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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Reinigung
einer Polierfläche
einer Poliervorrichtung, in der ein zu polierendes Werkstück, beispielsweise
ein Halbleiter-Wafer gegen die Polierfläche eines Poliergewebes, eines
abrasiven Polierrades und so weiter auf einem Poliertisch gedrückt wird,
um das Werkstück
durch eine Relativbewegung zwischen der Polierfläche und dem Werkstück zu polieren.
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Üblicherweise
bringt diese Bauart einer Poliervorrichtung das Problem mit sich,
dass der Rest eines polierten Werkstückes, beispielsweise eines Halbleiter-Wafers
der auf der Polierfläche
des Poliergewebes bleibt, ein Werkstück im folgenden Polierprozess
beschädigen
kann. Um das Problem zu lösen,
wird eine Reinigungsflüssigkeit,
beispielsweise reines Wasser oder Stickstoffgas auf die Polieroberfläche gesprüht, wenn
die Polieroberfläche
des Poliergewebes einem Abrichtvorgang bzw. Aufbereitungsvorgang
durch eine Abrichtvorrichtung (Regenerationsvorrichtung) unterworfen
ist, wodurch der Rest des polierten Werkstückes auf der Polierfläche aus
dem System herausgebracht wird.
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Wenn
reines Wasser auf die Polierfläche
als Reinigungsflüssigkeit
gesprüht
wird, steigt die Menge des im gesamten System verwendeten reinen
Wassers, und die Menge des reinen Wassers, die zu einer Poliereinheit
geliefert werden muss, wird unzureichend. Darüber hinaus kann reines Wasser,
wenn es auf die Polierfläche
des Poliergewebes unter niedrigem Druck gesprüht wird, nicht beim Abtragen
des Polier- bzw. Abriebrestes aus den Ausnehmungen in der Poliergewebeoberfläche helfen.
Folglich ist es nötig,
einen Aufbereitungs- bzw.
Abrichtvorgang mit einer ausreichend schweren Last auszuführen. Wenn jedoch
das Poliergewebe unter einer gesteigerten Belastung abgerichtet
wird, nimmt die Entfernung von Grundstoff vom Poliergewebe durch
das Abrichten zu. Somit nutzt sich das Poliergewebe mit einer gesteigerten
Rate ab.
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Wenn
reines Wasser unter hohem Druck aufgesprüht wird, um den Entfernungseffekt
für Polierreststoffe
zu verbessern, nimmt die Menge des verwen deten reinen Wassers natürlich weiter
zu, was bewirkt, dass die Reinwasserversorgung unzureichend wird.
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Zwischenzeitlich
ist das Verfahren, bei dem Stickstoffgas auf die Polierfläche geblasen
wird, um die Polierreststoffe weg nach außen aus dem System zu blasen
wirksam, hat jedoch den Nachteil, dass die Polierreststoffe dadurch
getrocknet werden können, dass
sie mit Stickstoffgas angeblasen werden, so dass sie sogar noch
fester auf der Poliergewebeoberfläche festgesetzt werden können. Darüber hinaus bewirkt
das Aufblasen von Stickstoffgas, dass die Polierreststoffe sich
verteilen und die Umgebung des Systems verunreinigen, d.h. die Umgebung
um den Poliertisch. Dies bringt nachteilige Effekte für den darauf
folgenden Poliervorgang mit sich.
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Weiterhin
sei hingewiesen auf
DE
197 37 854 A1 , die ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Reinigung
des Polierkissens einer Poliervorrichtung für Halbleiter-Wafer zeigt. Die
Vorrichtung weist einen Verteiler mit flachen Düsen an einer Austrittsseite
davon auf, die zur Oberfläche
des zu reinigenden Polierkissens gerichtet sind. Eine Wasserversorgung und
eine Gasversorgung sind vorgesehen, um Wasser und Gas mit hohem
Druck zum Verteiler zu liefern. Weiterhin ist eine getrennte Düse vorgesehen, um
einen Hochdruckwasserstrom auf die Oberfläche des zu reinigenden Polierkissens
in einem vorbestimmten Winkel zu leiten. Während der Reinigung des Polierkissens
werden Wasser und Stickstoffgas unter hohem Druck in den Verteiler
geleitet, wo das Wasser durch das Stickstoffgas zerstäubt und
mit diesem vermischt wird. Darauf folgend wird die Wasser-Gas-Mischung
direkt auf das Polierkissen durch die Düsen des Verteilers geleitet.
Gleichzeitig dazu wird ein Hochdruck-Wasserstrom auf die Oberfläche des
Polierkissens durch die getrennte Düse geleitet.
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Die
vorliegende Erfindung wurde in Hinblick auf die oben beschriebenen
Umstände
gemacht. Entsprechend ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung,
ein Polieroberflächenreinigungsverfahren
vorzusehen, welches effizient die Po lierreststoffe von der Polieroberfläche des
Poliertisches entfernen kann, und zwar durch Verwendung einer minimalen Menge
von Reinigungsflüssigkeit.
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Die
vorliegende Erfindung sieht ein Polierflächenreinigungsverfahren nach
Anspruch 1 vor.
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Eine
Strömungsmittelmischung
eines Reinigungsströmungsmittels
und eines Gases wird auf die Polieroberfläche gesprüht, um diese zu reinigen.
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Durch
Aufsprühen
einer Strömungsmittelmischung
einer Reinigungsflüssigkeit
und eines Gases auf die Polierfläche
werden die Polierreststoffe auf der Polierfläche von dem Gas in der Strömungsmittelmischung
abgetragen und weiter durch die Reinigungsflüssigkeit weggewaschen. Daher
werden die Polierreststoffe auf der Polieroberfläche fast vollständig entfernt.
Entsprechend wird die von diesem Verfahren gereinigte Polieroberfläche wahrscheinlich nicht
ein Werkstück
beim Folgenden Polierprozess beschädigen, und kann eine stabile
Polierleistung aufrecht erhalten.
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Die
Strömungsmittelmischung
kann auf die Polieroberfläche
von einer Vielzahl von Mischsprühdüsen gesprüht werden,
die über
der Polieroberfläche
auf dem Poliertisch vorgesehen sind. Die Mischsprühdüsen sind
angeordnet, um eine Reinigungsflüssigkeit
und ein Gas zusammen zu mischen und die daraus resultierende Strömungsmittelmischung aufzusprühen.
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Zusätzlich wird
eine Polieroberflächenreinigungsvorrichtung
zur Anwendung in einer Poliervorrichtung beschrieben, in der ein
zu polierendes Werkstück
gegen eine Polieroberfläche
eines Poliertisches gedrückt
wird, um das Werkstück
durch eine Relativbewegung zwischen der Polieroberfläche und dem
Werkstück
zu polieren. Die Vorrichtung weist eine Mischsprühdüse auf, um eine Reinigungsflüssigkeit
und ein Gas zu vermischen, und um die daraus resultierende Strömungsmittelmischung
auf die Polieroberfläche
zu sprühen,
um sie zu reinigen.
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Durch
das Aufsprühen
einer Strömungsmittelmischung
aus einer Reinigungsflüssigkeit
und einem Gas auf die Polieroberfläche aus der Mischsprühdüse werden
die Polierrückstände auf
der Polieroberfläche
fast vollständig
entfernt. Entsprechend wird die durch diese Vorrichtung gereinigte
Polieroberfläche
wahrscheinlich nicht ein Werkstück
im darauf folgenden Polierprozess beschädigen und kann die Polierleistung
stabil aufrecht erhalten.
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Die
Polieroberflächenreinigungsvorrichtung kann
weiter eine Drucksteuervorrichtung aufweisen, um unabhängig die
jeweiligen Drücke
einer Reinigungsflüssigkeit
und eines Gases zu steuern, die zu der Mischsprühdüse geliefert werden.
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Das
Vorsehen der Drucksteuervorrichtung gestattet eine erwünschte Steuerung
des Verhältnisses
zwischen der Reinigungsflüssigkeit
und dem Gas in der Strömungsmittelmischung
und der Sprühgeschwindigkeit
der Strömungsmittelmischung,
und ermöglicht,
dass die Reinigungswirkung auf der Polieroberfläche und so weiter so gesteuert
wird, wie erwünscht.
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In
der Polieroberflächenreinigungsvorrichtung
kann die Mischsprühdüse an einem
Befestigungsglied befestigt werden, um eine Versorgungsdüse für abrasive
Flüssigkeit
zu befestigen, um eine abrasive Flüssigkeit auf die Polieroberfläche zu liefern,
oder eine Versorgungsdüse
für chemische
Flüssigkeit,
um eine chemische Flüssigkeit
auf die Polieroberfläche
zu liefern.
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Die
vorangegangenen und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden
Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung und
aus den beigefügten
Ansprüchen
offensichtlich, wenn diese in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen
gesehen werden.
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1 ist
eine Abbildung, die schematisch ein strukturelles Beispiel einer
Poliervorrichtung zeigt, bei der das Polieroberflächenreinigungsverfahren
gemäß der vorliegenden
Erfindung ausgeführt wird.
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2 ist
eine Abbildung, die die Struktur eines Beispiels einer Mischsprühdüse zeigt,
die bei dem Polieroberflächenreinigungsverfahren
gemäß der vorliegenden
Erfindung verwendet wird.
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3 ist
eine Abbildung, die die Struktur eines weiteren Beispiels einer
Mischsprühdüse zeigt, die
bei dem Polieroberflächenreinigungsverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung verwendet wird.
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4 ist eine Abbildung, die den Ort des Aufsprühens einer
Strömungsmittelmischung
aus einer Mischsprühdüse zeigt,
wobei 4a eine Seitenansicht ist, die
die Konfiguration des Strahls der Strömungsmittelmischung zeigt,
wie dieser von seiner Seite zu sehen ist; wobei 4b eine
Draufsicht ist, die die Konfiguration des Strahls der Strömungsmittelmischung
auf der Poliertuchoberfläche
zeigt, wie sie von oben zu sehen ist; und wobei 4c eine Kurvendarstellung
ist, die die Flussverteilung der Strömungsmittelmischung zeigt.
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5 ist
eine Abbildung, die Punkte zeigt, wo Strahle der Strömungsmittelmischung
von den Mischsprühdüsen auf
der Poliergewebeoberfläche auftreffen.
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6 ist
ein Zeitsteuerdiagramm, welches ein Beispiel der Zeitsteuerung zeigt,
mit der die Strömungsmittelmischung
in die Poliervorrichtung gesprüht
wird, wobei dies kein Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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7 ist
ein Zeitsteuerdiagramm, welches ein Beispiel der Zeitsteuerung zeigt,
mit der die Strömungsmittelmischung
in die Poliervorrichtung gesprüht
wird, in der das Polieroberflächenreinigungsverfahren
gemäß der vorliegenden
Erfindung ausgeführt
wird.
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8 ist
eine Darstellung, die ein Beispiel des Einbaus von Mischsprühdüsen in die
Poliervorrichtung zeigt, in der das Polieroberflächenreinigungsverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung ausgeführt
wird.
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Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung werden unten im Detail mit Bezug auf
die beigefügten
Zeichnungen beschrieben.
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1 ist
eine schematische Ansicht, die ein strukturelles Beispiel einer
Poliervorrichtung zeigt, in der das Polieroberflächenreinigungsverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung ausgeführt
wird. In dieser Poliervorrichtung wird beispielsweise reines Wasser
als eine Reinigungsflüssigkeit
verwendet, und Stickstoffgas wird als ein Gas verwendet, welches
mit der Reinigungsflüssigkeit
vermischt wird. Jedoch ist die bei diesem Ausführungsbeispiel verwendete Reinigungsflüssigkeit
nicht notwendiger Weise auf reines Wasser eingeschränkt sondern kann
beispielsweise eine abrasive Flüssigkeit
sein, die zum Polieren verwendet wird, oder eine chemische Flüssigkeit
zur Reinigung. Das Gas, welches mit einer Reinigungsflüssigkeit
vermischt ist, ist nicht notwendiger Weise auf Stickstoffgas eingeschränkt, sondern
kann beispielsweise komprimierte Luft oder Dampf mit einem Ölnebel sein,
wobei Partikel davon durch ein (nicht gezeigtes) Filterglied entfernt
werden.
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In 1 hat
ein Poliertisch 1 ein Poliertuch bzw. Poliergewebe 2,
welches mit dem Oberteil davon verbunden ist. Eine Abricht- bzw.
Aufbereitungsvorrichtung 3 regeneriert die Polieroberfläche des Poliergewebes 2.
Der Poliertisch 1 dreht sich um eine sich drehende Welle 1a.
Die Abrichtvorrichtung 3 dreht sich um eine sich drehende
Welle 3a. Wenn die Polieroberfläche des Poliergewebes 2 zu
regenerieren ist, wird die Abrichtvorrichtung 3 gegen die
Polieroberfläche
des Poliergewebes 2 mit einem vorbestimmten Druck gedrückt, und
die Polieroberfläche wird
durch eine Relativbewegung zwischen dem Poliergewebe 2 und
der Abrichtvorrichtung 3 regeneriert (abgerichtet). Eine
Vielzahl (im veranschaulichten Beispiel 4) von Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 ist über dem
Poliertisch 1 angeordnet. Die Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 mischen
reines Wasser und Stickstoffgas zusammen und sprühen die daraus resultierende Strömungsmittelmischung
auf die Polieroberfläche des
Poliergewebes 2. Die Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 werden
mit Stickstoffgas von einer Stickstoffgasversorgungsquelle 4 durch
ein luftbetriebenes Ventil 6 beliefert, nachdem dessen
Druck durch einen Regler 5 eingestellt worden ist. Die
Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 werden
auch mit reinem Wasser von einer Reinwasserversorgungsquelle 8 durch
ein luftbetriebenes Ventil 10 beliefert, nachdem dessen
Druck durch einen Regler 9 eingestellt worden ist. In jeder Sprühdüse wird
die gelieferte Flüssigkeit
zu feinen Partikeln geformt oder zu feinen Partikeln verfestigt oder
verdampft (d.h. die Flüssigkeit
wird zerstäubt), und
zwar durch Veränderung
von verschiedenen Parametern, wie beispielsweise dem Druck der Flüssigkeit
und/oder des Gases, der Temperatur und der Düsenkonfiguration, und eine
Mischung aus Flüssigkeits-
und Gaskomponenten wird von der Düse zu dem Poliertisch 1 mit
einer vorbestimmten Richtungseigenschaft gesprüht.
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Wenn
die Polieroberfläche
durch eine Relativbewegung zwischen dem Poliergewebe 2 und
der Abrichtvorrichtung 3 regeneriert (abgerichtet) wird, wird
die Strömungsmittelmischung
aus reinem Wasser und Stickstoffgas auf die Oberfläche (Polieroberfläche) des
Poliergewebes 2 aus den Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 gesprüht, um die
Polieroberfläche
zu reinigen. Der Druck des Stickstoffgases kann in dem Bereich von
0,01 MPa (Megapascal) bis 0,7 MPa eingestellt werden. Der Druck
des reinen Wassers kann im Bereich von 0,1 MPa bis 0,3 MPa eingestellte
werden. Der Druck des Stickstoffgases und jener des reinen Wassers
können
unabhängig
voneinander eingestellt werden. Obwohl in diesem Ausführungsbeispiel
sowohl die Reinwasserleitung als auch die Stickstoffleitung manuell
angetriebene Regler verwenden, kann jede Leitung einen Regler verwenden, der
den Einstelldruck auf Grundlage eines externen Signals verändern kann.
Im Falle der Verwendung von Reglern, die auf der Grundlage von externen
Signalen angetrieben werden, können
die Drücke
des reinen Wassers und des Stickstoffgases für jeden Polierprozess gemäß Signalen
von einer (nicht gezeigten) Steuervorrichtung verändert werden.
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Wenn
das reine Wasser unter Verwendung einer Pumpeneinrichtung geliefert
wird, kann der Druck des reinen Wassers leicht auf bis zu 1,0 MPa gesteigert
werden. Jedoch ist die Steigerung des Druckes über dieses Niveau nicht immer
effektiv, weil es nötig
wäre, spezielle
Einrichtungen zu verwenden, um die Druckbeständigkeit des Versorgungssystems zu
steigern. In diesem Ausführungsbeispiel
ist der Druck des Stickstoffgases auf 0,35 MPa eingestellt, und
der Druck des reinen Wassers ist auf 0,1 MPa eingestellt.
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Die
Strukturen der Mischsprühdüsen 7 werden
unten mit Bezugnahme auf die 2 und 3 beschrieben.
Die in 2 gezeigte Mischsprühdüse 7 hat einen Düsenkörper 15,
der darin mit einem Mischteil 13 versehen ist, der ein
Raum zur Vermischung einer Flüssigkeit
und eines Gases ist. Der Düsenkörper 15 ist
mit einer Flüssigkeitsversorgungsöffnung 12,
mit einer Gasversorgungsöffnung 11 und
einer Strömungsmittelmischungsauslassöffnung 14 versehen.
Stickstoffgas wird zu der Gasversorgungsöffnung 11 mit einem
vorbestimmten Druck (in diesem Ausführungsbeispiel 0,35 MPa) geliefert, und
reines Wasser wird zu der Flüssigkeitsversorgungsöffnung 12 mit
einem vorbestimmten Druck (in diesem Ausführungsbeispiel 0,1 MPa) geliefert.
Folglich werden das Stickstoffgas und das reine Wasser zusammen
in dem Mischteil 13 vermischt, und die daraus resultierende
Strömungsmittelmischung
wird aus der Strömungsmittelmischungsauslassöffnung 14 mit
dem Gesamtdruck des Stickstoffgases und des reinen Wassers herausgesprüht. Der
Winkel, in dem die Strömungsmittelmischung
aus der Mischsprühdüse 7 gesprüht wird,
wird durch die Konfiguration der Strömungsmittelmischungsauslassöffnung 14 bestimmt.
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Die
in 3 gezeigte Mischsprühdüse hat einen konischen Düsenkörper 16,
in dem ein Flüssigkeitsversorgungsrohr 17 angeordnet
ist. Eine Gasversorgungsöffnung 16a ist
an einem Ende (hinteres Ende) des Düsenkörpers 16 vorgesehen,
und eine Gasauslassöffnung 16b ist
am anderen Ende (vorderes Ende) des Düsenkörpers 16 vorgesehen.
Eine Flüssigkeitsversorgungsöffnung 17a ist
an einem Ende (hinteres Ende) des Flüssigkeitsversorgungsrohrs 17 vorgesehen
und eine Flüssigkeitsauslassöffnung 17b ist
am anderen Ende (vorderen Ende) des Flüssigkeitsversorgungsrohrs 17 vorgesehen.
Stickstoffgas wird zu der Gasversorgungsöffnung 16a mit einem
vorbestimmten Druck (in diesem Ausführungsbeispiel 0,35 MPa) geliefert,
und reines Wasser wird zu der Flüssigkeitsversorgungsöffnung 17a mit
einem vorbestimmten Druck (in diesem Ausführungsbeispiel 0,1 MPa) geliefert.
Folglich wird das reine Wasser, welches aus der Flüssigkeitsauslassöffnung 17b ausgelassen
wird, in dem Stickstoffgas von der Gasauslassöffnung 16b eingeschlossen
und als Strahl mit dem Druck des Stickstoffgases herausgeschossen.
Der Winkel, in dem die Strömungsmittelmischung
von der Mischsprühdüse 7 gesprüht wird, wird
durch die Konfiguration der Gasauslassöffnung 16b bestimmt.
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4 ist eine Abbildung, die den Ort eines Strahls
einer Strömungsmittelmischung
aus einer Mischsprühdüse 7 zeigt. 4a ist
eine Seitenansicht, die die Konfiguration des Strahls der Strömungsmittelmischung
zeigt, wie von dessen Seite zu sehen. 4b ist
eine Draufsicht, die die Konfiguration des Strahls der Strömungsmittelmischung
auf der Poliergewebeoberfläche
zeigt, wie von oben zu sehen. 4c ist
eine Kurvendarstellung, die die Flussverteilung der Strömungsmittelmischung
zeigt. Ein Strahl der Strömungsmittelmischung 18 aus
der Mischsprühdüse 7 verteilt
sich in einem Sprühwinkel θ und trifft
auf der Oberfläche
des Poliergewebes 2 auf. Weil die Strömungsmittelmischung 18 auf
die gesamte Oberfläche
des sich drehenden Poliergewebes 2 gesprüht werden
muss, ist vorzuziehen, dass der Sprühwinkel θ aufgeweitet wird, und dass
eine Vielzahl von Mischsprühdüsen 7 mit
einem Sprühwinkel
von 45° bis
75° verwendet
werden sollte (eine Gesamtzahl von vier Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 wird
in 1 verwendet).
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Auf
der Oberfläche
des Poliergewebes 2 nimmt die Strömungsmittelmischung 18 eine
ovale Form an, wie in 4b gezeigt. Die Flussverteilung der
Strömungsmittelmischung 18 auf
der Oberfläche des
Poliergewebes 2 ist ungefähr gleichförmig im mittleren Teil, außer den
beiden Enden (d.h. eine trapezförmige
Flussverteilung), wie in 4c gezeigt.
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5 ist
eine Abbildung, die Punkte zeigt, wo die Strahle der Strömungsmittelmischung 18 auf die
Oberfläche
des Poliergewebes 2 auftreffen. Der Ort 19 eines
Strahls der Strömungsmittelmischung 18,
der auf der Oberfläche
des Poliertuches 2 auftrifft, kann derart angesehen werden,
dass er einen Winkel α mit
Bezug zur Drehrichtung A auf dem Poliertisch 1 hat. Ein
geeigneter Winkel α ist
45° mit
Bezug zu einer Richtung senkrecht zur Drehrichtung A des Poliertisches 1.
Weiterhin sind die Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 so
angeordnet, dass die Endteile von jedem Paar von benachbarten Strahlen
der Strömungsmittelmischung 18 einander überlappen,
wie von einer Seite zu se hen. Mit dieser Anordnung kann die Strömungsmittelmischung 18 auf
die Oberfläche
des Poliergewebes 2 mit einer gleichförmigen Flussverteilung gesprüht werden.
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6 zeigt
die Zeitsteuerung, mit der die Strömungsmittelmischung 18 aufgesprüht wird,
und zwar für
ein Verfahren, welches kein Ausführungsbeispiel
der Erfindung bildet. Die Strömungsmittelmischung 18 wird
nach der Vollendung des Poliervorgangs eines Werkstückes, beispielsweise
eines Halbleiter-Wafers,
aufgesprüht
(d.h. nachdem der Topring bzw. obere Ring abgehoben worden ist).
Insbesondere zur gleichen Zeit wenn die Abrichtvorrichtung 3 auf
der Oberfläche
des Poliergewebes 2 landet, um den Abrichtvorgang zu beginnen,
wird die Mischsprühdüse 7 eingeschaltet,
um die Strömungsmittelmischung 18 aufzusprühen. Das
Aufsprühen der
Strömungsmittelmischung 18 wird
nicht sofort nach der Vollendung des Abrichtens gestoppt (d.h. sofort
nachdem die Abrichtvorrichtung 3 abgehoben worden ist),
aber eine Reinigung mit der Strömungsmittelmischung 18 wird
zufriedenstellend ausgeführt. Wenn
die Zeitperiode zur Reinigung (T1) mit der Strömungsmittelmischung 18 nach
der Vollendung des Abrichtens lang ist, verlängert sich die Zeit, die bei
dem Polierprozess verbraucht wird. Daher sollte die Reinigungszeit
T1 vorzugsweise innerhalb von 10 Sekunden eingeschränkt sein.
Verbrauchtes Strömungsmittel,
welches auf dem Poliertisch 1 zurückbleibt, wird zentrifugal
von der Polieroberfläche
durch die Steigerung der Anzahl der Umdrehungen des Poliertisches 1 entfernt.
Entsprechend bleibt kein Reinigungsrest auf der Polieroberfläche.
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Die
Strömungsmittelmischungssprühzeitsteuerung
gemäß der Erfindung
ist wie in 7 gezeigt. Nach der Vollendung
des Poliervorgangs (d.h. nachdem der Topring angehoben worden ist)
und bevor der Abrichtvorgang gestartet wird, wird die Mischsprühdüse eingeschaltet,
um das Versprühen
der Strömungsmittelmischung 18 zu
beginnen, und nachdem eine vorbestimmte Zeitperiode T2 vergangen
ist, wird der Abrichtvorgang gestartet (d.h. die Abrichtvorrichtung 3 wird
abgesenkt). Somit wird nach der Vollendung des Poliervorgangs die
Strömungsmittelmischung 18 für eine vorbestimmte
Zeitperiode T2 versprüht,
um den Polierschlamm von der Oberfläche des Poliergewebes 2 zu
entfernen, und danach wird der Abrichtvorgang ausgeführt. Bei
dieser Anordnung kann verhindert werden, dass die Abrichtvorrichtung 3 durch
den Polierschlamm korrodiert wird, und die Lebensdauer der Abrichtvorrichtung 3 kann
vergrößert werden.
Es muss jedoch Sorge getragen werden, dass die Einstellzeit T2 nicht übermäßig lang
sein wird, weil das Versprühen
der Strömungsmittelmischung 18 vor
dem Abrichtvorgang auch die Zeit verlängert, die für den Poliervorgang
benötigt
wird.
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8 ist
eine Abbildung, die ein anderes Beispiel der Art und Weise zeigt,
in der die Mischsprühdüsen eingebaut
sind. Wie in der Figur veranschaulicht, sind die Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 an einem
Befestigungsglied 21 befestigt, um eine Versorgungsdüse 20 für abrasive
Flüssigkeit
zu befestigen, um eine abrasive Flüssigkeit auf die Oberfläche des
Poliergewebes 2 zu liefern, oder um eine (nicht gezeigte)
Versorgungsdüse
für chemische
Flüssigkeit
zu befestigen, um eine chemische Flüssigkeit (Spülflüssigkeit)
zu liefern. Bei dieser Anordnung ist es möglich, eine Gasversorgungsleitung 22 und
eine Flüssigkeitsversorgungsleitung 23 parallel
anzuordnen, um Stickstoffgas und reines Wasser zu den Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 zur
gleichen Zeit zu liefern, weil die Versorgungsdüse für abrasive Flüssigkeit
oder die Versorgungsdüse
für chemische
Flüssigkeit
nebeneinander angeordnet sind. Nach der Vollendung des Poliervorgangs
(bevor der Topring angehoben wird) werden die Mischsprühdüsen 7-1 bis 7-4 betrieben,
um das Versprühen
der Strömungsmittelmischung 18 zu
beginnen, um das abrasive Material zu entfernen, welches auf dem
Poliertisch 1 zurück
bleibt, wodurch es möglich
ist, ein übermäßig starkes
Polieren zu verhindern und die Polierrate zu stabilisieren.
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In
den vorangegangenen Ausführungsbeispielen
ist die vorliegende Erfindung mit Bezug auf ein Beispiel eines Reinigungsvorgangs
einer Polieroberfläche
einer Poliervorrichtung beschrieben worden, die durch ein Poliergewebe 2 gebildet
wird, welches am Oberteil eines Poliertisches 1 befestigt
ist. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht notwendigerweise
auf die beschriebenen Ausführungsbeispiele
eingeschränkt,
sondern kann auch auf den Prozess der Reinigung einer abrasiven
Radoberfläche einer
Poliervorrichtung angewandt werden, die ein abrasives Rad oben an
einem Poliertisch befestigt aufweist.
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Wie
oben bemerkt wurde, bietet die vorliegende Erfindung die folgenden
Vorteile.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird eine Strömungsmittelmischung
aus einer Reinigungsflüssigkeit
und einem Gas auf die Polieroberfläche gesprüht, wodurch die Polierreststoffe
auf der Polieroberfläche
durch das Gas in der Strömungsmittelmischung
abgetragen werden und weiter durch die Reinigungsflüssigkeit
weggewaschen werden. Daher werden die Polierreststoffe auf der Polieroberfläche nahezu
vollständig
entfernt. Entsprechend ist es unwahrscheinlich, dass die Polieroberfläche, die
durch diese Verfahren gereinigt wird, ein Werkstück im darauf folgenden Poliervorgang
beschädigt,
und man kann eine stabile Polierleistung aufrecht erhalten.
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Gemäß der gezeigten
Polieroberflächenreinigungsvorrichtung
wird eine Strömungsmittelmischung
aus einer Reinigungsflüssigkeit
und einem Gas auf die Polieroberfläche von einer Mischsprühdüse gesprüht, wodurch
die Polierreststoffe auf der Polieroberfläche durch das Gas in der Strömungsmittelmischung
abgetragen werden und weiter durch die Reinigungsflüssigkeit
weggewaschen werden. Daher werden die Polierreststoffe auf der Polieroberfläche nahezu
vollständig
entfernt. Entsprechend ist es unwahrscheinlich, dass die durch diese
Vorrichtung gereinigte Polieroberfläche ein Werkstück im darauf
folgenden Polierprozess beschädigt,
und man kann eine stabile Polierleistung aufrecht erhalten.
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Wenn
die Polieroberflächenreinigungsvorrichtung
mit einer Drucksteuervorrichtung versehen ist, um unabhängig die
jeweiligen Drücke
einer Reinigungsflüssigkeit
und eines Gases zu steuern, die zu der Mischsprühdüse geliefert werden, ist es
möglich, eine
erwünschte
Steuerung des Verhältnisses
zwischen der Reinigungsflüssigkeit
und dem Gas in der Strömungsmittelmischung
und der Sprühgeschwindigkeit
der Strömungsmittelmischung
zu be wirken, und daher ist es möglich,
die Reinigungswirkung auf die Polieroberfläche und so weiter wie erwünscht zu steuern.
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Die
Mischsprühdüse kann
an einem Befestigungsglied befestigt werden, um eine Versorgungsdüse für abrasive
Flüssigkeit
zu befestigen, um eine abrasive Flüssigkeit zur Polieroberfläche zu liefern, oder
um eine Versorgungsdüse
für chemische
Flüssigkeit
zu befestigen, um eine chemische Flüssigkeit zur Polieroberfläche zu liefern.
Diese Anordnung macht es möglich,
eine Gasversorgungsleitung und eine Flüssigkeitsversorgungsleitung
parallel anzuordnen, und zwar gleichzeitig dazu, dass die Versorgungsdüse für abrasive
Flüssigkeit
oder die Versorgungsdüse
für chemische
Flüssigkeit
parallel angeordnet sind.