DE533644C - Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen auf elektrisch leitenden Draehten, Faeden,Baendern o. dgl. - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen auf elektrisch leitenden Draehten, Faeden,Baendern o. dgl.Info
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
- C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates
Description
Es wurde bereits mehrfach vorgeschlagen, Überzüge auf elektrisch leitenden Drähten,
Fäden, Bändern o. dgl. durch Abscheiden des Überzugsstoffes aus einer dampfförmigen
chemischen Verbindung herzustellen. Meist finden hierzu dampfförmige Halogenverbindungen
von Metallen oder anderen Elementen Anwendung, die an den Oberflächen der stark erhitzten Drähte, Fäden o. dgl. mit
oder ohne Gegenwart eines indifferenten oder reduzierenden Gases dissoziiert werden, wobei
sich das Metall bzw. eine Verbindung desselben auf dem erhitzten Draht in zusammenhängender
Schicht niederschlägt. Die technische Durchführung dieses Verfahrensvorganges
bei ruhendem oder fortlaufend vorgeschobenem Draht, Faden o. dgl. erfolgte bisher
in der Weise, daß letzterer innerhalb eines Reaktionsgefäßes zwischen zwei Stromzuführungskontakten
bis auf die für die Zersetzung der dampfförmigen chemischen Verbindung erforderliche Temperatur erhitzt wird. Die
chemische Verbindung wird hierbei entweder schon in Dampfform in das Reaktionsgefäß
eingeführt, oder aber es wird ein im Reaktionsgefäß oder in einem Ansatz desselben untergebrachtes
Pulver der chemischen Verbindung durch eine außerhalb des Gefäßes angeordnete Wärmequelle in Dampfform übergeführt. In
letzterem Falle muß. bei höher schmelzenden Verbindungen das Reaktionsgefäß aus Hartglas
oder Quarzglas hergestellt sein.
Die Erfindung bezweckt, den Herstellungsvorgang unter Vermeidung der Außenerhitzung
und der zwangsweisen Verwendung von Hartglas- oder Quarzgefäßen zu vereinfachen sowie auch einen möglichst sparsamen
Verbrauch an der zu zersetzenden chemischen Verbindung zu erreichen. Zu diesem Zwecke
wird erfindungsgemäß die zu zersetzende chemische Verbindung in bekannter Weise im
Reaktionsgefäß in fester oder auch flüssiger Form untergebracht, jedoch derart in Nähe
des durch den elektrischen Strom erhitzten Drahtes, Fadens o. dgl., daß die Wärme des
letzteren nunmehr in neuartiger Weise auch zur Verdampfung der chemischen Verbindung,
außer zur Zersetzung derselben und zum Niederschlagen des Überzuges, verwendet
wird. Ein besonders sparsamer Verbrauch der zu zersetzenden chemischen Verbindung
ergibt sich hierbei, wenn der mit dem Überzug zu versehende erhitzte Draht, Faden
o. dgl. in der Bohrung eines aus der zu zersetzenden chemischen Verbindung hergestellten
Preßkörpers ruhend angeordnet oder aber auch fortlaufend durch diese Bohrung hindurchgeführt
wird. Die Bohrung muß dabei natürlich auch so eng sein, daß die von dem
stark erhitzten, meist glühenden Draht, Faden
Von dem Patentsucher ist als der Erfinder angegeben worden :
Dr. Kurt Moers in Berlin-Charlottenburg.
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ο dgl abgegebene Wärme zur Verdampfung der den Preßkörper bildenden chemischen Verbindung
ausreicht. In der engen Bohrung des Preßkörpers entsteht dann em Dampf von
hoher Konzentration, aus welcher sich das gewünschte Überzugsmetall (beispielsweise Platin,
Wolfram, Uran, Vanadin, Rhenium, Tantal) oder Überzugsmetalloid (beispielsweise
Silizium, Bor, Kohlenstoff) oder Über-
to zugsverbindung (beispielsweise Zirkonkarbid,
Titannitrid, CKromoxyd, Hafniumphosphid, Uransulfid) in zusammenhängender und sehr
gleichmäßiger Schicht in bekannter Weise aui dem glühenden Draht o. dgl. niederschlagt.
Selbstverständlich können auch mehrere der genannten Überzugsstoffe gleichzeitig oder auch
nacheinander auf den Draht o. dgl. niedergeschlagen werden. Bei Herstellung einer Uberzugsverbindung
muß natürlich, wie an sich
bekannt, die zu zersetzende chemische Verbindung oder das etwa noch angewendete
Spülgas einen entsprechenden Zusatz (^oluen;
wasserstoff, Stickstoff, Phosphor, Schwefel usw.) aufweisen.
« Als Gefäßmaterial für das Reaktionsgefaß kann da dieses sich während des Herstellungsvorganges
nur geringfügig erwärmt, gewöhnliches Glas, Metall oder em anderes
beliebiges Material verwendet werden. JiS
»o genügt in den meisten Fällen ein einfacher
Glaszylinder, der mit Zu- und Abfluß für das indifferente oder reduzierende Spülgas sowie
mit Durchtrittstellen für den zu überziehenden Draht, Faden o. dgl. und den-erforder-
liehen Kontakten ausgerüstet ist.
Auf der Zeichnung sind mehrere zur Durchführung des Verfahrens geeignete Vorrichtungen
in den Abb. ι bis 4 schematisch dar-
Bei der in Abb. 1 dargestellten Vorrichtung
findet als Reaktionsgefaß ein waagerecht liegender Glaszylinder 1 Anwendung, der am
einen Ende durch einen Pfropfen 2 mit Durchführungsröhrchen 3 für den zu uber-
ziehenden Draht 4, Faden o. dgl. verschlossen ist Am anderen Ende des Glaszylinders 1 ist
ein Ansatzrohr 5 zum Durchtritt des fertig behandelten Drahtes 4 vorgesehen. Der Draht
wird fortlaufend von einer Rolle 6 abge-
wickelt und auf eine Rolle 7 aufgewickelt. Innerhalb des Reaktionsgefäßes bzw. Glaszylinders
ι wird der Draht 4 durch zwei Kontaktpaare 8, 9 und auch durch die Bohrung 10
eines zwischen den beiden Kontaktpaaren an-
geordneten Preßkörpers 11 hindurchgefuhrt,
der aus der zu zersetzenden chemischen Verbindung besteht. Der Preßkörper 11 wird im
Innern des Glaszylinders 1 axial in Stellung -ehalten, etwa, wie dargestellt, durch Pfropfen
12 aus durch die entstehenden Dämpfe nicht angreifbarem Material, wie etwa Asbest oder
Glaswolle. Es kann aber auch der PreßkÖrperii
durch Vorsprünge des Glaszylinders oder durch metallische Spreizringe oder in
sonst geeigneter Weise in seiner axialen Stellung gehalten werden. Durch Vermittlung
der Rohrstutzen 13, 14 wird im Innern des
Glaszylinders I ein ständiger Durchfluß von indifferentem oder reduzierendem bpulgas
aufrechterhalten. Die Kontaktpaare 8, 9 sind durch Leitungen 15, 16 unter Zwischenschaltung
eines Widerstandes 17 an die Klemmen 18 19 einer Stromquelle angeschlossen. Bei
Stromeinschaltung wird der jeweils zwischen den Kontaktpaaren 8, 9 liegende Teil des
Drahtes 4 stark erhitzt bzw. in Glut versetzt. Hierdurch werden die dem erhitzten Draht
benachbarten Oberflächenteile der Preßkorperbohrung 10 in Dampfform übergeführt. Der
die Bohrung anfüllende Dampf, der bereits kurz nach Einschaltung des Stromes eine sehr
hohe Konzentration erreicht, wird an der Oberfläche des erhitzten Drahtes 4 zersetzt,
wobei sich der Überzugsstoff auf letzterem in an sich bekannter Weise niederschlagt. Die
starke Dampfkonzentration im Innern der Preßkörperbohrung hat zur Folge, daß der
durchgeführte Draht sehr schnell und stark aufwächst. Die Schnelligkeit der überzugsbildung
bzw. Abscheidung ist so groß, daß der Draht 4 bereits kurz nach Eintritt in die
Preßkörperbohrung infolge Querschnittsvergrößerung auf eine für eine nennenswerte
Dampfbildung nicht mehr ausreichende tiefe Temperatur gelangt. In vielen Fallen verlaßt
ein im hochglühenden Zustand in die Preßkörperbohrung
eintretender Draht den I reßkörper am Austrittsende mit einer unter Rotglut
liegenden Temperatur. Demgemäß findet nur im Anfangsteil der Preßkörperbohrung
eine Dampfbildung statt, was naturgemäß einen sehr geringen Verbrauch an der zu zersetzenden
chemischen Verbindung zur Folge hat. Ist im Laufe der Zeit der Anfangsted
der Preßkörperbohrung durch Verdampfung zu stark erweitert, dann rückt die Aufwachszone
von selbst in Richtung auf das Austrittsende der Preßkörperbohrung vor so daß
ständig eine Abscheidung von gleichbleibender Stärke eintritt.
Die Vorrichtung kann statt liegend naturgemäß auch stehend angeordnet werden in
welchem Falle der zu überziehende Draht 4 zweckmäßig eine Aufwärtsbewegung ausführt
Wenn nur verhältnismäßig kurze xi5 Drahtstücke mit einem Überzug zu versehen
sind, so kann gegebenenfalls von der Bewegung des durch die Preßkörperbohrung hmdurchgeführten
Drahtes abgesehen werden, so daß dieser also während des Abscheidungs-Vorganges
in Ruhe verbleibt.
Bei der Vorrichtung nach Abb. 2 sind
innerhalb des als Reaktionsgefäß benutzten Glaszylinders ι vier Kontaktpaare 20, 21, 22,
23 und drei durchbohrte Preßkörper 24, 25, 26 axial derart angeordnet, daß jeder Preßkörper
zwischen zwei Kontaktpaaren liegt. Sämtliche Kontaktpaare sind an zwei gemeinsame
Stromzuleitungen 27, 28 hintereinanderliegend angeschlossen. Parallel zu den zwischen
den Kontaktpaaren liegenden Drahtteilen des zu überziehenden Drahtes sind Widerstände 29, 30, 31 geschaltet. Da die
innerhalb der Preßkörper 24, 25, 26 befindlichen Drahtteile einen stufenweise ansteigenden
Drahtquerschnitt besitzen, so sind demgemäß die Widerstände 29, 30, 31 ebenfalls
verschieden groß bemessen, und zwar derart, daß der Draht an den Eintrittsstellen jedes
Preßkörpers 24, 25, 26 auf die gleich hohe Reaktionstemperatur kommt. Demgemäß findet
auch in jedem Preßkörper eine Dampfbildung sowie auch eine Abscheidung statt.
Ist die zu zersetzende chemische Verbindung schwer in die Gestalt eines handlichen
Preßkörpers zu bringen oder aber nicht genügend luftbeständig, so kann man, wie in
Abb. 3 dargestellt, die pulverförmige chemische Verbindung in einen Behälter 32 aus
Metall oder anderem hitzebeständigen Material einschließen, der seinerseits ähnlich wie
die in den Abb. 1 und 2 dargestellten Preßkörper, im Glaszylinder 1 axial gehaltert
wird. Der Metallbehälter 32 besitzt sowohl im Boden teil 33 als auch im abnehmbaren
Deckel 34 -je ein axial gebohrtes Loch, durch die vor Einbringen der pulverförmigen che-_
mischen Verbindung ein Stab 35, wie punktiert angedeutet, hindurchgeschoben wird. Bei
abgenommenem Deckel 34 wird das Pulver 36 zwischen der Behälterwand und dem eingeschobenen
Stabe 35 eingepreßt, worauf der Stab 35 herausgezogen und nach Aufsetzen
des Deckels der zu überziehende Draht 4 durch die in der festgepreßten Pulvermasse 36
entstandene Bohrung hindurchgezogen wird.
Der Draht kann sowohl waagerecht oder auch, wie dargestellt, senkrecht durch die Bohrung
hindurchtreten.
Es ist nicht unbedingt erforderlich, daß der zu überziehende Draht durch eine in fester
Form vorliegende chemische Verbindung hindurchgeführt wird. Es genügt unter Umständen
auch, wenn, wie in Abb. 4 dargestellt, der zu überziehende Draht 4 in dichtem Abstand
von der Oberfläche 37 einer den Bodenteil eines Behälters 38 ausfüllenden flüssigen
oder pulverförmigen chemischen Verbindung hinweggeführt wird. Der Behälter 38
kann in beliebiger Weise im Reaktionsgefäß 1 gehaltert werden. Auch in diesem Falle dient
der den zugeführten elektrischen Strom erhitzende Draht 4 zur Dampfbildung und auch
Abscheidung des Überzugsstoffes.
Wie an sich bekannt, kann die Abscheidung auch ohne Spülgas, bei stark vermindertem
Druck vorgenommen werden. In letzterem Falle wird zweckmäßig von in der Wandung des Reaktionsgefäßes eingesetzten, einen
sicheren Luftabschluß gewährenden Quecksilberkontakten zum Ein- und Austritt des zu
überziehenden Drahtes Gebrauch gemacht.
Claims (3)
- Patentansprüche:ι. Verfahren zur Herstellung von Überzügen auf elektrisch leitenden Drähten, Stäben, Bändern o. dgl. durch Abscheiden des Überzugsstoffes aus einer dampfförmigen chemischen Verbindung, dadurch gekennzeichnet, daß die zu zersetzende chemische Verbindung in fester oder flüssiger Form derart in Nähe des durch den elektrischen Strom erhitzten Drahtes, Fadens, Bandes o. dgl. angeordnet wird, daß die Wärme des letzteren sowohl zur Verdampfung der chemischen Verbindung als auch zu ihrer Zersetzung und zum Niederschlagen des Überzuges dient.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der mit dem Überzug zu versehende erhitzte Draht, Faden o. dgl.in der Bohrung eines aus der zu zersetzenden chemischen Verbindung hergestellten Preßkörpers angeordnet oder durch sie fortlaufend hindurchgeführt wird.
- 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Draht, Faden o. dgl. innerhalb des Reaktionsgefäßes durch mehrere hintereinandergeschaltete Kontaktpaare und auch mehrere zwischen diesen Kontaktpaaren liegenden, mit Durchf ührungsbohrungen versehenen Preßkörpern der chemischen Verbindung hindurchgeführt wird.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE533644T | 1930-04-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE533644C true DE533644C (de) | 1931-09-18 |
Family
ID=6556136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1930533644D Expired DE533644C (de) | 1930-04-16 | 1930-04-16 | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen auf elektrisch leitenden Draehten, Faeden,Baendern o. dgl. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE533644C (de) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1930
- 1930-04-16 DE DE1930533644D patent/DE533644C/de not_active Expired
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