DE69128104T2 - Elektronenmikroskop, Probenstellglied für ein Elektronenmikroskop und Verfahren zum Beobachten von mikroskopischen Bildern - Google Patents
Elektronenmikroskop, Probenstellglied für ein Elektronenmikroskop und Verfahren zum Beobachten von mikroskopischen BildernInfo
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
DE102015213764B4 (de) | 2014-07-28 | 2018-05-30 | Hitachi, Ltd. | Probenhalter, Vorrichtung für einen Strahl geladener Teilchen und Beobachtungsverfahren |
DE112013000437B4 (de) | 2012-01-20 | 2018-07-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ladungsteilchenstrahl-Mikroskop, Probenhalter für ein Ladungsteilchenstrahl-Mikroskop und Ladungsteilchenstrahl-Mikroskopie |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05109378A (ja) * | 1991-10-15 | 1993-04-30 | Hitachi Ltd | 電子顕微像観察方法及び装置 |
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JPH06138196A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-20 | Hitachi Ltd | 収束電子線による電磁場分布測定装置 |
EP0599582B1 (de) * | 1992-11-20 | 1998-04-08 | Topometrix | Linearisierungs- und Eichungssystem für einen Abtastungsapparat |
JP3205160B2 (ja) * | 1994-02-23 | 2001-09-04 | 株式会社日立製作所 | 磁界の測定方法およびこれを用いた荷電粒子線装置 |
JP3441855B2 (ja) * | 1995-08-25 | 2003-09-02 | 科学技術振興事業団 | 荷電粒子顕微鏡の観察装置 |
US5874668A (en) * | 1995-10-24 | 1999-02-23 | Arch Development Corporation | Atomic force microscope for biological specimens |
US6365897B1 (en) | 1997-12-18 | 2002-04-02 | Nikon Corporation | Electron beam type inspection device and method of making same |
AU2531600A (en) * | 1999-02-27 | 2000-09-21 | Meier Markus Institut Fur Mechanische Systeme | Goniometer |
US6590209B1 (en) * | 1999-03-03 | 2003-07-08 | The Regents Of The University Of California | Technique to quantitatively measure magnetic properties of thin structures at <10 NM spatial resolution |
JP4213883B2 (ja) * | 2001-08-29 | 2009-01-21 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁界の測定方法および磁界測定装置、ならびに電流波形測定方法および電界測定方法 |
US6765203B1 (en) * | 2003-01-31 | 2004-07-20 | Shimadzu Corporation | Pallet assembly for substrate inspection device and substrate inspection device |
US6812462B1 (en) | 2003-02-21 | 2004-11-02 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Dual electron beam instrument for multi-perspective |
US7385197B2 (en) * | 2004-07-08 | 2008-06-10 | Ebara Corporation | Electron beam apparatus and a device manufacturing method using the same apparatus |
JP4634134B2 (ja) * | 2004-12-24 | 2011-02-16 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 観察位置表示方法及び装置ならびに試料加工方法及び装置 |
WO2008015700A2 (en) * | 2006-07-31 | 2008-02-07 | Hilaal Alam | A method for nanopositioning object and device thereof |
JP5403560B2 (ja) | 2010-11-17 | 2014-01-29 | コリア ベイシック サイエンス インスティテュート | 透過電子顕微鏡の、3方向以上から試片を観察し分析するための3軸駆動が可能な試片ホルダー |
TWI457598B (zh) * | 2012-01-20 | 2014-10-21 | Academia Sinica | 光學模組及顯微鏡 |
CN102820196B (zh) * | 2012-07-31 | 2015-02-04 | 中国科学院物理研究所 | 可加磁场的透射电子显微镜样品杆 |
US9837245B2 (en) * | 2015-03-13 | 2017-12-05 | Cebt Co., Ltd. | Micro stage for particle beam column using piezo elements as actuator |
US11244805B2 (en) * | 2019-11-15 | 2022-02-08 | Fei Company | Electron microscope stage |
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US11538652B2 (en) * | 2019-11-15 | 2022-12-27 | Fei Company | Systems and methods of hysteresis compensation |
Family Cites Families (15)
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---|---|---|---|---|
JPS4830860A (de) * | 1971-08-25 | 1973-04-23 | ||
US3887811A (en) * | 1971-10-08 | 1975-06-03 | Radiant Energy Systems | Electro mechanical alignment apparatus for electron image projection systems |
DE2310355C3 (de) * | 1973-02-27 | 1975-11-13 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Verstelleinrichtung für Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Elektronenmikroskope |
US3908124A (en) * | 1974-07-01 | 1975-09-23 | Us Energy | Phase contrast in high resolution electron microscopy |
JPS56165255A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-18 | Hitachi Ltd | Image indicating method for transmission scan electron microscope |
JPS58169762A (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-06 | Internatl Precision Inc | 電子線装置 |
US4506154A (en) * | 1982-10-22 | 1985-03-19 | Scire Fredric E | Planar biaxial micropositioning stage |
NL8301033A (nl) * | 1983-03-23 | 1984-10-16 | Philips Nv | Stralingsapparaat met membraanaandrijving voor een objectdrager. |
CA1208763A (en) * | 1983-03-31 | 1986-07-29 | Ryuichi Shimizu | Scan line type dynamic observation apparatus |
NL8304217A (nl) * | 1983-12-07 | 1985-07-01 | Philips Nv | Automatisch instelbare electronenmicroscoop. |
NL8402340A (nl) * | 1984-07-25 | 1986-02-17 | Philips Nv | Microscoop voor niet-gedifferentieerde fase-beeldvorming. |
JP2760786B2 (ja) * | 1987-03-18 | 1998-06-04 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡およびその試料台移動方法 |
JPH02174046A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-05 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡およびこれに用いる試料微動装置の制御方法 |
JP2842879B2 (ja) * | 1989-01-06 | 1999-01-06 | 株式会社日立製作所 | 表面分析方法および装置 |
JP2563134B2 (ja) * | 1989-01-25 | 1996-12-11 | 日本電子株式会社 | 走査透過型位相差電子顕微鏡 |
-
1991
- 1991-05-16 US US07/701,090 patent/US5153434A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-05-16 EP EP91107935A patent/EP0457317B1/de not_active Expired - Lifetime
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112013000437B4 (de) | 2012-01-20 | 2018-07-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ladungsteilchenstrahl-Mikroskop, Probenhalter für ein Ladungsteilchenstrahl-Mikroskop und Ladungsteilchenstrahl-Mikroskopie |
DE112013000437B8 (de) * | 2012-01-20 | 2018-10-18 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ladungsteilchenstrahl-Mikroskop, Probenhalter für ein Ladungsteilchenstrahl-Mikroskop und Ladungsteilchenstrahl-Mikroskopie |
DE102015213764B4 (de) | 2014-07-28 | 2018-05-30 | Hitachi, Ltd. | Probenhalter, Vorrichtung für einen Strahl geladener Teilchen und Beobachtungsverfahren |
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