DE69211783T2

DE69211783T2 - Stromversorgung für elektrische Entladungsmachine

Info

Publication number: DE69211783T2
Application number: DE69211783T
Authority: DE
Inventors: Atsushi Taneda
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1991-07-26
Filing date: 1992-07-24
Publication date: 1996-11-28
Anticipated expiration: 2012-07-25
Also published as: US5378866A; KR930002029A; JPH0531625A; EP0525682A2; EP0525682A3; KR950007696B1; JP2682276B2; EP0525682B1; DE69211783D1

Description

1.Gebiet der Erfindung

Ein elektronisches Entladungsbearbeitungssystem ist im Stand der Technik bekannt, welches ein Material, z.B. ein leitfähiges Metall, dadurch schmelzverarbeitet, daß die Hochtemperatur-Energie, welche zum Zeitpunkt einer elektrischen Entladung erzeugt wird, ausgenutzt wird. In diesem elektronischen Entladungsbearbeitungssystem werden Bearbeitungsbedingungen zur Definierung der Bearbeitungsenergie gewöhnlich in Übereinstimmung mit einem auszuführenden Bearbeitungsvorgang eingestellt.
Während diese Bearbeitungbedingungen vor der Bearbeitung eingestellt werden, werden einige automatisch verändert und gesteuert, in Übereinstimmung mit einem Bearbeitungsstatus während der Bearbeitung.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Energieversorgung für ein elektronisches Entladungsbearbeitungssystem, welches die Erfassung eines für die automatische Steuerung von Bearbeitungsbedingungen erforderlichen Bearbeitungsstatus erlaubt.

2. Beschreibung des Standes der Technik

In einem elektronischen Entladungsbearbeitungssystem existiert ein zwischen einer Elektrode und einem Werkstück gebildeter Bearbeitungsspalt, wobei die Elektrode und das Werkstück aus leitfähigen Materialien bestehen, gewöhnlich innerhalb einer dielektrischen Flüssigkeit, welche ein isolierendes Material umfaßt, wie Öl. Eine Energieversorgung wird zwischen der Elektrode und dem Werkstück angeschlossen zur Erzeugung einer elektrischen Entladung über den Spalt. Im allgemeinen verwendet diese Energieversorgung für das elektronische Entladungsbearbeitungssystem Gleichstrom. Ein Kondensator und ein Schaltelement, welche für das wiederholte Laden und Entladen verwendet werden, werden zwischen der Energieversorgung und dem Bearbeitungsspalt eingefügt, um eine pulsförmige Spannung und einen pulsförmigen Strom zuzuführen.
Figur 7 zeigt ein Beispiel einer Energieversorgungsschaltung, welche im Stand der Technik bekannt ist für die Verwendung mit einem elektronischen Entladungsbearbeitungssystem. Die Figuren 8a und 8b veranschaulichen die Signalformen einer Spannung und eines Stromes, welche den Bearbeitungsspalt zugeführt werden.
Dem von einer Elektrode 1 und einem Werkstück 2 zur Definierung einer bearbeiteten Form gebildeten Bearbeitungsspalt wird elektrische Bearbeitungsenergie durch eine Gleichstromversorgung 3 zugeführt. Ein Stromspitzenwert 25 (im folgenden als "Ip 25" bezeichnet), welcher die Größe dieser elektrischen Energie darstellt, wird durch einen Bearbeitungsstrom-Steuerwiderstand 5 in Übereinstimmung mit der Bearbeitungsgeschwindigkeit und der für das Werkstück erforderlichen Oberfläche gesteuert. Der Bearbeitungsstrom wird gewöhnlich als Puls zugeführt, dessen Zeitdauer durch ein Schaltelement 4 gesteuert wird. Das Schaltelement 4 wird von einem Steuerelement 13 gesteuert, welches ein Steuersignal auf der Grundlage einer voreingestellten Entladungspuls-Erzeugungzeit (im folgenden als "Ton 23" bezeichnet) und einer Stopp- oder Abschaltzeit (im folgenden als Toff 24 bezeichnet).
Ein nicht abgebildeter Elektrodenzuführer ist im allgemeinen vorgesehen, welcher den Bearbeitungsspaltabstand während des Vorgangs der Werkstückbearbeitung durch Zuführen der Elektrode konstant hält, wodurch die Entladung aufrecht erhalten wird. Ferner, wenn die Entladung durch einen Kurzschluß am Bearbeitungsspalt gestört wird, verursacht durch während der Bearbeitung erzeugten Schlamm oder dergleichen, stellt der Elektrodenzuführer die Isolierung wieder her durch Anhebung der Elektrode zur Erhöhung der Bearbeitungsspaltlänge.
Für die elektronische Entladungsbearbeitung ist die oben erwähnte elektrische Schaltung allgemein ausgelegt, und Parameter wie IP 25, Ton 23 und Toff 24 können als Bearbeitungsbedingungen zurückgesetzt werden, gemäß dem auszuführenden Bearbeitungsvorgang.
Beeinflußt durch die Bearbeitungsform, Bearbeitungstiefe, usw., bleibt der elektronische Entladungsbearbeitungsstatus jedoch nicht immer der gleiche wenn die Bearbeitungsbedingungen konstant gehalten werden. Ist beispielsweise die zu bearbeitende Fläche klein und bleiben die Parameter Ip 25, Ton 23, Toff 24, usw. unverändert, dann wird die pro bearbeiteter Flächeneinheit angelegte Entladungsenergie größer und der Bearbeitungsschmutz (Schlamm), welcher im Bearbeitungsspalt auftritt, nimmt zu, was zu einer veränderten Bearbeitungsbedingung führt. Zusätzlich, da die von dem Bearbeitungsspalt ausgestoßene Schlamm-Menge abnimmt, wenn die Bearbeitungstiefe zunimmt, nimmt der bestehende Schlamm zu, was zu einer noch weiter veränderten Bearbeitungsbedingung führt.
Schlimmer noch, wenn die in dem Bearbeitungsspalt existierende Schlamm-Menge einen vorbestimmten Wert bei der elektronischen Entladungsbearbeitung überschreitet, kann eine korrekte Entladung nicht aufrecht erhalten werden, was zu einem zentralisierten oder konzentrierten Entladungszustand (im folgenden als "Lichtbogen" bezeichnet) führt, was die Elektroden 1 und das Werkstück 2 beschädigt.
Bei der elektronischen Entladungsbearbeitung müssen daher die voreingestellten Bearbeitungsbedingungen in Übereinstimmung mit einer augenblicklich erfaßten Bearbeitungsbedingung verändert und gesteuert werden können. Im Ergebnis werden die wesentlichen Parameter Ip 25 und Toff 24, welche die Steuerung des Bearbeitungsspaltstatus erlauben, oft automatisch eingestellt und gesteuert.
Um diese automatische Steuerung zu ermöglichen, muß der Status des Bearbeitungsspalts erfaßt und korrekt identifiziert werden. Unter den Prozessen zur Bearbeitungsspalterfassung gibt es die Messung des Grades der Isolationsabnahme im Bearbeitungsspalt, d.h. die Messung eines Widerstandswertes oder Impedanzwertes im Bearbeitungsspalt. Figur 9 zeigt eine der bekannten Verfahren zur Erfassung einer Verminderung der Bearbeitungsspaltimpedanz unter Verwendung einer Spannungssignalform im Bearbeitungsspalt.
Während einer "nichtlastzeit" 38, welche sich von dem ersten Anlegen einer Spannung an den Bearbeitungsspalt bis zum Beginn der Entladung erstreckt, wird die Ausgabespannung der Bearbeitungsenergieversorgung (3 in Figur 7) an den Bearbeitungsspalt ausgegeben. Wenn sich mehr leitfähiger Schlamm während des Bearbeitungsvorganges im Bearbeitungsspalt ansammelt, wird die Vorentladungs- Bearbeitungsspaltspannung bei Nichtlast abnehmen. Wenn die Nichtlastspannung unter einen vorbestimmten Erfassungswert 39 fällt, wird bestimmt, daß der Bearbeitungsspaltstatus anormal ist, und die Bearbeitungsbedingungen, wie Toff 24 werden verändert.
Unter Verwendung dieses Vorgangs ist es jedoch oft schwer zu unterscheiden zwischen einer Spannungsabnahme welche vor einem Entladungsbeginn auftritt und einer Spannungsabnahme, welche durch den Entladungsbeginn verursacht wird. Dies liegt daran, daß der Übergang von einer Nichtlastspannung, aufgrund des Entladungsbeginns, auf die Entladungsspannung 48 nicht immer so abrupt ist bei Entladungen, welche auftreten bevor der Bearbeitungspaltstatus anormal wird. Die Spannungsverminderung aufgrund des Entladungsbeginns kann nämlich manchmal als ein anormaler Bearbeitungsspaltstatus beurteilt werden. Um diesen Fehlbetrieb zu verhindern, kann die Beurteilung erleichtert werden durch Erhöhung der Spannung der Energieversorgung 3 und dem signifikanten Erhöhen der Spannung 38, welche über dem Spalt angelegt ist. Da die angelegte Spannung jedoch eine der Bearbeitungsbedingungen ist, verändert die Variation der angelegten Spannung selbst den Bearbeitungsstatus. Es ist daher nicht möglich, die angelegte Spannung allein zu variieren.
Figur 10 zeigt einen zweiten Prozeß zur Erfassung der Bearbeitungsspaltimpedanz.
Bei diesem Prozeß wird eine Spannung 41, welche niedriger ist als eine Lichtbogenspannung 48 eingeprägt, zur Verhinderung des Auftretens einer Entladung während Toff 24 wenn die Entladungsspannung nicht angelegt ist. Der Bearbeitungsstatus wird als anormal beurteilt, wenn die Spannung 41 unter einen vorbestimmten Erfassungspegel 42 fällt. Da die Erfassung während einer Zeitspanne gemacht wird, welche von der Entladung unabhängig ist, erlaubt dieser Prozeß eine genauer Erfassung mit weniger Fehlerfassungen.
Wird jedoch die Stopp-Zeit auf eine extrem kurze Zeit (einige Mikrosekunden) vermindert, z.B. unter Endbearbeitungbedingungen, erscheint die reflektive Signalform der Schaltung relativ größer und das nächste Spannungsanlegen wird eingeleitet, ohne daß ein stationärer Zustand erreicht wird. Dies führt zu extremen Schwierigkeiten bei der Erfassung der Spannung während eines Stopps. Ein Beispiel in Figur 11 zeigt, daß die Spannung während des Stopps sich so verändert, daß sie über einen Anormalstatus- Erfassungspegel 46 steigt und unter diesen Pegel fällt. In solch einem Fall wird ein anormaler Statusfehl erfaßt. Ferner vermindert ein Spannungsanlegen während der Stoppzeit einen Deionisationseffekt im Bearbeitungsspalt und führt zu einer Isolationsverminderung, was zu einer nicht erhöhten Bearbeitungsgeschwindigkeit führt.
Wie oben beschrieben, wird die Energieversorgung für das elektronische Entladungsbearbeitungssystem zur Variation der Bearbeitungsbedingungen, wie die Ip und Toff, durch Erfassen eines Lichtbogens oder eines anormalen Status gesteuert. Der Ursprung einer solchen Steuerung, d.h. die Leistungsfähigkeit der Bearbeitungsspaltimpedanz Erfassung war nicht immer befriedigend hinsichtlich ihrer Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Daher kann der Lichtbogenstatus nicht zuverlässig vermieden werden und die maximale Bearbeitungsgeschwindigkeit kann nicht leicht geschaffen werden.
CH-A-673 609 zeigt eine Maschine mit zwei Energieversorgungen und einer Vorrichtung zur Steuerung der Impedanz von einer von ihnen, um abhängig von den Bearbeitungsbedingungen einen gewünschten Strom zu liefern.
Jp-A-60 27 008 zeigt eine Maschine mit zwei Energieversorgungen, welche beide durch variable Widerstände verbunden sind, um eine Variation der Impedanz zu ermöglichen.
DE-A-4 029 578 zeigt eine Maschine mit zwei Energieversorgungen des variablen Spannungstyps.

Zusammenfassung der Erfindung

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Energieversorgung für ein elektronisches Entladungsbearbeitungssystem zu schaffen, welche die obigen Probleme des Stands der Technik vermeidet, und welche eine einfache und zuverlässige Erfassung anormaler Bearbeitungsbedingungen oder anormaler Spaltbedingungen ermöglicht, um so eine stabilere Steuerung eines elektronischen Entladungsbearbeitungsystems während des Betriebes zu erlauben.
Gemäß dieser Erfindung wird eine Energieversorgung geschaffen, wie in Anspruch 1 dargelegt. Ein weitere Aspekt der Erfindung ist in Anspruch 2 dargelegt.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Figur 1 ist ein Schaltbild gemäß einer Ausführung der vorliegenden Erfindung.
Figuren 2A-2D sind Betriebs-Zeitablaufdiagramme einer Energieversorgung gemäß der vorliegenden Erfindung.
Figuren 3A-3C sind Ablaufzeitdiagramme, welche den Vorgang der Erfassung der Bearbeitungspaltimpedanz veranschaulichen, wenn eine erfassende Energieversorgung für bestimmte Bearbeitungsbedingungen auf eine gegebene Ausgangsimpedanz eingestellt ist.
Figuren 4A-4C sind Zeitablaufdiagramme, welche den Vorgang der Erfassung der Bearbeitungsspaltimpedanz veranschaulichen, wenn die Ausgangsimpedanz der erfassenden Energieversorgung für einen gegebenen Schwellwert verändert und gesteuert wird.
Figuren 5AA-5C und 6A-6C zeigen Betriebs- Zeitablaufdiagramme gemäß einer zweiten Ausführung, bei welcher die Ausgangsspannung einer Sekundärenergieversorgung variiert wird.
Figur 7 ist ein Schaltbild einer Energieversorgung gemäß des Standes der Technik.
Figuren 8A und 8B zeigen eine Bearbeitungsspalt- Spannungssignalform und- Stromsignalform während der Bearbeitung.
Figur 9 ist ein Bearbeitungsspalt-Spannungssignal vom Diagramm, welches ein Beispiel einer Bearbeitungsspalt-Impedanzverminderung veranschaulicht, welche von einer Nichtlast- Spannungssignalform im System des Standes der Technik erfaßt wird.
Figur 10 ist ein Bearbeitungsspalt-Spannungssignal vom Diagramm, welches ein Beispiel der Bearbeitungsspaltimpedanz veranschaulicht, welche durch das Anlegen einer Spannung während einer Stopp-Zeit in dem System des Standes der Technik erfaßt wird.
Figur 11 ist ein Bearbeitungsspalt-Spannungssignal vom Diagramm, welches die verkürzte Stopp-Zeit unter den Endbearbeitungsbedingungen im System des Standes der Technik zeigt.

Beschreibung der bevorzugten Ausführungen

Eine Schaltung gemäß einer Ausführung der vorliegenden Erfindung ist in Figur 1 veranschaulicht, und ihr Betrieb wird in Figuren 2A-2D gezeigt.
Das in Figur 1 gezeigte System beinhaltet eine zweite Energieversorgung, zusätzlich zu einer ersten Bearbeitungsenergieversorgungsschaltung, welche eine Elektrode 1, ein Werkstück 2, eine Gleichstromversorgung 3, ein Schaltelement 4 und einen Strombegrenzungswiderstand 5 umfaßt. Die zweite Energieversorgungsschaltung umfaßt eine Gleichstromenergiequelle 7 zur Bearbeitungsspaltstatus- Erfassung, ein Schaltelement 11 und eine Steuerschaltung 17 zur Einstellung und Steuerung der obigen Komponenten in Übereinstimmung mit Bearbeitungsbedingungen und den Ergebnissen einer Erfassung des Bearbeitungspaltstatus.
Zur Verhinderung einer Störung zwischen den zwei Energieversorgungsschaltungen, sind Gleichrichter 6 und 12 in den einzelnen Schaltungen vorgesehen. Die Ziffer 8 bezeichnet die Spannungsquelle der Erfassungsenergieversorgung 7, und 9 bezeichnet deren Ausgangsimpedanz. Eine Steuerschaltung 13 arbeitet zur Steuerung des Schaltelements 4 und des Strombegrenzungswiderstandes 5 in Übereinstimmung mit Bearbeitungsbedingungen.
Der Betrieb der ersten Ausführung wird nun unter Bezugnahme auf die Figuren 2A-2D beschrieben.
In Figur 28 bezeichnet die Signalform 31 den Betriebszeitablauf des Schaltelementes 11, welches die Erfassungsenergieversorgung 7 leitfähig macht. In Figur 2C ist die Signalform 32 jene des Schaltelementes 4, welche die Bearbeitungsenergiequelle 3 dazu bringt, leitfähig zu sein. Die Ausgabeimpedanz 9 der Erfassungsenergieversorgung 7 wird vorher auf eine Wert eingestellt, welcher geringfügig höher ist als der Widerstand des Strombegrenzungswiderstandes 5 in der Bearbeitungsenergieversorgung 3, und die Spannung der Versorgung 8 wird auf einen Wert eingestellt, welcher höher ist als die Spannung der Bearbeitungsenergieversorgung 3, vorzugsweise um mehr als 20 Volt.
Wie in Figur 2A gezeigt, wird eine Spannung von den beiden Energieversorgungen an den Bearbeitungsspalt angelegt. Man nehme an, daß der Bearbeitungsspalt weit entfernt ist vom Lichtbogenstatus und daß sich darin eine kleine Menge Schlamm befindet. Da der Isolationszustand hoch ist und die Impedanz im Bearbeitungsspalt extrem hoch ist, führt der von der Erfassungsenergieversorgung 7 zugeführte Strom hoher Ausgangsimpedanz dazu, daß die Bearbeitungsspaltspannung als eine Spannung 27 erfaßt wird, welche höher ist als eine Spannung 28, die von der Bearbeitungsenergieversorgung 3 bereitgestellt wird und in der Nähe der Erfassungsenergieversorgungs-Spannung 8 ist.
Wenn der leitfähige Schlamm zunimmt und die Impedanz im Bearbeitungsspalt während des Bearbeitungsprozesses abnimmt, dann fällt die Bearbeitungsspaltspannung, da ein ausreichender Strom von der Erfassungsenergieversorgung 7, welche auf eine hohe Ausgangsimpedanz eingestellt wurde, nicht geliefert wird. Wenn die Bearbeitungsspaltspannung unter einen vorbestimmten Erfassungspegel 30 gefallen ist, wie durch 29 angedeutet, wird beurteilt, daß der Bearbeitungsspaltstatus anormal ist und ein Erfassungssignal 34 (Figur 2D) wird ausgegeben. Ein Lichtbogenstatus kann vermieden werden durch Veränderung der Bearbeitungsbedingungen, wie Toff, entsprechend der Bearbeitungsspaltspannung.
Bei den konventionellen Techniken wurde beschrieben, daß die Bearbeitungsbedingungen sich durch Veränderung der während der Nichtlastzeit (26 in Figur 8A) angelegten Spannung verändern. In der ersten Ausführung der vorliegenden Erfindung ist die während der Nichtlastzeit eingeprägte Spahnung höher als die Bearbeitungsspannung, aber die Ausgangsimpedanz wurde eingestellt um relativ ausreichend höher zu sein, um die dem Bearbeitungsspalt zugeführte Energie klein zu machen. Dies erlaubt das Anlegen der Spannung bei beinahe unverändertem Bearbeitungsstatus. Der Erfassungspegel wird nicht nur durch die Bearbeitungsbedingungen verändert, sondern auch durch die Ausgabeimpedanz der Erfassungsenergieversorgung 7. Aus diesem Grund kann die Erfassung bei einem identischen Erfassungspegel 30 durchgeführt werden, durch Einstellen und Verändern der Erfassungsenergieversorgung-Impedanz auf geeignete Weise für eine breite Spanne von Bearbeitungsbedingungen, von den Grob-Bearbeitungsbedingungen zu den Endbearbeitungs-Bedingungen. Daher kann der Erfassungspegel für eine beliebige Bearbeitungsbedingung ohne eine unnötige Veränderung im Bearbeitungsstatus eingestellt werden und bei einer Aufrechterhaltenen hohen Erfassungsgenauigkeit. Im Gegensatz zu den konventionellen Techniken, ist es bei der vorliegenden Ausführung nicht mehr notwendig, die Bearbeitungsspaltimpedanz dadurch zu erfassen, daß das Anlegen einer Spannung während der Stopp-Zeit erzwungen wird.
Die Figuren 3A-3C veranschaulichen den Bearbeitungsspaltimpedanz-Erfassungsvorgang, wenn eine gegebene Ausgangsimpedanz (hier 51) für eine gegebene Bearbeitungsbedingung eingestellt worden ist. Andere Pegel 49-53 können entsprechend den aktuell existierenden Bearbeitungsbedingungen ausgewählt werden.
Auf diese Weise kann der gleiche Grad an Spaltstatusanormalität (55) kontinuierlich bei einem identischen Erfassungspegel 54 erfaßt werden, wobei die Ausgangsimpedanz 9 der Erfassungsenergieversorgung 7 veränderbar und für verschiedene Bearbeitungsbedingungen auf unterschiedliche Pegel 49-53 einstellbar ist. Eine Verminderung in der Ausgangsimpedanz, beispielsweise von Pegel 51 auf Pegel 52, führt dazu, daß eine niedrigere Spaltimpedanz als akzeptabel angesehen wird.
Der anormale Bearbeitungsspaltstatus ist ein Status in welchem die Bearbeitungsspaltimpedanz unter einen vorbestimmten Wert gefallen ist. Sobald der Bearbeitungsspalt anormal geworden ist, wie durch Ziffer 55 in Figur 3C angezeigt, kann eine feinere Steuerung ausgeführt werden, wenn die Bearbeitungsspaltimpedanz während der Bearbeitung momentan erfaßt werden kann, zusätzlich zu der Erfassung zum Anormalstatus-Zeitpunkt.
Die Figuren 4A-4C präsentieren ein Beispiel einer solchen feineren Steuerung, wobei Figur 4A die Ausgangsimpedanz 9 anzeigt, Figur 4B zeigt das Bearbeitungsspaltspannungsmuster und Figur 4C zeigt die Erfassung eines anormalen Status (64) an.
Durch schrittweises Erhöhen der Erfassungsenergieversorgungsimpedanz, jedesmal dann, wenn die Bearbeitungspaltimpedanz höher ist als ein vorbestimmter Erfassungspegel 37, und der Verminderung der Erfassungsenergieversorgung-Impedanz, jedesmal dann, wenn die Bearbeitungsspaltimpedanz niedriger ist, wird die Erfassungsenergieversorgung-Impedanz innerhalb eines vorbestimmten, normalen Impedanzbereichs (57-58) gehalten während die normale Bearbeitung ausgeführt wird.
Wenn die Bearbeitungsspaltimpedanz beim Bearbeitungsprozeß allmählich sinkt, trotz der Erniedrigung der Energieversorgungsimpedanz 9, beginnt die Erfassungsenergieversorgung-Impedanz 9 auch aus dem zuvor erwähnten Bereich hinauszufallen und fällt schließlich auf einen Schwellen-Anormalpegel 59. Dies tritt zum gleichen Zeitpunkt auf wie die Veränderung 55 in Figur 3C. Auf der Grundlage dieses Zeitpunktes kann eine Lichtbogenverhinderungs-Steuerung durchgeführt werden.
Verglichen mit der Steuerung im Stand der Technik, bei welcher der Verhinderungsbetrieb durch Erfassung eines anormalen Status durchgeführt wird, auf der Grundlage von Versuch und Fehler (trial and error), erlaubt das in den Figuren 4A-4C gezeigte Beispiel eine schnellere und genaue Steuerung, d.h. eine effizientere und schnellere Bearbeitung, da es Statusveränderungen als aufeinanderfolgende Werte erfaßt, und daher einen Steuerprozeß für ein kontinuierliches System anwenden kann.
Während die Impedanz des Bearbeitungsspaltes durch Veränderung der Impedanz der Gleichstromenergieversorgung 7 für die Erfassung des Bearbeitungspaltstatus in der obigen Ausführung erfaßt wird, kann ein identischer Effekt auch durch Verändern der Ausgangsspannung der Bearbeitungsspaltstatuserfassungs- Gleichstromenergieversorgung 7 erreicht werden, ohne der direkten Veränderung der Impedanz 9 der Bearbeitungsspaltstatuserfassungs- Gieichstromenergieversorgung 7.
Die Figuren 5A-5c und Figuren 6A-6C zeigen eine Ausführung, in welcher die Ausgangsspannung der Bearbeitungsspaltstatuserfassungs- Gleichstromenergieversorgung 7 verändert wird.
Unter Bezugnahme auf die Figuren 5A-5C wird die Ausgangsspannung der Bearbeitungsspaltstatuserfassungs- Gleichstromenergieversorgung 7 auf eine eingestellten Wert 68 eingestellt, gemäß den gegenwärtigen Bearbeitungsbedingungen. Durch Verändern der Einstellung der Ausgangsspannung der Bearbeitungsspaltstatuserfassungs- Gleichstromenergieversorgung 7, beispielsweise unter Verwendung der eingestellten Werte 66-70, kann der dem Bearbeitungsspalt zugeführte Strom variiert werden, wobei ein Erfassungspegel auf die gleiche Weise verändert werden kann, wie bei der Veränderung der Ausgangsimpedanz.
Die Figuren 6A-6C veranschaulichen eine Ausführung, bei welcher die Ausgangsspannung der Bearbeitungsspaltstatuserfassungs- Gleichstromenergieversorgung 7 gegenüber einem spezifischen Schwellwert verändert wird. Die Ausgangsspannung der Bearbeitungsspaltstatuserfassungs- Gleichstromenergieversorgung 7 wird schrittweise erniedrigt jedesmal, daß die Bearbeitungsspaltspannung 21 höher als ein Schwellwert 81 ist, und wird schrittweise erhöht, wenn sie niedriger ist, wodurch die Ausgangsspannung der Bearbeitungsspaltstatuserfassungs- Gleichstromenergieversorgung 7 einigermaßen stabil gehalten wird zwischen den Pegeln 77, 78 wenn die Spaltspannung in der Nähe des Schwellwertes 81 ist und fluktuiert. Sobald die Spaltspannung unter dem Schwellwert für eine vorbestimmte Anzahl von Perioden bleibt, läuft jedoch die Spannung der Energieversorgung 7 durch eine Schwellwert 76, was zur Erzeugung des Anormalstatussignals 83 (Figur 6C) führt. Folglich, durch Anlegen und Variieren der Ausgangsspannung der Bearbeitungsspaltstatuserfassungs- Gleichstromenergieversorgung 7, kann der Bearbeitungsspaltstatus erfaßt werden, ohne Verändern des Bearbeitungsstatus.
Es ist offensichtlich, daß die vorliegende Erfindung, wie sie oben beschrieben wurde, eine genaue Erfassung eines Bearbeitungsspaltstatus erlaubt, die zuverlässige Vermeidung eines Lichtbogens erlaubt, und die Schaffung einer maximalen Bearbeitungsgeschwindigkeit erlaubt.

Claims

1. Energieversorgung für ein elektronisches Entladungsbearbeitungssystem, umfassend:

eine erste Energieversorgung (3) zur Zuführung von Bearbeitungsenergie an einen Bearbeitungsspalt, eine zweite Energieversorgung (7), welche sich von der ersten Energieversorgung unterscheidet, zur Zuführung von Bearbeitungsenergie an den Bearbeitungsspalt, und eine Vorrichtung zur Veränderung einer Ausgangsimpedanz der zweiten Energieversorgung gemäß der Bearbeitungsbedingungen, und

eine Erfassungsvorrichtung (17) zum Vergleichen einer Spannung über dem Bearbeitungsspalt mit einem eingestellten Wert, welcher gemäß der Bearbeitungsbedingungen definiert ist, und zur Bestimmung ob die Bearbeitungsspaltspannung größer oder kleiner als der eingestellte Wert ist, gekennzeichnet durch:

eine Steuervorrichtung (9,17) zur Erfassung der Bearbeitungsspaltspannung, welche durch die zweite Energieversorgung angelegt wird, zur Verminderung der Ausgangsimpedanz der zweiten Energieversorgung wenn die Bearbeitungsspaltspannung unter einen vorbestimmten Wert fällt, und zur Erfassung der Bearbeitungsspaltspannung welche durch die zweite Energieversorgung angelegt wird, und Erhöhen der Ausgangsimpendanz der zweiten Energieversorgung, wenn die Bearbeitungsspaltspannung über eine vorbestimmten Wert steigt.

2. Energieversorgung für ein elektronisches Entladungsbearbeitungssystem, umfassend:

eine erste Energieversorgung (3) zur Zuführung von Bearbeitungsenergie, eine zweite Energieversorgung (7), welche eine höhere Ausgangsspannung hat als die erste Energieversorgung und eine Ausgangsimpedanz, welche höher ist als jene der ersten Energieversorgung, und eine Vorrichtung zur Veränderung der Ausgangsspannung der zweiten Energieversorgung entsprechend der Bearbeitungsbedingungen, und

eine Erfassungsvorrichtung zum Vergleichen einer an einem Bearbeitungsspalt angelegten Bearbeitungsspaltspannung mit einem eingestellten Wert, welcher gemäß der Bearbeitungsbedingungen definiert ist, und zum Bestimmen, ob die Berabeitungsspaltspannung höher oder niedriger ist als der eingestellte Wert, gekennzeichnet durch:

eine Steuervorrichtung (17) zur Erfassung einer Bearbeitungsspaltspannung, zur Erhöhung der Ausgangsspannung der zweiten Energieversorgung, wenn die Bearbeitungsspaltspannung unter einen vorbestimmten Wert fällt, und zur Erfassung einer Bearbeitungspaltspannung und Vermindern der Ausgangsspannung der zweiten Energieversorgung, wenn die Bearbeitungsspaltspannung über einen vorbestimmten Wert steigt.

3. Verfahren zur Verwendung der Energieversorgung aus Anspruch 1, umfassend die Schritte

Vergleichen einer Spannung, welche über den Bearbeitungsspalt anliegt, mit einem eingestellten Wert, welcher entsprechend der Bearbeitungsbedingungen definiert ist, und Bestimmen, ob die Bearbeitungsspaltspannung größer oder kleiner als der eingestellte Wert ist,

Erfassen der durch die zweite Energieversorgung angelegten Bearbeitungsspaltspannung,

Vermindern der Ausgangsimpedanz der zweiten Energieversorgung wenn die Bearbeitungsspaltspannung unter einen vorbestimmten Wert fällt, und

Erhöhen der Ausgangsimpedanz der zweiten Energieversorgung, wenn die Bearbeitungsspaltspannung über einen vorbestimmten Wert steigt.

4. Verfahren zur Verwendung der in Anspruch 2 beschriebenen Energieversorgung, umfassend die Schritte

Vergleichen einer an einen Bearbeitungsspalt angelegten Bearbeitungspaltspannung mit einem eingestellten Wert, welcher entsprechend der Bearbeitungsbedingungen definiert ist, und Bestimmen ob die Bearbeitungsspaltspannung größer oder kleiner ist als der eingestellte Wert,

Erfassen einer Bearbeitungsspaltspannung, Erhöhen der Ausgangsspannung der zweiten Energieversorgung, wenn die Bearbeitungsspaltspannung unter einen vorbestimmten Wert fällt, und

Vermindern der Ausgangsspannung der zweiten Energieversorgung, wenn die Bearbeitungsspaltspannung über einen vorbestimmten Wert steigt.