JPH01221999A - 圧電振動板の製造方法 - Google Patents
圧電振動板の製造方法Info
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- JPH01221999A JPH01221999A JP4802288A JP4802288A JPH01221999A JP H01221999 A JPH01221999 A JP H01221999A JP 4802288 A JP4802288 A JP 4802288A JP 4802288 A JP4802288 A JP 4802288A JP H01221999 A JPH01221999 A JP H01221999A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧電ブザーや圧電スピーカなどの発音体に使用
する圧電振動板の製造方法に関するものである。
する圧電振動板の製造方法に関するものである。
従来の技術
従来、この種の圧電振動板は、第２図に示すような構成
であった。第２図において、１はセラミック圧電体、２
は電極ＩＬ、３は電極ｂ、４は金属板、６はセラミック
圧電体１と金属板４とを密着固定する接着剤である。セ
ラミック圧電体１には両面に電極ＩＬ２．電極ｂ３が形
成されており、片面の電極ｂ３は金属板４との接着によ
り電気的にも導通を得ている。電′極＆２．電極ｂ３の
形成は、セラミック圧電体１の片面に電極ペーストを塗
布印刷し、乾燥後、他方の面に電極ペーストを塗布印刷
し、乾燥後、高温で焼付する。その後、分極し、上記有
機系の接着剤６で金属板４に接着し圧電振動板とする。
であった。第２図において、１はセラミック圧電体、２
は電極ＩＬ、３は電極ｂ、４は金属板、６はセラミック
圧電体１と金属板４とを密着固定する接着剤である。セ
ラミック圧電体１には両面に電極ＩＬ２．電極ｂ３が形
成されており、片面の電極ｂ３は金属板４との接着によ
り電気的にも導通を得ている。電′極＆２．電極ｂ３の
形成は、セラミック圧電体１の片面に電極ペーストを塗
布印刷し、乾燥後、他方の面に電極ペーストを塗布印刷
し、乾燥後、高温で焼付する。その後、分極し、上記有
機系の接着剤６で金属板４に接着し圧電振動板とする。
セラミック圧電体１は、ＰｂＴｉ０．。
ＰｂＺｒ０． 、 Ｐｂ （Ｍｇ １１５ Ｗｂ ２７
５ ）０３などの成分からなる多くのセラミック材料が
使用される。金属板４は、黄銅、鉄−ニッケル合金、ア
ルミなどの金属薄板が利用される。接着剤６はエポキシ
系や変性アクリル系など多くの接着剤が使用されている
。
５ ）０３などの成分からなる多くのセラミック材料が
使用される。金属板４は、黄銅、鉄−ニッケル合金、ア
ルミなどの金属薄板が利用される。接着剤６はエポキシ
系や変性アクリル系など多くの接着剤が使用されている
。
発明が解決しようとする課雇
このような従来の技術では、エポキシ系接着剤や変性ア
クリル接着剤などの有機系接着剤６を使用するため、高
温時には接着剤６が軟化し共振周波数や変換効率が変化
する。
クリル接着剤などの有機系接着剤６を使用するため、高
温時には接着剤６が軟化し共振周波数や変換効率が変化
する。
従って、このような圧電振動板を使用した圧電ブザーや
圧電スピーカは、温度特性が悪くなる。
圧電スピーカは、温度特性が悪くなる。
また、接着のための工数が無視できずコストも高くなる
という欠点があった。
という欠点があった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、特性変化
の少ない低コストの圧電振動板の提供を目的とするもの
である。
の少ない低コストの圧電振動板の提供を目的とするもの
である。
課題を解決するだめの手段
この課題を解決するために本発明は、セラミック圧電体
薄板とセラミック薄板とを用い、両者に電極ペーストを
塗布し、塗布面どうしを密着固定した状態で、高温で焼
付けて一体化する方法としたものである。
薄板とセラミック薄板とを用い、両者に電極ペーストを
塗布し、塗布面どうしを密着固定した状態で、高温で焼
付けて一体化する方法としたものである。
作用
この方法により、セラミック圧電体薄板とセラミック薄
板との間は電極ペーストの材料の焼結によって緊密に接
着されており、電極ペースト材料は圧電ブザーなどの要
求耐熱温度よシはるかに高い温度までその性質を変える
ことはない。また。
板との間は電極ペーストの材料の焼結によって緊密に接
着されており、電極ペースト材料は圧電ブザーなどの要
求耐熱温度よシはるかに高い温度までその性質を変える
ことはない。また。
電極の形成と同時に接着が行われるので工数はほとんど
かからない。
かからない。
実施例
第１図は本発明の一実施例によって製造された圧電振動
板の構造を示す。第１図において、１はセラミック圧電
体薄板、２は電極ａ、６は電極Ｃ１７は七ラミック薄板
、８は電極ｄ、９は電極θである。製造方法の一例を示
すと、セラミック圧電体薄板１の片面に電極ペーストを
塗布印刷し乾燥する。また、セラミック薄板Ｔの片面に
電極ペーストを塗布印刷し乾燥する。その後、セラミッ
ク圧電体薄板１の他方の片面に電極ペーストを塗布印刷
し、またセラミック薄板７の他方の片面に電極ペースト
を塗布印刷し、セラミック圧電体薄板１およびセラミッ
ク薄板７の印刷面どうしを密着し、加圧した状態で乾燥
する。この後加圧した状態のままで高温で電極ペースト
を焼結して電極とする。高温での焼結によってセラミッ
ク圧電体薄板１と、セラミック薄板７は一体化できる。
板の構造を示す。第１図において、１はセラミック圧電
体薄板、２は電極ａ、６は電極Ｃ１７は七ラミック薄板
、８は電極ｄ、９は電極θである。製造方法の一例を示
すと、セラミック圧電体薄板１の片面に電極ペーストを
塗布印刷し乾燥する。また、セラミック薄板Ｔの片面に
電極ペーストを塗布印刷し乾燥する。その後、セラミッ
ク圧電体薄板１の他方の片面に電極ペーストを塗布印刷
し、またセラミック薄板７の他方の片面に電極ペースト
を塗布印刷し、セラミック圧電体薄板１およびセラミッ
ク薄板７の印刷面どうしを密着し、加圧した状態で乾燥
する。この後加圧した状態のままで高温で電極ペースト
を焼結して電極とする。高温での焼結によってセラミッ
ク圧電体薄板１と、セラミック薄板７は一体化できる。
セラミック圧電体薄板１の片面に電極ペーストを塗布し
た面は電極ａ２となる。セラミック圧電体薄板１の他方
の片面に電極ペーストを塗布した面は電極Ｃ６となる。
た面は電極ａ２となる。セラミック圧電体薄板１の他方
の片面に電極ペーストを塗布した面は電極Ｃ６となる。
セラミック薄板７の片面に電極ペーストを塗布した面は
電極ｄ８となる。セラミック薄動７の他方の片面に電極
ペーストを塗布した面は電極Ｃ９となる。焼結によって
電極Ｃ６と電極ｄ８とは一体化される。電極ａ２と電極
Ｃ６との間に直流高電圧を印加することによって分極す
る。電極ｄ８と電極ｅ９とを電極ペースト印刷時に接続
することによって電極ａ２と電極ｅ９との間で分極する
ことができ、分極工程が簡単になる。
電極ｄ８となる。セラミック薄動７の他方の片面に電極
ペーストを塗布した面は電極Ｃ９となる。焼結によって
電極Ｃ６と電極ｄ８とは一体化される。電極ａ２と電極
Ｃ６との間に直流高電圧を印加することによって分極す
る。電極ｄ８と電極ｅ９とを電極ペースト印刷時に接続
することによって電極ａ２と電極ｅ９との間で分極する
ことができ、分極工程が簡単になる。
具体例で示すと、セラミック圧電体薄板１としてＰｂＴ
ｉＯ３、ＰｂＺｒＯ３、Ｐｂ （Ｍｇ１７５ Ｎｂ２７
ｓ ） ０５の三成分系からなるセラミック薄板（厚さ
約１００μｍ）ｔ−、セラミック薄板７としてアルミナ
薄板（厚さ約１００μｍ）を、電極材料として銀の微粉
末を主成分とし酸化鉛系のガラスフリッ）９粉末を加え
、有機物の粘ちょう剤、希釈剤などを加えたペーストを
用いる。電極ペーストは、焼成によってガラスフリット
が溶けて銀粒子と銀粒子、銀粒子とセラミック圧電体薄
板１およびセラミック薄板７、セラミック圧電体薄板１
とセラミック薄板７を結合する。銀粒子間も焼結し電気
的な導通が得られる。焼成は、室温から最高温度約８０
０°Ｃまで昇温しさらに室温までもどす。この間約１時
間で行う。分極は、電極＆２と電極ｄ８との間に空気中
で直流電圧約３００Ｖを約６分間印加した。
ｉＯ３、ＰｂＺｒＯ３、Ｐｂ （Ｍｇ１７５ Ｎｂ２７
ｓ ） ０５の三成分系からなるセラミック薄板（厚さ
約１００μｍ）ｔ−、セラミック薄板７としてアルミナ
薄板（厚さ約１００μｍ）を、電極材料として銀の微粉
末を主成分とし酸化鉛系のガラスフリッ）９粉末を加え
、有機物の粘ちょう剤、希釈剤などを加えたペーストを
用いる。電極ペーストは、焼成によってガラスフリット
が溶けて銀粒子と銀粒子、銀粒子とセラミック圧電体薄
板１およびセラミック薄板７、セラミック圧電体薄板１
とセラミック薄板７を結合する。銀粒子間も焼結し電気
的な導通が得られる。焼成は、室温から最高温度約８０
０°Ｃまで昇温しさらに室温までもどす。この間約１時
間で行う。分極は、電極＆２と電極ｄ８との間に空気中
で直流電圧約３００Ｖを約６分間印加した。
実施例では、セラミック圧電体薄板１およびセラミック
薄板７の接着面への電極ペーストの印刷は他面への印刷
よりもあとに行ったが、接着面への電極ペーストの印刷
を先に行い、乾燥後セラミック圧電体薄板１の他面へ印
刷する方法も実現可能である。接着面以外の面への電極
の形成は、蒸着法、メツキ法、などで行っても良い。ま
たセラミック薄板７はセラミック圧電体薄板１よりも大
きい例を示したが、大きさの大小には依存しない。
薄板７の接着面への電極ペーストの印刷は他面への印刷
よりもあとに行ったが、接着面への電極ペーストの印刷
を先に行い、乾燥後セラミック圧電体薄板１の他面へ印
刷する方法も実現可能である。接着面以外の面への電極
の形成は、蒸着法、メツキ法、などで行っても良い。ま
たセラミック薄板７はセラミック圧電体薄板１よりも大
きい例を示したが、大きさの大小には依存しない。
セラミック薄板７はアルミナ薄板の例を示したがセラミ
ック圧電体薄板１と同じ材料を用いてもよい。他のセラ
ミック材料を用いてもよい。電極ペーストも銀に変えて
銅、亜鉛、ニッケル、バラジラムなどの導電性の微粉末
が利用できる。ガラスフリットもほうけい酸ガラスなど
低融点ガラスが有用である。有機系添加物も種々のもの
が利用できる。
ック圧電体薄板１と同じ材料を用いてもよい。他のセラ
ミック材料を用いてもよい。電極ペーストも銀に変えて
銅、亜鉛、ニッケル、バラジラムなどの導電性の微粉末
が利用できる。ガラスフリットもほうけい酸ガラスなど
低融点ガラスが有用である。有機系添加物も種々のもの
が利用できる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、セラミック圧電体薄板と
セラミック薄板と電極ペーストからなり。
セラミック薄板と電極ペーストからなり。
セラミック圧電体薄板とセラミック薄板の少なくとも一
方の面に電極ペーストをそれぞれ塗布後、セラミック圧
電体とセラミック薄板のそれぞれの電極ペースト塗布面
を貼合わせ密着させた状態で高温で焼付けて一体化する
ことによシ高温においても接着面の物性の変化が小さく
共振周波数や変換効率の変化が少ない圧電振動板が実現
できる。
方の面に電極ペーストをそれぞれ塗布後、セラミック圧
電体とセラミック薄板のそれぞれの電極ペースト塗布面
を貼合わせ密着させた状態で高温で焼付けて一体化する
ことによシ高温においても接着面の物性の変化が小さく
共振周波数や変換効率の変化が少ない圧電振動板が実現
できる。
また、電極形成と接着が同時にできるので製造工程が簡
単になシコヌトの安い圧電振動板が実現できる。
単になシコヌトの安い圧電振動板が実現できる。
第１図は本発明の一実施例による圧電振動板の製造方法
によシ得た圧電振動板の構造を示す断面図、第２図は従
来の製造方法による圧電振動板の構造を示す断面図であ
る。 １・・・・・・セラミック圧電体薄板、２・・・・・・
電極ａ、６・・・・・・電極Ｃ１７・・・・・・セラミ
ック薄板、８・・・・・・電極（ｉ、９・・・・・・電
極ｅ０
によシ得た圧電振動板の構造を示す断面図、第２図は従
来の製造方法による圧電振動板の構造を示す断面図であ
る。 １・・・・・・セラミック圧電体薄板、２・・・・・・
電極ａ、６・・・・・・電極Ｃ１７・・・・・・セラミ
ック薄板、８・・・・・・電極（ｉ、９・・・・・・電
極ｅ０
Claims (1)
- セラミック圧電体薄板とセラミック薄板の少なくとも一
方の面に電極ペーストをそれぞれ塗布後、セラミック圧
電体とセラミック薄板のそれぞれの電極ペースト塗布面
を貼合わせ密着させた状態で、高温で焼付けて一体化す
ることを特徴とする圧電振動板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4802288A JPH01221999A (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 | 圧電振動板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4802288A JPH01221999A (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 | 圧電振動板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01221999A true JPH01221999A (ja) | 1989-09-05 |
Family
ID=12791686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4802288A Pending JPH01221999A (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 | 圧電振動板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01221999A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006121648A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-05-11 | Ngk Insulators Ltd | 圧電音響素子及び圧電音響発生装置 |
-
1988
- 1988-03-01 JP JP4802288A patent/JPH01221999A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006121648A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-05-11 | Ngk Insulators Ltd | 圧電音響素子及び圧電音響発生装置 |
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