DE60300429T2 - Verwendung von organischen Materialien zur Herstellung einer organischen Leuchtvorrichtung - Google Patents

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Leuchtvorrichtung (OLED) und insbesondere ein verbessertes Verfahren zur Ausbildung massiver Presslinge aus Pulvern organischer Materialien und der Verwendung dieser Presslinge in der physikalischen Aufdampfung zur Herstellung einer organischen Schicht auf einem Substrat, die Teil einer organischen Leuchtvorrichtung bildet.
  • Eine organische Leuchtvorrichtung, auch als organische Elektrolumineszenzvorrichtung bezeichnet, kann durch schichtweise Anordnung von zwei oder mehr organischen Schichten zwischen einer ersten und zweiten Elektrode gebildet werden.
  • In organischen Passivmatrix-OLEDs von herkömmlicher Konstruktion ist eine Vielzahl seitlich beabstandeter, lichtdurchlässiger Anoden, beispielsweise Indiumzinnoxidanoden (ITO), als erste Elektroden auf einem lichtdurchlässigen Substrat angeordnet, beispielsweise auf einem Glassubstrat. Zwei oder mehr organische Schichten werden dann nacheinander durch physikalisches Aufdampfen der jeweiligen organischen Materialien aus entsprechenden Quellen ausgebildet, und zwar in einer Kammer unter reduziertem Druck von typischerweise kleiner als 0,13 Pa. Dann wird eine Vielzahl seitlich beabstandeter Kathoden als zweite Elektroden über einer obersten Schicht der Vielzahl organischer Schichten angeordnet. Diese Kathoden sind in einem Winkel ausgerichtet, typischerweise in einem rechten Winkel in Bezug zu den Anoden.
  • Solche herkömmlichen Passivmatrix-OLEDs werden durch Anlegen eines elektrischen Potenzials (auch als Treiberspannung bezeichnet) zwischen entsprechenden Spalten (Anoden) und Reihen (Kathoden) betrieben. Wenn eine Kathode in Bezug zu einer Anode negativ vorgespannt ist, wird Licht aus einem Pixel, der durch einen Überlagerungsbereich der Kathode und der Anode gebildet ist, abgestrahlt, wobei das abgestrahlte Licht den Betrachter durch die Anode und das Substrat erreicht.
  • In einer Aktivmatrix-OLED wird eine Anordnung von Anoden in Form von ersten Elektroden durch Dünnschichttransistoren (TFTs) bereitgestellt, die über einen entsprechenden lichtdurchlässigen Bereich miteinander verbunden sind. Zwei oder mehr organische Schichten werden dann nacheinander durch Aufdampfen in einer Weise hergestellt, die im Wesentlichen der Herstellung der zuvor genannten Passivmatrix-Vorrichtung entspricht. Eine gemeinsame Kathode wird als eine zweite Elektrode über einer obersten der organischen Schichten aufgebracht. Aufbau und Funktion einer organischen Aktivmatrix-LED werden in der Parallelanmeldung US-A-5,550,066 beschrieben, deren Beschreibung durch Nennung als hierin aufgenommen betrachtet wird.
  • Die zur Herstellung organischer LEDs geeigneten organischen Materialien, die Dicken der aufgedampften organischen Schichten und die Schichtenkonfigurationen werden beispielsweise in den Parallelanmeldungen US-A-4,356,429, US-A-4,539,507, US-A-4,720,432 und US-A-4,769,292 beschrieben.
  • Die zur Herstellung organischer LEDs geeigneten organischen Materialien, beispielsweise organische Lochtransportmaterialien, organische LED-Materialien, die mit einem organischen Dotierungsmittel vordotiert sind, und organische Elektronentransportmaterialien können relativ komplexe molekulare Substrate mit relativ schwachen Molekularbindekräften aufweisen, so dass darauf geachtet werden muss, eine Zersetzung der organischen Materialien während des physikalischen Aufdampfens zu vermeiden.
  • Die zuvor genannten organischen Materialien werden auf einen relativ hohen Reinheitsgrad synthetisiert und in Form von Pulvern, Flocken oder Granulaten bereitgestellt. Derartige Pulver oder Flocken werden bislang zur Einbringung in eine physikalische Aufdampfungsquelle verwendet, in der Wärme angewandt wird, um einen Dampf durch Sublimation oder Verdampfung des organischen Materials zu erzeugen, wobei sich der Dampf auf einem Substrat niederschlägt, um darauf eine organische Schicht zu bilden.
  • Bei der Verwendung organischer Pulver, Flocken oder Granulate in der physikalischen Aufdampfung traten bisher mehrere Probleme auf:
    • (i) Pulver, Flocken oder Granulate sind schwierig zu handhaben, weil sie elektrostatische Ladungen über einen Prozess aufnehmen können, der als triboelektrische Aufladung bezeichnet wird;
    • (ii) Pulver, Flocken oder Granulate von organischen Materialien haben im Allgemeinen eine relativ niedrige physische Dichte (in Masse je Volumeneinheit ausgedrückt) im Bereich von ca. 0,05 bis ca. 0,2 g/cm3, verglichen mit einer physischen Dichte eines idealisierten, massiven organischen Materials von ca. 1 g/cm3.
    • (iii) Pulver, Flocken oder Granulate von organischen Materialien haben eine unerwünscht niedrige Wärmeleitfähigkeit, insbesondere bei Anordnung in einer physikalischen Aufdampfungsquelle, die sich in einer Kammer befindet, die auf einen reduzierten Druck von 0,00013 Pa (10–6 Torr) evakuiert worden ist. Pulverpartikel, Flocken oder Granulate werden daher nur durch Strahlungswärme aus einer Wärmequelle sowie durch Wärmeleitung von Partikeln oder Flocken, die sich in direktem Kontakt mit Heizflächen befinden, erwärmt. Pulverpartikel, Flocken oder Granulate, die keinen Kontakt mit Heizflächen der Wärmequelle haben, werden aufgrund der relativ kleinen Kontaktfläche zwischen den Partikeln nicht wirksam durch Wärmeleitung erwärmt.
    • (iv) Pulver, Flocken oder Granulate können ein relativ hohes Verhältnis von Fläche zu Volumen und eine entsprechend hohe Neigung zum Einschluss von Luft und/oder Feuchtigkeit zwischen den Partikeln unter Umgebungsbedingungen aufweisen. Eine Charge organischer Pulver, Flocken oder Granulate, die in eine physikalische Aufdampfungsquelle geladen wird, die in einer Kammer angeordnet ist, muss gründlich entgast werden, indem die Quelle vorgewärmt wird, sobald die Kammer auf einen reduzierten Druck evakuiert worden ist. Wenn das Entgasen nicht oder nur unvollständig stattfindet, können Partikel aus der Quelle zusammen mit dem Dampfstrom während des physischen Aufdampfens einer organischen Schicht auf einem Substrat ausgeworfen werden. Eine OLED mit mehreren organischen Schichten kann funktionsunfähig werden oder sein, wenn derartige Schichten Partikel oder Feststoffe enthalten.
  • Jeder einzelne Aspekt oder eine Kombination der zuvor genannten Aspekte organischer Pulver, Flocken oder Granulate kann zu einer ungleichmäßigen Erwärmung dieser organischen Materialien in physikalischen Aufdampfungsquellen mit einer entsprechend räumlich ungleichmäßigen Sublimation oder Aufdampfung organischer Materialien und zu potenziell ungleichmäßig aufgedampften organischen Schichten auf einem Substrat führen.
  • US-A-6,090,434 betrifft die Herstellung einer anorganischen Elektrolumineszenzvorrichtung, wobei eine Mischung aus anorganischen Materialien, wie ZnS, Mn und anderen Materialien zugegeben werden kann. Die Mischung kann durch Kathodenzerstäubung aus einem aus diesen Materialien hergestellten Verbund-Target aufgebracht werden.
  • EP 1,093,323 A1 beschreibt das Verfahren zur Aufbringung anorganischer Mehrkomponentenmaterialien durch Kathodenzerstäubung. Die vorliegende Erfindung verwendet organische Verfahren und thermische Aufdampfung.
  • EP 1 132 493 A2 betrifft das Mischen einer organischen Verbindung und eines keramischen Materials plus eines Metalls zur Wärmeverteilung zwecks Sublimation des organischen Materials. Die Herstellung von Presslingen wird nicht beschrieben.
  • EP 1 081 774 A2 betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer lichtempfindlichen Ausrichtungsschicht und keine Elektrolumineszenzschicht.
  • EP 1 137 327 betrifft die Ausbildung eines anorganischen Dünnfilmmaterials, wie Si 1-x Ge x oy. Dieses lässt sich aus einer Mischung von Komponenten herstellen und durch Kathodenzerstäubung aufbringen.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Handhabung organischer Materialien bereitzustellen, die zur Herstellung einer organischen Schicht auf einem Substrat geeignet sind, das Teil einer organischen Leuchtvorrichtung (OLED) ist.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt zudem die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Verfestigung organischen Pulvers zu einem massiven Pressling bereitzustellen.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Schicht aus einem massiven Pressling aus organischem Material und auf einem Substrat bereitzustellen, das Teil einer organischen Leuchtvorrichtung (OLED) ist.
  • Außerdem liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren bereitzustellen, das die Verfestigung einer Mischung aus einem sublimierbaren organischen Pulvermaterial und einem wärmeleitenden, nicht sublimierbaren keramischen Pulver zu einem massiven Pressling umfasst.
  • Nach einem Aspekt stellt die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Schicht aus einem organischen Material auf einem Substrat bereit, das Teil einer organischen Leuchtvorrichtung (OLED) ist und folgende Schritte umfasst:
    • (a) Bereitstellen eines sublimierbaren, organischen Materials in Pulverform;
    • (b) Bereitstellen eines wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Materials in Pulverform;
    • (c) Erzeugen einer Mischung des sublimierbaren organischen Pulvermaterials und des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Pulvermaterials;
    • (d) Anordnen dieser Mischung in einer Form und Ausübung ausreichenden Drucks unter Verwendung von zwei Stempeln, einem unteren und einem oberen Stempel, auf die Mischung, um die Pulvermischung zu einem massiven Pressling zu verfestigen;
    • (e) Beaufschlagen der Form mit Wärme vor der Ausübung von Druck mithilfe der beiden entgegenwirkenden Stempel zur Verfestigung der Pulvermischung zu einem festen Pressling; und
    • (f) Entfernen des Presslings aus der Form.
  • Nach einem weiteren Aspekt stellt die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Verwendung des hergestellten massiven Presslings zur Herstellung einer organischen Schicht aus einem organischen Material für eine organische Leuchtvorrichtung (OLED) bereit, das folgende Schritte umfasst:
    • (a) Anordnen des massiven Presslings in einer in einer Kammer angeordneten, physikalischen Aufdampfungsquelle;
    • (b) Anordnen des Substrats in der Kammer und in einer beabstandeten Beziehung in Bezug zur Quelle;
    • (c) Evakuieren der Kammer auf einen reduzierten Druck; und
    • (d) Anwenden von Wärme auf die Quelle, damit zumindest ein Teil des organischen Materials in dem Pressling sublimiert, während das wärmeleitende Keramikmaterial unsublimiert bleibt, um einen Dampf des organischen Materials zu erzeugen, welcher die organische Schicht auf dem Substrat bildet.
  • Ein Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass das Verfahren zur Verfestigung eines organischen Pulvers zu einem massiven Pressling mit relativ einfachen Werkzeugen und entfernt zum Verwendungsort des Pellets in einer physikalischen Aufdampfungsvorrichtung durchführbar ist.
  • Ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass das Verfahren zur Verfestigung organischer Pulver zu einem massiven Pressling die Handhabung, die Übergabe oder den Transport organischer Materialien in und zwischen verschiedenen Orten erleichtert.
  • Ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass eine Vielzahl von Presslingen aus organischem Material, die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt wurden, in einem wesentlich kleineren Behälter gehandhabt, übergeben oder transportiert werden können, verglichen mit einem Behälter für die Handhabung, die Übergabe oder den Transport organischen Materials in Pulverform bei gleichem Gewicht.
  • Ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass ein massiver Pressling aus einem OLED-Material nach dem erfindungsgemäßen Verfahren herstellbar ist, worin ein Pulver mindestens eines OLED-Wirtsmaterials und ein Pulver mindestens eines organischen Dotierungsmaterials gemischt werden, um eine Mischung vor Verfestigung der Mischung zu einem massiven Pressling bereitzustellen.
  • Ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass das Verfahren zur Verfestigung von Pulver zu einem massiven Pressling und das Verfahren zur Herstellung einer organischen Schicht auf einem Substrat durch Verdampfen eines Teils eines massiven Presslings in einer physikalischen Aufdampfungsquelle im Wesentlichen den Auswurf von Pulverpartikeln aus der Quelle beseitigt und daher eine im Wesentlichen von Feststoffeinschlüssen freie organische Schicht erzeugt.
  • Ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass das Verfahren zur Verfestigung von Pulver zu einem massiven Pressling derart angepasst werden kann, dass ein Pressling mit einer Form bereitgestellt wird, die zur Form einer physikalischen Aufdampfungsquelle passt, aus der ein Teil eines Presslings zur Erzeugung einer organischen Schicht auf einem Substrat verdampft wird.
  • Ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass die homogene Dispersion von wärmeleitfähigem Keramikpulver in ansonsten thermisch nicht leitenden, massiven organischen Presslingen den Verfestigungsprozess und auch die Wärmeverdampfung durch gleichmäßige Verteilung der Wärme innerhalb der massiven Presslinge unterstützt.
  • Ein weiteres wichtiges Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass die wärmeleitenden Keramikpulver die wärmeaufgedampften organischen Moleküle nicht beeinträchtigen oder verunreinigen.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand in der Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert.
  • Es zeigen
  • 1 eine organische Leuchtvorrichtung nach dem Stand der Technik;
  • 2 eine weitere organische Leuchtvorrichtung nach dem Stand der Technik;
  • 3 eine schematische, perspektivische Ansicht einer organischen Passivmatrix-Leuchtvorrichtung (OLED) mit teilweise zurückgezogenen Elementen zum Freilegen verschiedener Schichten;
  • 4 eine schematische, perspektivische Ansicht einer Vorrichtung, die zur Herstellung einer relativ großen Zahl organischer Leuchtvorrichtungen (OLEDs) geeignet ist und die eine Vielzahl von Stationen aufweist, die sich von Naben aus erstrecken;
  • 5 eine schematische Schnittansicht eines Trägers mit einer relativ großen Zahl von Substraten, die in einer Ladestation des Systems aus 4 angeordnet sind, wie durch die Schnittlinien 5-5 in 4 gezeigt;
  • 6A6F in schematischer Form eine Folge von Verfahrensschritten zur Herstellung eines massiven Presslings aus einer Mischung von organischen und keramischen Pulvern in einem Werkzeug, das in einer uniaxialen Presse erfindungsgemäß angeordnet wird, worin:
  • 6A das Werkzeug zeigt, in dessen Vertiefung über einem unteren Stempel eine Mischung aus organischen und keramischen Pulvern eingefüllt ist;
  • 6B den oberen Stempel zeigt, der in der Vertiefung des Werkzeugs angeordnet ist und die obere Fläche des Pulvermaterials berührt;
  • 6C den von der uniaxialen Presse auf den oberen und unteren Stempel ausgeübten Druck zeigt, um eine Verdichtung des organischen und keramischen Pulvermischungsmaterials zu einem massiven Pressling zu bewirken;
  • 6D den aus der Vertiefung des Werkzeugs entfernten oberen Stempel zeigt;
  • 6E das aus der Presse entnommene Werkzeug und den aus der Werkzeugvertiefung entnommenen unteren Stempel zeigt, wobei der gezeigte Pressling an den Seitenwänden der Werkzeugvertiefung anliegt; und
  • 6F einen Presslingstößel zur Entfernung des Presslings aus dem Werkzeug und zum Ablegen des Presslings in einem passenden Behälter zeigt;
  • 7A7E Beispiele für Formen von massiven Presslingen, die in der Presse aus 6A-6D herstellbar sind, indem man die gewünschten Werkzeuge und die entsprechenden unteren und oberen Stempel wählt; worin
  • 7A einen zylinderförmigen Pressling mit zwei coplanen Hauptflächen zeigt;
  • 7B einen kreisförmigen Pressling mit einer ebenen Hauptfläche und einer gegenüberliegenden konvexen Hauptfläche zeigt;
  • 7C einen kreisförmigen Pressling mit zwei konvexen Hauptflächen zeigt;
  • 7D einen langgestreckten Pressling mit zwei coplanen Hauptflächen zeigt; und
  • 7E einen langgestreckten Pressling mit einer ebenen Hauptfläche und einer gegenüberliegenden konvexen Hauptfläche zeigt;
  • 8 eine schematische Schnittansicht einer physikalischen Aufdampfstation, die zur Herstellung einer organischen Lochtransportschicht (HTL) auf einem Substrat in der Vorrichtung aus 4 vorgesehen ist, wie in 4 anhand der Strichlinie 8-8 gezeigt, wobei ein massiver Pressling aus einem organischen Lochtransportmaterial in einer Aufdampfungsquelle nach einem Aspekt der vorliegenden Erfindung angeordnet ist;
  • 9 eine Teilschnittansicht einer rohrförmigen Aufdampfungsquelle mit einem Hohlraum, in dem drei langgestreckte, massive Presslinge aus organischem Lochtransportmaterial angeordnet sind;
  • 10 ein Ablaufdiagramm zur Darstellung der Schritte zur Herstellung eines massiven Presslings aus einer Mischung aus einem Pulver eines sublimierbaren organischen Materials und einem Pulver eines wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Materials gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung; und
  • 11 ein Ablaufdiagramm zur Darstellung der Schritte zur Herstellung eines massiven Presslings, indem erstens ein Pulver eines sublimierbaren organischen OLED-Wirtsmaterials mit einem Pulver eines sublimierbaren, organischen Dotierungsmaterials gemischt wird und zweitens die Mischung aus Wirtsmaterial und Dotierung mit einem Pulver aus einem wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Material gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung gemischt wird.
  • Die Begriffe „Pulver" und „in Pulverform" bezeichnen in der hier benutzten Verwendung eine Menge aus einzelnen Partikeln, bei denen es sich um Flocken, Granulate oder Mischungen verschiedener Partikelformen handeln kann.
  • Die Leuchtschicht (EML) einer organischen Leuchtvorrichtung (OLED) umfasst ein organisches oder organometallisches Material, das als Ergebnis einer Loch-/Elektronen-Rekombination in der Schicht Licht erzeugt, was auch als Elektrolumineszenz bezeichnet wird. Der Begriff „organisch" bezeichnet in dem vorliegenden Zusammenhang sowohl rein organische als auch organometallische Materialien. In der einfachsten Konstruktion aus 1 ist die Leuchtschicht 14 zwischen der Anode 12 und der Kathode 15 angeordnet. Die Leuchtschicht 14 kann ein reines Material mit einer hohen Leuchtdichte sein. Ein für diesen Zweck sehr bekanntes Material ist Tris(8-Chinolinolat-N1,O8)aluminium, (Alq), das eine sehr gute grüne Elektrolumineszenz erzeugt. Die Leuchtschicht 14 kann zudem geringere Mengen anderer Materialien enthalten, die herkömmlich als Dotierungen bezeichnet werden und deren Funktion es ist, den Elektrolumineszenz-Wirkungsgrad oder die Farbe des abgestrahlten Lichts zu verändern. Ein Substrat 11 dient zur mechanischen Unterstützung einer OLED 10 und zur Aufnahme elektrischer Leitungen, die die organische Leuchtvorrichtung mit einer elektrischen Stromquelle verbinden. Die Schichten 12 bis 15 umfassen zusammen mit dem Substrat 11 die OLED 10. Die Kathode 15 oder sowohl die Kathode 12 als auch das Substrat 11 sind gegenüber dem Elektrolumineszenzlicht transparent, so dass das Licht sichtbar ist. Der Begriff „transparent" bezieht sich auf die Fähigkeit, nicht weniger als 80% des Elektrolumineszenzlichts durchzulassen. In einer Abwandlung dieses Substrats ist nicht die Anode, sondern die Kathode auf dem Substrat angeordnet. In dieser Variante sind entweder die Anode oder sowohl die Kathode als auch der Träger gegenüber dem Elektrolumineszenzlicht transparent. Wenn die Kathode und Anode mit einer (nicht gezeigten) elektrischen Stromquelle verbunden werden, werden Löcher aus der Anode und Elektronen von der Kathode injiziert und in der Leuchtschicht rekombiniert, um Elektrolumineszenzlicht zu erzeugen.
  • In einer detaillierteren Darstellung der in 2 gezeigten OLED 20 ist eine Leuchtschicht (EML) 25 zwischen einer Lochtransportschicht 24 und einer Elektronentransportschicht 26 angeordnet. Jede dieser Schichten setzt sich vorwiegend aus organischen Materialien zusammen. Die beiden Transportschichten liefern Löcher von einer Anode 22 und Elektronen von einer Kathode 27 an die Leuchtschicht 25. Eine optionale Lochinjektionsschicht 23 ermöglicht die Injektion von Löchern aus der Anode 22 zur Lochtransportschicht 24. Die Leuchtschicht 25 dient als primärer Ort für die Elektronen-/Loch-Rekombination und für die Emission des resultierenden Elektrolumineszenzlichts. In dieser Hinsicht unterscheiden sich die Funktionen der einzelnen organischen Schichten und lassen sich daher unabhängig voneinan der optimieren. Die Leuchtschicht 25 kann daher auf eine bestimmte Elektrolumineszenzfarbe und eine hohe Leuchtdichte optimiert werden. Die Leuchtschicht 25 kann zudem geringere Mengen von Dotierungen enthalten, deren Funktion darin besteht, die Leuchtdichte oder die Farbe des abgestrahlten Lichts zu verändern. Ebenso lassen sich die Loch- und Elektronentransportschichten 24 bzw. 26 in Bezug auf ihre Ladungstransporteigenschaft optimieren. Ein Substrat 21 dient zur mechanischen Unterstützung einer OLED 20 und zur Aufnahme elektrischer Leitungen, die die OLED 20 mit einer elektrischen Stromquelle verbinden. Die Schichten 22 bis 27 umfassen zusammen mit dem Substrat 21 die OLED 20. In dieser Variante sind entweder die Kathode oder sowohl die Anode als auch das Substrat gegenüber dem Elektrolumineszenzlicht transparent. In einer Abwandlung dieses Substrats ist nicht die Anode, sondern die Kathode auf dem Substrat angeordnet. In dieser Variante sind entweder die Anode oder sowohl die Kathode als auch der Träger gegenüber dem Elektrolumineszenzlicht transparent. In einer anderen Variante dieses Substrats sind die Emissionsschicht und die Elektronentransportschicht kombinierbar, um eine einzelne Schicht zu bilden, die die Funktionen beider Schichten wahrnimmt. In einer weiteren Variante dieses Substrats ist es möglich, dass die Lochtransportschicht mindestens zwei Unterschichten aus unterschiedlichen Zusammensetzungen umfasst, die derart gewählt sind, dass sie die Ladungsinjektionsschnittstelle an der Anode und die Stromführungseigenschaften des übrigen Teils der Lochtransportschicht separat optimieren.
  • Wenn zwischen der Anode 22 und der Kathode 27 eine (nicht gezeigte) elektrische Potenzialdifferenz angelegt wird, injiziert die Kathode Elektronen in die Elektronentransportschicht 26, und diese wandern über diese Schicht zur Leuchtschicht 25. Gleichzeitig werden Löcher aus der Anode 22 in die Lochtransportschicht 24 injiziert und diese migrieren durch diese Schicht in die Leuchtschicht 25. Die Rekombination der Löcher und Elektronen findet in der Leuchtschicht 25 statt, und zwar häufig in Nähe der Verbindung zwischen der Lochtransportschicht 24 und der Leuchtschicht 25. Ein Teil der durch den Rekombinationsprozess freigesetzten Energie tritt als Elektrolumineszenz aus, die durch die transparente Anode oder Kathode und/oder durch das Substrat entweicht.
  • 3 zeigt eine schematische Perspektive einer organischen Passivmatrix-OLED 30 mit teilweise zurückgezogenen Elementen zum Freilegen verschiedener Schichten. Ein lichtdurchlässiges Substrat 31 hat darauf eine Vielzahl seitlich beabstandeter erster Anoden 32 gebildet.
  • Eine organische Lochtransportschicht (HTL) 33, eine organische Leuchtschicht (EML) 34 und eine organische Elektronentransportschicht (ETL) 35 werden nacheinander durch physikalisches Aufdampfen gebildet, wie nachfolgend detaillierter erläutert wird. Eine Vielzahl seitlich beabstandeter Kathoden wird über der organischen Elektronentransportschicht 35 und im Wesentlichen in einer zu den ersten Anoden 32 senkrecht angeordneten Richtung aufgebracht. Eine Vergusskapselung oder Abdeckung 38 schirmt empfindliche Teile des Substrats gegen Umwelteinflüsse ab, womit eine vollständige organische Passivmatrix-OLED 30 bereitgestellt wird.
  • 4 zeigt eine schematische Perspektive eines Systems 100, das zur Herstellung einer relativ großen Zahl organischer Leuchtvorrichtungen geeignet ist, und zwar unter Verwendung automatischer oder (nicht gezeigter) Robotereinrichtungen zum Transport oder zur Übergabe von Substraten oder Strukturen unter einer Vielzahl von Stationen, die sich aus einer Puffernabe 102 und aus einer Übertragungsnabe 104 erstrecken. Eine Vakuumpumpe 106 erzeugt über eine Pumpenöffnung 107 Unterdruck in den Naben 102 und 104 und in jeder der sich von diesen Naben erstreckenden Stationen. Ein Manometer 108 zeigt den Unterdruck im System 100 an. Der Druck kann im Bereich von ca. 0,13 – 0,00013 Pa liegen.
  • Die Stationen umfassen eine Ladestation 110 zur Bereitstellung einer Ladung von Substraten, eine Aufdampfstation 130, die zur Bildung organischer Lochtransportschichten (HTL) vorgesehen ist, eine Aufdampfstation 140, die zur Bildung organischer Leuchtschichten (LEL) vorgesehen ist, eine Aufdampfstation 150, die zur Bildung organischer Elektronentransportschichten (ETL) vorgesehen ist, eine Aufdampfstation 160, die zur Bildung der Vielzahl von zweiten Elektroden (Kathoden) vorgesehen ist, eine Entladestation 103 zur Übergabe von Substraten aus der Puffernabe 102 zur Übergabenabe 104, die ihrerseits eine Speicherstation 170 und eine Kapselungsstation 180 bereitstellt, die mit der Übergabenabe 104 über eine Anschlussöffnung 105 verbunden ist. Jede dieser Stationen ist mit einer sich in die Puffernabe 102 bzw. Übergabenabe 104 erstreckenden Öffnung versehen, und jede Station ist mit einem (nicht gezeigten) vakuumdichten Zugangspunkt versehen, um den Zugang zu einer Station zwecks Reinigung, Materialnachfüllung und Ersatz oder Austausch von Teilen zu ermöglichen. Jede Station umfasst ein Gehäuse, das eine Kammer bildet.
  • 5 ist eine schematische Schnittansicht der Ladestation 110 entlang der Schnittlinien 5-5 aus 4. Die Ladestation 110 ist mit einem Gehäuse 110H versehen, das eine Kammer 110C bildet. In der Kammer 110C ist ein Träger 111 angeordnet, der eine Vielzahl von Substraten 31 mit vorgeformten ersten Elektroden 32 (siehe 3) aufnimmt. Ein alternativer Träger 111 kann zur Halterung einer Vielzahl von Aktivmatrixsubstraten vorgesehen sein. Die Träger 111 können zudem in der Entladestation 103 und in der Speicherstation 170 vorgesehen sein.
  • 6A6F zeigen in schematischer Darstellung eine Folge von Verarbeitungsschritten zur Herstellung eines massiven Presslings 13p aus organischem Lochtransportmaterial (NPB) und einem organischen Wirt für das Leuchtmaterial (Alq) durch Verfestigen eines Pulvers aus organischem Lochtransportmaterial oder Wirtsmaterial 13a in einer Werkzeugvertiefung 526, die in einer uniaxialen Presse 500 angeordnet ist. Die uniaxiale Presse 500 umfasst eine feste Plattform 512 und eine bewegliche Plattform 514 auf Pfosten 516. Die bewegliche Plattform 514 kann durch hydraulische Mittel oder eine Kombination aus hydraulischen und (nicht gezeigten) Luft- oder mechanischen Mitteln angetrieben werden und trägt das Werkzeug 520 sowie einen unteren Stempel 522.
  • In 6a werden Pulver, Flocken, Partikel oder Granulate organischen Lochtransportmaterials oder organischen Leuchtmaterials 13a in die Werkzeugvertiefung 526 bis zu einem Stand 13b über dem unteren Stempel 522 eingefüllt. Heizspulen 520 können das Werkzeug 520 ausgehend von einer Umgebungstemperatur von ca. 20°C auf eine Temperatur von ca. 300°C erwärmen, und mindestens eine Kühlschlange 540 kann ein erwärmtes Werkzeug relativ schnell abkühlen, beispielsweise von einer Temperatur von ca. 300°C auf eine Temperatur von 50°C oder auf eine Umgebungstemperatur. Das Werkzeug 520 ist also induktiv erwärmbar.
  • 6B zeigt einen in der Werkzeugvertiefung 526 angeordneten oberen Stempel 524, der eine obere Fläche (den Füllstand 13b) des organischen Pulvers 13a berührt.
  • Die Innenfläche 521 des Werkzeugs 520 ist eine polierte Fläche, und zumindest die Oberfläche 523 des unteren Stempels 522 und die Oberfläche 525 des oberen Stempels 524 sind ebenfalls polierte Flächen. Das Werkzeug sowie der obere und untere Stempel werden in Teilen der vorliegenden Beschreibung gemeinsam ebenfalls als Werkzeug bezeichnet.
  • In 6c wird die bewegliche Plattform 514 gezeigt, wie sie nach oben in einer Richtung zur feststehenden Plattform 512 angetrieben wird, wobei von dem oberen und von dem unteren Stempel 524, 522 Druck ausgeübt wird. Eine uniaxiale Presse 500, die Druck nur in einer Richtung ausübt, wirkt auf den oberen Stempel 524 und auf den unteren Stempel 522, so dass der obere und untere Stempel (524 bzw. 522) gemeinsam Druck auf das organische Pulvermaterial 13a in dem Werkzeug 526 ausüben, so dass sich dieses zu einem massiven Pressling 13p verfestigt. Der durch die uniaxiale Presse 500 ausgeübte Verfestigungsdruck wechselt zwischen 138 und 1035 Bar, vorzugsweise zwischen 275 und 690 Bar, um hochdichte massive Presslinge zu erhalten. Die Stempel werden in dem Werkzeug derart vorpositioniert, dass sich eine Vertiefung bildet, die das richtige Volumen des OLED-Pulvers aufnehmen kann, um nach der Verfestigung das erforderliche Maß des massiven Presslings zu erhalten.
  • In 6D ist die bewegliche Plattform 514 abgesenkt und der obere Stempel 524 wurde aus dem Werkzeug 520 entnommen. Das Werkzeug 520 kann während oder vor Anwendung des Drucks durch die sich gegenüberliegenden Stempel 524, 522 erwärmt werden. Dies gilt, solange die erwärmte Partikelmischung dazu beiträgt, das sich die Pulvermischung zu einem massiven Pressling verfestigt. Wenn das Werkzeug 520 vor oder während der Erzeugung des massiven Presslings 13p erwärmt worden ist, wird der obere Stempel 524 bei Abkühlen auf eine Temperatur im Bereich von 20°C bis 80°C über die mindestens eine Kühlschlange 540 aus dem Werkzeug entnommen.
  • In 6E wird das Werkzeug 520 aus der uniaxialen Presse 500 entnommen dargestellt, wobei der untere Stempel 522 ebenfalls aus dem Werkzeug 520 entnommen ist. Zur besseren Veranschaulichung ist der organische massive Pressling 13p so dargestellt, dass er an der Innenfläche 521 des Werkzeugs 520 anliegt.
  • In 6F dient ein Presslingstößel 550 zur Entnahme des organischen massiven Presslings 13p aus dem Werkzeug 520. Der organische massive Pressling 13p wird in einem passenden Behälter 560 aufgefangen, um das Risiko einer Beschädigung des organischen massiven Pressling 13p zu minimieren.
  • Das Erwärmen des Werkzeugs 520 vor oder während der Anwendung von Druck in der uniaxialen Presse 500 kann zu einer stärkeren Verdichtung des organischen massiven Presslings 13p während eines verkürzten Druckintervalls oder – alternativ hierzu – bei geringerem Druck beitragen. Ein bevorzugter Bereich der Werkzeugtemperatur erstreckt sich von 50°C bis 300°C. Die Werkzeugtemperatur wird im Allgemeinen unterhalb der Glasübergangstemperatur Tg des organischen Materials gehalten, das den organischen massiven Pressling 13p bildet. Das Werkzeug 520 wird auf eine bevorzugte Temperatur im Bereich von 80°C bis 20°C vor Entnahme des organischen massiven Presslings 13p aus dem Werkzeug 520 und vorzugsweise vor Entfernung des oberen Stempels 524 aus dem Werkzeug 520 abgekühlt.
  • Der Begriff „Pulver" umfasst feine Materialkörner, Flocken, Partikel oder Granulat aus organischem Lochtransportmaterial 13a und kann eine Mischung bezeichnen, die eine oder mehrere Lochtransportmaterialien und ein oder mehrere organische Dotierungsmaterialien umfasst. Ein organischer massiver Pressling 13p aus einer derartigen Mischung kann in eine physikalische Aufdampfquelle zur Herstellung einer dotierten, organischen Lochtransportschicht 13 auf einem Substrat angeordnet werden.
  • Dotierungen, die zur Erzeugung einer aufgedampften, dotierten, organischen Leuchtschicht auf einem Substrat geeignet sind, werden in der Parallelanmeldung US-A-4,769,292 und US-A-5,294,870 beschrieben.
  • Ein (nicht gezeigtes) entfernbares Schirmblech kann dazu verwendet werden, den unteren Stempel 522, das Werkzeug 520 und zumindest einen Teil des oberen Stempels 524 zu umfassen. Das Schirmblech und die davon umschlossenen Elemente können auf einen reduzierten Druck evakuiert werden. Alternativ dazu kann ein Inertgas in das Schirmblech eingeleitet werden, um eine inerte, d.h. eine chemisch nicht reaktive Atmosphäre innerhalb des Schirmblechs zu erzeugen, so dass das organische Pulver (z.B. 13a) und der darin geformte massive Pressling (z.B. 13p) vor Zersetzung geschützt sind, wenn das Werkzeug 520 auf eine Temperatur von über 300°C erwärmt wird. Dies ist auch für organische Pulver dienlich, die sehr empfindlich gegenüber Feuchtigkeit sind, da diese während des Verfestigungsvorgangs möglicherweise in dem Pressling 13p eingeschlossen wird.
  • Die Oberflächen 523 und 525 der Stempel können plane Flächen sein. Alternativ dazu kann die Oberfläche 523 des unteren Stempels 522 oder die Oberfläche 525 des oberen Stempels 524 eine konkave Fläche sein, oder beide Flächen 523 und 525 können eine konkave Form aufweisen, so dass ein massiver Pressling coplane Hauptflächen aufweist, nämlich eine plane Hauptfläche und eine konvexe Hauptfläche oder zwei konvexe Hauptflächen.
  • 7A7E zeigen Beispiele für Formen von massiven Presslingen aus organischen Materialien, die in der uniaxialen Presse 500 aus 6A6D herstellbar sind, indem man die gewünschten Werkzeuge 520 und die entsprechenden unteren und oberen Stempel 524 bzw. 522 wählt.
  • 7A zeigt einen zylinderförmigen Pressling 13pA aus einem organischen Lochtransportmaterial mit zwei coplanen Hauptflächen 13pA-1 und 13pA-2.
  • 7B zeigt einen kreisförmigen Pressling 13pB mit einer planen Hauptfläche 13pB-1 und einer gegenüberliegenden konvexen Hauptfläche 13pB-2.
  • 7C zeigt einen kreisförmigen Pressling 13pC mit zwei konvexen Hauptflächen 13pC-1 und 13pC-2.
  • 7D zeigt einen langgestreckten Pressling 13pD mit zwei coplanen Hauptflächen 13pD-1 und 13pD-2.
  • 7E zeigt einen langgestreckten Pressling 13pE mit einer planen Hauptfläche 13pE-1 und einer gegenüberliegenden konvexen Hauptfläche 13pE-2.
  • Eine bestimmte Form eines Presslings wird derart ausgewählt, dass sie mit einer bestimmten Aufdampfungsquelle kompatibel ist, in der der Pressling angeordnet wird. Beispielsweise können ein oder mehrere Presslinge 13pA (siehe 7A) vorteilhaft in einer zylinderförmigen Aufdampfungsquelle mit einer planen Bodenfläche verwendet werden. Ein oder mehrere Presslinge 13pE (siehe 7E) können vorteilhaft in einer langgestreckten zylindrischen, röhrenförmigen Aufdampfungsquelle verwendet werden, wobei eine Krümmung der konvexen Hauptfläche 13pE-2 ungefähr einem Radius einer Vertiefung dieser zylindrischen, röhrenförmigen Aufdampfungsquelle entspricht.
  • 8 zeigt eine schematische Schnittansicht der Aufdampfstation 130 für Lochtransportschichten, Elektronentransportschichten oder Leuchtschichten entlang der Schnittlinien 8-8 aus 4. Ein Gehäuse 130H bildet eine Kammer 130C. Ein Substrat 31 (siehe 1) wird in einem Halter 131 gehaltert, der als Maskenrahmen konstruiert sein kann. Eine Aufdampf quelle 134 ist auf dem thermisch isolierenden Träger 132 angeordnet, wobei die Quelle 134 mit einem Pressling 13p aus organischem Lochtransportmaterial gefüllt ist, beispielsweise einem Pressling 13pA aus 5A. Die Quelle 134 wird von Heizelementen 135 erwärmt, die über Kabel 245 und 247 mit entsprechenden Ausgangsanschlüssen 244 bzw. 246 eines Netzteils 240 verbunden sind.
  • Wenn eine Quellentemperatur ausreichend hoch ist, verdampft oder sublimiert ein Teil des Presslings und erzeugt damit eine Auftragezone 13v aus Dampf des organischen Lochtransportmaterials, wie schematisch anhand von Strichlinien und Pfeilen dargestellt. Auf ähnliche Weise können auch andere organische Schichten, wie Elektronentransportschichten und Leuchtschichten, durch physikalisches Aufdampfen nacheinander zur Ausbildung der OLED 30 erzeugt werden.
  • Das Substrat 31 sowie der herkömmliche Kristallmassensensor 200 sind in der Auftragungszone angeordnet, und jedes dieser Elemente ist mit einer organischen Lochtransportschicht (HTL) versehen, die darauf ausgebildet ist, wie anhand der Bezugsziffer 13f und der gestrichelten Umrisslinie gezeigt.
  • Wie in der Technik bekannt, ist der Kristallmassensensor 200 über eine Leitung 210 mit einem Eingangsanschluss 216 eines Auftragungsratenmonitors 220 verbunden. Der Kristallmassensensor 200 ist Teil einer Oszillatorschaltung, die in dem Auftragungsratenmonitor 220 vorgesehen ist, wobei die Schaltung bei einer Frequenz oszilliert, die ungefähr umgekehrt proportional zu einer Massenladung des Kristalls ist, etwa einer Massenladung durch die gebildete Schicht 13f. Der Auftragungsratenmonitor 220 umfasst eine Differenzierschaltung, die ein Signal erzeugt, das zu einer Rate der Massenladung proportional ist, also proportional zu einer Auftragungsrate der Schicht 13f. Das Signal wird von dem Auftragungsratenmonitor 220 angezeigt und liegt an dessen Ausgangsanschluss 222 bereit. Eine Leitung 224 verbindet dieses Signal mit dem Eingangsanschluss 226 einer Steuerung oder eines Verstärkers 230, der ein Ausgangssignal an einem Ausgangsanschluss 232 bereitstellt. Das letztgenannte Ausgangssignal wird über Leitung 234 und Eingangsanschluss 236 zum Eingangssignal des Netzteils 240.
  • Wenn der Dampfstrom in der Dampfauftragungszone 13v vorübergehend stabil ist, setzt sich der Aufbau oder das Wachstum der Schicht 13f mit konstanter Rate fort. Der Auftragungs ratenmonitor 220 stellt am Ausgangsanschluss 222 ein konstantes Signal bereit, und das Netzteil 240 erzeugt an den Heizelementen 135 der Quelle 134 über die Leitungen 245 und 247 einen konstanten Strom, wodurch der vorübergehend stabile Dampfstrom in der Auftragungszone erhalten bleibt. Unter stabilen Aufdampfungsbedingungen, also unter Bedingungen einer konstanten Auftragungsrate, wird eine gewünschte endgültige Dicke einer organischen Lochtransportschicht 33 oder einer organischen Leuchtschicht 34 oder einer organischen Elektronentransportschicht 35 (siehe 3) auf der Struktur und am Kristallmassensensor 200 während einer festen Auftragungsdauer erzielt, wobei zu diesem Zeitpunkt der Dampfauftrag durch Abschalten der Heizung der Quelle 134 oder durch Anordnung eines (nicht gezeigten) Verschlusses über der Quelle beendet wird.
  • Zwar zeigt 8 zu Illustrationszwecken eine relativ einfache Tiegelquelle 134, aber es sei darauf hingewiesen, dass zahlreiche andere Quellenkonfigurationen verwendbar sind, um verdampfte oder sublimierte Dämpfe organischer Materialien in einer Auftragungszone zu erzeugen.
  • 8 zeigt einen einzelnen Kristallmassensensor 200 zur Verdeutlichung der Zeichnung.
  • 9 zeigt eine schematische, langgestreckte Schnittansicht einer zylindrischen, röhrenförmigen, physikalischen Aufdampfungsquelle 700. Die Vorrichtung umfasst eine röhrenförmige Quelle 710 mit einer Mittellinie CL. Die röhrenförmige Quelle 710 lagert in thermisch und elektrisch isolierenden Abschlusskappen 732 und 734, die zudem eine Wärmeabschirmung 740 mit einer wärmereflektierenden Oberfläche 742 haltern.
  • Die röhrenförmige Quelle 710 bildet gemeinsam mit den Haltern der Wärmeabschirmung und den Abschlusskappen 732 und 734 einen Hohlraum 712, in den drei langgestreckte, massive Presslinge 13p aus organischem Lochtransportmaterial durch eine entfernbare Hohlraumdichtung 758 eingebracht worden sind.
  • Die röhrenförmige Quelle 710 umfasst eine Vielzahl von Öffnungen 714, die sich in den Hohlraum 712 erstrecken. Die Öffnungen 714 sind in einer Reihe des Längenmaßes L angeordnet, das dreimal größer als das Höhenmaß H der röhrenförmigen Quelle ist (für eine zylindrische, röhrenförmige Quelle entspricht H dem Durchmesser des Hohlraums 712). Die Öffnungen 714 haben einen Durchmesser d und einen Mitten-Mitten-Abstand 1.
  • Ein Gleitsitz 760 ist an der Wärmeabschirmung 740 angebracht und mit einem schwalbenschwanzförmigen Zapfen 760T sowie einer Gewindebohrung 762 versehen. In die Gewindebohrung 762 kann eine (nicht gezeigte) Leitspindel eingreifen, um die Baugruppe 700 in einer Kammer in Bezug zu einem in dieser Kammer angeordneten Substrat zu verschieben, zu bewegen oder abzutasten.
  • Bei Anordnung in einer Kammer unter einem reduzierten Druck von weniger als 0,13 Pa (beispielsweise der Kammer 130C der Lochtransportschicht-Aufdampfungsstation 130 aus 2) wird eine Sublimation oder Verdampfung des organischen Lochtransportmaterials der Presslinge 13p bewirkt, indem ein elektrischer Strom an der Folie 757F der Heizlampe 757 über die Lampenleitungen 757a und 757b zugeführt wird. Die Heizlampe 757 ist in dem Hohlraum 712 angeordnet und lagert in den Wärmeabschirmungsträgern und den Abschlusskappen 732, 734 in einer zur Mittellinie CL nach oben zu den Öffnungen 714 der röhrenförmigen Quelle 710 versetzten Position. Die im Hohlraum 712 gebildeten Dampfschwaden können somit durch die Öffnungen 714 aus dem Hohlraum austreten.
  • Die langgestreckten Presslinge 13p können ähnlich wie der Pressling 13pE aus 7E geformt sein, so dass sich eine konvexe Hauptfläche in Kontakt mit einer Innenfläche der zylindrischen, röhrenförmigen Quelle 710 befindet, wobei eine plane Hauptfläche des Presslings nach oben der Heizlampe 757 zugewandt ist.
  • Die Zeichnungen (8 und 9) zeigen zwar zwei Beispiele von Aufdampfungsquellen, aber es sei darauf hingewiesen, dass das erfindungsgemäße Verfahren zur Handhabung organischer Materialien mithilfe massiver Presslinge und die Verwendung derartiger Presslinge zur Herstellung von organischen Leuchtvorrichtungen (OLED) in unterschiedlichen physikalischen Wärmeaufdampfungsquellen und -systemen verwendbar ist.
  • In 6A6F, 7A7E, 8 und 9 wurden die Verfahren zur Herstellung und Verwendung massiver Presslinge in Bezug auf organische Lochtransportmaterialien und daraus hergesteller Presslinge 13p beschrieben. Die erfindungsgemäßen Verfahren umfassen zudem die Herstellung und Verwendung massiver Presslinge aus dotierten oder undotierten Leuchtmaterialien und aus dotierten und undotierten Elektronentransportmaterialien zur Erzeugung entsprechender massiver Presslinge zur Herstellung einer dotierten oder undotierten organi schen Elektrolumineszenzschicht bzw. einer dotierten oder undotierten organischen Elektronentransportschicht auf einem Substrat, wie einer Schicht 34 (Leuchtschicht) und 150 (Elektronentransportschicht) der OLED-Vorrichtung 100 aus 4.
  • 10 zeigt ein Ablaufdiagramm zur Darstellung der Schritte zur Herstellung eines massiven Presslings aus einer Mischung aus einem Pulver eines sublimierbaren OLED-Materials und einem Pulver eines wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Materials.
  • Das Verfahren beginnt mit Schritt 800. In Schritt 810 wird ein sublimierbares OLED-Material in Pulverform bereitgestellt. Sublimierbare organische Materialien umfassen organische dotierte oder undotierte Lochtransportmaterialien, organische (lichtemittierende) Materialien und dotierte oder undotierte organische Elektronentransportmaterialien.
  • In Schritt 812 wird ein Gewichtsanteil (einer zu bildenden Mischung) des OLED-Pulvermaterials ausgewählt. Ein bevorzugter Gewichtsanteil des OLED-Pulvermaterials liegt in einem Bereich von 50–99 Prozent.
  • In Schritt 820 wird ein wärmeleitendes und nicht sublimierbares keramisches Material in Pulverform bereitgestellt. Bevorzugte wärmeleitende und nicht sublimierbare keramische Materialien sind u.a. Pulver aus Aluminiumnitrid, Titancarbid oder Wolframcarbid oder sonstige wärmeleitende Carbide oder Nitride oder Mischungen daraus.
  • In Schritt 822 wird ein Gewichtsanteil (einer zu bildenden Mischung) des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Materials in einem bevorzugten Bereich von 1,0–50 Prozent ausgewählt.
  • In Schritt 830 werden die gewählten Gewichtsanteile des sublimierbaren OLED-Pulvermaterials und des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Pulvermaterials gemischt, um eine relativ einheitliche und homogene Mischung zu erzeugen.
  • In Schritt 840 wird die Mischung (oder ein Teil der Mischung) in ein Werkzeug eingebracht und ausreichender Druck auf den unteren und oberen Stempel ausgeübt, um die Mischung zu einem massiven Pressling zu verfestigen. Das Werkzeug kann dann auf eine Temperatur in einem Bereich zwischen 50°C und 300°C erwärmt werden, ohne die Glasübergangstemperatur der organischen Materialien zu überschreiten, und zwar vor oder während der Ausübung ausreichenden Drucks auf die Mischung mithilfe der Stempel.
  • In Schritt 850 wird der massive Pressling aus dem Werkzeug entnommen. Falls das Werkzeug erwärmt worden war, wird das Werkzeug auf eine Temperatur im Bereich von 50°C bis 20°C vor Entnahme des massiven Presslings aus dem Werkzeug abgekühlt. Dieser Prozess wird dann abgeschlossen, wie in Schritt 860 gezeigt.
  • Der oder die Presslinge können in eine Kammer einer physikalischen Aufdampfungsquelle eingelegt werden, um eine organische Schicht auf einem Substrat herzustellen, das Teil einer OLED bildet.
  • 11 zeigt ein Ablaufdiagramm zur Darstellung der Schritte zur Verfestigung eines Presslings, indem erstens ein Pulver eines sublimierbaren organischen OLED-Wirtsmaterials (Alq und NPB) mit einem Pulver eines sublimierbaren, organischen Dotierungsmaterials gemischt wird und zweitens die Mischung aus Wirtsmaterial und Dotierung mit einem Pulver aus einem wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Material gemischt wird.
  • Das Verfahren beginnt mit Schritt 900. In Schritt 902 wird ein sublimierbares organisches OLED-Wirtsmaterial in Pulverform bereitgestellt. Sublimierbare organische OLED-Wirtsmaterialien umfassen organische Lochtransportmaterialien, organische Wirtsleuchtmaterialien und organische Elektronentransport-Wirtsmaterialien.
  • In Schritt 904 wird ein gewählter Gewichtsanteil eines Pulvers aus einem sublimierbaren, organischen Dotierungsmaterial bereitgestellt. Der ausgewählte Gewichtsanteil hängt von dem zu dotierenden OLED-Wirtsmaterial, der Klasse des gewählten Dotierungsmaterials oder der Klassen der gewählten Dotierungsmaterialien und einer Konzentration der Dotierungen in dem Wirtsmaterial ab, so dass eine auf einem Substrat herzustellende Schicht eine vorbestimmte Dotierungskonzentration in dem Wirtsmaterial aufweist.
  • In Schritt 906 wird der gewählte Gewichtsanteil des organischen Dotierungsmaterials mit dem organischen Wirtsmaterial gemischt, um eine relativ homogene erste Mischung organischer Materialien zu erhalten.
  • Nach einer Verzögerung 905 auf den Startbefehl 900 veranlasst ein verzögerter Startbefehl 915 die Bereitstellung eines wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Materials in Pulverform in Schritt 920. Bevorzugte wärmeleitende und nicht sublimierbare keramische Materialien sind u.a. Pulver aus Aluminiumnitrid, Titancarbid oder Wolframcarbid oder sonstige wärmeleitende Carbide oder Nitride oder Mischungen daraus.
  • In Schritt 912 wird ein Gewichtsanteil (einer zweiten zu bildenden Mischung) der ersten Wirts-Dotierungsmischung ausgewählt. Ein bevorzugter Gewichtsanteil dieser organischen Mischung liegt in einem Bereich von 50–99 Prozent.
  • In Schritt 922 wird ein Gewichtsanteil (der zweiten zu bildenden Mischung) des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Materials in einem bevorzugten Bereich von 1–50 Prozent ausgewählt.
  • In einem Schritt 930 werden die gewählten Gewichtsanteile der ersten organischen Wirts-Dotierungspulvermischung und des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Pulvermaterials gemischt, um eine relativ gleichmäßige zweite Mischung bereitzustellen, die einen gewählten Teil der ersten Mischung und des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Pulvermaterials umfasst.
  • In Schritt 940 wird die zweite Mischung (oder ein Teil der zweiten Mischung) in ein Werkzeug eingebracht und ausreichender Druck auf den Stempel ausgeübt, um die zweite Mischung zu einem massiven Pressling zu verfestigen.
  • Das Werkzeug kann dann vor oder während der Ausübung ausreichenden Drucks auf die Mischung mithilfe der Stempel auf eine Temperatur in einem Bereich zwischen 20°C und 300°C erwärmt werden.
  • In Schritt 950 wird der massive Pressling aus dem Werkzeug entnommen. Falls das Werkzeug erwärmt worden war, wird das Werkzeug auf eine Temperatur im Bereich von 80°C bis 20°C vor Entnahme des massiven Presslings aus dem Werkzeug abgekühlt. Dieser Prozess wird dann abgeschlossen, wie in Schritt 960 gezeigt.
  • Der oder die Presslinge können in eine Kammer einer physikalischen Aufdampfungsquelle eingelegt werden, um eine dotierte organische Schicht auf einem Substrat herzustellen, die Teil einer organischen Leuchtvorrichtung (OLED) bildet.
  • Eine dotierte organische Lochtransportschicht oder -unterschicht und eine dotierte organische Elektronentransportschicht oder -unterschicht kann einer OLED eine verbesserte operative Stabilität der Lichtemission verleihen; eine dotierte organische Leuchtschicht kann einer OLED eine verbesserte Lichtemission sowie eine verbesserte Leuchtdichte innerhalb des sichtbaren Bereichs verleihen. Dotierte Schichten oder Unterschichten können OLEDs erzeugen, die bei reduzierten Treiberspannungen betreibbar sind.
  • ARBEITSBEISPIELE
  • Beispiel 1
  • Das organische, pulverförmige Leuchtmaterial Alq wurde in einer Kugelmühle in Anteilen von 5 und 10 Gew.-% mit wärmeleitendem A1N-Keramikpulver gründlich gemischt. Die Pulvermischung wurde dann in einer Hydraulikpresse in einem Werkzeug unter einem Druck von 207 bis 1034 Bar und einer Werkzeugtemperatur zwischen 60 und 300°C verfestigt. Massive Presslinge mit einer guten physikalischen Integrität und einer Dichte von mehr als 90% der theoretischen Dichte wurden dann als Verdampfungsquellen zur Ablagerung von Leuchtschichten für OLED-Vorrichtungen verwendet. Presslinge, die zwischen 207 und 827 Bar verfestigt wurden, vorzugsweise zwischen 345 und 689 Bar und in einem Temperaturbereich von 50°C bis 120°C erzielten die beste Leistung der Vorrichtung, vergleichbar mit den Kontrollproben aus Alq-Pulvermaterial.
  • Beispiel 2
  • Das organische Lochtransport-Wirtsmaterial NPB-Pulver wurde in einer Kugelmühle in Anteilen von 5 und 10 Gew.-% mit wärmeleitendem A1N-Keramikpulver gründlich gemischt. Die Pulvermischung wurde dann in einer Hydraulikpresse in einem Werkzeug unter einem Druck von 138 bis 1034 Bar und einer Werkzeugtemperatur zwischen 60 und 200°C verfestigt. Massive Presslinge mit einer guten physikalischen Integrität und einer Dichte von mehr als 90% der theoretischen Dichte wurden dann als Verdampfungsquellen zur Ablagerung von Lochtransportschichten für OLED-Vorrichtungen verwendet.
  • Presslinge, die zwischen 138 und 689 Bar verfestigt wurden, vorzugsweise zwischen 206 und 552 Bar und in einem Temperaturbereich von 50°C bis 100°C erzielten die beste Leistung der Vorrichtung, vergleichbar mit den Kontrollproben aus NPB-Pulvermaterial.
  • Vergleichsbeispiel
  • Organische Alq- und NPB-Pulver wurden mit 5 bis 25 Gew.-% thermisch leitender Metallpulver aus Kupfer und Aluminium gemischt. Das organische Leuchtmaterial Alq und das organische Lochtransportmaterial NPB-Pulver wurden jeweils in einer Kugelmühle in Anteilen von 5 und 25 Gew.-% mit wärmeleitendem A1- und Cu-Metallpulver gründlich gemischt. Die Pulvermischung wurde dann in einer Hydraulikpresse in einem Werkzeug unter einem Druck von 138 bis 1034 Bar und einer Werkzeugtemperatur zwischen 60 und 200°C verfestigt. Massive Presslinge mit einer guten physikalischen Integrität und einer Dichte von mehr als 90% der theoretischen Dichte wurden dann als Verdampfungsquellen zur Ablagerung von Leucht- und Lochtransportschichten für OLED-Vorrichtungen verwendet. Diese Vorrichtungen wiesen eine schlechte elektrooptische Leistung in Bezug auf Kontrollvorrichtungen auf, die aus den jeweiligen Pulverquellen angefertigt worden waren. Es hat den Anschein, dass Cu- und A1-Metallreste eine Verunreinigung der OLED-Vorrichtungen bewirkten.
  • Ein oder mehrere organische Wirtsmaterialien in Pulverform sowie ein oder mehrere organische Dotierungsmaterialien in Pulverform können miteinander gemischt werden, um eine erste Mischung aus organischen Materialien zu erzeugen, die dann mit dem wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Pulvermaterial gemischt wird, um eine zweite Mischung zur erzeugen, aus der ein massiver Pressling geformt wird.

Claims (10)

  1. Verfahren zur Herstellung einer organischen Schicht aus einem organischen Material auf einem Substrat, das Teil einer organischen Leuchtvorrichtung ist, mit folgenden Schritten: (a) Bereitstellen eines sublimierbaren, organischen Materials in Pulverform; (b) Bereitstellen eines wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Materials in Pulverform; (c) Erzeugen einer Mischung des sublimierbaren organischen Pulvermaterials und des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Pulvermaterials; (d) Anordnen dieser Mischung in einer Form und Ausübung ausreichenden Drucks unter Verwendung von zwei entgegenwirkenden Stempeln auf die Mischung; (e) Beaufschlagen der Form mit Wärme vor der Ausübung von Druck mithilfe der beiden entgegenwirkenden Stempel zur Verfestigung der Pulvermischung zu einem festen Pressling; und (f) Entfernen des Presslings aus der Form.
  2. Verfahren zur Verwendung des in Anspruch 1 gebildeten Presslings zur Herstellung einer Schicht aus einem organischen Material für eine OLED-Vorrichtung mit folgenden Schritten: (a) Anordnen des Presslings in einer in einer Kammer angeordneten, physikalischen Aufdampfungsquelle; (b) Anordnen des Substrats in der Kammer und in einer beabstandeten Beziehung in Bezug zur Quelle; (c) Evakuieren der Kammer auf einen reduzierten Druck; und (d) Anwenden von Wärme auf die Quelle, damit zumindest ein Teil des organischen Materials in dem Pressling sublimiert, während das wärmeleitende Keramikmaterial unsublimiert bleibt, um einen Dampf des organischen Materials zu erzeugen, welcher die organische Schicht auf dem Substrat bildet.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, worin Schritt (a) das Bereitstellen eines organischen Lochtransportmaterials, eines organischen Ausströmungsmaterials oder eines organischen Elektronentransportmaterials umfasst.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, worin Schritt (a) zudem das Bereitstellen mindestens eines organischen Lochtransport-Wirtsmaterials und mindestens eines organischen Dotierungsmaterials dafür, mindestens eines organischen Ausströmungs-Wirtsmaterials und mindestens eines organischen Dotierungsmaterials dafür oder mindestens eines organischen Elektronentransport-Wirtsmaterials und mindestens eines organischen Dotierungsmaterials dafür umfasst.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, worin das wärmeleitende keramische Material aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Aluminumnitrid, Wolframcarbid und Titancarbid oder Mischungen daraus besteht.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, worin Schritt (c) das Auswählen eines Teils des sublimierbaren organischen Pulvermaterials in einem Bereich von 50 bis 99 Gew.% und das Auswählen eines Teils des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Pulvermaterials in einem Bereich von 1 bis 50 Gew.% umfasst.
  7. Verfahren nach Anspruch 2, worin Schritt (a) das Anordnen von mehr als einem Pressling in der physikalischen Aufdampfungsquelle umfasst.
  8. Verfahren nach Anspruch 1, worin Schritt (f) Temperaturen in einem Bereich von 50 bis 200°C umfasst.
  9. Verfahren zur Herstellung fester Presslinge aus sublimierbarem, organischen Material, das zur Herstellung einer organischen Schicht auf einem Substrat anpassbar ist, welches Teil einer organischen Leuchtvorrichtung bildet, mit folgenden Schritten: (a) Bereitstellen mindestens eines sublimierbaren, organischen Wirtsmaterials in Pulverform; (b) Bereitstellen mindestens eines sublimierbaren, organischen Dotierungsmaterials in Pulverform und als einen ausgewählten Gewichtsanteil des organischen Wirtsmaterials; (c) Herstellen einer ersten Mischung des mindestens einen organischen Wirtsmaterials und des mindestens einen organischen Dotierungsmaterials; (d) Bereitstellen eines wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Materials in Pulverform; (e) Herstellen einer zweiten Mischung von ausgewählten Teilen der ersten Mischung und des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Pulvermaterials; (f) Anordnen dieser Mischung in einer Form und Ausübung von ausreichendem Druck durch Verwendung von zwei entgegenwirkenden Stempeln auf die Mischung; (g) Beaufschlagen der Form mit Wärme vor der Ausübung von Druck mithilfe der beiden entgegenwirkenden Stempel zur Verfestigung der zweiten Pulvermischung zu einem festen Pressling; und (h) Entfernen des Presslings aus der Form.
  10. Verfahren zur Herstellung einer organischen Schicht aus einem organischen Material auf einem Substrat, das Teil einer organischen Leuchtvorrichtung ist, mit folgenden Schritten: (a) Bereitstellen mindestens eines sublimierbaren, organischen Wirtsmaterials in Pulverform; (b) Bereitstellen mindestens eines sublimierbaren, organischen Dotierungsmaterials in Pulverform und als einen ausgewählten Gewichtsanteil des organischen Wirtsmaterials; (c) Herstellen einer ersten Mischung des mindestens einen organischen Wirtsmaterials und des mindestens einen organischen Dotierungsmaterials; (d) Bereitstellen eines wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Materials in Pulverform; (e) Herstellen einer zweiten Mischung von ausgewählten Teilen der ersten Mischung und des wärmeleitenden und nicht sublimierbaren keramischen Pulvermaterials; (f) Anordnen der zweiten Mischung in einer Form und Ausübung eines ausreichenden Drucks unter Verwendung von zwei entgegenwirkenden Stempeln auf die zweite Mischung in der Form; (g) Beaufschlagen der Form mit Wärme vor der Ausübung von Druck mithilfe der beiden entgegenwirkenden Stempel zur Verfestigung der zweiten Pulvermischung in der Form zu einem festen Pressling; (h) Entfernen des Presslings aus der Form; (i) Anordnen des Presslings in einer in einer Kammer angeordneten, physikalischen Aufdampfungsquelle; (j) Anordnen des Substrats in der Kammer und in einer beabstandeten Beziehung in Bezug zur Quelle; (k) Evakuieren der Kammer auf einen reduzierten Druck; und (l) Beaufschlagen der Quelle mit Wärme, so dass ein Teil des Presslings sublimiert und einen Dampf aus der ersten Mischung von organischen Materialien erzeugt, aus denen die organische Schicht auf dem Substrat gebildet wird.
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