DE4491977C1 - Mehrstufige Strahlpumpeneinheit - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine mehrstufige Strahlpumpen­ einheit (Mehrstufenejektoreinheit), die eine Vielzahl von in Reihe geschalteten Düsen aufweist, um die Aufnahmeluftmenge oder die Saugkraft des Ejektors zu erhöhen.

Mehrstufenejektoreinheiten, die eine Vielzahl von Düsen in mehreren Stufen aufweisen, um die Menge der Aufnahmeluft oder Saugkraft zu vermehren, sind aus dem Stand der Technik bekannt, bspw. aus der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 59- 24280 (US-Patent 3,959,864) und der japanischen Offenlegungs­ schrift Nr. 63-29120 (US-Patent 4,466,778). Derartige Mehrstufenejektoren haben das Problem, daß bereits eine geringfügige fehlerhafte Ausrichtung der Achsen der in Reihe angeordneten Düsen zu einer wesentlichen Verschlechterung der Qualität ihres Saugverhaltens führt. Beispielsweise kann eine angestrebte Funktionsqualität nicht erwartet werden, wenn die Konzentrizität der entsprechenden Düsen nicht geringer ist als ein paar Hundertstel eines Millimeters.

In dieser Hinsicht werden gemäß den in den oben genannten Patentveröffentlichungen vorgeschlagenen herkömmlichen Mehrstufenejektoreinheiten eine Vielzahl von separat geformten Düsen in Reihe in Axialrichtung des Gehäuses in ein Ejektor­ gehäuse eingesetzt. Daraus folgt, daß hochpräzises Arbeiten erforderlich ist, nicht nur bei der Bearbeitung des Ejektor­ gehäuses, sondern auch bei dem Zusammensetzen der Düsen wodurch diese Bearbeitungs- und Zusammensetzungsvorgänge aufwendig und die Produktionskosten erhöht werden.

Im Hinblick auf die Schaffung einer Mehrstufenejektoreinheit zu geringen Kosten wurden bisher Versuche unternommen, den gesamten Ejektor durch Kunststofformen in eine einstückige Struktur zu formen, wie es in der japanischen Offenlegungs­ schrift H2-37200 (US-Patent 4,960,364) beschrieben ist. In diesem Fall ist es jedoch extrem schwierig, die Genauigkeit des Formens soweit zu verbessern, daß teilweise Dicken­ abweichungen, die normalerweise bei Kunststofformen auftreten, vollständig vermieden werden, um die Originalgenauigkeit der geformten Struktur formen über eine längere Zeitperiode aufrechtzuerhalten.

Es ist eine wesentliche Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Mehrstufenejektoreinheit zu schaffen, die sehr einfach zusammengesetzt werden kann, ohne hochpräzise Arbeit beim Zusammensetzen einer Vielzahl von Düsen des Mehrstufenejektors zu erfordern, und die zu geringen Kosten hergestellt werden kann.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird diese Aufgabe durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 4 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unter­ ansprüchen.

So kann die Mehrstufenejektoreinheit ein Luftzufuhrventil für die Zufuhr unter Druck stehender Luft zu dem Düsenkörper und ein Vakuumunterbrechungsventil zur Zufuhr unter Druck stehender Luft zu der Vakuumkammer umfassen.

Die erfindungsgemäße Mehrstufenejektoreinheit trägt dazu bei, die Produktionskosten durch Vereinfachung der Montage zu reduzieren, die einfach durch Einsetzen der Mehrstufenejektor­ struktur in die in dem Gehäusekörper vorgesehene Durchgangs­ öffnung oder durch Befestigen der Mehrstufenejektorstruktur an der flachen Oberfläche an der Außenseite der Bodenwand des Gehäusekörpers durchgeführt werden kann, im Gegensatz zu herkömmlichen Mehrstufenejektoren, die eine hochpräzise Montage einer Vielzahl von Düsen erfordern.

Außerdem ist der Mehrstufenejektor mit Hochpräzisionsteilen, wie Düsen und Diffusoren, als einstückig geformte Struktur vorgesehen, was die zeitverschleißenden Zentrierarbeiten für eine Vielzahl von Düsen und Diffusoren unnötig macht, wobei die Arbeit des Einsetzens der Mehrstufenejektorstruktur in den Gehäusekörper sowie sein Austausch und die Bearbeitungs­ vorgänge des Gehäusekörpers vereinfacht werden.

In den beigefügten Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine längsgeschnittene Vorderansicht einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine perspektivische Explosionsdarstellung dersel­ ben Ausführungsform;

Fig. 3 schematisch den Systemschaltplan der ersten Aus­ führungsform;

Fig. 4 eine längsgeschnittene Vorderansicht einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 5 eine perspektivische Explosionsdarstellung der zweiten Ausführungsform;

Fig. 6 schematisch den Systemschaltplan der zweiten Ausführungsform;

Fig. 7 eine längsgeschnittene Vorderansicht einer dritten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 8 einen Schnitt entlang der Linie A-A in Fig. 7; und

Fig. 9 eine perspektivische Explosionsdarstellung der dritten Ausführungsform.

Bezugnehmend auf die Fig. 1 und 2, die die erste Ausführungs­ form der Mehrstufenejektoreinheit gemäß der vorliegenden Erfindung darstellen, besteht der mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnete Mehrstufenejektor im wesentlichen aus einem Gehäusekörper 2 und einem Mehrstufenejektor 3.

Der Gehäusekörper 2 ist in kanalähnlicher Form ausgebildet mit einer dicken Bodenwand, die intern eine axiale Durchgangsöff­ nung 5 zur Aufnahme des Mehrstufenejektors 3 und einen Kanal 6 enthält, der an der Oberseite der Bodenwand vorgesehen ist und sich über ihre gesamte Länge erstreckt. Der Gehäusekörper 2 besteht aus einer einstückigen Struktur aus einem Metall­ extrudat oder aus einem Kunststoffspritzgußteil. Front- und Endabdeckungen 7 und 8 sind durch eine Vielzahl von Schrauben 10a sicher an den gegenüberliegenden Enden des Gehäusekörpers 2 befestigt, und eine Saugabdeckung 9 ist auf ähnliche Weise durch eine Vielzahl von Schrauben 10b sicher an der offenen Seite des Kanals 6 befestigt.

Der Mehrstufenejektor 3 besteht aus einem Düsenkörper 12 mit einer Strahlöffnung 13 zum Ausstrahlen eines Betriebsfluids, und einer Mehrstufenejektorstruktur 14, die in Fluidausstrahl­ richtung der Strahlöffnung 13 in dem Düsenkörper 12 angeordnet ist. Die Mehrstufenejektorstruktur 14 ist aus einem metalli­ schen oder Kunststoffmaterial im wesentlichen in eine röhrenförmige Gestalt geformt und nacheinander entlang ihrer Mittelachse mit Diffusor-Düsen 15a und 15b sowie einem Diffusor 15c einer Endstufe versehen, wobei zwischen den Diffusor-Düsen 15a und 15b und dem Endstufendiffusor 15c Abschnitte 16a und 16b mit vergrößertem Durchmesser und Luftsaugöffnungen 17a und 17b (vgl. Fig. 2) liegen. Die oben genannten Diffusor-Düsen 15a und 15b und der Endstufendiffusor 15c nehmen in dieser Reihenfolge im Durchmesser allmählich zu. Zusätzlich divergiert der Endstufendiffusor 15c in keilförmi­ ger Art und Weise von seinem Mittelpunkt aus.

Flansche 18a bis 18c sind an den Umfangsflächen der Diffusor- Düsen 15a und 15b bzw. des Endstufendiffusors 15c an der oben beschriebenen Mehrstufenejektorstruktur 14 ausgebildet. Die Mehrstufenejektorstruktur 14 ist durch Verwendung elastischer Dichtungsringe 19a bis 19c, die zwischen die Flansche 18a bis 18c und entsprechende innere Umfangsflächen der Axialöffnung 5 eingesetzt sind, hermetisch abgedichtet in die axiale Durchgangsöffnung 5 eingepaßt. Andererseits ist der Düsenkör­ per 12 von der gegenüberliegenden Richtung über einen Dichtungsring 20 derart hermetisch abgedichtet in die Axialöffnung 5 eingepaßt, daß die Strahlöffnung 13 des Düsenkörpers 12 axial mit den Diffusor-Düsen 15a und 15b und dem Endstufendiffusor 15c ausgerichtet ist. Hierdurch wird durch und zwischen dem hermetisch abgedichtet eingepaßten Düsenkörper 21 und dem Flansch 18a an der Mehrstufenejektor­ struktur 14 eine erste Vakuum erzeugende Kammer 21a einer ersten Stufe innerhalb der axialen Durchgangsöffnung 5 definiert. Zweite und dritte Vakuum erzeugende Kammern 21b und 21c späterer Stufen werden innerhalb der Axialöffnung 5 zwischen den Flanschen 18a und 18b bzw. zwischen den Flanschen 18b und 18c der Mehrstufenejektorstruktur 14 definiert. Die Luftansaugöffnungen 17a und 17b in den Abschnitten 16a und 16b mit vergrößertem Durchmesser öffnen sich in die Vakuum erzeugenden Kammern 21b bzw. 21c der späteren Stufen.

Am Boden des Kanals 6 des Gehäusekörpers 2 sind Saugdurchgänge 22a bis 22c vorgesehen, die entsprechend den oben genannten Vakuum erzeugenden Kammern 21a bis 21c angeordnet. Diese sind mit einer Vakuumkammer 24 verbunden, die mit der Saugabdeckung 9 innerhalb des Kanals 6 an dem Gehäusekörper 2 hermetisch abgedichtet verschlossen ist. Nuten sind an einer Seite der Flansche 18a und 18b der Mehrstufenejektorstruktur 14 ausgebildet, um halbzylindrische Rückschlagventile 23b und 23c aufzunehmen, die so ausgebildet sind, daß sie die Saugdurch­ gänge 22b und 22c durch hermetisch abdichtenden Kontakt mit der zylindrischen inneren Fläche der Durchgangsöffnung 5 verschließen. Genauer gesagt sind gewölbte und gebogene Basisabschnitte der Rückschlagventile 23b und 23c in den Nuten derart verankert, daß sie gegen die Innenfläche der Durch­ gangsöffnung 5 gehalten werden. Diese Rückschlagventile 23b und 23c dienen dazu, Luftströme von den entsprechenden Vakuum erzeugenden Kammern 21b und 21c der späteren Stufen in die Saugdurchgänge 22b und 22c zu blockieren.

Die Frontabdeckung 7 weist einen Zufuhrdurchgang 25 für unter Druck stehende Luft auf, dessen vorderes Ende mit der Strahlöffnung 13 in dem Düsenkörper 12 in Verbindung steht. Eine Leitung von einer Druckluftquelle ist mit einer Druck­ luftzuführöffnung 26 an der Basis oder dem äußeren Ende des Luftzufuhrdurchgangs 25 über eine Rohrverbindung 27 verbunden.

Somit wird durch Wirkung von unter Druck stehender Luft, die durch die Einlaßöffnung 26 zu dem Luftzufuhrdurchgang 25 zugeführt und von der Düsenöffnung 13 des Düsenkörpers 12 in Richtung der Diffusor-Düse 15a der Mehrstufenejektorstruktur 14 ausgestrahlt wird, Luft aus der ersten Vakuum erzeugenden Kammer 21a herausgesaugt, um dort einen Vakuumdruck zu entwickeln. Außerdem wird durch die Wirkung des Luftdruckes, der nacheinander von den Diffusor-Düsen 15a und 15b ausge­ strahlt wird, Luft durch die Luftansaugöffnungen 17a und 17b in die Vakuum erzeugenden Kammern 21b und 21c der späteren Stufen gesaugt, um auch in diesen Kammern einen Vakuumdruck zu entwickeln. Als Folge davon wird durch die Saugdurchgänge 22a, 22b und 22c ein Vakuumdruck in der Vakuumkammer 24 entwickelt, die durch die Saugabdeckung 9 innerhalb des Kanals 6 des Gehäusekörpers 2 hermetisch verschlossen ist. Hierbei arbeiten die Rückschlagventile 23b und 23c, die an ihrer Position an der Mehrstufenejektorstruktur 14 verankert sind, um die Saugdurchgänge 22b und 22c entsprechend dem Differenz­ druck zwischen dem Vakuumdruck, der in der Vakuumkammer 24 herrscht, und dem Vakuumdruck, der in den Vakuum erzeugenden Kammern 21b und 21c herrscht, zu öffnen und zu schließen.

Die Saugabdeckung 9 ist durch Schrauben 10b an der inneren Bodenfläche des Gehäusekörpers 2 befestigt, um darin die oben genannte Vakuumkammer 24 zu definieren und über eine Dichtung 30 hermetisch abgedichtet, die die vorderen Endflächen ihrer Umfangswände hermetisch abdichtet. Im wesentlichen im Zentrum der Deckwand der Saugabdeckung 9 öffnet sich eine Saugöffnung 31, die einen Rohrverbinder 32 aufweist, um daran eine Vakuumdruckzufuhrleitung anzuschließen. Außerdem ist ein kastenförmiger Saugfilter 33 innerhalb der Vakuumkammer 24 der Saugabdeckung 9 um die Saugöffnung 31 angebracht.

An der Seite der Endabdeckung 8 ist die Saugabdeckung 9 einstückig mit einem unteren Plattenabschnitt 9a ausgebildet, um daran einen Vakuumschalter zu befestigen. Offen an der oberen Seite des unteren Plattenabschnitts 9a ist das vordere Ende eines Durchgangs 35, der in Verbindung mit der Vakuumkam­ mer 24 innerhalb der Saugabdeckung 9 steht. Das vordere Ende einer horizontalen Bohrung des Durchgangs 35, das durch den unteren Plattenabschnitt 9a gebohrt ist, ist über eine Kugel verschlossen. Der untere Plattenabschnitt 9a, auf welchem, wie später im Zusammenhang mit einer zweiten Ausführungsform der Erfindung beschrieben, ein Vakuumschalter befestigt ist, weist an der Oberseite Befestigungsschlitze 36 zum Eingriff mit Vorsprüngen 38 an einer quadratischen kastenähnlichen Vakuumblockbasis 37 auf, die an dem unteren Plattenabschnitt 9a zu befestigen ist, um das obere offene Ende des Durchgangs 35 in dem Fall zu schließen, daß kein Vakuumschalter auf der Platte 9a befestigt ist (vgl. insbesondere Fig. 2). Eine Schalldämpfungsabdeckung 40 mit einer Vielzahl von Auslaßöff­ nungen 41 ist auf der Vakuumblockbasis 37 durch Eingriff mit Stoppervorsprüngen 42 befestigt. Die Auslaßöffnungen 41 in der Schalldämpfungsabdeckung 40 dienen als Entlastungsdurchgang für Auslaßluft, die von dem Diffusor 15c der Endstufe zu der Endabdeckung 8 hin abgelassen wird.

Andererseits ist die Endabdeckung 8 auf der Seite des Gehäusekörpers 2 und auf ihrer oberen Seite offen und nimmt darin einen ersten Schalldämpfer 43 mit hohler zylindrischer Form auf, welcher zusammen mit einem blockähnlichen zweiten Schalldämpfer 44 in das vordere Ende der Mehrstufenejektor­ struktur 14 eingesetzt ist. Eine Schalldämpfungsabdeckung 45 mit einer Vielzahl von Auslaßöffnungen 46 und einem Halte­ abschnitt 47 für den zweiten Schalldämpfer 44 ist an der oberen Öffnung an der oberen Seite der Endabdeckung 8 befestigt. Es bedarf keiner Erwähnung, daß die Schalldämpfer 43 und 44 aus porösem Material mit geräuschabsorbierenden Eigenschaften bestehen.

Fig. 3 beschreibt die Betriebsweise der oben beschriebenen Mehrstufenejektoreinheit mit Hilfe von Symbolen. In diesem besonderen Fall ist eine Leitung 49 mit einem Saugnapf 48 an die Saugöffnung 31 angeschlossen. Andere in Fig. 3 dar­ gestellte Komponenten werden mit denselben Bezugszeichen bezeichnet wie ihre Gegenstücke in den Fig. 1 und 2.

Bei der wie oben beschrieben aufgebauten Mehrstufenejektor­ einheit wird, sobald unter Druck stehende Luft durch den Düsenkörper 12 von der Luftzufuhröffnung 26 durch den Zufuhrdurchgang 25 zugeführt wird, Luft aus der ersten Vakuum erzeugenden Kammer 21 gesaugt, um darin, wie bereits be­ schrieben, einen Vakuumdruck zu entwickeln. Vakuumdruck wird außerdem in den Vakuum erzeugenden Kammern 21b und 21c der späteren Stufen durch den Luftdruck entwickelt, der nachein­ ander von den Diffusor-Düsen 15a und 15b ausgestrahlt wird, wobei der Vakuumdruck in der Vakuumkammer 24 durch den Saugdurchgang 22a oder durch Saugdurchgänge 22b und 22c über Rückschlagventile 23b und 23c, die durch Druckdifferentiale geöffnet und geschlossen werden, erzeugt wird. Sobald der Saugnapf 48, wie in Fig. 3 dargestellt, über die Leitung 49 mit der Saugöffnung 31 verbunden wird, übt er durch den Saugfilter 33 unter dem Einfluß des Vakuumdruckes eine Saugkraft aus. Die Auslaßluft von dem Diffusor 15 in der Endstufe der Mehrstufenejektorstruktur 14 wird durch die Schalldämpfer 43 und 44 beruhigt, bevor sie nach außen abgelassen wird.

Mit der obigen Mehrstufenejektoreinheit wird die Mehr­ stufenejektorstruktur selbst durch die Diffusor-Düsen 15a und 15b und den Endstufendiffusor 15c gebildet, die durch die Abschnitte 16a und 16b mit größerem Durchmesser und den Luftansaugöffnungen 17a und 17b verbunden werden, und zusammen mit den Flanschen 18a und 18b zu einem einstückigen rohr­ förmigen Körper aus einem Kunststoffmaterial geformt werden. Dadurch können die Diffusor-Düsen 15a und 15b und der Endstufendiffusor 15c, die normalerweise hochpräzises Arbeiten erfordern, um einem geforderten Konzentrizitätsgrad zu genügen, zu wesentlich geringeren Kosten hergestellt werden.

Außerdem ist, wie bereits beschrieben, der Gehäusekörper 2, der den zylindrisch geformten Körper der Mehrstufenejektor­ struktur aufnimmt, in einer im Querschnitt kanalähnlichen Form ausgebildet mit einer Bodenwand einer großen Dicke und einem Paar von Seitenwänden an den gegenüberliegenden Seiten des Kanals 6, um Steifigkeit gegenüber Biegekräften zu gewähr­ leisten, wobei er die Mehrstufenejektorstruktur 14 in der Durchgangsöffnung 5 im Inneren der dicken Bodenwand aufnimmt. In diesem Fall ist die Mehrstufenejektorstruktur 14 durch den Gehäusekörper 2 mit verstärkter Festigkeit geschützt, so daß die Genauigkeit der Mehrstufenejektorstruktur 14 einschließ­ lich der Genauigkeit bezüglich der Konzentrizität über eine lang Zeitdauer ohne Schwierigkeiten aufrechterhalten werden kann, wie sie durch Verformen der Ejektorstruktur 14 selbst bewirkt werden könnten. Zusätzlich wird der Saugfilter 33, der innerhalb des Kanals 6 des Gehäusekörpers 2 angeordnet ist, als Saugkammer 24 verwendet, um überflüssige Abschnitte bei der Herstellung zu vermeiden.

Außerdem werden beim Einsetzen des Düsenkörpers 12 in die Durchgangsöffnung 5 des Gehäusekörpers 2 von ihrem einem Ende her und dem Einsetzen der Mehrstufenejektorstruktur 14 mit den Rückschlagventilen 23b und 23c von dem anderen Ende der Durchgangsöffnung 5 die Vakuum erzeugende Kammer 21a der ersten Stufe und die Vakuum erzeugenden Kammern 21b und 21c der späteren Stufen durch den Düsenkörper 12 und die Flansche 18a bis 18c am Umfang der Ejektorstruktur 14 innerhalb der Durchgangsöffnung 5 definiert.

Die Rückschlagventile 23b und 23c werden in ihrer Position verankert, um die Saugdurchgänge 22b und 22c zu schließen. Dadurch kann der Mehrstufenejektor 3 einschließlich der Vakuum erzeugenden Kammern und der Rückschlagventile auf außer­ ordentlich einfache Weise zusammengesetzt werden, zusätzlich zur erleichterten Wartung und leichtem Austausch der Mehr­ stufenejektorstruktur 14 im Fall von Beschädigung.

Zum Zwecke der Aufrechterhaltung des Vakuumdrucks während eines Saugtransfers eines Werkstücks, das an dem Saugnapf 48 gehalten wird, kann falls notwendig zusätzlich ein Rück­ schlagventil, das Luftströme von der Vakuum erzeugenden Kammer 21a zu der Vakuumkammer 24 blockiert, an der Mehrstufenejek­ torstruktur 14 in derselben Weise vorgesehen sein, wie die oben beschriebenen Rückschlagventile 23b und 23c.

Dargestellt in den Fig. 4 und 5 ist eine zweite Ausführungs­ form der Mehrstufenejektoreinheit gemäß der vorliegenden Erfindung. Diese Mehrstufenejektoreinheit 51 ist hinsichtlich des Aufbaus des Gehäusekörpers 52, des Mehrstufenejektors 53, der Endabdeckung 58 und der Saugabdeckung 59 auf dieselbe Weise angeordnet wie die oben beschriebene erste Ausführungs­ form. Der Gehäusekörper 52 ist auf dieselbe Weise mit einer Durchgangsöffnung 55 in seiner Bodenwand entlang eines Kanals 56 versehen wie bei der ersten Ausführungsform. Der Ejektor 53 weist einen Düsenkörper 62 mit einer Strahlöffnung 63 und eine Mehrstufenejektorstruktur 64 auf, wobei dazwischen eine erste Vakuum erzeugende Kammer 71a gebildet wird, die über einen Saugdurchgang 72a in Verbindung mit einer Vakuumkammer 74 steht. Vakuum erzeugende Kammern 71b und 71c sind um den Umfang der Mehrstufenejektorstruktur 64 definiert. Außerdem ist die Endabdeckung 58 in ihrem Inneren mit Schalldämpfern 93 und 94 versehen, und die Saugabdeckung 59 weist einen Saugfilter 63 innerhalb der Saugkammer 74 auf.

Ein wesentlicher Unterschied dieser zweiten Ausführungsform zu der ersten Ausführungsform liegt in der Anordnung eines Luftzufuhrventils 65, welches unter Druck stehende Luft zu der Strahlöffnung 63 des Düsenkörpers 62 führt, und eines Vakuumunterbrechungsventils 66, welches unter Druck stehende Luft zu der Vakuumkammer 74 innerhalb der Saugabdeckung 59 liefert. Diese Ventile 65 und 66 sind über eine Ventilplatte 67 an der Frontabdeckung 57 befestigt. Ein Vakuumschalter 87 ist an einem unteren Plattenabschnitt 59a der Saugabdeckung 59 befestigt. Das Vakuumunterbrechungsventil 66 dient dazu, unter Druck stehende Luft einem Saugnapf zuzuführen, welcher über eine Leitung mit einer Saugöffnung 81 verbunden ist, wodurch es möglich ist, ein Werkstück schnell von dem Saugnapf freizugeben.

Wie in Fig. 6 durch Symbole angedeutet, sind das oben be­ schriebene Luftzufuhrventil 65 und das Vakuumunterbrechungs­ ventil 66 in Form von herkömmlichen elektromagnetischen Ventilen mit drei Ausgängen ausgebildet, um Ausgangsöffnungen 65a und 66a entweder zu Einlaßöffnungen 65P bzw. 66P oder zu Auslaßöffnungen 65R bzw. 66R zu schalten. Da die Auslaßöff­ nungen 65R und 66R jedoch in diesem Fall geschlossen sind, können diese beiden Ventile als elektromagnetische Ventile mit zwei Öffnungen betrachtet werden, die die Verbindung zwischen entsprechenden Einlaß- und Auslaßöffnungen schaffen oder unterbrechen. Es bedarf keiner Erwähnung, daß diese Ventile 65 und 66 nicht auf elektromagnetische Ventile beschränkt sind und bspw. als Ventile ausgebildet sein können, welche durch einen Steuerluftdruck oder dgl. betrieben werden, oder als mechanisch angetriebene Ventile.

In den Fig. 4 und 5 steht die Einlaßöffnung des oben be­ schriebenen Luftzufuhrventils 65 in Verbindung mit der Luftzufuhröffnung 76 in der Frontabdeckung 57 über einen Zufuhrdurchgang 75a, der in der Ventilplatte 67 und der Frontabdeckung 57 ausgebildet ist, während seine Auslaßöffnung über einen Zufuhrdurchgang 75b mit der Strahlöffnung 63 des Düsenkörpers 62 in Verbindung steht. Außerdem steht die Einlaßöffnung des Vakuumunterbrechungsventils 66 in Verbindung mit der Luftzufuhröffnung 76 über den Zufuhrdurchgang 75a, welcher in bekannter Weise mit dem Luftzufuhrventil 65 verwendet wird. Die Auslaßöffnung steht in Verbindung mit der Vakuumkammer 74 innerhalb der Saugabdeckung 59 über einen Vakuumunterbrechungsdurchgang 68a, der in der Ventilplatte 67 und der Frontabdeckung 57 ausgebildet ist, und über einen Vakuumunterbrechungsdurchgang 68b, der in dem Gehäusekörper 52 ausgebildet ist. Ein Durchflußregulierventil 69 ist in der Ventilplatte 67 vorgesehen, um die Luftdurchflußrate durch das Vakuumunterbrechungsventil 68a einzustellen. Das Durchfluß­ regulierventil 69 umfaßt einen Ventilkörper 69b, der an­ geordnet ist, um durch Drehen eines manuellen Bedienungs­ elements 69a den Querschnitt des Durchflußdurchgangs ein­ zustellen.

Der Vakuumschalter 87, der an der unteren Platte 59a der Saugabdeckung 59 befestigt ist, dient der Feststellung des Vakuumniveaus, das in die Vakuumkammer 74 durch einen Durchgang 85 eingeführt wird, welcher sich zu der Oberseite der unteren Platte 59a öffnet. Der Vakuumschalter ist so angeordnet, daß er den Vakuumdruck durch einen Druckeinlaß einläßt, welcher an der unteren Seite der Platte 59a vorsteht, wobei das Vakuumdruckniveau durch einen im Inneren an­ gebrachten Halbleiterdrucksensor festgestellt wird und wobei das festgestellte Vakuumdruckniveau digital an einem Anzeige­ abschnitt 87a an seiner Oberfläche angezeigt wird. Der Vakuumschalter 87 weist außerdem Bleidrähte auf, um Ausgangs­ signale des Sensors nach außen zu liefern (vgl. japanische Offenlegungsschrift H3-86492).

Ähnlich der bereits in Verbindung mit der ersten Ausführungs­ form beschriebenen Vakuumblockbasis 37 ist der Vakuumschalter 87 in seiner Position an der unteren Platte 59a durch Eingriff von Vorsprüngen 88 an der unteren Seite des Schalters in Befestigungsöffnungen 86 an der oberen Seite der unteren Platte 59a befestigt. Die oben beschriebenen Bleidrähte 87b werden durch eine Öffnung in einer Kappe 89a, die in eine Verdrahtungsöffnung 89 in der Endabdeckung 58 eingesetzt ist nach außen herausgezogen.

Ein Zwei-Wegeventil, das mit dem Vakuumschalter 87 verbunden ist, kann zwischen der Saugöffnung 81 und dem damit verbunde­ nen Saugnapf vorgesehen sein, um dadurch den Vakuumdruck während des Saugtransfers eines Werkstücks auf zuverlässigere Art und Weise aufrechtzuerhalten als im Vergleich mit den Rückschlagventilen 73b und 73c, die den Saugdurchgängen 72b und 72 zugeordnet sind.

Bei der schematischen Darstellung gemäß Fig. 6 unter Verwen­ dung von Symbolen sind die entsprechenden Aufbauelemente mit denselben Bezugszeichen bezeichnet wie die entsprechenden Teile in der Beschreibung der Fig. 4 und 5.

Im Fall der Mehrstufenejektoreinheit 51 der zweiten Aus­ führungsform, die in der oben beschriebenen Art und Weise angeordnet ist, wird unter Druck stehende Luft von der Auslaßöffnung 65A des Luftzufuhrventils 65 dem Düsenkörper 62 des Mehrstufenejektors 53 zugeführt, um Vakuumdruck an der Saugöffnung 81 in derselben Art und Weise wie bei der vorhergehenden ersten Ausführungsform zu erzeugen. Dieser Vakuumdruck wird unterbrochen beim Schließen des Luft­ zufuhrventils 65 und Zuführen von Vakuumunterbrechungsluft von dem Unterbrechungsventil 66 zu der Vakuumkammer 74. Die Durchflußrate dieser Vakuumunterbrechungsluft kann mittels des Durchflußregulierventils 69 eingestellt werden. Außerdem kann das Vakuumniveau in der Vakuumkammer 74 durch den Vaku­ umschalter 87 festgestellt werden, um eine Basis für ver­ schiedene Kontrollen zu schaffen.

In anderer Hinsicht ist der Betrieb dieser Ausführungsform der gleiche wie bei der ersten Ausführungsform und auf seine erneute Beschreibung wird zur Vermeidung von Wiederholungen verzichtet.

In den Fig. 7 bis 9 ist eine dritte Ausführungsform der Mehrstufenejektoreinheit gemäß der Erfindung dargestellt. Der Mehrstufenejektor 101 gemäß der dritten Ausführungsform ist auf dieselbe Art und Weise angeordnet wie die erste Aus­ führungsform, bis auf die Tatsache, daß er einen Gehäusekörper 102 und einen Mehrstufenejektor 103 verwendet, die sich in ihrem Aufbau von den vorhergehenden ersten und zweiten Ausführungsformen unterscheiden.

Unter Konzentration auf die Unterschiede zu der ersten Ausführungsform besteht der Gehäusekörper 102 aus einem einstückigen Körper, der aus metallischem oder Kunststoff­ material geformt ist, einschließlich einer mit Nuten versehe­ nen Bodenwand großer Dicke, die an ihrer äußeren oder unteren Seite eine flache, plattenähnliche Fläche 105 zur Befestigung des Mehrstufenejektors 103 und an ihrer Oberseite einen Kanal 106 aufweist. Der Mehrstufenejektor 103, der später be­ schrieben werden wird, ist an der Ejektorbefestigungsfläche 105 an dem Gehäusekörper 102 befestigt. Front- und End­ abdeckungen 107 und 108 sind mittels einer Vielzahl von Schrauben 110a fest an axial gegenüberliegenden Enden des Mehrstufenejektors 103 und des Gehäusekörpers 102 befestigt, und eine Saugabdeckung 109 ist mittels Schrauben 110b hermetisch abgedichtet an der oberen offenen Seite des Kanals 106 befestigt. Die Frontabdeckung 107, die Endabdeckung 108 und die Saugabdeckung 109 entsprechen hinsichtlich ihres äußeren und inneren Aufbaus im wesentlichen der oben be­ schriebenen ersten Ausführungsform.

Wie insbesondere in Fig. 8 dargestellt, besteht der Mehr­ stufenejektor 103 aus einem Düsenkörper 112 mit einer Strahlöffnung 113 für das Betriebsfluid und einer Mehr­ stufenejektorstruktur 114 mit einer Vielzahl von Diffusor- Düsen 115a und 115b und einem Endstufendiffusor 115c, die an einem Rahmenkörper 116 mittels Trennwänden 118a bis 118c gehalten werden.

Genauer betrachtet umfaßt die oben genannte Mehrstufendiffu­ sorstruktur, die aus einer aus einem Kunststoffmaterial geformten einstückigen Struktur besteht, die Rahmenstruktur 116, die an der oberen Seite offen ist, die Trennwände 118a bis 188c, die eine Vielzahl von Vakuum erzeugenden Kammern 121a bis 121c innerhalb des Rahmenkörpers 116 definieren, und die Diffusor-Düsen 115a und 115b, sowie einen Endstufendiffu­ sor 115c, die über die Trennwände 118a bis 118c auf der zentralen Achse des Rahmenkörpers durch Sauglücken 117b und 117c getrennt gehalten werden, wobei der Rahmenkörper 116 gegenüberliegend der Diffusor-Düse 115a der Anfangsstufe eine Aufnahmeöffnung zur Befestigung des Düsenkörpers 112 aufweist. Die Achse der Strahlöffnung 113 des in die Aufnahmeöffnung einzusetzenden Düsenkörpers 112 ist in Ausrichtung mit der Achse der Diffusor-Düse 115a angeordnet. Die Diffusor-Düsen 115a und 115b und der Endstufendiffusor 115c nehmen in dieser Reihenfolge allmählich in ihrem Durchmesser zu und der Durchmesser des Endstufendiffusors 115c divergiert zusätzlich keilförmig von seinem mittleren Bereich aus. Die Mehr­ stufenejektorstruktur ist mit hoher Präzision ausgeformt, um sicherzustellen, daß die zentralen Achsen der Diffusor-Düsen 115a und 115b und des Endstufendiffusors 115c vollständig zueinander ausgerichtet sind.

Der Rahmenkörper 116 ist an seiner oberen und unteren offenen Seite flach ausgebildet, wobei eine der Seiten über eine Dichtung 119a an der Ejektorbefestigungsfläche 105 des Gehäusekörpers 102 anliegt, während eine Diffusorabdeckung 120 hermetisch abgedichtet auf der anderen Seite des Rahmenkörpers 116 über eine Dichtung 119b eingesetzt und zusammen mit dem Rahmenkörper 16 über Schrauben 110c sicher an dem Gehäusekör­ per 102 befestigt ist. Der soeben genannte Rahmenkörper 116 weist eine ausreichende Steifigkeit auf, um die Ausrichtung der Mittelachsen des Düsenkörpers 112 in der Düsenbefesti­ gungsöffnung, der Diffusor-Düsen 115a und 115b und des Endstufendiffusors 115c aufrechtzuerhalten. Die Genauigkeit der geformten Struktur kann in stabilem Zustand aufrecht­ erhalten werden, da sie zwischen dem Gehäusekörper 102 und der Diffusorabdeckung 120 gehalten ist.

Saugdurchgänge 122a, 122b und 122c sind am Boden des Kanals 106 des Gehäusekörpers 102 entsprechend den Vakuum erzeugenden Kammern 121a, 122b bzw. 122c vorgesehen. Die Vakuum erzeugen­ den Kammern 121a bis 121c stehen mit der Vakuum erzeugenden Kammer 124 in Verbindung, die durch die Saugabdeckung 109 innerhalb des Kanals 106 hermetisch verschlossen ist. Nuten zur Befestigung von Rückschlagventilen 123b und 123c sind an oberen Endbereichen der Trennwände 118a und 118b der Mehr­ stufenejektorstruktur 114 und an entsprechenden Abschnitten der Ejektorbefestigungsfläche 105 des Gehäusekörpers 102 vorgesehen. Flache, plattenähnliche Rückschlagventile 123b und 123c, die hermetisch abgedichtet mit der Ejektorbefestigungs­ fläche 105 des Gehäusekörpers 102 in Verbindung bringbar sind, um die Saugdurchgänge 122b bzw. 122c zu schließen, weisen gewölbte Basisabschnitte auf, die in die soeben genannten Nuten eingepaßt und sicher zwischen dem Gehäusekörper 102 und dem Rahmenkörper 116 gehalten sind. Diese Rückschlagventile 123b und 123c dienen dazu, Luftströme von den Vakuum erzeugen­ den Kammern 121b und 121c der hinteren Stufen zu Saugdurch­ gängen 122b und 122c zu blockieren.

Ähnlich der ersten Ausführungsform weist die Frontabdeckung 107 einen Zufuhrdurchgang 125 für unter Druck stehende Luft auf, welcher Druckluft von einer Zufuhröffnung 126 zu der Strahlöffnung 113 des Düsenkörpers 112 führt. Andererseits ist die Endabdeckung 108 mit einem ersten Schalldämpfer 143 versehen, der in das vordere Ende des Endstufendiffusors 115c der Mehrstufenejektorstruktur 114 eingepaßt ist, einem zweiten Schalldämpfer 144, der an einem mittleren Platten­ abschnitt befestigt ist, und eine Schalldämpferabdeckung 145, die über eine obere Öffnung der Endabdeckung 108 eingepaßt ist.

Dadurch wird, beim Zuführen von Druckluft zu der Luftzufuhr­ öffnung 126, um Druckluft aus der Strahlöffnung 113 des Düsenkörpers 112 zu der Diffusor-Düse 115a der Mehrstufenejek­ torstruktur 115 zu strahlen, in der ersten Vakuum erzeugenden Kammer 121a Vakuumdruck entwickelt. Unter dem Einfluß der nacheinander aus den Diffusor-Düsen 115a und 115b ausgestrahl­ ten Druckluft wird Vakuumdruck auch in den Vakuum erzeugenden Kammern 121b und 121c späterer Stufen entwickelt. Als Folge davon herrscht durch die Saugdurchgänge 122a, 122b und 122c in der Vakuumkammer 124, die mit der Saugabdeckung 109 hermetisch verschlossen ist, Vakuumdruck. Die Rückschlagventi­ le 123b und 123c öffnen und schließen die Saugdurchgänge 121b und 122c entsprechend dem Differenzdruck zwischen dem in der Vakuumkammer 124 herrschenden Vakuumdruck und dem in den Vakuum erzeugenden Kammern 121b oder 121c herrschenden Vakuumdruck.

Die Saugabdeckung 109 ist über eine Dichtung 130 hermetisch abgedichtet an der inneren Bodenwand des Kanals 106 des Gehäusekörpers 102 befestigt, welche die Endflächen von Umfangswänden der Abdeckung abdichtet, wodurch die Vakuumkam­ mer 124 innerhalb des Kanals 106 definiert und eine Saugöff­ nung 131 im wesentlichen in der Mitte der oberen Fläche der Abdeckung 109 geschaffen wird. Ein kastenähnlicher Saugfilter 133 ist innerhalb der Vakuumkammer 124 und unter der Saug­ abdeckung 109 derart befestigt, daß er die Saugöffnung 131 umgibt. An der Seite der Endabdeckung 108 ist die Saug­ abdeckung 109 einstückig mit einem abgesenkten Deckabschnitt 109a zur Befestigung eines Vakuumschalters versehen, wie er bei der vorhergehenden zweiten Ausführungsform beschrieben wurde. Ein Durchgang 135, der in Verbindung mit der Vakuumkam­ mer 124 an deren einen Ende steht, ist mit einer Vakuum­ blockbasis 137 verschlossen wie in der ersten Ausführungsform am anderen Ende, welches sich zu der oberen Seite des abgesenkten Plattenabschnitts 109a öffnet.

Die wesentlichen Bestandteile der dritten Ausführungsform sind ähnlich dem oben beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel so angeordnet, wie durch die Symbole in Fig. 3 angedeutet, so daß sie auf dieselbe Art und Weise arbeiten wie in der ersten Ausführungsform.

Insbesondere wird, ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform, bei der Zufuhr von Druckluft von der Zufuhröffnung 126 Vakuumdruck in der ersten Vakuum erzeugenden Kammer 121a sowie in den Vakuum erzeugenden Kammern 121b und 121c späterer Stufen der Mehrstufenejektoreinheit 101 gemäß der dritten Ausführungsform entwickelt, wobei Vakuumdruck in der Vakuum­ kammer 124 durch den Saugdurchgang 122a oder durch die Saugdurchgänge 122b und 122c über die Rückschlagventile 123b und 123c herrscht, welche über einen Differenzdruck geöffnet und geschlossen werden. Auslaßluft von dem Endstufendiffusor 115c der Mehrstufenejektorstruktur 114 wird durch die Schall­ dämpfer 143 und 144 beruhigt, bevor sie nach außen abgelassen wird.

Bei der oben beschriebenen Mehrstufenejektoreinheit 101 ist die Mehrstufenejektorstruktur 114 selbst so angeordnet, daß sie einen Rahmenkörper 116 umfaßt, der an seinen oberen und unteren Seiten offen ist, wobei der Rahmenkörper 116 in seinem Inneren die Diffusor-Düsen 115a und 155b und den Endstufen­ diffusor 115c aufweist, die an einer Vielzahl von Trennwänden 118a bis 188c vorgesehen sind, und durch diese unterteilt wird. Dadurch werden die Diffusor-Düsen 115a und 115b und der Endstufendiffusor 115c in festgelegten ausgerichteten Positionen durch den Rahmenkörper 116 und die Trennwände 118a bis 118c gehalten. Die Mehrstufenejektorstruktur 114 kann durch Verwendung eines metallischen oder Kunststoffmaterials einfach als einstückige Struktur geformt werden. Das ein­ stückige Formen der Mehrstufenejektorstruktur ermöglicht es, die geforderte Genauigkeit bezüglich der Konzentrizität der Diffusor-Düsen 115a und 115b, des Endstufendiffusors 115c und der Aufnahmeöffnung für den Düsenkörper 112 leicht zu geringen Herstellungskosten zu gewährleisten.

Außerdem ist die Mehrstufenejektorstruktur 114 an dem Rahmenkörper 116 sicher an dem Gehäusekörper 102 befestigt, der eine kanalähnliche Form mit einer dicken Bodenwand und einem Paar von Seitenwänden an gegenüberliegenden Seiten des Kanals 6 aufweist, um die Biegesteifigkeit zu erhöhen, wobei die Mehrstufenejektorstruktur 114 fest und geschützt zwischen der Ejektorbefestigungsfläche 105 an der äußeren oder unteren Seite der dicken Bodenwand und der Diffusorabdeckung 120 gehalten ist. Dadurch kann die ursprüngliche Genauigkeit hinsichtlich der Konzentrizität der geformten Mehrstufenejek­ torstruktur 114 über eine verlängerte Zeitdauer ohne Deforma­ tionen aufrechterhalten bleiben. Zusätzlich wird der Saugfil­ ter 133, der in dem Kanal 106 des Gehäusekörpers 102 aufgenom­ men ist, als Vakuumkammer 126 verwendet, um überflüssige Räume bei der Konstruktion zu vermeiden.

Außerdem sind, wenn die Mehrstufenejektorstruktur 114 zwischen der Ejektorbefestigungsfläche 105 an dem Gehäusekörper 102 und der Diffusorabdeckung 120 gehalten wird, die Rückschlagventile 123b und 123c in die Nuten an der Ejektorbefestigungsfläche 105 und dem Rahmenkörper 116 eingepaßt. Hierdurch werden die Vakuum erzeugenden Kammern 121a, 121b und 121c durch den Gehäusekörper 102, die Diffusorabdeckung 120, den Rahmenkörper 116 und die Trennwände 118a bis 118c definiert, und die Rückschlagventile 123b und 123c sind in Betriebsposition in Zuordnung zu den Saugdurchgängen 122b bzw. 122c angeordnet. Dadurch kann der Mehrstufenejektor 103 einschließlich der oben genannten Vakuum erzeugenden Kammern und Rückschlagventile auf äußerst einfache Art und Weise in den Gehäusekörper 102 eingesetzt werden, wobei gleichzeitig seine Wartung sowie der Austausch der Mehrstufenejektorstruktur 114 im Fall von Beschädigungen erleichtert wird.

Um während des Saugtransports eines an dem Saugnapfgehaltenen Werkstücks den Vakuumdruck sicher aufrechtzuerhalten, kann ein Rückschlagventil, welches Luftströme von der Vakuum erzeugen­ den Kammer 121a zu der Vakuumkammer 124 blockiert, in einer den Rückschlagventilen 123b und 123c ähnlichen Art und Weise vorgesehen sein.

Ähnlich der vorhergehenden zweiten Ausführungsform kann diese dritte Ausführungsform so ausgestaltet sein, daß sie ein Luftzufuhrventil umfaßt, welches die Zufuhr von Druckluft zu und von dem Düsenkörper 112 steuert, ein Vakuumunterbrechungs­ ventil, das Druckluft zu der Saugöffnung 131 zuführt, ein Durchflußregulierventil, das die Durchflußrate von dem Vakuumunterbrechungsventil zugeführter Luft steuert, oder einen an dem unteren Plattenabschnitt 109a der Saugabdeckung 109 befestigten Vakuumschalter.

Claims (6)

1. Mehrstufige Strahlpumpeneinheit (1) mit einem Gehäusekör­ per (2; 52) und einem in den Gehäusekörper (2; 52) eingesetz­ ten Mehrstufenejektor (3; 53) zur Erzeugung einer Saugkraft an einer Saugöffnung (31; 81) durch die Wirkung von dem Mehrstufenejektor (3; 53) zugeführter Druckluft,
wobei der Gehäusekörper (2; 52) im Querschnitt U-förmig mit einer dicken Bodenwand und parallelen Seitenwänden ausgebildet ist, wobei innerhalb der dicken Bodenwand eine axiale Durchgangsöffnung (5; 55) vorgesehen ist, um den Mehr­ stufenejektor (3; 53) aufzunehmen, und wobei sich die einen Kanal (6; 56) bildenden parallelen Seitenwänden außen entlang der Bodenwand erstrecken,
wobei der Mehrstufenejektor (3; 53) durch einen an eine Druckluftzufuhr angeschlossenen Düsenkörper (12; 62) gebildet wird, welcher eine Strahlöffnung (13; 63) zur Ausstrahlung von Druckluft aufweist, sowie durch eine Mehrstufenejektorstruktur (14; 64), welche als eine einstückige Struktur ausgebildet ist und eine Anzahl von Diffusor-Düsen (15a-c) einschließlich eines Endstufen-Diffusors (15c) sowie um die Diffusor-Düsen (15a, b) und den Endstufen-Diffusor (15c) geformte Flansche (18a-c) umfaßt, wobei die Düsen (15a-c) jeweils axial zu der Strahlöffnung (13; 63) des Düsenkörpers ausgerichtet sind und durch einen Abschnitt (16a, b) mit größerem Durchmesser mit der Saugöffnung (31; 81) verbunden sind,
wobei der Düsenkörper (12; 62) und die Mehrstufenejektor­ struktur (14; 64) hermetisch abgedichtet in die axiale Durchgangsöffnung (5; 55) in dem Gehäusekörper (2; 52) eingesetzt sind, um darin durch die Flansche (18a-c) eine Anzahl von Vakuum erzeugenden Kammern (21a-c; 71a-c) zu bilden, wobei die Vakuum erzeugenden Kammern (21a-c; 71a-c) durch eine Anzahl von Saugdurchgängen (22a-c; 72a-c) in dem Gehäusekörper (2; 52) mit dem Kanal (6; 56) in Verbindung stehen, und
wobei in dem Kanal (6; 56) des Gehäusekörpers (2; 52) zwischen der Saugöffnung (31; 81) und den Saugdurchgängen (22a-c; 72a-c) eine Vakuumkammer (24; 74) vorgesehen ist.

2. Mehrstufige Strahlpumpeneinheit nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Rückschlagventile (23b, c; 73b, c), die zwischen dem inneren Umfang der axialen Durchgangsöffnung (5; 55) des Gehäusekörpers (2; 52) und den Flanschen (18a-c) der Mehrstufenejektorstruktur (14; 64) verankert sind, um Luftströme von den Vakuum erzeugenden Kammern (21b, c; 71b, c) zu den Saugdurchgängen (22b, c; 72b, c) zu blockieren.

3. Mehrstufige Strahlpumpeneinheit nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch ein Luftzufuhrventil (65) für die Zufuhr von Druckluft zu dem Düsenkörper (62) und ein Vakuumunter­ brechungsventil (66) für die Zufuhr von Druckluft zu der Vakuumkammer (74).

4. Mehrstufige Strahlpumpeneinheit mit einem Gehäusekörper (102) und einem in den Gehäusekörper (102) eingesetzten Mehr­ stufenejektor (101) zur Erzeugung einer Saugkraft an einer Saugöffnung (131) durch die Wirkung von dem Mehrstufenejektor (103) zugeführter Druckluft,
wobei der Gehäusekörper (102) eine dicke Bodenwand mit einer flachen, plattenähnlichen Fläche (105) an seiner äußeren Seite zur Befestigung des Mehrstufenejektors (103) und einen Kanal (106) aufweist, der durch ein Paar von parallelen Seitenwänden gebildet wird, die sich außerhalb entlang der Bodenwand erstrecken,
wobei der Mehrstufenejektor (103) einen Düsenkörper (112) aufweist, der an eine Druckluftzufuhr angeschlossen ist und eine Strahlöffnung (113) zur Ausstrahlung von zugeführter Druckluft aufweist, sowie eine Mehrstufenejektorstruktur (114), welche als einstückige Struktur ausgebildet ist und einen an seiner oberen und unteren Seite offenen Rahmenkörper (116), den Rahmenkörper (116) in eine Anzahl von Abschnitten unterteilende Trennwände (118a-c), eine Anzahl von Diffusor- Düsen (115a, b) und einen Endstufen-Diffusor (115c) an den Trennwänden (118a-c) umfaßt, wobei die Düsen (115a-c) in axial ausgerichteter Beziehung zu der Strahlöffnung (113) des Düsenkörpers (112) angeordnet sind,
wobei die Mehrstufenejektorstruktur (114) hermetisch abgedich­ tet zwischen der flachen Ejektorbefestigungsfläche (105) an dem Gehäusekörper (102) und einer Diffusorabdeckung (120) gehalten wird, um darin durch den Rahmenkörper (116) und die Trennwände (118a-c) eine Anzahl von Vakuum erzeugenden Kammern (121a-c) zu definieren, die über eine Anzahl von Saugdurch­ gängen (112a-c) in dem Gehäusekörper (102) in Verbindung mit dem Kanal (106) stehen, und
wobei die Mehrstufenejektoreinheit (114) innerhalb des Kanals (106) außerdem eine Vakuumkammer (124) aufweist, die an einer Seite in Verbindung mit der Saugöffnung (117b, c) steht und an der anderen Seite durch die Saugdurchgänge (122a-c) in Verbindung mit den Vakuum erzeugenden Kammern (121a-c) steht.

5. Mehrstufige Strahlpumpeneinheit nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch Rückschlagventile (123b, c), die in ihrer Position zwischen der Ejektorbefestigungsfläche (105) an dem Gehäusekörper (102) und den Trennwänden (118a-c) der Mehr­ stufenejektorstruktur (114) verankert sind, um Luftströme von der Vakuumkammer (124) zu den Saugdurchgängen (122a-c) zu blockieren.

6. Mehrstufige Strahlpumpeneinheit nach Anspruch 4 oder 5, gekennzeichnet durch ein Luftzufuhrventil für die Zufuhr von Druckluft zu dem Düsenkörper (112) und ein Vakuumunter­ brechungsventil für die Zufuhr von Druckluft zu der Vakuum­ kammer (124).