DE1001872B - Verfahren zum Aufbringen eines UEberzuges aus Kupfer auf Metallkoerper - Google Patents
Verfahren zum Aufbringen eines UEberzuges aus Kupfer auf MetallkoerperInfo
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
- C23C16/18—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material from metallo-organic compounds
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Description
werden kann, wenn diese Kupferverbindung zu- 9
sammen mit einem inerten Trägergas in Form eines
Stromes verwendet wird. kleinen Metallkörpern. 1 stellt eine Kammer dar, die
Stromes verwendet wird. kleinen Metallkörpern. 1 stellt eine Kammer dar, die
Man ist zwar bei der Herstellung von metallischen 25 mit einer in einer ihrer Wände angebrachten Düse 2
Überzügen auch schon so vorgegangen, daß man gas- versehen ist, die über die Pumpe 14 und Leitung 12
förmige Metallhalogene über Trägerkörper geleitet mit einem Kupferacetylacetonatkörner enthaltenden
hat; nicht bekannt war es bisher aber, wie man vor- Verdampfer 13 verbunden ist. Dieser ist in öl 17 eingehen
muß, um Kupferüberzüge herzustellen und daß getaucht, das sich in dem Behälter 25 befindet. Das
man dies unter ganz bestimmten Bedingungen durch 30 Ölbad kann durch den elektrischen Erhitzer 18 auf
thermische Zersetzung von Kupferacetylacetonat- einer etwa gleichbleibenden Temperatur gehalten
dämpfen erreichen kann. werden. Der Verdampfer ist von einer Hohlschlange
Bei der Ausführung des Verfahrens wird Kupfer- 19 umgeben, die an einem Ende in die untere Wanacetylacetonat
verdampft und mit einem inerten dung des Verdampfers und am anderen Ende in das Trägergas, ζ. B. Kohlendioxyd, Stickstoff, Argon, 35 an dem Kohlendioxydbehälter 24 angebrachte Ventil
Helium, gemischt. Das Gasgemisch läßt man alsdann 20 führt.
über die zu überziehenden erhitzten Metallkörper In der Mitte der Kammer 1 befindet sich ein mit
strömen, worauf sich die dampfförmige Kupferver- einem Kupferüberzug zu versehendes metallisches
bindung zersetzt und auf den Metallkörpern Kupfer Werkstück 3, das an einer an einer Seitenwand der
niedergeschlagen wird. Das Kupferacetylacetonat ergibt 40 Kammer befestigten Stütze 4 aufgehängt ist. In der
die größte Wirkung, wenn es in einer Überzugs- Kammer ist ferner in der Nähe des Werkstückes 3
atmosphäre verwendet wird, die eine Temperatur von ein Widerstandserhitzungsteil 16 angebracht, das auf
etwa 150 bis 230° C besitzt, wenn ferner die zu über- der Platte 15 angeordnet ist; das Ganze ist an der
ziehenden Metallkörper eine Temperatur von etwa Stütze 21 angebracht. Das Widersfandserhitzungsteil
260 bis 345° C haben und die Strömungsgeschwindig- 45 16, das durch den Leiter 5 von einer nicht darkeit
des gasförmigen Gemisches verhältnismäßig hoch gestellten Quelle mit elektrischem Strom beliefert
ist, d. h. etwa 1 bis 8 1 pro Minute beträgt.
Die Erfindung ist im folgenden unter Bezugnahme
auf die Zeichnung und an Hand einiger Beispiele
näher erläutert.
auf die Zeichnung und an Hand einiger Beispiele
näher erläutert.
Die Zeichnung veranschaulicht eine Vorrichtung,
die zur Durchführung des der Erfindung zugrunde
liegenden Verfahrens besonders geeignet ist. Sie
dient der Herstellung metallischer Überzüge auf
die zur Durchführung des der Erfindung zugrunde
liegenden Verfahrens besonders geeignet ist. Sie
dient der Herstellung metallischer Überzüge auf
wird, und die Platte 15 erhitzen durch Strahlung und Leitung an der Stütze 4 aufgehängte metallische
Werkstücke, die eine beliebige Form besitzen können. Die Kammer 1 ist ferner mit einer Austrittsöffnung
8 versehen, die unmittelbar in die Atmosphäre führen kann, vorzugswei.se aber einen der Wiedergewinnung
von metallhaltigen Dämpfen dienenden Auffang 22 aufweist. Dieser kann zum Zweck der
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Claims (3)
- I 001 872
3 4Kondensation der Dämpfe von Kühlwasser 23 um- acetylacetonat niedergeschlagen wird, während diegeben sein. anderen Abgase in die Atmosphäre entweichen. EinDie Kammer 1 hat außerdem eine öffnung 6, durch solches Vorgehen übt auf den in der Kammer herr-die das Werkstück 3 eingeführt und die durch den sehenden Druck keinen wesentlichen Einfluß aus,Deckel 7 geschlossen wird, wenn die Vorrichtung im 5 wenn der Auf fang seinerseits mit der Atmosphäre inBetrieb ist.. Sie ist.ferner von einem einen Einlaß 10 Verbindung steht.und Auslaß 11 aufweisenden Kühlwassermantel 9 um- Die folgenden Beispiele stellen besonders günstigegeben, durch den genügend Kühlwasser hindurch- Bedingungen für die Herstellung von Überzügen beigehen kann, um die Temperatur der Kammerwände der Verwendung von Kupferacetylacetonat dar. Diesezwischen etwa 25 und 40° C zu halten. io Bedingungen können nicht nur bei Benutzung derBei der praktischen Durchführung des der Erfin- oben beschriebenen Vorrichtung, sondern auch beidung zugrunde Hegenden Verfahrens wird der Anwendung anderer Vorrichtungen gewählt werdenMetallkörper zuerst durch geeignete bekannte Mittel und stellen lediglich Beispiele für die Bedingungengereinigt. Er kann z. B.; um den Zunder zu entfernen, dar, unter denen das Verfahren vor sich gehen kann, mit einer Säure und alsdann mit Alkohol zur Befrei- 15 .ung von den Säureresten behandelt werden. Beispiel 1Aus der Vorrichtung kann zuerst die Luft ver- 1. Temperatur des Werkstückstrieben werden, indem vor der Einführung des zu (Stahl) 345° Cüberziehenden Werkstücks ein inertes Trägergas 2. Temperatur des Verdampfers .... 175° Cdurch die Kammer geleitet wird. 20 3. Strömungsgeschwindigkeit desNachdem das gereinigte Werkstück in die Trägergases II pro MinuteKammer 1 eingebracht und auf eine Temperatur von 4. Trägergas C O2etwa 260 bis 345° C erhitzt worden ist, wird das an 5. Zeit zur Ablagerung einer Kupfer-dem Behälter 24 angebrachte Ventil 20 geöffnet, worauf schicht von 0,025 mm Dicke 5 MinutenKohlendioxydgase zu der Schlange 19 strömen, die in 25 . Tdem auf einer Temperatur von etwa 150 bis 230° C Beispiel 11gehaltenen Öl eingetaucht ist, wodurch die Kohlen- 1. Temperatur des Werkstücksdioxydgase eine Temperatur der gleichen Größen- (Gußeisen) 260° COrdnung erhalten. Diese erhitzten Gase gehen als- 2. Temperatur des Verdampfers .... 150° Cdann in den Verdampfer 13 und begünstigen die Ver- 30 3. Strömungsgeschwindigkeit desdampfung des Kupferacetylacetonats, das darauf, Trägergases 11 pro Minuteinnig vermischt mit Kohlendioxyd, unter dem herr- 4. Trägergas C O2sehenden Druck zu der Pumpe 14 und der Düse 2 5. Zeit zur Ablagerung einer Kupferströmt. Die Pumpe 14 ist nicht unbedingt erforder- schicht von 0,025 mm Dicke 60 Minutenlieh; ihre Anwendung ist jedoch zweckmäßig, wenn 35 Dieses Beispiel stellt Grenzbedingungen für diedie Leitung 12 sehr lang oder ihr Durchmesser sehr Ablagerung von Kupfer dar. klein ist.Die Gase, die unter den erwähnten Bedingungen Beispiel 111und bei einem vom Behälter 24 kommenden Kohlen- 1. Temperatur des Werkstücksdioxydstrom von 11 pro Minute weniger als etwa 40 (Stahl) 345° C10% metallhaltigen Dampf enthalten können, expan- 2. Temperatur des Verdampfers 230° Cdiieren in die Kammer 1 und füllen diese aus. In den 3. Strömungsgeschwindigkeit desmeisten Fällen ist es erwünscht, den Gasstrom un- Trägergases 21 pro Minutemittelbar auf das Werkstück 3 zu richten. Erforder- 4. Trägergas C O2lieh ist das aber nicht, da die Kupferacetylacetonat- 45 5. Zeit zur Ablagerung einer Kupfermoleküle, wenn sie bei ihrer freien Bewegung auf das schicht von 0,025 mm Dicke .... 3 Minuten erhitzte Werkstück 3 treffen, sich zersetzen und das . Kupfermetall auf dem Werkstück niederschlagen. Beispiel IVDie Metallplatte 15 erhält natürlich ebenfalls einen 1. Temperatur des WerkstücksKupferüberzug. Das ist aber nicht von Nachteil, da 50 (Stahl) 345° Cder Überzug Wärme gegen den Körper 3 gut aus- 2. Temperatur des Verdampfers .... 205° Cstrahlt und das Kupfer natürlich wiedergewonnen 3. Strömungsgeschwindigkeit deswerden kann. Die inneren Wandflächen der Kammer Trägergases 21 pro Minutewerden praktisch nicht mit einer Metallablagerung 4. Trägergas Stickstoffversehen, da sie infolge des durch den Kühlmantel 9 55 5. Zeit zur Ablagerung einer Kupferströmenden Wassers auf einer verhältnismäßig nied- schicht von 0,025 mm Dicke 4 Minutenrigen Temperatur gehalten werden..Der Metallkörper 3 erhält unter den angegebenen Das Verhältnis des inerten Trägergases zu demBedingungen in etwa 3 bis 60 Minuten eine Kupfer- Kupferacetylacetonat in dem Überzugsgas ist nicht an ablagerung von etwa 0,025 mm Dicke. 60 einen bestimmten Wert gebunden; verdünntere GaseWenn sich das Kupferacetylacetonat zersetzt, er- erfordern zur Herstellung einer bestimmten Dicke zeugt es infolge der gebildeten gasförmigen Zer- der Uberzugsschicht an abgelagertem Kupfer ledigsetzungsprodukte einen gegen die öffnung 8 gerich- lieh eine längere Niederschlagszeit, teten Druck, durch die das Abgas entweicht. Infolgeder angewandten hohen Strömungsgeschwindigkeiten 65 Patentansprüche:ist es nicht ausgeschlossen, daß etwas Kupferacetyl- 1. Verfahren zum Überziehen von Metall-acetonat mit dem Abgas durch die Austrittsleitung körpern, insbesondere Stahl- oder Gußeisengeht. Da diese Kupferverbindung verhältnismäßig körpern, mit Kupfer durch thermische Zersetzungteuer ist, ist es im allgemeinen erwünscht, die Dämpfe von Kupferacetylacetonat, dadurch gekennzeichnet,durch einen Auffang zu leiten, in dem das Kupfer- 70 daß die Metallkörper bei etwa atmosphärischemDruck auf eine Temperatur von etwa 260 bis 345° C erhitzt und der Einwirkung eines Stromes von mit einem an dem Niederschlagsprozeß chemisch nicht beteiligten Trägergas, wie Kohlendioxyd, Argon, Helium, vermischten dampfförmigen Kupferacetylacetonat ausgesetzt werden, dessen Temperatur etwa 150 bis 230° C beträgt. - 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Kupferacetylacetonat z. B. bei einer Temperatur von etwa 150 bis 230° C verdampft, mit z. B. auf etwa 150 bis 230° C erhitztem inertem Trägergas gemischt und das Gemisch bei einer Strömungsgeschwindigkeit von z. B. 1 bis81 pro Minute mit den erhitzten Metallkörpern in Berührung gebracht wird.
- 3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2 zur Anbringung eines Kupferüberzuges von einer Dicke von etwa 0,025 mm, dadurch gekennzeichnet, daß die erhitzten Metallkörper etwa 3 bis 60 Minuten lang mit dem aus Trägergas und verdampften Kupferacetylacetonat bestehenden Gemisch in Berührung gebracht werden.In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschriften Nr. 533 644, 600 374;
französische Patentschrift Nr. 954 980.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen© 609 768/162 1.57
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US1001872XA | 1951-10-08 | 1951-10-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1001872B true DE1001872B (de) | 1957-01-31 |
Family
ID=22278520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEC6509A Pending DE1001872B (de) | 1951-10-08 | 1952-10-06 | Verfahren zum Aufbringen eines UEberzuges aus Kupfer auf Metallkoerper |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1001872B (de) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE533644C (de) * | 1930-04-16 | 1931-09-18 | Patra Patent Treuhand | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen auf elektrisch leitenden Draehten, Faeden,Baendern o. dgl. |
DE600374C (de) * | 1929-03-01 | 1934-07-18 | Franz Skaupy Dr | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen aus Oxyden, Nitriden oder Carbiden |
FR954980A (de) * | 1950-01-06 |
-
1952
- 1952-10-06 DE DEC6509A patent/DE1001872B/de active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR954980A (de) * | 1950-01-06 | |||
DE600374C (de) * | 1929-03-01 | 1934-07-18 | Franz Skaupy Dr | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen aus Oxyden, Nitriden oder Carbiden |
DE533644C (de) * | 1930-04-16 | 1931-09-18 | Patra Patent Treuhand | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen auf elektrisch leitenden Draehten, Faeden,Baendern o. dgl. |
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