DE60108913T2 - Dispergierte Nanoteilchen-enthaltende Struktur und diese Strukturen enthaltende Laminate - Google Patents

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Description

  • Technologisches Gebiet, auf das sich die Erfindung bezieht
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Polymers mit dispergierten Nanopartikeln, das brauchbar ist als ein optisches funktionelles Material, eine Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, erhältlich nach dem Verfahren und ein Laminat von einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln. Insbesondere betrifft sie eine Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, in der Nanopartikel von einer Substanz, ausgewählt aus Metallen, Metallverbindungen und Halbleitern, in einem vernetzten Polymer dispergiert sind, und ein Verfahren zur Herstellung dieser Struktur.
  • Stand der Technik
  • Da sie nicht lineare optische Effekte zeigen, werden Metall- und Halbleiterpartikel, deren Größe in der Größenordnung von Nanometern liegen, in Glas oder Polymeren dispergiert, um Nanopartikeldispersionen herzustellen, die als optische funktionelle Materialien Aufmerksamkeit auf sich gezogen haben. Bekannte Verfahren zum Dispergieren von Partikeln mit Nanometergröße in einer Matrix schließen ein 1) ein Verfahren, bei dem Metallpartikel und Halbleiterpartikel in Nanometergröße hergestellt werden durch Sputtern oder Sputtering, CVD oder ein anderes Dampfphasenverfahren, und die Umgebungen davon werden mit einer inerten Substanz, wie Siliciumoxid oder Silica, abgedeckt, um einen abgeschiedenen Film auf einem Substrat zu bilden (z.B. die japanische offengelegte Patentanmeldung H10-292065), 2) ein Verfahren, bei dem Nanopartikel in der flüssigen Phase in einer Sol/Gelverbindung dispergiert und zusammengesetzt werden (japanische offengelegte Patentanmeldung H8-245263), 3) ein Verfahren, bei dem ein Halbleiterbestandteil in einem Polymer dispergiert wird, woraufhin ein weiterer Bestandteil in dieses diffundiert oder in dieses verteilt wird, und dieses Produkt mit einem Laser bestrahlt wird, um Nanopartikel zu bilden (japanische offengelegte Patentanmeldung H10-36517) und 4) ein Verfahren, bei dem verschiedene Typen von Nanopartikeln abgeschieden werden auf einem Polymerharz in einem thermodynamisch instabilen Zustand, worauf dieses erwärmt wird, um das Polymer in einen thermisch stabilen Zustand zu verändern und [die Nanopartikel] in das Polymer zu diffundieren (japanische offengelegte Patentanmeldung H6-157771). 5) Ein weiteres Verfahren wurde entdeckt, bei dem ein Monomerfilm, der in der Lage ist, eine Ringöffnungspolymerisation zu durchlaufen, gebildet wird, über den ein Nanopartikelfilm gebildet wird, woraufhin dieses Produkt erwärmt wird, um Polymerisation zu bewirken und die Nanopartikel in dem Polymerfilm zu diffundieren (japanische offengelegte Patentanmeldung H11-147958).
  • Während Sol-Gel-Verbindungen den wertvollen Nutzen bieten, dass sie die Herstellung in der flüssigen Phase erlauben, wird im Allgemeinen daran fest gehalten, dass ihre Formverarbeitbarkeit gering oder schlecht ist, und dass die dispergierten Partikel instabil sind und dazu neigen, in sekundäre Partikel zu verklumpen. Wenn ein thermoplastisches Polymer verwendet wird als das Dispersionsmedium erfordert dies nicht nur eine ausgeklügelte oder hoch entwickelte Technologie für die Präzipitation von Partikeln auf der Oberfläche, während eines Beibehaltens eines instabilen Zustands, und das Diffundieren dieser Partikel in dem Verfahren der Stabilisation des Polymers, sondern es ist auch gut bekannt, dass diese Partikel dazu neigen, Sekundärpartikel in dem Polymer zu bilden. Es wird allgemein daran fest gehalten, dass ein Polymer mit einer dreidimensionalen vernetzten Struktur eine bessere Dispersionsstabilität aufweist als ein lineares thermoplastisches Polymer. Da Strukturen mit dispergierten Nanopartikeln die Aufmerksamkeit für ihre optischen Funktionen auf sich ziehen, wie in Materialien für nicht lineare optische Elemente, ist es auch klar, dass optische Transparenz eine wichtige Eigenschaft ist, die von dem Dispersionsmediummaterial erwünscht wird. Eine Theorie, welche die optischen Effekte betrifft, die gezeigt werden durch Nanopartikel, schlägt vor, dass die dielektrische Konstante von dem Medium die Eigenschaften der Nanopartikel beeinflusst.
  • Die EP 0 973 049 A offenbart ein Verbund- oder Kompositmaterial, das eine Vielzahl von laminierten Polysilylenmethylenschichten aufweist, die jeweils eine Innenregion aufweisen, die benachbart ist zu einer Oberfläche davon, in der Nanopartikel von einem Metall von Au, Pt, Pd, Cu oder Ag dispergiert sind, und ein Verfahren zu dessen Herstellung.
  • Die WO 00 06 495 A offenbart Metalloxidpartikel. Außerdem offenbart sie Kolloide und Ceramers, die aus den Metalloxidpartikeln hergestellt sind.
  • Die US 5 976 297 A offenbart einen transparenten funktionalen Film, der einen transparenten Plastiksubstratfilm und eine harte Beschichtungsschicht, die darauf vorgesehen ist, umfasst.
  • Die US 5 917 279 A offenbart Zwischenschichten von anorganischen Materialien in elektrolumineszenten Anordnungen, die fein verteilte anorganische Partikel enthalten, die in einem Polymerbinder dispergiert sind.
  • Probleme, die die Erfindung beabsichtigt zu lösen
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Nanopartikeldispersion bereitzustellen, die ein Polymer kennzeichnet, das eine vernetzte Struktur aufweist, die chemisch inert ist in Bezug auf die Nanopartikel und die wirksam ist, Diffusion zu unterdrücken, und ein Verfahren zur Herstellung dieser Nanopartikeldispersion bereitzustellen.
  • Verwendete Mittel oder Maßnahmen, um die oben genannten Aufgaben zu lösen
  • Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren gemäß Anspruch 1 bereit zur Herstellung einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, wobei Nanopartikel von einer Substanz, ausgewählt aus (i) Metallen, (ii) Metallverbindungen und (iii) Halbleitern, abgeschieden werden auf einem Feststoff, der zusammengesetzt ist aus einem Polymer-Precursor, der eine vernetzbare Struktur aufweist, woraufhin der Polymer-Precursor vernetzt wird, und die Nanopartikel in dem vernetzten Polymer durch Erwärmen dispergiert werden.
  • Die vorliegende Erfindung stellt auch eine Struktur mit dispergierten Nanopartikeln bereit, erhältlich nach dem Verfahren von Anspruch 1.
  • Die vorliegende Erfindung stellt auch ein Laminat von einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln bereit, hergestellt durch die Laminierung der oben genannten Struktur mit dispergierten Nanopartikeln.
  • Die vorliegende Erfindung stellt ferner ein Laminat von einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln bereit, umfassend ein Laminat, das hergestellt ist durch Unterwerfen der oben genannten Struktur mit dispergierten Nanopartikeln zumindest einmal unter ein Laminierungsverfahren, umfassend die Stufen von Anspruch 1, wobei die Nanopartikel ausgewählt sind aus (i) Metallen, (ii) Metallverbindungen und (iii) Halbleitern, um so eine Schicht zu bilden, die zusammengesetzt ist aus einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • Es ist bekannt, dass im Allgemeinen die Bewegung von Polymerketten beschränkt ist in dreidimensional vernetzten Polymeren, die gemeinsam als Duroplaste bekannt sind, so ist die Diffusion von Füllstoffen oder anderen Zusätzen, die in das Polymer gemischt sind, unterdrückt, und der dispergierte Zustand ist stabilisiert. Mit der vorliegenden Erfindung werden Nanopartikel dispergiert und in einem vernetzten Polymermaterial gehalten, mit dem vermieden werden kann, dass die Nanopartikel agglomerieren oder zusammenbacken.
  • Bei der vorliegenden Erfindung sind verschiedene Typen von härtbaren Harzen oder Kunststoffen, die durch Licht, Wärme, etc. gehärtet werden, in dem vernetzten Polymer, welches das Dispersionsmedium bildet, enthalten. Es ist entscheidend, dass dieses härtbare Harz Bestandteile umfasst, die keine optische Absorptionsbande innerhalb eines Wellenlängenbereichs von mindestens 350 bis 800 nm in einem Zustand aufweisen, in dem keine Nanopartikel dispergiert worden sind, und es ist wichtig, dass die optische Transparenz hoch ist.
  • Auch bei dem dreidimensionalen Vernetzen dieses härtbaren Harzes ist es entscheidend, dass die Bildung der vernetzten retikulären Struktur nicht zu einer beliebigen Kristallstruktur führt, und es ist auch notwendig, dass die Wechselwirkung zwischen den speziellen funktionellen Gruppen, die in den Molekülen eingeschlossen sind, nicht in beliebig geordnete Strukturen führen.
  • Bei der vorliegenden Erfindung können die Nanopartikel beliebige Partikel sein, die einen Durchmesser von 10 nm oder weniger aufweisen, die üblicherweise Quantum Dots oder Nano-Dots bezeichnet werden. Eine bevorzugte Größe ist 1 bis 5 nm, aber dies kann nicht bedingungslos spezifiziert werden, weil sie verschieden sind in Abhängigkeit von dem Typ von Material, das die Nanopartikel bildet, der dielektrischen Konstante des Dispersionsmediums und der gewünschten oder beabsichtigten Funktion oder Zielfunktion. Daher gibt es keine besonderen Beschränkungen für das Material, das die Nanopartikel bildet, solange es gebildet werden kann nach einem Verfahren, welches das unten diskutierte Verfahren für die Herstellung einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln nicht beeinträchtigt.
  • Als Beispiel kann dieses Material ein Metall sein, wie Gold, Silber, Palladium oder Kupfer, ein Halbleiter, wie ein Element-Halbleiter, wie Silicium oder Germanium oder ein Halbleiter einer Verbindung, wie GaAs oder Cds, eine Metallverbindung, wie Titanoxid, Zinnoxid oder ein anderes Metalloxid oder ein Chalkogenid oder andere bekannte Substanz.
  • Die Struktur mit dispergierten Nanopartikeln der vorliegenden Erfindung kann hergestellt werden nach dem folgenden Verfahren, das Stufe für Stufe beschrieben ist.
  • Es ist allgemeines Wissen, dass auf Phenol-Formaldehyd basierende Duroplaste A-Phase, B-Phase oder C-Phase genannt werden gemäß dem Härtungszustand oder der Härtungsphase davon.
  • A-Phase: In dieser Phase liegt das Harz in Form einer Flüssigkeit vor oder in Form eines Feststoffs, der löslich ist in einem Lösemittel und durch Erwärmen geschmolzen werden kann. Dieses Harz wird auch als Precursor oder Vorläuferverbindung für ein Polymer, das eine dreidimensional vernetzte Struktur aufweist, positioniert oder bereit gestellt.
  • B-Phase: Dies ist die Substanz, die erhalten wird durch weiteres Erwärmen einer Substanz in dem A-Phasenzustand, und sie ist unlöslich in Lösemitteln wie Aceton, aber wird durch den Kontakt mit einem Lösemittel benetzt. Auch diese Substanz wird erweicht in eine etwas gummiartige Form, aber schmilzt nicht, wenn sie erwärmt wird, und kann, verglichen mit der unten diskutierten C-Phasensubstanz, als unzureichend vernetzt betrachtet werden.
  • C-Phase: Dies ist die Substanz, die erhalten wird durch weiteres Erwärmen einer Substanz in dem B-Phasenzustand, und ist unlöslich in Lösemitteln, wird nicht durch Lösemittel benetzt und wird durch Erwärmen nicht geschmolzen.
  • Ein Polymer, das eine dreidimensional vernetzte Struktur aufweist, wird erhalten, indem eine Verbindung mit niedrigem Molekulargewicht, die polyfunktionelle Gruppen einschließt in ihren Molekülen, einer Additionsreaktion, Kondensationsreaktion oder anderen solchen Reaktion unterworfen wird, aber wenn das Polymer, das eine dreidimensional vernetzte Struktur aufweist, das auf diese Weise erhalten wird, einem B-Phasenzustand entspricht, ist es unlöslich oder nahezu unlöslich in Lösemitteln, wie sie oben genannt sind, so ist es schwierig, einen Film von diesem Polymer auf einem Substrat herzustellen durch Lösen des Polymers in einem Lösemittel. Demzufolge wird z.B. ein Anfangskondensat, das einem A-Phasenzustand entspricht, d.h. ein Precursor oder eine Vorläuferverbindung von einem Polymer, das eine dreidimensional vernetzte Struktur aufweist, in der Regel in einem Lösemittel gelöst und verwendet, um einen Film auf einem Substrat zu bilden. Nachdem ein Film von diesem Precursor oder dieser Vorläuferverbindung auf dem Substrat gebildet worden ist, werden Nanopartikel über diesem abgeschieden nach dem Verfahren, das unten diskutiert wird, um eine Nanopartikelschicht zu bilden. Wie unten diskutiert ist, wird diese Nanopartikelschicht gebildet als eine diskontinuierliche Schicht, in der es Korngrenzen gibt zwischen den Nanopartikeln, statt dass die Nanopartikel eine kontinuierliche Schicht bilden. In einem Bestreben, die geschmolzene Deformation des Precursors zu vermeiden durch das Erwärmen, das durchgeführt wird bei der Bildung von dieser Nanopartikelschicht, kann der Precursorfilm, der in einem A-Phasenzustand aus dem Substrat gebildet wird, erwärmt werden vor der Abscheidung der Nanopartikel, so dass er in einen B-Phasenzustand eintritt, und die Nanopartikel dann danach abgeschieden werden.
  • Die Nanopartikelschicht wird gebildet durch Abscheiden von Nanopartikeln von einer Substanz, ausgewählt aus Metallen, Metallverbindungen und Halbleitern über einen festen Film nach einem bekannten Verfahren, wie Vakuumdampfabscheidung, Sputtern oder Sputtering, CVD oder MOCVD. Vakuumdampfabscheidung, Sputtering oder MOCVD wird in der Regel verwendet für die Abscheidung von Nanopartikeln von einem Metall, während Vakuumdampfabscheidung oder Sputtering verwendet werden können für einen Halbleiter, wie Silicium oder Germanium. Es ist auch möglich, Nanopartikel von einer Metallverbindung durch Vakuumdampfabscheidung, Sputtering oder CVD abzuscheiden.
  • In Abhängigkeit von dem Verfahren zur Bildung der Nanopartikelschicht kann die Substrattemperatur bis zu dem Punkt ansteigen, an dem der A-Phasenprecursor schmilzt, aber dies kann vermieden werden durch Kühlen des Substrats.
  • Es ist bekannt, dass es zuerst, wenn die Nanopartikel anfangen, abgeschieden zu werden, Korngrenzen gibt zwischen den Nanopartikeln, aber die Nanopartikel schrittweise eine kontinuierliche Schicht bilden, wenn die Dicke zunimmt. Die Nanopartikelschicht darf nicht so dick sein, dass die Nanopartikel aus dieser kontinuierlichen Schicht und die Korngrenzen verschwinden.
  • Wenn die Nanopartikel aus Gold sind, ist es weithin bekannt, dass eine diskontinuierliche Schicht, in der Korngrenzen vorliegen, gebildet werden, wenn der Partikeldurchmesser 10 nm oder weniger beträgt, aber eine kontinuierliche Phase gebildet wird über dieser Dicke. Nachdem die oben genannte Nanopartikelschicht gebildet worden ist, wird der Polymer-Precursor, der sich in einem B- oder A-Phasenzustand befindet (nur eine Substanz, die stabil ist bei hoher Temperatur oder stabilisiert worden ist durch Kühlen), erwärmt und vernetzt, und die auf dem Polymerfilm abgeschiedenen Nanopartikel werden in das vernetzte Polymer verteilt oder diffundiert. Als Ergebnis liegt der vernetzte Polymer-Precursor in einer gummiartigen Form vor.
  • Ein Laminat von einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln kann hergestellt werden durch Bilden eines Films (zweite Schicht), der zusammengesetzt ist aus einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln über einen Film (erste Schicht), der zusammengesetzt ist aus einer zuvor gebildeten Struktur mit dispergierten Nanopartikeln. Weitere Schichten können zugefügt werden durch Wiederholen dieses Arbeitsschritts oder Vorgangs.
  • Das Verfahren zur Bildung der zweiten und nachfolgenden Schichten ist das gleiche wie das Verfahren zur Herstellung der ersten Schicht, d.h. der oben genannten Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, aber die Schicht, auf der der Film gebildet wird (die erste Schicht im Fall der Bildung der zweiten Schicht) muss so sein, dass die Struktur mit dispergierten Nanopartikeln der vorliegenden Erfindung durch Vernetzung gebildet wird.
  • Speziell wird zuerst ein Polymer-Precursor, der eine vernetzbare Struktur aufweist und gelöst oder dispergiert wird in einem Lösemittel als ein Film aufgebracht über einen Film (erste Schicht), der zusammengesetzt ist aus einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, gebildet durch Vernetzung. Da hier nahezu alle vernetzten Polymere unlöslich sind in Lösemitteln, schließt diese Filmbildung nicht das Auflösen der ersten Schicht ein, und der dispergierte Zustand der Nanopartikel wird in der ersten Schicht beibehalten. Als nächstes werden Nanopartikel abgeschieden, der Polymer-Precursor wird vernetzt, und Erwärmen wird durchgeführt. Die Dispersion oder das Dispergieren der Nanopartikel durch Erwärmen ist nicht so entscheidend bei der Herstellung eines Laminats wie bei einer einzelnen Schicht. Dies liegt daran, dass bei einem Laminat die Nanopartikel als ganzes in einen dispergierten Zustand eintreten, wenn die Anzahl der Schichten zunimmt.
  • Beispiele des vernetzten Polymers, das in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, schließen Duroplasten, photohärtende Harze und andere Harze, die Härtungsreaktionen unterliegen, ein, aber bevorzugte Beispiele sind Phenolformaldehyd und andere solche Phenolharze, Epoxyharze und Polysiloxanharze. Unter dem Gesichtpunkt der optischen Eigenschaften ist ein Polysiloxanharz am besten.
  • Im Fall eines Polysiloxanharzes kann ein Polymer, das eine vernetzte Struktur aufweist und eine Absorption von 190 nm bis nahe an 1500 nm aufweist, erhalten werden durch Auswahl des Typs von Substituenten an den Siliciumatomen davon, aber die dielektrische Konstante kann auch eingestellt werden auf einen Bereich von 3 oder 4 bis 2 oder 3 durch Auswahl von diesen Substituenten. Ähnlich kann der Brechungsindex eingestellt werden auf von etwa 1,35 bis 1,55.
  • Ein Polysiloxanharz, das durch die folgende allgemeine Formel 1 ausgedrückt wird, und insbesondere eins, das Siloxaneinheiten aufweist, die ausgedrückt werden durch die folgende allgemeine Formel 2, können vorzugsweise als dieses Polysiloxanharz verwendet werden. RnSiO(4-n)/2 (1) RnSiO3/2 (2)
  • In den obigen Formeln steht R für eine C1 bis C10 Kohlenwasserstoffgruppe. Diese Kohlenwasserstoffgruppe schließt aliphatische und aromatische Kohlenwasserstoffgruppen ein. Aliphatische Kohlenwasserstoffgruppen schließen gesättigte und ungesättigte Kohlenwasserstoffgruppen ein. Spezielle Beispiele davon schließen Methyl, Ethyl, Propyl, Butyl, Octyl, Nonyl, Decyl, Decenyl, Cyclohexyl, Cyclo hexenyl und Cyclohexylmethyl ein. Aromatische Kohlenwasserstoffgruppen schließen C6 bis C10 Aryle und Arylalkyle (Aralkyle) ein. Spezielle Beispiele davon schließen Phenyl, Tolyl, Naphthyl, Benzyl, Phenethyl und Naphthylmethyl ein.
  • In der allgemeinen Formel 1 oben steht n für eine Zahl innerhalb des Bereichs von 0 < n < 2.
  • Im Fall eines Polysiloxanharzes gibt es kein Problem, wenn es kolloidales Siliciumoxid enthält, solang optische Transparenz beibehalten werden kann nach einem Vernetzen. Ein beliebiges Polysiloxanharz kann verwendet werden, sofern es sich in einem Lösemittel löst oder einheitlich in einem geeigneten Lösemittel dispergiert werden kann. Ein Auflösen eines solchen Polysiloxanharzes, um eine Lösung herzustellen, macht die Beschichtung des Substrats einfacher. Ein B-Phasenzustand Oligomerfilm kann hergestellt werden durch Beschichten des Substrats mit einer Lösung in der dieses Polysiloxanharz gelöst wird. Solange die Silanolgruppen, die normalerweise von einem Polysiloxanharz gehalten werden, nicht substituiert sind mit anderen organischen Gruppen in diesem Polysiloxanharz, verursacht ein Erwärmen der Silanolgruppen ein Durchlaufen einer Dehydratisierungs- oder Dehydrationskondensation und Vernetzung, so dass die Silanolgruppen als Vernetzungseinheiten fungieren.
  • Ein weiteres Beispiel eines Vernetzungsverfahrens ist eines, bei dem ein Polysiloxan, das Phenylgruppen oder andere aliphatische ungesättigte Gruppen in seinen Molekülen aufweist, gemischt wird mit einem Polysiloxan, das SiH Gruppen in seinen Molekülen aufweist, und dieses Gemisch wird vernetzt durch eine Hydrosilylierungsreaktion unter Verwendung einer Platinverbindung, einer organischen Persäureverbindung oder eines anderen solchen Katalysators, der geeignet ist für dieses Gemisch.
  • Während es von dem Typ der Substituenten an den Silciumafomen abhängt, ist das oben genannte Polysiloxanharz bei Raumtemperatur ein Feststoff und verändert sich bis hin zu einer viskosen gummiähnlichen Substanz, wenn es auf zwischen 50 und 70°C oder höher erwärmt wird. Wenn das Vernetzen bewirkt wird durch eine Dehydrationskondensation, wird ein Erwärmen über diese Temperatur ein vernetztes Polysiloxanharz bilden, das nicht schmelzbar und unlöslich in Lösemitteln ist.
  • Beispiele von Substituenten an den Siliciumatomen von dem Polysiloxanharz schließen in der Regel Wasserstoffatome, C1 bis C8 aliphatische Kohlenwasserstoffgruppen, C1 bis C6 halogenierte Kohlenwasserstoffgruppen, C1 bis C6 Perfluorkohlenwasserstoffgruppen und C1 bis C10 aromatische Kohlenwasserstoffgruppen ein, wie Phenylgruppen, Tolylgruppen und Xylylgruppen.
  • Wie oben beschrieben, wird der Polysiloxanharzfilm auf dem Substrat gebildet durch Lösen oder einheitliches Dispergieren des Polysiloxanharzes in einem Lösemittel, dann durch Aufbringen dieser Flüssigkeit durch Tauchen, Rollrakelstreichen oder Bar-Coating, Drahtbeschichtung oder Wire-Coating, Screenbeschichtung oder Screen-Coating, Spinbeschichtung oder Spin-Coating oder andere bekannte Verfahren, und dieser Film wird dann bei einer Temperatur zwischen Raumtemperatur und etwa 100°C erwärmt, um das Lösemittel zu entfernen. Das Harz kann hier verändert werden von einer A-Phase in die B-Phase durch Einstellen der Erwärmungstemperatur.
  • Die Diffusion der Nanopartikel in das vernetzte Polymer hängt ab von der Erwärmungstemperatur und der Erwärmungsgeschwindigkeit von der B-Phase bis zum Vernetzen. Auch molekulare Mobilität wird beschränkt, wenn das Vernetzen des Polymers fortschreitet, so dass die Diffusion der Nanopartikel in das Innere des vernetzten Polymers natürlich begrenzt sein wird, und es ist daher möglich, die Diffusion der Nanopartikel in das vernetzte Polymer durch Einstellen des Grads der Vernetzung in der B-Phase einzustellen. Außerdem verengt das Dünnermachen der Nanopartikelschicht die Partikelverteilung in dem ver netzten Polymer. Sie kann auch verengt werden durch Senkung der Erwärmungstemperatur. Die Partikel sollten bei einer hohen Temperatur lang genug stehen gelassen werden, damit sie lokalisiert oder ortsgebunden werden, und ein Vernetzen bei einer niedrigen Temperatur kann als vorteilhaft für eine einheitliche Dispergierung oder Dispersion betrachtet werden.
  • Effekt der Erfindung
  • Man erwartet, dass die Struktur mit dispergierten Nanopartikeln; die mit der vorliegenden Erfindung erhalten wird, Gebrauch oder Anwendung findet in einer Vielzahl von Anwendungen in Abhängigkeit von dem Typ des vernetzten Polymers oder des Typs von verwendeten Nanopartikeln. Es wird von diesen Anwendungen erwartet, dass Materialien, die zusammen gesetzt sind aus einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, in der Nanopartikel in einem optisch transparenten Polysiloxanharz dispergiert sind, besonders eine Anwendung finden auf dem Gebiet der Optoelektronik als nicht lineare optische Materialien, in denen sich Quanteneffekte manifestieren oder äußern, die von diesen Nanopartikeln gezeigt werden. Diese Materialien können auch in verschiedenen optischen Anwendungen, wie Streuungsgittern und optischen Reflexionsfilmen verwendet werden, da sie optisch transparent und einfach herzustellen sind.
  • Beispiele
  • Die vorliegende Erfindung wird nun in weiteren Einzelheiten durch Beispiele beschrieben.
  • Beispiel 1
  • Ein Polysiloxanharz (CH3SiO3/2) mit einem mittleren Molekulargewicht von 20000 wurde in Methylisobutylketon gelöst, diese Lösung wurde auf ein Glassubstrat angewendet durch Spin Coating, und die Beschichtung wurde 2 h lang bei 50°C getrocknet.
  • Die Temperatur wurde dann auf 100°C erhöht, um die Beschichtung in Methylisobutylketon unlöslich zu machen.
  • Unter Verwendung einer Sputtering-Vorrichtung von JEOL (JFC1100) wurde diese Probe 10 s lang mit Gold in einer Argonatmosphäre (130 Pa) bei 500 V und 8 mA gesputtert. Dieses Produkt wurde unter einem Abtast- oder Rasterelektronenmikroskop (scanning electron microscope) beobachtet, was zeigte, dass Goldpartikel mit einem mittleren Durchmesser von 1,2 nm auf der Oberfläche von den oben genannten Polysiloxanharzen abgeschieden worden waren.
  • Diese Probe wurde 30 min bei 180°C in einem elektrischen Ofen erwärmt, um das Polysiloxanharz zu vernetzen und gleichzeitig die Nanopartikel von Gold von der Oberfläche in das Innere des Polysiloxanharzes zu diffundieren, wobei als Ergebnis eine Struktur mit dispergierten Nanopartikeln erhalten wird. Es wurde wie folgt durch XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) bestätigt, dass die Goldnanopartikel in den Film, der aus der Struktur mit dispergierten Nanopartikeln bestand, diffundiert war. Bei der XPS zeigte das Spektrum an, dass die Bindungsenergie von 4f-Elektronen von Goldatomen beobachtet wird in der Nachbarschaft von 84 eV, und in dem Fall von 2p-Elektronen von Siliciumatomen in der Nachbarschaft von 103 eV. Die Intensität von dem XPS Spektrum von jedem von diesen bei der Polysiloxanharzoberfläche vor und nach dem Erwärmen (I[Au, 4f] und I[Si, 2p]) wurde verwendet um zu finden: I[Au, 4f]/I[Si, 2p]. Ein Vergleich wurde durchgeführt vor und nach dem Erwärmen, und es wurde gefunden, dass die Konzentration von Gold nach dem Erwärmen niedriger war als ein Viertel der Konzentration vor dem Erwärmen. Die XPS Messung hatte keinen Effekt auf die Polysiloxanharzoberfläche, und insbesondere keinen Effekt auf Siliciumatome (das gleiche gilt für Beispiel 2). Die oben genannte Intensität I[Au, 4f] drückt die Intensität von 4f-Elektronen von Goldatomen [Au, 4f] drückt die Intensität von 4f-Elektronen von Goldatomen aus, während I[Si, 2p] die Intensität von 2p-Elektronen von Siliciumatomen ausdrückt.
  • Beispiel 2
  • Ein Polysiloxanharz, das Phenylgruppen enthält (DC840, hergestellt von Dow Corning), wurde in Toluol gelöst, und ein Film, der zusammengesetzt ist aus diesem Polysiloxanharz und der etwa 1 μm misst, wurde über einem Glassubstrat gebildet durch Spincoating. Unter Verwendung einer Sputtering Vorrichtung von JEOL (JFC1100) wurde diese Probe mit Gold 20 s lang in einer Argonatmosphäre (130 Pa) bei 500 V und 8 mA gesputtert. Dieses Produkt wurde unter einem Rasterelektronenmikroskop beobachtet, was zeigte, dass Goldnanopartikel mit einem mittleren Durchmesser von 2 nm auf dem oben genannten Film abgeschieden worden waren.
  • Dieses Produkt wurde dann auf die gleiche Art und Weise wie in Beispiel 1 erwärmt, und das XPS Spektrum wurde vor und nach dem Erwärmen gemessen. Die Intensität von dem XPS Spektrum von jedem von diesen an der Polysiloxanharzoberfläche vor und nach dem Erwärmen (I[Au, 4f] und I[Si, 2p]) wurde verwendet, um zu finden: I[Au, 4f]/I[Si, 2p]. Ein Vergleich wurde angestellt vor und nach dem Erwärmen, und es wurde gefunden, dass die Konzentration von Gold nach dem Erwärmen etwa die Hälfte der Konzentration vor dem Erwärmen betrug.
  • Beispiel 3
  • Eine Dispersion wurde hergestellt durch Dispergieren einer Polysiloxanzusammensetzung ((MeSiO3/2)0,6(SiO2)0,4) in Isopropylalkohol bei einer Feststoffkonzentration von 30%. Diese Dispersion wurde angewendet auf ein weißes breites Diaglas durch Spin-Coating und 4 h lang bei 50°C getrocknet, um einen Polysiloxanharzzusammensetzungsfilm in einer A-Phase zu bilden.
  • Unter Verwendung einer Sputtering Vorrichtung von JEOL (JFC1100) wurde diese Probe mit Gold 20 s lang in einer Argonatmosphäre (130 Pa) bei 500 V und 8 mA gesputtert, um Nanopartikel von Gold zu bilden. Diese Probe wurde 30 min lang bei 150°C in Luft in einem elektrischen Ofen erwärmt, um eine erste Schicht zu bilden. Da Nanopartikel eine Plasmonabsorption zeigen, wurde das Absorptionsspektrum dieser Probe mit einem Hitachi 3400 Spektrophotometer gemessen. Die Ergebnisse sind in 1 gezeigt. Keine deutliche oder ausgeprägte Plasmonabsorption wurde detektiert oder festgestellt, aber die Untersuchung oder Beobachtung unter einem Rasterelektronenmikroskop zeigte Goldnanopartikel mit einem mittleren Durchmesser von 3 nm.
  • Als nächstes wurde eine Harzschicht, die gleiche wie die erste Harzschicht, über diese durch Spincoating gebildet, und dies wurde bei 50°C getrocknet. Nanopartikel aus Gold wurden dann gebildet unter den gleichen Bedingungen wie bei der ersten Schicht, und dies wurde 30 min lang bei 150°C erwärmt, um eine zweite Schicht zu bilden.
  • Dieser Arbeitsschritt wurde zwölfmal wiederholt, um eine Laminat von einer dispergierten Struktur zu bilden, das zwölf Schichten von Goldnanopartikeln aufweist. Das Absorptionsspektrum wurde für dieses Laminat gemessen, dessen Ergebnisse in 2 angegeben sind. Bei diesem Laminat wurde eine Plasmonabsorption, die einen Absorptionspeak bei 500 bis 550 nm aufweist, nachgewiesen.
  • Die Verteilung von Gold in der Tiefenrichtung von diesem Laminat wurde auch gemessen unter Verwendung eines Rutherford-Rückstreu-Spektrometers und einem 100° Detektionswinkel für den Ionenstrahl. Die spektrale grafische Aufzeichnung davon ist in der 3 gezeigt. Eine Schichtstruktur wurde bestätigt in den Schichten 6 bis 12 von der Substratseite, während Hysterese über einen ausgedehnten Zeitraum zur Folge hatte, dass die Schichtstruktur aus den Schichten 1 bis 6 verschwand.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine grafische Darstellung des Absorptionsspektrums von einer Probe, in der eine erste Schicht gebildet wurde;
  • 2 ist eine grafische Darstellung des Absorptionsspektrums von einem Laminat mit einer 12-Schichtstruktur mit dispergierten Teilchen; und
  • 3 ist eine spektrale grafische Darstellung, die die Ergebnisse angibt von der Vermessung des Laminats mit einer dispergierten 12-Schichtstruktur unter Verwendung eines Rutherford-Rückstreu-Spektrometers.

Claims (7)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Polymers mit dispergierten Nanopartikeln, umfassend die aufeinander folgenden Stufen von a) Abscheiden eines Polymer-Precursors auf einem Substrat, um einen Film auf dem Substrat zu bilden, wobei der Precursor eine vernetzbare Struktur aufweist und in einem A-Phasenzustand vorliegt; b) gegebenenfalls ein Erwärmen des Polymer-Precursorfilms, so dass der Polymer-Precursorfilm einen Übergang von einem A-Phasenzustand in einen B-Phasenzustand durchläuft; c) Abscheiden von Nanopartikeln auf dem Polymer-Precursorfilm in der A-Phase oder B-Phase; und d) Erwärmen von dem Polymer-Precursofilm in der A-Phase oder B-Phase, was zur Vernetzung von dem Polymer-Precursorfilm und Diffusion der Nanopartikel in den vernetzten Polymerfilm führt; wobei die Nanopartikel ausgewählt werden aus der Gruppe, bestehend aus Metallen, Metallverbindungen und Halbleitern.
  2. Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, erhältlich nach einem Verfahren gemäß Anspruch 1.
  3. Struktur mit dispergierten Nanopartikeln wie in Anspruch 2 definiert, wobei das vernetzte Polymer für ein Polysiloxanharz steht, das Einheiten aufweist, die ausgedrückt werden durch die folgende allgemeine Formel 1: RnSiO(4-n)/2 (1)wobei R für eine C1 bis C10 Kohlenwasserstoffgruppe steht, und n für eine Zahl von größer als 0 und kleiner als 2 steht.
  4. Struktur mit dispergierten Nanopartikeln wie in Anspruch 2 definiert, wobei das vernetzte Polymer für ein Polysiloxanharz steht, das Einheiten aufweist, die ausgedrückt werden durch die folgende allgemeine Formel 2: RnSiO3/2 (2)wobei R für eine C1 bis C10 Kohlenwasserstoffgruppe steht.
  5. Laminat von einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, hergestellt durch die Laminierung von einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln wie in einem der Ansprüche 2 bis 4 definiert.
  6. Laminat von einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, umfassend ein Laminat, das hergestellt wird durch Unterwerfen einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln einem Laminationsverfahren, umfassend die Stufen von Anspruch 1, wobei die Nanopartikel ausgewählt sind aus der Gruppe, bestehend aus (i) Metallen, (ii) Metallverbindungen und (iii) Halbleitern, um so eine Schicht zu bilden, die zusammengesetzt ist aus einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln.
  7. Laminat von einer Struktur mit dispergierten Nanopartikeln, wie in Anspruch 6 definiert, wobei das Laminationsverfahren wiederholt wird, um Mehrfachschichten zu bilden.
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