DE69305187T2 - Entladungsdetektor - Google Patents

Entladungsdetektor

Info

Publication number
DE69305187T2
DE69305187T2 DE69305187T DE69305187T DE69305187T2 DE 69305187 T2 DE69305187 T2 DE 69305187T2 DE 69305187 T DE69305187 T DE 69305187T DE 69305187 T DE69305187 T DE 69305187T DE 69305187 T2 DE69305187 T2 DE 69305187T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
discharge
waveform
output
voltage
machining
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69305187T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69305187D1 (de
Inventor
Akihiro Goto
Yoshihito Imai
Yoshio Ozaki
Tatsushi Sato
Atsushi Taneda
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP4311963A external-priority patent/JP2858515B2/ja
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of DE69305187D1 publication Critical patent/DE69305187D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69305187T2 publication Critical patent/DE69305187T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • B23H1/02Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits or other abnormal discharges
    • B23H1/024Detection of, and response to, abnormal gap conditions, e.g. short circuits
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/14Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply
    • B23H7/16Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply for preventing short circuits or other abnormal discharges by altering machining parameters using adaptive control

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Description

  • 1. Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Erfassen eines Entladungszustandes an einem Bearbeitungsspalt gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Eine Vorrichtung dieser Art ist aus FR-A-2 099 228 oder aus FR-A- 2 252 900 bekannt.
  • 2. Beschreibung des technischen Hintergrundes
  • Bei der elektrischen Entladungsbearbeitung muß ein Bearbeitungszustand erfaßt und gesteuert werden, um Beschädigungen an Werkstückoberflächen zu vermeiden, die durch die Erzeugung von Bogenentladungen bewirkt werden. In einer bekannten elektrischen Entladungsmaschine wurden eine Durchschnittsspannung und Strom in einem Bearbeitungsspalt erfaßt, der durch eine Bearbeitungselektrode und ein gegenüber angeordnetes Werkstück gebildet wird, und die Elektrodenposition wurde abgeglichen, um den Bearbeitungszustand beizubehalten. Weil es jedoch schwierig ist, die Erzeugung von Bogenentladungen nur durch Erfassen des durchschnittlichen Bearbeitungszustandes des Bearbeitungsspaltes zu vermeiden, wird das Werkstück unter Bearbeitungsbedingungen bearbeitet, die auf der sicheren Seite liegen. Um die Bearbeitungsleistung der elektrischen Entladungsmaschine zu verbessern, muß der Entladungszustand bei jeder elektrischen Entladung erfaßt werden und der optimale Bearbeitungszustand beibehalten werden.
  • Es ist bekannt, daß hochfrequente Komponenten einer Spannungswellenform, einer Stromwellenform und einer Impedanz-Wellenform des Spaltes während normaler Entladung überlagert und demselben während fehlerhafter Entladung nicht überlagert sind. Unter Verwendung dieses Prinzips wurde eine Vorrichtung zum Erfassen eines Entladungszustandes bei jeder elektrischen Entladung ins Auge gefaßt. Eine Vorrichtung zum Separieren dieser Hochfrequenzkomponenten mit einem Hochpaßfilter und Beurteilen, ob eine Entladung normal oder fehlerhaft ist, ist beispielsweise in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. SH047-13795 offenbart.
  • Fig. 27 zeigt ein Beispiel solch einer herkömmlichen elektrischen Entladungsmaschine, worin Ziffer 1 eine Bearbeitungsstromversorgung bezeichnet, 2 eine Elektrode bezeichnet, 3 ein Werkstück darstellt, 4 Niederfrequenz- Unterdrückungseinrichtungen, beispielsweise ein Hochpaßfilter, bezeichnet, 5 einen Gleichrichter bezeichnet, 35, 36 und 37 Schmidt-Schaltkreise darstellen, die sich in der inversen Spannung voneinander unterscheiden, 38 einen Schalter bezeichnet, und 7 eine Entladungszustand- Anzeigevorrichtung bezeichnet.
  • Der Betrieb wird nun beschrieben. Nur während die Bearbeitungsstromversorgung 1 eine Spannung an einem Bearbeitungsspalt anlegt, bewirkt der Schalter 38, daß der Spannungswert des Bearbeitungsspaltes durch das Hochpaßfilter 4 läuft. Die Ausgabe des Hochpaßfilters 4 wird von dem Gleichrichter 5 gleichgerichtet, mittels der Vielzahl von Schmidt-Schaltkreisen 35, 36, 37 bei einer Vielzahl von Pegeln segmentiert, und digital als Signal angezeigt, welches einen Entladungszustand anzeigt.
  • In der herkömmlichen elektrischen Entladungsmaschine, welche wie oben beschrieben arbeitet, oszilliert die Ausgabe des Gleichrichters 5 fein zwischen OV und einem maximalen Amplitudenwert, weil die Ausgabe des Hochpaßfilters 4 fein um umgefähr OV herum oszilliert. Demgemäß können selbst die Schmidt-Schaltkreise nicht verhindern, daß die Entladungszustandsausgabe häufige Anderungen aufweist, und der Entladungszustand tatsächlich nicht genau identifiziert werden kann.
  • Ebenfalls traten, wie die vorliegenden Erfinder bestimmt haben, Hochfrequenzkomponenten unmittelbar nach dem Start einer Entladung auf, unabhängig davon, ob die Entladung normal oder fehlerhaft ist. Somit bestimmt die herkömmliche elektrische Entladungsmaschine einen verschlechterten Entladungszustand als normal, weil der Entladungszustand über eine ganze Entladungsperiode erfaßt wurde.
  • Wenn ferner ein Kurzschluß an dem Bearbeitungsspalt auftritt, hängt die Menge von erzeugten Hochfrequenzkomponenten von dem Grad des Kurzschlusses ab. Die Verschlechterung des Entladungszustandes und das Auftreten des Kurzschlusses sind wesentlich voneinander verschieden und müssen verschieden behandelt werden. Weil jedoch der Entladungszustand nur nach der Größe der Hochfrequenzkomponenten in der herkömmlichen elektrischen Entladungsmaschine beurteilt wird, wird der Entladungszustand beurteilt und die Bearbeitungsbedingungen werden gesteuert, unabhängig davon, ob ein Kurzschluß existiert oder nicht.
  • Es ist demgemäß eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Nachteile des Standes der Technik durch Bereitstellen einer elektrischen Entladungsbearbeitungsvorrichtung und eines Verfahrens dafür zu überwinden, welche einen Entladungszustand präzise bei jeder einzelnen Entladung erfassen, und welche elektrische Entladungsbearbeitungsbedingungen präzise auf der Grundlage des erfaßten Entladungszustandes steuern.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird diese Aufgabe gelöst, wie in Anspruch 1 definiert.
  • Die vorliegende Erfindung mißt die Wechselstromkomponenten oder Hochfrequenzkomponenten des Stromes, der Spannung und der Impedanz des Bearbeitungsspaltes nicht weniger als 1 µsec nach dem Auftreten einer Entladung, um den Entladungszustand zu erfassen, wodurch der Einfluß der Hochfrequenzkomponenten, die sofort nach dem Start der Entladung erzeugt werden, vermieden werden kann.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Fig. 1 zeigt eine Anordnung einer ersten Vorrichtung.
  • Fig. 2 zeigt Wellenformendiagramme bestimmter Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet der ersten Vorrichtung.
  • Fig. 3 zeigt eine Anordnung einer zweiten Vorrichtung.
  • Fig. 4 zeigt Wellenformendiagramme bestimmter Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet der Vorrichtung der Fig. 3.
  • Fig. 5 zeigt eine Anordnung einer dritten Vorrichtung.
  • Fig. 6 ist ein Wellenformendiagramm, welches Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet der Vorrichtung in Fig. 5 zeigt.
  • Fig. 7 ist eine Anordnung einer vierten Vorrichtung.
  • Fig. 8 ist ein Wellenformendiagramm, welches Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet der Vorrichtung der Fig. 7 zeigt.
  • Fig. 9 zeigt eine Anordnung einer Modifikation der vierten Vorrichtung.
  • Fig. 10 zeigt eine Anordnung einer fünften Vorrichtung.
  • Fig. 11 ist ein Wellenformendiagramm, welches Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet der Vorrichtung in Fig. 10 zeigt.
  • Fig. 12 ist eine Anordnung einer sechsten Vorrichtung.
  • Fig. 13 ist eine Anordnung einer siebten Vorrichtung.
  • Fig. 14 ist ein Wellenformendiagramm, welches Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet der Vorrichtung in Fig. 13 zeigt.
  • Fig. 15 zeigt eine Anordnung einer achten Vorrichtung.
  • Fig. 16 zeigt eine Anordnung einer neunten Vorrichtung.
  • Fig. 17 ist ein Wellenformendiagramm, welches Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet der Vorrichtung in Fig. 16 zeigt.
  • Fig. 18 zeigt eine Anordnung einer zehnten Vorrichtung.
  • Fig. 19A und 19B zeigen die Ergebnisse von Frequenzanalysen an Entladungsimpulsen.
  • Fig. 20 zeigt eine Anordnung einer elften Vorrichtung.
  • Fig. 21 ist ein Wellenformendiagramm, welches Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet der in Fig. 20 gezeigten Vorrichtung zeigt.
  • Fig. 22 zeigt eine Anordnung eines ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung.
  • Fig. 23 ist ein Wellenformendiagramm, welches Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung in Fig. 22 zeigt.
  • Fig. 24 zeigt eine Anordnung eines zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung.
  • Fig. 25 ist ein Wellenformendiagramm, welches Eingangs-/Ausgangssignale in dem Hauptgebiet des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung in Fig. 24 zeigt.
  • Fig. 26A bis 26D zeigen die Verteilung der Hochfrequenzkomponentengröße einer Bearbeitungsspaltspannung während der elektrischen Entladungsbearbeitung.
  • Fig. 27 zeigt die Anordnung einer im Stand der Technik bekannten elektrischen Entladungsbearbeitungsmaschine.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Fig. 1 ist ein Anordnungsdiagramm einer Vorrichtung im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung. Teile, die mit der herkömmlichen elektrischen Entladungsmaschine identisch oder entsprechend sind, die in Fig. 27 gezeigt ist, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 1 bezeichnet Ziffer 6 eine Glättungsvorrichtung, beispielsweise einen Glätter, der aus einem Widerstand und einem Kondensator besteht. Fig. 2 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet der vorliegenden Vorrichtung, worin die Wellenform 2-A die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes zeigt, Wellenformen 2-B die Ausgangswellenform des Hochpaßfilters 4 zeigt, Wellenform 2-C die Ausgangswellenform des Gleichrichters 5 zeigt, und Wellenform 2-D die Ausgangswellenform des Glätters 6 zeigt. Eine in der Wellenform 2-D gezeigt, gestrichelte Linie zeigt einen Beurteilungsschwellwert (einen gegebenen Einstellwert) an. Eine Entladung ist normal, wenn Hochfrequenzkomponenten oberhalb dieses Schwellwertes lokalisiert sind, und ist anormal oder wird anormal, wenn die Hochfrequenzkomponenten unterhalb dieses Schwellwertes lokalisiert sind.
  • Der Betrieb wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 beschrieben. Eine impulsförmige Spannung wird an den Bearbeitungsspalt mittels der Bearbeitungsstromversorgung 1 angelegt, elektrische Entladungsbearbeitung durchzuführen. Zu dieser Zeit ist die Spannungswellenform 2-A des Bearbeitungsspaltes, beispielsweise wie in Fig. 2 gezeigt. Von dieser Spannungswellenform werden nur Hochfrequenzkomponenten von dem Hochpaßfilter 4 durchgelassen, und die Wellenform 2-B ändert sich, wie in Fig. 2 gezeigt. Sie werden dann von dem Gleichrichter 5 gleichgerichtet und ändern sich in eine Signalwellenform 2-C, wie in Fig. 2 gezeigt, und werden dann von dem Glätter 6 geglättet und ändern sich in einer Signalwellenform 2-D, wie in Fig. 2 gezeigt. Gemäß dem Pegel dieser Ausgabe zeigt die Anzeigevorrichtung 7 den Entladungszustand. Wenn die Hochfrequenzkomponenten gleichgerichtet werden und dann, wie oben beschrieben, geglättet, wird die Größe der Hochfrequenzkomponenten als Spannungspegel bereitgestellt, die Variation der Entladungszustandsausgabe wird verhindert, und der Entladungszustand kann akurat erfaßt werden.
  • Fig. 3 ist ein Anordnungsdiagramm einer zweiten Vorrichtung. Teile, die mit dem Ausführungsbeispiel in Fig. 1 identisch sind oder diesem entsprechen, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 3 bezeichnet Ziffer 8 ein Tiefpaßfilter, das als Mittelungseinrichtung zum Mitteln der Ausgabe des Gleichrichters 5 wirkt. Fig. 4 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet der Vorrichtung, worin die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes 4-A, die Ausgangswellenform 4-B des Hochpaßfilters 4, die Ausgangswellenform 4-C des Gleichrichters 5 und die Wellenform 4-E des Tiefpaßfilters 8 ersichtlich sind.
  • Der Betrieb wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 3 und 4 beschrieben. Eine impulsförmige Spannung wird an den Bearbeitungsspalt von der Bearbeitungsstromversorgung 1 angelegt, um eine elektrische Entladungsbearbeitung durchzuführen. Zu dieser Zeit ist die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes beispielsweise so, wie in der Wellenform 4-A gezeigt. Von dieser Spannungswellenform werden von dem Hochpaßfilter 4 nur Hochfrequenzkomponenten durchgelassen, und die Wellenform ändert sich, wie in Wellenform 4-B gezeigt. Sie werden dann von dem Gleichrichter 5 gleichgerichtet und ändern sich in eine Signalwellenform 4-C und werden dann von dem Tiefpaßfilter 8 gemittelt und ändern sich in eine Signalwellenform 4-E. Gemäß dem Pegel dieser Ausgabe zeigt die Anzeigevorrichtung 7 den Entladungszustand.
  • Wenn die Hochfrequenzkomponenten gleichgerichtet und gemittelt werden, wie oben beschrieben, wird die Größe der Hochfrequenzkomponenten als Spannungspegel bereitgestellt, die Variation der Anzeigezustandsausgabe verhindert, und der Entladungszustand kann akurat erfaßt werden.
  • Fig. 4 zeigt eine Anordnung einer dritten Vorrichtung. Teile, die identisch mit der Vorrichtung in Fig. 1 oder dieser entsprechend sind, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 5 bezeichnet Ziffer 9 einen Integrator und 10 stellt eine Steuerung zum Steuern des Integrationsbeginns und des Rücksetzens des Integrators 9 dar. Fig. 6 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet der vorliegenden Vorrichtung, worin die Spannungswellenform 6-A des Bearbeitungsspaltes, die Ausgangswellenform 6-B des Hochpaßfilters 4, die Ausgangswellenform 6-C des Gleichrichters 5 und die Ausgangswellenform 6-F des Integrators 9 ersichtlich sind.
  • Der Betrieb wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 5 und 6 beschrieben.
  • Eine impulsförmige Spannung wird an den Bearbeitungsspalt von der Bearbeitungsstromversorgung 1 angelegt, um eine elektrische Entladungsbearbeitung durchzuführen. Zu dieser Zeit ist die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes beispielsweise als Wellenform 6-A gezeigt. Von dieser Spannungswellenform werden nur Hochfrequenzkomponenten von dem Hochpaßfilter 4 durchgelassen, und die Wellenform ändert sich in die als 6-B dargestellte. Sie werden dann von dem Gleichrichter 5 gleichgerichtet und ändern sich in eine Signalwellenform 6-C. Wenn in der Zwischenzeit die Steuerung 10 den Integrator 9 steuert, die Integration beim Anlegen der Spannung an den Bearbeitungsspalt rückzusetzen, und die Integration beim Auftreten einer Entladung zu beginnen, ist die Ausgangswellenform des Integrators 9 so, wie als Signal 6-F gezeigt. Gemäß diesem Ausgangswert des Integrators 9, der während der Stopzeit erfaßt wird, zeigt die Anzeigevorrichtung 7 den Entladungszustand.
  • Wenn die Hochfrequenzkomponenten gleichgerichtet und dann integriert werden, wie oben beschrieben, wird die Größe der Hochfrequenzkomponenten als Spannungspegel bereitgestellt, die Variation der Entladungszustandsausgabe wird verhindert, und der Entladungszustand kann akurat erfaßt werden. Während der Integrator 9 synchron mit der Spannungsanlegung oder dem Auftreten einer Entladung in dieser Vorrichtung gesteuert wurde, ist klar, daß der Integrator 9 mit beliebiger Zeitvorgabe gesteuert werden kann, wenn die Ausgabe des Gleichrichters 5 pro Impuls integriert werden kann, beispielsweise die Integration an einer vorbestimmten Zeitdauer begonnen wird, nachdem eine Entladung aufgetreten ist, die Integration rückgesetzt wird und gleichzeitig mit dem Anlegen einer Spannung gestartet wird, oder die Integration rückgesetzt wird unmittelbar vor dem Integrationsbeginn nach dem Auftreten einer Entladung. Wenn dieses Ausführungsbeispiel konstruiert ist, die Ausgabe des Integrators 9 für eine vorbestimmte Zeitdauer nach dem Integrationsbeginn zu halten oder zu prüfen, kann die Entladungszustandsausgabe unabhängig von der Zeit, zu welcher die Entladung endet, bereitgestellt werden, und identische Wirkungen werden erzeugt.
  • Fig. 7 zeigt eine Anordnung einer vierten Vorrichtung. Teile, die mit der Vorrichtung in Fig. 5 identisch oder entsprechend sind, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 7 bezeichnet Ziffer 70 eine Zeitkonstanten-Meßvorrichtung, die als Zeitkonstanten- Meßeinrichtung zum Messen der Zeitkonstante tH des Hochpaßfilters 4 dient, 71 stellt eine Ausgabe davon dar, 72 bezeichnet einen Logikschaltkreis, 73 bezeichnet eine Ausgabe davon, 74 bezeichnet eine Ausgabe des Integrators 9, und 10 bezeichnet eine Rücksetzvorrichtung für den Integrator 9. 75 bezeichnet einen Entladungsspannungsdetektor, 76 bezeichnet einen Entladungsstromdetektor, 77 bezeichnet einen Logikschaltkreis, und 78 bezeichnet einen Komparator. Fig. 8 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet der vorliegenden Vorrichtung, worin die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes 8-A, die Ausgangswellenform 8-B des Hochpaßfilters 4, die Ausgangswellenform 8-G des Logikschaltkreises 77, die Ausgangswellenform 8-H der Zeitkonstantenmeßvorrichtung 70, die Ausgangswellenform 8-I des Logikschaltkreises 72 und die Ausgangswellenform 8-F des Integrators gezeigt sind.
  • Der Betrieb wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 7 und 8 beschrieben. In Fig. 8 bezeichnen 80 und 81 Entladungsspannungswellenformen des Bearbeitungsspaltes, Ton bezeichnet eine Entladungsimpulsbreite, Toff stellt eine Stopzeit dar, t1 bezeichnet eine Entladungserfassungszeit, t2 bezeichnet eine Zeit nach der Zeitkonstanten tH des Hochpaßfilters 4 beginnend an der Entladungserfassungszeit t1 (t2 = t1 + tH), 82 stellt Hochfrequenzkomponenten der Entladungsspannung dar, und 83 bezeichnet eine Störungswellenform, die auf die transiente Charakteristik des Hochpaßfilters 4 rückzuführen ist, und die Zeitkonstantenmeßvorrichtung 70 mit einem hohen Pegel für eine Zeitdauer tH aus, beginnen zu der Zeit, zu welcher die Ausgabe 79 des Logikschaltkreises 77 ansteigt, wie in Wellenform 8-H gezeigt ist. Der Logikschaltkreis 72 empfängt die Ausgabe 79 des Logikschaltkreises 77 und die Ausgabe 71 der Zeitkonstantenmeßvorrichtung 70 und gibt das Signal 73 aus, das als Wellenform 8-I gezeigt ist. Die Zeit, zu welcher das Ausgangssignal 73 ansteigt, ist in Wellenform 8-I als t2 angezeigt. Die Rücksetzvorrichtung 10 setzt den Integrator 9 zurück, während die Ausgabe 73 des Logikschaltkreises 72 hoch ist. Nur während die Ausgabe 73 des Logikschaltkreises niedrig ist, integriert nämlich der Integrator 9 die Gleichrichtungsausgabe Vrec. Der Komparator 78 vergleicht die Referenzspannung Vref mit der Integrationsausgabe 74, die in Wellenform 8-F gezeigt ist, beurteilt sie als normalen Entladungsimpuls, wenn die Integrationsausgabe 74 größer als die Referenzspannung Vref am Ende der Entladungsimpulsbreite ton ist, und beurteilt sie als Bogenentladungsimpuls, falls kleiner.
  • Während die Erfassung der Hochfrequenzkomponenten der Entladungsspannungswellenform in dieser Vorrichtung beschrieben wurde, ist deutlich, daß die Prinzipien der Vorrichtung auf die Entladungsstromwellenform und die Impedanzwellenform des Bearbeitungsspaltes anwendbar sind. Ebenfalls werden dieselben Effekte unter Verwendung eines Bandpaßfilters, wie in Fig. 9 gezeigt, erzeugt, welches eine Hochpaßcharakteristik für die Erfassung von Hochfrequenzkomponenten aufweist und des weiteren das Gebiet der Hochfrequenz beschneidet, obwohl in der vierten Vorrichtung die Verwendung des Hochpaßfilters beschrieben wurde.
  • Fig. 10 zeigt eine Anordnung einer fünften Vorrichtung, worin Teile, die identisch mit der Vorrichtung in Fig. 1 oder dieser entsprechend sind, identische Bezugszeichen haben und hier nicht beschrieben werden. In Fig. 10 bezeichnet Bezugsziffer 11 eine Zeitmeßvorrichtung, 12 bezeichnet eine Steuerung zum Steuern des Rücksetzens der Zeitmeßvorrichtung 11, 13 bezeichnet einen Komparator und 14 stellt einen Vergleichsreferenzwertgenerator dar. Fig. 11 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet der vorliegenden Vorrichtung, worin die Spannungswellenform 11-A des Bearbeitungsspaltes, die Ausgangswellenform 11-J des Komparators 13 und die Ausgangswellenform 11-K der Zeitmeßvorrichtung 12 gezeigt sind.
  • Der Betrieb wird nun unter Bezug auf die Fig. 10 und 11 beschrieben. Eine impulsförmige Spannung wird an den Bearbeitungsspalt von der Bearbeitungsstromversorgung 1 angelegt, um elektrische Entladungsbearbeitung durchzuführen. Zu dieser Zeit ist die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes beispielsweise wie in Wellenform 11-A gezeigt. Diese Spannungswellenform wird an einem bestimmten Pegel von dem Komparator 13 verglichen und ändert sich, wie in Wellenform 11-J gezeigt. In der Zwischenzeit setzt die Steuerung 12 die Zeitmeßvorrichtung 11 zurück, wenn die Spannung an diesen Bearbeitungsspalt angelegt wird, und löscht den Rücksetzstatus, wenn eine Entladung erfaßt wird. Weil des weiteren die Zeitmeßvorrichtung 11 die Zeitmessung auf der Vorderflanke der Ausgabe des Komparators 13 beginnt und die Zeitmessung auf der Rückflanke davon anhält, ist sie die Länge der Zeit, wenn die Spannungswellenform den Vergleichspegel während einer einzelnen Entladung übersteigt, und die Zeitmeßausgabe ist wie in Wellenform 11-K gezeigt. Gemäß der Zeitmeßausgabe während der Stopzeit zeigt die Anzeigevorrichtung 7 den Entladungszustand.
  • In der obigen Konstruktion kann die Größe von Hochfrequenzkomponenten in einem Entladungsimpuls gemäß der Zeit gemessen werden, wenn die Hochfrequenzkomponenten eine vorbestimmte oder größere Amplitude haben, wodurch der Entladungszustand akurat erfaßt werden kann.
  • Während die Zeitmeßvorrichtung 11 synchron mit dem Anlegen einer Spannung oder dem Auftreten einer Entladung in diesem Ausführungsbeispiel gesteuert wurde, ist deutlich, daß die Zeitmeßvorrichtung 11 mit irgendeiner Zeitvorgabe gesteuert werden kann, wenn die Zeitdauer, wenn die Spannungswellenform während einer Entladung den Vergleichspegel übersteigt, pro Impuls gemessen werden kann, beispielsweise Rücksetzen nach einer vorbestimmten Zeitdauer, nachdem eine Entladung aufgetreten ist, gelöscht wird, oder die Zeitmeßvorrichtung 11 unmittelbar vor der Rücksetzlöschung nach dem Auftreten einer Entladung rückgesetzt wird. Wenn das vorliegende Ausführungsbeispiel konstruiert ist, die Ausgabe der Zeitmeßvorrichtung 11 eine vorbestimmte Zeitdauer nach der Rücksetzlöschung zu halten oder zu prüfen, kann die Entladungszustandsausgabe unabhängig von der Zeit der Entladungsbeendigung bereitgestellt werden, und es werden identische Wirkungen erzeugt. Wenn die Zeitmeßvorrichtung 11 konstruiert ist, als die Zeitmeßausgabe einen Wert auszugeben, der durch Subtrahieren eines Zeitmeßwertes an einem vorangehenden Impuls von einem gemessenen Zeitmeßwert erhalten wird, ergibt sich ein Vorteil, daß die Steuerung 12 zum Steuern des Rücksetzens der Zeitmeßvorrichtung 11 nicht erforderlich ist.
  • Während die Zeitdauer, wenn die Spannungswellenform den Vergleichspegel während einer einzelnen Entladung übersteigt, in diesem Ausführungsbeispiel gemessen wurde, kann die Zeitdauer, wenn die Spannungswellenform unter den Vergleichspegel fällt, gemessen werden, um dieselben Wirkungen bereitzustellen, beispielsweise durch Beginnen der Zeitmessung auf der Rückflanke der Ausgabe des Komparators 13 und Beenden der Zeitmessung auf der Vorderflanke davon. In diesem Fall ist anzumerken, daß, weil die Meßperiode länger gemacht wird, die Hochfrequenzkomponenten weniger sind.
  • Fig. 12 zeigt eine Anordnung einer sechsten Vorrichtung, worin Teile, die mit der herkömmlichen elektrischen Entladungsmaschine in Fig. 49 und der Vorrichtung in Fig. 10 identisch oder dieser entsprechend sind, identische Bezugszeichen haben und hier nicht beschrieben werden.
  • Der Betrieb wird nun beschrieben. Der Betrieb ist im allgemeinen identisch dem der obigen Vorrichtung in Fig. 10; weil jedoch die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes durch das Hochpaßfilter 4 läuft und dann in den Komparator 13 eingegeben wird, kann der Einfluß von Gleichstromkomponentenvariationen und ein Niederfrequenzanwachsen eliminiert und der Entladungszustand genauer erfaßt werden. Die vorliegende Vorrichtung ist ebenfalls mit dieser vorangehenden Vorrichtung darin identisch, daß der Entladungszustand durch Messen nicht nur der Zeit erfaßt werden kann, wenn die Spannungswellenform den Vergleichspegel übersteigt, sondern ebenfalls der Zeit, wenn sie unter den Vergleichspegel fällt. Ebenfalls kann die Ausgabe des Hochpaßfilters 4 gleichgerichtet und dann in den Komparator 13 eingegeben werden, um dieselben Wirkungen zu haben. Insbesondere im Fall von Vollwellengleichrichtung kann auch die Amplitude eines Gebietes, welches unter einen Durchschnittspegel fällt, evaluiert werden, wodurch der Entladungszustand sehr viel genauer erfaßt werden kann.
  • Fig. 13 ist eine Anordnung einer siebten Vorrichtung der Erfindung. Teile, die mit der Vorrichtung in Fig. 10 identisch sind oder dieser entsprechen, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 13 bezeichnet Ziffer 15 einen Zähler, und 16 bezeichnet eine Steuerung zum Steuern des Rücksetzens des Zählers 15. Fig. 14 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet der vorliegenden Vorrichtung, worin die Wellenform 14A die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes zeigt, Wellenform 14-J die Ausgangswellenform des Komparators 13 zeigt, und die Wellenform 14-L die Ausgangswellenform des Zählers zeigt.
  • Der Betrieb wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 13 und 14 beschrieben. Eine impulsförmige Spannung wird an den Bearbeitungsspalt von der Bearbeitungsstromversorgung 1 angelegt, um elektrische Entladungsbearbeitung durchzuführen. Zu dieser Zeit ist die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes beispielsweise wie in Wellenform 14-A gezeigt. Diese Spannungswellenform wird an einem bestimmten Pegel von dem Komparator 13 verglichen und ändert sich, wie gezeigt in Wellenform 14-J. Weil der Zähler 15 angeordnet ist, rückgesetzt zu werden, wenn die Spannung an den Bearbeitungsspalt angelegt wird und seinen Zählwert an der führenden Flanke der Ausgabe (14-L) des Komparators 13 zu inkrementieren, mißt er die Anzahl, wie oft die Spannungswellenform den Vergleichspegel während einer einzelnen Entladung übersteigt. Im allgemeinen überlagern Hochfrequenzkomponenten in der Spannung während einer Entladung in einer elektrischen Entladungsbearbeitung eine näherungsweise konstante Vorspannung. Somit kann durch Zählen der Anzahl, daß der Spannungswert den Vergleichspegel erreicht, der geringfügig oberhalb oder unterhalb der Vorspannung vorgesehen ist, die Größe der Amplitude von Hochfrequenzkomponenten gemessen werden, wodurch der Entladungszustand gemäß dem Zählwert erfaßt werden kann. Die Anzeigevorrichtung 7 zeigt den Entladungszustand gemäß dem Wert des Zählers 15 während der Stopzeit. Während der Zähler 15 synchron mit dem Anlegen einer Spannung oder dem Auftreten einer Entladung in dieser Vorrichtung gesteuert wurde, ist deutlich, daß der Zähler 15 mit irgendeiner Zeitvorgabe gesteuert werden kann, wenn die Anzahl, daß die Spannungswellenform während einer Entladung den Vergleichspegel übersteigt, pro Impuls gemessen werden kann, beispielsweise der Betrieb gestopt wird, bis eine vorbestimmte Zeit nach dem Auftreten einer Entladung verstrichen ist, oder Rücksetzen und Start gleichzeitig mit dem Auftreten einer Entladung vorgenommen werden. Wenn das Ausführungsbeispiel konstruiert ist, die Ausgabe des Zählers 15 eine vorbestimmte Zeitdauer nach dem Beginn einer Entladung oder Beginn einer Zählung zu halten oder zu prüfen, kann die Entladungszustandsausgabe unabhängig von der Zeit der Beendigung der Entladung bereitgestellt werden, und es werden identische Wirkungen erzeugt. Wenn der Zähler 15 des weiteren konstruiert ist, als den Zählwert einen Wert auszugeben, der durch Substrahieren eines Zählwertes an einem vorangehenden Impuls von einem gemessenen Zählwert erhalten wird, ergibt sich ein Vorteil darin, daß die Steuerung 16 zum Steuern des Rücksetzens des Zählers 15 nicht erforderlich ist.
  • Während die Vorderflanke der Ausgabe des Komparators 13 in dieser Vorrichtung gezählt wurde, ist selbstverständlich, daß die Rückflanke der Ausgabe des Komparators 13 oder sowohl die Vorderflanke als auch die Rückflanke davon gezählt werden können.
  • Fig. 15 zeigt eine Anordnung einer achten Vorrichtung der Erfindung. Teile, die mit der herkömmlichen elektrischen Entladungsmaschine in Fig. 49 und der Vorrichtung in Fig. 13 identisch sind oder diesen entsprechen, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben.
  • Der Betrieb wird nun beschrieben. Der Betrieb ist im allgemeinen identisch mit dem der Vorrichtung in Fig. 13; weil jedoch die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes durch das Hochpaßfilter 4 läuft und dann in den Komparator 13 eingegeben wird, kann der Einfluß von Gleichstromkomponentenvariationen und ein Niederfrequenzanstieg eliminiert und der Entladungszustand genauer erfaßt werden. Die vorliegende Vorrichtung ist identisch mit dem obigen Ausführungsbeispiel darin, daß der Entladungszustand durch Zählen nicht nur der Anzahl von Vorderflanken der Ausgabe des Komparators 13 erfaßt werden kann, sondern ebenfalls der Anzahl von Rückflanken davon. Ebenfalls kann die Ausgabe des Hochpaßfilters 4 auch gleichgerichtet und dann in den Komparator 13 eingegeben werden, um dieselben Wirkungen bereitzustellen. Insbesondere im Fall von Vollwellengleichrichtung kann die Amplitude eines Gebietes, das unter einen Durchschnittspegel fällt, ebenfalls evaluiert werden, wodurch der Entladungszustand noch genauer erfaßt werden kann.
  • Fig. 16 ist eine Anordnung einer neunten Vorrichtung. Teile, die identisch der Vorrichtung in Fig. 1 sind oder dieser entsprechen, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 16 bezeichnet Ziffer 17 einen Spitzenwerthalter, der als Spitzenwertehalteeinrichtung wirkt, und 18 bezeichnet eine Steuerung, die als Steuereinrichtung zum Steuern des Rücksetzens des Spitzenwerthalters 17 wirkt. Fig. 17 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet der vorliegenden Vorrichtung, worin die Wellenform 17-A die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes zeigt, Wellenform 17-B die Ausgangswellenform des Hochpaßfilters 4 zeigt, und Wellenform 17-M die Ausgangswellenform des Spitzenwerthalters 17 zeigt.
  • Der Betrieb wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 16 und 17 beschrieben. Eine impulsförmige Spannung wird an den Bearbeitungsspalt von der Bearbeitungsstromversorgung 1 angelegt, um elektrische Entladungsbearbeitung durchzuführen. Zu dieser Zeit ist die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes beispielsweise wie in Wellenform 17-A gezeigt. Von dieser Spannungswellenform werden nur Hochfrequenzkomponenten von dem Hochpaßfilter 4 durchgelassen, und die Wellenform ändert sich, wie in Wellenform 17-B gezeigt. In der Zwischenzeit setzt die Steuerung 18 den Spitzenwerthalter 17 zurück, wenn die Spannung an den Bearbeitungsspalt angelegt wird und löscht den Rücksetzstatus, wenn eine Entladung erfaßt wird. Ferner stellt der Spitzenwerthalter 17 eine Ausgabe bereit, wie in Wellenform 17-M gezeigt, weil er den höchsten Spannungswert hält, der während des Betriebs gemessen wird. Die Anzeigevorrichtung 7 zeigt den Entladungszustand gemäß dem Wert des Spitzenwerthalters 17 während der Stopzeit an.
  • Weil die obige Konstruktion erlaubt, daß der maximale Amplitudenwert während einer Entladung gemessen wird, kann der Entladungszustand genau erfaßt werden.
  • Während der Spitzenwerthalter 17 synchron mit dem Anlegen einer Spannung oder dem Auftreten einer Entladung in dieser Vorrichtung gesteuert wurde, ist deutlich, daß der Spitzenwerthalter 17 mit irgendeiner Zeitvorgabe gesteuert werden kann, wenn der maximale Amplitudenwert von allen oder einigen Spannungswerten während einer Entladung pro Impuls gemessen werden kann, beispielsweise Rücksetzen eine vorbestimmte Zeitdauer nach dem Auftreten einer Entladung gelöscht wird, oder der Spitzenwerthalter 17 unmittelbar vor der Rücksetzlöschung nach dem Auftreten einer Entladung rückgesetzt wird. Wenn diese Vorrichtung konstruiert ist, die Ausgabe des Spitzenwerthalters eine vorbestimmte Zeitdauer nach der Rücksetzlöschung zu halten oder zu prüfen, kann die Entladungszustandsausgabe unabhängig von der Zeit der Beendigung der Entladung bereitgestellt werden, und identische Wirkungen werden erzeugt.
  • Der Spitzenwerthalter 17, der konstruiert ist, den höchsten Spannungswert in dieser Vorrichtung zu halten, kann ebenfalls angeordnet sein, den niedrigsten Spannungswert zu halten, um dieselben Wirkungen vorzusehen. Weil diese Vorrichtung konstruiert wurde, nur einen Spitzenwert zu halten, kann auch eine Vielzahl von Spitzenwerthaltern 17 und Komparatoren 13 kombiniert oder eine andere Maßnahme ergriffen werden, um den Additionswert oder Durchschnittswert einer Vielzahl von Spitzenwerten zu erhalten, oder beispielsweise den drittgrößten Spitzenwert zu nehmen, in welchem Fall ein Vorteil darin liegt, daß ein Fehlbetrieb aufgrund von Störungen unwahrscheinlich ist. Ebenfalls ist es selbstverständlich, daß die Spitzenerfassung, die in dieser Vorrichtung als Reaktion auf die Ausgabe des Hochpaßfilters 4 vorgenommen wird, direkt bezüglich der Spannungswellenform während einer Entladung durchgeführt werden kann, um die identischen Wirkungen zu erzeugen. Ebenfalls kann die Ausgabe des Hochpaßfilters 4 gleichgerichtet und dann in den Spitzenwerthalter 17 eingegeben werden, um die identischen Effekte bereitzustellen. Insbesondere im Fall von Vollwellengleichrichtung können sowohl der Minimalwert als auch der Maximalwert evaluiert werden, wodurch der Entladungszustand noch genauer erfaßt werden kann.
  • Fig. 18 ist eine Anordnung einer zehnten Vorrichtung. Teile, die der herkömmlichen elektrischen Entladungsmaschine in Fig. 49 identisch sind oder dieser entsprechen, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 18 bezeichnet 21 einen Frequenzanalysator und 22 bezeichnet eine Steuerung für den Frequenzanalysator 21.
  • Der Betrieb wird nun beschrieben. Sobald eine Entladung auftritt, startet die Steuerung 22 den Frequenzanalysator 21. Nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeit überträgt die Steuerung 22 einen Ausgangsbefehl an den Frequenzanalysator 21, welcher dann die Frequenz am Schwerpunkt einer Spektralwellenform als den Entladungszustand ausgibt und bewirkt, daß die Entladungsvorrichtung 7 diesen Zustand anzeigt. Dann setzt die Steuerung 22 den Frequenzanalysator 21 zurück, um für eine nächste Entladung bereit zu sein. Fig. 19-A und 19-B zeigen die Ergebnisse von Frequenzanalysen, die von dem Frequenzanalysator 21 an den Impulsen 1 und 2 durchgeführt werden, welche verschiedene Entladungsimpulse sind. In diesen Figuren reicht das gezeigte Frequenzband hinauf bis 5.000.000 Hz.
  • Weil die obige Anordnung den Frequenzanalysator 21 nur während einer Entladung betreibt, kann der Einfluß von wiederholten Frequenzänderungen auf die Entladung aufgrund der Fluktuation von lastfreier Zeit und der Steuerung der Stopzeit eliminiert werden, und die Ausgabe kann pro Impuls bereitgestellt werden, wodurch der Entladungszustand genau gemessen und angezeigt werden kann.
  • Der Frequenzanalysator 21, der angeordnet ist, die Frequenz am Schwerpunkt einer Spektralwellenform in dieser Vorrichtung auszugeben, kann ebenfalls konstruiert sein, irgendeinen analysierten Betrag auszugeben, der mit der Größe von Hochfrequenzkomponenten im Zusammenhang steht, wie etwa das Gebiet der Spektralwellenform in einer speziellen Frequenzzone oder die durchschnittliche Stärke an einer oder mehreren spezifischen Frequenzen. Ebenfalls kann die gesamte oder partielle Spektralwellenform des Ergebnisses der Frequenzanalyse intakt als Struktur dargestellt werden, um dem Bediener der elektrischen Entladungsmaschine möglichst viel Information zu bieten. Es ist selbstverständlich, daß Analyseergebnisse über eine Vielzahl von Impulsen angezeigt werden können, beispielsweise werden die Durchschnitte, Varianzen und Anderungsgrade der Analyseergebnisse für eine Vielzahl von Impulsen oder der Reihe nach in einer Vielzahl von Anzeigepositionen angezeigt. Ebenfalls ist selbstverständlich, daß der gleichzeitig mit dem Auftreten einer Entladung in dieser Vorrichtung gestartete Frequenzanalysator 21 zu irgendeiner Zeit, falls während einer Entladung gestartet werden kann. Während der Frequenzanalysator 21 als Hardware in diesem Ausführungsbeispiel vorgesehen war, können Frequenzanalysen ebenfalls beispielsweise mittels der FFT-Berechnung der Wellenform während der Entladung durchgeführt werden, um dieselben Wirkungen zu erzeugen.
  • Fig. 20 ist eine Anordnung einer elften Vorrichtung. Teile, die der Vorrichtung in Fig. 5 identisch sind oder dieser entsprechen, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 20 bezeichnet Ziffer 33 einen Zähler. Fig. 21 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet des vorliegenden Ausführungsbeispiels, worin die Wellenform 21-A die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes zeigt, Wellenform 21-B die Ausgangswellenform des Hochpaßfilters 4 zeigt, Wellenform 21-C die Ausgangswellenform des Gleichrichters 5 zeigt, Wellenform 21-N die Hochzähl- Ausgangswellenform des Zählers 33 zeigt, und Wellenform 21-O die Ausgangswellenform des Integrators 9 zeigt.
  • Der Betrieb wurd nun unter Bezugnahme auf die Fig. 20 und 21 beschrieben. Eine impulsförmige Spannung wird an den Bearbeitungsspalt mittels der Bearbeitungsstromversorgung 1 angelegt, um eine elektrische Entladungsbearbeitung durchzuführen. Zu dieser Zeit ist die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes beispielsweise als Wellenform 21-A gezeigt. Von dieser Spannungswellenform werden nur Hochfrequenzkomponenten von dem Hochpaßfilter 4 durchgelassen, und die Wellenform ändert sich, wie in 21-B gezeigt. Dann werden sie von dem Gleichrichter 5 gleichgerichtet und ändern sich in eine Signalwellenform 21-C. In der Zwischenzeit ist der Zähler 33 konstruiert, jedesmal, wenn eine Entladung endet, inkrementiert zu werden, und wenn er bis zu einem voreingestellten Wert inkrementiert ist, den Zählwert rückzustellen und eine Hochzählausgabe zu erzeugen, bis eine nächste Entladung auftritt. Wenn er konstruiert ist, bei zwei Entladungsimpulsen hochzuzählen, wird die Wellenform 21-N ausgegeben. Wenn die Steuerung 10 den Integrator 9 anweist rückzusetzen und die Integration auf der Rückflanke der Hochzählausgabe zu beginnen, ist die Integrationsausgabe, wie in Wellenform 21-O gezeigt.
  • Gemäß der Ausgabe des Integrators 9 an der Vorderflanke dieser Aufwärtszählausgabe zeigt die Anzeigevorrichtung 7 den Entladungszustand an. Weil die obige Anordnung Integrationen über eine Vielzahl von Entladungsimpulsen akumuliert, kann der Entladungszustand selbst unter dem Umstand ordnungsgemäß erfaßt werden, daß die Entladungszeit sehr kurz ist und eine ausreichende Integrationszeit nicht vorhanden ist.
  • Während in dieser Vorrichtung nur Impulse gezählt wurden, in welchen der Entladungsstrom floß, erlaubt das Zählen der Anzahl, daß die Anlegung der Spannungsimpulse an den Bearbeitungsspalt geendet hat, daß alle Spannungsimpulse einschließlich derjenigen gezählt werden, wenn der Bearbeitungsspalt offen ist, und erzeugt dieselbe Wirkung. Ebenfalls kann der in dieser Vorrichtung vorgesehene Zähler 33 zum Zählen der Entladungsimpulse durch Software ersetzt werden, die in einer Integrationssteuerung vorgesehen ist, um Entladungsimpulse zu zählen, um dieselbe Wirkung zu erhalten. Während die Integration in dieser Vorrichtung synchron mit dem Anlegen einer Spannung oder dem Auftreten von Entladung gesteuert wurde, ist die Vorrichtung identisch mit der dritten Vorrichtung darin, daß die Integration ebenfalls mit beliebiger Zeitvorgabe gesteuert werden kann, wenn die Ausgabe des Gleichrichters 5 pro Impuls integriert werden kann. Ebenfalls kann eine in dieser Vorrichtung am Ende einer Entladung vorgenommene Zählung ebenfalls mit beliebiger Zeitvorgabe vorgenommen werden, wenn die Entladungszustandsausgabe geprüft werden kann, nachdem eine vorbestimmte Anzahl von Entladungsimpulsen aufgetreten ist, beispielsweise bei der Anlegung der Spannung an den Bearbeitungsspalt.
  • Während die Technik der obigen Vorrichtung den Gleichrichter und den Integrator 9 verwendete, um Hochfrequenzkomponenten zu messen, ist deutlich, daß die in einer der vorangehenden Vorrichtungen beschriebene Technik oder irgendein anderes Verfahren verwendet werden kann, was erlaubt, daß die Amplitude von Hochfrequenzkomponenten gemessen werden kann.
  • Während die Entladungszustandserfassungsausgabe in jeder der vorangehenden Vorrichtungen der Erfindung an die Anzeigevorrichtung 7 ausgegeben wurde, kann sie natürlich ebenso an eine Bearbeitungsbedingungssteuerung ausgegeben werden, welche konstruiert ist, die Bearbeitungsbedingung zu einem geringeren Risiko einer Bogenentladung hin zu verändern, wenn einige wenige Hochfrequenzkomponenten vorhanden sind, und zu einem höheren Risiko einer Bogenentladung, jedoch höherer Bearbeitungseffizienz hin, wenn viele Hochfrequenzkomponenten vorhanden sind, in welchem Fall die Bearbeitungsbedingung schneller geändert werden kann als mittels Bedienersteuerung.
  • Während der Analogwert von dem Entladungszustandsdetektor in jeder der vorangehenden Vorrichtungen ausgegeben wurde, kann ein Komparator oder ähnliches an der Ausgangsstufe vorgesehen sein, um den Analogwert bei einem oder mehreren Pegeln zu segmentieren, um quantisiert und digital ausgegeben zu werden. Ferner kann die digitale Ausgabe in die Bearbeitungsbedingungssteuerung eingegegeben werden, um die Bearbeitungsbedingung zu steuern, wodurch ein Vorteil erzielt wird, daß die Bearbeitungsbedingungssteuerung einfach ausgeführt werden kann.
  • Fig. 22 ist ein Anordnungsdiagramm eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung. Teile, die mit der Vorrichtung in Fig. 5 identisch sind oder dieser entsprechen, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 23 bezeichnet Ziffer 23 einen Entladungsdetektor, 24 bezeichnet einen Zeitgeber, 25 bezeichnet einen Komparator, 26 bezeichnet einen Vergleichsreferenzwertgenerator, und 27 bezeichnet eine Bearbeitungsbedingungssteuerung. Fig. 23 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet des vorliegenden Ausführungsbeispiels, worin Wellenform 23-A die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes zeigt, Wellenform 23-B die Ausgangswellenform des Hochpaßfilters 4 zeigt, Wellenform 23-C die Ausgangswellenform des Gleichrichters 5 zeigt, Wellenform 23-P die Ausgabe des Entladungsdetektors 23 zeigt, Wellenform 23-Q die Ausgabe des Zeitgebers 24 zeigt, Wellenform 23-F die Ausgabe des Integrators 9 zeigt, und Wellenform 23-R die Ausgabe des Komparators 25 zeigt.
  • Der Betrieb wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 22 und 23 beschrieben. Eine impulsförmige Spannung wird an den Bearbeitungsspalt von der Bearbeitungsstromversorgung 1 angelegt, um elektrische Entladungsbearbeitung durchzuführen. Zu dieser Zeit ist die Spannungswellenform des Bearbeitungsspaltes beispielsweise Wellenform 23-A. Von dieser Spannungswellenform werden zuerst nur Hochfrequenzkomponenten von dem Hochpaßfilter 4 durchgelassen, und die Wellenform ändert sich in Wellenform 23-B. Hier ist es wünschenswert, daß ein Wert größer als 50 kHz als die Abschneidefrequenz des Hochpaßfilters 4 verwendet wird. Um einen Fehlbetrieb aufgrund von Störspannungen zu verhindern, wird des weiteren empfohlen, ein Bandpaßfilter zu verwenden, welches Hochfrequenzkomponenten, die höher als erforderlich sind (beispielsweise Komponenten mit mehr als einigen hundert MHz), abschneidet. Als nächstes werden die erhaltenen Hochfrequenzkomponenten von dem Gleichrichter 5 gleichgerichtet, in eine Wellenform 23-C geändert und werden dann in den Integrator 9 eingegeben.
  • Wenn die angelegte Spannung bewirkt, daß zwischen der Elektrode 2 und dem Werkstück 3 eine Entladung auftritt, hebt der Entladungsdetektor 23 eine Entladungserfassungsausgabe (Wellenform 23-P) an. Ein in Betracht gezogenes Verfahren zum Erfassen des Auftretens einer Entladung ist beispielsweise, die Spannung oder den Strom des Bearbeitungsspaltes mit einem Referenzwert zu vergleichen. Auf der Vorderflanke der Entladungserfassungsausgabe wird der Integrator rückgesetzt und der Zeitgeber 24 gestartet. Der verwendete Zeitgeber 24 ist beispielsweise ein Monoflop, ein binärer Zähler/Zeitgeber oder ähnliches. Nachdem eine vorbestimmte Zeitdauer (1 msec oder länger ist wünschenswert, und ungefähr die Hälfte der Entladungszeit ist viel besser) verstrichen ist, erzeugt der Zeitgeber 24 eine Meßstartausgabe (Wellenform 23-Q). Diese Ausgabe bewirkt, daß der Rücksetzstatus des Integrators 9 gelöscht und die Ausgabe des Gleichrichters 5 integriert wird, was bewirkt, daß die Ausgangswellenform des Integrators 9 so ist, wie in Wellenform 23-F gezeigt ist. Wenn die Entladung endet, senkt der Entladungsdetektor 23 die Entladungserfassungsausgabe ab. Ein in Betracht gezogenes Entladungsende-Erfassungsverfahren ist beispielsweise, die Spannung oder den Strom des Bearbeitungsspaltes mit einem Referenzwert zu vergleichen oder ein Signal zu erfassen, mit welchem die Bearbeitungsstromversorgung 1 die Schaltvorrichtung darin betreibt. Auf der Rückflanke der Entladungserfassungsausgabe vergleicht der Komparator 25 die Ausgabe des Integrators 9 mit dem Referenzwert und gibt die Beurteilung normal/fehlerhaft der Entladung aus (Wellenform 23-R). Die Bearbeitungsbedingungssteuerung 27 prüft die Ausgabe des Komparators 25 während der Stopzeit und verlängert die Stopzeit, wenn der Entladungszustand beurteilt wird, schlecht zu sein (Wellenform 23-A).
  • Weil die obige Anordnung bewirkt, daß die Messung von Hochfrequenzkomponenten bald nach dem Auftreten einer Entladung begonnen wird, kann der Einfluß der Hochfrequenzkomponenten, die unmittelbar nach einem Entladungsstart auf die Entladungszustandserfassung hin erzeugt werden, vermieden werden und der Entladungszustand kann präzise gemessen werden. Weil die Hochfrequenzkomponenten über eine bestimmte Zeitdauer integriert werden, ist das vorliegende Ausführungsbeispiel darin vorteilhaft, daß es dem Einfluß von Störungen nicht unterworfen ist.
  • Weil der Integrator 9 konstruiert wurde, in diesem Ausführungsbeispiel von der Meßstartausgabe gestartet zu werden, kann das Hochpaßfilter 4 oder der Gleichrichter 5 ebenfalls angeordnet sein, von der Meßstartausgabe gestartet zu werden, was dieselben Wirkungen bereitstellt. Während der Komparator 25 angeordnet wurde, auf der Rückflanke der Entladungserfassungsausgabe in diesem Ausführungsbeispiel zu arbeiten, ist deutlich, daß ein zweiter Zeitgeber vorgesehen sein kann, und der Komparator 25 konstruiert sein kann, eine vorbestimmte Zeit nach der Meßstartausgabe zu arbeiten, oder alternativ kann die Ausgabe des kontinuierlich arbeitenden Komparators 25 auf der Rückflanke der Entladungserfassungsausgabe gehalten werden, um dieselben Wirkungen zu erzeugen. Ferner kann der Integrator 9, der in diesem Ausführungsbeispiel angeordnet ist, auf der Vorderflanke der Entladungserfassungsausgabe rückgesetzt werden, ebenfalls zu beliebiger Zeit zwischen der Beurteilung der Entladung als normal/fehlerhaft und dem Integrationsbeginn rückgesetzt werden, beispielsweise an einem Punkt, wenn die Bearbeitungsstromversorgung 1 die Spannung angelegt hat. Ebenso ist es selbstverständlich, daß die Ausgabe des Komparators 25, die während der Stopzeit geprüft wird, zu beliebiger Zeit nach der Beurteilung einer normalen/fehlerhaften Entladung geprüft werden kann.
  • Während die Technik dieses Ausführungsbeispiels der Erfindung den Gleichrichter und den Integrator 9 verwendet, um Hochfrequenzkomponenten zu messen, ist deutlich, daß irgendeine der in den vorangehenden Vorrichtungen beschriebenen Techniken verwendet werden kann, worin beispielsweise die Ausgabe des Gleichrichters 5 geglättet wird oder durch das Tiefpaßfilter geleitet wird, die Gesamtzeit oder die Anzahl, wenn die Spannung des Bearbeitungsspaltes oder die Amplitude der Ausgabe des Hochpaßfilters 4 einen bestimmten Pegel übersteigt, gemessen wird, oder der Maximalwert der Amplitude gemessen wird, eine Berechnung an der Analog-/Digitalumwandlungsausgabe vorgenommen wird, oder die Frequenzanalyse an der Spannung des Bearbeitungsspaltes durchgeführt wird, oder irgendein anderes Verfahren, das erlaubt, daß die Amplitude von Hochfrequenzkomponenten gemessen wird.
  • Während die Stopzeit in diesem Ausführungsbeispiel verlängert wurde, wenn sich der Entladungszustand verschlechtert, kann ein weiter verbessertes Ergebnis durch Reduzieren der Stopzeit erhalten werden, wenn sich der Entladungszustand verbessert. Ferner ist deutlich, daß die zu steuernde Bearbeitungsbedingung nicht auf die Stopzeit beschränkt ist, sondern irgendeine Bearbeitungsbedingung sein kann, die den Entladungszustand beeinflußt, wie etwa der Bearbeitungsstrom, Entladungszeit, Elektrodenhochziehvorgang (Sprung), Druck des Dielektrikums und Servospannung. Natürlich kann die Steuerung entweder zu einem niedrigeren Risiko einer Bogenentladung hin durchgeführt werden, wenn der Entladungszustand schlecht ist, oder zu einem höheren Risiko einer Bogenentladung, jedoch höherer Bearbeitungseffizienz hin, wenn der Entladungszustand sehr gut ist, wie in der japanischen Offenlegungsschrift
  • SHO 62-10769, der japanischen Offenlegungsschrift
  • SHO 49-92696 oder der japanischen Offenlegungsschrift
  • SHO 58-50811 offenbart ist.
  • Ebenfalls kann die Bearbeitungsbedingung, die in diesem Ausführungsbeispiel gemäß der Entladungszustandsausgabe bei einer einzelnen Entladung gesteuert wird, gemäß der Ausgabe bei einer Vielzahl von Entladungen gesteuert werden, oder es kann nur eine Anzeige für den Bediener vorgesehen sein, ohne daß die Bearbeitungsbedingung gesteuert wird.
  • Während die Bearbeitungsbedingung in dem Ausführungsbeispiel gemäß dem Ergebnis gesteuert wurde, das von der digitalen Klassifikation des Meßergebnisses von Hochfrequenzkomponenten durch den Komparator erhalten wird, ist es selbstverständlich, daß das Meßergebnis von Hochfrequenzkomponenten intakt in dem Analogwert angezeigt werden kann oder für Bearbeitungsbedingungssteuerung verwendet werden kann, wie in den vorangehenden Ausführungsbeispielen der Erfindung beschrieben wurde.
  • Fig. 24 ist eine Anordnung eines zweiten Ausführungsbeispiels der Erfindung. Teile, die identisch mit dem Ausführungsbeispiel in Fig. 22 oder dazu entsprechend sind, haben identische Bezugszeichen und werden hier nicht beschrieben. In Fig. 24 bezeichnet Ziffer 28 einen Kurzschlußdetektor, der als Kurzschlußerfassungseinrichtung dient, 29 bezeichnet einen ersten Komparator, der als erste Vergleichseinrichtung arbeitet, 30 stellt einen ersten Vergleichsreferenzwertgenerator dar, der als erste Vergleichsreferenzwert-Erzeugungseinrichtung wirkt, 31 bezeichnet einen zweiten Komparator, der als zweite Vergleichseinrichtung wirkt, und 32 bezeichnet einen zweiten Vergleichsreferenzwertgenerator, der als zweite Vergleichsreferenzwert-Erzeugungseinrichtung wirkt. Fig. 25 zeigt ein Beispiel einer Eingangs-/Ausgangssignalwellenform in dem Hauptgebiet der vorliegenden Erfindung, worin Teile, die identisch mit dem Ausführungsbeispiel in Fig. 22 sind oder entsprechend, identische Bezugszeichen haben und hier nicht beschrieben werden. In Fig. 25 zeigt die Wellenform 25-S die Ausgangswellenform des ersten Komparators 29, welcher die Ausgabe des Entladungsdetektors 23 mit einem ersten Referenzwert vergleicht, Wellenform 25-T zeigt die Ausgangswellenform des zweiten Komparators 31, welcher die Ausgabe des Entladungsdetektors 23 mit einem zweiten Referenzwert vergleicht. Die Wellenform 25-U zeigt das Ausgangssignal des Kurzschlußdetektors 28. Fig. 26A-26D zeigen die Verteilung der Größe der Hochfrequenzkomponente der Bearbeitungsspaltspannung während der elektrischen Entladungsbearbeitung.
  • Nun wird der Betrieb unter Bezugnahme auf die Fig. 24, 25 und 26A-26D beschrieben. Der Betrieb bis zur Integration von Hochfrequenzkomponenten in der Spannung des Bearbeitungsspaltes ist identisch mit dem vorangehenden Ausführungsbeispiel der Erfindung, und die Integrationsausgabe wird in den ersten Komparator 29 und den zweiten Komparator 31 eingegeben. Auf der Rückflanke der Entladungserfassungsausgabe stellt der erste Komparator 29 die digitale Ausgabe des Vergleichsergebnisses zwischen der Ausgabe des Integrators 9 und dem ersten Referenzwert bereit, gezeigt als Wellenform 25-S. Gleichzeitig stellt der zweite Komparator 31 die digitale Ausgabe des Vergleichsergebnisses zwischen der Ausgabe des Integrators 9 und dem zweiten Referenzwert zur Verfügung, welcher niedriger eingestellt wurde als der erste Referenzwert, gezeigt als Wellenform 25-T. Demgemäß werden Entladungsimpulse von den ersten und zweiten Komparatoren 29, 31 in drei verschiedene Typen klassifiziert. Wie in den Fig. 26B-26D gezeigt, zeigt die Verteilung der Ausgabe des Integrators 9 die Segmentierung von drei Gebieten, wenn die elektrische Entladungsbearbeitung vom stabilen Zustand über den instabilen Zustand zu dem Bogenentladungszustand übergeht. Somit kann eine genauere Beurteilung durch Klassifizieren der Entladungsimpulse in einen normalen Entladungsimpuls, einen Quasi- Bogenentladungsimpuls und einen Bogenentladungsimpuls vorgenommen werden. Diese Impulse werden im folgenden als normale Entladung, als Quasi-Bogenentladung und als Bogenentladung in der Reihenfolge größerer Hochfrequenz komponenten bezeichnet.
  • In der Zwischenzeit prüft der Kurzschlußdetektor 28 den Spannungswert des Bearbeitungsspaltes auf der Rückflanke der Entladungserfassungsausgabe, vergleicht ihn mit einer Kurzschluß-Referenzspannung (15V oder weniger gewünscht) und gibt digital ein Kurzschlußerfassungssignal aus (Wellenform 25-U). Hier wurde der Kurzschlußdetektor 28, der den Bearbeitungsspalt-Spannungswert während einer Entladung mit dem Referenzwert vergleicht, nicht vorgesehen, um die normale Entladung von der Bogenentladung zu unterscheiden, wobei die Referenzspannung auf ungefähr 20V gesetzt ist, wenn Stahl mit einer Kupferelektrode bearbeitet wird, wie es oft herkömmlich zu sehen ist, sondern zum Beurteilen, ob die Elektrode 2 und das Werkstück 3 in einem Kurzschlußzustand sind oder nicht. Der Kurzschlußzustand bedeutet in diesem Fall nicht nur den direkten Kontakt der Elektrode 2 mit dem Werkstück 3, sondern schließt ebenfalls einen Kurzschluß über Späne, Teer, der von dem Dielektrikum umgewandelt wird, oder einen Kohlefiln ein, der auf der Elektrodenoberfläche gebildet wird. Somit kann der Bearbeitungsspalt-Spannungswert nicht vollständig 0V sein, und es entsteht eine Spannung von ungefähr einigen Volt. Weil die Kurzschlußreferenzspannung von dem Elektrodenmaterial usw. abhängt, wie die Bogenentladungsspannung, gibt es keinen gemeinsamen Wert für alle Fälle, sondern sie wird auf nicht mehr als 15V eingestellt, oder eher zu bevorzugen, nicht mehr als 10V, für eine Kupferelektrode 2 und ein Werkstück 3 aus Stahl.
  • Nun erhält die Bearbeitungsbedingungssteuerung 27 für jeden Impuls drei verschiedene Beurteilungsausgaben, d.h., die normale Entladung, die Quasi-Bogenentladung und die Bogenentladung. Diese Ausgaben werden von den ersten und zweiten Komparatoren 29, 31 und zwei verschiedenen Beurteilungsausgaben abgeleitet, was die Gegenwart und Abwesenheit des Kurzschlußzustandes anzeigt, von dem Kurzschlußdetektor 28. Als Ergebnis werden in die Bearbeitungsbedingungssteuerung 27 sechs verschiedene Beurteilungsausgaben eingegeben. Die Bearbeitungsbedingungssteuerung 27 ändert in Fällen eines Kurzschlusses und einer normalen Entladung ohne Kurzschluß die Bearbeitungsbedingung nicht, ändert die Stopzeit auf einen längeren Wert im Fall einer Quasi-Bogenentladung und ändert die Stopzeit auf einen noch längeren Wert im Fall einer Bogenentladung.
  • In der obigen Anordnung ist zusätzlich zur Identifikation des Entladungszustandes durch die Gegenwart/Abwesenheit von Hochfrequenzkomponenten das vorliegende Ausführungsbeispiel konstruiert, im Hinblick auf die Gegenwart/Abwesenheit des Kurzschlußzustandes, Entladungsimpulse zu beurteilen und die Bearbeitungsbedingung zu steuern, wodurch der Bearbeitungszustand optimal beibehalten werden kann.
  • Während in diesem Ausführungsbeispiel eine relativ einfache Bearbeitungssteuerung verwendet wurde, ist selbstverständlich, daß verschiedene Bearbeitungsbedingungs- Anderungsverfahren für alle sechs verschiedenen Entladungen verwendet werden können, beispielsweise verbleiben die Bearbeitungsbedingungen für die normale Kurzschluß-Entladung unverändert, die Stopzeit wird für die normale Entladung ohne Kurzschluß reduziert, die Servospannung wird für die Kurzschluß-Quasi-Bogenentladung vergrößert, die Servospannung wird für die Quasi-Bogenentladung ohne Kurzschluß verringert, der Elektrodenhochziehvorgang (Sprung) wird für die Kurzschluß-Bogenentladung durchführt, und die Stopzeit wird für die Bogenentladung ohne Kurzschluß vergrößert, und daß eine andere Bearbeitungsbedingung als die Stopzeit ebenfalls geändert werden kann. Für solche Steuerung kann Bezug genommen werden auf die Techniken, die in den zuvor genannten japanischen Offenlegungsschriften offenbart sind.
  • Während in dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung eine spezielle Technik beschrieben wurde, Hochfrequenzkomponenten zu erfassen, ist selbstverständlich, daß all die Techniken im Zusammenhang mit der Erfassung von Hochfrequenzkomponenten in der Spannung, dem Strom und der Impedanz des Bearbeitungsspaltes, die in den vorangehenden Vorrichtungen und Ausführungsbeispielen der Erfindung beschrieben wurden, verwendet werden können, und es ist ebenfalls deutlich, daß irgendeine andere Erfassungstechnik für Hochfrequenzkomponenten verwendet werden kann. Ebenfalls können die Entladungsimpulse, die in diesem Ausführungsbeispiel in drei Typen gemäß Hochfrequenzkomponenten klassifiziert sind, in zwei, vier oder mehr Typen klassifiziert werden, um dieselben Wirkungen vorzusehen. Während die Bearbeitungsbedingung gesteuert wurde, unmittelbar nachdem der Entladungsimpuls klassifiziert wurde, kann die Bearbeitungsbedingung gesteuert werden unter Verwendung der Klassifikationsergebnisse einer Vielzahl von Impulsen, beispielsweise wird die Bearbeitungsbedingung geändert, wenn der Zählwert des gezählten, klassifizierten Impulses einen vorbestimmten Wert erreicht, oder eine Klassifikationsstruktur eine spezifische Form annimmt. Ebenfalls kann nur eine Anzeige für den Bediener vorgesehen sein, ohne daß die Bearbeitungsbedingung gesteuert wird.
  • Ferner kann das Auftreten eines Kurzschlusses, der unter Verwendung des Spannungspegels des Bearbeitungsspaltes in diesem 13. Ausführungsbeispiel erfaßt wird, in irgendeinem Verfahren erfaßt werden, beispielsweise das Ansteigen des Entladungsstromes über den Referenzwert oder die Impedanzveränderung des Bearbeitungsspaltes, um dieselben Wirkungen zu erzeugen.
  • Während die Spannungswellenform durch das Hochpaßfilter 4 geleitet wurde, um in dem Ausführungsbeispiel Hochfrequenzkomponenten bereitzustellen, kann ein Bandpaßfilter anstelle des Hochpaßfilters 4 verwendet werden, um unnötige Hochfrequenzkomponenten abzuschneiden, um einen Fehlbetrieb aufgrund von Störungen zu vermeiden, wodurch der Entladungszustand noch genauer erfaßt werden kann. Ebenfalls ist deutlich, daß beispielsweise Wechselstromkomponenten durch einen Kondensator erhalten werden können, der in Reihe geschaltet ist, Gleich-Vorstromkomponenten durch die Subtraktion des Referenzspannungswertes entfernt werden können, gewünschte Frequenzkomponenten mittels eines Resonanzschaltkreises erfaßt werden können, der vorgesehen ist, oder eine elektromagnetische Welle, die von dem Bearbeitungsspalt erzeugt wird, von einer Antenne erfaßt werden kann, die in der Umgebung angeordnet ist, um Hochfrequenzkomponenten zu erfassen, wodurch dieselben Wirkungen erzeugt werden. Ferner können bei der Erfassung von Hochfrequenzkomponenten mit dem Resonanzschaltkreis oder der Antenne Hochfrequenzkomponenten an einer gewünschten einzelnen Frequenz oder vielen Frequenzen erfaßt werden, jedoch kann der Entladungszustand genauer erfaßt werden, wenn sie in einer gewünschten Frequenzzone erfaßt werden, beispielsweise durch Vorsehen einer Vielzahl von Resonanzschaltkreisen oder Erfassungsschaltkreisen.
  • Während Hochfrequenzkomponenten in der Spannung des Bearbeitungsspaltes in dem Ausführungsbeispiel erfaßt wurden, ist es selbstverständlich, daß Hochfrequenzkomponenten erfaßt werden können, die in dem Strom oder der Impedanz des Bearbeitungsspaltes erzeugt werden, um dieselben Wirkungen vorzusehen.
  • Während die Erfassung von Hochfrequenzkomponenten in einer Entladungsspannungswellenform in dem Ausführungsbeispiel beschrieben wurde, ist deutlich, daß es ebenfalls auf eine Entladungsstrom-Wellenform, eine Wellenform einer Bearbeitungsspaltimpedanz usw. anwendbar ist.
  • Bei der elektrischen Entladungsbearbeitung ist bekannt, daß elektrische Entladungscharakteristika von den in der Bearbeitungsstromversorgung eingestellten, elektrischen Bedingungen abhängen, wie etwa Impulsbreite, Stopzeit und Entladungsspitzenwert, und Bearbeitungsbedingungen von einer nicht gezeigten Bearbeitungsbedingungs-Einstellvorrichtung (beispielsweise das Material und die Größe der Elektrode, Typ des Dielektrikums, die Zeit, wann das Dielektrikum das letzte Mal gewechselt wurde, der Aufwärts-/Abwärtszyklus der Elektrode, die Servospannung und der dielektrische Druck) und daß die Hochfrequenzkomponenten der Entladungsspannungswellenform, die an dem Bearbeitungsspalt erfaßt wird, sich abhängig von demselben sich in ihrer Amplitude oder Frequenz unterscheiden.
  • Demgemäß können in jedem der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele die Hochfrequenzamplituden-Meßparameter, wie etwa die Integrationszeitkonstante, Integrationszeit und Abschneidefrequenz des Hochpaßfilters 4, der Vergleichsreferenzwert des Komparators und/oder der Analysereferenzwert des Frequenzanalysators auf der Grundlage der elektrischen Bedingungen geändert werden, die in der Bearbeitungsstromversorgung eingestellt sind, der Bearbeitungsbedingungen von der Bearbeitungsbedingungs- Einstellvorrichtung, und ähnliches. In diesem Fall können die Ausführungsbeispiele auf einen großen Bereich von Bearbeitungsbedingungen reagieren.
  • Es ist deutlich, daß die oben dargelegte Erfindung ein elektrisches Entladungsbearbeitungsverfahren und eine Maschine dafür erzielt, welche präzise einen elektrischen Entladungsbearbeitungszustand erfassen und die Bearbeitungseffizienz beträchtlich verbessern.
  • Die gesamte Offenbarung für jede ausländische Patentanmeldung, deren ausländische Priorität in der vorliegenden Anmeldung beansprucht wird, wird hierin durch Bezugnahme so eingegliedert, als ob sie vollständig ausgeführt wäre.

Claims (2)

1. Vorrichtung zum Erfassen eines Entladungszustandes an einem Bearbeitungsspalt (2, 3), der von einer Bearbeitungselektrode (21) einer elektrischen Entladungsmaschine und einem Werkstück (3) gebildet wird, die einander gegenüber angeordnet sind, mit:
- Entladungserfassungseinrichtungen (23) zum Bestimmen, ob eine Entladung an dem Bearbeitungsspalt (2, 3) aufgetreten ist oder nicht; und
- Entladungszustands-Erfassungseinrichtungen (4, 5, 6) zum Erfassen eines Entladungszustandes durch Messen der Wechselstromkomponenten oder Hochfrequenzkomponenten von wenigstens einem von Strom, Spannung und Impedanz des Bearbeitungsspaltes (2, 3); dadurch gekennzeichnet , daß
- die Entladungszustandserfassungseinrichtung konstruiert ist, die Wechselstromkomponenten oder Hochfrequenzkomponenten nicht weniger als 1 µsec nach dem Auftreten der Entladung zu messen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
- Spitzenwerthalteeinrichtungen (17) zum Halten von wenigstens entweder des Maximaiwertes oder des Minimalwertes von einem von Strom, Spannung und Impedanz des Bearbeitungsspaltes (2, 3) oder der Wechselstromkomponenten oder Hochfrequenzkomponenten des Stromes, der Spannung und der Impedanz des Bearbeitungsspaltes (2, 3) oder der gleichgerichteten Ausgaben der Wechselstromkomponenten oder Hochfrequenzkomponenten des Stromes, der Spannung und der Impedanz des Bearbeitungsspaltes; und
- durch Steuereinrichtungen (18) zum Steuern des Rücksetzens der Ausgabe der Spitzenwerthalteeinrichtung (17).
DE69305187T 1992-01-07 1993-01-05 Entladungsdetektor Expired - Lifetime DE69305187T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP78692 1992-01-07
JP2971192 1992-02-17
JP4311963A JP2858515B2 (ja) 1992-01-07 1992-11-20 放電加工方法及びその装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69305187D1 DE69305187D1 (de) 1996-11-14
DE69305187T2 true DE69305187T2 (de) 1997-03-20

Family

ID=27274601

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69322290T Expired - Lifetime DE69322290T2 (de) 1992-01-07 1993-01-05 Verfahren und Vorrichtung zum Funkenerosionsbearbeiten
DE69305187T Expired - Lifetime DE69305187T2 (de) 1992-01-07 1993-01-05 Entladungsdetektor
DE69328443T Expired - Lifetime DE69328443T2 (de) 1992-01-07 1993-01-05 Vorrichtung zum Funkenerosionsbearbeiten

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69322290T Expired - Lifetime DE69322290T2 (de) 1992-01-07 1993-01-05 Verfahren und Vorrichtung zum Funkenerosionsbearbeiten

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69328443T Expired - Lifetime DE69328443T2 (de) 1992-01-07 1993-01-05 Vorrichtung zum Funkenerosionsbearbeiten

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5496984A (de)
EP (1) EP0551091B1 (de)
DE (3) DE69322290T2 (de)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3293416B2 (ja) 1994-08-09 2002-06-17 三菱電機株式会社 放電加工機の放電状態検出装置
JP3223723B2 (ja) * 1994-09-20 2001-10-29 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置及びその制御方法
JP3575087B2 (ja) 1994-12-07 2004-10-06 三菱電機株式会社 放電加工装置
DE19512291C2 (de) * 1995-04-05 1998-08-27 Behrens Arno Prof Dr Ing Verfahren und Schaltung zur Überwachung und Vorhersage des Verlaufs eines Funkenerodierprozesses
JP3528400B2 (ja) * 1996-03-05 2004-05-17 三菱電機株式会社 放電加工装置および放電加工方法
JP2001516290A (ja) * 1998-01-12 2001-09-25 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 被加工物を電気化学的に加工する加工方法
US6850874B1 (en) * 1998-04-17 2005-02-01 United Technologies Corporation Method and apparatus for predicting a characteristic of a product attribute formed by a machining process using a model of the process
CH694154A5 (de) * 1998-05-08 2004-08-13 Mitsubishi Electric Corp Positionierungsapparat fuer eine elektrische Entladungsmaschine und Verfahren dafuer.
WO2004034070A1 (en) * 2002-10-10 2004-04-22 Hanyang Hak Won Co., Ltd. Hybrid type sensor for detecting high frequency partial discharge
US6723942B1 (en) * 2003-03-06 2004-04-20 Industrial Technology Research Institute Automatic breakthrough detection device
JP2007044813A (ja) 2005-08-10 2007-02-22 Fanuc Ltd 放電加工装置
US8134096B2 (en) * 2006-10-20 2012-03-13 Mitsubishi Electric Corporation Power supply-control device for electrical discharge machining apparatus
JP4833197B2 (ja) * 2006-10-20 2011-12-07 三菱電機株式会社 放電加工機の電源制御装置
ATE429303T1 (de) * 2006-11-06 2009-05-15 Agie Sa Verfahren und vorrichtung zum funkenerosionsbearbeiten
US8415581B2 (en) * 2008-02-06 2013-04-09 Mitsubishi Electric Corporation Power source controller of electrical discharge machine
CN102151921B (zh) * 2010-02-12 2013-06-12 财团法人工业技术研究院 放电电源控制方法与装置
JP5073797B2 (ja) * 2010-08-26 2012-11-14 ファナック株式会社 加工状態を検出するワイヤ放電加工機
JP5084974B1 (ja) 2011-12-02 2012-11-28 三菱電機株式会社 放電加工機の制御装置
CN103796785B (zh) 2012-07-25 2016-03-02 三菱电机株式会社 放电加工装置
EP2951111A4 (de) * 2013-02-04 2017-01-25 Anca Pty. Ltd. Puls- und lückensteuerung für eine funkenerosionsverarbeitungsvorrichtung
TWI562252B (en) * 2014-02-17 2016-12-11 Shinkawa Kk Detecting discharging device, wire bonding device and detecting discharging method
JP6105548B2 (ja) * 2014-12-12 2017-03-29 ファナック株式会社 干渉回避位置決め機能を備えた数値制御装置
US10189102B2 (en) 2015-10-20 2019-01-29 Mitsubishi Electric Corporation Electric discharge machine
US10913124B2 (en) * 2017-04-11 2021-02-09 Mitsubishi Electric Corporation Power supply control apparatus of electric discharge machine
US11084112B2 (en) 2018-05-31 2021-08-10 Johnson Technology, Inc. Electrical discharge machine time slice power supply
TWI767550B (zh) * 2021-02-03 2022-06-11 精呈科技股份有限公司 精加工之放電波寬調變方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3864541A (en) * 1969-03-13 1975-02-04 Inoue K System for the controlling of an apparatus for the electric discharge machining etc.
US3997753A (en) * 1969-03-17 1976-12-14 Inoue K Control system and method for electric discharge machining (EDM) using a predetermined portion of each discharge pulse for monitoring
NL7008914A (de) * 1970-06-18 1971-12-21
US3705286A (en) * 1971-01-21 1972-12-05 Iwao Kondo Electric discharge machining device
NL7116823A (de) * 1971-12-08 1973-06-13
US3973104A (en) * 1972-08-17 1976-08-03 A.G. Fur Industrielle Elektronik Agie Losone B. Locarno Apparatus for regulating an electric discharge machining gap
JPS5622647B2 (de) * 1973-05-01 1981-05-26
CH585608A5 (de) * 1973-12-04 1977-03-15 Deckel Ag Friedrich
US4071729A (en) * 1976-01-19 1978-01-31 Colt Industries Operating Corporation Adaptive control system and method for electrical discharge machining
US4236057A (en) * 1976-12-14 1980-11-25 Inoue-Japax Research Incorporated Apparatus for detecting gap conditions in EDM processes with monitoring pulses
JPS6031609B2 (ja) * 1977-05-19 1985-07-23 株式会社井上ジャパックス研究所 放電加工方法
GB1604399A (en) * 1977-12-13 1981-12-09 Nat Res Dev Methods for monitoring electrical discharge machining and apparatus for such machining
EP0009928B1 (de) * 1978-09-26 1983-06-22 National Research Development Corporation Lichtbogendetektor für die Elektroerosionsbearbeitung
US4338504A (en) * 1979-08-28 1982-07-06 Pacific Controls Incorporated Arc prevention and detection electrical discharge machine servo control system
US4367400A (en) * 1980-06-25 1983-01-04 Otto Mark S Device for automatic control of electro-erosion machine
US4322595A (en) * 1980-07-29 1982-03-30 National Research Development Corporation Arc monitor for electrical discharge machining
GB2115585B (en) * 1982-02-26 1985-12-04 Hitachi Seiko Limited Electric discharge machining apparatus
DE3327900A1 (de) * 1982-08-02 1984-02-02 Mitsubishi Denki K.K., Tokyo Elektrische entladungsvorrichtung
JPS59192421A (ja) * 1983-04-15 1984-10-31 Mitsubishi Electric Corp 放電加工方法
JPS60161029A (ja) * 1984-02-01 1985-08-22 Nec Corp 放電間隙検出回路
JPS6144530A (ja) * 1984-08-08 1986-03-04 Amada Co Ltd 放電加工装置
JPS6156829A (ja) * 1984-08-27 1986-03-22 Amada Co Ltd 放電加工装置の加工条件設定方法
GB2171822B (en) * 1984-10-05 1988-02-24 Amada Co Ltd Method and apparatus for controlling an electric discharge machine
JPS6274531A (ja) * 1985-09-27 1987-04-06 Naotake Mori ワイヤカツト放電加工におけるワイヤ電極断線予知方法
DE3622520A1 (de) * 1986-07-04 1988-01-07 Deckel Ag Friedrich Verfahren und einrichtung zur ueberwachung eines funkenerodier-prozesses in einer funkenerodiermaschine
JPS63156618A (ja) * 1986-12-22 1988-06-29 Hoden Seimitsu Kako Kenkyusho Ltd 放電加工装置
JP2565906B2 (ja) * 1987-06-30 1996-12-18 株式会社東芝 放電加工装置
JP2564389B2 (ja) * 1989-02-08 1996-12-18 株式会社牧野フライス製作所 放電加工方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE69322290T2 (de) 1999-05-20
DE69322290D1 (de) 1999-01-07
EP0551091B1 (de) 1996-10-09
DE69305187D1 (de) 1996-11-14
DE69328443T2 (de) 2000-09-14
EP0551091A1 (de) 1993-07-14
DE69328443D1 (de) 2000-05-25
US5496984A (en) 1996-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69305187T2 (de) Entladungsdetektor
DE112006004048B4 (de) Energieversorgungs-Steuervorrichtung für eine Bearbeitungsvorrichtung mit elektrischer Entladung
DE2755772C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Steuern der Werkstückbearbeitung mittels Elektroerosion
DE112006004049B4 (de) Leistungsversorgungssteuereinheit für eine Funkenerosionsbearbeitungsvorrichtung
DE3023400C2 (de)
DE19529186C2 (de) Detektorvorrichtung für die Beurteilung des Erosionszustands bei einer Funkenerosionsmaschine
DE4422967A1 (de) Funkenerodiermaschine
DE112022000383T5 (de) Lichtbogen-Erkennungsvorrichtung mit einer Funktion zur Unterscheidung eines Mehrfachfrequenzbandes
EP0252239B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Überwachung eines Funkenerodier-Prozesses in einer Funkenerodiermaschine
DE3528535C2 (de)
DE112008003709B4 (de) Energiequellen-Steuereinheit einer elektrischen Entladungsvorrichtung
DE3044815A1 (de) Verfahren zum funkenerosionsbearbeiten und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
EP2750256B1 (de) Verfahren zur erkennung von störlichtbögen und schutzschalter
EP0433316B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur überwachung der spanabhebenden bearbeitung eines werkstückes
DE1766723C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln von Nadellöchern und blanken Teilstücken in der Isolierung eines elektrischen Leiters
DE69211783T2 (de) Stromversorgung für elektrische Entladungsmachine
DE1926885C3 (de) Schaltungsanordung zur Feststellung anormaler Betriebszustände bei Funkenerosionsmaschinen
DE4243922A1 (en) Spark erosion machine - has control unit for semiconducting switches between series of capacitors discharged sequentially across electrode to earthed workpiece
DE4441055C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung von Funkenerosionsprozessen
CH693088A5 (de) Funkenerosionsmaschine.
DE3300552C2 (de)
EP2397250B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur funkenerosiven Bearbeitung eines Werkstücks
DE19708023B4 (de) Elektrodenzuführvorrichtung und Verfahren für eine elektro-erosive Bearbeitung
EP1652609B1 (de) Verfahren zum Senken von Werkstücken
DE2929454A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum elektroerosiven bearbeiten

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
R071 Expiry of right

Ref document number: 551091

Country of ref document: EP