DE69129746T2 - Modifiziertes Polysilazan und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Modifiziertes Polysilazan und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
- Publication number
- DE69129746T2 DE69129746T2 DE69129746T DE69129746T DE69129746T2 DE 69129746 T2 DE69129746 T2 DE 69129746T2 DE 69129746 T DE69129746 T DE 69129746T DE 69129746 T DE69129746 T DE 69129746T DE 69129746 T2 DE69129746 T2 DE 69129746T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mixture
- molecular weight
- nitrogen
- reaction
- polysilazane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 title claims description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 69
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 27
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 9
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 196
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 155
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 136
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 102
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 98
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 68
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 51
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 49
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 49
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 32
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 32
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 32
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 32
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 32
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 32
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 17
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 17
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 16
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 16
- 229940078552 o-xylene Drugs 0.000 description 16
- 238000011085 pressure filtration Methods 0.000 description 16
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 10
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 10
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000009102 absorption Effects 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 8
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N caprylic alcohol Natural products CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BBMCTIGTTCKYKF-UHFFFAOYSA-N 1-heptanol Chemical compound CCCCCCCO BBMCTIGTTCKYKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGJOPFRUJISHPQ-UHFFFAOYSA-N Carbon disulfide Chemical compound S=C=S QGJOPFRUJISHPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N N-Pentanol Chemical compound CCCCCO AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WQAQPCDUOCURKW-UHFFFAOYSA-N butanethiol Chemical compound CCCCS WQAQPCDUOCURKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 3
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 2-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CC=N1 BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N Furan Chemical compound C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N Methanethiol Chemical compound SC LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910008072 Si-N-Si Inorganic materials 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 2
- 238000005915 ammonolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 125000002485 formyl group Chemical class [H]C(*)=O 0.000 description 2
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Natural products C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N n-Octanol Natural products CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 2
- YWWDBCBWQNCYNR-UHFFFAOYSA-N trimethylphosphine Chemical compound CP(C)C YWWDBCBWQNCYNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSLTVFIVJMCNBH-UHFFFAOYSA-N 2-isocyanatopropane Chemical compound CC(C)N=C=O GSLTVFIVJMCNBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002879 Lewis base Substances 0.000 description 1
- GJWAPAVRQYYSTK-UHFFFAOYSA-N [(dimethyl-$l^{3}-silanyl)amino]-dimethylsilicon Chemical compound C[Si](C)N[Si](C)C GJWAPAVRQYYSTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APDDLLVYBXGBRF-UHFFFAOYSA-N [diethyl-(triethylsilylamino)silyl]ethane Chemical compound CC[Si](CC)(CC)N[Si](CC)(CC)CC APDDLLVYBXGBRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 150000001718 carbodiimides Chemical class 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- HZHUAESPXGNNFV-UHFFFAOYSA-N diethyl(methyl)phosphane Chemical compound CCP(C)CC HZHUAESPXGNNFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWMKZYCJCZVSHO-UHFFFAOYSA-N ethenethione Chemical compound C=C=S CWMKZYCJCZVSHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CCGKOQOJPYTBIH-UHFFFAOYSA-N ethenone Chemical compound C=C=O CCGKOQOJPYTBIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 1
- WFKAJVHLWXSISD-UHFFFAOYSA-N isobutyramide Chemical compound CC(C)C(N)=O WFKAJVHLWXSISD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002540 isothiocyanates Chemical class 0.000 description 1
- 150000007527 lewis bases Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 150000007530 organic bases Chemical class 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003141 primary amines Chemical class 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
- -1 tri-substituted hydrazines Chemical class 0.000 description 1
- RXJKFRMDXUJTEX-UHFFFAOYSA-N triethylphosphine Chemical compound CCP(CC)CC RXJKFRMDXUJTEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAPLIUHOKVUFCC-UHFFFAOYSA-N trimethylsilanol Chemical compound C[Si](C)(C)O AAPLIUHOKVUFCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/60—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
- C08G77/62—Nitrogen atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/589—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Stabilisierung eines Polysilazans durch zur Reaktion Bringen eines anorganischen Polysilazans mit einem Alkohol, einer organischen Säure, einem Ester, einem Keton, einem Aldehyd, einem Isocyanat, einem Amid, einem Mercaptan oder einem Alkylsilazan, und ein Verfahren zu seiner Herstellung.
- Siliciumnitrid und Siliciumnitrid enthaltende Keramiken, die auf dem Weg über ein Polysilazan als ein Vorläufer gebildet wurden, haben eine hervorragende Hochtemperaturfestigkeit, Temperaturwechselbeständigkeit und Oxidationsbeständigkeit und werden daher auf verschiedenen industriellen Gebieten in breitem Umfang als Werkstoffe und funktionelle Materialien verwendet.
- Allgemein ist ein Polysilazan wertvoll als ein Vorläuferpolymer für Siliciumnitrid-Keramiken. Das Polysilazan ist in Lösungsmitteln löslich, besitzt eine hervorragende Formbarkeit und ergibt eine hohe Ausbeute an Keramiken, und außerdem ist es dadurch gekennzeichnet, daß die Reinheit der Keramiken nach dem Brennen hoch ist.
- Verfahren zur Herstellung anorganischer Polysilazane und organischer Polysilazane sind bekannt. Typischerweise kann ein Polysilazan hergestellt werden durch zur Reaktion Bringen eines Halogensilans mit einer Lewis- Base und zur Reaktion Bringen der erhaltenen Komplexverbindung mit Ammoniak (siehe beispielsweise die japanische geprüfte Patentveröffentlichung Nr. 63-16325).
- Ein Polysilazan, insbesondere ein anorganisches Polysilazan, besitzt eine geringe chemische Stabilität, und es tritt leicht eine Erhöhung des Moleku largewichts und ein Gelieren ein, und dementsprechend sind die Handhabungseigenschaften schlecht. Die Stabilität des Polysilazans und seine Molekülstruktur können in einem gewissen Ausmaß durch Verändern der Art des als das Ausgangsmaterial für das Polysilazan verwendeten Halogensilans oder durch Verändern des Mischungsverhältnisses von mindestens zwei Halogensilanen kontrolliert werden, aber diese Kontrolle ist eingeschränkt und schwierig. Dementsprechend ist das Polysilazan insofern mangelhaft, als es schlecht zu handhaben ist, und die Eigenschaften von bei hohen Temperaturen gebrannten Keramiken sind nicht gleichmäßig.
- EP-A-0 304 239 beschreibt ein vernetztes Polysilazan, das erhalten wurde durch zur Reaktion Bringen eines Polysilazans mit einer Verbindung, die ausgewählt ist aus Ammoniak, primären und sekundären Aminen, Hydrazin und mono-, di-, und tri-substituierten Hydrazinen, um das Polysilazan mit der als Vernetzungsmittel dienenden Verbindung zu vernetzen oder die Verbindung an das Polysilazan zu binden.
- EP-A-0 442 013 beschreibt die Herstellung von Polysilazan- Additionspolymeren durch zur Reaktion Bringen von Ammoniak mit einer oder mit mehreren halogenierten organischen Siliciumverbindungen zur Herstellung eines zyklischen Silazan-Ammonolyseprodukts, und zur Reaktion Bringen des Ammonolyseprodukts mit 0,1 Gew.-% bis 30 Gew.-% eines Isocyanats, Isothiocyanats, Ketens, Thioketens, Carbodiimids oder Kohlenstoffdisulfids.
- EP-A-0 430 080 beschreibt die Polykondensation eines anorganischen Polysilazans durch Reaktion in Lösung in einem eine organische Base enthaltenden Lösungsmittel.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das vorstehend angeführte Problem gelöst durch ein Verfahren zur Stabilisierung eines Polysilazans, auf weisend das zur Reaktion Bringen eines anorganischen Polysilazans mit einem Molekulargewicht-Zahlenmittel von etwa 100 bis etwa 100.000 mit mindestens einer Reaktantenverbindung, die ausgewählt ist aus einem Monoalkohol, einer organischen Monosäure, einem Monoester, einem Monoketon, einem Monoaldehyd, einem Monomercaptan und einem Alkylsilazan, das dargestellt wird durch die folgende allgemeine Formel:
- in der mindestens eine der Gruppen R unabhängig
- darstellt, worin die Gruppen R' unabhängig eine Alkylgruppe oder ein Wasserstoffatom darstellen, mit der Maßgabe, daß mindestens eine der Gruppen R' kein Wasserstoffatom ist, und irgendeine verbleibende Gruppe R eine Alkylgruppe darstellt,
- wobei die Reaktion unter milden Reaktionsbedingungen bei einer Temperatur im Bereich von 0ºC bis zu dem Siedepunkt des Lösungsmittels in einer Inertgas-Umgebung durchgeführt wird, wodurch das Silazan-Produkt eine Struktur hat, in der ein Teil des Wasserstoffs an den Enden und an den Seitenketten des anorganischen Polysilazans durch die Reaktantenverbindung substituiert ist.
- Ein anorganisches Polysilazan ist ein Polysilazan, bei dem alle Seitenketten aus Wasserstoffen bestehen und keine organische Gruppe enthalten ist. Das Verfahren zur Herstellung dieses anorganischen Polysilazans ist nicht besonders kritisch. Beispielsweise kann ein anorganisches Polysilazan verwendet werden, das gemäß dem in der vorstehend erwähnten, geprüften japanischen Patentveröffentlichung Nr. 63-16325 offenbarten Verfahren hergestellt wurde. Das Molekulargewicht ist nicht besonders kritisch, und das Molekulargewicht kann innerhalb eines Bereiches von etwa 100 bis etwa 100.000 sein. Ein anorganisches Polysilazan mit einem höheren Molekulargewicht bildet leicht ein Gel und ist schlecht zu handhaben. Dementsprechend kann dieses anorganische Polysilazan gemäß der vorliegenden Erfindung effektiv behandelt werden.
- Als der andere Reaktant, der mit dem anorganischen Polysilazan zur Reaktion gebracht werden soll, kann ein Alkohol, eine organische Säure, ein Ester, ein Keton, ein Aldehyd, ein Isocyanat, ein Amid, ein Mercaptan und ein wie vorstehend definiertes Alkylsilazan angeführt werden.
- Die vorstehenden Reaktanten wie Alkohol können dargestellt werden durch die allgemeinen Formeln: R-OH, R-COOH, R-COOR', R-CO-R', R-CHO, RNCO, RCONH&sub2;, RSH, in denen R und R' bevorzugt Kohlenwasserstoffgruppen mit 1 bis 10 Kohlenstoffatomen sind. Das Alkylsilazan wird durch die vorher angegebene Formel dargestellt.
- Beispiele für den bevorzugten Alkohol sind CH&sub3;OH (Methanol), C&sub2;H&sub5;OH (Ethanol), n-C&sub3;H&sub7;OH (n-Propanol), n-C&sub4;H&sub9;OH (n-Butanol), n-C&sub5;H&sub1;&sub1;OH (n- Pentanol), n-C&sub6;H&sub1;&sub3;OH (n-Hexanol), n-C&sub7;H&sub1;&sub5;OH (n-Heptanol) und n- C&sub8;H&sub1;&sub7;OH (n-Octanol).
- Das Reaktions-Molverhältnis zwischen dem anorganischen Polysilazan und dem Reaktanten wie einem Alkohol hängt von der Art des anorganischen Ausgangs-Polysilazans und den gewünschten Eigenschaften des modifizierten Polysilazans ab, aber bevorzugt beträgt dieses Molverhältnis von 50/50 bis 99, 99/0,01, besonders bevorzugt von 80/20 bis 98/2. Wenn der Anteil des Reaktanten wie einem Alkohol zu groß ist, gehen die bevorzugten Eigenschaften des Polysilazans verloren und es wird beispielsweise die Ausbeute an Keramiken verringert.
- Bevorzugt wird das anorganische Polysilazan mit dem Reaktanten wie einem Alkohol in einem basischen Lösungsmittel zur Reaktion gebracht, aber die vorliegende Erfindung ist nicht auf dieses Merkmal beschränkt. Als das basische Lösungsmittel werden bevorzugt Pyridin, Picolin, Trimethylphosphin, Methyldiethylphosphin, Triethylphosphin, Thiophen, Furan und Dioxan verwendet. Pyridin und Picolin sind im Hinblick auf die Handhabungseigenschaften und unter ökonomischen Gesichtspunkten besonders zu bevorzugen. Die Reaktionstemperatur beträgt von 0º bis zum Siedepunkt des Lösungsmittels, und als die Reaktionsatmosphäre wird ein Inertgas wie Stickstoff oder Argon verwendet. Ein Reaktant wie ein Alkohol wird zu einer Lösung des anorganischen Polysilazans in dem basischen Lösungsmittel zugegeben, während trockener Stickstoff in die Lösung geblasen wird, und nach Beendigung der Reaktion wird das basische Lösungsmittel durch ein nicht-reaktives Lösungsmittel, das in der Lage ist, das Polysilazan darin zu lösen, ersetzt. Als das nicht-reaktive Lösungsmittel können Toluol und Xylol verwendet werden.
- Das auf diese Weise hergestellte modifizierte Polysilazan hat eine Struktur, in der ein Teil der Wasserstoffe an den Enden und an den Seitenketten des anorganischen Polysilazans durch -OR, etc. substituiert ist. Durch diese Einführung des -OR, etc. wird das anorganische Polysilazan stabilisiert und seine Handhabbarkeit verbessert.
- Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren wird das Polysilazan modifiziert, und daher kann die Molekularstruktur leicht kontrolliert werden. Weil das gebildete modifizierte Polysilazan im Vergleich mit dem unmodifizierten anorganischen Polysilazan eine verbesserte chemische Stabilität besitzt, hat das modifizierte Polysilazan die Eigenschaft einer hervorragenden Handhabbarkeit. Darüber hinaus wird eine Uneinheitlichkeit der Eigenschaften von durch Brennen erhaltenen Keramiken verringert. Darüber hinaus kann, da die Molekularstruktur des Polysilazans kontrolliert werden kann, auch die Reinheit und Hitzefestigkeit von durch Brennen erhaltenen Keramiken kontrolliert werden.
- In den Zeichnungen:
- Fig. 1 veranschaulicht eine Vorrichtung zur Synthese eine Polysilazans, wie sie in den Beispielen der vorliegenden Erfindung verwendet wird;
- Fig. 2 ist ein IR-Diagramm des Polysilazans von Beispiel 11; und
- Fig. 3 ist ein IR-Diagramm des modifizierten Polysilazans von Beispiel 11.
- Die Reaktion wurde unter Verwendung einer Synthese-Vorrichtung, wie sie in Fig. 1 gezeigt ist, ausgeführt. In Fig. 1 stellt Bezugsziffer 1 ein Reaktionsgefäß dar, Bezugsziffer 2 stellt ein Bad mit konstanter Temperatur dar, Bezugsziffer 3 stellt eine Heizeinrichtung dar, Bezugsziffer 4 stellt einen Temperaturfühler dar, Bezugsziffer 6 stellt Pyridin dar, Bezugsziffer 7 stellt einen Stickstoff-Strom dar, Bezugsziffer 8 stellt Dichlorsilan dar, Bezugsziffer 9 stellt einen Zusatzstoff dar, Bezugsziffer 10 stellt Ammoniak dar und Bezugsziffer 11 stellt einen Auslaß dar.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abküh len lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g Methanol (CH&sub3;OH) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2030 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium 1,02.
- In der gleichen Weise, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde die Reaktion unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Synthese-Vorrichtung durchgeführt.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g n-Octanol (C&sub8;H&sub1;&sub7;OH) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2020 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium 1,01.
- In der gleichen Weise, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde die Reaktion unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Synthese-Vorrichtung durchgeführt.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bitdung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g Isopropyl-isocyanat (CH&sub3;C&sub2;H&sub4;N=C=0) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2000 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium 1,00.
- In der gleichen Weise, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde die Reaktion unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Synthese-Vorrichtung durchgeführt.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g Isobutylamid (C&sub3;H&sub7;CONH&sub2;) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2000 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs- Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium 1,02.
- In der gleichen Weise, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde die Reaktion unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Synthese-Vorrichtung durchgeführt.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g Trimethylsilanol (Me&sub3;SiOH) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Moleku largewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2025 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs- Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium 1,03.
- In der gleichen Weise, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde die Reaktion unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Synthese-Vorrichtung durchgeführt.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g Aceton (CH&sub3;COCH&sub3;) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium 1,00.
- In der gleichen Weise, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde die Reaktion unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Synthese-Vorrichtung durchgeführt.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g Propionsäure (C&sub2;H&sub5;COOH) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2030 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs- Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium 1,03.
- In der gleichen Weise, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde die Reaktion unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Synthese-Vorrichtung durchgeführt.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g Ethylacetat (CH&sub3;COOC&sub2;H&sub5;) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2000 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs- Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium 1,01.
- In der gleichen Weise, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde die Reaktion unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Synthese-Vorrichtung durchgeführt.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen.
- Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g Acetaldehyd (CH&sub3;CHO) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2005 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs- Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium 1,01.
- In der gleichen Weise, wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde die Reaktion unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Synthese-Vorrichtung durchgeführt.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht. Dann wurden 4,0 g n-Butylmercaptan (n-C&sub4;H&sub9;SH) zugegeben, und während trockener Stickstoff strömte, wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs- Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium 1,03.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, und unter verringertem Druck wurde Pyridin als das Lösungsmittel gegen Xylol ausgetauscht.
- Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2650 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium 1,01.
- Änderungen des Molekulargewichts und der Zusammensetzung vor und nach dem Austausch des Lösungsmittels in den Beispielen und indem Vergleichsbeispiel sind in Tabelle 1 zusammengefaßt.
- Die Stabilität in Luft wurde hinsichtlich jedes der Beispiele und des Vergleichsbeispiels untersucht. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 gezeigt. Tabelle 1 Tabelle 2
- Zur Beachtung: Relative Luftfeuchtigkeit: 80%
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf natürlich Weise auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Als das IR-Spektrum des gelösten Stoffes analysiert wurde (Fig. 2), wurden bei Wellenzahlen (cm&supmin;¹) von 3350 und 1175 N-H zugeschriebene Absorptionen, bei 2170 eine Si-H zugeschriebene Absorption und bei 1020 bis 820 eine Si-N-Si zugeschriebene Absorption beobachtet. Durch die Ergebnisse der Elementaranalyse wurde bestätigt, daß der Gehalt an Si 56,1 Gew.-%, der Gehalt an N 27,9 Gew.-%, der Gehalt an O 0,48 Gew.-% und der Gehalt an C 9,7 Gew.-% betrug. Das Zusammensetzungs- Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium war 1,01.
- Dann wurden zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers 4,0 g Hexamethyldisilazan [(CH&sub3;)&sub3;SiNHSi(CH&sub3;)&sub3;] zugegeben, und das Gemisch wurde unter Strömung von trockenem Stickstoff bei 60ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Dann wurden 300 ml trockenes o-Xylol zu der Lösung zugegeben und der Lösungsmittelaustausch von Pyridin gegen Xylol wurde unter verringertem Druck durchgeführt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2015 betrug. Als das IR-Spektrum des gelösten Stoffes analysiert wurde (Fig. 3), wurden bei Wellenzahlen (cm&supmin;¹) von 3350 und 1175 N-H zugeschriebene Absorptionen, bei 2170 eine Si-H zugeschriebene Absorption, bei 1020 bis 80 eine Si-N-Si zugeschriebene Absorption, bei 1250 eine Si-Me zugeschriebene Absorption und bei 3000 eine C-H zugeschriebene Absorption beobachtet. Durch die Ergebnisse der Elementaranalyse des Polymers wurde bestätigt, daß der Gehalt an Si 56,2 Gew.-%, der Gehalt an N 27,8 Gew.- %, der Gehalt an O 0,40 Gew.-% und der Gehalt an C 9,7 Gew.-% betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium war 1,02.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 4,0 g Hexaethyldisilazan [(C&sub2;H&sub5;)&sub3;SiNHSi(C&sub2;H&sub5;)&sub3;] zugegeben, und das Gemisch wurde unter Strömung von trockenem Stickstoff bei 60ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Dann wurden 300 ml trockenes o-Xylol zu der Lösung zugegeben und der Lösungsmittelaustausch von Pyridin gegen Xylol wurde unter verringertem Druck durchgeführt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2012 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium 1,00.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung des Polymers wurden 4,0 g (CH&sub3;)&sub3;SiNHCH&sub3; zugegeben, und das Gemisch wurde unter Strömen von trockenem Stickstoff bei 60ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde die Temperatur auf Raumtemperatur abgesenkt. Dann wurden 300 ml trockenes o-Xylol zugegeben und unter verringertem Druck Pyridin gegen Xylol ausgetauscht. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht- Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2020 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in dem Polymer war 1,02.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung des Polymers wurden 4,0 g Tetramethyldisilazan [(CH&sub3;)&sub2;HSiNHSiH(CH&sub3;)&sub2;] zugegeben, und das Gemisch wurde unter Strömen von trockenem Stickstoff bei 60ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde die Temperatur auf Raumtemperatur abgesenkt. Dann wurden 300 ml trockenes o-Xylol zugegeben und unter verringertem Druck Pyridin gegen Xylol ausgetauscht. Als das Mole kulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2018 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in dem Polymer war 1,03.
- Das Medium im Inneren des Reaktionsgefäßes, das sich in dem bei 0ºC gehaltenen Bad mit konstanter Temperatur befand, wurde gegen trockenen Stickstoff ersetzt und 600 ml trockenes Pyridin in das Reaktionsgefäß gefüllt. Die Mischung wurde gehalten bis die Temperatur konstant wurde, und unter Rühren wurden zur Bildung einer Komplex-Mischung 28,3 g Dichlorsilan zugegeben. Während das Gemisch bei 0ºC gehalten wurde, wurden 14 g trockenes Ammoniak unter Rühren in das Gemisch geblasen. Nach Beendigung der Reaktion wurde zur Entfernung von nicht abreagiertem Ammoniak trockener Stickstoff in das Gemisch geblasen und das Reaktionsgemisch in einer Stickstoffatmosphäre der Filtration unter Druck unterzogen, um 392 ml des Filtrats zu erhalten. Diese Lösung wurde bei 60ºC erwärmt und Ammoniak wurde in die Lösung geblasen, um den Druck auf 507 kN/m² (5 Atmosphären) zu erhöhen. Dieser Druck wurde 15 Stunden lang aufrechterhalten. Der Druck wurde dann auf 101 kN/m² (eine Atmosphäre) abgesenkt, und das Gemisch wurde auf Raumtemperatur abkühlen lassen und in das Reaktionsgemisch trockener Stickstoff geblasen, um Ammoniak daraus zu entfernen. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC bestimmt wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2010 betrug. Das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoff und Silicium in diesem Polymer war 1,01.
- Zu der Pyridin-Lösung dieses Polymers wurden 300 ml o-Xylol zugegeben, um das Lösungsmittel Pyridin gegen Xylol zu ersetzen. 4,0 g Hexamethyldisilazan [(CH&sub3;)&sub3;SiNHSi(CH&sub3;)&sub3;], und unter Strömen von trockenem Stickstoff wurde das Gemisch bei 100ºC erwärmt, und diese Temperatur wurde 3 Stunden lang gehalten. Dann wurde das Gemisch auf Raumtemperatur abgekühlt. Als das Molekulargewicht des gelösten Stoffes mittels GPC gemessen wurde, wurde gefunden, daß das Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, 2012 betrug. In dem erhaltenen Polymer war das Zusammensetzungs-Molverhältnis zwischen Stickstoffund Silicium 1,00.
- Änderungen des Molekulargewichts und der Zusammensetzung vor und nach dem Austausch des Lösungsmittels in den Beispielen und in dem Vergleichsbeispiel 1 sind in Tabelle 3 zusammengefaßt.
- Die Stabilität in Luft wurde hinsichtlich jedes der Beispiele und des Vergleichsbeispiels 1 untersucht. Die Ergebnisse sind in Tabelle 4 gezeigt. Tabelle 3 Tabelle 4
Claims (4)
1. Verfahren zur Stabilisierung eines Polysilazans, aufweisend das zur
Reaktion Bringen eines anorganischen Polysilazans mit einem
Molekulargewicht-Zahlenmittel von etwa 100 bis etwa 100.000 mit mindestens
einer Reaktantenverbindung, die ausgewählt ist aus einem Monoalkohol,
einer organischen Monosäure, einem Monoester, einem Monoketon,
einem Monoaldehyd, einem Monomercaptan und einem Alkylsilazan, das
dargestellt wird durch die folgende allgemeine Formel:
in der mindestens eine der Gruppen R unabhängig
darstellt, worin die Gruppen R' unabhängig eine Alkylgruppe oder
ein Wasserstoffatom darstellen, mit der Maßgabe, daß mindestens
eine der Gruppen R' kein Wasserstoffatom ist, und irgendeine
verbleibende Gruppe R eine Alkylgruppe darstellt,
wobei die Reaktion bei einer Temperatur im Bereich von 0ºC bis zu
dem Siedepunkt des Lösungsmittels in einer Inertgas-Umgebung
durchgeführt wird, wobei die Reaktionsbedingungen so eingestellt sind, daß
nur eine Reaktion auftritt, bei der ein Teil des Wasserstoffs an den
Enden und an den Seitenketten des anorganischen Polysilazans durch die
Reaktantenverbindung substituiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das Molverhältnis des
anorganischen Polysilazans zu der mindestens einen Verbindung im Bereich von
50/50 bis 99, 99/0,01 liegt.
3. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem das Molverhältnis 80 : 20 bis
98 : 2 beträgt.
4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, welches den
weiteren Schritt des Herstellens einer Siliziumnitrid-Keramik aus dem
stabilisierten Polysilazan aufweist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32016791A JP3283276B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 改質ポリシラザン及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69129746D1 DE69129746D1 (de) | 1998-08-13 |
DE69129746T2 true DE69129746T2 (de) | 1999-03-04 |
Family
ID=18118451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69129746T Expired - Lifetime DE69129746T2 (de) | 1991-12-04 | 1991-12-30 | Modifiziertes Polysilazan und Verfahren zu seiner Herstellung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5494978A (de) |
EP (1) | EP0544959B1 (de) |
JP (1) | JP3283276B2 (de) |
DE (1) | DE69129746T2 (de) |
Families Citing this family (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5612414A (en) * | 1993-11-05 | 1997-03-18 | Lanxide Technology Company, Lp | Organic/inorganic polymers |
US5616650A (en) * | 1993-11-05 | 1997-04-01 | Lanxide Technology Company, Lp | Metal-nitrogen polymer compositions comprising organic electrophiles |
US5747623A (en) * | 1994-10-14 | 1998-05-05 | Tonen Corporation | Method and composition for forming ceramics and article coated with the ceramics |
JPH09183663A (ja) * | 1995-10-30 | 1997-07-15 | Tonen Corp | プラスチックフィルムにSiO2系セラミックスを被覆する方法 |
JPH09157544A (ja) * | 1995-12-05 | 1997-06-17 | Tonen Corp | シリカ系被膜付き基材の製造方法及び本方法で製造されたシリカ系被膜付き基材 |
US5885654A (en) * | 1996-08-14 | 1999-03-23 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Polysilazane-based coating solution for interlayer insulation |
KR100362834B1 (ko) | 2000-05-02 | 2002-11-29 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 장치의 산화막 형성 방법 및 이에 의하여 제조된 반도체 장치 |
US7053005B2 (en) * | 2000-05-02 | 2006-05-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of forming a silicon oxide layer in a semiconductor manufacturing process |
KR100793620B1 (ko) | 2000-08-31 | 2008-01-11 | 에이제토 엘렉토로닉 마티리알즈 가부시키가이샤 | 감광성 폴리실라잔 조성물 및 패턴화 층간 절연막의 형성방법 |
US6479405B2 (en) * | 2000-10-12 | 2002-11-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of forming silicon oxide layer in semiconductor manufacturing process using spin-on glass composition and isolation method using the same method |
KR100364026B1 (ko) * | 2001-02-22 | 2002-12-11 | 삼성전자 주식회사 | 층간 절연막 형성방법 |
JP3479648B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2003-12-15 | クラリアント インターナショナル リミテッド | ポリシラザン処理溶剤およびこの溶剤を用いるポリシラザンの処理方法 |
DE10232993A1 (de) * | 2002-07-19 | 2004-02-05 | Wacker Polymer Systems Gmbh & Co. Kg | Silicon-haltige Polymerisate von ehtylenisch ungesättigten Monomeren |
KR100499171B1 (ko) * | 2003-07-21 | 2005-07-01 | 삼성전자주식회사 | 스핀온글래스에 의한 산화실리콘막의 형성방법 |
US7192891B2 (en) | 2003-08-01 | 2007-03-20 | Samsung Electronics, Co., Ltd. | Method for forming a silicon oxide layer using spin-on glass |
JP4578993B2 (ja) * | 2005-02-02 | 2010-11-10 | Azエレクトロニックマテリアルズ株式会社 | ポリシラザン処理溶剤およびこの溶剤を用いるポリシラザンの処理方法 |
US20070270625A1 (en) * | 2006-05-18 | 2007-11-22 | Joshua Gurman | Treatment of Polysilazane Waste |
JP4965953B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2012-07-04 | 株式会社東芝 | ポリシラザンまたはポリシラザン溶液の取り扱い方法、ポリシラザン溶液、半導体装置の製造方法 |
JP5160189B2 (ja) | 2007-10-26 | 2013-03-13 | AzエレクトロニックマテリアルズIp株式会社 | 緻密なシリカ質膜を得ることができるポリシラザン化合物含有組成物 |
DE102009013410A1 (de) * | 2009-03-16 | 2010-09-23 | Clariant International Ltd. | Hybridpolymere aus Cyanaten und Silazanen, Verfahren zur ihrer Herstellung sowie deren Verwendung |
CN103642060B (zh) | 2009-03-17 | 2016-05-25 | 琳得科株式会社 | 成形体、其制造方法、电子设备用构件和电子设备 |
EP2556954B1 (de) | 2010-03-31 | 2019-09-25 | Lintec Corporation | Transparenter leitender film und elektronische vorrichtung mit dem transparenten leitenden film |
JP5697230B2 (ja) | 2010-03-31 | 2015-04-08 | リンテック株式会社 | 成形体、その製造方法、電子デバイス用部材及び電子デバイス |
EP2607412A4 (de) | 2010-08-20 | 2014-04-30 | Lintec Corp | Form, herstellungsverfahren dafür, komponente für elektronische vorrichtungen und elektronische vorrichtung |
WO2012032907A1 (ja) | 2010-09-07 | 2012-03-15 | リンテック株式会社 | 粘着シート、及び電子デバイス |
KR101056838B1 (ko) * | 2010-10-15 | 2011-08-12 | 테크노세미켐 주식회사 | 폴리실라잔 용액 및 이의 제조방법 |
KR101243339B1 (ko) * | 2010-12-14 | 2013-03-13 | 솔브레인 주식회사 | 폴리실라잔 용액의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 폴리실라잔 용액 |
TWI552883B (zh) | 2011-07-25 | 2016-10-11 | Lintec Corp | Gas barrier film laminates and electronic components |
CN107953623A (zh) | 2011-11-04 | 2018-04-24 | 琳得科株式会社 | 阻气膜及其制造方法、阻气膜层叠体、电子装置用构件、以及电子装置 |
JP5989002B2 (ja) | 2011-11-30 | 2016-09-07 | リンテック株式会社 | ガスバリア性フィルムの製造方法、およびガスバリア性フィルムを備える電子部材又は光学部材 |
EP2823961B1 (de) | 2012-03-06 | 2019-05-01 | LINTEC Corporation | Gassperrfilmlaminat, haftfilm und elektronisches bauteil |
WO2013141318A1 (ja) | 2012-03-22 | 2013-09-26 | リンテック株式会社 | 透明導電性積層体及び電子デバイス又はモジュール |
TWI576247B (zh) | 2012-03-30 | 2017-04-01 | Lintec Corp | A gas barrier film laminate, an electronic device element, and an electronic device |
CN105073406B (zh) | 2013-03-29 | 2017-06-27 | 琳得科株式会社 | 阻气性层压体、电子器件用部件及电子器件 |
KR102267089B1 (ko) | 2013-03-29 | 2021-06-18 | 린텍 가부시키가이샤 | 적층체 및 그 제조 방법, 전자 디바이스용 부재, 그리고 전자 디바이스 |
TW201533098A (zh) * | 2013-12-25 | 2015-09-01 | Toagosei Co Ltd | 聚烷氧基矽氮烷及其製造方法,及,塗佈組成物及由其所得之矽系陶瓷被膜 |
JP6666836B2 (ja) | 2014-03-31 | 2020-03-18 | リンテック株式会社 | 長尺のガスバリア性積層体およびその製造方法 |
TWI658943B (zh) | 2014-06-04 | 2019-05-11 | 日商琳得科股份有限公司 | 氣阻性層積體及其製造方法、電子裝置用元件以及電子裝置 |
KR102419701B1 (ko) | 2016-03-18 | 2022-07-11 | 린텍 가부시키가이샤 | 프라이머층 형성용 경화성 조성물, 가스 배리어성 적층 필름 및 가스 배리어성 적층체 |
CN108883605A (zh) | 2016-03-29 | 2018-11-23 | 琳得科株式会社 | 阻气性层叠体、电子设备用构件以及电子设备 |
JP2017200861A (ja) | 2016-05-02 | 2017-11-09 | アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ | 緻密なシリカ質膜形成用組成物 |
KR102572921B1 (ko) | 2017-03-28 | 2023-08-30 | 린텍 가부시키가이샤 | 가스 배리어성 적층체 |
KR102194975B1 (ko) | 2017-10-13 | 2020-12-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 실리카 막 형성용 조성물, 실리카 막의 제조방법 및 실리카 막 |
JP7137282B2 (ja) | 2017-10-20 | 2022-09-14 | リンテック株式会社 | ガスバリアフィルム用基材、ガスバリアフィルム、電子デバイス用部材、及び電子デバイス |
EP3904079A4 (de) | 2018-12-27 | 2022-09-14 | Lintec Corporation | Gasbarrierelaminat |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60145903A (ja) * | 1983-12-29 | 1985-08-01 | Toa Nenryo Kogyo Kk | 無機ポリシラザン及びその合成方法 |
FR2616436B1 (fr) * | 1987-06-10 | 1989-12-29 | Europ Propulsion | Copolymeres a liaisons si-n et si-si, polycarbosilazanes obtenus par pyrolyse desdits copolymeres et utilisation desdits polycarbosilazanes pour la preparation de carbonitrure de silicium |
JP2544928B2 (ja) * | 1987-06-12 | 1996-10-16 | チッソ株式会社 | 新規ポリシラザン及びその製造方法 |
US4975512A (en) * | 1987-08-13 | 1990-12-04 | Petroleum Energy Center | Reformed polysilazane and method of producing same |
US4861569A (en) * | 1987-08-13 | 1989-08-29 | Petroleum Energy Center | Reformed, inorganic polysilazane and method of producing same |
DE3743825A1 (de) * | 1987-12-23 | 1989-07-06 | Hoechst Ag | Polymere hydridosilazane, verfahren zu ihrer herstellung, aus ihnen herstellbare, siliziumnitrid enthaltende keramische materialien, sowie deren herstellung |
US5032551A (en) * | 1988-03-05 | 1991-07-16 | Toa Nenryo Kogyo Kabushiki Kaisha | Silicon nitride based ceramic fibers, process of preparing same and composite material containing same |
US4929704A (en) * | 1988-12-20 | 1990-05-29 | Hercules Incorporated | Isocyanate- and isothiocyanate-modified polysilazane ceramic precursors |
US4975712A (en) * | 1989-01-23 | 1990-12-04 | Trw Inc. | Two-dimensional scanning antenna |
US5032649A (en) * | 1989-11-27 | 1991-07-16 | Hercules Incorporated | Organic amide-modified polysilazane ceramic precursors |
US5086126A (en) * | 1990-12-24 | 1992-02-04 | Dow Corning Corporation | Method for producing functional silazane polymers |
-
1991
- 1991-12-04 JP JP32016791A patent/JP3283276B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-30 EP EP91312081A patent/EP0544959B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-30 DE DE69129746T patent/DE69129746T2/de not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-11-30 US US08/346,845 patent/US5494978A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5494978A (en) | 1996-02-27 |
JPH05345826A (ja) | 1993-12-27 |
EP0544959B1 (de) | 1998-07-08 |
JP3283276B2 (ja) | 2002-05-20 |
DE69129746D1 (de) | 1998-08-13 |
EP0544959A1 (de) | 1993-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69129746T2 (de) | Modifiziertes Polysilazan und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE3686792T2 (de) | Amphiphiler polyimid-vorlaeufer und verfahren zu seiner herstellung. | |
DE68911261T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Bor und Stickstoff enthaltenden Polymeren, die Bornitridvorläufer sind und die erhaltenen Produkte. | |
DE3785065T2 (de) | Verfahren zur herstellung von polysilazanen und silicium-nitriden. | |
DE69130769T2 (de) | Epoxydharze auf basis von diaminobisimidverbindungen | |
DE3528394C2 (de) | ||
DE3805796C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von organischen Silazanpolymeren und Keramikmaterialien daraus | |
DE3876304T2 (de) | Polysilacylobutasilazane. | |
DE69012284T2 (de) | Organische Amid-modifizierte Polysilazane als Keramikausgangsmaterialien. | |
DE69208626T2 (de) | Mit Bor modifizierte härtbare Hydropolysilazanpolymere | |
DE3884753T2 (de) | Stabile Methylpolydisilylazanpolymere. | |
DE3879582T2 (de) | Modifiziertes anorganisches polysilazan und verfahren zu seiner herstellung. | |
EP0511568B1 (de) | Organische Silazanpolymere, Verfahren zu ihrer Herstellung, sowie ein Verfahren zur Herstellung von Keramikmaterialien | |
DE2818545A1 (de) | Verfahren zur herstellung von siliziumnitrid | |
EP0973781B1 (de) | Silylalkylborane, oligo oder polyborocarbosilazane, und silicium carbonitridkeramiken | |
DE3235304A1 (de) | Verfahren zum herstellen von siliciumnitrid-pulver | |
DE2927995B2 (de) | Wärmehärtbare Harzmasse und ihre Verwendung zur Herstllung von gehärteten Überzügen oder Formkörpern | |
EP0511567B1 (de) | Organische Silazanpolymere, Verfahren zu ihrer Herstellung, sowie ein Verfahren zur Herstellung von Keramikmaterialien daraus | |
DE69108664T2 (de) | Polymervorläufer für die Herstellung von Aluminiumnitrid. | |
DE3136786C2 (de) | ||
EP0372379B1 (de) | Chlorhaltige Silazanpolymere, Verfahren zu ihrer Herstellung, Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitrid enthaltenden keramischen Materialien | |
DE3829904A1 (de) | Verbessertes verfahren zur herstellung von vinylgruppen enthaltenden polymeren als vorstufen fuer siliciumcarbid-keramiken | |
DE3743423C2 (de) | Derivatisiertes Alkylpolysilan und Verfahren zur Herstellung eines keramischen Materials | |
DE69323829T2 (de) | Borazinderivate von Polycarbosilanen und davon abgeleitetes keramisches Material | |
DE1520588C (de) | Verfahren zur Herstellung von PoIyoxymethylenen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: TONENGENERAL SEKIYU K.K., TOKIO/TOKYO, JP |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: CLARIANT INTERNATIONAL LIMITED, MUTTENZ, CH |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP., SOMERVILLE, N.J |
|
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Representative=s name: PATENTANWAELTE ISENBRUCK BOESL HOERSCHLER WICHMANN HU |