DE59912786D1 - Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target - Google Patents
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- H01J2235/082—Fluids, e.g. liquids, gases
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE59912786T DE59912786D1 (de) | 1998-05-15 | 1999-05-07 | Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19821939A DE19821939A1 (de) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target |
DE59912786T DE59912786D1 (de) | 1998-05-15 | 1999-05-07 | Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE59912786D1 true DE59912786D1 (de) | 2005-12-22 |
Family
ID=7867950
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19821939A Withdrawn DE19821939A1 (de) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target |
DE59912786T Expired - Lifetime DE59912786D1 (de) | 1998-05-15 | 1999-05-07 | Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19821939A Withdrawn DE19821939A1 (de) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6185277B1 (de) |
EP (1) | EP0957506B1 (de) |
JP (1) | JPH11339702A (de) |
KR (1) | KR19990088266A (de) |
DE (2) | DE19821939A1 (de) |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19905802A1 (de) * | 1999-02-12 | 2000-08-17 | Philips Corp Intellectual Pty | Röntgenröhre |
DE19934987B4 (de) * | 1999-07-26 | 2004-11-11 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Röntgenanode und ihre Verwendung |
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DE19955392A1 (de) * | 1999-11-18 | 2001-05-23 | Philips Corp Intellectual Pty | Monochromatische Röntgenstrahlenquelle |
WO2002011499A1 (en) * | 2000-07-28 | 2002-02-07 | Jettec Ab | Method and apparatus for generating x-ray or euv radiation |
DE10050810A1 (de) | 2000-10-13 | 2002-04-18 | Philips Corp Intellectual Pty | Verfahren zur Herstellung eines elektronenstrahltransparenten Fensters sowie elektronenstrahltransparentes Fenster |
DE10050811A1 (de) | 2000-10-13 | 2002-04-18 | Philips Corp Intellectual Pty | Elektronenstrahltransparentes Fenster |
JP4568850B2 (ja) * | 2000-11-15 | 2010-10-27 | 助川電気工業株式会社 | インバータ式核破砕ターゲットシステム |
DE10062928A1 (de) * | 2000-12-16 | 2002-06-20 | Philips Corp Intellectual Pty | Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target |
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DE10130070A1 (de) * | 2001-06-21 | 2003-01-02 | Philips Corp Intellectual Pty | Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target |
DE10147473C2 (de) * | 2001-09-25 | 2003-09-25 | Siemens Ag | Drehanodenröntgenröhre |
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US11869742B2 (en) | 2019-04-26 | 2024-01-09 | Isteq B.V. | X-ray source with rotating liquid-metal target |
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US11719652B2 (en) | 2020-02-04 | 2023-08-08 | Kla Corporation | Semiconductor metrology and inspection based on an x-ray source with an electron emitter array |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US4953191A (en) | 1989-07-24 | 1990-08-28 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | High intensity x-ray source using liquid gallium target |
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-
1998
- 1998-05-15 DE DE19821939A patent/DE19821939A1/de not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-05-07 US US09/307,156 patent/US6185277B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-07 EP EP99201442A patent/EP0957506B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-05-07 DE DE59912786T patent/DE59912786D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-05-12 JP JP11131444A patent/JPH11339702A/ja active Pending
- 1999-05-13 KR KR1019990017208A patent/KR19990088266A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11339702A (ja) | 1999-12-10 |
EP0957506B1 (de) | 2005-11-16 |
EP0957506A1 (de) | 1999-11-17 |
KR19990088266A (ko) | 1999-12-27 |
DE19821939A1 (de) | 1999-11-18 |
US6185277B1 (en) | 2001-02-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition |