DE1001872B - Verfahren zum Aufbringen eines UEberzuges aus Kupfer auf Metallkoerper - Google Patents

Verfahren zum Aufbringen eines UEberzuges aus Kupfer auf Metallkoerper

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DE1001872B
DE1001872B DEC6509A DEC0006509A DE1001872B DE 1001872 B DE1001872 B DE 1001872B DE C6509 A DEC6509 A DE C6509A DE C0006509 A DEC0006509 A DE C0006509A DE 1001872 B DE1001872 B DE 1001872B
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DE
Germany
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copper
temperature
carrier gas
workpiece
acetylacetonate
Prior art date
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Pending
Application number
DEC6509A
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English (en)
Inventor
Peter Pawlyk
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Commonwealth Engineering Company of Ohio
Original Assignee
Commonwealth Engineering Company of Ohio
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/06Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
    • C23C16/18Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material from metallo-organic compounds

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Description

werden kann, wenn diese Kupferverbindung zu- 9
sammen mit einem inerten Trägergas in Form eines
Stromes verwendet wird. kleinen Metallkörpern. 1 stellt eine Kammer dar, die
Man ist zwar bei der Herstellung von metallischen 25 mit einer in einer ihrer Wände angebrachten Düse 2 Überzügen auch schon so vorgegangen, daß man gas- versehen ist, die über die Pumpe 14 und Leitung 12 förmige Metallhalogene über Trägerkörper geleitet mit einem Kupferacetylacetonatkörner enthaltenden hat; nicht bekannt war es bisher aber, wie man vor- Verdampfer 13 verbunden ist. Dieser ist in öl 17 eingehen muß, um Kupferüberzüge herzustellen und daß getaucht, das sich in dem Behälter 25 befindet. Das man dies unter ganz bestimmten Bedingungen durch 30 Ölbad kann durch den elektrischen Erhitzer 18 auf thermische Zersetzung von Kupferacetylacetonat- einer etwa gleichbleibenden Temperatur gehalten dämpfen erreichen kann. werden. Der Verdampfer ist von einer Hohlschlange
Bei der Ausführung des Verfahrens wird Kupfer- 19 umgeben, die an einem Ende in die untere Wanacetylacetonat verdampft und mit einem inerten dung des Verdampfers und am anderen Ende in das Trägergas, ζ. B. Kohlendioxyd, Stickstoff, Argon, 35 an dem Kohlendioxydbehälter 24 angebrachte Ventil Helium, gemischt. Das Gasgemisch läßt man alsdann 20 führt.
über die zu überziehenden erhitzten Metallkörper In der Mitte der Kammer 1 befindet sich ein mit
strömen, worauf sich die dampfförmige Kupferver- einem Kupferüberzug zu versehendes metallisches bindung zersetzt und auf den Metallkörpern Kupfer Werkstück 3, das an einer an einer Seitenwand der niedergeschlagen wird. Das Kupferacetylacetonat ergibt 40 Kammer befestigten Stütze 4 aufgehängt ist. In der die größte Wirkung, wenn es in einer Überzugs- Kammer ist ferner in der Nähe des Werkstückes 3 atmosphäre verwendet wird, die eine Temperatur von ein Widerstandserhitzungsteil 16 angebracht, das auf etwa 150 bis 230° C besitzt, wenn ferner die zu über- der Platte 15 angeordnet ist; das Ganze ist an der ziehenden Metallkörper eine Temperatur von etwa Stütze 21 angebracht. Das Widersfandserhitzungsteil 260 bis 345° C haben und die Strömungsgeschwindig- 45 16, das durch den Leiter 5 von einer nicht darkeit des gasförmigen Gemisches verhältnismäßig hoch gestellten Quelle mit elektrischem Strom beliefert
ist, d. h. etwa 1 bis 8 1 pro Minute beträgt.
Die Erfindung ist im folgenden unter Bezugnahme
auf die Zeichnung und an Hand einiger Beispiele
näher erläutert.
Die Zeichnung veranschaulicht eine Vorrichtung,
die zur Durchführung des der Erfindung zugrunde
liegenden Verfahrens besonders geeignet ist. Sie
dient der Herstellung metallischer Überzüge auf
wird, und die Platte 15 erhitzen durch Strahlung und Leitung an der Stütze 4 aufgehängte metallische Werkstücke, die eine beliebige Form besitzen können. Die Kammer 1 ist ferner mit einer Austrittsöffnung 8 versehen, die unmittelbar in die Atmosphäre führen kann, vorzugswei.se aber einen der Wiedergewinnung von metallhaltigen Dämpfen dienenden Auffang 22 aufweist. Dieser kann zum Zweck der
60Ϊ 768/162

Claims (3)

  1. I 001 872
    3 4
    Kondensation der Dämpfe von Kühlwasser 23 um- acetylacetonat niedergeschlagen wird, während die
    geben sein. anderen Abgase in die Atmosphäre entweichen. Ein
    Die Kammer 1 hat außerdem eine öffnung 6, durch solches Vorgehen übt auf den in der Kammer herr-
    die das Werkstück 3 eingeführt und die durch den sehenden Druck keinen wesentlichen Einfluß aus,
    Deckel 7 geschlossen wird, wenn die Vorrichtung im 5 wenn der Auf fang seinerseits mit der Atmosphäre in
    Betrieb ist.. Sie ist.ferner von einem einen Einlaß 10 Verbindung steht.
    und Auslaß 11 aufweisenden Kühlwassermantel 9 um- Die folgenden Beispiele stellen besonders günstige
    geben, durch den genügend Kühlwasser hindurch- Bedingungen für die Herstellung von Überzügen bei
    gehen kann, um die Temperatur der Kammerwände der Verwendung von Kupferacetylacetonat dar. Diese
    zwischen etwa 25 und 40° C zu halten. io Bedingungen können nicht nur bei Benutzung der
    Bei der praktischen Durchführung des der Erfin- oben beschriebenen Vorrichtung, sondern auch bei
    dung zugrunde Hegenden Verfahrens wird der Anwendung anderer Vorrichtungen gewählt werden
    Metallkörper zuerst durch geeignete bekannte Mittel und stellen lediglich Beispiele für die Bedingungen
    gereinigt. Er kann z. B.; um den Zunder zu entfernen, dar, unter denen das Verfahren vor sich gehen kann, mit einer Säure und alsdann mit Alkohol zur Befrei- 15 .
    ung von den Säureresten behandelt werden. Beispiel 1
    Aus der Vorrichtung kann zuerst die Luft ver- 1. Temperatur des Werkstücks
    trieben werden, indem vor der Einführung des zu (Stahl) 345° C
    überziehenden Werkstücks ein inertes Trägergas 2. Temperatur des Verdampfers .... 175° C
    durch die Kammer geleitet wird. 20 3. Strömungsgeschwindigkeit des
    Nachdem das gereinigte Werkstück in die Trägergases II pro Minute
    Kammer 1 eingebracht und auf eine Temperatur von 4. Trägergas C O2
    etwa 260 bis 345° C erhitzt worden ist, wird das an 5. Zeit zur Ablagerung einer Kupfer-
    dem Behälter 24 angebrachte Ventil 20 geöffnet, worauf schicht von 0,025 mm Dicke 5 Minuten
    Kohlendioxydgase zu der Schlange 19 strömen, die in 25 . T
    dem auf einer Temperatur von etwa 150 bis 230° C Beispiel 11
    gehaltenen Öl eingetaucht ist, wodurch die Kohlen- 1. Temperatur des Werkstücks
    dioxydgase eine Temperatur der gleichen Größen- (Gußeisen) 260° C
    Ordnung erhalten. Diese erhitzten Gase gehen als- 2. Temperatur des Verdampfers .... 150° C
    dann in den Verdampfer 13 und begünstigen die Ver- 30 3. Strömungsgeschwindigkeit des
    dampfung des Kupferacetylacetonats, das darauf, Trägergases 11 pro Minute
    innig vermischt mit Kohlendioxyd, unter dem herr- 4. Trägergas C O2
    sehenden Druck zu der Pumpe 14 und der Düse 2 5. Zeit zur Ablagerung einer Kupferströmt. Die Pumpe 14 ist nicht unbedingt erforder- schicht von 0,025 mm Dicke 60 Minuten
    lieh; ihre Anwendung ist jedoch zweckmäßig, wenn 35 Dieses Beispiel stellt Grenzbedingungen für die
    die Leitung 12 sehr lang oder ihr Durchmesser sehr Ablagerung von Kupfer dar. klein ist.
    Die Gase, die unter den erwähnten Bedingungen Beispiel 111
    und bei einem vom Behälter 24 kommenden Kohlen- 1. Temperatur des Werkstücks
    dioxydstrom von 11 pro Minute weniger als etwa 40 (Stahl) 345° C
    10% metallhaltigen Dampf enthalten können, expan- 2. Temperatur des Verdampfers 230° C
    diieren in die Kammer 1 und füllen diese aus. In den 3. Strömungsgeschwindigkeit des
    meisten Fällen ist es erwünscht, den Gasstrom un- Trägergases 21 pro Minute
    mittelbar auf das Werkstück 3 zu richten. Erforder- 4. Trägergas C O2
    lieh ist das aber nicht, da die Kupferacetylacetonat- 45 5. Zeit zur Ablagerung einer Kupfermoleküle, wenn sie bei ihrer freien Bewegung auf das schicht von 0,025 mm Dicke .... 3 Minuten erhitzte Werkstück 3 treffen, sich zersetzen und das . Kupfermetall auf dem Werkstück niederschlagen. Beispiel IV
    Die Metallplatte 15 erhält natürlich ebenfalls einen 1. Temperatur des Werkstücks
    Kupferüberzug. Das ist aber nicht von Nachteil, da 50 (Stahl) 345° C
    der Überzug Wärme gegen den Körper 3 gut aus- 2. Temperatur des Verdampfers .... 205° C
    strahlt und das Kupfer natürlich wiedergewonnen 3. Strömungsgeschwindigkeit des
    werden kann. Die inneren Wandflächen der Kammer Trägergases 21 pro Minute
    werden praktisch nicht mit einer Metallablagerung 4. Trägergas Stickstoff
    versehen, da sie infolge des durch den Kühlmantel 9 55 5. Zeit zur Ablagerung einer Kupferströmenden Wassers auf einer verhältnismäßig nied- schicht von 0,025 mm Dicke 4 Minuten
    rigen Temperatur gehalten werden..
    Der Metallkörper 3 erhält unter den angegebenen Das Verhältnis des inerten Trägergases zu dem
    Bedingungen in etwa 3 bis 60 Minuten eine Kupfer- Kupferacetylacetonat in dem Überzugsgas ist nicht an ablagerung von etwa 0,025 mm Dicke. 60 einen bestimmten Wert gebunden; verdünntere Gase
    Wenn sich das Kupferacetylacetonat zersetzt, er- erfordern zur Herstellung einer bestimmten Dicke zeugt es infolge der gebildeten gasförmigen Zer- der Uberzugsschicht an abgelagertem Kupfer ledigsetzungsprodukte einen gegen die öffnung 8 gerich- lieh eine längere Niederschlagszeit, teten Druck, durch die das Abgas entweicht. Infolge
    der angewandten hohen Strömungsgeschwindigkeiten 65 Patentansprüche:
    ist es nicht ausgeschlossen, daß etwas Kupferacetyl- 1. Verfahren zum Überziehen von Metall-
    acetonat mit dem Abgas durch die Austrittsleitung körpern, insbesondere Stahl- oder Gußeisengeht. Da diese Kupferverbindung verhältnismäßig körpern, mit Kupfer durch thermische Zersetzung
    teuer ist, ist es im allgemeinen erwünscht, die Dämpfe von Kupferacetylacetonat, dadurch gekennzeichnet,
    durch einen Auffang zu leiten, in dem das Kupfer- 70 daß die Metallkörper bei etwa atmosphärischem
    Druck auf eine Temperatur von etwa 260 bis 345° C erhitzt und der Einwirkung eines Stromes von mit einem an dem Niederschlagsprozeß chemisch nicht beteiligten Trägergas, wie Kohlendioxyd, Argon, Helium, vermischten dampfförmigen Kupferacetylacetonat ausgesetzt werden, dessen Temperatur etwa 150 bis 230° C beträgt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Kupferacetylacetonat z. B. bei einer Temperatur von etwa 150 bis 230° C verdampft, mit z. B. auf etwa 150 bis 230° C erhitztem inertem Trägergas gemischt und das Gemisch bei einer Strömungsgeschwindigkeit von z. B. 1 bis
    81 pro Minute mit den erhitzten Metallkörpern in Berührung gebracht wird.
  3. 3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2 zur Anbringung eines Kupferüberzuges von einer Dicke von etwa 0,025 mm, dadurch gekennzeichnet, daß die erhitzten Metallkörper etwa 3 bis 60 Minuten lang mit dem aus Trägergas und verdampften Kupferacetylacetonat bestehenden Gemisch in Berührung gebracht werden.
    In Betracht gezogene Druckschriften:
    Deutsche Patentschriften Nr. 533 644, 600 374;
    französische Patentschrift Nr. 954 980.
    Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
    © 609 768/162 1.57
DEC6509A 1951-10-08 1952-10-06 Verfahren zum Aufbringen eines UEberzuges aus Kupfer auf Metallkoerper Pending DE1001872B (de)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE533644C (de) * 1930-04-16 1931-09-18 Patra Patent Treuhand Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen auf elektrisch leitenden Draehten, Faeden,Baendern o. dgl.
DE600374C (de) * 1929-03-01 1934-07-18 Franz Skaupy Dr Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen aus Oxyden, Nitriden oder Carbiden
FR954980A (de) * 1950-01-06

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR954980A (de) * 1950-01-06
DE600374C (de) * 1929-03-01 1934-07-18 Franz Skaupy Dr Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen aus Oxyden, Nitriden oder Carbiden
DE533644C (de) * 1930-04-16 1931-09-18 Patra Patent Treuhand Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen auf elektrisch leitenden Draehten, Faeden,Baendern o. dgl.

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