊ３を印刷形成し、さらに
、この圧電セラミックペースト膜３上に導電ペースト膜
４を印刷形成し、上述の上下の各２９電ペースト膜２．
４および圧ｆｆｆｔ＝ラミックペースト膜３を焼成して
圧電ｌａＰ！Ｉ５を構成している。
振動板１上には、導電ペーストｌ１１２を印刷形成し、
この８１電ペースト膜２上に厚膜印刷手段に基づいて圧
電セラミックペーストＩｔ！Ｊ３を印刷形成し、さらに
、この圧電セラミックペースト膜３上に導電ペースト膜
４を印刷形成し、上述の上下の各２９電ペースト膜２．
４および圧ｆｆｆｔ＝ラミックペースト膜３を焼成して
圧電ｌａＰ！Ｉ５を構成している。
以下、上述の圧電ＩＢ器５の製造方法を第２図乃至第５
図に基づいて詳述する。
図に基づいて詳述する。
まず、第２図に示１“如く、アルミナ＜Ａ１２０３）製
の＠動板１上に、ＡＱ（原子番り４７の銀）もしくはＡ
０とＰｄ（原子番号４６のパラジウム）とを含むＶｊ導
電ペースト厚膜印刷手段により焼成して下部電極となる
導電ペースト膜２を形成する。
の＠動板１上に、ＡＱ（原子番り４７の銀）もしくはＡ
０とＰｄ（原子番号４６のパラジウム）とを含むＶｊ導
電ペースト厚膜印刷手段により焼成して下部電極となる
導電ペースト膜２を形成する。
次に、所定の原料を混合および仮焼し、ジルコンブタン
酸鉛系の圧電セラミックの粉末を形成し、このセラミッ
ク粉末に、ガラスノリット（Ｃ１ｌａｓｓｆｒｉｔ）Ｊ
：ｉよび４１機ビヒクルいわゆる右Ｉ１１塗料を所定の
割合いで混合して圧Ｍｔ？ラミックペーストを得る。
酸鉛系の圧電セラミックの粉末を形成し、このセラミッ
ク粉末に、ガラスノリット（Ｃ１ｌａｓｓｆｒｉｔ）Ｊ
：ｉよび４１機ビヒクルいわゆる右Ｉ１１塗料を所定の
割合いで混合して圧Ｍｔ？ラミックペーストを得る。
そして、この圧電セラミックペーストを、前述の導電ペ
ーストＩ！！Ｊ２上に、厚膜印刷手段に基づいて印刷お
よび乾燥処理して第３図に示す圧電セラミックペースト
膜３を形成する。
ーストＩ！！Ｊ２上に、厚膜印刷手段に基づいて印刷お
よび乾燥処理して第３図に示す圧電セラミックペースト
膜３を形成する。
ここで、上述の圧ｔｔ−ラミックペーストを印刷するス
クリーンマスク（図示せず）の厚みを変えること並びに
圧電セラミックペーストの印刷、乾燥回数を可変するこ
とで、上述の圧電セラミックペースト膜３のｍｌ）を数
１０μｍ〜数１００μｍに調整することができる。
クリーンマスク（図示せず）の厚みを変えること並びに
圧電セラミックペーストの印刷、乾燥回数を可変するこ
とで、上述の圧電セラミックペースト膜３のｍｌ）を数
１０μｍ〜数１００μｍに調整することができる。
次に、第４図に示す如く、上述のＩ−［′ｔｒｉセラミ
ックペースト膜３上に、ＡＱもしくは７’ｌとＰｄとを
含む導電ペーストを厚膜印刷手段により焼成して上部電
極どなる導電ペースト膜４を形成した後に、同図に示す
ものを８００〜１０００℃で焼成して圧′；ｆｆ磁固５
を形成する。
ックペースト膜３上に、ＡＱもしくは７’ｌとＰｄとを
含む導電ペーストを厚膜印刷手段により焼成して上部電
極どなる導電ペースト膜４を形成した後に、同図に示す
ものを８００〜１０００℃で焼成して圧′；ｆｆ磁固５
を形成する。
次に第５図に示ず如く、上述の圧電！ＩＰＪ５の上下の
各電極としての４Ｊペースト膜４，２に、す−ド板６．
７を介して高電圧印加端子８，９を接続し、これら端子
８．９間に高電圧たとえば５〜６ＫＶの高電圧（抗電界
以上の電界）を印加し、約１００℃のシリコンオイル中
にて分極処理すると、圧電セラミックペース１−膜３内
の各粒子の双極子モーメントの方向が分極処理前のアト
ランダムな状態から電界に対して安定な所定方向に整列
して所謂ボ、−リングが施され、上述の圧電磁器５は振
動エネルギを電気エネルギに、また電気エネルギを振動
エネルギに変換する振動子となる。
各電極としての４Ｊペースト膜４，２に、す−ド板６．
７を介して高電圧印加端子８，９を接続し、これら端子
８．９間に高電圧たとえば５〜６ＫＶの高電圧（抗電界
以上の電界）を印加し、約１００℃のシリコンオイル中
にて分極処理すると、圧電セラミックペース１−膜３内
の各粒子の双極子モーメントの方向が分極処理前のアト
ランダムな状態から電界に対して安定な所定方向に整列
して所謂ボ、−リングが施され、上述の圧電磁器５は振
動エネルギを電気エネルギに、また電気エネルギを振動
エネルギに変換する振動子となる。
以上型するに、圧電セラミックをペースト化し、この圧
電セラミックペーストを厚膜印刷手段に基づいて振動板
１上の導電ペースト膜２に直接形成するので、従来のよ
うに接着剤を用いる必要がなく、厚さが比較的薄く例え
ば、数１０μｍ〜数１００μｍの膜厚で、かつ有機圧電
材料の使用により、面積が比較的大きい圧電セラミック
ペースト膜３を容易に得ることができる効果がある。
電セラミックペーストを厚膜印刷手段に基づいて振動板
１上の導電ペースト膜２に直接形成するので、従来のよ
うに接着剤を用いる必要がなく、厚さが比較的薄く例え
ば、数１０μｍ〜数１００μｍの膜厚で、かつ有機圧電
材料の使用により、面積が比較的大きい圧電セラミック
ペースト膜３を容易に得ることができる効果がある。
また接着剤を使用しないので、温度サイクル等のストレ
スに対しても強く、振動子として使用する際の信頼スノ
［の向上を図ることができると共に、製造ｆ’ｌ″業も
従来構造の１モ電磁器と比較して部用となる。
スに対しても強く、振動子として使用する際の信頼スノ
［の向上を図ることができると共に、製造ｆ’ｌ″業も
従来構造の１モ電磁器と比較して部用となる。
加えて、厚膜印刷手段に基づいて形成するので、例えば
スクリーンマスクの形状を変えるだけの筒中な操作で、
異形状の圧電セラミックペースト膜３を容易に形成する
ことができる効果がある。
スクリーンマスクの形状を変えるだけの筒中な操作で、
異形状の圧電セラミックペースト膜３を容易に形成する
ことができる効果がある。
図面はこの発明の一実施例を示し、
第１図は圧電磁器の斜視図、
第２図は下部電極形成工程を示ず断面図、第３図は圧電
素子形成工程を示ず断面図、第４図は上部電極形成工程
を示す断面図、第５図は分極処理工程を示す説明図であ
る。
素子形成工程を示ず断面図、第４図は上部電極形成工程
を示す断面図、第５図は分極処理工程を示す説明図であ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、圧電セラミック素子と振動板とを備えた圧電磁器で
あって、 上記振動板上に、導電ペースト膜を印刷形 成し、 該導電ペースト膜上に厚膜印刷手段に基づ いて圧電セラミックペースト膜を印刷形成 し、 該圧電セラミックペースト膜上に導電ペー スト膜を印刷形成し、 上記各導電ペースト膜および圧電セラミッ クペースト膜を焼成した 圧電磁器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5583486A JPS62213399A (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 圧電磁器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5583486A JPS62213399A (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 圧電磁器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62213399A true JPS62213399A (ja) | 1987-09-19 |
Family
ID=13010008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5583486A Pending JPS62213399A (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 圧電磁器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62213399A (ja) |
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-
1986
- 1986-03-12 JP JP5583486A patent/JPS62213399A/ja active Pending
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